專利名稱：一種用于擴散的源瓶的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種用于擴散的源瓶。
背景技術(shù)：
常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡，在所有的可持續(xù)能源中，太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。目前，在所有的太陽能電池中，晶體硅太陽能電池是得到大范圍商業(yè)推廣的太陽能電池之一，這是由于硅材料在地殼中有著極為豐富的儲量，同時晶體硅太陽能電池相比其他類型的太陽能電池，有著優(yōu)異的電學性能和機械性能，晶體硅太陽能電池在光伏領(lǐng)域占據(jù)著重要的地位。因此，研發(fā)高性價比的晶體硅太陽能電池已經(jīng)成為各國光伏企業(yè)的主要研究方向。目前，晶體硅太陽能電池制作過程一般為表面清洗及織構(gòu)化、擴散、等離子體去 邊、清洗去磷硅玻璃、鍍膜、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)形成歐姆接觸、測試。其中，擴散工序是整個制造過程的核心工序，其目的是為了在晶體硅表面形成PN結(jié)?，F(xiàn)有技術(shù)中，用于擴散的源瓶主要包括瓶體、進氣管和出氣管，參見附圖I所示。所述瓶體I整體呈圓柱形，底部是平整的，進氣管4 一直延伸到離瓶底2mm左右。當外界氮氣從進氣管吹入到源瓶里，攜帶出源瓶里的擴散源，形成源蒸汽，再從出氣管5出來進入擴散爐中。然而，上述源瓶存在如下問題(I)在生產(chǎn)過程中，源瓶里的擴散源會不斷地消耗減少，當減少到一定程度時，氮氣攜帶出的擴散源會變小，這時需要更換擴散源，一般情況下，當源瓶里的擴散源離瓶底2cm時就需要更換了，顯然，這樣在源瓶里會有很多擴散源都沒有被利用，浪費了擴散源，提高了成本；同時，這些廢棄的擴散源需要處理，由于擴散源有劇毒，增加了危險性；(2)現(xiàn)有的源瓶一般都是單層結(jié)構(gòu)，一旦瓶體出現(xiàn)破裂，擴散源就會流出，造成危險。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型目的是提供一種用于擴散的源瓶。為達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是一種用于擴散的源瓶，包括瓶體、進氣管和出氣管，所述瓶體為雙層結(jié)構(gòu)，其內(nèi)層瓶體的縱剖面的底部呈倒錐形；所述進氣管設于所述內(nèi)層瓶體內(nèi)，且延伸到內(nèi)層瓶體底部。上文中，所述瓶體為雙層結(jié)構(gòu)，即瓶體整體設計成兩層，即內(nèi)層瓶體和外層瓶體，一旦內(nèi)層瓶體破裂，外層瓶體起到保護作用，擴散源不會直接流出，提高了安全度。所述擴散源可以是擴散磷源或擴散硼源。上述技術(shù)方案中，進入內(nèi)層瓶體的進氣管分支成至少2個分支進氣管。優(yōu)選的，所述分支進氣管為2個，各分支進氣管沿著內(nèi)層瓶體的瓶壁延伸到瓶底。即將進氣管設計成一個主進氣管進入到源瓶里，在源瓶里分支出2個分支進氣管，這2個分支進氣管豎直向下后，再沿著源瓶底部管壁深入到圓錐體頂點地方匯集。當外界氮氣進入進氣管后，再通過進氣管分支，可以鼓吹起擴散源蒸汽，當擴散源液體減少一定程度時，這些分支可以比起一個進氣管要攜帶更多的擴散源蒸汽，通過出氣管進入到擴散爐中，減少了擴散源的浪費，有利生產(chǎn)成本降低。由于上述技術(shù)方案運用，本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的優(yōu)點是I、本實用新型將源瓶設計成雙層結(jié)構(gòu)，內(nèi)層瓶體底部設計成圓錐體的形狀，因而減少了源瓶的擴散源液體剩余量，提高了擴散源的利用率，同時減少了待處理的廢棄擴散源，從而降低了生產(chǎn)成本，具有良好的經(jīng)濟效益。2、本實用新型的瓶體為雙層結(jié)構(gòu)，有利于減少危險性，同時外層瓶體的底部可以是常規(guī)的平面型，有利于存放。3、本實用新型的源瓶充分利用源瓶里的擴散源，氮氣進入進氣管通過分支能充分 接觸擴散源，提高利用效率，降低了使用成本。4、本實用新型的結(jié)構(gòu)合理，成本較低，且具有良好使用性，適于推廣應用。

附圖I為背景技術(shù)中源瓶的結(jié)構(gòu)示意圖；附圖2為本實用新型實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、瓶體；2、內(nèi)層瓶體；3、外層瓶體；4、進氣管；5、出氣管。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述實施例一參見圖2所示，一種用于擴散的源瓶，包括瓶體1，進氣管4和出氣管5 ;瓶體整體設計成兩層，即內(nèi)層瓶體2和外層瓶體3，一旦內(nèi)層瓶體2破裂，外層瓶體3起到保護作用；同時內(nèi)層瓶體2底部設計成圓錐體的形狀，減少了源瓶的擴散源液體剩余量，外層瓶體3的底部是平面型，有利于存放；進氣管4設計成一個主進氣管進入到源瓶里，在源瓶里分支出2個分支進氣管，這兩個分支進氣管豎直向下后，再沿著源瓶底部管壁深入到圓錐體頂點地方匯集。當外界氮氣進入進氣管4后，再通過進氣管分支，可以鼓吹起擴散源蒸汽，當擴散源液體減少一定程度時，這兩個分支可以比起一個進氣管要攜帶更多的擴散源蒸汽，通過出氣管5進入到擴散爐中，減少了擴散源的浪費，有利生產(chǎn)成本降低。
權(quán)利要求1.一種用于擴散的源瓶，包括瓶體(I)、進氣管(4)和出氣管(5)，其特征在于所述瓶體為雙層結(jié)構(gòu)，其內(nèi)層瓶體(2)的縱剖面的底部呈倒錐形；所述進氣管設于所述內(nèi)層瓶體內(nèi)，且延伸到內(nèi)層瓶體底部。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于擴散的源瓶，其特征在于進入內(nèi)層瓶體的進氣管分支成至少2個分支進氣管。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于擴散的源瓶，其特征在于所述分支進氣管為2個，各分支進氣管沿著內(nèi)層瓶體的瓶壁延伸到瓶底。
專利摘要本實用新型公開了一種用于擴散的源瓶，包括瓶體、進氣管和出氣管，所述瓶體為雙層結(jié)構(gòu)，其內(nèi)層瓶體的縱剖面的底部呈倒錐形；所述進氣管設于所述內(nèi)層瓶體內(nèi)，且延伸到內(nèi)層瓶體底部。本實用新型將源瓶設計成雙層結(jié)構(gòu)，內(nèi)層瓶體底部設計成圓錐體的形狀，因而減少了源瓶的擴散源液體剩余量，提高了擴散源的利用率，同時減少了待處理的廢棄擴散源，從而降低了生產(chǎn)成本，具有良好的經(jīng)濟效益。
文檔編號H01L21/228GK202473853SQ20122003309
公開日2012年10月3日 申請日期2012年2月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月2日
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