專利名稱：彈性波濾波器裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及彈性波濾波器裝置。
背景技術(shù)：
以往，例如，在下述專利文獻(xiàn)I等中，作為移動(dòng)電話等通信設(shè)備中的RF(RadioFrequency,射頻)電路所搭載的帶通濾波器和分波器，提出了各種利用彈性表面波的彈性表面波濾波器裝置。圖20是作為專利文獻(xiàn)I所記載的彈性表面波濾波器裝置的彈性表面波分波器的概略性電路圖。如圖20所示，彈性表面波分波器100具備天線端子101、發(fā)送端子102、和第一及第二接收端子103a、103b。在天線端子101與發(fā)送端子102之間連接有發(fā)送濾波器110。在天線端子101與第一及第二接收端子103a、103b之間連接有接收濾波器120。發(fā)送濾波器110由梯型彈性表面波濾波器構(gòu)成。發(fā)送濾波器110具備連接天線端子101與發(fā)送端子102的串聯(lián)臂111。在串聯(lián)臂111中配置有串聯(lián)臂諧振器SlOl S104。串聯(lián)臂諧振器SlOl S104分別由多個(gè)彈性表面波諧振器構(gòu)成。電容器ClOl被并聯(lián)連接于構(gòu)成串聯(lián)臂諧振器S102的兩個(gè)彈性表面波諧振器。電容器C102與電感器LlOl被并聯(lián)連接于構(gòu)成串聯(lián)臂諧振器S104的一個(gè)彈性表面波諧振器。在串聯(lián)臂111與地之間連接有并聯(lián)臂112a、112b、112c。在并聯(lián)臂112a 112c的每個(gè)臂中分別配置并聯(lián)臂諧振器PlOl P103。并聯(lián)臂諧振器PlOl P103分別由多個(gè)彈性表面波諧振器構(gòu)成。在并聯(lián)臂112a中，在并聯(lián)臂諧振器PlOl與地之間連接有電感器L103。在并聯(lián)臂112b中，在并聯(lián)臂諧振器P102與地之間連接有電感器L104。在并聯(lián)臂112c中，在并聯(lián)臂諧振器P103與地之間連接有電感器L105。在電感器L103、L104與地之間連接有電感器L106。一般而言，彈性表面波分波器100這樣的彈性波濾波器裝置由彈性波濾波器芯片和布線基板構(gòu)成。彈性波濾波器芯片具有壓電基板和在壓電基板上形成的電極。布線基板具有多個(gè)電介質(zhì)層和多個(gè)電極層，電介質(zhì)層與電極層被交替層疊。彈性波濾波器芯片被搭載在布線基板上?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開2010-11300號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題在如彈性表面波分波器100這樣具有電感器的彈性波濾波器裝置中，通過構(gòu)成布線基板的電極層的電極而構(gòu)成了電感器。因此，存在如下問題:在制造彈性波濾波器裝置時(shí)，由于布線基板的制造偏差，有時(shí)電感器的電感值會產(chǎn)生偏差，所制造的彈性波濾波器裝置的濾波器特性也會產(chǎn)生偏差。本發(fā)明正是鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供一種濾波器特性的制造偏差小的彈性波濾波器裝置。用于解決課題的技術(shù)方案本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器裝置具備:第一及第二信號端子、電感器、以及梯型彈性波濾波器部。梯型彈性波濾波器部連接于第一信號端子與第二信號端子之間。本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器裝置具備彈性波濾波器芯片和布線基板。在彈性波濾波器芯片中，設(shè)置有梯型彈性波濾波器部。布線基板具有第一及第二主面。在布線基板的第一主面上安裝有彈性波濾波器芯片。布線基板具有被交替層疊的多個(gè)電介質(zhì)層和多個(gè)電極層。多個(gè)電極層之中的、作為最上層的電極層包括連接于彈性波濾波器芯片的焊盤電極。多個(gè)電極層之中的、作為最下層的電極層包括構(gòu)成第一信號端子的端子、以及構(gòu)成第二信號端子的端子。多個(gè)電極層之中的至少一個(gè)電極層包含構(gòu)成電感器的電感器電極。多個(gè)電極層之中的、隔著多個(gè)電介質(zhì)層之中的一個(gè)電介質(zhì)層而與包括電感器電極的電極層相鄰配置的電極層包括連接于地的接地電極。電感器電極與接地電極以隔著電介質(zhì)層彼此不對置的方式形成。在本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器裝置的某個(gè)特定方式中，電感器串聯(lián)連接于第一信號端子與第二信號端子之間。發(fā)明效果在本發(fā)明中，電感器電極與接地電極以隔著電介質(zhì)層彼此不對置的方式形成。因此，能夠減小彈性波濾波器裝置的濾波器特性的制造偏差。


圖1是實(shí)施了本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的雙工器的概略性電路圖。圖2是實(shí)施了本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的雙工器的示意性剖視圖。圖3是實(shí)施了本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的雙工器中的、布線基板的第四電極層與第三電介質(zhì)層的示意性透視俯視圖。圖4是實(shí)施了本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的雙工器中的、布線基板的第三電極層與第二電介質(zhì)層的示意性透視俯視圖。圖5是實(shí)施了本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的雙工器中的、布線基板的第二電極層與第一電介質(zhì)層的示意性透視俯視圖。圖6是實(shí)施了本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的雙工器中的、布線基板的第一電極層的示意性透視俯視圖。圖7是表示實(shí)施了本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的雙工器中的、布線基板的第一電極層與第二電極層的重疊狀態(tài)的示意性透視俯視圖。圖8是表示比較例所涉及的雙工器中的、布線基板的第一電極層與第二電極層的重疊狀態(tài)的示意性透視俯視圖。圖9是比較例所涉及的雙工器中的、布線基板的第四電極層與第三電介質(zhì)層的示意性透視俯視圖。圖10是比較例所涉及的雙工器中的、布線基板的第三電極層與第二電介質(zhì)層的示意性透視俯視圖。圖11是比較例所涉及的雙工器中的、布線基板的第二電極層與第一電介質(zhì)層的示意性透視俯視圖。
圖12是比較例所涉及的雙工器中的、布線基板的第一電極層的示意性透視俯視圖。圖13是表示實(shí)施例所涉及的雙工器的發(fā)送濾波器的濾波器特性的圖表。圖14是實(shí)施例所涉及的雙工器的發(fā)送端子中的史密斯圓圖。圖15是表示實(shí)施例所涉及的雙工器的發(fā)送濾波器的VSWR(Voltage StandingWave Ratio:電壓駐波比)特性的圖表。圖16是表示比較例所涉及的雙工器的發(fā)送濾波器的濾波器特性的圖表。圖17是比較例所涉及的雙工器的發(fā)送端子中的史密斯圓圖。圖18是表示比較例所涉及的雙工器的發(fā)送濾波器的VSWR特性的圖表。圖19是表示第一電介質(zhì)層的厚度為25 μ m的情況下的、實(shí)施例所涉及的雙工器的發(fā)送濾波器的濾波器特性與比較例所涉及的雙工器的發(fā)送濾波器的濾波器特性的圖表。圖20是專利文獻(xiàn)I所記載的彈性表面波分波器的概略性電路圖。
具體實(shí)施例方式(第一實(shí)施方式)以下，關(guān)于實(shí)施了本發(fā)明的優(yōu)選方式，以圖1所示的雙工器I為例進(jìn)行說明。不過，雙工器I僅為例示。本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器裝置并不限定于雙工器I。此外，在本發(fā)明中，假設(shè)在彈性波濾波器裝置中包含具有多個(gè)彈性波濾波器部的彈性波雙工器或彈性波三工器等彈性波分波器。另外，假設(shè)在“彈性波”中包含彈性表面波和彈性邊界波。即，假設(shè)在彈性波濾波器中包含彈性表面波濾波器和彈性邊界波濾波器。圖1是本實(shí)施方式所涉及的雙工器I的概略性電路圖。首先，參照圖1來說明雙工器I的電路結(jié)構(gòu)。本實(shí)施方式的雙工器I例如被搭載于與UMTS這樣的CDMA方式對應(yīng)的移動(dòng)電話等的RF電路中。具體而言，雙工器I是與UMTS-BAND2對應(yīng)的雙工器。此外，UMTS-BAND2的發(fā)送頻帶是1850MHz 1910MHz，接收頻帶是1930MHz 1990MHz。雙工器I具有與天線連接的天線端子21、發(fā)送端子24、和第一及第二接收端子22a、22b。在天線端子21與發(fā)送端子24之間連接有發(fā)送濾波器14。另外，在天線端子21與第一及第二接收端子22a、22b之間連接有接收濾波器15。在天線端子21與發(fā)送濾波器14及接收濾波器15之間的連接點(diǎn)、和地之間，連接有由電感器LI構(gòu)成的匹配電路。在本實(shí)施方式中，接收濾波器15具有不平衡信號端子15a、和第一及第二平衡信號端子15b、15c。不平衡信號端子15a與天線端子21連接。第一平衡信號端子15b與第一接收端子22a連接。第二平衡信號端子15c與第二接收端子22b連接。在不平衡信號端子15a與第一及第二平衡信號端子15b、15c之間，連接有具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的平衡型的縱耦合諧振器型彈性波濾波器部15A。縱耦合諧振器型彈性波濾波器部15A具有第一縱耦合諧振器型彈性波濾波器部15A1、第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器部15A2、第三縱耦合諧振器型彈性波濾波器部15A3、第四縱耦合諧振器型彈性波濾波器部15A4、以及彈性波諧振器15B1 15B8。第一 第四縱耦合諧振器型彈性波濾波器部15A1 15A4分別具有三個(gè)IDT電極和配置于IDT電極的彈性波傳播方向兩側(cè)的反射器。即，第一 第四縱耦合諧振器型彈性波濾波器部15A1 15A4是3IDT型的縱耦合諧振器型彈性波濾波器部。彈性波諧振器15B1 15B8分別具有一個(gè)IDT電極和配置于IDT電極的彈性波傳播方向兩側(cè)的反射器。即，彈性波諧振器15B1 15B8是I端口型彈性波諧振器。另一方面，發(fā)送濾波器14具有輸出端子14a、輸入端子14b、和梯型彈性波濾波器部14A。輸出端子14a與天線端子21連接。輸入端子14b與發(fā)送端子24連接。梯型彈性波濾波器部14A被連接于輸出端子14a與輸入端子14b之間。梯型彈性波濾波器部14A具有在輸出端子14a與輸入端子14b之間連接的串聯(lián)臂33。在串聯(lián)臂33中，串聯(lián)臂諧振器S1、S2、S3被串聯(lián)連接。串聯(lián)臂諧振器S1、S2、S3分別由作為一個(gè)諧振器發(fā)揮功能的多個(gè)彈性波諧振器構(gòu)成。這樣，串聯(lián)臂諧振器S1、S2、S3分別由多個(gè)彈性波諧振器構(gòu)成，由此能夠提高梯型彈性波濾波器部14A的耐電力性。但是，串聯(lián)臂諧振器S1、S2、S3也可以分別由單一的彈性波諧振器構(gòu)成。梯型彈性波濾波器部14A具有在串聯(lián)臂33與地之間連接的并聯(lián)臂37 39。在并聯(lián)臂37 39中分別設(shè)置并聯(lián)臂諧振器P1、P2、P3。并聯(lián)臂諧振器P1、P2、P3分別由作為一個(gè)諧振器發(fā)揮功能的多個(gè)彈性波諧振器構(gòu)成。這樣，并聯(lián)臂諧振器P1、P2、P3分別由多個(gè)彈性波諧振器構(gòu)成，由此能夠提高梯型彈性波濾波器部14A的耐電力性。但是，并聯(lián)臂諧振器P1、P2、P3也可以分別由單一的彈性波諧振器構(gòu)成。在并聯(lián)臂諧振器P1、P2與地之間連接有電感器L2。更詳細(xì)而言，在并聯(lián)臂諧振器P1、P2共同連接的共同連接點(diǎn)與地之間，連接有電感器L2。通過設(shè)置電感器L2，由此在比發(fā)送濾波器14的通頻帶低的低頻帶側(cè)形成衰減極。利用該衰減極，衰減GPS帶(1574.42MHz 1576.42MHz)的信號。另一方面，在并聯(lián)臂諧振器P3與地之間連接有電感器L3。通過設(shè)置電感器L3，由此在比發(fā)送濾波器14的通頻帶高的高頻帶側(cè)形成衰減極。利用該衰減極，衰減作為高次諧波的三倍波的信號。發(fā)送濾波器14具有由電容器Cl與電感器L4構(gòu)成的LC諧振電路。電容器Cl與電感器L4被串聯(lián)連接在輸入端子14b與發(fā)送端子24之間。另外，電容器Cl與電感器L4相互并聯(lián)連接。利用該LC諧振電路，在比發(fā)送濾波器14的通頻帶高的高頻帶側(cè)形成衰減極。利用該衰減極，衰減作為高次諧波的二倍波的信號。另外，利用電容器Cl與電感器L4，匹配發(fā)送端子24中的阻抗。此外，分別構(gòu)成串聯(lián)臂諧振器SI S3以及并聯(lián)臂諧振器Pl P3的各彈性波諧振器具有一個(gè)IDT電極和配置于該IDT電極的彈性波傳播方向兩側(cè)的一組反射器。S卩，分別構(gòu)成串聯(lián)臂諧振器SI S3以及并聯(lián)臂諧振器Pl P3的各彈性波諧振器是I端口型彈性波諧振器。電容器Cl由相互插入的一對梳齒狀電極構(gòu)成。圖2是本實(shí)施方式所涉及的雙工器I的示意性剖視圖。接著，參照圖2，說明本實(shí)施方式的雙工器I的具體結(jié)構(gòu)。雙工器I具有彈性波濾波器芯片17和布線基板18。布線基板18具有第一及第二主面18a、18b,彈性波濾波器芯片17利用突出部(bump) 19倒裝片(flip-chip)安裝在第一主面18a之上。S卩，第一主面18a是芯片粘接面(die-attach surface)。彈性波濾波器芯片17由設(shè)置在第一主面18a之上的密封樹脂16密封。即，本實(shí)施方式的雙工器I是CSP (Chip Size Package,芯片尺寸封裝)型的彈性波分波器。在本實(shí)施方式中，彈性波濾波器芯片17是上述發(fā)送濾波器14的除了電感器L2、L3、L4以外的部分、以及接收濾波器15被一體形成的芯片。不過，在本發(fā)明中，設(shè)置了發(fā)送濾波器14的除了電感器L2、L3、L4以外的部分的發(fā)送側(cè)彈性波濾波器芯片、以及設(shè)置了接收濾波器15的接收側(cè)彈性波濾波器芯片也可以分別單獨(dú)設(shè)置。彈性波濾波器芯片17具有壓電基板、以及在壓電基板上形成的包含IDT電極、反射器以及布線等的電極。此外，彈性波濾波器芯片17也可以在壓電基板上還具有以覆蓋IDT電極的方式形成的一個(gè)或多個(gè)電介質(zhì)層。壓電基板例如可以由LiTaO3基板或LiNbO3基板等構(gòu)成。另外，電極例如可以由Al等金屬、合金形成。電極例如還可以由多個(gè)金屬層的層疊體構(gòu)成。布線基板18由第一 第三電介質(zhì)層41 43和第一 第四電極層44 47的層疊體構(gòu)成。第一電極層44配置在第一電介質(zhì)層41下方。第二電極層45配置在第一電介質(zhì)層41與第二電介質(zhì)層42之間。第三電極層46配置在第二電介質(zhì)層42與第三電介質(zhì)層43之間。第四電極層47配置在第三電介質(zhì)層43上方。通過第一電介質(zhì)層41和第一電極層44而構(gòu)成了上述第二主面18b。另一方面，作為芯片粘接面的第一主面18a由第三電介質(zhì)層43和第四電極層47構(gòu)成。此外，第一 第三電介質(zhì)層41 43例如分別可以由樹脂、鋁土等陶瓷等構(gòu)成。即，布線基板18可以是由樹脂構(gòu)成的印刷布線多層基板、陶瓷多層基板。圖3是本實(shí)施方式所涉及的雙工器I中的、布線基板18的第四電極層47與第三電介質(zhì)層43的示意性透視俯視圖。圖4是本實(shí)施方式所涉及的雙工器I中的、布線基板18的第三電極層46與第二電介質(zhì)層42的示意性透視俯視圖。圖5是本實(shí)施方式所涉及的雙工器I中的、布線基板18的第二電極層45與第一電介質(zhì)層41的示意性透視俯視圖。圖6是本實(shí)施方式所涉及的雙工器I中的、布線基板18的第一電極層44的示意性透視俯視圖。如圖3所示，第四電極層47由焊盤電極47a 47m構(gòu)成。第四電極層47為焊盤電極層。如圖4所示，第三電極層46由電極46a 46h構(gòu)成。第三電極層46為中間電極層。如圖5所不,第二電極層45由電極45a 45f構(gòu)成。第二電極層45為中間電極層。如圖6所示，第一電極層44由天線端子21、第一及第二接收端子22a、22b、發(fā)送端子24、以及接地端子25構(gòu)成。第一電極層44為背面端子層。第一電極層44的天線端子21通過第一電介質(zhì)層41的貫通孔電極51a而連接于第二電極層45的電極45a。第二電極層45的電極45a通過第二電介質(zhì)層42的貫通孔電極52a而連接于第三電極層46的電極46a。第三電極層46的電極46a通過第三電介質(zhì)層43的貫通孔電極53a、53b而連接于第四電極層47的焊盤電極47a、47b。第四電極層47的焊盤電極47a通過突出部而連接于彈性波濾波器芯片17的輸出端子14a。第四電極層47的焊盤電極47b通過突出部而連接于彈性波濾波器芯片17的不平衡信號端子15a。第一電極層44的第一接收端子22a通過第一電介質(zhì)層41的貫通孔電極51b而連接于第二電極層45的電極45b。第二電極層45的電極45b通過第二電介質(zhì)層42的貫通孔電極52b而連接于第三電極層46的電極46b。第三電極層46的電極46b通過第三電介質(zhì)層43的貫通孔電極53c而連接于第四電極層47的焊盤電極47c。第四電極層47的焊盤電極47c通過突出部而連接于彈性波濾波器芯片17的第一平衡信號端子15b。
第一電極層44的第二接收端子22b通過第一電介質(zhì)層41的貫通孔電極51c而連接于第二電極層45的電極45c。第二電極層45的電極45c通過第二電介質(zhì)層42的貫通孔電極52c而連接于第三電極層46的電極46c。第三電極層46的電極46c通過第三電介質(zhì)層43的貫通孔電極53d而連接于第四電極層47的焊盤電極47d。第四電極層47的焊盤電極47d通過突出部而連接于彈性波濾波器芯片17的第二平衡信號端子15c。第一電極層44的發(fā)送端子24通過第一電介質(zhì)層41的貫通孔電極51d而連接于第二電極層45的電極45d。第二電極層45的電極45d具有電極部45dl、45d2。電極部45dl是從第二電極層45的電極45d的一個(gè)端部到與第一電介質(zhì)層41的貫通孔電極51d的連接點(diǎn)為止的部分。電極部45d2是從第二電極層45的電極45d的另一個(gè)端部到與第一電介質(zhì)層41的貫通孔電極51d的連接點(diǎn)為止的部分。電極部45dl構(gòu)成電感器L4。第二電極層45的電極45d通過第二電介質(zhì)層42的貫通孔電極52d、52e而連接于第三電極層46的電極46d、46e。第三電極層46的電極46d構(gòu)成電感器L4。第三電極層46的電極46d通過第三電介質(zhì)層43的貫通孔電極53e而連接于第四電極層47的焊盤電極47e。第四電極層47的焊盤電極47e通過突出部而連接于彈性波濾波器芯片17的輸入端子14b。第三電極層46的電極46e通過第三電介質(zhì)層43的貫通孔電極53f而連接于第四電極層47的焊盤電極47f。第四電極層47的焊盤電極47f通過突出部而連接于彈性波濾波器芯片17的電容器Cl。第一電極層44的接地端子25通過第一電介質(zhì)層41的貫通孔電極51e、51f而連接于第二電極層45的電極45e、45f。第二電極層45的電極45e構(gòu)成電感器L2。第二電極層45的電極45e通過第二電介質(zhì)層42的貫通孔電極52f而連接于第三電極層46的電極46f0第三電極層46的電極46f構(gòu)成電感器L2。第二電極層45的電極45f通過第二電介質(zhì)層42的貫通孔電極52g、52h而連接于第三電極層46的電極46g、46h。第三電極層46的電極46g構(gòu)成電感器L3。第三電極層46的電極46f通過第三電介質(zhì)層43的貫通孔電極53g、53h而連接于第四電極層47的焊盤電極47g、47h。第三電極層46的電極46g通過第三電介質(zhì)層43的貫通孔電極531、53j而連接于第四電極層47的焊盤電極471、47j。第三電極層46的電極46h通過第三電介質(zhì)層43的貫通孔電極53k、531、53m而連接于第四電極層47的焊盤電極47k、471、47m。第四電極層47的焊盤電極47g通過突出部而連接于彈性波濾波器芯片17的并聯(lián)臂諧振器P1。第四電極層47的焊盤電極47h通過突出部而連接于彈性波濾波器芯片17的并聯(lián)臂諧振器P2。第四電極層47的焊盤電極47i通過突出部而連接于彈性波濾波器芯片17的虛設(shè)電極。第四電極層47的焊盤電極47j通過突出部而連接于彈性波濾波器芯片17的并聯(lián)臂諧振器P3。第四電極層47的焊盤電極47k、471、47m通過突出部而連接于彈性波濾波器芯片17的第一 第四縱耦合諧振器型彈性波濾波器部15A1 15A4。第一電極層44的接地端子25、第二電極層45的電極45f、以及第三電極層46的電極46h是將發(fā)送濾波器14與接收濾波器15連接于地的接地電極。如上所述，在本實(shí)施方式中，通過第二電極層45的電極45d的一部分(電極部45dl)和第三電極層46的電極46d來構(gòu)成電感器L4。S卩，第二電極層45的電極45d的一部分(電極部45dl)和第三電極層46的電極46d是構(gòu)成電感器L4的電感器電極。圖7是表示本實(shí)施方式所涉及的雙工器I中的、布線基板18的第一電極層44與第二電極層45的重疊狀態(tài)的示意性透視俯視圖。此外，在圖7中，第二電極層45用實(shí)線表不，第一電極層44用一點(diǎn)劃線表不。如圖7所示，在本實(shí)施方式的雙工器I中，第一電極層44的接地端子25與構(gòu)成電感器L4的第二電極層45的電極45d的一部分(電極部45dl)在俯視方向視圖中不重疊。即，第一電極層44的接地端子25與第二電極層45的電極45d的一部分(電極部45dl)隔著第一電介質(zhì)層41而不對置。另外，在布線基板18中，在接地端子25這樣的與地連接的接地電極、和電極45d這樣的構(gòu)成電感器的電感器電極隔著電介質(zhì)層對置的情況下，在彼此對置的兩個(gè)電極之間形成電容。在此，實(shí)際上，在制作布線基板18時(shí)，第一 第三電介質(zhì)層41 43的厚度會產(chǎn)生偏差，因此在彼此對置的兩個(gè)電極之間所形成的電容的大小會產(chǎn)生偏差，由此電感器的電感值也會產(chǎn)生偏差。其結(jié)果，具有電感器的濾波器的濾波器特性也會產(chǎn)生偏差。對此，在本實(shí)施方式中，如上所述，第一電極層44的接地端子25與第二電極層45的電極45d的一部分(電極部45dl)隔著第一電介質(zhì)層41而不對置。因此，在第一電極層44的接地端子25與第二電極層45的電極45d的一部分(電極部45dl)之間所形成的電容的大小非常小。由此，即使在第一電介質(zhì)層41的厚度產(chǎn)生了偏差的情況下，電容的大小也基本不發(fā)生變化，具有電感器L4的發(fā)送濾波器14的濾波器特性也難以產(chǎn)生偏差。因此，在本實(shí)施方式的雙工器I中，能夠減小濾波器特性的制造偏差。此外，由于電感器L4與發(fā)送端子24串聯(lián)連接，因此由于在第一電極層44的接地端子25與第二電極層45的電極45d的一部分(電極部45dl)之間所形成的電容的大小發(fā)生變化所引起的電感器L4的特性變化，發(fā)送濾波器14的濾波器特性受到較大影響。另外，電感器L4具有與電容器Cl 一起對發(fā)送端子24中的阻抗進(jìn)行匹配的功能。因此，由于在第一電極層44的接地端子25與第二電極層45的電極45d的一部分(電極部45dl)之間所形成的電容的大小發(fā)生變化所引起的電感器L4的特性變化，發(fā)送端子24中的阻抗的匹配狀態(tài)也受到較大影響。因此，在串聯(lián)連接于天線端子與發(fā)送端子之間的電感器中，構(gòu)成電感器的電感器電極配置為隔著電介質(zhì)層而與連接于地的接地電極不對置是尤為重要的。另外，在本實(shí)施方式的雙工器I中，由于在第一電極層44的接地端子25與第二電極層45的電極45d的一部分(電極部45dl)之間所形成的電容的大小較小，因此電感器L4的Q值較大。在此，由于電感器L4與發(fā)送濾波器14的信號線串聯(lián)連接，因此電感器L4的電阻成分較小，電感器L4中的損耗較小。由此，能夠減小發(fā)送濾波器14的通頻帶內(nèi)的插入損耗。此外，在上述實(shí)施方式中，說明了第一電極層44的接地端子25與第二電極層45的電極45d的一部分(電極部45dl)的位置關(guān)系。但是，在本發(fā)明中，只要是具有構(gòu)成電感器的電感器電極的電極層與具有連接于地的接地電極的電極層隔著一個(gè)電介質(zhì)層被相鄰配置的電極層，就可以是任意電極層。下面，基于具體的實(shí)施例和比較例，詳細(xì)說明上述本實(shí)施方式的效果。首先，作為實(shí)施例，制作了上述實(shí)施方式的雙工器I。另外，作為比較例，制作了在布線基板18中，第一電極層44的接地端子25、第二電極層45的電極45d、以及第三電極層46的電極46d、46e的形狀與雙工器I不同，除此以外與上述實(shí)施例具有相同結(jié)構(gòu)的雙工器。圖8是表示比較例所涉及的雙工器中的、布線基板18的第一電極層44與第二電極層45的重疊狀態(tài)的示意性透視俯視圖。圖9是比較例所涉及的雙工器中的、布線基板18的第四電極層47與第三電介質(zhì)層43的示意性透視俯視圖。圖10是比較例所涉及的雙工器中的、布線基板18的第三電極層46與第二電介質(zhì)層42的示意性透視俯視圖。圖11是比較例所涉及的雙工器中的、布線基板18的第二電極層45與第一電介質(zhì)層41的示意性透視俯視圖。圖12是比較例所涉及的雙工器中的、布線基板18的第一電極層44的示意性透視俯視圖。如圖8 圖12所示，在比較例所涉及的雙工器中，構(gòu)成電感器L4的第二電極層45的電極45d的一部分(電極部45dl)隔著第一電介質(zhì)層41而與第一電極層44的接地端子25對置。此外，在比較例的說明中，用相同的符號參照與上述實(shí)施方式具有實(shí)質(zhì)相同功能的部件，并餐略說明。 在此，在實(shí)施例所涉及的雙工器與比較例所涉及的雙工器中，分別測定了第一電介質(zhì)層41的厚度為15 μ m、25 μ m、35 μ m的情況下的濾波器特性。此外，第二電介質(zhì)層42的厚度為40 μ m，第三電介質(zhì)層43的厚度為25 μ m。圖13是表示實(shí)施例所涉及的雙工器的發(fā)送濾波器14的濾波器特性的圖表。圖14是實(shí)施例所涉及的雙工器的發(fā)送端子24中的史密斯圓圖。圖15是表示實(shí)施例所涉及的雙工器的發(fā)送濾波器14的VSWR(Voltage StandingWave Ratio:電壓駐波比)特性的圖表。圖16是表示比較例所涉及的雙工器的發(fā)送濾波器14的濾波器特性的圖表。圖17是比較例所涉及的雙工器的發(fā)送端子24中的史密斯圓圖。圖18是表示比較例所涉及的雙工器的發(fā)送濾波器14的VSWR特性的圖表。圖19是表示第一電介質(zhì)層41的厚度為25 μ m的情況下的、實(shí)施例所涉及的雙工器的發(fā)送濾波器14的濾波器特性與比較例所涉及的雙工器的發(fā)送濾波器14的濾波器特性的圖表。此外，在圖13 圖18中，用15μπι表示的圖表或圓圖是第一電介質(zhì)層41的厚度為15 μ m的情況下的圖表或圓圖。在圖13 圖18中，用25μηι表不的圖表或圓圖是第一電介質(zhì)層41的厚度為25 μ m的情況下的圖表或圓圖。在圖13 圖18中，用35 μ m表不的圖表或圓圖是第一電介質(zhì)層41的厚度為35 μ m的情況下的圖表或圓圖。在圖13和圖16中，F(xiàn)C3是通過由電容器Cl和電感器L4構(gòu)成的LC諧振電路所形成的衰減極。由圖13和圖16可知，與比較例所涉及的雙工器相比，實(shí)施例所涉及的雙工器中，與第一 第三電介質(zhì)層41 43的厚度變化相伴隨的、衰減極的頻率位置的變化較小。如比較例所涉及的雙工器那樣，當(dāng)與第一 第三電介質(zhì)層41 43的厚度變化相伴隨的、衰減極的頻率位置的變化較大時(shí)，由于布線基板18的制造偏差，可導(dǎo)致無法有效衰減作為高次諧波的二倍波的信號。由圖14和圖17可知，與比較例所涉及的雙工器相比，實(shí)施例所涉及的雙工器中，發(fā)送端子24中的阻抗匹配的偏差較小。另外，由圖15和圖18可知，與比較例所涉及的雙工器相比，實(shí)施例所涉及的雙工器具有良好的VSWR特性。由圖19可知，與比較例所涉及的雙工器相比，實(shí)施例所涉及的雙工器中，通頻帶內(nèi)的插入損耗較小。符號說明I...雙工器14…發(fā)送濾波器
14A...梯型彈性波濾波器部14a...輸出端子14b…輸入端子15…接收濾波器15A.. 縱耦合諧振器型彈性波濾波器部15A1…第一縱耦合諧振器型彈性波濾波器部15A2…第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器部15A3…第三縱耦合諧振 器型彈性波濾波器部15A4…第四縱耦合諧振器型彈性波濾波器部15B1 15B8…彈性波諧振器15a...不平衡信號端子15b…第一平衡信號端子15c…第二平衡信號端子16…密封樹脂17…彈性波濾波器芯片18…布線基板18a...第一主面18b…第二主面19…突出部21...天線端子22a.. 第一接收端子22b…第二接收端子24…發(fā)送端子25…接地端子33…串聯(lián)臂37 39…并聯(lián)臂41.. 第一電介質(zhì)層42…第二電介質(zhì)層43…第三電介質(zhì)層44…第一電極層45…第二電極層45a 45f…電極46…第三電極層46a 46h…電極47…第四電極層47a 47m...焊盤電極LI L4…電感器Pl P3…并聯(lián)臂諧振器SI S3…串聯(lián)臂諧振器
權(quán)利要求
1.一種彈性波濾波器裝置，具備:第一及第二信號端子、電感器、以及連接于所述第一信號端子與所述第二信號端子之間的梯型彈性波濾波器部，所述彈性波濾波器裝置的特征在于還具備: 彈性波濾波器芯片，設(shè)置有所述梯型彈性波濾波器部；以及 布線基板，具有第一及第二主面，且在所述第一主面上安裝有所述彈性波濾波器芯片， 所述布線基板具有被交替層疊的多個(gè)電介質(zhì)層和多個(gè)電極層， 所述多個(gè)電極層之中的、作為最上層的電極層包括連接于所述彈性波濾波器芯片的焊盤電極， 所述多個(gè)電極層之中的、作為最下層的電極層包括構(gòu)成所述第一信號端子的端子、以及構(gòu)成所述第二信號端子的端子， 至少一個(gè)電極層包括構(gòu)成所述電感器的電感器電極， 隔著所述多個(gè)電介質(zhì)層之中的一個(gè)電介質(zhì)層而與包括所述電感器電極的電極層相鄰配置的電極層包括連接于地的接地電極， 所述電感器電極與所述接地電極以隔著所述電介質(zhì)層彼此不對置的方式形成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波濾波器裝置，其特征在于: 所述電感器串聯(lián)連接于所述第一信號端子與所述第二信號端子之間。
全文摘要
本發(fā)明提供一種濾波器特性的制造偏差小的彈性波濾波器裝置。彈性波濾波器裝置(1)具備第一及第二信號端子(21、24)、電感器(L4)、以及梯型彈性波濾波器部(14A)。彈性波濾波器裝置(1)具備設(shè)置有梯型彈性波濾波器部(14A)的彈性波濾波器芯片(17)、以及布線基板(18)。布線基板(18)具有被交替層疊的多個(gè)電介質(zhì)層(41～43)和多個(gè)電極層(44～47)。電感器電極(45d)與接地電極(25)以隔著電介質(zhì)層(41)彼此不對置的方式形成。
文檔編號H01L41/09GK103141025SQ20118004785
公開日2013年6月5日 申請日期2011年7月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月6日
發(fā)明者太田憲良 申請人:株式會社村田制作所