專利名稱：一種硅片盒搬送臺(tái)車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及硅片盒搬送技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片盒搬送臺(tái)車。
背景技術(shù)：
在芯片制造企業(yè)，當(dāng)硅片尺寸由8寸增大到12寸后，由于硅片面積、厚度的增加，加上裝在娃片的前開口片盒(Front Opening Unified Pod, F0UP), —批產(chǎn)品的重量增大到約8kg左右，靠人力長距離搬送已經(jīng)比較吃力，且對(duì)硅片的安全也沒有保證，除去自動(dòng)搬送系統(tǒng)(Auto Material Handling System, AMHS)的搬送以外,仍有部分離線操作需要作業(yè)員使用推車搬送，推車通過平開門會(huì)帶來很多不便，如果通過自動(dòng)移門則有移門閉合和推車、人員發(fā)生碰撞的可能。因硅片價(jià)格昂貴易碎，一旦發(fā)生碰撞、震動(dòng)可能造成嚴(yán)重?fù)p失。
發(fā)明內(nèi)容根據(jù)上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本實(shí)用新型提供一種硅片盒搬送臺(tái)車的技術(shù)方案，具體如下一種硅片盒搬送臺(tái)車，用于將硅片盒搬送入潔凈室，其中，所述搬送臺(tái)車包括一個(gè)臺(tái)面和四個(gè)支撐柱，所述支撐柱位于所述臺(tái)面下方并支撐所述臺(tái)面，所述支撐柱下方安裝有滑輪并與地面接觸；所述同側(cè)的支撐柱之間在所述臺(tái)面下方預(yù)設(shè)的位置安裝有一擋板裝置。
優(yōu)選地，該硅片盒搬送臺(tái)車，其中，還包括內(nèi)置的避震彈簧裝置，所述避震彈簧裝置安裝在所述滑輪上方并與所述滑輪連接。優(yōu)選地，該硅片盒搬送臺(tái)車，其中，所述臺(tái)面是矩形的，所述擋板裝置沿所述臺(tái)面的長邊方向安裝在所述同側(cè)的兩根支撐柱之間，所述擋板裝置位于所述臺(tái)面的下方并與所述臺(tái)面之間有預(yù)設(shè)的距離。優(yōu)選地，該硅片盒搬送臺(tái)車，其中，所述臺(tái)面為多孔板。優(yōu)選地，該硅片盒搬送臺(tái)車，其中，所述臺(tái)面四周設(shè)有阻擋裝置。優(yōu)選地，該硅片盒搬送臺(tái)車，其中，還包括一個(gè)把手，所述把手安裝在所述臺(tái)面的寬邊側(cè)面。優(yōu)選地，該硅片盒搬送臺(tái)車，其中，所述滑輪是導(dǎo)靜電輪。優(yōu)選地，該硅片盒搬送臺(tái)車，其中，所述導(dǎo)靜電輪上設(shè)有一剎車部件。本實(shí)用新型的有益效果可以滿足硅片運(yùn)送過程中消除靜電、潔凈度、避震、以及在各種情況下觸發(fā)潔凈室移門的諸多需求。

圖1是本實(shí)用新型一種硅片盒搬送臺(tái)車的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
[0014]
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，但不作為本實(shí)用新型的限定。如圖1所示為一種硅片盒搬送臺(tái)車，用于將裝載硅片的硅片盒搬送入潔凈室，該硅片盒搬送臺(tái)車包括一個(gè)臺(tái)面I和四根支撐柱2，臺(tái)面是矩形的多孔板3，四周設(shè)有阻擋裝置8，該阻擋裝置為一圈擋板；支撐柱支撐臺(tái)面并位于其下方；在臺(tái)面的寬邊側(cè)面設(shè)有一把手4，供使用者推動(dòng)該搬送臺(tái)車，在每根支撐柱下方安裝有一個(gè)滑輪5，該滑輪是導(dǎo)靜電輪，并接觸地面，以滿足芯片生產(chǎn)中消除靜電的要求；滑輪上安裝有一個(gè)剎車部件(未示出)，滿足使用中固定停車的需求；在每個(gè)滑輪上方，各安裝有一個(gè)避震彈簧裝置6，該避震彈簧裝置可以為可以滿足運(yùn)送過程中的減震要求，避免因不必要的震動(dòng)導(dǎo)致硅片破損。在臺(tái)面長邊的同側(cè)支撐柱之間，沿臺(tái)面長邊安裝有一擋板裝置7，該擋板裝置為不銹鋼板；該擋板裝置位于臺(tái)面下方且與臺(tái)面有預(yù)定的距離，該擋板裝置的位置保證了在各種情況下都能觸發(fā)潔凈室的移門傳感器。該搬送臺(tái)車的整車結(jié)構(gòu)都采用了不銹鋼304材質(zhì)，該材質(zhì)可以滿足運(yùn)送硅片盒時(shí)的潔凈度要求，臺(tái)面的多孔板設(shè)計(jì)能夠滿足潔凈室空氣層流的通過需求。以上所述僅為本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的實(shí)施方式及保護(hù)范圍，對(duì)于本 領(lǐng)域技術(shù)人員而言，應(yīng)當(dāng)能夠意識(shí)到凡運(yùn)用本實(shí)用新型說明書及圖示內(nèi)容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應(yīng)當(dāng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種硅片盒搬送臺(tái)車，用于將硅片盒搬送入潔凈室，其特征在于，所述搬送臺(tái)車包括一個(gè)臺(tái)面和四個(gè)支撐柱，所述支撐柱位于所述臺(tái)面下方并支撐所述臺(tái)面，所述支撐柱下方安裝有滑輪并與地面接觸；所述同側(cè)的支撐柱之間在所述臺(tái)面下方預(yù)設(shè)的位置安裝有一擋板裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片盒搬送臺(tái)車，其特征在于，還包括內(nèi)置的避震彈簧裝置，所述避震彈簧裝置安裝在所述滑輪上方并與所述滑輪連接。
3.如權(quán)利要求1所述的硅片盒搬送臺(tái)車，其特征在于，所述臺(tái)面是矩形的，所述擋板裝置沿所述臺(tái)面的長邊方向安裝在所述同側(cè)的兩根支撐柱之間，所述擋板裝置位于所述臺(tái)面的下方并與所述臺(tái)面之間有預(yù)設(shè)的距離。
4.如權(quán)利要求3所述的硅片盒搬送臺(tái)車，其特征在于，所述臺(tái)面為多孔板。
5.如權(quán)利要求4所述的硅片盒搬送臺(tái)車，其特征在于，所述臺(tái)面四周設(shè)置有阻擋裝置。
6.如權(quán)利要求5所述的硅片盒搬送臺(tái)車，其特征在于，還包括一個(gè)把手，所述把手安裝在所述臺(tái)面的寬邊側(cè)面。
7.如權(quán)利要求1所述的硅片盒搬送臺(tái)車，其特征在于，所述滑輪是導(dǎo)靜電輪。
8.如權(quán)利要求7所述的硅片盒搬送臺(tái)車，其特征在于，所述導(dǎo)靜電輪上設(shè)有一剎車部件。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅片盒搬送臺(tái)車，用于將硅片盒搬送入潔凈室，其中，所述搬送臺(tái)車包括一個(gè)臺(tái)面和四個(gè)支撐柱，所述支撐柱位于所述臺(tái)面下方并支撐所述臺(tái)面，所述支撐柱下方安裝有滑輪并與地面接觸；所述同側(cè)的支撐柱之間在所述臺(tái)面下方預(yù)設(shè)的位置安裝有一擋板裝置；本實(shí)用新型的有益效果是可以滿足硅片運(yùn)送過程中消除靜電、潔凈度、避震、以及在各種情況下觸發(fā)潔凈室移門的諸多需求。
文檔編號(hào)H01L21/677GK202871762SQ201220472398
公開日2013年4月10日 申請(qǐng)日期2012年9月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月17日
發(fā)明者張曉東, 周利民, 黃煜 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司