專(zhuān)利名稱(chēng)：一種具有諧波抑制功能的Gysel型功分器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及微波及無(wú)線通信技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種具有諧波抑制功能的Gysel型功分器。
背景技術(shù)：
在微波通信、雷達(dá)系統(tǒng)的功率分配和饋電網(wǎng)絡(luò)中，功分器被廣泛使用。功分器有許多種類(lèi)，其中Gysel型功分器是常見(jiàn)的一種結(jié)構(gòu)。Gysel型功分器具備的優(yōu)勢(shì)有(I)其負(fù)載電阻可接出模塊并接地，散熱能力高，
(2)監(jiān)測(cè)輸出端口功率失配度的能力。加裝合適散熱系統(tǒng)，Gysel型功分器可承受L波段上·至IOkW和S波段上至5kW的連續(xù)波(CW)功率。傳統(tǒng)的Gysel型功分器結(jié)構(gòu)如圖1，圖I中Z0為三個(gè)端口特性阻抗，I: =Z2 = Z0, Z3 = Z0為三個(gè)分支線特性阻抗，Rl = Ztl為接地負(fù)載電阻，傳輸線的電長(zhǎng)度Θ ^ = 90°。傳統(tǒng)Gysel型功分器能將端口 I輸入的功率從端口 2、3等分輸出，并能在工作頻率下，實(shí)現(xiàn)三個(gè)端口良好的匹配以及兩個(gè)輸出端口間的相互隔離。但是，傳統(tǒng)Gysel型功分器具有奇次倍頻處的寄生通帶，沒(méi)有諧波抑制能力。最近幾年，國(guó)內(nèi)外出現(xiàn)關(guān)于對(duì)Wilkinson功分器、耦合器的諧波抑制設(shè)計(jì)的報(bào)道。K. K. M. Cheng 等在文獻(xiàn)("A Novel Power Divider Design With Enhanced SpuriousSuppression and Simple Structure, " Microwave Theory and Techniques, IEEETransactions on, vol. 58, pp. 3903-3908, 2010)提出利用分支線結(jié)構(gòu)在 Wilkinson 功分器中實(shí)現(xiàn)了諧波抑制功能。P Mondal和K. Srisathit等本別在文獻(xiàn)("Harmonicsuppression and size reduction of planar rat-race hybrid couplers, " inMicrowave Conference,2006. APMC 2006.Asia-Pacific, 2006, pp.671-673.和"Miniature Wilkinson Divider and Hybrid,Coupler with Harmonic Suppression,Using T-Shaped Transmission Line, " inMicrowave Conference,2007. APMC 2007.Asia-Pacific，2007，pp. 1-4.)中提出采用對(duì)稱(chēng)Π或T型諧波抑制單元對(duì)功分器、混合環(huán)實(shí)現(xiàn)諧波抑制。目前為止，還沒(méi)有關(guān)于Gysel功分器的諧波抑制功能設(shè)計(jì)的專(zhuān)利或研究報(bào)道。

實(shí)用新型內(nèi)容(一 )要解決的技術(shù)問(wèn)題有鑒于此，本實(shí)用新型的主要目的在于針對(duì)Gysel型功分器具有奇次倍頻處寄生通帶的缺陷，提出一種具有諧波抑制功能的Gysel型功分器，利用諧波抑制單元在Gysel型功分器中實(shí)現(xiàn)諧波抑制功能。( 二)技術(shù)方案為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種具有諧波抑制功能的Gysel型功分器，包括負(fù)載阻值為Ztl的第一端口 9、負(fù)載阻值為Ztl的第二端口 10、負(fù)載阻值為Ztl的第三端口11、第一諧波抑制單元I、第二諧波抑制單元4、特性阻抗為Z2的第一分支傳輸線2、特性阻抗為Z3的第二分支傳輸線3、特性阻抗為Z2的第三分支傳輸線5、特性阻抗為Z3的第四分支傳輸線6、阻值為&的第一接地負(fù)載電阻7和阻值為&的第二接地負(fù)載電阻8，其中第一諧波抑制單元I、第一分支傳輸線2、第二分支傳輸線3、第四分支傳輸線6、第三分支傳輸線5和第二諧波抑制單元4依次首尾相連呈閉合的傳輸線路，所述第一端口 9連接于第一諧波抑制單元I與第二諧波抑制單元4的連接處，所述第二端口 10連接于第一諧波抑制單元I與第一分支傳輸線2的連接處，所述第三端口 11連接于第二諧波抑制單元4與第三分支傳輸線5的連接處，所述第一接地負(fù)載電阻7 —端連接于第一分支傳輸線2與第二分支傳輸線3的連接處，另一端短路接地；所述第二接地負(fù)載電阻8—端連接于第三分支傳輸線5與第四分支傳輸線6的連接處，另一端短路接地。上述方案中，所述第一分支傳輸線2、第二分支傳輸線3、第三分支傳輸線5和第四分支傳輸線6具有相同的電長(zhǎng)度,所述電長(zhǎng)度為Qtltj 上述方案中，在需要抑制一個(gè)諧波頻點(diǎn)時(shí)，所述第一諧波抑制單元I與第二諧波抑制單元4均采用對(duì)稱(chēng)T型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)。所述對(duì)稱(chēng)T型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)能夠抑制一個(gè)諧波頻點(diǎn)，包括特性阻抗為Ztl、電長(zhǎng)度為Qtl的T型第一分支傳輸線12;特性阻抗為Zt2、電長(zhǎng)度為Θ t2的T型第二分支傳輸線13 ;特性阻抗為Zt3、電長(zhǎng)度為Θ t3的T型第三分支傳輸線14 ；以及端口 a和端口 b ;其中,端口 a、T型第一分支傳輸線12、T型第二分支傳輸線13和兩個(gè)端口中的端口 b依次相連接；T型第三分支傳輸線14 一端連接于T型第一分支傳輸線12與T型第二分支傳輸線13的連接處，另一端懸空。上述方案中，在需要抑制兩個(gè)諧波頻點(diǎn)時(shí)，所述第一諧波抑制單元I與第二諧波抑制單元4均采用非對(duì)稱(chēng)Π型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)。所述非對(duì)稱(chēng)Π型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)能夠抑制兩個(gè)諧波頻點(diǎn)，包括特性阻抗為Zpl、電長(zhǎng)度為θ ρ1的Π型第一分支傳輸線15 ;特性阻抗為Zp2、電長(zhǎng)度為θρ2的Π型第二分支傳輸線16;特性阻抗為Zp3、電長(zhǎng)度為θρ3的Π型第三分支傳輸線17 ;以及端口 c和端口 d;其中，端口 C、Π型第三分支傳輸線17和端口 d依次相連接；Π型第一分支傳輸線15 —端連接于端口 c與Π型第三分支傳輸線17的連接處，另一端懸空；Π型第二分支傳輸線16 —端連接于端口 d與Π型第三分支傳輸線17的連接處，另一端懸空。上述方案中，在需要抑制三個(gè)諧波頻點(diǎn)時(shí)，所述第一諧波抑制單元I與第二諧波抑制單元4均采用非對(duì)稱(chēng)Π -T混合型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)。所述非對(duì)稱(chēng)Π -T混合型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)能夠抑制三個(gè)諧波頻點(diǎn)，包括特性阻抗為Zhl、電長(zhǎng)度為Θ hl的Π -T型第一分支傳輸線18 ;特性阻抗為Ζκ、電長(zhǎng)度為Θ h2的Π -T型第二分支傳輸線19 ;特性阻抗為Zh3、電長(zhǎng)度為Θ h3的Π -T型第三分支傳輸線20 ;特性阻抗為Zh4、電長(zhǎng)度為θ Μ的Π -T型第四分支傳輸線21 ;特性阻抗為Zh5、電長(zhǎng)度為θω的Π-T型第五分支傳輸線22;以及端口 e和端口 f ;其中，端口 e、TI -T型第四分支傳輸線21、Π -T型第五分支傳輸線22和端口 f依次相連接；Π -T型第一分支傳輸線18 —端連接于端口 e與Π -T型第四分支傳輸線21的連接處，另一端懸空；Π -T型第二分支傳輸線19 一端連接于端口 f與Π -T型第五分支傳輸線22的連接處，另一端懸空；Π -T型第三分支線20 —端連接于Π -T型第四分支傳輸線21與Π -T型第五分支傳輸線22的連接處，另一端懸空。(三)有益效果本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型的Gysel功分器通過(guò)利用諧波抑制單元替換原有的傳輸線，實(shí)現(xiàn)了 Gysel功分具有諧波抑制的功能。根據(jù)實(shí)際應(yīng)用需求選擇不同的諧波抑制單元，可以分別實(shí)現(xiàn)單個(gè)或多個(gè)諧波頻點(diǎn)抑制的作用。克服了傳統(tǒng)Gysel型功分器奇次倍頻處的寄生通帶，而且保持原有Gysel在基頻處插損小、散熱特性高的特點(diǎn)。在工作頻率范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)三個(gè)端口的好的匹配，第二端口和第三端口的好的隔離，第一端口與第二、第三端口功率低損耗傳輸，同時(shí)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊。傳輸線特性阻抗和電阻阻值動(dòng)態(tài)可調(diào)范圍大，既能方便取用標(biāo)準(zhǔn)電阻值又能兼顧微帶線工藝對(duì)傳輸線特性阻抗的要求，尤其適合微波系統(tǒng)中要求有諧波抑制和功率散熱能力的應(yīng)用。

圖I為傳統(tǒng)Gysel型功分器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為依據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的具有諧波抑制功能的Gysel功分器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3(a)為T(mén)型諧波抑制單元的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3(b) Π型諧波抑制單元的結(jié)構(gòu)示·意圖，圖3(c)為Π -T型諧波抑制單元的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4(a)依據(jù)本實(shí)用新型第一實(shí)施例的采用T型諧波抑制單元的Gysel功分器示意圖，圖4 (b)為第一端口反射系數(shù)、第二端口與第三端口隔離度以及第一端口與第二端口傳輸系數(shù)的頻譜特性。圖5(a)為依據(jù)本實(shí)用新型第二實(shí)施例的采用Π型諧波抑制單元的Gysel功分器示意圖，圖5(b)為第一端口反射系數(shù)、第二端口與第三端口隔離度以及第一端口與第二端口傳輸系數(shù)的頻譜特性。圖6 (a)為依據(jù)本實(shí)用新型第三實(shí)施例的采用Π -T型諧波抑制單元的Gysel功分器示意圖，圖6(b)為第一端口反射系數(shù)、第二端口與第三端口隔離度以及第一端口與第二端口傳輸系數(shù)的頻譜特性。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。如圖2所示，圖2為依據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的具有諧波抑制功能的Gysel功分器的結(jié)構(gòu)示意圖，該Gysel型功分器包括負(fù)載阻值為Ztl的第一端口 9、負(fù)載阻值為Ztl的第二端口 10、負(fù)載阻值為Ztl的第三端口 11、第一諧波抑制單元I、第二諧波抑制單元4、特性阻抗為Z2的第一分支傳輸線2、特性阻抗為Z3的第二分支傳輸線3、特性阻抗為Z2的第三分支傳輸線5、特性阻抗為Z3的第四分支傳輸線6、阻值為&的第一接地負(fù)載電阻7和阻值為&的第二接地負(fù)載電阻8，其中第一諧波抑制單元I、第一分支傳輸線2、第二分支傳輸線3、第四分支傳輸線6、第三分支傳輸線5和第二諧波抑制單元4依次首尾相連呈閉合的傳輸線路，所述第一端口 9連接于第一諧波抑制單元I與第二諧波抑制單元4的連接處，所述第二端口 10連接于第一諧波抑制單元I與第一分支傳輸線2的連接處，所述第三端口 11連接于第二諧波抑制單元4與第三分支傳輸線5的連接處，所述第一接地負(fù)載電阻7 —端連接于第一分支傳輸線2與第二分支傳輸線3的連接處，另一端短路接地；所述第二接地負(fù)載電阻8 —端連接于第三分支傳輸線5與第四分支傳輸線6的連接處，另一端短路接地。[0023]其中,所述第一分支傳輸線2、第二分支傳輸線3、第三分支傳輸線5和第四分支傳輸線6具有相同的電長(zhǎng)度,所述電長(zhǎng)度為Qtltj圖2所示的具有諧波抑制功能的Gysel功分器，其設(shè)計(jì)步驟如下步驟a :按照傳統(tǒng)Gysel型功分器的相關(guān)方程設(shè)定參數(shù)；包括工作中心頻率為&，第一端口、第二端口和第三端口所接負(fù)載的阻值Ztl,接地負(fù)載&，以及第一個(gè)端口與第二、三端口間的傳輸線阻抗Z1和其它傳輸線阻抗Z2, Z3,各段傳輸線電長(zhǎng)度Θ QO步驟b :根據(jù)設(shè)計(jì)需求，選擇合適的諧波抑制單元替換傳統(tǒng)Gysel型功分器中第一個(gè)端口與第二、三端口間的傳輸線bl :需要抑制一個(gè)諧波頻點(diǎn)時(shí)，采用圖3 (a)所示的對(duì)稱(chēng)T型諧波抑制單元；b2 :需要抑制兩個(gè)諧波頻點(diǎn)時(shí)，采用圖3(b)所示的非對(duì)稱(chēng)Π型諧波抑制單元；·[0029]b3 :需要抑制三個(gè)諧波頻點(diǎn)時(shí)，采用圖3 (C)所示的非對(duì)稱(chēng)Π -T混合型諧波抑制單
J Li ο上述步驟bl中，在需要抑制一個(gè)諧波頻點(diǎn)時(shí)，所述第一諧波抑制單元I與第二諧波抑制單元4均采用對(duì)稱(chēng)T型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)。所述對(duì)稱(chēng)T型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)能夠抑制一個(gè)諧波頻點(diǎn)，包括特性阻抗為Ztl、電長(zhǎng)度為Θ tl的T型第一分支傳輸線12 ;特性阻抗為Zt2、電長(zhǎng)度為Θ t2的T型第二分支傳輸線13 ;特性阻抗為Zt3、電長(zhǎng)度為Θ t3的T型第三分支傳輸線14 ；以及端口 a和端口 b ;其中,端口 a、T型第一分支傳輸線12、T型第二分支傳輸線13和兩個(gè)端口中的端口 b依次相連接；T型第三分支傳輸線14 一端連接于T型第一分支傳輸線12與T型第二分支傳輸線13的連接處，另一端懸空。T型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)的參數(shù)值計(jì)算如下0t2 = 0tl6 3 = (2)(!)Ztl = Zt2 = Z^an ( θ 0/2) cot ( θ tl)
... ..CQS2 (βν.)Zt2 = Z11αη(β0/2)tαη(θ 3) β
cos(2 Sj1 ) — cos(^q)其中&是功分器的工作基頻，fs是需要抑制的諧波頻點(diǎn)。Qtl是自定義變量，根據(jù)電路具體設(shè)計(jì)指標(biāo)，選擇適當(dāng)?shù)摩?tl值，計(jì)算出ztl, Zt2, Zt3。上述步驟b2中，在需要抑制兩個(gè)諧波頻點(diǎn)時(shí)，所述第一諧波抑制單元I與第二諧波抑制單元4均采用非對(duì)稱(chēng)Π型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)。所述非對(duì)稱(chēng)Π型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)能夠抑制兩個(gè)諧波頻點(diǎn)，包括特性阻抗為Zpl、電長(zhǎng)度為Θρ1的Π型第一分支傳輸線15 ;特性阻抗為Zp2、電長(zhǎng)度為θρ2的Π型第二分支傳輸線16;特性阻抗為Zp3、電長(zhǎng)度為0￡)3的!1型第三分支傳輸線17 ;以及端口 c和端口 d ;其中，端口 C、Π型第三分支傳輸線17和端口 d依次相連接；Π型第一分支傳輸線15 —端連接于端口 c與Π型第三分支傳輸線17的連接處，另一端懸空；Π型第二分支傳輸線16 —端連接于端口 d與Π型第三分支傳輸線17的連接處，另一端懸空。非對(duì)稱(chēng)Π型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)的參數(shù)計(jì)算如下
權(quán)利要求1.一種具有諧波抑制功能的Gysel型功分器，其特征在于，該Gysel型功分器包括負(fù)載阻值為Ztl的第一端口(9)、負(fù)載阻值為Ztl的第二端口(10)、負(fù)載阻值為Ztl的第三端口(11)、第一諧波抑制單元(I)、第二諧波抑制單元(4)、特性阻抗為Z2的第一分支傳輸線(2)、特性阻抗為Z3的第二分支傳輸線(3)、特性阻抗為Z2的 第三分支傳輸線(5)、特性阻抗為Z3的第四分支傳輸線(6)、阻值為&的第一接地負(fù)載電阻(7)和阻值為&的第二接地負(fù)載電阻(8)，其中 第一諧波抑制單元(I)、第一分支傳輸線(2)、第二分支傳輸線(3)、第四分支傳輸線(6)、第三分支傳輸線(5)和第二諧波抑制單元(4)依次首尾相連呈閉合的傳輸線路，所述第一端口(9)連接于第一諧波抑制單元(I)與第二諧波抑制單元(4)的連接處，所述第二端口(10)連接于第一諧波抑制單元(I)與第一分支傳輸線(2)的連接處，所述第三端口(11)連接于第二諧波抑制單元(4)與第三分支傳輸線(5)的連接處，所述第一接地負(fù)載電阻(7) —端連接于第一分支傳輸線(2)與第二分支傳輸線(3)的連接處，另一端短路接地；所述第二接地負(fù)載電阻(8) —端連接于第三分支傳輸線(5)與第四分支傳輸線(6)的連接處，另一端短路接地。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有諧波抑制功能的Gysel型功分器，其特征在于，所述第一分支傳輸線(2)、第二分支傳輸線(3)、第三分支傳輸線(5)和第四分支傳輸線(6)具有相同的電長(zhǎng)度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有諧波抑制功能的Gysel型功分器，其特征在于，所述電長(zhǎng)度為9。。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有諧波抑制功能的Gysel型功分器，其特征在于，在需要抑制一個(gè)諧波頻點(diǎn)時(shí)，所述第一諧波抑制單元⑴與第二諧波抑制單元⑷均采用對(duì)稱(chēng)T型諧波抑制單兀結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有諧波抑制功能的Gysel型功分器，其特征在于，所述對(duì)稱(chēng)T型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)能夠抑制一個(gè)諧波頻點(diǎn),包括 特性阻抗為Ztl、電長(zhǎng)度為e tl的T型第一分支傳輸線(12)； 特性阻抗為Zt2、電長(zhǎng)度為e t2的T型第二分支傳輸線(13)； 特性阻抗為Zt3、電長(zhǎng)度為e t3的T型第三分支傳輸線(14);以及 端口 a和端口 b ； 其中，端口 a、T型第一分支傳輸線(12)、T型第二分支傳輸線(13)和兩個(gè)端口中的端口 b依次相連接；T型第三分支傳輸線(14) 一端連接于T型第一分支傳輸線(12)與T型第二分支傳輸線(13)的連接處，另一端懸空。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有諧波抑制功能的Gysel型功分器，其特征在于，在需要抑制兩個(gè)諧波頻點(diǎn)時(shí)，所述第一諧波抑制單元(I)與第二諧波抑制單元(4)均采用非對(duì)稱(chēng)n型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有諧波抑制功能的Gysel型功分器，其特征在于，所述非對(duì)稱(chēng)n型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)能夠抑制兩個(gè)諧波頻點(diǎn)，包括 特性阻抗為zpl、電長(zhǎng)度為ePd^n型第一分支傳輸線(15)； 特性阻抗為Zp2、電長(zhǎng)度為01)2的11型第二分支傳輸線(16)； 特性阻抗為zp3、電長(zhǎng)度為ePd^n型第三分支傳輸線(17);以及端口 c和端口 d ； 其中，端口 c、n型第三分支傳輸線(17)和端口 d依次相連接；n型第一分支傳輸線(is) 一端連接于端口 c與n型第三分支傳輸線(17)的連接處，另一端懸空；n型第二分支傳輸線(16) —端連接于端口 d與n型第三分支傳輸線(17)的連接處，另一端懸空。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有諧波抑制功能的Gysel型功分器，其特征在于，在需要抑制三個(gè)諧波頻點(diǎn)時(shí)，所述第一諧波抑制單元(I)與第二諧波抑制單元(4)均采用非對(duì)稱(chēng)n -T混合型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的具有諧波抑制功能的Gysel型功分器，其特征在于，所述非對(duì)稱(chēng)n -T混合型諧波抑制單元結(jié)構(gòu)能夠抑制三個(gè)諧波頻點(diǎn)，包括 特性阻抗為Zhl、電長(zhǎng)度為0 hl的n -T型第一分支傳輸線(18)； 特性阻抗為Zm電長(zhǎng)度為0 h2的!1 -T型第二分支傳輸線(19)； 特性阻抗為zh3、電長(zhǎng)度為0 h3的!1 -T型第三分支傳輸線(20)； 特性阻抗為zh4、電長(zhǎng)度為e h4的n -T型第四分支傳輸線(21)； 特性阻抗為Zh5、電長(zhǎng)度為0 h5的!1 -T型第五分支傳輸線(22)；以及 端口 e和端口 f ； 其中，端口 e、TI-T型第四分支傳輸線(21)、TI-T型第五分支傳輸線(22)和端口 f 依次相連接；TI-T型第一分支傳輸線(18) —端連接于端口 e與TI-T型第四分支傳輸線(21)的連接處，另一端懸空；TI-T型第二分支傳輸線(19) 一端連接于端口 f 與TI-T型第五分支傳輸線(22)的連接處，另一端懸空；n-T型第三分支線(20) —端連接于TI-T型第四分支傳輸線(21)與TI-T型第五分支傳輸線(22)的連接處，另一端懸空。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種具有諧波抑制功能的Gysel型功分器，該Gysel型功分器包括三個(gè)端口、兩個(gè)諧波抑制單元，四個(gè)分支傳輸線和兩個(gè)接地負(fù)載電阻。本實(shí)用新型的Gysel功分器的特點(diǎn)，不僅具有抑制單個(gè)或多個(gè)諧波頻點(diǎn)的能力，克服了傳統(tǒng)Gysel功分器奇次倍頻處的寄生通帶，而且保持原有Gysel功分器在基頻處插損小、散熱特性高的特點(diǎn)。本實(shí)用新型可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用需求，選擇合適的諧波抑制單元類(lèi)型，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，傳輸線特性阻抗和電阻阻值動(dòng)態(tài)可調(diào)范圍大；既能方便取用標(biāo)準(zhǔn)電阻值又能兼顧微帶線工藝對(duì)傳輸線特性阻抗的要求，尤其適合微波系統(tǒng)中要求有諧波抑制和功率散熱能力的應(yīng)用。
文檔編號(hào)H01P5/16GK202759010SQ20122032060
公開(kāi)日2013年2月27日 申請(qǐng)日期2012年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月3日
發(fā)明者官勁, 張立軍, 孫征宇, 冷永清, 彭亞濤, 閻躍鵬 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院微電子研究所