專利名稱：上芯機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種光機電一體化芯片生產(chǎn)技術領域，尤其涉及一種全自動上芯機。
背景技術：
上芯機是半導體后工序生產(chǎn)線的關鍵設備之一，它主要完成對芯片進行各種可靠的質(zhì)量檢測、精確定位，并送達下一步工序進行引線封裝，而目前市面上的上芯機 上料器及下料器均不能與送料槽拆分，并且上料器在上料的時候是人工手動上料，工作效率低。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是針對現(xiàn)有技術的不足而提供一種可以拆分上料器及下料器的全自動上料的上芯機。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術方案一種上芯機，包括機架、控制箱、晶圓臺、送料槽、上料器、下料器、機械臂、圖像采集裝置，所述機架下方固定有控制箱，所述機架上方安裝有晶圓臺和送料槽，所述送料槽兩端分別連接有上料器和下料器，所述送料槽上方設有一機械臂，所述機械臂上方設有一圖像采集裝置。所述上料器可以拆分安裝在機架上，所述下料器也可以拆分安裝在機架上。在使用時可將物料裝在上料器內(nèi)，并將上料器安裝在機架上，使得上料器的出料口與送料槽相連，上料器內(nèi)的物料從上料器出料口輸出，由送料槽輸送到機械臂處，機械臂將晶圓臺上的晶圓盤內(nèi)的晶圓焊接在物料上，送料槽將焊接好晶圓的物料傳輸?shù)较铝掀鲀?nèi)，下料器收集滿物料后，可以將下料器拆下來，將物料裝好。本實用新型結構簡單、生產(chǎn)效率高。

圖I為本實用新型結構示意圖。圖中I、機架，2、控制箱，3、晶圓臺，4、送料槽，5、上料器，6、下料器，7、機械臂，8、圖
像采集裝置。
具體實施方式
一種上芯機，包括機架I、控制箱2、晶圓臺3、送料槽4、上料器5、下料器6、機械臂7、圖像采集裝置8，所述機架I下方固定有控制箱2，所述機架I上方安裝有晶圓臺3和送料槽4，所述送料槽4兩端分別連接有上料器5和下料器6，所述送料槽4上方設有一機械臂7，所述機械臂7上方設有一圖像采集裝置8。所述上料器5可以拆分安裝在機架I上，所述下料器6也可以拆分安裝在機架I上。[0013]在使用時可將物料裝在上料器5內(nèi)，并將上料器5安裝在機架I上，使得上料器5的出料口與送料槽4相連，上料器5內(nèi)的物料從上料器5出料口輸出，由送料槽4輸送到機械臂7處，機械臂7將晶圓臺3上的晶圓盤內(nèi)的晶圓焊接在物料上，送料槽4將焊接好晶圓的物料傳輸?shù)较铝掀?內(nèi)，下料器6收集滿物料后，可以將下料器拆下來，將物料裝好。根據(jù)上述說明書的揭示和教導，本實用新型所屬領域的技術人員還可以對上述實 施方式進行適當?shù)淖兏托薷?。因此，本實用新型并不局限于上面揭示和描述?b>具體實施方式
，對本實用新型的一些修改和變更也應當落入本實用新型的權利要求的保護范圍內(nèi)。此外，盡管本說明書中使用了一些特定的術語，但這些術語只是為了方便說明，并不對本實用新型構成任何限制。
權利要求1.一種上芯機，其特征在于包括機架、控制箱、晶圓臺、送料槽、上料器、下料器、機械臂、圖像采集裝置，所述機架下方固定有控制箱，所述機架上方安裝有晶圓臺和送料槽，所述送料槽兩端分別連接有上料器和下料器，所述送料槽上方設有ー機械臂，所述機械臂上方設有ー圖像采集裝置。
2.根據(jù)權利要求I所述的上芯機，其特征在于所述上料器可以拆分安裝在機架上，所述下料器也可以拆分安裝在機架上。
專利摘要本實用新型公開了一種上芯機，包括機架、控制箱、晶圓臺、送料槽、上料器、下料器、機械臂、圖像采集裝置，所述機架下方固定有控制箱，所述機架上方安裝有晶圓臺和送料槽，所述送料槽兩端分別連接有上料器和下料器，所述送料槽上方設有一機械臂，所述機械臂上方設有一圖像采集裝置。本實用新型結構簡單、生產(chǎn)效率高。
文檔編號H01L21/677GK202564192SQ20122014015
公開日2012年11月28日 申請日期2012年4月5日 優(yōu)先權日2012年4月5日
發(fā)明者余登華, 凌浩, 顧南雁 申請人:深圳市金譽半導體有限公司