專利名稱：配置有可充氣支撐件模塊的前開式晶圓盒的制作方法
技術領域：
本實用新型公開了一種前開式晶圓盒，特別是關于一種于前開式晶圓盒中配置有可充氣的支撐件，使得氣體可以在前開式晶圓盒中形成一氣體流場(Gas flow)。
背景技術：
半導體晶圓由于需經(jīng)過各種不同流程的處理且需配合制程設備，因此會被搬運到不同的工作站。為了方便晶圓的搬運且避免受到外界的污染，常會利用一密封容器以供自動化設備輸送。請參考圖1所示，現(xiàn)有技術的晶圓盒示意圖。此晶圓盒是一種前開式晶圓盒(Front Opening Unified Pod, FOUP)，具有一盒體10及一門體20，盒體10由一對側壁 10L及相鄰該對側壁10L的一頂面10T及一底面10B所組成，并于一側邊形成一開口 12，而相對開口 12的另一側邊形成一后壁(未顯示于圖中)，其中在這對側壁10L上各設有多個插槽11以水平容置多個晶圓，而門體20具有一個外表面21及一個內(nèi)表面22，門體20通過內(nèi)表面22與盒體10的開口 12相結合，用以保護盒體10內(nèi)部的多個晶圓。此外，在門體 20的外表面21上配置至少一個門閂開孔23，用以開啟或是封閉前開式晶圓盒。在上述前開式晶圓盒中，由于半導體晶圓是水平地置于盒體10內(nèi)部，因此，在前開式晶圓盒搬運過程中需有一晶圓限制件，以避免晶圓因震動而產(chǎn)生異位或往盒體10的開口 12方向移動。請參考圖2所示，為一美國公告專利6，736，268所揭露的一種前開式晶圓盒的門體20結構示意圖。如圖2所示，門體20的內(nèi)側面22配置有一凹陷區(qū)域M，此凹陷區(qū)域M 從內(nèi)側面22的頂端221延伸到底端222且在左右二個鎖存機構230(于門體內(nèi)部)之間， 而在凹陷區(qū)域M中再進一步配置有晶圓限制件模塊，此晶圓限制件模塊由左右二個晶圓限制件100所組成，而在每一個晶圓限制件100上具有多個晶圓接觸頭110，以利用此晶圓接觸頭110頂持其相對的晶圓，避免晶圓在傳送過程中因震動而異位或往盒體的開口方向移動。上述盒體10兩側壁10L上的插槽11及門體20內(nèi)表面22的晶圓限制件模塊分別用來支撐及限制盒體10內(nèi)部的多個晶圓；這些支撐件及限制件都容易在晶圓盒運送的過程中與晶圓產(chǎn)生摩擦，造成微粒(particle)的產(chǎn)生。當晶圓盒的盒體10內(nèi)部有微粒出現(xiàn)時，微?？赡軙Ａ粼诰A表面或污染晶圓，造成后續(xù)的芯片產(chǎn)生其良率的下降。因此，在晶圓盒其支撐件及限制件的設計上，可以使用一具耐磨特性的材質，以避免支撐件及限制件與晶圓接觸時產(chǎn)生太多的微粒。如圖3所示，是美國公開專利2006/(^83774所揭露的一種置于晶圓盒兩側壁的支撐件模塊的剖面示意圖。此支撐件模塊由多個垂直間隔排列的支撐件500所組成，而在支撐件500的表面包覆著一層樹酯501，這層樹酯501具有較低的摩擦特性以避免支撐件500和晶圓摩擦產(chǎn)生微粒。然而，此設計由于其樹酯501具有一斜面， 當晶圓支撐于樹酯501時，其僅能支撐到晶圓的邊緣附近；因此，當晶圓的尺寸較大時，容易使晶圓下垂或下沉，除使晶圓容易有裂痕外，當機器手臂在輸出晶圓時，亦容易產(chǎn)生破片或破壞晶圓。此外，也有些設計是在晶圓盒的內(nèi)部，例如晶圓與上述支撐件或限制件模塊接觸的附近，提供一噴氣的開口或刀口，則可將摩擦產(chǎn)生的微粒帶離晶圓。如圖4所示，是一美國公告專利US6，899，145所揭露的一種可置于晶圓盒內(nèi)部的可充氣支撐件模塊的示意圖。 此充氣支撐件模塊包括一中空主體600，中空主體600固定于晶圓盒的盒體的側壁并向盒體的內(nèi)部延伸有多個垂直的支撐件601，以利用支撐件的上表面602支撐盒體內(nèi)部的多個晶圓。而在支撐件的側表面603 —橫條狀的開口，可將中空主體600內(nèi)部的氣體由此橫條狀開口噴出，以避免因摩擦產(chǎn)生的微粒形成于晶圓表面。上述結構，由于橫條狀開口置于支撐件601的側面603，容易造成支撐力道不足進而使晶圓發(fā)生異位或重疊，造成晶圓更嚴重的損壞。此外，當晶圓承載于支撐件601其上表面602時，晶圓與支撐件601之間的接觸面積相當?shù)拇螅@使微粒更容易產(chǎn)生。且，由于橫條狀的開口其長度與晶圓相當，因此，可能造成氣流微弱或是需要使用較大的充氣設備來提供較大的氣流量，方能形成有效的氣體流場。因此，目前的晶圓盒的內(nèi)部需要一種設計較周全的可充氣支撐件模塊，可有效地避免微粒產(chǎn)生及形成于晶圓表面。

實用新型內(nèi)容依據(jù)先前技術的晶圓盒其盒體內(nèi)部的可充氣支撐件模塊容易造成晶圓支撐力道不足、接觸面積過大及容易產(chǎn)生微粒等問題，本實用新型的一主要目的在于提供一種具有可充氣支撐件模塊的前開式晶圓盒，可充氣支撐件模塊配置于盒體側壁及后壁之間且模塊具有至少一個面向開口方向的長縫，并于長縫中配置有一多孔性材質材料，當充氣達到飽壓狀態(tài)，氣體經(jīng)由長縫噴出時，多孔性材質材料可使氣體均勻地噴出。本實用新型的一另主要目的在于提供一種具有可充氣支撐件模塊的前開式晶圓盒，可充氣支撐件模塊具有至少一個面向開口方向的長縫，并于長縫中配置有一多孔性材質材料，長縫可噴出氣體并形成一氣體流場，可將晶圓上的微粒帶走，以避免微粒形成于晶圓上方。本實用新型的再一主要目的在于提供一種具有可充氣支撐件模塊的前開式晶圓盒，此支撐件模塊具有多個垂直間隔排列的支撐件或支撐肋，且支撐件或支撐肋上有一耐磨的支撐圓頭，支撐件或支撐肋可利用此耐磨的支撐圓頭與晶圓接觸，除了可減少跟晶圓接觸的面積外，亦能避免與晶圓摩擦時產(chǎn)生微粒。本實用新型的還有一主要目的在于提供一種具有可充氣支撐件模塊的前開式晶圓盒，可充氣支撐件模塊配置于盒體側壁及后壁之間且模塊具有一排多個垂直間隔排列的支撐件或支撐肋以及一排多個垂直間隔排列的限制件，此多個支撐件靠近盒體的側壁而多個限制件則靠近盒體的后壁，因此，此可充氣支撐件模塊除了可支撐晶圓外，也能避免晶圓往后壁的方向移動，以減少微粒產(chǎn)生。本實用新型的再一主要目的在于提供一種具有可充氣支撐件模塊的前開式晶圓盒，此可充氣支撐件模塊上的每一支撐肋前端可以配置一凸出塊，用以與晶圓的背面接觸； 因此可通過支撐肋的長度使得較大的晶圓能得到較佳的支撐而不會產(chǎn)生下垂或下沉，故可以增加晶圓制程上的良率。為達上述的各項目的，本實用新型揭露一種前開式晶圓盒，包括一盒體，由一對側壁、一頂面及一底面所組成，并于一側邊形成一開口，而相對開口的另一側邊形成一后壁， 同時于該對側壁上配置一對支撐件模塊，以容置多個晶圓；以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，門體以內(nèi)表面與盒體的開口相結合，并用以保護盒體內(nèi)部的多個晶圓，其中前開式晶圓盒的特征在于盒體的該對側壁與后壁相鄰的地方，各配置一可充氣支撐件模塊，可充氣支撐件模塊的面對開口方向上配置有一長縫，并于長縫中配置有一多孔性材質材料，且于可充氣支撐件模塊的一端配置一進氣口與底面的一氣閥連接，其中可充氣支撐件模塊由多個垂直間隔排列的支撐肋所組成。此外，可充氣支撐件模塊亦可以進一步包含多個垂直間隔排列的限制件，以限制晶圓往盒體后壁的方向移動。本實用新型一種前開式晶圓盒，包括一盒體，由一對側壁及相鄰該對側壁的一頂面及一底面所組成，并于一側邊形成一開口，而相對該開口的另一側邊形成一后壁，同時于該對側壁上各配置一支撐件模塊以容置多個晶圓，并于該對側壁與該后壁相鄰處各配置一可充氣支撐件模塊，以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，該門體以該內(nèi)表面與該盒體的該開口相結合，用以保護該盒體內(nèi)部的該多個晶圓，其中該前開式晶圓盒該盒體的該對側壁與該后壁相鄰之處，各配置一可充氣支撐件模塊，該可充氣支撐件模塊的面對該開口方向上配置有一長縫，且于該長縫中配置有一多孔性材質材料，且該可充氣支撐件模塊的一端配置一進氣口與該底面的一氣閥連接，其中該可充氣支撐件模塊由多個垂直間隔排列的支撐肋所組成。所述的前開式晶圓盒，其中，該多孔性材質材料為一陶瓷材料。所述的前開式晶圓盒，其中，該長縫由多個隔板垂直間隔成多個出氣口，所噴出氣體由下列群組中擇一或組合而成惰性氣體、干燥冷空氣及氮氣。所述的前開式晶圓盒，其中，該長縫的形狀為由下到上逐漸變大。所述的前開式晶圓盒，其中，進一步于該長縫縱向延伸形成多個橫縫，且該些橫縫間具有一間距。所述的前開式晶圓盒，其中，該多個垂直間隔排列的支撐肋之間進一步配置有出氣孔。所述的前開式晶圓盒，其中，該可充氣支撐件模塊是一體成型的結構。一種前開式晶圓盒，包括一盒體，由一對側壁及相鄰該對側壁的一頂面及一底面所組成，并于一側邊形成一開口，而相對該開口的另一側邊形成一后壁，同時于該對側壁上配置一對支撐件模塊，以容置多個晶圓；以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，該門體以該內(nèi)表面與該盒體的該開口相結合，并用以保護該盒體內(nèi)部的該多個晶圓，其中，該前開式晶圓盒該盒體的該對側壁與該后壁相鄰之處，各配置至少一可充氣支撐件模塊，該可充氣支撐件模塊的一端配置一進氣口并與該底面的一氣閥連接，而該可充氣支撐件模塊由一第一部分及一第二部分組成且該第一部分及該第二部分相鄰處形成一長縫，且于該長縫中配置有一多孔性材質材料，其中該可充氣支撐件模塊的該第一部分及該第二部分各配置有多個垂直間隔排列的支撐肋。一種前開式晶圓盒，包括一盒體，由一對側壁及相鄰該對側壁的一頂面及一底面所組成，并于一側邊形成一開口，而相對該開口的另一側邊形成一后壁，同時于該對側壁上配置一對支撐件模塊，以容置多個晶圓；以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，該門體以該內(nèi)表面與該盒體的該開口相結合，并用以保護該盒體內(nèi)部的該多個晶圓，其中，該前開式晶圓盒[0023]該盒體的該對側壁與該后壁相鄰之處，各配置至少一可充氣支撐件模塊，該可充氣支撐件模塊的一端配置一進氣口并與該底面的一氣閥連接，而該可充氣支撐件模塊由一第一部分及一第二部分組成且該第一部分及該第二部分相鄰處形成一長縫，且于該長縫中配置有一多孔性材質材料，其中該可充氣支撐件模塊的該第一部分配置有多個垂直間隔排列的支撐肋，而該第二部分配置有多個垂直間隔排列的限制件。、一種前開式晶圓盒，包括一盒體，由一對側壁及相鄰該對側壁的一頂面及一底面所組成，并于一側邊形成一開口，而相對該開口的另一側邊形成一后壁，同時于該對側壁上配置一對支撐件模塊，以容置多個晶圓；以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，該門體以該內(nèi)表面與該盒體的該開口相結合，并用以保護該盒體內(nèi)部的該多個晶圓，其中，該前開式晶圓盒該盒體的該對側壁與該后壁相鄰之處，各配置至少一可充氣支撐件模塊，該可充氣支撐件模塊包括一主體，該主體的一端配置一進氣口并與該底面的一氣閥連接，同時該可充氣支撐件模塊具有一排多個垂直間隔排列的支撐肋及一排多個垂直間隔排列的限制件，使該多個支撐肋及該多個限制件與該對側壁上的該些支撐件模塊共同支撐該多個晶圓，其中在該多個支撐肋及該多個限制件之間有至少一長縫，且于該長縫中配置有一多孔性材質材料。本實用新型的有益效果是，所提供的前開式晶圓盒可充氣支撐件模塊配置于盒體側壁及后壁之間且模塊具有至少一個面向開口方向的長縫，并于長縫中配置有一多孔性材質材料，當充氣達到飽壓狀態(tài)，氣體經(jīng)由長縫噴出時，多孔性材質材料可使氣體均勻地噴出。再可充氣支撐件模塊具有至少一個面向開口方向的長縫，并于長縫中配置有一多孔性材質材料，長縫可噴出氣體并形成一氣體流場，可將晶圓上的微粒帶走，以避免微粒形成于晶圓上方。

圖1為現(xiàn)有一種前開式晶圓盒的示意圖；圖2為現(xiàn)有一種前開式晶圓盒的門體結構示意圖；圖3為現(xiàn)有一種晶圓盒其支撐件模塊的剖面示意圖；圖4為現(xiàn)有一種晶圓盒其可充氣支撐件模塊的示意圖；圖5為本實用新型的一種前開式晶圓盒其盒體的透視圖；圖6為本實用新型的一種前開式晶圓盒其盒體僅保留可充氣支撐件模塊的示意圖；圖7A為本實用新型的一種前開式晶圓盒其可充氣支撐件模塊的正視意圖；圖7B為本實用新型的一種前開式晶圓盒其可充氣支撐件模塊的示意圖；圖7C為本實用新型的一種前開式晶圓盒其可充氣支撐件模塊配置有多孔性材質材料的示意圖；圖8為本實用新型的一種前開式晶圓盒其尚未安裝可充氣支撐件模塊的示意圖；圖9為本實用新型的一種前開式晶圓盒其可充氣支撐件模塊的放大示意圖；圖10為本實用新型的一種前開式晶圓盒其配置有可充氣支撐件模塊的局部示意圖；及[0039]圖IlA及圖IlB為本實用新型的一種前開式晶圓盒其可充氣支撐件模塊的另一設計。主要元件符號說明10 盒體IOL 側壁IOT 頂面IOB 底面IOB，后壁11 插槽12 開口20 門體21夕卜表面22內(nèi)表面200可充氣支撐件模塊200B 主體201支撐肋203限制件205a 長縫205c多孔性材質材料207 進氣口209支撐圓頭211 插孔213固定基座215圓形孔洞300支撐件模塊401進氣閥
具體實施方式
為使本實用新型所運用的技術內(nèi)容、創(chuàng)作目的及其達成的功效有更完整且清楚的揭露，茲于下詳細說明的，并請一并參閱所揭的圖示及圖號首先，請參閱圖5及圖6，為本實用新型的一種前開式晶圓盒其盒體的透視圖以及其盒體僅保留可充氣支撐件模塊的示意圖。前開式晶圓盒其盒體10由一對側壁IOL及相鄰此對側壁IOL的一頂面IOT及一底面IOB所組成，并于一側邊形成一開口 12，而相對開口 12的另一側邊形成一后壁10B’，其中在這對側壁IOL接近開口 12的附近配置有一對支撐件模塊300，而在這對側壁IOL與后壁10B’相鄰的地方各配置有一可充氣支撐件模塊200。 此支撐件模塊300可以是現(xiàn)有支撐件的形式，并不加以限制。請接著參考圖7A及圖7B所示，為本實用新型的一種可充氣支撐件模塊的正視圖及下視圖。首先，如圖7A所示，本實用新型的可充氣支撐件模塊200主要包括一主體200B 及由主體200B延伸出去的兩個部分，其中，第一個部分由多個垂直間隔排列的支撐肋201所組成，而第二部分由多個垂直間隔排列的限制件203所組成，很明顯地，每一個支撐肋 201與每一個限制件203是并列的，同時，每一個支撐肋201之間隔與每一個限制件203之間隔是相對應的，以便能通過每一個支撐肋201與每一個限制件203來與晶圓接觸。此外， 在這些支撐肋201與這些限制件203的間隔之間設有一個并列的長縫20fe。此外，請參考圖7B，在上述的主體200B內(nèi)部為一中空導管的結構，此中空導管的一端形成一進氣口 207，可進一步與盒體10底面IOB的一氣閥或進氣閥401(請參考圖8) 連接；同時，中空導管是與上述長縫20 相通，因此，當盒體10底面IOB的氣閥或進氣閥 401連接一充氣裝置(未顯示于圖中)時，氣體可經(jīng)由進氣口 207及中空導管并由長縫20 噴出。由于此長縫20 其口徑相當?shù)男?，噴出的氣體類似風刀；同時，因其是配置于每一個支撐肋201與每一個限制件203之間，故不會被支撐肋201與限制件203所阻擋，因此所噴出的氣體可以具有一定足夠的流力，故當晶圓配置在支撐肋201及限制件203的上時，由長縫20 所噴出的氣體可以將在晶圓附近的微粒帶往開口 12的方向，以避免這些微粒污染晶圓。此外，長縫20 其口徑亦可以由下到上逐漸變小，使其噴出的氣體的壓力較為一致。 上述長縫20 的形式可以是長條形，或是近似S的彎曲形，以改變氣體噴出的方向；而長縫 20 所噴出的氣體可以包括惰性氣體、干燥冷空氣或氮氣或以上氣體的組合。請再參考圖7C，其為本實用新型的可充氣支撐件模塊的另一較佳實施例示意圖。 如圖7C所示，本實用新型可進一步在長縫205a中配置有一多孔性材質材料205c，使得氣體可通過多孔性材質材料205c上的孔徑噴出；其中，本實用新型所使用的多孔性材質材料 205c可為一種陶瓷材料；很明顯地，本實用新型可以隨著使用者對充氣氣流的需求來選擇多孔性材質材料205c的孔徑大小。此外，配置此一多孔性材質材料205c的另一目的是，當充氣達到飽壓狀態(tài)，氣體經(jīng)由長縫20 噴出時，多孔性材質材料205c可使氣體均勻地噴入盒體內(nèi)。當然，亦可在盒體10的底面IOB其靠近開口 12的附近配置至少另一氣閥或出氣閥(未顯示于圖8中)，當充氣裝置在對盒體10充氣時，可允許盒體10內(nèi)部些微的氣體經(jīng)開口 12附近的氣閥或出氣閥流出，除了可以將盒體10內(nèi)部的微粒帶離外，也縮短充飽盒體 10所需的時間。當然，本實用新型的盒體10亦可以包含有兩對有別于上述的進氣閥及出氣閥，以符合前開式晶圓盒的標準。請再參考圖9，是本實用新型的可充氣支撐件模塊的放大示意圖。可充氣支撐件模塊200由多個支撐肋201所組合而成，其中每一支撐肋201類似一平臺的結構，支撐肋201 可以為一耐磨耗材，例如PEEK材質，因此，當晶圓被支撐于支撐肋201或平臺上時，能避免因為摩擦而產(chǎn)生微粒。當然，如圖9所示，支撐肋201上可以包含有一支撐圓頭209，使支撐肋201利用此支撐圓頭209與晶圓接觸以減少和晶圓接觸的面積，可更進一步地減少微粒的產(chǎn)生。當然，支撐肋201可安排為僅有此支撐圓頭209為一耐磨耗材，而其它未跟晶圓接觸的地方都不是耐磨耗材，以降低生產(chǎn)所需的成本。而可充氣支撐件模塊200的多個限制件203由于靠近或懸浮于后壁10B’的前方(如圖10所示)，故可以限制支撐于支撐肋 201或支撐肋201其支撐圓頭209上的晶圓往后壁10B’的方向移動，以避免晶圓撞擊后壁 10B’。而限制件203可以由緩沖材料或耐磨耗材所制成的平板，亦或由上述材料所形成的淺凹槽結構，以容納晶圓進入此淺凹槽結構。此外，在前開式晶圓盒的門體內(nèi)表面亦會進一步包含至少一限制件模塊(未顯示于圖中)，此限制件模塊則用來限制晶圓往開口 12的方向移動。 前述可充氣支撐件模塊200包含有一主體200B、多個垂直間隔排列的支撐肋201、 多個垂直間隔排列的限制件203及一長縫20 ，且于長縫20 中配置有一多孔性材質材料 205c，其可以是一體成形的結構，以降低生產(chǎn)的成本。當然，可充氣支撐件模塊200可以由這些元件互相組裝而成；如圖IlA及圖IlB所示，可充氣支撐件模塊200的主體200B的兩個側面具有多個垂直間隔排列的插孔211，以允許多個支撐肋201插入并組裝及固定于主體200B上，以形成多個間隔排列的支撐肋201。而由于支撐肋201以組裝的方式固定于主體200B上，因此，每一支撐肋201都具有一固定基座213，可與支撐件模塊200的主體200B 相嵌合。此外，每一個支撐肋201亦可以具有一圓形孔洞215，可讓一原本分離的支撐圓頭 209塞入并固定于支撐肋201上，使支撐肋201可以利用此支撐圓頭209與晶圓接觸。而此支撐圓頭209可以為一耐磨耗材，例如PEEK材質，而其它未跟晶圓接觸的地方都不是耐磨耗材，以降低生產(chǎn)所需的成本。此外，本實用新型的前開式晶圓盒其可充氣支撐件模塊200 可以僅由一主體200B、多個垂直間隔排列的支撐肋201及一長縫20 且于長縫20 中配置有一多孔性材質材料205c所組成，這樣的結構，同樣可以兼具支撐晶圓及排除晶圓附近的微粒。此外，亦可在多個垂直間隔排列的支撐肋201之間形成多個出氣孔(未顯示于圖中)，使可充氣支撐件模塊200除了能利用長縫20 噴出氣體外，也可利用此多個出氣孔將晶圓附近的微粒帶離。當然，可充氣支撐件模塊200亦可以由一主體200B、一排多個垂直間隔排列的支撐肋201、另一排多個垂直間隔排列的支撐肋201及一長縫20 且于長縫20 中配置有一多孔性材質材料205c所組成，本實用新型不加以限制。此外，本實用新型的前開式晶圓盒其門體可以如現(xiàn)有技術的門體，于門體內(nèi)表面設有一凹陷區(qū)域，且在門體外表面及內(nèi)表面之間配置至少一門閂結構，使晶圓盒能順利運作。 本實用新型以前述的較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本實用新型，任何熟習相像技藝者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當可作些許的更動與潤飾，因此本實用新型的專利保護范圍須視本說明書所附的申請專利范圍所界定者為準。
權利要求1.一種前開式晶圓盒，包括一盒體，由一對側壁及相鄰該對側壁的一頂面及一底面所組成，并于一側邊形成一開口，而相對該開口的另一側邊形成一后壁，同時于該對側壁上各配置一支撐件模塊以容置多個晶圓，并于該對側壁與該后壁相鄰處各配置一可充氣支撐件模塊，以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，該門體以該內(nèi)表面與該盒體的該開口相結合，用以保護該盒體內(nèi)部的該多個晶圓，其的特征在于該前開式晶圓盒該盒體的該對側壁與該后壁相鄰之處，各配置一可充氣支撐件模塊，該可充氣支撐件模塊的面對該開口方向上配置有一長縫，且于該長縫中配置有一多孔性材質材料，且該可充氣支撐件模塊的一端配置一進氣口與該底面的一氣閥連接，其中該可充氣支撐件模塊由多個垂直間隔排列的支撐肋所組成。
2.根據(jù)權利要求1所述的前開式晶圓盒，其特征在于，該多孔性材質材料為一陶瓷材料。
3.根據(jù)權利要求1所述的前開式晶圓盒，其特征在于，該長縫由多個隔板垂直間隔成多個出氣口，所噴出氣體由下列群組中擇一或組合而成惰性氣體、干燥冷空氣及氮氣。
4.根據(jù)權利要求1所述的前開式晶圓盒，其特征在于，該長縫的形狀為由下到上逐漸變大。
5.根據(jù)權利要求1所述的前開式晶圓盒，其特征在于，進一步于該長縫縱向延伸形成多個橫縫，且該些橫縫間具有一間距。
6.根據(jù)權利要求1所述的前開式晶圓盒，其特征在于，該多個垂直間隔排列的支撐肋之間進一步配置有出氣孔。
7.根據(jù)權利要求1所述的前開式晶圓盒，其特征在于，該可充氣支撐件模塊是一體成型的結構。
8.一種前開式晶圓盒，包括一盒體，由一對側壁及相鄰該對側壁的一頂面及一底面所組成，并于一側邊形成一開口，而相對該開口的另一側邊形成一后壁，同時于該對側壁上配置一對支撐件模塊，以容置多個晶圓；以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，該門體以該內(nèi)表面與該盒體的該開口相結合，并用以保護該盒體內(nèi)部的該多個晶圓，其特征在于，該前開式晶圓盒該盒體的該對側壁與該后壁相鄰之處，各配置至少一可充氣支撐件模塊，該可充氣支撐件模塊的一端配置一進氣口并與該底面的一氣閥連接，而該可充氣支撐件模塊由一第一部分及一第二部分組成且該第一部分及該第二部分相鄰處形成一長縫，且于該長縫中配置有一多孔性材質材料，其中該可充氣支撐件模塊的該第一部分及該第二部分各配置有多個垂直間隔排列的支撐肋。
9.一種前開式晶圓盒，包括一盒體，由一對側壁及相鄰該對側壁的一頂面及一底面所組成，并于一側邊形成一開口，而相對該開口的另一側邊形成一后壁，同時于該對側壁上配置一對支撐件模塊，以容置多個晶圓；以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，該門體以該內(nèi)表面與該盒體的該開口相結合，并用以保護該盒體內(nèi)部的該多個晶圓，其特征在于，該前開式晶圓盒該盒體的該對側壁與該后壁相鄰之處，各配置至少一可充氣支撐件模塊，該可充氣支撐件模塊的一端配置一進氣口并與該底面的一氣閥連接，而該可充氣支撐件模塊由一第一部分及一第二部分組成且該第一部分及該第二部分相鄰處形成一長縫，且于該長縫中配置有一多孔性材質材料，其中該可充氣支撐件模塊的該第一部分配置有多個垂直間隔排列的支撐肋，而該第二部分配置有多個垂直間隔排列的限制件。
10. 一種前開式晶圓盒，包括一盒體，由一對側壁及相鄰該對側壁的一頂面及一底面所組成，并于一側邊形成一開口，而相對該開口的另一側邊形成一后壁，同時于該對側壁上配置一對支撐件模塊，以容置多個晶圓；以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，該門體以該內(nèi)表面與該盒體的該開口相結合，并用以保護該盒體內(nèi)部的該多個晶圓，其特征在于，該前開式晶圓盒該盒體的該對側壁與該后壁相鄰之處，各配置至少一可充氣支撐件模塊，該可充氣支撐件模塊包括一主體，該主體的一端配置一進氣口并與該底面的一氣閥連接，同時該可充氣支撐件模塊具有一排多個垂直間隔排列的支撐肋及一排多個垂直間隔排列的限制件，使該多個支撐肋及該多個限制件與該對側壁上的該些支撐件模塊共同支撐該多個晶圓，其中在該多個支撐肋及該多個限制件之間有至少一長縫，且于該長縫中配置有一多孔性材質材料。
專利摘要本實用新型公開了一種前開式晶圓盒，包括一盒體，由一對側壁、一頂面及一底面所組成，并于一側邊形成一開口，而相對開口的另一側邊形成一后壁，同時于每一側壁上各配置一支撐件模塊，以容置多個晶圓；以及一門體，以一內(nèi)表面與盒體的開口相結合，并用以保護盒體內(nèi)部的多個晶圓，其中前開式晶圓盒的特征在于盒體的每一側壁與后壁相鄰的地方，各配置一可充氣支撐件模塊，可充氣支撐件模塊的面對開口方向上，再配置有一長縫，并于長縫中配置有一多孔性材質材料，且于可充氣支撐件模塊的一端配置一進氣口與底面的一氣閥連接，其中可充氣支撐件模塊由多個垂直間隔排列的支撐肋所組成。
文檔編號H01L21/673GK202159652SQ201120259819
公開日2012年3月7日 申請日期2011年7月21日 優(yōu)先權日2011年7月21日
發(fā)明者侯宜良, 古震維, 洪國鈞, 盛劍平, 邱銘隆 申請人:家登精密工業(yè)股份有限公司