放置設(shè)備的放置頭的運(yùn)動(dòng)學(xué)保持系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】放置設(shè)備的放置頭(2)的運(yùn)動(dòng)學(xué)保持系統(tǒng)包括：放置頭對準(zhǔn)裝置，其包括至少一個(gè)長度可變的保持構(gòu)件，該保持構(gòu)件布置在所述放置頭支撐件(1)和所述放置頭(2)之間且與接頭(4、4′)成間距。該保持構(gòu)件確定所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(1)的樞轉(zhuǎn)位置。該保持構(gòu)件的長度在放置操作期間可以根據(jù)由所述放置頭(2)壓抵在襯底(3)上的擠壓力而導(dǎo)致的放置頭引導(dǎo)裝置(18)的變形以如下方式而改變，即，補(bǔ)償由所述放置頭引導(dǎo)裝置(18)的變形而導(dǎo)致的所述放置頭(2)的軸線誤差(傾斜度)。
【專利說明】放置設(shè)備的放置頭的運(yùn)動(dòng)學(xué)保持系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及放置設(shè)備的放置頭的運(yùn)動(dòng)學(xué)保持系統(tǒng)，該放置設(shè)備用于具體地在半導(dǎo)體工業(yè)中將電子部件或光學(xué)部件安裝在襯底上。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體工業(yè)中的放置設(shè)備需要以高精度且高產(chǎn)量地運(yùn)行。這樣的放置設(shè)備的一個(gè)例子是貼片機(jī)或取放機(jī)器，其將半導(dǎo)體芯片形式的部件放置且結(jié)合到諸如引線框的襯底上。所述部件由放置頭具體地通過吸力在拾取位置處接收，經(jīng)由放置設(shè)備的XYZ操縱系統(tǒng)移動(dòng)到襯底上方的放置點(diǎn)，之后被放置在襯底上精確限定的位置處。放置頭固定到放置頭支撐件上，并且經(jīng)由所述支撐件聯(lián)接到XYZ操縱系統(tǒng)。Z方向通常對應(yīng)于豎直方向，而XY平面形成水平平面。
[0003]除了在XY平面上的部件的高精度放置以外，還非常重要的是部件還以平面平行的方式放置在襯底上。部件的傾斜放置會(huì)導(dǎo)致不期望的性質(zhì)，例如，保持力降低，電接觸變差或喪失，部件和襯底之間的熱傳遞不均勻，或者對部件造成損壞。
[0004]在放置過程期間，要考慮的問題是，當(dāng)部件被壓到襯底上時(shí)，由于產(chǎn)生的遠(yuǎn)非微不足道的擠壓力將引起反作用力，該反作用力會(huì)導(dǎo)致放置頭引導(dǎo)裝置即放置頭支撐件和/或XYZ操縱系統(tǒng)變形。在剛性連接到放置頭支撐件上的放置頭中，這種變形導(dǎo)致放置頭的傾斜，從而導(dǎo)致軸線誤差(“傾斜度”)，所述軸線誤差會(huì)引起部件相對于襯底表面產(chǎn)生各種傾斜位置，并且進(jìn)一步地導(dǎo)致部件在XYZ平面上產(chǎn)生不期望的偏移。
[0005]在現(xiàn)有技術(shù)情形下發(fā)生的這樣的變形在圖2中示意性地示出。從如圖1所示的未加載的位置開始、由于變形引起的放置頭2連同放置頭支撐件I的傾斜度而導(dǎo)致的軸線誤差或傾斜誤差被標(biāo)示為“傾斜度”。在放置頭2的底端處發(fā)生的另外的側(cè)向偏移被標(biāo)示為“a”，該放置頭上保持有未示出的部件。“F”指示作用在放置頭2上的反作用力，該反作用力在放置頭2垂直地壓到襯底3上時(shí)由擠壓力產(chǎn)生。
[0006]為了避免這種不期望的軸線誤差，已知的是盡可能堅(jiān)硬地制成放置頭支撐件。盡管采用輕量構(gòu)造中的最好技術(shù)，也不可避免地導(dǎo)致相對大的質(zhì)量。由于這種厚重構(gòu)造，在給定的驅(qū)動(dòng)功率下，放置設(shè)備的生產(chǎn)量會(huì)顯著地減少。此外，即使在放置頭支撐件高度厚重的布置的情況下，也決不能完全地防止放置頭在其頂端處會(huì)總是稍微地屈服，當(dāng)部件被壓到襯底上時(shí)，所述放置頭頂端容納所述部件。
[0007]還已知的方法是以對稱的方式布置放置頭支撐件。在這種對稱布置的情況下，放置頭將在兩側(cè)上被均勻地支撐。雖然這防止了由于擠壓力而導(dǎo)致的放置頭的傾斜度，但是相對于其設(shè)計(jì)而言，放置設(shè)備的布置，具體地是放置頭支撐件和放置頭的布置，將會(huì)受到非常大的限制。這導(dǎo)致機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)方面的缺陷，類似可訪問性降低以及復(fù)雜或過多的部件等。
[0008]放置頭保持系統(tǒng)可以從W02008/052594A1中獲知。放置頭通過包括空氣軸承的滑動(dòng)接頭而可傾斜地固定到工具保持器。在將放置頭在無元部件而具有釋放的空氣軸承的情況下放置在襯底上的方式下，發(fā)生放置頭的傾斜位置的補(bǔ)償，其中，放置頭將以放置頭的底面與襯底表面平行的方式，相對于放置頭支撐件自動(dòng)地對準(zhǔn)。之后，鎖定空氣軸承，并從襯底升起放置頭。放置頭相對于放置頭支撐件的調(diào)整后的傾斜角度在該過程中被保持，并用于接下來的放置過程。此外，以僅象征性的方式暗示了調(diào)整設(shè)備，當(dāng)在不壓靠襯底的情況下設(shè)定具體的傾斜位置時(shí)，借助于該調(diào)整設(shè)備，能夠用激活的空氣軸承將放置頭定位。因此，W02008/052594A1僅涉及在實(shí)際放置過程之前，執(zhí)行放置頭的預(yù)設(shè)定。不能由此已知的保持系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)在放置過程期間的放置頭的軸線誤差的持續(xù)補(bǔ)償。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]因此，本發(fā)明所基于的目的是提供一種用于放置頭的保持系統(tǒng)，即使所述保持系統(tǒng)具有不對稱的放置頭支撐件，也能夠以高放置力且高產(chǎn)量地將元部件高精度地、平面平行地放置在襯底上，而不必以特別堅(jiān)硬的方式布置放置頭引導(dǎo)裝置。
[0010]在根據(jù)本發(fā)明的保持系統(tǒng)中，所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括至少一個(gè)長度可變的保持構(gòu)件，該保持構(gòu)件布置在所述放置頭支撐件和所述放置頭之間且與所述接頭成間距，該保持構(gòu)件確定所述放置頭相對于所述放置頭支撐件的樞轉(zhuǎn)位置，并且該保持構(gòu)件的長度在放置操作期間可以根據(jù)由所述放置頭壓抵所述襯底的擠壓力而導(dǎo)致的所述放置頭引導(dǎo)裝置的變形，以補(bǔ)償由所述放置頭引導(dǎo)裝置的變形導(dǎo)致的所述放置頭的軸線誤差的方式而改變。
[0011]因此，根據(jù)權(quán)利要求1所述的本發(fā)明的保持系統(tǒng)的特征在于，設(shè)置長度可變的保持構(gòu)件，其中，由于所述保持構(gòu)件長度的改變，該保持構(gòu)件使放置頭產(chǎn)生相對于放置頭支撐件的關(guān)于接頭的樞轉(zhuǎn)移動(dòng)，放置頭經(jīng)由該接頭被支撐在放置頭支撐件上。長度可變的保持構(gòu)件可以涉及呈彈簧形式的受動(dòng)元件，或者呈行程控制或力控制的致動(dòng)器形式的主動(dòng)元件。
[0012]這允許對于放置頭引導(dǎo)裝置即XYZ操縱系統(tǒng)和/或放置頭支撐件的任何變形，以持續(xù)的方式在放置操作期間調(diào)整放置頭的傾斜度即傾斜位置。因此，創(chuàng)建了用于放置頭的如下運(yùn)動(dòng)學(xué)保持系統(tǒng)，其能夠使放置誤差最小化，并且能夠同時(shí)避免剛度過高。因此，本發(fā)明允許實(shí)現(xiàn)質(zhì)量上明顯地減小，由此在相同的驅(qū)動(dòng)功率下放置生產(chǎn)量將顯著提高。
[0013]根據(jù)有利的實(shí)施例，所述長度可變的保持構(gòu)件具有與所述放置頭的縱向軸線平行布置的縱向軸線，其中，所述保持構(gòu)件和所述接頭具體地布置在所述放置頭的縱向軸線的兩個(gè)相反側(cè)上。結(jié)果，在部件壓抵襯底期間所產(chǎn)生的反作用力能夠以經(jīng)由接頭且還經(jīng)由長度可變的保持構(gòu)件的簡單方式從放置頭傳遞到放置頭支撐件上。然后，保持構(gòu)件的長度將根據(jù)變形所引起的接合件的移位而以被動(dòng)的方式，具體地是通過彈簧，或以主動(dòng)的方式，具體地是通過致動(dòng)器調(diào)整，使得在放置頭引導(dǎo)裝置任何變形期間，也可維持放置頭的期望的軸向位置。
[0014]主要地，長度可變的保持構(gòu)件的縱向軸線相對于放置頭的縱向軸線成0°和90°之間的任意角度布置，特別是橫向于放置頭的縱向軸線地即與放置頭的縱向軸線成90°布置。
[0015]根據(jù)有利的實(shí)施例，所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括多個(gè)接頭桿，接頭桿經(jīng)由接頭連接到所述放置頭且還連接到所述放置頭支撐件，并且所述接頭桿將所述放置頭保持在相對于所述放置頭支撐件可以改變的預(yù)定位置上，其中，所述接頭桿的相對位置可以通過所述長度可變的保持構(gòu)件，以補(bǔ)償所述放置頭的由變形引起的軸線誤差的方式進(jìn)行改變。
[0016]根據(jù)有利的實(shí)施例，所述長度可變的保持構(gòu)件由呈彈簧形式的受動(dòng)元件組成，該受動(dòng)元件以擠壓力在一方面經(jīng)由所述接頭而在另一方面經(jīng)由所述彈簧由所述放置頭支撐件傳遞到所述放置頭的方式，布置在所述放置頭支撐件和所述放置頭之間，其中，由擠壓力產(chǎn)生的反作用力使所述彈簧的長度產(chǎn)生改變。這種長度上的改變被以如下方式調(diào)整以適應(yīng)變形引起的接頭的移位，所述方式使得:在按壓過程期間，即使在放置頭引導(dǎo)裝置變形的情況下，也維持放置頭相對于襯底的角度位置。
[0017]可替換地，所述長度可變的保持構(gòu)件還能夠由行程控制或力控制的致動(dòng)器，具體地是電直接驅(qū)動(dòng)器、音圈、或壓電驅(qū)動(dòng)器組成。具體地，可以考慮將步進(jìn)電機(jī)、DC電機(jī)或伺服電機(jī)作為電直接驅(qū)動(dòng)器。
[0018]在力效果不足的情況下，能夠以杠桿布置為形式或以齒輪為形式來提供傳動(dòng)件，致動(dòng)器通過所述傳動(dòng)件在所述放置頭的軸向位置上動(dòng)作。特別地，可以考慮將主軸驅(qū)動(dòng)器作為所述齒輪。
[0019]優(yōu)選地，所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括運(yùn)動(dòng)阻擋裝置，用于阻擋所述放置頭相對于所述放置頭支撐件的相對移動(dòng)。當(dāng)放置頭被快速移位、加速和制動(dòng)時(shí)，能夠以這種方式防止放置頭相對于放置頭支撐件的不受控制的自由移動(dòng)。這樣的對移動(dòng)的阻擋將以使致動(dòng)器被構(gòu)建成可鎖定的致動(dòng)器的方式而適當(dāng)?shù)匦纬?。作為可替換地，除了致動(dòng)器以外，也可以在放置頭和放置頭支撐件之間設(shè)置鎖定裝置，該鎖定裝置與致動(dòng)器分開。
[0020]優(yōu)選地，所述放置頭以鐘擺的方式在其上端區(qū)域或底端區(qū)域中懸掛在所述放置頭支撐件上，并且通過接頭被支撐在Z方向上，該接頭具有至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度。此外，在此情況下，用于調(diào)整所述放置頭相對于所述放置頭支撐件的傾斜度的至少一個(gè)長度可變的保持構(gòu)件設(shè)置在所述接頭下方或上方。因此，在這種情況下，放置頭布置為一維或多維鐘擺，具體地是二維鐘擺。具體地，接頭能夠構(gòu)建為單軸線接頭、球窩接頭或萬向接頭(還已知的是萬向接頭)。
[0021]優(yōu)選地，設(shè)置多個(gè)長度可變的保持構(gòu)件，它們以在所述放置頭上從不同方向動(dòng)作的方式進(jìn)行布置，以使得所述放置頭能夠在空間上多維樞轉(zhuǎn)。這允許有目的地調(diào)整放置頭在空間上的傾斜度，以補(bǔ)償由變形引起的放置頭的軸線誤差。
[0022]還通過根據(jù)權(quán)利要求15所述的運(yùn)動(dòng)學(xué)保持系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)最初提及的目的。根據(jù)該實(shí)施例，所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括至少一個(gè)剛性接頭元件，該剛性接頭元件包括:剛性連接到所述放置頭支撐件的至少一個(gè)第一剛性接頭臂；和剛性連接到所述放置頭且通過剛性接頭彈性連接到所述第一剛性接頭臂上的至少一個(gè)第二剛性接頭臂。所述第二剛性接頭臂可以根據(jù)由所述放置頭在所述襯底上的擠壓力而導(dǎo)致的所述放置頭支撐件的變形，以補(bǔ)償由所述放置頭支撐件的變形導(dǎo)致的所述放置頭的軸線誤差的方式相對于所述第一剛性接頭臂變形。
[0023]優(yōu)選地，所述接頭的旋轉(zhuǎn)軸線相對于變形旋轉(zhuǎn)軸線以使得通過所述接頭的旋轉(zhuǎn)軸線且通過所述變形旋轉(zhuǎn)軸線的直線在放置頭未加載和加載狀態(tài)下相對于水平平面處在-45°和+45°之間的角度范圍內(nèi)的方式進(jìn)行布置，所述放置頭引導(dǎo)裝置關(guān)于該變形旋轉(zhuǎn)軸線的變形由擠壓力的反作用而產(chǎn)生，所述變形旋轉(zhuǎn)軸線25被設(shè)置在該水平平面中。這不僅允許補(bǔ)償軸線誤差，而且使得部件由于放置頭引導(dǎo)裝置的變形而在XY平面上的移位導(dǎo)致的側(cè)向偏移最小化。根據(jù)有利的實(shí)施例，當(dāng)在放置頭未加載狀態(tài)下接頭的旋轉(zhuǎn)軸線位于變形旋轉(zhuǎn)軸線下方以及在全部的放置力下位于變形旋轉(zhuǎn)軸線上方時(shí)，這種側(cè)向偏移最小化將是特別有效的。如果在一半的放置力下，放置頭的旋轉(zhuǎn)軸線位于與放置頭引導(dǎo)裝置的旋轉(zhuǎn)軸線相同的水平處，由于在這種情況下在部件的端部位置上的側(cè)向偏移特別小或者被完全地避免，所以這是特別有利的。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]附圖并入并構(gòu)成本說明書的一部分，其圖示了本發(fā)明的一個(gè)或更多個(gè)實(shí)施例，并且與詳細(xì)的說明書一起用于解釋本發(fā)明的原理和實(shí)現(xiàn)。附圖是示意性繪制的，并且不成比例。其中:
[0025]圖1示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的在未加載位置上的放置頭的示意性圖示，該放置頭剛性地連接到放置頭支撐件；
[0026]圖2示出根據(jù)圖1的圖示，用于圖示在放置頭壓抵襯底期間，變形引起的軸線誤差;
[0027]圖3示出根據(jù)本發(fā)明的保持系統(tǒng)在未加載狀態(tài)下的示意性圖示，其主要的構(gòu)造大致對應(yīng)于圖16至圖19的構(gòu)造，包括對旋轉(zhuǎn)軸線的相對位置的指示；
[0028]圖4示出在未加載和加載狀態(tài)下的圖3的保持系統(tǒng)，用于圖示最小的側(cè)向偏移；
[0029]圖5示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的包括放置頭對準(zhǔn)裝置的放置頭支撐件和處在未加載狀態(tài)下的放置頭的側(cè)視圖；
[0030]圖6示出在壓抵襯底期間圖5的布置的側(cè)視圖；
[0031]圖7以空間表示示出圖5的布置；
[0032]圖8以空間表示示出圖6的布置；
[0033]圖9示出在未加載狀態(tài)下的本發(fā)明第二實(shí)施例的側(cè)視圖；
[0034]圖10示出當(dāng)壓抵襯底時(shí)圖9的布置的側(cè)視圖；
[0035]圖11以空間表示示出圖9的布置；
[0036]圖12示出在未加載狀態(tài)下的本發(fā)明第三實(shí)施例的側(cè)視圖；
[0037]圖13示出當(dāng)壓抵襯底時(shí)圖12的布置；
[0038]圖14示出本發(fā)明第四實(shí)施例的空間局部截面示圖；
[0039]圖15示出結(jié)合了 XYZ操縱系統(tǒng)的圖14的布置；
[0040]圖16示出在未加載狀態(tài)下本發(fā)明第五實(shí)施例的側(cè)視圖；
[0041]圖17示出當(dāng)壓抵襯底時(shí)圖16的布置；
[0042]圖18以空間表示示出圖16的布置；
[0043]圖19以空間表示示出圖17的布置。
【具體實(shí)施方式】
[0044]圖5至圖8用于圖示根據(jù)本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)學(xué)保持系統(tǒng)的第一實(shí)施例。
[0045]保持系統(tǒng)包括放置頭支撐件I，放置設(shè)備的放置頭2通過接頭4以鉸接的方式安裝在該放置頭支撐件I上。放置頭2在底端處承載具有底接觸表面6的部件保持器5，以具體地通過負(fù)壓力保持電子部件或光學(xué)部件7。部件7以平面平行的方式擱置在底接觸表面6上。
[0046]這樣的放置設(shè)備用于以已知的方式在拾取狀態(tài)(未示出)處接收部件7，以通過XYZ操縱系統(tǒng)將其移動(dòng)到襯底3上方的精確的預(yù)定位置，并且接下來將部件7放置在襯底3上。放置頭支撐件I是放置頭引導(dǎo)裝置18的一部分，該放置頭引導(dǎo)裝置僅在圖15中示出，并且放置頭支撐件I包括將在下面更加詳細(xì)描述并且使得放置頭2能夠在X、Y和Z方向上被精確弓I導(dǎo)和放置的幾個(gè)托架。根據(jù)本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)學(xué)放置頭保持系統(tǒng)還能夠與其它放置頭引導(dǎo)裝置或操縱系統(tǒng)特別是r0操縱系統(tǒng)一起使用，在所述re操縱系統(tǒng)中，放置頭的位置由離旋轉(zhuǎn)軸線的距離和角度位置來確定。
[0047]在圖示的實(shí)施例(圖5至圖8)中，襯底3位于XY平面內(nèi)，因此位于水平平面內(nèi)。如圖5和圖7所示，在放置頭2的未加載狀態(tài)下，放置頭2的縱向軸線8被豎直地布置，并且因此在Z方向上延伸。
[0048]如圖5至圖8所示，放置頭支撐件I被不對稱地構(gòu)建，并且包括例如在Y托架31 (如圖15所示)上被引導(dǎo)且僅設(shè)置在放置頭2的一側(cè)上的引導(dǎo)部9。水平支撐臂10從引導(dǎo)部9延伸到放置頭2的相對側(cè)，且接頭4布置在所述支撐臂10的端部處。因此，接頭4和引導(dǎo)部9被設(shè)置在放置頭2的兩個(gè)相反側(cè)上。
[0049]控制臺11固定到放置頭2，所述控制臺11以法蘭的方式圍繞放置頭2并且布置為與支撐臂10在豎直方向上成間距。在放置頭2的所述一側(cè)上，控制臺11經(jīng)由接頭4以鉸接方式并且因而以可樞轉(zhuǎn)的方式連接到支撐臂10。在放置頭2的相對側(cè)上，控制臺11通過呈彈簧12形式的長度可變的保持構(gòu)件支撐在支撐臂10上。因此，彈簧12的長度的變化改變控制臺11相對于放置頭支撐件I呈現(xiàn)的角度，并且因此改變放置頭2相對于放置頭支撐件I呈現(xiàn)的角度。
[0050]當(dāng)放置頭2向下移位且部件7壓抵襯底3時(shí)，在放置頭2和放置頭支撐件I上施加與擠壓力相對應(yīng)的反作用力F，如圖6所示。所述反作用力F經(jīng)由接頭4并且還經(jīng)由彈簧12從放置頭2傳遞到放置頭支撐件I。如果此反作用力導(dǎo)致放置頭引導(dǎo)裝置18變形，并且因此導(dǎo)致放置頭支撐件I的位置傾斜(如圖6和圖8所示)，則該變形由彈簧12在長度上以維持放置頭2的初始對準(zhǔn)(即其豎直方向上的對準(zhǔn))的方式的變化來補(bǔ)償。為此，以如下方式調(diào)整彈簧12的剛度以適應(yīng)整個(gè)系統(tǒng)的剛度，所述方式使得:彈簧12在長度上的變化對應(yīng)于變形引起的接頭4在Z方向上的移位。因此，無論由變形引起的放置頭支撐件I的位置傾斜如何，控制臺11都將一直保持在水平位置上。因此，在按壓過程期間，即使在放置頭引導(dǎo)裝置18變形的情況下，也可維持放置頭2相對于襯底3的角度位置。
[0051]下面，將參考圖9至圖11解釋根據(jù)本發(fā)明的保持系統(tǒng)的第二實(shí)施例。
[0052]在該實(shí)施例中，放置頭2通過放置頭支撐件I的支撐臂10上的單軸線接頭4以鉸接的方式支撐在其上端區(qū)域中，所述支撐臂保持在一側(cè)上。在圖9中，支撐臂10在水平方向上延伸，而放置頭2的縱向軸線在豎直方向上延伸。放置頭2經(jīng)由接頭4以鐘擺的方式安裝在放置頭支撐件I上。在那里，通過以行程控制或力控制的致動(dòng)器13為形式的長度可變的保持構(gòu)件設(shè)定放置頭2相對于放置頭支撐件I的相對位置，該保持構(gòu)件一方面擱置在放置頭支撐件I上而另一方面擱置在放置頭2上。附圖示出在該實(shí)施例中，致動(dòng)器13的縱向軸線14水平延伸，并且因此與放置頭2的縱向軸線8垂直地延伸。此外，縱向軸線14在交叉點(diǎn)S與縱向軸線8交叉，該交叉點(diǎn)設(shè)置在接頭4下足夠的距離處。這允許致動(dòng)器13以相對低的致動(dòng)力相對于接頭4產(chǎn)生相對大的扭矩。在致動(dòng)器13的長度的相應(yīng)伸長或減小的情況下，放置頭2相對于放置頭支撐件I的角度以補(bǔ)償傾斜度軸線誤差的方式改變。
[0053]具體地，致動(dòng)器13可以是電直接驅(qū)動(dòng)器、音圈或壓電驅(qū)動(dòng)器。
[0054]如果在放置頭2抵壓襯底3期間發(fā)生放置頭引導(dǎo)裝置18d變形，如圖10示意性所示的，則在示例的實(shí)施例中致動(dòng)器13將以維持放置頭2的豎直對準(zhǔn)的方式在長度上減小。換句話說，這意味著放置頭2相對于放置頭支撐件I樞轉(zhuǎn)與由于反作用力F而使放置頭支撐件I相對于開始位置傾斜的角度相同的角度。
[0055]致動(dòng)器13的相應(yīng)驅(qū)動(dòng)控制以如下方式發(fā)生，即，作用在保持系統(tǒng)上的反作用力F或變形路徑由合適的傳感器測量，并且這些傳感器的輸出信號由合適的控制裝置轉(zhuǎn)換為用于致動(dòng)器13的致動(dòng)信號。
[0056]將參考圖12和圖13解釋根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例。在該實(shí)施例中，放置頭2經(jīng)由呈接頭桿15a、15b形式的專用桿運(yùn)動(dòng)學(xué)系統(tǒng)和呈長度可變的接頭桿16形式的長度可變的保持構(gòu)件而連接。接頭桿15a、15b、16以鉸接的方式一方面連接到放置頭支撐件1，而另一方面連接到放置頭2，并且以放置頭2相對于放置頭支撐件I的具體角度位置維持在接頭桿16的預(yù)定長度處的方式被布置。接頭桿16的長度上的任何變化都產(chǎn)生接頭桿15a、15b的角度變化，并且因此產(chǎn)生放置頭2相對于放置頭支撐件I的角度變化。
[0057]在兩部分的接頭桿16的長度上的變化經(jīng)由呈彈簧12形式的被動(dòng)保持構(gòu)件或者經(jīng)由呈行程控制或力控制的致動(dòng)器13形式的主動(dòng)保持構(gòu)件而發(fā)生，其能夠被以與第二實(shí)施例的連接中所述的相同方式進(jìn)行控制。
[0058]如果在放置頭2或部件7壓抵襯底3期間由于反作用力F而發(fā)生放置頭支撐件I相對于放置頭2的變形或傾斜，該變形引起接頭桿15a、15b的角度相應(yīng)的變化，則接頭桿16的長度以將維持放置頭2相對于襯底3 (即豎直位置)的期望的對準(zhǔn)方式(在實(shí)施例中長度減小)進(jìn)行改變。
[0059]將參考圖14和圖15解釋根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施例。該實(shí)施例與如參考圖9至圖11所解釋的實(shí)施例類似地操作，其中，放置頭2不是構(gòu)建為一維的鐘擺，而是構(gòu)建為能夠多維樞轉(zhuǎn)的鐘擺。為此，放置頭2在其上端處包括展現(xiàn)為球形軸承的接頭4'。具體地，該接頭可以是空氣軸承，靜壓軸承，機(jī)械球形頭軸承，或滾珠軸承球形頭軸承。此外，接頭4'也能夠布置為通用的接頭或多軸向剛性接頭。
[0060]放置頭2相對于放置頭支撐件I的位置即其樞轉(zhuǎn)位置由兩個(gè)致動(dòng)器13確定，所述致動(dòng)器彼此成角度地布置并且在所述放置頭上于放置頭2的底部區(qū)域中動(dòng)作。如附圖中所示，兩個(gè)致動(dòng)器13有利地彼此成直角地布置，其中一個(gè)致動(dòng)器13在X方向上動(dòng)作，另一個(gè)致動(dòng)器13在Y方向上動(dòng)作。通過減小或伸長一個(gè)或兩個(gè)致動(dòng)器13的長度，能夠在空間上實(shí)現(xiàn)放置頭2的樞轉(zhuǎn)移動(dòng)，由此，部件7的底部表面相對于襯底3的傾斜度能夠被改變和調(diào)整，因此部件7的底部表面相對于襯底3的角度能夠被改變和調(diào)整。
[0061]致動(dòng)器13可以是行程控制驅(qū)動(dòng)器或力控制驅(qū)動(dòng)器，所述致動(dòng)器由直接聯(lián)接或經(jīng)由合適的運(yùn)動(dòng)學(xué)系統(tǒng)(即經(jīng)由杠桿或齒輪)而一方面連接到放置頭2，另一方面連接到放置頭支撐件I。
[0062]圖14進(jìn)一步地示出致動(dòng)器13經(jīng)由電線連接到控制單元17，所述致動(dòng)器經(jīng)由該控制單元接收相應(yīng)的移動(dòng)命令。[0063]放置過程以如下方式適當(dāng)?shù)貓?zhí)行，S卩，與放置頭2協(xié)作的致動(dòng)器13有利地被阻擋直到部件7與襯底3接觸，使得在放置頭2的快速移位期間，放置頭2沒有發(fā)生不受控制的鐘擺式移動(dòng)。在放置頭2或部件7觸摸到襯底3上之前，直接釋放對致動(dòng)器13的阻擋，從而允許放置頭2關(guān)于接頭4'自由移動(dòng)。在部件7壓抵襯底3期間，與擠壓力相對應(yīng)的反作用力F經(jīng)由接頭4'和放置頭支撐件I傳遞到XYZ操縱系統(tǒng)，并且導(dǎo)致其變形。兩個(gè)致動(dòng)器13經(jīng)由控制單元17以如下方式進(jìn)行控制，所述方式使得:兩個(gè)致動(dòng)器以維持放置頭2的預(yù)定對準(zhǔn)(在本情況中是豎直對準(zhǔn))的方式改變放置頭2在X方向和/或Y方向上離放置頭支撐件I的距離。
[0064]在圖15中示意性示出的放置頭引導(dǎo)裝置18能夠用于本發(fā)明的所有實(shí)施例。該放置頭引導(dǎo)裝置包括X引導(dǎo)部28，在該X引導(dǎo)部上，橫向托架29可以在X方向上移動(dòng)。橫向托架29包括Y引導(dǎo)部30，在該Y引導(dǎo)部上，Y托架31可以在Y方向上移動(dòng)。Z引導(dǎo)部(未更加詳細(xì)地示出)旋轉(zhuǎn)在Y托架31上，在該Z引導(dǎo)部上，放置頭支撐件I可以在Z方向上移動(dòng)。X引導(dǎo)部28、橫向托架29、Y托架31以及在Y托架31和放置頭支撐件I之間的Z引導(dǎo)部是XYZ操縱系統(tǒng)的一部分。
[0065]根據(jù)本發(fā)明的放置頭補(bǔ)償設(shè)備不限于在這樣的放置頭引導(dǎo)裝置18中的使用。相反，與任意的放置頭引導(dǎo)裝置的組合是可能的。
[0066]用于操作根據(jù)本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)學(xué)保持系統(tǒng)的可替換的可能方案能夠如下所述，其中諸如致動(dòng)器13的主動(dòng)保持構(gòu)件用于軸線誤差補(bǔ)償:
[0067]1.在放置過程期間，一旦部件7接觸襯底3，則致動(dòng)器13將轉(zhuǎn)換為解除力。由襯底3和部件7之間的摩擦固定部件7。在施加擠壓力期間發(fā)生的變形將被補(bǔ)償。
[0068]2.部件7 —接觸襯底3，致動(dòng)器13就將施加特定的力或可變化的力，以將部件7保持在位置上。
[0069]3.在部件7已經(jīng)接觸襯底3之后，致動(dòng)器13將沿著特定路徑移位，以將部件7保持在位置上。
[0070]因此，借助于致動(dòng)器13能夠設(shè)定放置頭支撐件I和襯底3之間的角度。致動(dòng)器13的移位能夠改變放置頭2相對于襯底3的軸向位置，并且因此，無論放置頭支撐件I的角度如何變化，放置頭2和襯底3之間的角度都能夠被恒定保持為所需的值。作為如圖14和圖15所示的致動(dòng)器13的兩個(gè)軸線的實(shí)施例的結(jié)果，角度也能夠在空間上保持恒定。
[0071]將參考圖16至圖19更加詳細(xì)地解釋根據(jù)本發(fā)明的保持系統(tǒng)的第五實(shí)施例。該實(shí)施例與如圖5至圖8所示的第一實(shí)施例類似地構(gòu)建，但是不同之處在于，彈簧12和接頭4不是兩個(gè)分開的部件，而是以剛性接頭20的形式組合。具體地如圖18中所示，剛性接頭20是剛性接頭元件21的一部分，該剛性接頭元件21包括兩個(gè)第一剛性接頭臂22和一個(gè)介入的第二剛性接頭臂23。兩個(gè)第一剛性接頭臂22彼此相鄰平行成間距地延伸，并且在一端通過橫向臂24彼此連接。第二剛性接頭臂23布置在兩個(gè)第一剛性接頭臂22之間，在一端彈性地連接到橫向臂24，并且在另一端可以自由地移動(dòng)。因此，第二剛性接頭臂23能夠相對于第一剛性接頭臂22以舌狀物的樣式樞轉(zhuǎn)。橫向臂24以及因此剛性接頭20相對于放置頭2設(shè)置在與放置頭支撐件I的支撐臂10的自由端相同的一側(cè)上。
[0072]在圖示的實(shí)施例中，第二剛性接頭臂23的成形為板式，其中它包括貫通開口，放置頭2通過該貫通開口而被引導(dǎo)。此外，放置頭2剛性地連接到第二剛性接頭臂23。當(dāng)部件7放置在襯底3上且壓抵襯底(具體地如圖17所示)時(shí)，由于當(dāng)如圖17和圖19所示的放置頭2被壓入傾斜的位置時(shí)的擠壓力的反作用力，所以第二剛性接頭臂23的自由端相對于第一剛性接頭臂22向上樞轉(zhuǎn)，其中該傾斜位置是由放置頭引導(dǎo)裝置18的變形而引起的。以如下方式調(diào)整剛性接頭20的彈性以適于放置頭引導(dǎo)裝置18的變形，所述方式使得維持放置頭2的預(yù)定對準(zhǔn)并且因此維持部件7相對于襯底3表面的平面平行對準(zhǔn)。
[0073]下面，將參考圖3和圖4更加詳細(xì)地解釋如何能夠通過放置頭2的旋轉(zhuǎn)軸線26相對于放置頭引導(dǎo)裝置18的變形旋轉(zhuǎn)軸線25的具體布置而將側(cè)向偏移a(見圖2)最小化。這將通過參考主要結(jié)構(gòu)基本上與圖16至圖19中示出的結(jié)構(gòu)相對應(yīng)的放置頭對準(zhǔn)裝置，而在圖3和圖4中作進(jìn)一步地解釋。為了防止如參考圖3和圖4所解釋的側(cè)向偏移，而將旋轉(zhuǎn)軸線相對于彼此布置在特定相對位置上的原理能夠應(yīng)用于本發(fā)明的所有實(shí)施例。
[0074]圖3示出放置頭引導(dǎo)裝置18和處于未加載狀態(tài)即當(dāng)放置頭2或由放置頭2吸起的部件仍沒有被放置在襯底3上時(shí)的放置頭2。此未加載狀態(tài)也在圖4中由點(diǎn)劃線示出。該圖示示出放置頭2的放置軸線26在未加載狀態(tài)下位于比變形旋轉(zhuǎn)軸線25低hi尺寸的水平處，當(dāng)放置頭2被按壓在襯底3上且相應(yīng)的反作用力F從下方作用到放置頭2上時(shí)(圖4)，該變形旋轉(zhuǎn)軸線形成放置頭引導(dǎo)裝置18的由變形引起旋轉(zhuǎn)的中心。
[0075]圖4由實(shí)的、非虛線示出放置頭引導(dǎo)裝置18在壓抵襯底3之后由變形引起的扭曲以及放置頭2相對于放置頭引導(dǎo)裝置18的被改變的相對位置。在圖示的實(shí)施例中，由于反作用力F，放置頭2的放置軸線26以逆時(shí)針的方式在圓形弧上繞放置頭引導(dǎo)裝置18的變形旋轉(zhuǎn)軸線25向上樞轉(zhuǎn)。如果放置頭引導(dǎo)裝置18以如下方式動(dòng)作，即放置頭2的旋轉(zhuǎn)軸線26在預(yù)定擠壓力下位于變形軸線25之上h2尺寸，其中部件以該預(yù)定擠壓力被壓抵襯底3，并且該h2尺寸與在未加載狀態(tài)下放置軸線26位于變形旋轉(zhuǎn)軸線25之下的h尺寸一樣大，則由于變形而出現(xiàn)的側(cè)向偏移a等于O。因此，當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸線26在未加載狀態(tài)下位于比變形旋轉(zhuǎn)軸線25低的水平處時(shí)，可有利地將側(cè)向偏移a最小化，而旋轉(zhuǎn)軸線26在一半的放置力下位于與變形旋轉(zhuǎn)軸線25相同的水平處，在全部的放置力下位于變形旋轉(zhuǎn)軸線25的上方。
[0076]圖4示出通過放置頭接頭的旋轉(zhuǎn)軸線26和放置頭引導(dǎo)裝置18的變形旋轉(zhuǎn)軸線25的直線I在未加載狀態(tài)下位于比水平面h低角度-a的位置，該水平面h處于變形軸線25的高度處。當(dāng)放置頭2或部件壓抵襯底3時(shí)，在圖4中由附圖標(biāo)記I'指示的所述直線在水平面h之上成角度+a的位置上。當(dāng)所述直線I相對于水平面h在處于+45°和-45°之間的角度范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)，對于將側(cè)向偏移a最小化的目標(biāo)是有利的。移動(dòng)的范圍通常相對較小，并且典型地最多是10°，優(yōu)選地最多是5°。在這方面，作為圖4中示出的實(shí)施例的另一選擇，還可以是旋轉(zhuǎn)軸線26以直線I僅在“_a ”范圍內(nèi)或僅在“+a ”范圍內(nèi)移動(dòng)的方式在未加載和加載狀態(tài)之間移動(dòng)。
[0077]因此，本發(fā)明提供了一種運(yùn)動(dòng)學(xué)保持系統(tǒng)，其中，由按壓導(dǎo)致的放置頭引導(dǎo)裝置18的變形在至少一個(gè)軸線上得到補(bǔ)償。這通過如上參考第一和第五實(shí)施例所述的受動(dòng)元件實(shí)現(xiàn)，或者通過如關(guān)于第二至第四實(shí)施例所解釋的呈致動(dòng)器13形式的至少一個(gè)主動(dòng)元件實(shí)現(xiàn)。當(dāng)使用受動(dòng)元件時(shí)，具有幾何布置的整個(gè)系統(tǒng)的變形的調(diào)整和受動(dòng)元件的剛度是相關(guān)的。被動(dòng)傾斜度補(bǔ)償不由致動(dòng)器13提供，而是能夠在放置頭支撐件I以及放置頭2中整體地形成。
[0078]進(jìn)一步地，可以分別為放置頭2或固定本體接頭元件21布置長度可變的保持構(gòu)件，或者可以將幾個(gè)保持構(gòu)件或剛性接頭元件21以如下方式相互組合，即，不僅放置頭引導(dǎo)裝置18關(guān)于Y軸線的變形所引起的樞轉(zhuǎn)移動(dòng)(如在附圖中所示)得到補(bǔ)償，而且放置頭2的由擠壓力導(dǎo)致的關(guān)于其它軸線的傾斜移動(dòng)和/或滾轉(zhuǎn)移動(dòng)也可得到補(bǔ)償。
[0079]雖然已經(jīng)示出且描述了本發(fā)明的實(shí)施例和應(yīng)用，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，在本公開的幫助下，以上所述之外的許多變形都是可以的，而不脫離在此描述的本發(fā)明的原理。因此，除了所附的權(quán)利要求及其等價(jià)物以外，本發(fā)明不受任何限制。
【權(quán)利要求】
1.放置設(shè)備的放置頭(2)的運(yùn)動(dòng)學(xué)保持系統(tǒng)，所述放置設(shè)備用于將電子部件或光學(xué)部件(7)安裝在襯底(3)上，所述運(yùn)動(dòng)學(xué)保持系統(tǒng)包括: 放置頭引導(dǎo)裝置(18)，包括用于保持所述放置頭(2)的放置頭支撐件(I);和 放置頭對準(zhǔn)裝置，用于調(diào)整所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(I)的對準(zhǔn)，其中 所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括接頭(4、4')，所述放置頭(2)經(jīng)由所述接頭被以可調(diào)整傾斜度的方式支撐在所述放置頭支撐件(I)上，并且其中所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括至少一個(gè)長度可變的保持構(gòu)件，所述至少一個(gè)長度可變的保持構(gòu)件被布置在所述放置頭支撐件(I)和所述放置頭(2)之間且與所述接頭(4、4')成間距，所述至少一個(gè)長度可變的保持構(gòu)件確定所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(I)的樞轉(zhuǎn)位置，并且在放置操作期間，取決于由所述放置頭(2)擠壓抵靠所述襯底(3)的擠壓力而導(dǎo)致的所述放置頭引導(dǎo)裝置(18)的變形，所述至少一個(gè)長度可變的保持構(gòu)件的長度能夠以對由所述放置頭引導(dǎo)裝置的變形而導(dǎo)致的所述放置頭(2)的軸線誤差即傾斜度進(jìn)行補(bǔ)償?shù)姆绞蕉淖儭?br> 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保持系統(tǒng)，其中所述長度可變的保持構(gòu)件具有平行于或橫向于所述放置頭(2)的縱向軸線(8)布置的縱向軸線。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的保持系統(tǒng)，其中借助于放置頭控制臺(11)將所述放置頭(2)可樞轉(zhuǎn)地安裝在所述放置頭支撐件(I)上，其中所述長度可變的保持構(gòu)件被支撐在所述放置頭控制臺(11)上。
4.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng)，其中所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括多個(gè)接頭桿(15a、15b)，所述多個(gè)接頭桿經(jīng)由接頭連接到所述放置頭(2)，且還連接到所述放置頭支撐件(I)，并且所述多個(gè)接頭桿將所述放置頭(2)保持在相對于所述放置頭支撐件(I)可改變的預(yù)定位置中，其中借助于所述長度可變的保持構(gòu)件，所述接頭桿(15a、15b)的相對位置能夠以對所述放置頭(2)的由變形引起的所述軸線誤差即傾斜度進(jìn)行補(bǔ)償?shù)姆绞礁淖儭?br> 5.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng)，其中所述長度可變的保持構(gòu)件由以彈簧(12)為形式的受動(dòng)元件組成，所述受動(dòng)元件被布置在所述放置頭支撐件(I)和所述放置頭(2)之間，布置方式使得所述放置頭支撐件(I) 一方面經(jīng)由所述接頭(4)且另一方面經(jīng)由所述彈簧(12)將所述擠壓力傳遞到所述放置頭(2)，其中由所述擠壓力產(chǎn)生的反作用力使所述彈簧(12)的長度產(chǎn)生改變。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng)，其中所述長度可變的保持構(gòu)件由行程控制或力控制的致動(dòng)器(13)組成。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的保持系統(tǒng)，其中所述致動(dòng)器(13)包括電直接驅(qū)動(dòng)器、音圈或壓電驅(qū)動(dòng)器。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的保持系統(tǒng)，其中所述致動(dòng)器(13)經(jīng)由杠桿布置或齒輪在所述放置頭(2)的軸向位置上動(dòng)作。
9.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng)，其中所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括運(yùn)動(dòng)阻擋裝置，用于阻擋所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(I)的相對移動(dòng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求6至9中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng)，其中所述致動(dòng)器(13)被形成為可鎖定的致動(dòng)器(13)。
11.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng)，其中所述放置頭(2)在所述放置頭(2)的上端區(qū)域或底端區(qū)域中被以鐘擺的方式懸掛在所述放置頭支撐件(I)上，并且借助于接頭(4、4')在Z方向上支撐所述放置頭(2)，所述接頭具有至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度，并且至少一個(gè)長度可變的保持構(gòu)件被設(shè)置在所述接頭(4、4')的下方或上方，用于調(diào)整所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(I)的傾斜度。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的保持系統(tǒng)，其中，所述接頭(4、4')被布置為單軸線接頭、球窩接頭或萬向接頭。
13.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng)，其中設(shè)置多個(gè)長度可變的保持構(gòu)件，所述多個(gè)長度可變的保持構(gòu)件以所述多個(gè)長度可變的保持構(gòu)件在所述放置頭(2)上從不同方向動(dòng)作的方式布置，使得所述放置頭(2)能夠在空間上多維樞轉(zhuǎn)。
14.放置設(shè)備的放置頭(2)的運(yùn)動(dòng)學(xué)保持系統(tǒng)，所述放置設(shè)備用于將電子部件或光學(xué)部件(7)安裝在襯底(3)上，所述運(yùn)動(dòng)學(xué)保持系統(tǒng)包括: 放置頭引導(dǎo)裝置(18)，包括用于保持所述放置頭(2)的放置頭支撐件(I);和 放置頭對準(zhǔn)裝置，用于調(diào)整所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(I)的對準(zhǔn)，其中所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括接頭(20)，所述放置頭(2)經(jīng)由所述接頭被以可調(diào)整傾斜度的方式被支撐在所述放置頭支撐件(I)上，其中所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括至少一個(gè)剛性接頭元件(21)，所述至少一個(gè)剛性接頭元件(21)具有剛性連接到所述放置頭支撐件(I)的至少一個(gè)第一剛性接頭臂(22)，并且所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括至少一個(gè)第二剛性接頭臂(23)，所述至少一個(gè)第二剛性接頭臂(23)被剛性連接到所述放置頭(2)且借助于剛性接頭(20)被彈性連接到所述第一剛性接頭臂(22)，其中取決于所述放置頭(2)抵靠所述襯底(3)的擠壓力而導(dǎo)致的所述放置頭引導(dǎo)裝置(18)的變形，所述第二剛性接頭臂(23)能夠以對由所述放置頭引導(dǎo)裝置(18)的變形導(dǎo)致的所述放置頭(2)的軸線誤差即傾斜度進(jìn)行補(bǔ)償?shù)姆绞较鄬τ谒龅谝粍傂越宇^臂(22)彈性變形。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的保`持系統(tǒng)，其中所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括平行的兩個(gè)第一接頭臂(22)，所述兩個(gè)第一接頭臂`(22)被布置在所述放置頭(2)的兩個(gè)相反側(cè)上，在側(cè)向上與所述放置頭間隔開，并借助于橫向臂(24)在一端側(cè)上彼此連接，并且所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括被居中布置在所述兩個(gè)第一接頭臂(22)之間且還連接到所述橫向臂(24)的第二接頭臂(23)。
16.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng)，其中相對于變形旋轉(zhuǎn)軸線(25)布置所述接頭(4、4'、20)的旋轉(zhuǎn)軸線(26)，布置方式使得通過所述接頭(4、4'、20)的旋轉(zhuǎn)軸線(26)且通過所述變形旋轉(zhuǎn)軸線(25)的直線(I)在所述放置頭(2)的未加載狀態(tài)和加載狀態(tài)下相對于水平平面(h)在-45°和+45°之間的角度范圍內(nèi)，其中，響應(yīng)于所述擠壓力，繞所述變形旋轉(zhuǎn)軸線(25)出現(xiàn)所述放置頭引導(dǎo)裝置(18)的變形，所述變形旋轉(zhuǎn)軸線(25)被設(shè)置在所述水平平面(h)中。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的保持系統(tǒng)，其中在所述放置頭(2)的未加載狀態(tài)下，所述接頭(4、4'、20)的旋轉(zhuǎn)軸線(26)被設(shè)置在所述變形旋轉(zhuǎn)軸線(25)的下方，并且在全部的放置力下，所述接頭(4、4'、20)的旋轉(zhuǎn)軸線(26)被設(shè)置在所述變形旋轉(zhuǎn)軸線(25)的上方。
【文檔編號】H01L21/683GK103579046SQ201310304630
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年7月18日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月24日
【發(fā)明者】翰尼斯·科斯特納, 迪特馬爾·萊克納, 弗洛里安·斯皮爾, 馬丁·維道爾 申請人:貝思瑞士股份公司