專利名稱：一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種硅片生產(chǎn)過程中加熱需要的冷熱測(cè)針。
技術(shù)背景[0002]在工業(yè)生產(chǎn)過程中，需要對(duì)硅片進(jìn)行加熱。目前，通常采用冷熱測(cè)針對(duì)硅片進(jìn)行加熱。其基本的工作原理是，將硅片置于冷熱測(cè)針上，隨后將冷熱測(cè)針的加熱設(shè)備加熱至一定溫度后，將硅片貼近該加熱設(shè)備，完成加熱過程?，F(xiàn)有的冷熱測(cè)針的缺點(diǎn)在于加熱的準(zhǔn)確性不高，影響了生產(chǎn)質(zhì)量。發(fā)明內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種加熱更為精確的冷熱測(cè)針。[0004]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是提供了一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針，包括機(jī)體，其特征在于在機(jī)體的操作面上設(shè)有手動(dòng)推拉的平移滑板，平移滑板底部設(shè)有平移機(jī)構(gòu)，在平移滑板上設(shè)有可360度旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)板，在旋轉(zhuǎn)板的邊上設(shè)有定片條，在平移滑板的前端設(shè)有手動(dòng)平移推拉桿，在手動(dòng)平移推拉桿上設(shè)有彈簧，在彈簧的末端設(shè)有彈簧助力板，彈簧助力板固定在機(jī)體上，至少兩個(gè)測(cè)量筆設(shè)于平移滑板的后方，測(cè)量筆通過四氟材料架架空，在測(cè)量筆的尾部架設(shè)有四氟管，在至少兩個(gè)測(cè)量筆中的一個(gè)測(cè)量筆的筆頭下設(shè)有加熱線圈，在機(jī)體的操作面設(shè)有放置萬用表的平面，萬用表的表筆接在測(cè)量筆上，在加熱線圈及四氟管的下方設(shè)有氣管接口，氣管接口管路連接設(shè)于機(jī)體表面的壓縮空氣進(jìn)氣接口。[0005]優(yōu)選地，在所述氣管接口與所述壓縮空氣進(jìn)氣接口之間的管路上分別設(shè)有一流量調(diào)節(jié)器，在該管路上設(shè)有壓縮空氣表。[0006]優(yōu)選地，在所述機(jī)體上設(shè)有控制所述流量調(diào)節(jié)器的開關(guān)。[0007]優(yōu)選地，所述機(jī)體的操作面通過合葉可開合。[0008]優(yōu)選地，在所述機(jī)體的側(cè)邊設(shè)有電源接口。[0009]優(yōu)選地，在所述機(jī)體的底部設(shè)有防滑腳。[0010]優(yōu)選地，所述加熱線圈通過腳支撐。[0011]優(yōu)選地，在所述平移滑板與所述旋轉(zhuǎn)板之間設(shè)有360度旋轉(zhuǎn)軸。[0012]優(yōu)選地，所述平移機(jī)構(gòu)包括平移軌道，在平移軌道上設(shè)有平移滑塊，所述平移滑板固定在平移滑塊上。[0013]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是提供了一種用于生產(chǎn)過程中的冷熱測(cè)針，通過該裝置能夠更為精確得為硅片進(jìn)行加熱。


[0014]圖1為本實(shí)用新型提供的一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針的結(jié)構(gòu)示意圖；[0015]圖2為圖1的局部示意圖；[0016]圖3為圖1的側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式
[0017]為使本實(shí)用新型更明顯易懂，茲以一優(yōu)選實(shí)施例，并配合附圖作詳細(xì)說明如下。[0018]如圖1及圖2所示，本實(shí)用新型提供的一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針，包括機(jī)體1，在機(jī)體1的側(cè)邊設(shè)有電源接口 4，在機(jī)體1的底部設(shè)有防滑腳2，在機(jī)體1的操作面上設(shè)有手動(dòng)推拉的平移滑板5，機(jī)體1的操作面通過合葉17可開合，平移滑板5底部設(shè)有平移機(jī)構(gòu)，在平移滑板5上設(shè)有可360度旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)板6，在平移滑板5與旋轉(zhuǎn)板6之間設(shè)有360度旋轉(zhuǎn)軸22，在旋轉(zhuǎn)板6的邊上設(shè)有定片條7，在平移滑板5的前端設(shè)有手動(dòng)平移推拉桿8，在手動(dòng)平移推拉桿8上設(shè)有彈簧9，在彈簧9的末端設(shè)有彈簧助力板10，彈簧助力板 10固定在機(jī)體1上，至少兩個(gè)測(cè)量筆11設(shè)于平移滑板5的后方，測(cè)量筆11通過四氟材料架架空，在測(cè)量筆11的尾部架設(shè)有四氟管12，在至少兩個(gè)測(cè)量筆11中的一個(gè)測(cè)量筆11的筆頭下設(shè)有加熱線圈13，加熱線圈13通過腳14支撐，在機(jī)體1的操作面設(shè)有放置萬用表15 的平面，萬用表15的表筆16接在測(cè)量筆11上，在加熱線圈13及四氟管12的下方設(shè)有氣管接口 20，氣管接口 20管路連接設(shè)于機(jī)體1表面的壓縮空氣進(jìn)氣接口 3，在氣管接口 20與壓縮空氣進(jìn)氣接口 3之間的管路上分別設(shè)有一流量調(diào)節(jié)器19，在該管路上設(shè)有壓縮空氣表 18，在機(jī)體1上設(shè)有控制所述流量調(diào)節(jié)器19的開關(guān)21。[0019]如圖3所示，所述平移機(jī)構(gòu)包括平移軌道23，在平移軌道23上設(shè)有平移滑塊24， 所述平移滑板5固定在平移滑塊M上。[0020]兩個(gè)流量調(diào)節(jié)器19，其中一個(gè)是給加熱線圈13送氣給測(cè)量筆11加熱，另一個(gè)是給測(cè)量筆11尾端降溫防止萬用表15的表筆16燙壞。彈簧9的作用是推動(dòng)測(cè)量點(diǎn)，力度不要大于硅片25的力度防止硅片25夾碎。[0021]本實(shí)用新型的工作過程為打開壓縮空氣，通過壓縮空氣表18調(diào)好壓縮空氣的壓力，將開關(guān)21打開，再調(diào)整流量調(diào)節(jié)器19給加熱線圈13沖熱氣，從而給加熱筆11加熱，并給加熱筆11的尾部沖冷卻氣，數(shù)幾分鐘后達(dá)到需要溫度時(shí)，調(diào)整萬用表15，再用手輕拉手動(dòng)平移推拉桿8，把硅片M放置在旋轉(zhuǎn)板6上，慢放手動(dòng)平移推拉桿8讓硅片25靠近兩個(gè)測(cè)量筆11，要接觸良好。在萬用表15上會(huì)有有效的邊緣電阻。再用手輕拉手動(dòng)平移推拉桿 8，取出硅片25，輕放手動(dòng)平移推拉桿8，再將開關(guān)21關(guān)閉。
權(quán)利要求1.一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針，包括機(jī)體(1)，其特征在于在機(jī)體(1)的操作面上設(shè)有手動(dòng)推拉的平移滑板(5)，平移滑板(5)底部設(shè)有平移機(jī)構(gòu)，在平移滑板(5) 上設(shè)有可360度旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)板(6 )，在旋轉(zhuǎn)板(6 )的邊上設(shè)有定片條(7 )，在平移滑板(5 )的前端設(shè)有手動(dòng)平移推拉桿(8)，在手動(dòng)平移推拉桿(8)上設(shè)有彈簧(9)，在彈簧(9)的末端設(shè)有彈簧助力板(10)，彈簧助力板(10)固定在機(jī)體(1)上，至少兩個(gè)測(cè)量筆(11)設(shè)于平移滑板(5)的后方，測(cè)量筆(11)通過四氟材料架架空，在測(cè)量筆(11)的尾部架設(shè)有四氟管(12)， 在至少兩個(gè)測(cè)量筆(11)中的一個(gè)測(cè)量筆(11)的筆頭下設(shè)有加熱線圈(13)，在機(jī)體(1)的操作面設(shè)有放置萬用表(15)的平面，萬用表(15)的表筆(16)接在測(cè)量筆(11)上，在加熱線圈(13)及四氟管(12)的下方設(shè)有氣管接口(20)，氣管接口(20)管路連接設(shè)于機(jī)體(1)表面 的壓縮空氣進(jìn)氣接口(3)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針，其特征在于在所述氣管接口(20)與所述壓縮空氣進(jìn)氣接口(3)之間的管路上分別設(shè)有一流量調(diào)節(jié)器(19)，在該管路上設(shè)有壓縮空氣表(18)。
3.如權(quán)利要求2所述的一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針，其特征在于在所述機(jī)體(1)上設(shè)有控制所述流量調(diào)節(jié)器(19 )的開關(guān)(21)。
4.如權(quán)利要求1所述的一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針，其特征在于所述機(jī)體(1)的操作面通過合葉(17)可開合。
5.如權(quán)利要求1所述的一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針，其特征在于在所述機(jī)體(1)的側(cè)邊設(shè)有電源接口( 4 )。
6.如權(quán)利要求1所述的一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針，其特征在于在所述機(jī)體(1)的底部設(shè)有防滑腳(2)。
7.如權(quán)利要求1所述的一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針，其特征在于所述加熱線圈(13)通過腳(14)支撐。
8.如權(quán)利要求1所述的一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針，其特征在于在所述平移滑板(5 )與所述旋轉(zhuǎn)板(6 )之間設(shè)有360度旋轉(zhuǎn)軸(22 )。
9.如權(quán)利要求1所述的一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針，其特征在于所述平移機(jī)構(gòu)包括平移軌道(23)，在平移軌道(23)上設(shè)有平移滑塊(24)，所述平移滑板(5)固定在平移滑塊(24)上。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種用于生產(chǎn)過程加熱需要的冷熱測(cè)針，包括機(jī)體，其特征在于在機(jī)體的操作面上設(shè)有手動(dòng)推拉的平移滑板，平移滑板底部設(shè)有平移機(jī)構(gòu)，在平移滑板上設(shè)有可360度旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)板，在平移滑板的前端設(shè)有手動(dòng)平移推拉桿，在手動(dòng)平移推拉桿上設(shè)有彈簧，至少兩個(gè)測(cè)量筆設(shè)于平移滑板的后方，測(cè)量筆通過四氟材料架架空，在至少兩個(gè)測(cè)量筆中的一個(gè)測(cè)量筆的筆頭下設(shè)有加熱線圈，在機(jī)體的操作面設(shè)有放置萬用表的平面，萬用表的表筆接在測(cè)量筆上，在加熱線圈及四氟管的下方設(shè)有氣管接口，氣管接口管路連接設(shè)于機(jī)體表面的壓縮空氣進(jìn)氣接口。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是提供了一種用于生產(chǎn)過程中的冷熱測(cè)針，通過該裝置能夠更為精確得為硅片進(jìn)行加熱。
文檔編號(hào)H01L21/66GK202307822SQ201120448808
公開日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月14日
發(fā)明者史根林 申請(qǐng)人:百力達(dá)太陽能股份有限公司