專(zhuān)利名稱(chēng)：一種優(yōu)化cdsem跑貨順序的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種優(yōu)化CDSEM跑貨順序的方法。
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體器件制造中，采用關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡(Critical DimensionElectronic Microscope, (DSEM)測(cè)量制作在晶片上的圖案的關(guān)鍵尺寸(CriticalDimension, CD)。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵尺寸越來(lái)越小。為保證光刻或刻蝕后晶片上圖案的準(zhǔn)確性，經(jīng)過(guò)曝光顯影將光罩上的圖案轉(zhuǎn)移到晶片上以后，帶有圖案的晶片會(huì)放置在CDSEM機(jī)臺(tái)，由CDSEM控制系統(tǒng)控制CDSEM機(jī)臺(tái)測(cè)量光刻后圖案的關(guān)鍵尺寸，CDSEM機(jī)臺(tái)將得到的圖案之關(guān)鍵尺寸反饋給CDSEM控制系統(tǒng)，以確定圖案的關(guān)鍵尺寸是否符合大規(guī)模集成電路(Integrated Circuit, IC)設(shè)計(jì)要求,從而了解光刻或者刻蝕的準(zhǔn) 確性。但是，目前⑶SEM系統(tǒng)造價(jià)昂貴，成本過(guò)高，而半導(dǎo)體公司所購(gòu)置的有限數(shù)量CDSEM利用率較低，不能滿(mǎn)足實(shí)際生產(chǎn)與研發(fā)需求。如何合理的安排CDSEM系統(tǒng)的跑貨順序，將關(guān)系到CDSEM機(jī)臺(tái)的利用率及高等級(jí)批量跑貨進(jìn)度。故，如何合理有效地優(yōu)化CDSEM機(jī)臺(tái)跑貨順序成為本領(lǐng)域的重要研究課題之一。故針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本案設(shè)計(jì)人憑借從事此行業(yè)多年的經(jīng)驗(yàn)，積極研究改良，于是有了本發(fā)明一種優(yōu)化CDSEM跑貨順序的方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中，傳統(tǒng)的CDSEM系統(tǒng)造價(jià)昂貴，成本過(guò)高，而半導(dǎo)體公司所購(gòu)置的有限數(shù)量CDSEM利用率較低，不能滿(mǎn)足實(shí)際生產(chǎn)與研發(fā)需求等缺陷提供一種優(yōu)化⑶SEM跑貨順序的方法。為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種優(yōu)化CDSEM跑貨順序的方法，所述方法包括執(zhí)行步驟S1:利用⑶SEM測(cè)量處方瀏覽器軟件導(dǎo)出已完成跑貨的批量產(chǎn)品之制
程時(shí)間Twafer ；執(zhí)行步驟S2:計(jì)算單點(diǎn)制程時(shí)間Tptjint ;通過(guò)量測(cè)程式的設(shè)定，并結(jié)合所述CDSEM測(cè)量處方瀏覽器軟件導(dǎo)出的已完成跑貨的批量產(chǎn)品之制程時(shí)間Twafw，并依據(jù)公式
Tp-，計(jì)算所述單點(diǎn)制程時(shí)間Tptjint ;
pomt執(zhí)行步驟S3 :將所述單點(diǎn)制程時(shí)間Tptjint導(dǎo)入自動(dòng)派貨系統(tǒng)，所述自動(dòng)派貨系統(tǒng)可導(dǎo)入所述CDSEM測(cè)量處方瀏覽器軟件輸出的數(shù)據(jù)并進(jìn)行計(jì)算，同時(shí)所述自動(dòng)派貨系統(tǒng)可對(duì)相關(guān)信息進(jìn)行記錄，所述相關(guān)信息包括批量產(chǎn)品的優(yōu)先等級(jí)順序、測(cè)量點(diǎn)數(shù)量；執(zhí)行步驟S4:計(jì)算所述CDSEM量測(cè)機(jī)臺(tái)的等待時(shí)間Twait，所述自動(dòng)派貨系統(tǒng)通過(guò)公式Twait — TrecipelpointX Lotl X Nlpoint + Trecipe2pointXLot2 X N2point+...+1；__^1^1^他_，獲得所述CDSEM量測(cè)機(jī)臺(tái)的等待時(shí)間Twait ；執(zhí)行步驟S5 :所述自動(dòng)派貨系統(tǒng)根據(jù)步驟S4所獲得的等待時(shí)間Twait,以及所述自動(dòng)派貨系統(tǒng)所記錄的批量產(chǎn)品的優(yōu)先等級(jí)順序安排所述CDSEM量測(cè)機(jī)臺(tái)的跑貨順序?？蛇x地，所述CDSEM測(cè)量處方瀏覽器軟件為CDSEM recipe viewer softwareversion 7. 30以上的版本?？蛇x地，所述⑶SEM機(jī)臺(tái)上安排量測(cè)的第一批晶圓的單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間Traipelptjint為O. 8s，待量測(cè)點(diǎn)數(shù)量為36個(gè)；在所述CDSEM機(jī)臺(tái)上安排量測(cè)的第二批晶圓的單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間Trecipe2point為O. 9s，待量測(cè)點(diǎn)數(shù)量為18個(gè)；所述第三批晶圓需要等待的時(shí)間為T(mén)wait3 Twait3 = Trecipelpoint X Lot I X Nlpoint+Trecipe2point X Lot2 X N2point = O. 8 X 36+0. 9 X 18 =45s。綜上所述，本發(fā)明所述的優(yōu)化CDSEM跑貨順序的方法實(shí)現(xiàn)了 CDSEM機(jī)臺(tái)等待時(shí)間的量化，并結(jié)合所述自動(dòng)派貨系統(tǒng)記錄的批量產(chǎn)品的優(yōu)先等級(jí)順序、測(cè)量點(diǎn)數(shù)量等相關(guān)信息，優(yōu)化所述CDSEM量測(cè)機(jī)臺(tái)的跑貨順序，不僅提高了所述CDSEM量測(cè)機(jī)臺(tái)的利用率，而且減少了高等級(jí)批量產(chǎn)品在所述CDSEM測(cè)量站點(diǎn)的等待時(shí)間，極大的改善了生產(chǎn)效率。


圖1所示為本發(fā)明優(yōu)化CDSEM跑貨順序的方法的流程圖；圖2所示為本發(fā)明已完成跑貨批量產(chǎn)品之制程時(shí)間Twate的圖譜。
具體實(shí)施例方式為詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達(dá)成目的及功效，下面將結(jié)合實(shí)施例并配合附圖予以詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參閱圖1，圖1所示為本發(fā)明一種優(yōu)化CDSEM跑貨順序的方法的流程圖。所述優(yōu)化⑶SEM跑貨順序的方法，包括以下步驟執(zhí)行步驟S1:利用⑶SEM測(cè)量處方瀏覽器軟件導(dǎo)出已完成跑貨的批量產(chǎn)品之制程
時(shí)間 Tirafer ；執(zhí)行步驟S2 :計(jì)算單點(diǎn)制程時(shí)間Tptjint ;具體地，通過(guò)量測(cè)程式的設(shè)定，并結(jié)合所述CDSEM測(cè)量處方瀏覽器軟件導(dǎo)出的已完成跑貨的批量產(chǎn)品之制程時(shí)間TwafOT，并依據(jù)公式
權(quán)利要求
1.一種優(yōu)化CDSEM跑貨順序的方法，其特征在于，所述方法包括 執(zhí)行步驟S1:利用CDSEM測(cè)量處方瀏覽器軟件導(dǎo)出已完成跑貨的批量產(chǎn)品之制程時(shí)間T ·wafer * 執(zhí)行步驟S2 :計(jì)算單點(diǎn)制程時(shí)間Tptjint ;通過(guò)量測(cè)程式的設(shè)定，并結(jié)合所述CDSEM測(cè)量處方瀏覽器軟件導(dǎo)出的已完成跑貨的批量產(chǎn)品之制程時(shí)間Twate，并依據(jù)公式=~^ 4十poml算所述單點(diǎn)制程時(shí)間Tptjint ； 執(zhí)行步驟S3 :將所述單點(diǎn)制程時(shí)間Tptjint導(dǎo)入自動(dòng)派貨系統(tǒng)，所述自動(dòng)派貨系統(tǒng)可導(dǎo)入所述CDSEM測(cè)量處方瀏覽器軟件輸出的數(shù)據(jù)并進(jìn)行計(jì)算，同時(shí)所述自動(dòng)派貨系統(tǒng)可對(duì)相關(guān)信息進(jìn)行記錄，所述相關(guān)信息包括批量產(chǎn)品的優(yōu)先等級(jí)順序、測(cè)量點(diǎn)數(shù)量； 執(zhí)行步驟S4 :計(jì)算所述CDSEM量測(cè)機(jī)臺(tái)的等待時(shí)間Twait,所述自動(dòng)派貨系統(tǒng)通過(guò)公式TWait — TrecipelpointX Lot I X Nlpoint + Trecipe2pointX L ο t 2 X N2point+...+1；__^1^1^他_，獲得所述CDSEM量測(cè)機(jī)臺(tái)的等待時(shí)間Twait ； 執(zhí)行步驟S5 :所述自動(dòng)派貨系統(tǒng)根據(jù)步驟S4所獲得的等待時(shí)間Twait,以及所述自動(dòng)派貨系統(tǒng)所記錄的批量產(chǎn)品的優(yōu)先等級(jí)順序安排所述CDSEM量測(cè)機(jī)臺(tái)的跑貨順序。
2.如權(quán)利要求1所述的優(yōu)化CDSEM跑貨順序的方法，其特征在于，所述CDSEM測(cè)量處方瀏覽器軟件為 CDSEM recipe viewer software version 7. 30 以上的版本。
3.如權(quán)利要求2所述的優(yōu)化CDSEM跑貨順序的方法，其特征在于，所述CDSEM機(jī)臺(tái)上安排量測(cè)的第一批晶圓的單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間Traipelptjint為O. 8s，待量測(cè)點(diǎn)數(shù)量為36個(gè)；在所述⑶SEM機(jī)臺(tái)上安排量測(cè)的第二批晶圓的單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間T_ipe2p()int為O. 9s，待量測(cè)點(diǎn)數(shù)量為18個(gè)；所述第三批晶圓需要等待的時(shí)間為T(mén)wait3 T\vait3 r^recipelpoint X Lot I XNlpoint+Trecipe2point X Lot2 X N2point = 0. 8 X 36+0. 9 X 18 = 45s。
全文摘要
一種優(yōu)化CDSEM跑貨順序的方法，包括步驟S1導(dǎo)出已完成跑貨的批量產(chǎn)品之制程時(shí)間Twafer；步驟S2計(jì)算單點(diǎn)制程時(shí)間Tpoint；步驟S3將所述單點(diǎn)制程時(shí)間Tpoint導(dǎo)入自動(dòng)派貨系統(tǒng)；步驟S4計(jì)算所述CDSEM量測(cè)機(jī)臺(tái)的等待時(shí)間Twait；步驟S5所述自動(dòng)派貨系統(tǒng)根據(jù)步驟S4所獲得的等待時(shí)間Twait，以及所述自動(dòng)派貨系統(tǒng)所記錄的批量產(chǎn)品的優(yōu)先等級(jí)順序優(yōu)化所述CDSEM量測(cè)機(jī)臺(tái)的跑貨順序。本發(fā)明所述的優(yōu)化CDSEM跑貨順序的方法實(shí)現(xiàn)了CDSEM量測(cè)機(jī)臺(tái)等待時(shí)間的量化，并結(jié)合所述自動(dòng)派貨系統(tǒng)記錄的批量產(chǎn)品的優(yōu)先等級(jí)順序、測(cè)量點(diǎn)數(shù)量等相關(guān)信息，優(yōu)化所述CDSEM量測(cè)機(jī)臺(tái)的跑貨順序，不僅提高了所述CDSEM量測(cè)機(jī)臺(tái)的利用率，而且減少了高等級(jí)批量產(chǎn)品在所述CDSEM測(cè)量站點(diǎn)的等待時(shí)間，極大的改善了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)H01L21/66GK103000547SQ20121049670
公開(kāi)日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月28日
發(fā)明者夏婷婷, 朱駿, 馬蘭濤, 張旭升 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司