傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及硅片生產(chǎn)領(lǐng)域，公開了一種傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，由旋轉(zhuǎn)單元和由旋轉(zhuǎn)單元支撐的傳輸單元組成。傳輸單元包括傳輸驅(qū)動(dòng)組件、主動(dòng)輪、從動(dòng)輪、傳送帶以及頂面圓盤，硅片花籃放置在頂面圓盤上，由傳輸驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪和從動(dòng)輪和傳送帶移動(dòng)硅片花籃，使硅片花籃進(jìn)入和離開旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。旋轉(zhuǎn)單元由旋轉(zhuǎn)單元支撐板、旋轉(zhuǎn)圓盤和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置組成，旋轉(zhuǎn)圓盤在旋轉(zhuǎn)單元支撐板的圓孔中平穩(wěn)的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)傳輸單元及放置在傳輸單元上的硅片花籃轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)傳輸單元和旋轉(zhuǎn)單元的配合實(shí)現(xiàn)傳輸線上的硅片花籃90°轉(zhuǎn)向。由于旋轉(zhuǎn)圓盤放置在偏心凸輪導(dǎo)向器上旋轉(zhuǎn)，其旋轉(zhuǎn)過(guò)程平穩(wěn)性好，克服現(xiàn)有技術(shù)旋轉(zhuǎn)時(shí)平衡性差的問(wèn)題。
【專利說(shuō)明】傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及硅片生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是涉及一種傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽(yáng)能作為清潔、安全的可再生能源，是全球新能源的發(fā)展方向。在國(guó)家新型能源和可再生能源產(chǎn)業(yè)政策的指導(dǎo)下以及歐美太陽(yáng)能市場(chǎng)強(qiáng)勁需求的帶動(dòng)下，近年國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展。目前，中國(guó)已經(jīng)成為太陽(yáng)能電池制造大國(guó)，擁有全球最多的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)廠家和一半以上的產(chǎn)能。隨著全球太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的爆炸式增長(zhǎng)，為了使太陽(yáng)能領(lǐng)域單位發(fā)電成本降低到與常規(guī)發(fā)電成本相當(dāng)，太陽(yáng)能電池片制造商會(huì)越來(lái)越迫切要求使用高集成、高度自動(dòng)化的生產(chǎn)線。
[0003]目前，晶硅太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)線各個(gè)工藝單元之間的硅片傳輸以堆疊式或卡槽式兩種方式裝載硅片，然后采用小車人工搬運(yùn)。這種方式效率低，不利于大規(guī)模生產(chǎn)。為了實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化大規(guī)模生產(chǎn)，各工藝單元之間的硅片傳輸必須采用自動(dòng)傳輸系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。特別地，為了滿足加工要求，在自動(dòng)化生產(chǎn)過(guò)程中，被加工工件在傳輸過(guò)程中要進(jìn)行換向，尤其是，對(duì)易碎的工件要求換向準(zhǔn)確、平穩(wěn)，但現(xiàn)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)換向過(guò)程的平穩(wěn)性、準(zhǔn)確性難以滿足硅片的加工，為此需要設(shè)計(jì)一個(gè)專門的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004](一)要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0005]本發(fā)明的目的是提供旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)的傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
[0006](二)技術(shù)方案
[0007]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括由支架支撐的旋轉(zhuǎn)單元以及由旋轉(zhuǎn)單元通過(guò)連接板支撐連接的傳輸單元；
[0008]所述旋轉(zhuǎn)單元包括旋轉(zhuǎn)單元支撐板、旋轉(zhuǎn)圓盤、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置以及多個(gè)偏心凸輪導(dǎo)向器，所述旋轉(zhuǎn)單元支撐板安裝在所述支架上，旋轉(zhuǎn)單元支撐板的中心設(shè)有圓孔，圓孔的直徑大于旋轉(zhuǎn)圓盤的直徑；所述旋轉(zhuǎn)圓盤安裝在圓孔中；所述偏心凸輪導(dǎo)向器安裝在旋轉(zhuǎn)單元支撐板下板面的圓孔周圍，偏心凸輪導(dǎo)向器滾輪的滾動(dòng)面與旋轉(zhuǎn)圓盤的下盤面相切；所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)圓盤在圓孔中轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0009]所述連接板固定在旋轉(zhuǎn)圓盤上；
[0010]所述傳輸單元包括兩個(gè)傳輸單元支撐板、頂面圓盤、兩個(gè)主動(dòng)輪、兩對(duì)從動(dòng)輪、兩條傳送帶以及傳輸驅(qū)動(dòng)組件，所述傳輸單元支撐板對(duì)稱安裝在連接板的兩邊，所述頂面圓盤水平安裝在傳輸單元支撐板的上部；所述主動(dòng)輪和從動(dòng)輪以對(duì)稱方式旋轉(zhuǎn)安裝在兩個(gè)傳輸單元支撐板上；所述從動(dòng)輪水平安裝在傳輸單元支撐板靠近頂面圓盤的位置，從動(dòng)輪的上沿高于頂面圓盤的上盤面；所述兩條傳送帶分別纏繞在位于同一個(gè)傳輸單元支撐板上的主動(dòng)輪和從動(dòng)輪上；所述傳輸驅(qū)動(dòng)組件通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸與所述主動(dòng)輪連接，驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0011]其中，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括設(shè)在旋轉(zhuǎn)圓盤上與旋轉(zhuǎn)圓盤同軸的大同步帶輪，與大同步帶輪通過(guò)同步帶連接的小同步帶輪，用于驅(qū)動(dòng)小同步帶輪的第一伺服電機(jī)；所述第一伺服電機(jī)安裝在旋轉(zhuǎn)單元支撐板上。
[0012]其中，所述傳輸驅(qū)動(dòng)組件包括第二伺服電機(jī)和減速器，所述第二伺服電機(jī)通過(guò)減速器與所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接。
[0013]其中，還包括多個(gè)凸輪導(dǎo)向器，所述多個(gè)凸輪導(dǎo)向器分別安裝在所述旋轉(zhuǎn)單元支撐板的上板面和下板面，凸輪導(dǎo)向器滾輪的滾動(dòng)面與旋轉(zhuǎn)圓盤的側(cè)面相切。
[0014]其中，所述旋轉(zhuǎn)單元支撐板上板面的圓孔周圍也設(shè)有多個(gè)偏心凸輪導(dǎo)向器，所述偏心凸輪導(dǎo)向器滾輪的滾動(dòng)面與所述旋轉(zhuǎn)圓盤的上盤面相切。
[0015]其中，所述頂面圓盤的上盤面設(shè)有兩條導(dǎo)向條，所述兩條導(dǎo)向條分別位于傳送帶兩邊位置，所述兩條導(dǎo)向條之間的距離大于硅片花籃的寬度。
[0016]其中，還包括張緊調(diào)節(jié)組件，所述張緊調(diào)節(jié)組件包括張緊輪、張緊靜板、張緊動(dòng)板、里頂螺釘和外拉螺釘，所述張緊靜板橫跨固定在傳輸單元支撐板上；所述張緊動(dòng)板橫跨滑動(dòng)連接在傳輸單元支撐板上，張緊動(dòng)板與張緊靜板平行；所述張緊輪旋轉(zhuǎn)安裝在張緊動(dòng)板的兩端；所述張緊靜板上設(shè)有通孔和螺孔；所述里頂螺釘安裝在張緊靜板的螺孔上，里頂螺釘?shù)亩瞬宽斪埦o動(dòng)板；所述外拉螺釘上裝有調(diào)節(jié)螺母，外拉螺釘穿過(guò)張緊靜板的通孔，其端部固定的張緊動(dòng)板上。
[0017]其中，還包括控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)包括編碼器以及分別與編碼器連接的進(jìn)料傳感器、到位傳感器和出料傳感器；所述編碼器分別與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置和傳輸驅(qū)動(dòng)組件連接；所述進(jìn)料傳感器安裝在進(jìn)料口位置；所述出料傳感器安裝在出料口位置；所述到位傳感器安裝在所述頂面圓盤上。
[0018]其中，所述控制系統(tǒng)還包括限位開關(guān)組件，所述限位開關(guān)組件由安裝在所述旋轉(zhuǎn)單元支撐板的限位開關(guān)以及安裝在旋轉(zhuǎn)圓盤上金屬感應(yīng)塊組成；所述限位開關(guān)與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置連接。
[0019]其中，所述控制系統(tǒng)還包括機(jī)械限位塊，所述機(jī)械限位塊設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)單元支撐板上，用于與所述金屬感應(yīng)塊卡合。
[0020](三)有益效果
[0021]本發(fā)明提供的傳輸傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，由旋轉(zhuǎn)單元和由旋轉(zhuǎn)單元支撐的傳輸單元組成。傳輸單元包括傳輸驅(qū)動(dòng)組件、主動(dòng)輪、從動(dòng)輪、傳送帶以及頂面圓盤，硅片花籃放置在頂面圓盤上，由傳輸驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪和從動(dòng)輪以及傳送帶移動(dòng)起到傳送硅片花籃的功能，使硅片花籃進(jìn)入和離開90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。旋轉(zhuǎn)單元由旋轉(zhuǎn)單元支撐板、旋轉(zhuǎn)圓盤和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置組成，旋轉(zhuǎn)圓盤在旋轉(zhuǎn)單元支撐板的圓孔中平穩(wěn)的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)傳輸單元及放置在傳輸單元上的硅片花籃轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)傳輸單元和旋轉(zhuǎn)單元的配合實(shí)現(xiàn)傳輸線上的硅片花籃90°的旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)硅片花籃的轉(zhuǎn)向。由于旋轉(zhuǎn)圓盤放置在偏心凸輪導(dǎo)向器上，其旋轉(zhuǎn)過(guò)程平穩(wěn)性好，克服現(xiàn)有技術(shù)旋轉(zhuǎn)時(shí)平衡性差的問(wèn)題。同時(shí)，通過(guò)控制系統(tǒng)的多重保障作用，實(shí)現(xiàn)硅片花籃準(zhǔn)確的進(jìn)行90°的旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)角度準(zhǔn)確度的提升，符合硅片生產(chǎn)過(guò)程中運(yùn)輸硅片所需的平穩(wěn)性和準(zhǔn)確性要求。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1為本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)正視圖；[0023]圖2為本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0024]圖3為本發(fā)明內(nèi)部結(jié)構(gòu)的立體軸側(cè)視圖；
[0025]圖4為圖3中I部分的放大圖；
[0026]圖5為本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)單元的仰視圖；
[0027]圖6為本發(fā)明的傳輸單元的右視圖；
[0028]圖7為圖6沿B-B部分的剖示圖；
[0029]圖8為本發(fā)明傳輸單元的仰視圖；
[0030]圖中，1:上護(hù)罩；2:下護(hù)罩；3:旋轉(zhuǎn)單元支撐板；4:支架；5:頂面圓盤；6:傳送帶；7:導(dǎo)向條；8:到位傳感器；9:進(jìn)料傳感器；10:出料傳感器；11:第一伺服電機(jī)；12:傳輸單元支撐板；13:編碼器；14:小同步帶輪；15:同步帶；16:旋轉(zhuǎn)圓盤；17:大同步帶輪；18:偏心凸輪導(dǎo)向器；19:主動(dòng)輪；20:從動(dòng)輪；21:連接板；22:圓孔；23:機(jī)械限位塊；24:限位開關(guān)；25:金屬感應(yīng)塊；26:凸輪導(dǎo)向器；27:第二伺服電機(jī)；28:減速器；29:轉(zhuǎn)動(dòng)軸；30:張緊調(diào)節(jié)組件；31:張緊輪；32:張緊動(dòng)板；33:張緊靜板；34:里頂螺釘；35:外拉螺釘；36:調(diào)節(jié)螺母；37:頂面支撐板。
【具體實(shí)施方式】
[0031]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。
[0032]如圖1至7所示，本發(fā)明傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括由支架4支撐的旋轉(zhuǎn)單元以及由旋轉(zhuǎn)單元通過(guò)連接板21支撐連接的傳輸單元；旋轉(zhuǎn)單元包括旋轉(zhuǎn)單元支撐板
3、旋轉(zhuǎn)圓盤16、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置以及多個(gè)偏心凸輪導(dǎo)向器18，旋轉(zhuǎn)單元支撐板3安裝在支架4上，旋轉(zhuǎn)單元支撐板3的中心設(shè)有圓孔22，圓孔22的直徑大于旋轉(zhuǎn)圓盤16的直徑；旋轉(zhuǎn)圓盤16安裝在圓孔22中；偏心凸輪導(dǎo)向器18安裝在旋轉(zhuǎn)單元支撐板3下板面的圓孔22周圍，偏心凸輪導(dǎo)向器18滾輪的滾動(dòng)面與旋轉(zhuǎn)圓盤16的下盤面相切；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)圓盤16在圓孔22中轉(zhuǎn)動(dòng)。連接板21固定在旋轉(zhuǎn)圓盤16上。傳輸單元包括兩個(gè)傳輸單元支撐板12、頂面圓盤5、兩個(gè)主動(dòng)輪19、兩對(duì)從動(dòng)輪20、兩條傳送帶6以及傳輸驅(qū)動(dòng)組件，傳輸單元支撐板12對(duì)稱安裝在連接板21的兩邊，頂面圓盤5水平安裝在傳輸單元支撐板12的上部；主動(dòng)輪19和從動(dòng)輪20以對(duì)稱方式旋轉(zhuǎn)安裝在兩個(gè)傳輸單元支撐板12上；兩對(duì)從動(dòng)輪20水平安裝在傳輸單元支撐板12靠近頂面圓盤5的位置，從動(dòng)輪20的上沿高于頂面圓盤5的上盤面；兩條傳送帶6分別纏繞在位于同一個(gè)傳輸單兀支撐板12上的主動(dòng)輪19和從動(dòng)輪20上；傳輸驅(qū)動(dòng)組件通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸29與主動(dòng)輪19連接，驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪19轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0033]旋轉(zhuǎn)單元支撐板3的圓孔22的直徑稍大于旋轉(zhuǎn)圓盤16的直徑，旋轉(zhuǎn)圓盤16可以在圓孔22中轉(zhuǎn)動(dòng)。偏心凸輪導(dǎo)向器18通過(guò)偏心凸輪導(dǎo)向器18支架4安裝在旋轉(zhuǎn)單元支撐板3圓孔22的周圍，滾輪滾動(dòng)面與旋轉(zhuǎn)圓盤16的下底面相切，偏心凸輪導(dǎo)向器18支撐旋轉(zhuǎn)圓盤16在圓孔22中轉(zhuǎn)動(dòng)。連接板21固定在旋轉(zhuǎn)圓盤16上，旋轉(zhuǎn)單元通過(guò)旋轉(zhuǎn)圓盤16和連接板21支撐傳輸單元，傳輸單元隨著旋轉(zhuǎn)圓盤16轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)，而且旋轉(zhuǎn)準(zhǔn)確度較高。傳送帶6纏繞在主動(dòng)輪19、從動(dòng)輪20和張緊輪31上，利用張緊輪31張緊傳送帶6，使傳送帶6與主動(dòng)輪19同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)；橫跨在兩個(gè)水平從動(dòng)輪20上的部分傳送帶6位于頂面圓盤5上方，該部分傳送帶6利用摩擦力作用傳送硅片花籃。利用傳送帶6對(duì)硅片花籃進(jìn)行傳送，其平穩(wěn)性能也較好。
[0034]旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)工作時(shí)，當(dāng)娃片花籃進(jìn)入頂面圓盤5橫跨于兩條傳送帶6時(shí),傳輸單元工作，傳送驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸29轉(zhuǎn)動(dòng)，主動(dòng)輪19和從動(dòng)輪20轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)傳送帶6傳送硅片花籃，當(dāng)硅片花籃移動(dòng)到設(shè)定的位置時(shí)，傳輸單元停止工作；旋轉(zhuǎn)單元開始工作，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)安裝在旋轉(zhuǎn)單元支撐板3圓孔22內(nèi)的旋轉(zhuǎn)圓盤16以及由旋轉(zhuǎn)圓盤16和連接板21支撐的傳輸單元轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)硅片花籃轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)硅片花籃轉(zhuǎn)動(dòng)90°時(shí)，旋轉(zhuǎn)單元停止工作；傳輸單元繼續(xù)傳輸硅片花籃，直到硅片花籃離開頂面圓盤5，傳輸單元停止工作；最后旋轉(zhuǎn)單元復(fù)位，進(jìn)行下一次旋轉(zhuǎn)工作。
[0035]進(jìn)一步的，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括設(shè)在旋轉(zhuǎn)圓盤16上與旋轉(zhuǎn)圓盤16同軸的大同步帶15輪，與大同步帶15輪通過(guò)同步帶15連接的小同步帶15輪14,用于驅(qū)動(dòng)小同步帶15輪14的第一伺服電機(jī)11 ;第一伺服電機(jī)11安裝在旋轉(zhuǎn)單兀支撐板3上。通過(guò)第一伺服電機(jī)11驅(qū)動(dòng)小同步帶15輪14和大同步帶15輪帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)圓盤16以及由旋轉(zhuǎn)圓盤16支撐的傳輸單元轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0036]進(jìn)一步的，傳輸驅(qū)動(dòng)組件包括第二伺服電機(jī)27和減速器28，第二伺服電機(jī)27通過(guò)減速器28與轉(zhuǎn)動(dòng)軸29連接。通過(guò)第二伺服電機(jī)27與減速器28的配合驅(qū)動(dòng)傳輸單元對(duì)硅片花籃進(jìn)行移動(dòng)，移動(dòng)平穩(wěn)。
[0037]進(jìn)一步的，還包括多個(gè)凸輪導(dǎo)向器26，多個(gè)凸輪導(dǎo)向器26分別安裝在旋轉(zhuǎn)單元支撐板3的上板面和下板面，凸輪導(dǎo)向器26滾輪的滾動(dòng)面與旋轉(zhuǎn)圓盤16的側(cè)面相切。凸輪導(dǎo)向器26滾輪的滾動(dòng)面與旋轉(zhuǎn)圓盤16的側(cè)面相切，進(jìn)一步限定旋轉(zhuǎn)圓盤16沿徑向的自由度，使旋轉(zhuǎn)圓盤16在圓孔22中轉(zhuǎn)動(dòng)更加平穩(wěn)，提高旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)工作的平穩(wěn)性，避免硅片花籃跌落，損傷硅片。優(yōu)選的，凸輪導(dǎo)向器26為八個(gè)，其中四個(gè)安裝在上板面，四個(gè)安裝在下板面，呈矩形分布。
[0038]旋轉(zhuǎn)單元支撐板3上板面的圓孔22周圍也設(shè)有多個(gè)偏心凸輪導(dǎo)向器18，偏心凸輪導(dǎo)向器18滾輪的滾動(dòng)面與旋轉(zhuǎn)圓盤16的上盤面相切。通過(guò)設(shè)置在旋轉(zhuǎn)單元支撐板3上板面的偏心凸輪導(dǎo)向器18向下壓緊旋轉(zhuǎn)圓盤16，既然可以進(jìn)一步使旋轉(zhuǎn)單元旋轉(zhuǎn)更加平穩(wěn)，同時(shí)也防止整個(gè)旋轉(zhuǎn)單元及由旋轉(zhuǎn)單元支撐的傳輸單元發(fā)生傾覆。
[0039]進(jìn)一步的，頂面圓盤5的上盤面設(shè)有兩條導(dǎo)向條7，兩條導(dǎo)向條7分別位于傳送帶6兩邊位置，兩條導(dǎo)向條7之間的距離大于硅片花籃的寬度。通過(guò)導(dǎo)向條7，使硅片花籃順利進(jìn)入頂面圓盤5，同時(shí)在頂面圓盤5隨著旋轉(zhuǎn)單元旋轉(zhuǎn)時(shí)硅片花籃也能夠準(zhǔn)確的跟隨頂面圓盤5旋轉(zhuǎn)，保證轉(zhuǎn)向的準(zhǔn)確性。優(yōu)選的，為了使硅片花籃順利的進(jìn)入和離開頂面圓盤5，在兩條導(dǎo)向條7端部位置設(shè)有喇叭形開口。
[0040]進(jìn)一步的，如圖8所示，還包括張緊調(diào)節(jié)組件30，張緊調(diào)節(jié)組件30包括張緊輪31、張緊靜板33、張緊動(dòng)板32、里頂螺釘34和外拉螺釘35，張緊靜板33橫跨固定在傳輸單元支撐板12上；張緊動(dòng)板32橫跨滑動(dòng)連接在傳輸單元支撐板12上，張緊動(dòng)板32與張緊靜板33平行；張緊輪31旋轉(zhuǎn)安裝在張緊動(dòng)板32的兩端；張緊靜板33上設(shè)有通孔和螺孔；里頂螺釘34安裝在張緊靜板33的螺孔上，里頂螺釘34的端部頂住張緊動(dòng)板32 ;外拉螺釘35上裝有調(diào)節(jié)螺母36，外拉螺釘35穿過(guò)張緊靜板33的通孔，其端部固定的張緊動(dòng)板32上。調(diào)節(jié)螺母36位于螺釘頭與張緊靜板33之間的位置，在調(diào)節(jié)張緊輪31時(shí)，先把里頂螺釘34擰松，然后擰動(dòng)調(diào)節(jié)螺母36，通過(guò)調(diào)節(jié)將調(diào)節(jié)螺母36外拉張緊動(dòng)板32，使傳送帶6張緊，最后把里頂螺釘34擰緊，即完成張緊輪31的調(diào)節(jié)，以防傳送帶6因長(zhǎng)時(shí)間使用變松無(wú)法傳送硅片花籃。
[0041]還包括控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)包括編碼器13以及分別與編碼器13連接的進(jìn)料傳感器9、到位傳感器8和出料傳感器10 ;編碼器13分別與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置和傳輸驅(qū)動(dòng)組件連接；進(jìn)料傳感器9安裝在進(jìn)料口位置；出料傳感器10安裝在出料口位置；到位傳感器8安裝在頂面圓盤5上。
[0042]當(dāng)進(jìn)料傳感器9檢測(cè)到硅片花籃進(jìn)入到頂面圓盤5的信號(hào)時(shí)，發(fā)送信號(hào)給編碼器13，編碼器13控制傳輸驅(qū)動(dòng)組件工作，移動(dòng)硅片花籃；當(dāng)?shù)轿粋鞲衅?檢測(cè)到硅片花籃時(shí)，發(fā)送信號(hào)給編碼器13，編碼器13控制傳輸驅(qū)動(dòng)組件停止工作，控制旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置工作，驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)圓盤16旋轉(zhuǎn)90°，然后控制傳輸驅(qū)動(dòng)組件繼續(xù)工作，繼續(xù)移動(dòng)硅片花籃；當(dāng)出料傳感器10檢測(cè)到硅片花籃移出頂面圓盤5時(shí)，編碼器13控制傳輸驅(qū)動(dòng)組件停止工作，控制旋轉(zhuǎn)單元復(fù)位，進(jìn)行下一次工作。通過(guò)編碼器13能夠準(zhǔn)確的控制旋轉(zhuǎn)的角度，使旋轉(zhuǎn)角度準(zhǔn)確性高。
[0043]進(jìn)一步的，控制系統(tǒng)還包括限位開關(guān)24組件，限位開關(guān)24組件由安裝在旋轉(zhuǎn)單元支撐板3的限位開關(guān)24以及安裝在旋轉(zhuǎn)圓盤16上金屬感應(yīng)塊25組成，限位開關(guān)24與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置連接。當(dāng)旋轉(zhuǎn)圓盤16旋轉(zhuǎn)的角度為90°時(shí)，金屬感應(yīng)塊25不會(huì)觸碰到限位開關(guān)24 ;當(dāng)編碼器13控制出錯(cuò)誤時(shí)，旋轉(zhuǎn)圓盤16旋轉(zhuǎn)的角度超過(guò)90°，安裝在旋轉(zhuǎn)圓盤16上的金屬感應(yīng)塊25觸碰到限位開關(guān)24，限位開關(guān)24直接關(guān)閉旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，停止轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)一步提高旋轉(zhuǎn)的準(zhǔn)確性，防止旋轉(zhuǎn)角度超過(guò)90°。
[0044]
[0045]進(jìn)一步的，控制系統(tǒng)還包括機(jī)械限位塊23，機(jī)械限位塊23設(shè)置在旋轉(zhuǎn)單元支撐板3上，用于與金屬感應(yīng)塊25卡合。當(dāng)限位開關(guān)24也失效時(shí)，機(jī)械限位塊23卡合住金屬感應(yīng)塊25，使行程旋轉(zhuǎn)單元不能繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，防止意外發(fā)生。
[0046]進(jìn)一步的，還包括護(hù)罩，護(hù)罩由罩住傳輸單元的上護(hù)罩I和設(shè)置在支架4四周的下護(hù)罩2組成。護(hù)罩隔離旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的內(nèi)部裝置與外部空間接解，防止旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的內(nèi)部部件沉積灰塵，保證旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的正常工作。同時(shí)下護(hù)罩2在機(jī)構(gòu)安裝在工作臺(tái)時(shí)還起到支撐作用。
[0047]在兩個(gè)傳輸單元支撐板12之間設(shè)有一個(gè)頂面支撐板37，頂面支撐板37橫跨在傳輸單元支撐板12，位于頂面圓盤5的下方，使傳輸單元的整體強(qiáng)度和穩(wěn)定性得到提高。
[0048]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括由支架支撐的旋轉(zhuǎn)單元以及由旋轉(zhuǎn)單元通過(guò)連接板支撐連接的傳輸單元； 所述旋轉(zhuǎn)單元包括旋轉(zhuǎn)單元支撐板、旋轉(zhuǎn)圓盤、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置以及多個(gè)偏心凸輪導(dǎo)向器，所述旋轉(zhuǎn)單元支撐板安裝在所述支架上，旋轉(zhuǎn)單元支撐板的中心設(shè)有圓孔，圓孔的直徑大于旋轉(zhuǎn)圓盤的直徑；所述旋轉(zhuǎn)圓盤安裝在圓孔中；所述偏心凸輪導(dǎo)向器安裝在旋轉(zhuǎn)單元支撐板下板面的圓孔周圍，偏心凸輪導(dǎo)向器滾輪的滾動(dòng)面與旋轉(zhuǎn)圓盤的下盤面相切；所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)圓盤在圓孔中轉(zhuǎn)動(dòng)； 所述連接板固定在旋轉(zhuǎn)圓盤上； 所述傳輸單元包括兩個(gè)傳輸單元支撐板、頂面圓盤、兩個(gè)主動(dòng)輪、兩對(duì)從動(dòng)輪、兩條傳送帶以及傳輸驅(qū)動(dòng)組件，所述傳輸單元支撐板對(duì)稱安裝在連接板的兩邊，所述頂面圓盤水平安裝在傳輸單元支撐板的上部；所述主動(dòng)輪和從動(dòng)輪以對(duì)稱方式旋轉(zhuǎn)安裝在兩個(gè)傳輸單元支撐板上；所述從動(dòng)輪水平安裝在傳輸單元支撐板靠近頂面圓盤的位置，從動(dòng)輪的上沿高于頂面圓盤的上盤面；所述兩條傳送帶分別纏繞在位于同一個(gè)傳輸單元支撐板上的主動(dòng)輪和從動(dòng)輪上；所述傳輸驅(qū)動(dòng)組件通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸與所述主動(dòng)輪連接，驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括設(shè)在旋轉(zhuǎn)圓盤上與旋轉(zhuǎn)圓盤同軸的大同步帶輪，與大同步帶輪通過(guò)同步帶連接的小同步帶輪，用于驅(qū)動(dòng)小同步帶輪的第一伺服電機(jī)；所述第一伺服電機(jī)安裝在旋轉(zhuǎn)單元支撐板上。
3.如權(quán)利要求1所述的傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳輸驅(qū)動(dòng)組件包括第二伺服電機(jī)和減速器，所述第二伺服電機(jī)通過(guò)減速器與所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接。
4.如權(quán)利要求1所述的傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括多個(gè)凸輪導(dǎo)向器，所述多個(gè)凸輪導(dǎo)向器分別安裝在所述旋轉(zhuǎn)單元支撐板的上板面和下板面，凸輪導(dǎo)向器滾輪的滾動(dòng)面與旋轉(zhuǎn)圓盤的側(cè)面相切。
5.如權(quán)利要求1所述的傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)單元支撐板上板面的圓孔周圍也設(shè)有多個(gè)偏心凸輪導(dǎo)向器，所述偏心凸輪導(dǎo)向器滾輪的滾動(dòng)面與所述旋轉(zhuǎn)圓盤的上盤面相切。
6.如權(quán)利要求1所述的傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述頂面圓盤的上盤面設(shè)有兩條導(dǎo)向條，所述兩條導(dǎo)向條分別位于傳送帶兩邊位置，所述兩條導(dǎo)向條之間的距離大于硅片花籃的寬度。
7.如權(quán)利要求1所述的傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括張緊調(diào)節(jié)組件，所述張緊調(diào)節(jié)組件包括張緊輪、張緊靜板、張緊動(dòng)板、里頂螺釘和外拉螺釘，所述張緊靜板橫跨固定在傳輸單元支撐板上；所述張緊動(dòng)板橫跨滑動(dòng)連接在傳輸單元支撐板上，張緊動(dòng)板與張緊靜板平行；所述張緊輪旋轉(zhuǎn)安裝在張緊動(dòng)板的兩端；所述張緊靜板上設(shè)有通孔和螺孔；所述里頂螺釘安裝在張緊靜板的螺孔上，里頂螺釘?shù)亩瞬宽斪埦o動(dòng)板；所述外拉螺釘上裝有調(diào)節(jié)螺母，外拉螺釘穿過(guò)張緊靜板的通孔，其端部固定的張緊動(dòng)板上。
8.如權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)包括編碼器以及分別與編碼器連接的進(jìn)料傳感器、到位傳感器和出料傳感器；所述編碼器分別與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置和傳輸驅(qū)動(dòng)組件連接；所述進(jìn)料傳感器安裝在進(jìn)料口位置；所述出料傳感器安裝在出料口位置；所述到位傳感器安裝在所述頂面圓盤上。
9.如權(quán)利要求8所述的傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述控制系統(tǒng)還包括限位開關(guān)組件，所述限位開關(guān)組件由安裝在所述旋轉(zhuǎn)單元支撐板的限位開關(guān)以及安裝在旋轉(zhuǎn)圓盤上金屬感應(yīng)塊組成；所述限位開關(guān)與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置連接。
10.如權(quán)利要求9所述的傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述控制系統(tǒng)還包括機(jī)械限位塊，所述機(jī)械限位塊設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)單元支撐板上，用于與所述金屬感應(yīng)塊卡合。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK103681423SQ201310642510
【公開日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年12月3日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月3日
【發(fā)明者】李廣旭, 張恒峰, 王守琛, 徐現(xiàn)飛, 李補(bǔ)忠, 王廣明 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司