超聲波清洗裝置及其功率控制方法
【專利摘要】本發(fā)明的課題在于提供一種能夠進(jìn)一步提高功率管理的可靠性的超聲波清洗裝置。為此，超聲波清洗裝置具備被清洗物(11)、清洗液(12)、超聲波振子(13)、振蕩器(14)、電源部(16)以及功率計(jì)(15)，振蕩器(14)具有：振蕩部(17)；控制部(18)，其進(jìn)行控制以使得由振蕩部(17)振蕩產(chǎn)生的第1功率變?yōu)樵O(shè)定功率值并向超聲波振子輸出；檢測(cè)部(19)，其檢測(cè)由控制部(18)向超聲波振子(13)輸出的第2功率；和運(yùn)算部(20)，運(yùn)算部(20)具有如下功能：導(dǎo)出利用校正值α對(duì)第1檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第1校正功率值，導(dǎo)出利用校正值β對(duì)由功率計(jì)(15)測(cè)定的測(cè)定功率值進(jìn)行了校正的第2校正功率值，在第1校正功率值偏離了第2校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)校正值α進(jìn)行了修正以使得第1校正功率值變?yōu)榈?校正功率值的修正校正值α’記錄到記錄部(21)。
【專利說明】超聲波清洗裝置及其功率控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對(duì)被清洗物進(jìn)行超聲波清洗的超聲波清洗裝置及其功率控制方法等。【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的超聲波清洗裝置具有向?qū)Ρ磺逑次镞M(jìn)行清洗的清洗液供給超聲波的超聲波振子、振蕩器以及電源部，該振蕩器具有振蕩部、檢測(cè)部以及運(yùn)算部。在超聲波振子電連接有振蕩器，在振蕩器電連接有電源部。由該振蕩部振蕩產(chǎn)生的功率向超聲波振子輸出。該輸出的功率由檢測(cè)部進(jìn)行檢測(cè)，并由運(yùn)算部比較該檢測(cè)出的功率值是否與設(shè)定功率值(即作為施加于超聲波振子的功率合適的功率值)發(fā)生了偏離。然后，在向超聲波振子輸出的功率值偏離了設(shè)定功率值的情況下，向超聲波振子輸出控制為設(shè)定功率值的功率(例如參照專利文獻(xiàn)I)。
[0003]為了使實(shí)際施加于超聲波振子的功率變?yōu)樵O(shè)定功率值，需要通過檢測(cè)部正確地檢測(cè)施加于超聲波振子的功率。該檢測(cè)部，通過在工廠等對(duì)超聲波清洗裝置進(jìn)行制造時(shí)利用功率校正器進(jìn)行調(diào)整，能夠正確地檢測(cè)功率值。
[0004]在如上述那樣現(xiàn)有的超聲波清洗裝置中，通過檢測(cè)部來檢測(cè)施加給超聲波振子的功率值，將該功率值與設(shè)定功率值進(jìn)行比較，進(jìn)行控制以使得施加給超聲波振子的功率值變?yōu)樵O(shè)定功率值。由此，即使由于環(huán)境條件(例如清洗液的溫度、質(zhì)量、種類或被清洗物的種類)等施加于超聲波振子的功率發(fā)生變化，也能夠使該功率值與設(shè)定功率值一致，其結(jié)果，能夠抑制超聲波清洗的效率下降。
[0005]但是，由于 并不是在振蕩器內(nèi)部的檢測(cè)部中，設(shè)置有構(gòu)成為功率計(jì)的設(shè)備，因而該檢測(cè)部所進(jìn)行的功率管理比較簡(jiǎn)易。此外，也可以想到在超聲波清洗裝置中交換了超聲波振子的情況下，由檢測(cè)部檢測(cè)出的功率值會(huì)偏離正確值的情況。
[0006]【在先技術(shù)文獻(xiàn)】
[0007]【專利文獻(xiàn)】
[0008]專利文獻(xiàn)I JP特開2000-49619號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]發(fā)明要解決的課題
[0010]本發(fā)明的一個(gè)方式在于，提供一種能夠進(jìn)一步提高功率管理的可靠性的超聲波清洗裝置及其功率控制方法。
[0011]解決課題的手段
[0012]本發(fā)明的一個(gè)方式的超聲波清洗裝置的特征在于，
[0013]所述超聲波清洗裝置具備:清洗液，其對(duì)被清洗物進(jìn)行清洗；超聲波振子，其向所述清洗液供給超聲波；振蕩器，其與所述超聲波振子電連接；和功率計(jì)，其測(cè)定施加于所述超聲波振子的功率，所述振蕩器具有:振蕩部；控制部，其進(jìn)行控制以使得由所述振蕩部振蕩產(chǎn)生的第I功率變?yōu)樵O(shè)定功率值并向所述超聲波振子輸出；檢測(cè)部，其檢測(cè)由所述控制部向所述超聲波振子輸出的第2功率；記錄部，其記錄第I校正值以及第2校正值；和運(yùn)算部，其分別與所述檢測(cè)部、所述控制部、所述記錄部以及所述功率計(jì)電連接，所述運(yùn)算部具有如下功能:導(dǎo)出利用所述第I校正值對(duì)由所述檢測(cè)部檢測(cè)出的第I檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第I校正功率值，導(dǎo)出利用所述第2校正值對(duì)由所述功率計(jì)測(cè)定的測(cè)定功率值進(jìn)行了校正的第2校正功率值，將所述第2校正功率值與所述第I校正功率值進(jìn)行比較，在所述第I校正功率值偏離了所述第2校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)所述第I校正值進(jìn)行了修正以使得所述第I校正功率值變?yōu)樗龅?校正功率值的第I修正校正值記錄到所述記錄部。
[0014]本發(fā)明的一個(gè)方式的超聲波清洗裝置，具有第I超聲波清洗裝置、第2超聲波清洗裝置以及功率計(jì)，所述超聲波清洗裝置的特征在于，所述第I超聲波清洗裝置具有--第I清洗液，其對(duì)第I被清洗物進(jìn)行清洗；第I超聲波振子，其向所述第I清洗液供給超聲波；和第I振蕩器，其與所述第I超聲波振子電連接，所述第2超聲波清洗裝置具有:第2清洗液，其對(duì)第2被清洗物進(jìn)行清洗；第2超聲波振子，其向所述第2清洗液供給超聲波；和第2振蕩器，其與所述第2超聲波振子電連接，所述功率計(jì)對(duì)施加于所述第I超聲波振子的功率或施加于所述第2超聲波振子的功率進(jìn)行測(cè)定，所述第I超聲波振子以及所述第2超聲波振子經(jīng)由第I開關(guān)與所述功率計(jì)電連接，所述第I振蕩器以及所述第2振蕩器經(jīng)由第2開關(guān)與所述功率計(jì)電連接，所述第I振蕩器具有:第I振蕩部；第I控制部，其進(jìn)行控制以使得由所述第I振蕩部振蕩產(chǎn)生的第I功率變?yōu)榈贗設(shè)定功率值并向所述第I超聲波振子輸出；第I檢測(cè)部，其檢測(cè)由所述第I控制部向所述第I超聲波振子輸出的第2功率；第I記錄部，其記錄第I校正值以及第2校正值；和第I運(yùn)算部，其分別與所述第I檢測(cè)部、所述第I控制部、所述第I記錄部以及所述功率計(jì)電連接，且經(jīng)由所述第2開關(guān)與所述功率計(jì)電連接，所述第I運(yùn)算部具有如下功能:導(dǎo)出利用所述第I校正值對(duì)由所述第I檢測(cè)部檢測(cè)出的第I檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第I校正功率值，導(dǎo)出利用所述第2校正值對(duì)由所述功率計(jì)測(cè)定的第I測(cè)定功率值進(jìn)行了校正的第2校正功率值，將所述第2校正功率值與所述第I校正功率值進(jìn)行比較，在所述第I校正功率值偏離了所述第2校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)所述第I校正值進(jìn)行修正以使得所述第I校正功率值變?yōu)樗龅?校正功率值的第I修正校正值記錄到所述記錄部，所述第2振蕩器具有:第2振蕩部；第2控制部，其進(jìn)行控制以使得由所述第2振蕩部振蕩產(chǎn)生的第3功率變?yōu)榈?設(shè)定功率值并向所述第2超聲波振子輸出;第2檢測(cè)部，其檢測(cè)由所述第2控制部向所述第2超聲波振子輸出的第4功率；第2記錄部，其記錄第3校正值以及第4校正值；和第2運(yùn)算部，其分別與所述第2檢測(cè)部、所述第2控制部、所述第2記錄部以及所述功率計(jì)電連接，且經(jīng)由所述第2開關(guān)與所述功率計(jì)電連接，所述第2運(yùn)算部具有如下功能:導(dǎo)出利用所述第3校正值對(duì)由所述第2檢測(cè)部檢測(cè)出的第3檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第4校正功率值，導(dǎo)出利用所述第4校正值對(duì)由所述功率計(jì)測(cè)定的第2測(cè)定功率值進(jìn)行了校正的第5校正功率值，將所述第5校正功率值與所述第4校正功率值進(jìn)行比較，在所述第4校正功率值偏離了所述第5校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)所述第3校正值進(jìn)行了修正以使得所述第4校正功率值變?yōu)樗龅?校正功率值的第2修正校正值記錄到所述記錄部。
[0015]本發(fā)明的一個(gè)方式的超聲波清洗裝置的功率控制方法，所述超聲波清洗裝置具有:清洗液，其對(duì)被清洗物進(jìn)行清洗；超聲波振子，其向所述清洗液供給超聲波；振蕩器，其與所述超聲波振子電連接；和功率計(jì)，其與所述振蕩器以及所述超聲波振子電連接，所述振蕩器具有:振蕩部；控制部，其與所述振蕩部電連接；檢測(cè)部，其與所述控制部電連接；運(yùn)算部，其分別與所述檢測(cè)部以及所述控制部電連接；和記錄部，其與所述運(yùn)算部電連接，所述功率控制方法的特征在于，由所述控制部進(jìn)行控制以使得由所述振蕩部振蕩產(chǎn)生的第I功率變?yōu)樵O(shè)定功率值并向所述超聲波振子輸出，由所述檢測(cè)部檢測(cè)向所述超聲波振子輸出的第2功率，由所述運(yùn)算部通過利用在所述記錄部中記錄的第I校正值對(duì)由所述檢測(cè)部檢測(cè)出的第I檢測(cè)功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第I校正功率值，由所述功率計(jì)測(cè)定向所述超聲波振子輸出的所述第2功率，由所述運(yùn)算部通過利用在所述記錄部中記錄的第2校正值對(duì)由所述功率計(jì)測(cè)定的第I測(cè)定功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第2校正功率值，由所述運(yùn)算部將所述第2校正功率值與所述第I校正功率值進(jìn)行比較，在所述第I校正功率值偏離了所述第2校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)所述第I校正值進(jìn)行了修正以使得所述第I校正功率值變?yōu)樗龅?校正功率值的第I修正校正值記錄到所述記錄部。
[0016]發(fā)明效果
[0017]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，能夠提供一種能夠進(jìn)一步提高功率管理的可靠性的超聲波清洗裝置及其功率控制方法。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的超聲波清洗裝置的構(gòu)成的示意圖。
[0019]圖2是用于說明本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的超聲波清洗裝置的功率控制方法的示意圖。
[0020]圖3是表示本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的超聲波清洗裝置的構(gòu)成的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面使用附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式詳細(xì)地進(jìn)行說明。但是，本發(fā)明并不限于下面的說明，如果是本領(lǐng)域技術(shù)人員就容易理解:能夠不脫離本發(fā)明的主旨及其范圍來對(duì)其方式以及細(xì)節(jié)進(jìn)行各種變更。因此，本發(fā)明并不應(yīng)限于以下所示的實(shí)施方式的記載內(nèi)容地被解釋。
[0022](第I實(shí)施方式)
[0023]圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的超聲波清洗裝置的構(gòu)成的示意圖。
[0024]超聲波清洗裝置具有:清洗液12，其對(duì)被清洗物11進(jìn)行清洗；清洗槽10，其裝有該清洗液12 ;超聲波振子(負(fù)荷)13，其向清洗液12供給超聲波；振蕩器14，其與該超聲波振子13電連接；電源部16，其與該振蕩器14電連接；功率計(jì)15，其測(cè)定施加于超聲波振子13的功率；和電源9，其與該功率計(jì)15電連接。另外，被清洗物11可以是半導(dǎo)體晶片、緊致盤(compact disc)、玻璃基板、平板顯示器(flat panel display)、薄盤或基板等。
[0025]功率計(jì)15優(yōu)選被校正過的功率計(jì)，例如更優(yōu)選在過去I年內(nèi)被校正過的功率計(jì)。此外，功率計(jì)15最好能夠從超聲波清洗裝置容易地進(jìn)行安裝、拆卸即可。
[0026]功率計(jì)15的模擬輸出端子與振蕩器14的模擬輸入端子電連接。振蕩器14具有振蕩部17、控制部18、檢測(cè)部19、運(yùn)算部20以及記錄部21。功率計(jì)15與運(yùn)算部20電連接。
[0027]運(yùn)算部20與控制部18、檢測(cè)部19以及記錄部21電連接。檢測(cè)部19與控制部18電連接，控制部18與振蕩部17電連接。
[0028]由振蕩部17振蕩產(chǎn)生的振蕩信號(hào)(第I功率)供給到控制部18，由控制部18進(jìn)行控制以使得第I功率變?yōu)樵O(shè)定功率值，并向超聲波振子13輸出控制后的控制信號(hào)(第2功率)。這里的設(shè)定功率值意味著作為施加于超聲波振子13的功率較為合適的功率值,該合適的功率值由于各超聲波振子、清洗液的溫度、質(zhì)量、種類、被清洗物的種類等而不同。
[0029]檢測(cè)部19檢測(cè)由控制部18向超聲波振子13輸出的第2功率。與該檢測(cè)出的第I檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的信號(hào)A從檢測(cè)部19向運(yùn)算部20輸入。
[0030]運(yùn)算部20利用校正值α對(duì)由檢測(cè)部19檢測(cè)出的第I檢測(cè)功率值進(jìn)行校正，并導(dǎo)出第I校正功率值。該第I校正功率值通過信號(hào)A與校正值Ct的運(yùn)算(乘積)而被導(dǎo)出，相當(dāng)于實(shí)際向超聲波振子13輸出的功率值。
[0031]校正值α是在工廠等對(duì)超聲波清洗裝置進(jìn)行制造時(shí)通過功率校正器進(jìn)行調(diào)整，使得能夠在振蕩器內(nèi)部計(jì)算正確的功率值的值，記錄于記錄部21。
[0032]運(yùn)算部20將第I校正功率值與設(shè)定功率值進(jìn)行比較，在得到第I校正功率值偏離了設(shè)定功率值規(guī)定值以上這種比較結(jié)果的情況下，將該比較結(jié)果輸出到控制部18。另外，規(guī)定值也可以包含O。
[0033]控制部18—邊利用上述的比較結(jié)果一邊進(jìn)行控制以使得由振蕩部17振蕩產(chǎn)生的振蕩信號(hào)的功率值變?yōu)樵O(shè)定電壓值并向超聲波振子13輸出。由此，向超聲波振子13供給的信號(hào)的功率值能夠更接近設(shè)定功率值。
[0034]在圖1的超聲波清洗裝置中，具有使向超聲波振子13供給的信號(hào)的功率值進(jìn)一步接近設(shè)定功率值的功能。
[0035]功率計(jì)15測(cè)定由控制部18向超聲波振子13輸出的第2功率。與該測(cè)定的測(cè)定功率值相對(duì)應(yīng)的信號(hào)B(電壓)從功率計(jì)15向運(yùn)算部20輸入。
[0036]運(yùn)算部20利用校正值β對(duì)由功率計(jì)15測(cè)定的測(cè)定功率值進(jìn)行校正，并導(dǎo)出第2校正功率值。該第2校正功率值通過信號(hào)B與校正值β的運(yùn)算(乘積)而被導(dǎo)出，相當(dāng)于實(shí)際向超聲波振子13輸出的功率值。但是，由于功率計(jì)15與檢測(cè)部19相比功率測(cè)定的可靠性高，因而由功率計(jì)15測(cè)定的功率值比由檢測(cè)部19檢測(cè)出的功率值準(zhǔn)確。另外，校正值β記錄于記錄部21。
[0037]運(yùn)算部20將第2校正功率值與通過檢測(cè)部19以及運(yùn)算部20來求出的第I校正功率值進(jìn)行比較，在第I校正功率值偏離了第2校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)校正值α進(jìn)行了修正以使得第I校正功率值變?yōu)榈?校正功率值的修正校正值α ’記錄到記錄部。修正校正值α ’是比校正值α更準(zhǔn)確的校正值。修正校正值α ’例如是對(duì)校正值α進(jìn)行了修正以使得第I校正功率值變?yōu)榈?校正功率值的值。另外，規(guī)定值可以包含O。
[0038]運(yùn)算部20利用校正值α對(duì)由檢測(cè)部19檢測(cè)出的第I檢測(cè)功率值進(jìn)行校正，并導(dǎo)出第I校正功率值。通過信號(hào)A與校正值α的運(yùn)算(乘積)而被導(dǎo)出，相當(dāng)于實(shí)際向超聲波振子13輸出的功率值。
[0039]由檢測(cè)部19檢測(cè)由控制部18向超聲波振子13輸出的第2功率，與該檢測(cè)出的第2檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的信號(hào)A從檢測(cè)部19向運(yùn)算部20輸入，運(yùn)算部20通過該輸入的信號(hào)A與修正校正值α ’的運(yùn)算(乘積)來導(dǎo)出第3校正功率值，將該第3校正功率值與設(shè)定功率值進(jìn)行比較，在得到第3校正功率值偏離了設(shè)定功率值規(guī)定值以上這種比較結(jié)果的情況下，將該比較結(jié)果輸出到控制部18。另外，規(guī)定值也可以包含O。
[0040]控制部18—邊利用上述的比較結(jié)果一邊進(jìn)行控制以使得由振蕩部17振蕩產(chǎn)生的振蕩信號(hào)的功率值變?yōu)樵O(shè)定電壓值并向超聲波振子13輸出。由此，能夠使向超聲波振子13供給的信號(hào)的功率值進(jìn)一步接近設(shè)定功率值。
[0041]如上述那樣使用功率計(jì)15來導(dǎo)出修正校正值α ’的操作既可以自動(dòng)執(zhí)行，也可以按照規(guī)定期間來執(zhí)行。通過極端地縮短規(guī)定期間，能夠幾乎實(shí)時(shí)并且更準(zhǔn)確地接近設(shè)定功率值。此外，通過使用被校正過的校正器作為功率計(jì)15，能夠以更準(zhǔn)確的功率值向超聲波振子13輸出。
[0042]此外，在超聲波清洗裝置中交換了超聲波振子13的情況下，即使檢測(cè)部19所檢測(cè)的功率值偏離了正確值，通過如上述那樣使用功率計(jì)15來導(dǎo)出修正校正值α ’，并將該修正校正值α ’記錄到記錄部21，也能夠?qū)z測(cè)部19所檢測(cè)的功率值設(shè)為更準(zhǔn)確的值。
[0043]接著，一邊參照?qǐng)D1 一邊對(duì)超聲波清洗裝置的功率控制方法詳細(xì)地進(jìn)行。該功率控制按照以下的⑴?(10)的順序來執(zhí)行。
[0044](I)由控制部18進(jìn)行控制以使得由振蕩部17振蕩產(chǎn)生的第I功率變?yōu)樵O(shè)定功率值并向超聲波振子13輸出。
[0045](2)由檢測(cè)部19對(duì)由控制部18進(jìn)行控制并向超聲波振子13輸出的第2功率進(jìn)行檢測(cè)。
[0046](3)由運(yùn)算部20通過利用在記錄部21中記錄的校正值α按照下述式(a)對(duì)與由檢測(cè)部19檢測(cè)出的第I檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的信號(hào)A進(jìn)行校正來導(dǎo)出第I校正功率值PA。
[0047](a)PA = AX α
[0048](4)由功率計(jì)15對(duì)由控制部18進(jìn)行控制并向超聲波振子13輸出的第2功率進(jìn)行測(cè)定。
[0049](5)由功率計(jì)15測(cè)定向超聲波振子13輸出的第2功率，并得到第I測(cè)定功率值，與該第I測(cè)定功率值相對(duì)應(yīng)的信號(hào)B被輸入到運(yùn)算部20，由運(yùn)算部20通過利用在記錄部21中記錄的校正值β按照下述式(b)對(duì)信號(hào)B進(jìn)行校正來導(dǎo)出第2校正功率值PB。
[0050](b) PB = B X β
[0051](6)由運(yùn)算部20將第2校正功率值PB與第I校正功率值PA進(jìn)行比較，在第I校正功率值PA偏離了第2校正功率值PB規(guī)定值以上的情況下，將按照下述式(c)對(duì)校正值α自動(dòng)進(jìn)行了修正以使得第I校正功率值PA變?yōu)榈?校正功率值PB的修正校正值α ’自動(dòng)記錄到記錄部21。另外,規(guī)定值也可以包含O。
[0052](c)自動(dòng)調(diào)整算法 PB = PA = AX α ’
[0053](7)將修正校正值α ’記錄到記錄部21之后，由控制部18進(jìn)行控制以使得由振蕩部17振蕩產(chǎn)生的第3功率變?yōu)樵O(shè)定功率值并向超聲波振子13輸出。
[0054](8)由檢測(cè)部19檢測(cè)從控制部18向超聲波振子13輸出的第4功率，由運(yùn)算部20通過利用修正校正值α ’對(duì)由檢測(cè)部19檢測(cè)出的該第2檢測(cè)功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第3校正功率值。
[0055](9)由運(yùn)算部20將第3校正功率值與設(shè)定功率值進(jìn)行比較，在得到第3校正功率值偏離了設(shè)定功率值規(guī)定值以上這種比較結(jié)果的情況下，將比較結(jié)果輸出到控制部18。
[0056](10)由控制部18—邊利用上述的比較結(jié)果一邊進(jìn)行控制以使得由振蕩部17振蕩產(chǎn)生的第5功率變?yōu)樵O(shè)定功率值并向超聲波振子13輸出。另外，規(guī)定值可以包含O。
[0057](第2實(shí)施方式)
[0058]圖2是用于說明本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的超聲波清洗裝置的功率控制方法的示意圖。
[0059]該超聲波清洗裝置具有第I?第3超聲波清洗裝置31?33以及功率計(jì)15。
[0060]第I超聲波清洗裝置31具有:第I清洗液12a，其對(duì)第I被清洗物(被清洗物I) Ila進(jìn)行清洗；第I超聲波振子(負(fù)荷I) 13a，其向第I清洗液12a供給超聲波；和第I振蕩器(振蕩器I) 14a,其與第I超聲波振子13a電連接。第I振蕩器14a具有與圖1所不的振蕩器14同樣的構(gòu)成。
[0061 ] 第2超聲波清洗裝置32具有:第2清洗液12b，其對(duì)第2被清洗物(被清洗物2) I Ib進(jìn)行清洗；第2超聲波振子(負(fù)荷2) 13b，其向第2清洗液12b供給超聲波；和第2振蕩器(振蕩器2) 14b,其與第2超聲波振子13b電連接。第2振蕩器14b具有與圖1所不的振蕩器14同樣的構(gòu)成。
[0062]第3超聲波清洗裝置33具有:第3清洗液12c，其對(duì)第3被清洗物(被清洗物3) Ilc進(jìn)行清洗；第3超聲波振子(負(fù)荷3) 13c，其向第3清洗液12c供給超聲波；和第3振蕩器(振蕩器3) 14c,其與第3超聲波振子13c電連接。第3振蕩器14c具有與圖1所不的振蕩器14同樣的構(gòu)成。
[0063]功率計(jì)15具有與圖1所示的功率計(jì)15同樣的構(gòu)成，并且分別與第I超聲波振子13a以及第I振蕩器14a的電連接也與圖1相同。此外，第2超聲波振子13b以及第2振蕩器14b各自與功率計(jì)15的電連接也與圖1相同，第3超聲波振子13c以及第3振蕩器14c各自與功率計(jì)15的電連接也與圖1相同。
[0064]對(duì)于第I至第3超聲波清洗裝置31?33只要具有一個(gè)功率計(jì)15即可，并針對(duì)第I至第3超聲波清洗裝置31?33中的每一個(gè)能夠容易地安裝、拆卸功率計(jì)15。
[0065]接著，對(duì)上述的超聲波清洗裝置的功率控制方法進(jìn)行說明。該功率控制按照以下的(I)?(14)的順序來執(zhí)行。
[0066](I)使功率計(jì)15分別與第I超聲波振子13a以及第I振蕩器14a電連接，通過與圖1所示的振蕩器14同樣的方法，由控制部18進(jìn)行控制以使得第I功率變?yōu)榈贗設(shè)定功率值并向第I超聲波振子13a輸出。
[0067](2)通過與圖1所示的振蕩器14同樣的方法，由檢測(cè)部19檢測(cè)向第I超聲波振子13a輸出的第2功率，并由運(yùn)算部20通過利用在記錄部21中記錄的校正值α對(duì)該檢測(cè)出的第I檢測(cè)功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第I校正功率值。
[0068](3)通過與圖1所示的振蕩器14同樣的方法，由功率計(jì)15測(cè)定向第I超聲波振子13a輸出的第2功率，并由運(yùn)算部20通過利用在記錄部21中記錄的校正值β對(duì)該測(cè)定的第I測(cè)定功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第2校正功率值。
[0069](4)通過與圖1所示的振蕩器14同樣的方法，由運(yùn)算部20將第2校正功率值與第I校正功率值進(jìn)行比較，在第I校正功率值偏離了第2校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)第I校正值進(jìn)行了修正以使得第I校正功率值變?yōu)榈?校正功率值的修正校正值α ’記錄到記錄部21。
[0070](5)從第I超聲波清洗裝置31卸下功率計(jì)15，并使該功率計(jì)15分別與第2超聲波清洗裝置32的第2超聲波振子13b以及第2振蕩器14b電連接。
[0071](6)通過與圖1所示的振蕩器14同樣的方法，控制部18進(jìn)行控制以使得由振蕩部17振蕩產(chǎn)生的第3功率變?yōu)榈?設(shè)定功率值并向第2超聲波振子13b輸出。
[0072](7)通過與圖1所示的振蕩器14同樣的方法，由檢測(cè)部19檢測(cè)向第2超聲波振子13b輸出的第4功率，并由運(yùn)算部20通過利用在記錄部21中記錄的校正值α對(duì)該檢測(cè)出的第2檢測(cè)功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第3校正功率值。
[0073](8)通過與圖1所示的振蕩器14同樣的方法，由功率計(jì)15測(cè)定向第2超聲波振子13b輸出的第4功率，并由運(yùn)算部20通過利用在記錄部21中記錄的校正值β對(duì)該測(cè)定的第2測(cè)定功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第4校正功率值。
[0074](9)通過與圖1所示的振蕩器14同樣的方法，由運(yùn)算部20將第4校正功率值與第3校正功率值進(jìn)行比較，在第3校正功率值偏離了第4校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)第3校正值進(jìn)行了修正以使得第3校正功率值變?yōu)榈?校正功率值的修正校正值α ’記錄到記錄部21。
[0075](10)從第2超聲波清洗裝置32卸下功率計(jì)15，并使該功率計(jì)15分別與第3超聲波清洗裝置33的第3超聲波振子13c以及第3振蕩器14c電連接。
[0076](11)通過與圖1所示的振蕩器14同樣的方法，由控制部18進(jìn)行控制以使得由振蕩部17振蕩產(chǎn)生的第5功率變?yōu)榈?設(shè)定功率值并向第3超聲波振子13c輸出。
[0077](12)通過與圖1所示的振蕩器14同樣的方法，由檢測(cè)部19檢測(cè)向第3超聲波振子13c輸出的第6功率，并由運(yùn)算部20利用在記錄部21中記錄的校正值α對(duì)該檢測(cè)出的第3檢測(cè)功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第5校正功率值。
[0078](13)通過與圖1所示的振蕩器14同樣的方法，由功率計(jì)15測(cè)定向第3超聲波振子13c輸出的第6功率，并由運(yùn)算部20利用在記錄部21中記錄的校正值β對(duì)該測(cè)定的第3測(cè)定功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第6校正功率值。
[0079](14)通過與圖1所示的振蕩器14同樣的方法，由運(yùn)算部20將第6校正功率值與第5校正功率值進(jìn)行比較，在第5校正功率值偏離了第6校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)第5校正值進(jìn)行了修正以使得第5校正功率值變?yōu)榈?校正功率值的修正校正值α ’記錄到記錄部21。
[0080]根據(jù)本實(shí)施方式，能夠獲得與第I實(shí)施方式同樣的效果。
[0081]此外，根據(jù)本實(shí)施方式，通過更換一個(gè)功率計(jì)15的操作，能夠利用一個(gè)功率計(jì)15進(jìn)行第I?第3超聲波清洗裝置31?33各自的功率控制。其結(jié)果，能夠以同一基準(zhǔn)自動(dòng)調(diào)整第I?第3超聲波清洗裝置31?33的功率控制。
[0082]另外，在本實(shí)施方式中，雖然在具有第I?第3超聲波清洗裝置31?33的超聲波清洗裝置的功率控制方法中應(yīng)用了本發(fā)明的一個(gè)方式，但也能夠在具有2個(gè)或4個(gè)以上的超聲波清洗裝置的超聲波清洗裝置的功率控制方法中應(yīng)用本發(fā)明的一個(gè)方式。
[0083]此外，在進(jìn)行上述的功率控制之前，優(yōu)選先對(duì)功率計(jì)15進(jìn)行校正，例如優(yōu)選在過去I年內(nèi)對(duì)功率計(jì)15進(jìn)行校正。
[0084](第3實(shí)施方式)
[0085]圖3是表示本發(fā)明的一方式所涉及的超聲波清洗裝置的構(gòu)成的示意圖。
[0086]該超聲波清洗裝置具有第I?第3超聲波清洗裝置31?33以及自動(dòng)切換功率計(jì)34。該自動(dòng)切換功率計(jì)34具有功率計(jì)15、第I開關(guān)35以及第2開關(guān)36。功率計(jì)15具有與圖1所示的功率計(jì)15同樣的構(gòu)成。
[0087]第I?第3超聲波清洗裝置31?33分別具有與圖2所示的第I?第3超聲波清洗裝置31?33同樣的構(gòu)成。即，第I?第3被清洗物Ila?Ilc第I?第3清洗液12a?12c、第I?第3超聲波振子13a?13c、第I?第3振蕩器14a?14c與圖2所不的相同。
[0088]功率計(jì)15對(duì)施加于第I超聲波振子(負(fù)荷I) 13a的功率、施加于第2超聲波振子(負(fù)荷2) 13b的功率、或第3超聲波振子(負(fù)荷3) 13c進(jìn)行測(cè)定。
[0089]第I?第3超聲波振子13a?13c經(jīng)由第I開關(guān)35與功率計(jì)15電連接。第I?第3振蕩器(振蕩器1，振蕩器2，振蕩器3) 14a?14c經(jīng)由第2開關(guān)36與功率計(jì)15電連接。
[0090]第I振蕩器14a的運(yùn)算部20分別與第I振蕩器14a的檢測(cè)部19、控制部18以及記錄部21電連接，并且經(jīng)由第2開關(guān)36與功率計(jì)15電連接。
[0091]第I振蕩器14a的運(yùn)算部20具有如下功能:導(dǎo)出利用校正值α對(duì)由檢測(cè)部19檢測(cè)出的第I檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第I校正功率值，導(dǎo)出利用校正值β對(duì)由功率計(jì)15測(cè)定的第I測(cè)定功率值進(jìn)行了校正的第2校正功率值，將第2校正功率值與第I校正功率值進(jìn)行比較，在第I校正功率值偏離了第2校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)校正值α進(jìn)行修正以使得第I校正功率值變?yōu)榈?校正功率值的修正校正值α ’記錄到記錄部21。
[0092]另外，與由第I振蕩器14a的檢測(cè)部19檢測(cè)出的第I檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的信號(hào)A被輸入到運(yùn)算部20，第I校正功率值通過信號(hào)A與校正值α的運(yùn)算(乘積)而被導(dǎo)出。
[0093]此外，與由功率計(jì)15測(cè)定的第I測(cè)定功率值相對(duì)應(yīng)的信號(hào)B被輸入到運(yùn)算部20，第2校正功率值通過信號(hào)B與校正值β的運(yùn)算(乘積)而被導(dǎo)出。
[0094]此外，修正校正值α ’是對(duì)校正值α進(jìn)行了修正以使得第I校正功率值與第2校正功率值相等的值。
[0095]第2振蕩器14b的運(yùn)算部20分別與第2振蕩器14b的檢測(cè)部19、控制部18以及記錄部21電連接，并且經(jīng)由第2開關(guān)36與功率計(jì)15電連接。
[0096]第2振蕩器14b的運(yùn)算部20具有如下功能:導(dǎo)出利用校正值α對(duì)由檢測(cè)部19檢測(cè)出的第3檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第4校正功率值，導(dǎo)出利用校正值β對(duì)由功率計(jì)15測(cè)定的第2測(cè)定功率值進(jìn)行了校正的第5校正功率值，將第5校正功率值與第4校正功率值進(jìn)行比較，在第4校正功率值偏離了第5校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)校正值α進(jìn)行了修正以使得第4校正功率值變?yōu)榈?校正功率值的修正校正值α ’記錄到記錄部21。
[0097]另外，與由第2振蕩器14b的檢測(cè)部19檢測(cè)出的第3檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的信號(hào)A被輸入到運(yùn)算部20，第4校正功率值通過信號(hào)A與校正值α的運(yùn)算(乘積)而被導(dǎo)出。
[0098]此外，與由功率計(jì)15測(cè)定的第2測(cè)定功率值相對(duì)應(yīng)的信號(hào)B被輸入到運(yùn)算部20，第5校正功率值通過信號(hào)B與校正值β的運(yùn)算(乘積)而被導(dǎo)出。
[0099]此外，修正校正值α ’是對(duì)校正值α進(jìn)行了修正以使得第4校正功率值與第5校正功率值相等的值。
[0100]第3振蕩器14c的運(yùn)算部20分別與第3振蕩器14c的檢測(cè)部19、控制部18以及記錄部21電連接，并且經(jīng)由第2開關(guān)36與功率計(jì)15電連接。
[0101]第3振蕩器14c的運(yùn)算部20具有如下功能:導(dǎo)出利用校正值α對(duì)由檢測(cè)部19檢測(cè)出的第5檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第7校正功率值，導(dǎo)出利用校正值β對(duì)由功率計(jì)15測(cè)定的第3測(cè)定功率值進(jìn)行了校正的第8校正功率值，將第8校正功率值與第7校正功率值進(jìn)行比較，在第7校正功率值偏離了第8校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)校正值α進(jìn)行了修正以使得第7校正功率值變?yōu)榈?校正功率值的修正校正值α ’記錄到記錄部21。
[0102]另外，與由第3振蕩器14c的檢測(cè)部19檢測(cè)出的第5檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的信號(hào)A被輸入到運(yùn)算部20，第7校正功率值通過信號(hào)A與校正值α的運(yùn)算(乘積)而被導(dǎo)出。
[0103]此外，與由功率計(jì)15測(cè)定的第3測(cè)定功率值相對(duì)應(yīng)的信號(hào)B被輸入到運(yùn)算部20，第8校正功率值通過信號(hào)B與校正值β的運(yùn)算(乘積)而被導(dǎo)出。
[0104]此外，修正校正值α ’是對(duì)校正值α進(jìn)行了修正以使得第7校正功率值與第8校正功率值相等的值。
[0105]第I振蕩器14a的運(yùn)算部20具有如下功能:導(dǎo)出利用修正校正值α ’對(duì)由第I振蕩器14a的檢測(cè)部19檢測(cè)出的第2檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第3校正功率值，將第3校正功率值與第I設(shè)定功率值進(jìn)行比較，在得到第3校正功率值偏離了第I設(shè)定功率值規(guī)定值以上這樣的第I比較結(jié)果的情況下，將第I比較結(jié)果輸出到控制部18。另外，與由第I振蕩器14a的檢測(cè)部19檢測(cè)出的第2檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的信號(hào)A被輸入到運(yùn)算部20，第3校正功率值通過信號(hào)A與修正校正值α ’的運(yùn)算(乘積)而被導(dǎo)出。
[0106]第I振蕩器14a的控制部18 —邊利用第I比較結(jié)果一邊進(jìn)行控制以使得由第I振蕩器14a的振蕩部17振蕩產(chǎn)生的第I功率變?yōu)榈贗設(shè)定電壓值并向所述第I超聲波振子13a輸出。
[0107]第2振蕩器14b的運(yùn)算部20具有如下功能:導(dǎo)出利用修正校正值α ’對(duì)由第2振蕩器14b的檢測(cè)部19檢測(cè)出的第4檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第6校正功率值，將第6校正功率值與第2設(shè)定功率值進(jìn)行比較，在得到第6校正功率值偏離了第2設(shè)定功率值規(guī)定值以上這樣的第2比較結(jié)果的情況下，將第2比較結(jié)果輸出到控制部18。另外，與由第2振蕩器14b的檢測(cè)部19檢測(cè)出的第4檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的信號(hào)A被輸入到運(yùn)算部20，第6校正功率值通過信號(hào)A與修正校正值α ’的運(yùn)算(乘積)而被導(dǎo)出。
[0108]第2振蕩器14b的控制部18 —邊利用第2比較結(jié)果一邊進(jìn)行控制以使得由第2振蕩器14b的振蕩部17振蕩產(chǎn)生第3功率變?yōu)榈?設(shè)定電壓值并向第2超聲波振子13b輸出。
[0109]第3振蕩器14c的運(yùn)算部20具有如下功能:導(dǎo)出利用修正校正值α ’對(duì)由第3振蕩器14c的檢測(cè)部19檢測(cè)出的第6檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第9校正功率值，將第9校正功率值與第3設(shè)定功率值進(jìn)行比較，在得到第9校正功率值偏離了第3設(shè)定功率值規(guī)定值以上這樣的第3比較結(jié)果的情況下，將第3比較結(jié)果輸出到控制部18。另外，與由第3振蕩器14c的檢測(cè)部19檢測(cè)出的第6檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的信號(hào)A被輸入到運(yùn)算部20，第9校正功率值通過信號(hào)A與修正校正值α ’的運(yùn)算(乘積)而被導(dǎo)出。
[0110]第3振蕩器14c的控制部18 —邊利用第3比較結(jié)果一邊進(jìn)行控制以使得由第3振蕩器14c的振蕩部17振蕩產(chǎn)生的第3功率變?yōu)榈?設(shè)定電壓值并向第3超聲波振子13c輸出。
[0111]接著，對(duì)上述的超聲波清洗裝置的功率控制方法進(jìn)行說明，但僅對(duì)與按照第2實(shí)施方式的(I)?(14)的順序執(zhí)行的功率控制方法不同的部分進(jìn)行說明。[0112](I)對(duì)第I以及第2開關(guān)35、36進(jìn)行切換以使得第I超聲波清洗裝置31的第I超聲波振子13a以及第I振蕩器14a分別與功率計(jì)15電連接。換言之，通過第I開關(guān)35使第I超聲波振子13a與功率計(jì)15電連接，并且通過第2開關(guān)36使功率計(jì)15與第I振蕩器14a電連接。
[0113](5)對(duì)第I以及第2開關(guān)35、36進(jìn)行切換以使得第2超聲波清洗裝置32的第2超聲波振子13b以及第2振蕩器14b分別與功率計(jì)15電連接。換言之，通過第I開關(guān)35使第2超聲波振子13b與功率計(jì)15電連接，并且通過第2開關(guān)36使功率計(jì)15與第2振蕩器14b電連接。
[0114](10)對(duì)第I以及第2開關(guān)35、36進(jìn)行切換以使得第3超聲波清洗裝置33的第3超聲波振子13c以及第3振蕩器14c分別與功率計(jì)15電連接。換言之，通過第I開關(guān)35使第3超聲波振子13c與功率計(jì)15電連接，并且通過第2開關(guān)36使功率計(jì)15與第3振蕩器14c電連接。
[0115]根據(jù)本實(shí)施方式，能夠獲得與第2實(shí)施方式同樣的效果。
[0116]此外，在本實(shí)施方式中，能夠按照從第I超聲波清洗裝置31到第3超聲波清洗裝置33的順序自動(dòng)地切換與功率計(jì)15的連接。
[0117]另外，在本實(shí)施方式中，在具有第I~第3超聲波清洗裝置31~33的超聲波清洗裝置中應(yīng)用了本發(fā)明的一個(gè)方式，但也能夠在具有2個(gè)或4個(gè)以上的超聲波清洗裝置的超聲波清洗裝置中應(yīng)用本發(fā)明的一個(gè)方式。
[0118]此外，在進(jìn)行上述的功率控制之前，優(yōu)選先對(duì)功率計(jì)15進(jìn)行校正，例如優(yōu)選在過去I年內(nèi)對(duì)功率計(jì)15進(jìn)行校正。
[0119]【符號(hào)說明】
[0120]9 電源
[0121]10清洗槽
[0122]11被清洗物
[0123]I Ia第I被清洗物(被清洗物I)
[0124]I Ib第2被清洗物(被清洗物2)
[0125]IIc第3被清洗物(被清洗物3)
[0126]12清洗液
[0127]12a第I清洗液
[0128]12b第2清洗液
[0129]12c第3清洗液
[0130]13負(fù)荷(超聲波振子)
[0131]13a負(fù)荷I (第I超聲波振子)
[0132]13b負(fù)荷2 (第2超聲波振子)
[0133]13c負(fù)荷3 (第3超聲波振子)
[0134]14振蕩器
[0135]14a振蕩器1(第I振蕩器)
[0136]14b振蕩器2(第2振蕩器)
[0137]14c振蕩器3(第3振蕩器)[0138]15功率計(jì)
[0139]16電源部
[0140]17振蕩部
[0141]18控制部
[0142]19檢測(cè)部
[0143]20運(yùn)算部
[0144]21記錄部
[0145]31第I超聲波清洗裝置
[0146]32第2超聲波清洗裝置
[0147]33第3超聲波清洗裝置
[0148]34自動(dòng)切換功率計(jì)
[0149]35第I開關(guān)
[0150]36第2開關(guān)
【權(quán)利要求】
1.一種超聲波清洗裝置，其特征在于，具備: 清洗液，其對(duì)被清洗物進(jìn)行清洗； 超聲波振子，其向所述清洗液供給超聲波； 振蕩器，其與所述超聲波振子電連接；和 功率計(jì)，其測(cè)定施加于所述超聲波振子的功率， 所述振蕩器具有: 振蕩部； 控制部，其進(jìn)行控制以使得由所述振蕩部振蕩產(chǎn)生的第I功率變?yōu)樵O(shè)定功率值并向所述超聲波振子輸出； 檢測(cè)部，其檢測(cè)由所述控制部向所述超聲波振子輸出的第2功率； 記錄部，其記錄第I校正值以及第2校正值；和 運(yùn)算部，其分別與所述檢測(cè)部、所述控制部、所述記錄部以及所述功率計(jì)電連接， 所述運(yùn)算部具有如下功能:導(dǎo)出利用所述第I校正值對(duì)由所述檢測(cè)部檢測(cè)出的第I檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第I校正功率值，導(dǎo)出利用所述第2校正值對(duì)由所述功率計(jì)測(cè)定的測(cè)定功率值進(jìn)行了校正的第2校正功率值，將所述第2校正功率值與所述第I校正功率值進(jìn)行比較，在所述第I校正功率值偏離了所述第2校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)所述第I校正值進(jìn)行 了修正以使得所述第I校正功率值變?yōu)樗龅?校正功率值的第I修正校正值記錄到所述記錄部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波清洗裝置，其特征在于， 所述運(yùn)算部具有如下功能:導(dǎo)出利用所述第I修正校正值對(duì)由所述檢測(cè)部檢測(cè)出的第2檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第3校正功率值，將所述第3校正功率值與所述設(shè)定功率值進(jìn)行比較，在得到所述第3校正功率值偏離了所述設(shè)定功率值規(guī)定值以上這種比較結(jié)果的情況下，將所述比較結(jié)果輸出到所述控制部， 所述控制部一邊利用所述比較結(jié)果一邊進(jìn)行控制以使得由所述振蕩部振蕩產(chǎn)生的所述第I功率變?yōu)樗鲈O(shè)定電壓值并向所述超聲波振子輸出。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超聲波清洗裝置，其特征在于， 與由所述檢測(cè)部檢測(cè)出的所述第I檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的第I信號(hào)被輸入到所述運(yùn)算部，所述第I校正功率值通過所述第I信號(hào)與所述第I校正值的運(yùn)算而被導(dǎo)出， 與由所述功率計(jì)測(cè)定的所述測(cè)定功率值相對(duì)應(yīng)的第2信號(hào)被輸入到所述運(yùn)算部，所述第2校正功率值通過所述第2信號(hào)與所述第2校正值的運(yùn)算而被導(dǎo)出， 所述第I修正校正值是對(duì)所述第I校正值進(jìn)行了修正以使得所述第I校正功率值與所述第2校正功率值相等的值， 與由所述檢測(cè)部檢測(cè)出的所述第2檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的第3信號(hào)被輸入到所述運(yùn)算部，所述第3校正功率值通過所述第3信號(hào)與所述第I修正校正值的運(yùn)算而被導(dǎo)出。
4.一種超聲波清洗裝置，其具有第I超聲波清洗裝置、第2超聲波清洗裝置以及功率計(jì)，所述超聲波清洗裝置的特征在于， 所述第I超聲波清洗裝置具有: 第I清洗液，其對(duì)第I被清洗物進(jìn)行清洗； 第I超聲波振子，其向所述第I清洗液供給超聲波；和第I振蕩器，其與所述第I超聲波振子電連接， 所述第2超聲波清洗裝置具有: 第2清洗液，其對(duì)第2被清洗物進(jìn)行清洗； 第2超聲波振子，其向所述第2清洗液供給超聲波； 第2振蕩器，其與所述第2超聲波振子電連接， 所述功率計(jì)對(duì)施加于所述第I超聲波振子的功率或施加于所述第2超聲波振子的功率進(jìn)行測(cè)定， 所述第I超聲波振子以及所述第2超聲波振子經(jīng)由第I開關(guān)與所述功率計(jì)電連接， 所述第I振蕩器以及所述第2振蕩器經(jīng)由第2開關(guān)與所述功率計(jì)電連接， 所述第I振蕩器具有: 第I振蕩部； 第I控制部，其進(jìn)行控制以使得由所述第I振蕩部振蕩產(chǎn)生的第I功率變?yōu)榈贗設(shè)定功率值并向所述第I超聲波振子輸出； 第I檢測(cè)部，其檢測(cè)由所述第I控制部向所述第I超聲波振子輸出的第2功率； 第I記錄部，其記錄第I校正值以及第2校正值；和 第I運(yùn)算部，其分別與所述第I檢測(cè)部、所述第I控制部以及所述第I記錄部電連接，并經(jīng)由所述第2開關(guān)與所述功率計(jì)電連接，` 所述第I運(yùn)算部具有如下功能:導(dǎo)出利用所述第I校正值對(duì)由所述第I檢測(cè)部檢測(cè)出的第I檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第I校正功率值，導(dǎo)出利用所述第2校正值對(duì)由所述功率計(jì)測(cè)定的第I測(cè)定功率值進(jìn)行了校正的第2校正功率值，將所述第2校正功率值與所述第I校正功率值進(jìn)行比較，在所述第I校正功率值偏離了所述第2校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)所述第I校正值進(jìn)行了修正以使得所述第I校正功率值變?yōu)樗龅?校正功率值的第I修正校正值記錄到所述第I記錄部， 所述第2振蕩器具有: 第2振蕩部； 第2控制部，其進(jìn)行控制以使得由所述第2振蕩部振蕩產(chǎn)生的第3功率變?yōu)榈?設(shè)定功率值并向所述第2超聲波振子輸出； 第2檢測(cè)部，其檢測(cè)由所述第2控制部向所述第2超聲波振子輸出的第4功率； 第2記錄部,其記錄第3校正值以及第4校正值；和 第2運(yùn)算部，其分別與所述第2檢測(cè)部、所述第2控制部以及所述第2記錄部電連接，并經(jīng)由所述第2開關(guān)與所述功率計(jì)電連接， 所述第2運(yùn)算部具有如下功能:導(dǎo)出利用所述第3校正值對(duì)由所述第2檢測(cè)部檢測(cè)出的第3檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第4校正功率值，導(dǎo)出利用所述第4校正值對(duì)由所述功率計(jì)測(cè)定的第2測(cè)定功率值進(jìn)行了校正的第5校正功率值，將所述第5校正功率值與所述第4校正功率值進(jìn)行比較，在所述第4校正功率值偏離了所述第5校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)所述第3校正值進(jìn)行了修正以使得所述第4校正功率值變?yōu)樗龅?校正功率值的第2修正校正值記錄到所述第2記錄部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超聲波清洗裝置，其特征在于， 所述第I運(yùn)算部具有如下功能:導(dǎo)出利用所述第I修正校正值對(duì)由所述第I檢測(cè)部檢測(cè)出的第2檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第3校正功率值，將所述第3校正功率值與所述第I設(shè)定功率值進(jìn)行比較，在得到所述第3校正功率值偏離了所述第I設(shè)定功率值規(guī)定值以上這樣的第I比較結(jié)果的情況下，將所述第I比較結(jié)果輸出到所述第I控制部， 所述第I控制部一邊利用所述第I比較結(jié)果一邊進(jìn)行控制以使得由所述第I振蕩部振蕩產(chǎn)生的所述第I功率變?yōu)樗龅贗設(shè)定電壓值并向所述第I超聲波振子輸出， 所述第2運(yùn)算部具有如下功能:導(dǎo)出利用所述第2修正校正值對(duì)由所述第2檢測(cè)部檢測(cè)出的第4檢測(cè)功率值進(jìn)行了校正的第6校正功率值，將所述第6校正功率值與所述第2設(shè)定功率值進(jìn)行比較，在得到所述第6校正功率值偏離了所述第2設(shè)定功率值規(guī)定值以上這樣的第2比較結(jié)果的情況下，將所述第2比較結(jié)果輸出到所述第2控制部， 所述第2控制部一邊利用所述第2比較結(jié)果一邊進(jìn)行控制以使得由所述第2振蕩部振蕩產(chǎn)生的所述第3功率變?yōu)樗龅?設(shè)定電壓值并向所述第2超聲波振子輸出。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的超聲波清洗裝置，其特征在于， 與由所述第I檢測(cè)部檢測(cè)出的所述第I檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的第I信號(hào)被輸入到所述第I運(yùn)算部，所述第I校正功率值通過所述第I信號(hào)與所述第I校正值的運(yùn)算而被導(dǎo)出， 與由所述功率計(jì)測(cè)定的所述第I測(cè)定功率值相對(duì)應(yīng)的第2信號(hào)被輸入到所述第I運(yùn)算部，所述第2校正功率值通過所述第2信號(hào)與所述第2校正值的運(yùn)算而被導(dǎo)出， 所述第I修正校正值是對(duì)所述第I校正值進(jìn)行了修正以使得所述第I校正功率值與所述第2校正功率值相等的值， 與由所述第I檢測(cè)部檢測(cè)出的所述第2檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的第3信號(hào)被輸入到所述第I運(yùn)算部，所述第3校正功率`值通過所述第3信號(hào)與所述第I修正校正值的運(yùn)算而被導(dǎo)出，與由所述第2檢測(cè)部檢測(cè)出的所述第3檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的第4信號(hào)被輸入到所述第2運(yùn)算部，所述第4校正功率值通過所述第4信號(hào)與所述第3校正值的運(yùn)算而被導(dǎo)出， 與由所述功率計(jì)測(cè)定的所述第2測(cè)定功率值相對(duì)應(yīng)的第5信號(hào)被輸入到所述第2運(yùn)算部，所述第5校正功率值通過所述第5信號(hào)與所述第4校正值的運(yùn)算而被導(dǎo)出， 所述第2修正校正值是對(duì)所述第3校正值進(jìn)行了修正以使得所述第4校正功率值與所述第5校正功率值相等的值， 與由所述第2檢測(cè)部檢測(cè)出的所述第4檢測(cè)功率值相對(duì)應(yīng)的第6信號(hào)被輸入到所述第2運(yùn)算部，所述第6校正功率值通過所述第6信號(hào)與所述第2修正校正值的運(yùn)算而被導(dǎo)出。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的超聲波清洗裝置，其特征在于， 所述功率計(jì)是被校正過的功率計(jì)。
8.一種超聲波清洗裝置的功率控制方法， 所述超聲波清洗裝置具有: 清洗液，其對(duì)被清洗物進(jìn)行清洗； 超聲波振子，其向所述清洗液供給超聲波； 振蕩器，其與所述超聲波振子電連接；和 功率計(jì)，其與所述振蕩器以及所述超聲波振子電連接， 所述振蕩器具有: 振蕩部； 控制部，其與所述振蕩部電連接；檢測(cè)部，其與所述控制部電連接； 運(yùn)算部，其分別與所述檢測(cè)部以及所述控制部電連接；和 記錄部，其與所述運(yùn)算部電連接， 所述功率控制方法的特征在于， 由所述控制部進(jìn)行控制以使得由所述振蕩部振蕩產(chǎn)生的第I功率變?yōu)樵O(shè)定功率值并向所述超聲波振子輸出， 由所述檢測(cè)部檢測(cè)向所述超聲波振子輸出的第2功率， 由所述運(yùn)算部通過利用在所述記錄部中記錄的第I校正值對(duì)由所述檢測(cè)部檢測(cè)出的第I檢測(cè)功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第I校正功率值， 由所述功率計(jì)測(cè)定向所述超聲波振子輸出的所述第2功率， 由所述運(yùn)算部通過利用在所述記錄部中記錄的第2校正值對(duì)由所述功率計(jì)測(cè)定的第I測(cè)定功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第2校正功率值， 由所述運(yùn)算部將所述第2校正功率值與所述第I校正功率值進(jìn)行比較,在所述第I校正功率值偏離了所述第2校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)所述第I校正值進(jìn)行了修正以使得所述第I校正功率值變?yōu)樗龅?校正功率值的第I修正校正值記錄到所述記錄部。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的超聲波清洗裝置的功率控制方法，其特征在于， 在將所述第I修正校正值記錄到所述記錄部之后， 由所述控制部進(jìn)行控 制以使得由所述振蕩部振蕩產(chǎn)生的第3功率變?yōu)樗鲈O(shè)定功率值并向所述超聲波振子輸出， 由所述檢測(cè)部檢測(cè)向所述超聲波振子輸出的第4功率， 由所述運(yùn)算部通過利用所述第I修正校正值對(duì)由所述檢測(cè)部檢測(cè)出的第2檢測(cè)功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第3校正功率值， 由所述運(yùn)算部將所述第3校正功率值與所述設(shè)定功率值進(jìn)行比較，在得到所述第3校正功率值偏離了所述設(shè)定功率值規(guī)定值以上這種比較結(jié)果的情況下，將所述比較結(jié)果輸出到所述控制部， 由所述控制部一邊利用所述比較結(jié)果一邊進(jìn)行控制以使得由所述振蕩部振蕩產(chǎn)生的第5功率變?yōu)樗鲈O(shè)定功率值并向所述超聲波振子輸出。
10.一種超聲波清洗裝置的功率控制方法， 所述超聲波清洗裝置具有第I超聲波清洗裝置、第2超聲波清洗裝置以及功率計(jì)， 所述第I超聲波清洗裝置具有: 第I清洗液，其對(duì)第I被清洗物進(jìn)行清洗； 第I超聲波振子，其向所述第I清洗液供給超聲波；和 第I振蕩器，其與所述第I超聲波振子電連接， 所述第I振蕩器具有: 第I振蕩部； 第I控制部，其與所述第I振蕩部電連接； 第I檢測(cè)部，其與所述第I控制部電連接； 第I運(yùn)算部，其分別與所述第I檢測(cè)部以及所述第I控制部電連接；和第I記錄部，其與所述第I運(yùn)算部電連接， 所述第2超聲波清洗裝置具有: 第2清洗液，其對(duì)第2被清洗物進(jìn)行清洗， 第2超聲波振子，其向所述第2清洗液供給超聲波；和 第2振蕩器，其與所述第2超聲波振子電連接， 所述第2振蕩器具有: 第2振蕩部； 第2控制部，其與所述第2振蕩部電連接； 第2檢測(cè)部，其與所述第2控制部電連接； 第2運(yùn)算部，其分別與所述第2檢測(cè)部以及所述第2控制部電連接；和 第2記錄部，其與所述第2運(yùn)算部電連接， 所述功率控制方法的特征在于， 使所述第I超聲波振子以及所述第I振蕩器分別與所述功率計(jì)電連接， 由所述第I控制部進(jìn)行控制以使得由所述第I振蕩部振蕩產(chǎn)生的第I功率變?yōu)榈贗設(shè)定功率值并向所述第I超聲波振子輸出，` 由所述第I檢測(cè)部檢測(cè)向所述第I超聲波振子輸出的第2功率， 由所述第I運(yùn)算部通過利用在所述第I記錄部中記錄的第I校正值對(duì)由所述第I檢測(cè)部檢測(cè)出的第I檢測(cè)功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第I校正功率值， 由所述功率計(jì)測(cè)定向所述第I超聲波振子輸出的所述第2功率， 由所述第I運(yùn)算部通過利用在所述第I記錄部中記錄的第2校正值對(duì)由所述功率計(jì)測(cè)定的第I測(cè)定功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第2校正功率值， 由所述第I運(yùn)算部將所述第2校正功率值與所述第I校正功率值進(jìn)行比較，在所述第I校正功率值偏離了所述第2校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)所述第I校正值進(jìn)行了修正以使得所述第I校正功率值變?yōu)樗龅?校正功率值的第I修正校正值記錄到所述第I記錄部， 使所述第2超聲波振子以及所述第2振蕩器分別與所述功率計(jì)電連接， 由所述第2控制部進(jìn)行控制以使得由所述第2振蕩部振蕩產(chǎn)生的第3功率變?yōu)榈?設(shè)定功率值并向所述第2超聲波振子輸出， 由所述第2檢測(cè)部檢測(cè)向所述第2超聲波振子輸出的第4功率， 由所述第2運(yùn)算部通過利用在所述第2記錄部中記錄的第3校正值對(duì)由所述第2檢測(cè)部檢測(cè)出的第2檢測(cè)功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第3校正功率值， 由所述功率計(jì)測(cè)定向所述第2超聲波振子輸出的所述第4功率， 由所述第2運(yùn)算部通過利用在所述第2記錄部中記錄的第4校正值對(duì)由所述功率計(jì)測(cè)定的第2測(cè)定功率值進(jìn)行校正來導(dǎo)出第4校正功率值， 由所述第2運(yùn)算部將所述第4校正功率值與所述第3校正功率值進(jìn)行比較，在所述第3校正功率值偏離了所述第4校正功率值規(guī)定值以上的情況下，將對(duì)所述第3校正值進(jìn)行了修正以使得所述第3校正功率值變?yōu)樗龅?校正功率值的第2修正校正值記錄到所述第2記錄部。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的超聲波清洗裝置的功率控制方法，其特征在于，使所述第I超聲波振子以及所述第I振蕩器分別與所述功率計(jì)電連接，是指通過第I開關(guān)使所述第I超聲波振子與所述功率計(jì)電連接，并且通過第2開關(guān)使所述功率計(jì)與所述第I振蕩器電連接， 使所述第2超聲波振子以及所述第2振蕩器分別與所述功率計(jì)電連接，是指通過所述第I開關(guān)使所述第2超聲波振子與所述功率計(jì)電連接，并且通過所述第2開關(guān)使所述功率計(jì)與所述第2振蕩器電連接。
12.根據(jù)權(quán)利要求8~11中任一項(xiàng)所述的超聲波清洗裝置的功率控制方法，其特征在于， 在進(jìn)行所述功率控制之前，`對(duì)所述功率計(jì)進(jìn)行校正。
【文檔編號(hào)】H01L21/304GK103874550SQ201280039420
【公開日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2012年12月13日 優(yōu)先權(quán)日:2012年1月30日
【發(fā)明者】杉山晉, 市川康司 申請(qǐng)人:株式會(huì)社海上