專利名稱：一種帶排風(fēng)功能的熱板上下升降保護(hù)罩的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種帶排風(fēng)功能的熱板上下升降保護(hù)罩技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，具體地說(shuō)，涉及一種帶排風(fēng)功能的熱板上下升降保護(hù)罩。
背景技術(shù)：
[0002]目前，在電子行業(yè)、航天行業(yè)等尖端行業(yè)中，對(duì)硅片的需求量大大增加，所以硅片的加工就成為一個(gè)發(fā)展迅速的行業(yè)。在加工硅片的過(guò)程中，會(huì)有一些污染產(chǎn)生，主要是對(duì)硅片勻膠前后的烘烤時(shí)所產(chǎn)生的蒸發(fā)物，蒸發(fā)物中含有帶有污染性的有機(jī)物，會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染。[0003]目前市場(chǎng)上應(yīng)用于烘烤熱板的保護(hù)罩大多為手持固定式，只是起到保護(hù)人員對(duì)硅片的影響和保護(hù)人員不受熱板高溫傷害的作用。硅片上方的空間大部分還是暴露在環(huán)境當(dāng)中，雖然熱板模塊上裝有排風(fēng)管，但是由于空間太大，只有很少部分的蒸發(fā)物會(huì)被排風(fēng)管吸走，大部分還是會(huì)排放到環(huán)境當(dāng)中，對(duì)人員的健康有很大傷害，同時(shí)，蒸發(fā)物會(huì)造成工藝環(huán)境的不穩(wěn)定，對(duì)娃片的加工帶來(lái)一定的影響，甚至影響到娃片的質(zhì)量。發(fā)明內(nèi)容[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服上述缺陷，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、減少有機(jī)揮發(fā)物及熱量向周?chē)h(huán)境的排放、保護(hù)硅片和人員不受傷害并且保證工藝環(huán)境的穩(wěn)定的帶排風(fēng)功能的熱板上下升降保護(hù)罩。[0005]為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是一種帶排風(fēng)功能的熱板上下升降保護(hù)罩，包括遮蓋裝置，所述遮蓋裝置的一側(cè)設(shè)置有支撐導(dǎo)向驅(qū)動(dòng)裝置，遮蓋裝置與支撐導(dǎo)向驅(qū)動(dòng)裝置活動(dòng)連接。[0007]所述遮蓋裝置包括遮蓋板，遮蓋板的中心位置設(shè)置有通孔；所述遮蓋板的一側(cè)設(shè)置有支撐架，支撐架的上端安裝有擋板；所述支撐架中安裝有彈簧驅(qū)動(dòng)裝置，彈簧驅(qū)動(dòng)裝置連接有保護(hù)罩，保護(hù)罩與通孔相配合。[0008]所述保護(hù)罩的上端部設(shè)置有抗高溫玻璃，下端的邊緣位置設(shè)置有緩沖墊。[0009]所述保護(hù)罩的側(cè)面上設(shè)置有排氣管，排氣管連接并貫穿保護(hù)罩；所述排氣管的下部螺紋連接有豎直放置的移動(dòng)排氣管。[0010]更進(jìn)一步地說(shuō)[0011]所述彈簧驅(qū)動(dòng)裝置包括安裝在支撐架中的固定軸，固定軸與保護(hù)罩活動(dòng)連接；所述支撐架中軸連接有彈簧，彈簧的一端與保護(hù)罩連接，另一端連接有固定塊。[0012]所述支撐導(dǎo)向驅(qū)動(dòng)裝置包括驅(qū)動(dòng)氣缸，驅(qū)動(dòng)氣缸的動(dòng)力輸出端與滑塊連接；所述滑塊連接有滑軌，滑塊上部固定安裝有中心軸，中心軸的上部與遮蓋板固定連接。[0013]由于采用了上述技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型在熱板工藝進(jìn)行時(shí)，保護(hù)罩會(huì)在氣缸的驅(qū)動(dòng)下下降至最低部，將熱板工藝模塊完全覆蓋起來(lái)，既能保護(hù)硅片不受影響和人員不受傷害，同時(shí)硅片上的有機(jī)揮發(fā)物會(huì)在幾乎完全密閉的空間內(nèi)從上面的排風(fēng)口被抽走。[0014]在本實(shí)用新型中，保護(hù)罩的上方是抗高溫玻璃，既減輕了整個(gè)保護(hù)罩的重量，又方便人員透過(guò)玻璃觀察加熱板上的情況。保護(hù)罩的升降驅(qū)動(dòng)采用氣缸驅(qū)動(dòng)，控制方式 簡(jiǎn)單，升降速度容易控制，也降低了成本。升降動(dòng)作的導(dǎo)向采用滑軌、滑塊，安裝簡(jiǎn)單，運(yùn)動(dòng)精度也較高。這樣的設(shè)計(jì)，減少有機(jī)揮發(fā)物及熱量向周?chē)h(huán)境的排放，保護(hù)硅片和人員不受傷害，也保證了工藝環(huán)境的穩(wěn)定。[0015]同時(shí)
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。


[0016]圖I為本實(shí)用新型一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。[0017]圖中1_通孔；2_緩沖墊；3_保護(hù)罩；4_抗高溫玻璃；5_排氣管；6-擋板；7-支撐架；8_固定軸；9_中心軸；10_固定塊；11_彈簧；12_滑塊；13_驅(qū)動(dòng)氣缸；14_滑軌；15_移動(dòng)排氣管；16-遮蓋板。
具體實(shí)施方式
[0018]實(shí)施例[0019]如圖I所示，一種帶排風(fēng)功能的熱板上下升降保護(hù)罩，包括遮蓋裝置，其特征在于所述遮蓋裝置的一側(cè)設(shè)置有支撐導(dǎo)向驅(qū)動(dòng)裝置，遮蓋裝與支撐導(dǎo)向驅(qū)動(dòng)裝置活動(dòng)連接。[0020]在本實(shí)施例中，所述遮蓋裝置包括遮蓋板16，遮蓋板16的中心位置設(shè)置有通孔I。 所述遮蓋板16的一側(cè)設(shè)置有支撐架7，支撐架7的上端安裝有擋板6。所述支撐架7中安裝有彈簧驅(qū)動(dòng)裝置，彈簧驅(qū)動(dòng)裝置連接有保護(hù)罩3，保護(hù)罩3與通孔I相配合。保護(hù)罩3的直徑略大于通孔I的直徑，這樣才能起到封閉的作用。保護(hù)罩3的上端部設(shè)置有抗高溫玻璃4，既減輕了整個(gè)裝置的重量，又方便人員透過(guò)玻璃觀察加熱板上的情況。保護(hù)罩3的下端的邊緣位置設(shè)置有緩沖墊2，在保護(hù)罩3與遮蓋板16接觸的時(shí)候，能夠起到緩沖的作用， 防止保護(hù)罩3和遮蓋板16彼此碰壞。[0021]在本實(shí)施例中，所述保護(hù)罩3的側(cè)面上設(shè)置有排氣管5，排氣管5連接并貫穿保護(hù)罩3 ;所述排氣管5的下部螺紋連接有豎直放置的移動(dòng)排氣管15。在保護(hù)罩3上下運(yùn)動(dòng)的時(shí)候，移動(dòng)排氣管15也隨之上下運(yùn)動(dòng)。[0022]所述彈簧驅(qū)動(dòng)裝置包括安裝在支撐架7中的固定軸8，固定軸8與保護(hù)罩3活動(dòng)連接。所述支撐架7中軸連接有彈簧11。彈簧11的一端與保護(hù)罩3連接，另一端連接有固定塊10。通過(guò)釋放或者施加彈簧，可以使保護(hù)罩3開(kāi)啟或閉合，以便進(jìn)行加熱板維護(hù)及其他故障等處理。[0023]所述支撐導(dǎo)向驅(qū)動(dòng)裝置包括驅(qū)動(dòng)氣缸13，驅(qū)動(dòng)氣缸13的動(dòng)力輸出端與滑塊12連接；所述滑塊12連接有滑軌14，滑塊12上部固定安裝有中心軸9，中心軸9的上部與遮蓋板16固定連接。[0024]工作時(shí)，驅(qū)動(dòng)氣缸13下降，帶動(dòng)滑塊12和中心軸9下降，與中心軸連接的遮蓋板 16和保護(hù)罩3下降，將熱板工藝模塊完全覆蓋起來(lái)。再次過(guò)程中，豎直安裝的排氣管15也隨之上降。保護(hù)罩上的排風(fēng)口通過(guò)螺紋與一段直的移動(dòng)排風(fēng)管連接，移動(dòng)排風(fēng)管插入豎直安裝的排風(fēng)管里，保護(hù)罩升降的同時(shí)帶動(dòng)移動(dòng)排風(fēng)管升降。這種連接既能保證排風(fēng)量不受影響，又不會(huì)影響保護(hù)罩的升降動(dòng)作。[0025]保護(hù)罩3通過(guò)中心軸和彈簧11，在彈簧力的 作用下與支撐導(dǎo)向驅(qū)動(dòng)裝置連接，通過(guò)釋放或者施加彈簧力可以使保護(hù)罩3開(kāi)啟或閉合，以便進(jìn)行加熱板維護(hù)及其他故障等處理。[0026]本實(shí)用新型不局限于上述最佳實(shí)施方式，任何人應(yīng)該得知在本實(shí)用新型的啟示下做出的結(jié)構(gòu)變化，凡是與本實(shí)用新型具有相同或者相近似的技術(shù)方案，均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種帶排風(fēng)功能的熱板上下升降保護(hù)罩，包括遮蓋裝置，其特征在于所述遮蓋裝置的一側(cè)設(shè)置有支撐導(dǎo)向驅(qū)動(dòng)裝置，遮蓋裝置與支撐導(dǎo)向驅(qū)動(dòng)裝置活動(dòng)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的帶排風(fēng)功能的熱板上下升降保護(hù)罩，其特征在于所述遮蓋裝置包括遮蓋板(16)，遮蓋板(16)的中心位置設(shè)置有通孔(I);所述遮蓋板(16)的一側(cè)設(shè)置有支撐架(7)，支撐架(7)的上端安裝有擋板￠);所述支撐架(7)中安裝有彈簧驅(qū)動(dòng)裝置，彈簧驅(qū)動(dòng)裝置連接有保護(hù)罩(3)，保護(hù)罩(3)與通孔(I)相配合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶排風(fēng)功能的熱板上下升降保護(hù)罩，其特征在于所述保護(hù)罩(3)的上端部設(shè)置有抗高溫玻璃(4)，下端的邊緣位置設(shè)置有緩沖墊(2)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的帶排風(fēng)功能的熱板上下升降保護(hù)罩，其特征在于所述保護(hù)罩(3)的側(cè)面上設(shè)置有排氣管(5)，排氣管(5)連接并貫穿保護(hù)罩(3);所述排氣管(5)的下部螺紋連接有豎直放置的移動(dòng)排氣管(15)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2、3或4所述的帶排風(fēng)功能的熱板上下升降保護(hù)罩，其特征在于所述彈簧驅(qū)動(dòng)裝置包括安裝在支撐架(7)中的固定軸(8)，固定軸(8)與保護(hù)罩(3)活動(dòng)連接；所述支撐架(7)中軸連接有彈簧(11);彈簧(11)的一端與保護(hù)罩(3)連接，另一端連接有固定塊(10)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的帶排風(fēng)功能的熱板上下升降保護(hù)罩，其特征在于所述支撐導(dǎo)向驅(qū)動(dòng)裝置包括驅(qū)動(dòng)氣缸(13)，驅(qū)動(dòng)氣缸(13)的動(dòng)力輸出端與滑塊(12)連接；所述滑塊(12)連接有滑軌(14)，滑塊(12)上部固定安裝有中心軸(9)，中心軸(9)的上部 與遮蓋板(16)固定連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種帶排風(fēng)功能的熱板上下升降保護(hù)罩，包括遮蓋裝置，其特征在于所述遮蓋裝置的一側(cè)設(shè)置有支撐導(dǎo)向驅(qū)動(dòng)裝置，遮蓋裝與支撐導(dǎo)向驅(qū)動(dòng)裝置活動(dòng)連接。所述遮蓋裝置包括遮蓋板，遮蓋板的中心位置設(shè)置有通孔；所述遮蓋板的一側(cè)設(shè)置有支撐架，支撐架的上端安裝有擋板；所述支撐架中安裝有彈簧驅(qū)動(dòng)裝置，彈簧驅(qū)動(dòng)裝置連接有保護(hù)罩，保護(hù)罩與通孔相配合。所述支撐導(dǎo)向驅(qū)動(dòng)裝置包括驅(qū)動(dòng)氣缸，驅(qū)動(dòng)氣缸的動(dòng)力輸出端與滑塊連接；所述滑塊連接有滑軌，滑塊上部固定安裝有中心軸，中心軸的上部與遮蓋板固定連接。本實(shí)用新型減少有機(jī)揮發(fā)物及熱量向周?chē)h(huán)境的排放，保護(hù)硅片和人員不受傷害，也保證了工藝環(huán)境的穩(wěn)定。
文檔編號(hào)H01L21/02GK202662568SQ20122017542
公開(kāi)日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月24日
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