專利名稱：一種新型防掉落舟托的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種安放裝置，具體涉及一種舟托。
背景技術(shù)：
現(xiàn)在，在半導(dǎo)體芯片(主要是石英芯片)的生產(chǎn)過(guò)程中，擴(kuò)散工序需要用到石英舟或碳化硅舟進(jìn)、出爐的工裝夾具，一般石英舟或碳化硅舟的存放處為石英管或碳化硅管或操作箱內(nèi)，在石英舟或碳化硅舟的傳遞過(guò)程中所用的舟托的材質(zhì)為不銹鋼，這樣的話會(huì)導(dǎo)致在石英舟或碳化硅舟傳遞過(guò)程中造成石英舟或碳化硅舟金屬離子的沾污，從而導(dǎo)致系統(tǒng)的沾污，影響制作產(chǎn)品的電參數(shù)，還存在不易拿取的問(wèn)題。市場(chǎng)上的一些石英舟托的使用面也是矩形面，所以在使用過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生掉落現(xiàn)象，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容發(fā)明目的本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，防掉落的新型舟托。技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所述的一種新型防掉落舟托，它包括矩形舟托底面，在所述矩形舟托底面上部設(shè)有四根連接柱，在所述連接柱上設(shè)有弧形舟托使用面，在所述弧形舟托使用面兩端設(shè)有開口的擋板。所述矩形舟托底面、連接柱、弧形舟托使用面和擋板都是采用石英材質(zhì)。有益效果本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其顯著優(yōu)點(diǎn)是本實(shí)用新型舟托結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，實(shí)用性強(qiáng)，可防掉落，所運(yùn)用的材質(zhì)均為石英，便于清洗，可以最大程度的減少石英舟或碳化硅舟在傳遞或存放過(guò)程中所導(dǎo)致的沾污。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。其中I、矩形舟托底面；2、連接柱；3、弧形舟托使用面；4、擋板。
具體實(shí)施例
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明。如圖I所示，本實(shí)用新型所述的一種新型防掉落舟托，它包括矩形舟托底面1，在所述矩形舟托底面I上部設(shè)有四根連接柱2，在所述連接柱2上設(shè)有弧形舟托使用面3，在所述弧形舟托使用面3兩端設(shè)有開口的擋板4 ;所述矩形舟托底面I、連接柱2、弧形舟托使用面3和擋板4都是采用石英材質(zhì)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，實(shí)用性強(qiáng)，可防掉落，所運(yùn)用的材質(zhì)均為石英，便于清洗，可以最大程度的減少石英舟或碳化硅舟在傳遞或存放過(guò)程中所導(dǎo)致的沾污。 本實(shí)用新型未涉及部分均與現(xiàn)有技術(shù)相同或可采用現(xiàn)有技術(shù)加以實(shí)現(xiàn)。
權(quán)利要求1.一種新型防掉落舟托，其特征在于它包括矩形舟托底面(I)，在所述矩形舟托底面(I)上部設(shè)有四根連接柱(2 )，在所述連接柱(2 )上設(shè)有弧形舟托使用面(3 )，在所述弧形舟托使用面(3 )兩端設(shè)有開口的擋板(4 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的新型防掉落舟托，其特征在于所述矩形舟托底面(I)、連接柱(2 )、弧形舟托使用面(3 )和擋板(4 )都是采用石英材質(zhì)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種新型防掉落舟托，它包括矩形舟托底面，在所述矩形舟托底面上部設(shè)有四根連接柱，在所述連接柱上設(shè)有弧形舟托使用面，在所述弧形舟托使用面兩端設(shè)有開口的擋板。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，防掉落。
文檔編號(hào)H01L21/677GK202712140SQ20122021428
公開日2013年1月30日 申請(qǐng)日期2012年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月14日
發(fā)明者孫東芹 申請(qǐng)人:太倉(cāng)子午電氣有限公司