專利名稱：Tft陣列基板、電子紙顯示面板及其形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及TFT陣列基板、電子紙顯示面板及其形成方法。
背景技術(shù)：
電子紙(E-Paper)以其較低的能源消耗、類似紙張的柔和顯示效果以及可以替代紙張的前景預(yù)期，如今越來越受到市場(chǎng)的歡迎，其優(yōu)秀的保持特性非常適于文本閱讀一類的靜態(tài)顯示產(chǎn)品。電子紙的基本原理是電泳液里面存在帶電顆粒，這些帶電顆?？梢詫?duì)環(huán)境光進(jìn)行反射，進(jìn)而顯示圖像被人眼接收。在畫面轉(zhuǎn)換階段，根據(jù)電泳液兩端的加電電壓和加電時(shí)間可以控制帶電微粒在電泳液里面所在的位置，從而控制反射光的強(qiáng)弱實(shí)現(xiàn)灰階顯示。在畫面保持階段，電泳液兩端等·電位，使得帶電微粒在電泳液里面保持位置，從而能夠?qū)崿F(xiàn)低能耗的靜態(tài)畫面顯示。用戶在閱讀時(shí)，電子紙只在其刷新頁面時(shí)消耗電能，而不刷新頁面時(shí)，即使關(guān)閉電源也能夠繼續(xù)顯示，因此電子紙顯示具有低功耗。而且，電子紙顯示具有高反射的特點(diǎn)，電子紙顯示不需要背光源，通過反射實(shí)現(xiàn)黑白或彩色顯示；由于電子紙是反射式顯示，不同于目前使用的透過式顯示的LCD，因此即使在很亮的環(huán)境中使用，也有良好的顯示效果。電子紙顯示技術(shù)包含彩色顯示和黑白顯示。圖1為現(xiàn)有技術(shù)的黑白顯示電子紙的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，參考圖1，黑白顯示的電子紙包括=TFT陣列基板10和顯示基板20。TFT陣列基板10包括玻璃基板11，形成在玻璃基板11上的由公共電極12、電容介質(zhì)層13和像素電極14構(gòu)成的存儲(chǔ)電容。其中，公共電極12的材料為不透明的金屬，像素電極14的材料為透明的ITO材料(Indium Tin Oxides,納米銦錫金屬氧化物)。顯示基板20包括電子紙膜21 ;與電子紙膜21結(jié)合在一起的PET基板23，在PET基板23上具有透明電極22，其中，聚苯二甲酸乙二醇酯是熱塑性聚酯中最主要的品種，英文名為Polythylene terephthalate簡(jiǎn)稱PET?，F(xiàn)有技術(shù)中電子紙膜21主要使用微膠囊紙膜，在微膠囊紙膜內(nèi)具有帶負(fù)電的黑色粒子和帶正電的白色粒子。黑白顯示的主要原理為在透明電極22上施加參考電壓，通過數(shù)據(jù)線給像素電極14上對(duì)應(yīng)的像素電極施加對(duì)應(yīng)的像素電壓，像素電極14和透明電極22之間的電勢(shì)差為像素的電勢(shì)差，通過控制該電勢(shì)差控制該像素區(qū)域中帶負(fù)電的黑色粒子和帶正電的白色粒子的移動(dòng)方方向。由于白色粒子對(duì)光進(jìn)行反射，黑色粒子吸收光，因此當(dāng)帶正電的白色粒子聚集到靠近PET基板23 —側(cè)時(shí)，白色粒子聚集的地方顯示白色，當(dāng)帶負(fù)電的黑色粒子聚集到靠近PET基板23 —側(cè)時(shí)，黑色粒子聚集的地方顯示黑色。要實(shí)現(xiàn)彩色顯示的電子紙，需要在黑白顯示電子紙的基礎(chǔ)上增加彩色濾光(CF，Color Filter)板。目前，彩色電子紙顯示面板主要包含三大部分TFT陣列基板；CF板；由PET基板和電子紙膜組成的顯示基板。圖2為現(xiàn)有技術(shù)的彩色電子紙的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，顯示基板20位于TFT陣列基板10上，CF板30位于顯示基板20上。其彩色顯示原理為由白色粒子反射的光經(jīng)過CF板30后呈彩色圖像。
然而，以上所述的現(xiàn)有技術(shù)的彩色電子紙需要使用CF板30以達(dá)到彩色顯示的目的，由于CF基板的存在導(dǎo)致電子紙顯示面板厚度增加，并且也只能實(shí)現(xiàn)彩色顯示，不能實(shí)現(xiàn)彩色顯示和黑白顯示兩種功能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問題是現(xiàn)有技術(shù)的電子紙顯示裝置只能在一面進(jìn)行顯示，不能在電子紙顯示裝置的兩面均進(jìn)行顯示。為解決上述問題，本發(fā)明提供一種TFT陣列基板，包括第一透明基板；位于所述第一透明基板內(nèi)側(cè)的存儲(chǔ)電容陣列，每一存儲(chǔ)電容依次包括位于第一透明基板內(nèi)側(cè)的公共電極、位于所述公共電極上的透明電容介質(zhì)層、以及位于所述透明電容介質(zhì)層上的像素電極；所述公共電極和所述像素電極的材料均為透明導(dǎo)電材料?？蛇x的，還包括彩色濾光板，位于所述第一透明基板的外側(cè)?？蛇x的，所述彩色濾光板為RGB彩色濾光板?？蛇x的，還包括色阻層，所述色阻層位于所述第一透明基板的內(nèi)側(cè)?？蛇x的，所述色阻層包括R色阻、G色阻和B色阻?？蛇x的，所述色阻層位于所述像素電極上。可選的，還包括平坦層，所述平坦層覆蓋所述色阻層。可選的，所述色阻層位于所述透明電容介質(zhì)層與所述像素電極之間?？蛇x的，還包括平坦層，所述平坦層位覆蓋所述色阻層。 可選的，還包括平坦層，所述平坦層覆蓋所述像素電極?？蛇x的，所述透明導(dǎo)電材料為ΙΤ0。可選的，所述第一透明基板為玻璃基板。本發(fā)明的TFT陣列基板在應(yīng)用于電子紙顯示面板時(shí)，由于公共電極和所述像素電極的材料均為透明導(dǎo)電材料，因此可以實(shí)現(xiàn)電子紙顯示面板的雙面顯示。在一具體實(shí)施例中，在TFT陣列基板的第一透明基板的外側(cè)設(shè)置彩色濾光板，這樣可以實(shí)現(xiàn)在電子紙顯示面板的正面實(shí)現(xiàn)黑白顯示，背面實(shí)現(xiàn)彩色顯示。在另一具體實(shí)施例中，在TFT陣列基板的第一透明基板的內(nèi)側(cè)設(shè)置色阻層，可以實(shí)現(xiàn)在電子紙顯示面板的正面實(shí)現(xiàn)黑白顯示，背面實(shí)現(xiàn)彩色顯示。而且，TFT陣列基板的厚度較薄，由于沒有采用那么多的絕緣膜，相應(yīng)的成本降低，形成TFT陣列基板的工藝也相對(duì)簡(jiǎn)單。而且，在該實(shí)施例中，采用色阻層代替彩色濾光板作為濾色層，由于形成色阻層的方法為曝光、顯影，因此色阻層與像素區(qū)域的對(duì)準(zhǔn)比較精細(xì)，避免由于采用彩色濾光板作為濾色層時(shí)，將彩色濾光板粘附在TFT陣列基板上，與像素區(qū)域精細(xì)對(duì)準(zhǔn)比較困難的問題。本發(fā)明還提供一種電子紙顯示面板，包括所述的TFT陣列基板；位于所述TFT陣列基板 上的電子紙膜；位于所述電子紙膜上的透明電極；位于所述透明電極上的第二透明基板。
可選的，所述透明電極的材料為ITO。可選的，所述第二透明基板為PET基板、玻璃基板或者塑料基板?？蛇x的，所述電子紙膜為微膠囊膜，所述微膠囊膜內(nèi)包括多個(gè)微膠囊膜?？蛇x的，所述每一微膠囊內(nèi)包括黑色顆粒和白色顆粒以及透明液體?？蛇x的，所述每一微膠囊內(nèi)包括白色粒子和黑色不透明液體。可選的，所述每一微膠囊內(nèi)包括黑色粒子和白色不透明液體。本發(fā)明的電子紙顯示面板由于公共電極和所述像素電極的材料均為透明導(dǎo)電材料，因此可以實(shí)現(xiàn)電子紙顯示面板的雙面顯示。在一具體實(shí)施例中，在TFT陣列基板的第一透明基板的外側(cè)設(shè)置彩色濾光板，這樣可以實(shí)現(xiàn)在電子紙顯示面板的正面實(shí)現(xiàn)黑白顯示，背面實(shí)現(xiàn)彩色顯示。在另一具體實(shí)施例中，在TFT陣列基板的第一透明基板的內(nèi)側(cè)設(shè)置色阻層，可以實(shí)現(xiàn)在電子紙顯示面板的正面實(shí)現(xiàn)黑白顯示，背面實(shí)現(xiàn)彩色顯示。TFT陣列基板的厚度較薄，相應(yīng)的成本降低，形成TFT陣列基板的工藝也相對(duì)簡(jiǎn)單。而且，在該實(shí)施例中，采用色阻層代替彩色濾光板作為濾色層，由于形成色阻層的方法為曝光、顯影，因此色阻層與像素區(qū)域的對(duì)準(zhǔn)比較精細(xì)，避免由于采用彩色濾光板作為濾色層時(shí)，將彩色濾光板粘附在TFT陣列基板上，與像素區(qū)域精細(xì)對(duì)準(zhǔn)比較困難的問題。本發(fā)明還提供一種形成電子紙顯示面板的方法，包括提供所述的TFT陣列基板；提供電子紙膜 ，將電子紙膜貼附在TFT陣列基板上；提供第二透明基板，在所述第二透明基板上沉積透明電極；使所述透明電極朝向電子紙膜一側(cè)將所述第二透明基板貼附在電子紙膜上。本發(fā)明還提供一種形成電子紙顯示面板的方法，包括提供所述的TFT陣列基板；提供第二透明基板，在所述第二透明基板上沉積透明電極；提供電子紙膜，將電子紙膜貼附在透明電極上；使所述電子紙膜朝向TFT陣列基板一側(cè)將所述第二透明基板粘附在TFT陣列基板上。本發(fā)明提供的電子紙顯示面板的方法所使用的TFT陣列基板，色阻層是通過涂覆材料在TFT陣列基板內(nèi)的。在組合TFT陣列基板、電子紙膜和第二透明基板時(shí)并不需要像素級(jí)別上的精細(xì)對(duì)位，大大降低了貼附時(shí)的精度要求，降低了工藝難度，提高了良品率。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)的黑白顯示的電子紙顯示面板剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)的彩色顯示的電子紙顯示面板剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明具體實(shí)施例的電子紙顯示面板的像素結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明第一具體實(shí)施例的電子紙顯示面板沿圖3所示的A-A方向顯示像素區(qū)域的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明第一具體實(shí)施例的電子紙顯示面板中的TFT陣列基板沿圖3所示的A-A方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖6為本發(fā)明第二具體實(shí)施例的電子紙顯示面板的TFT陣列基板沿圖3所示的A-A方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明第三具體實(shí)施例的電子紙顯示面板像素區(qū)域的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本發(fā)明第四具體實(shí)施例的電子紙顯示面板像素區(qū)域的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本發(fā)明第五具體實(shí)施例的電子紙顯示面板像素區(qū)域的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為本發(fā)明第六具體實(shí)施例的電子紙顯示面板像素區(qū)域的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖11為本發(fā)明第七具體實(shí)施例的電子紙顯示面板像素區(qū)域的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖12為本發(fā)明第八具體實(shí)施例的電子紙顯示面板像素區(qū)域的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖13為本發(fā)明具體實(shí)施例的形成TFT陣列基板的方法的流程示意圖；圖14 圖16為本發(fā)明第一 具體實(shí)施例的形成TFT陣列基板的方法的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖17為將TFT陣列基板和第二透明基板、電子紙膜結(jié)合的第一實(shí)施例的示意圖；圖18為將TFT陣列基板和第二透明基板、電子紙膜結(jié)合的第二實(shí)施例的示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說明。在以下描述中闡述了具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明。但是本發(fā)明能夠以多種不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似推廣。因此本發(fā)明不受下面公開的具體實(shí)施方式
的限制。在詳述本發(fā)明具體實(shí)施例的電子紙顯示面板之前，首先需要說明的是，第一透明基板具有兩側(cè)，一側(cè)與電子紙膜相對(duì)，另一側(cè)與電子紙膜相背，本發(fā)明中提到的第一透明基板的內(nèi)側(cè)指與電子紙膜相對(duì)的一側(cè)，第一透明基板的外側(cè)指與電子紙膜相背的一側(cè)。第二透明基板具有兩側(cè)，一側(cè)與TFT陣列基板相對(duì)，另一側(cè)與TFT陣列基板相背，本發(fā)明中提到的第二透明基板的內(nèi)側(cè)指與TFT陣列基板相對(duì)的一側(cè)，第二透明基板的外側(cè)指與TFT陣列基板相背的一側(cè)。第一實(shí)施例圖3為本發(fā)明第一具體實(shí)施例的電子紙顯示面板像素的結(jié)構(gòu)示意圖，圖4為本發(fā)明第一具體實(shí)施例的電子紙顯示面板沿圖3所示A-A方向的像素區(qū)域剖面結(jié)構(gòu)示意圖。結(jié)合參考圖3和參考圖4，本發(fā)明的電子紙顯示面板包括TFT陣列基板40，TFT陣列基板40包括第一透明基板41 ;存儲(chǔ)電容陣列，存儲(chǔ)電容陣列中每一存儲(chǔ)電容包括位于第一透明基板41內(nèi)側(cè)的公共電極42、位于所述公共電極42上的透明電容介質(zhì)層43、以及位于所述透明電容介質(zhì)層43上的像素電極44 ;公共電極42的材料、像素電極44的材料均為透明導(dǎo)電材料。電子紙顯示面板還包括位于所述TFT陣列基板40上的電子紙膜51，位于所述電子紙膜51上的透明電極52，位于所述透明電極52上的第二透明基板53。在該第一實(shí)施例在中，TFT陣列基板40還包括濾色層49，位于所述像素電極44上，也就是位于像素電極44和電子紙膜51之間。本實(shí)施例中的電子紙顯示面板的顯示原理為當(dāng)用戶從電子紙顯示面板的TFT陣列基板40 —側(cè)觀看時(shí)，光穿過第一透明基板41、存儲(chǔ)電容陣列，再透過濾色層49，經(jīng)由電子紙膜51內(nèi)的白色粒子512反射回來后，再經(jīng)過濾色層49，射出TFT陣列基板40，在TFT陣列基板40 —側(cè)實(shí)現(xiàn)彩色顯示。當(dāng)用戶從電子紙顯示面板的第二透明基板53 —側(cè)觀看時(shí)，光透過第二透明基板53，在遇到電子紙膜內(nèi)的白色粒子512時(shí)，被白色粒子512反射回來再透過第二透明基板53，在第二透明基板53 —側(cè)實(shí)現(xiàn)黑白顯示。本實(shí)施例中的電子紙顯示面板的優(yōu)點(diǎn)在于提供雙面顯示功能，并且一側(cè)為彩色顯示，用戶在需要觀看彩色圖片等時(shí)可以使用該側(cè)；另一側(cè)為黑白顯示，因?yàn)殡娮蛹堬@示面板一個(gè)很重要的作用是提供如紙質(zhì)般柔和顯示效果，如果用戶只需要閱讀文章時(shí)，可以選擇使用該側(cè)，光線從電子紙顯示面板射出時(shí)只透過TFT陣列基板40，而不用透過濾色層49，減少了光線的損失，保證了顯示的亮度以及良好的黑白對(duì)比度。本發(fā)明的電子紙顯示面板由于公共電極和所述像素電極的材料均為透明導(dǎo)電材料，因此可以實(shí)現(xiàn)電子紙顯示面板的雙面顯示。而且，在第一實(shí)施例中，由于像素電極44和電子紙膜51之間形成有濾色層49，可以在電子紙顯示面板的TFT陣列基板一側(cè)實(shí)現(xiàn)彩色顯示，在電子紙顯示面板的第二透明基板一側(cè)實(shí)現(xiàn)黑白顯示。如果沒有濾色層49，則電子紙顯示面板的兩側(cè)均為黑白顯示。在本發(fā)明中，濾色層49可以為色阻層，也可以為彩色濾光板。當(dāng)為色阻層時(shí)，色阻層包括R色阻、G色阻和B色阻，經(jīng)過R色阻的光出射后為R光，經(jīng)過G色阻的光出射后為G光，經(jīng)過B色阻的光出射后為B光。R色阻、G色阻和B色阻均直接沉積形成在TFT陣列基板上；如果通過彩色濾光板形成彩色顯示，則將彩色濾光板與TFT陣列基板對(duì)齊后黏貼在TFT陣列基板上。在圖4所示的第一實(shí)施例中，色阻層中，相鄰色阻之間具有空隙，該空隙內(nèi)可以形成黑色矩陣(BM，black matrix);相鄰色阻之間也可以沒有空隙，也就是相鄰色阻彼此接觸。當(dāng)為彩色濾光板時(shí)，該彩色濾光板為RGB彩色濾光板，從RGB彩色濾光板出射的光線為R、G、B三色光。作為優(yōu)選實(shí)施例，本實(shí)施例中的濾色層49為色阻層，因?yàn)閷V色層49直接沉積在TFT陣列基板上，可省去彩色濾光板，使得整個(gè)電子紙顯示面板的厚度減薄，重量減輕，成本降低。另外，如果濾色層為彩色濾光板，則在電子紙顯示面板的形成過程的彩色濾光板與TFT陣列基板貼合時(shí)，需要像素級(jí)別上的精細(xì)對(duì)準(zhǔn)，R濾色區(qū)域需要與R像素區(qū)域?qū)?zhǔn)，G濾色區(qū)域需要與G像素區(qū)域?qū)?zhǔn)，B濾色區(qū)域需要與B像素區(qū)域?qū)?zhǔn)，該對(duì)準(zhǔn)過程稍微有點(diǎn)偏差就容易造成彩色濾光板與TFT陣列基板的錯(cuò)位。如果采用色阻層作為濾色層49，色阻層是通過涂覆材料在TFT陣列基板上，然后進(jìn)行曝光、顯影形成色阻，由于曝光、顯影的過程均是在像素級(jí)別上的曝光、顯影，因此色阻層較容易與TFT陣列基板進(jìn)行精細(xì)對(duì)準(zhǔn)，防止出現(xiàn)對(duì)位的錯(cuò)位。所以，優(yōu)選地，形成濾色層采用將色阻層直接沉積在TFT陣列基板上，可降低制程工藝的難度。在該第一實(shí)施例中，第一透明基板41為玻璃基板，但本發(fā)明中，第一透明基板41不限于玻璃基板，也可以為其他材料的透明基板。在該第一實(shí)施例中，公共電極42、像素電極44的材料均為ITO材料，但公共電極42、像素電極44的材料不限于ITO材料，也可以為其他的透明導(dǎo)電材料。在該第一實(shí)施例中，多 個(gè)公共電極42呈陣列排布。由于公共電極42的都擁有相同的電位，因此公共電極42也可以為一整面公共電極，各個(gè)像素共用該整面公共電極,而不是一個(gè)像素對(duì)應(yīng)一個(gè)公共電極。在該第一實(shí)施例中，第二透明基板53為PET基板、玻璃基板或者塑料基板，但本發(fā)明中，第二透明基板53不限于PET基板、玻璃基板或者塑料基板，也可以為其他材料的透明基板。在該第一實(shí)施例中，電子紙膜51為微膠囊膜，所述微膠囊膜內(nèi)包括多個(gè)微膠囊膜，每一微膠囊內(nèi)包括黑色顆粒511和白色顆粒512以及透明液體。也可以為每一微膠囊內(nèi)包括白色粒子和黑色不透明液體。還可以為每一微膠囊內(nèi)包括黑色粒子和白色不透明液體。但本發(fā)明中，電子紙膜51不限于微膠囊膜，也可以為其他可以應(yīng)用于本發(fā)明的電子紙膜。在該第一實(shí)施例中，透明電極52的材料也為ITO材料，但透明電極52的材料不限于ITO材料，可以其他的透明導(dǎo)電材料。并且，透明電極52為一整面電極。在該第一實(shí)施例中，結(jié)合參考圖3和圖4,第一實(shí)施例的電子紙顯不面板中，TFT陣列基板50還包括TFT開關(guān)陣列，每一個(gè)存儲(chǔ)電容與對(duì)應(yīng)的TFT開關(guān)電連接，且所述TFT開關(guān)和所述存儲(chǔ)電容沿平行透明基板的方向排布在所述第一透明基板41上。參考圖3，TFT開關(guān)包括源極46a、漏極46b、柵極45，源極46a和漏極46b之間的溝道區(qū)(圖中未標(biāo))，與源極46a連接的數(shù)據(jù)線48、與柵極45連接的掃描線47，漏極46b與像素電極44電連接。通過掃描線47在柵極45上施加電壓，使溝道區(qū)打開后，數(shù)據(jù)線48上施加的電壓通過源極46a傳遞給漏極46b，繼而施加在像素電極44上，使像素電極具有一定的電壓。圖5為本發(fā)明第一實(shí)施例的電子紙顯示面板的TFT陣列基板沿圖3所示的A-A方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，結(jié)合參考圖3和圖5，在該實(shí)施例中，從第一透明基板41向上，依次為第一層的掃描線47、柵極45及公共線71，該公共線71用于向公共電極42提供電壓；第二層的公共電極42 ;第三 層的溝道區(qū)，材料為非晶硅；第四層的數(shù)據(jù)線48、源極46a及漏極46b ;第五層的絕緣層72，材料為SiNx，在公共電極42和像素電極44之間的絕緣層作為電容介質(zhì)層43 ;第六層的像素電極44。本實(shí)施例中，公共線71為金屬布線。第二實(shí)施例圖6為本發(fā)明第二具體實(shí)施例的電子紙顯示面板的TFT陣列基板沿圖3所示的A-A方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，與圖5所示的實(shí)施例相比，該實(shí)施例中，在制作第一層時(shí)，可以不用金屬做公共線，而用ITO形成公共線，這樣會(huì)犧牲一些對(duì)比度，但是可以提高開口率。分別為第一層的掃描線47及柵極45 ;第二層的公共電極42及公共線；第三層的溝道區(qū)，材料為非晶硅；第四層的數(shù)據(jù)線48、源極46a及漏極46b ;第五層的絕緣層72，材料為SiNx，在公共電極42和像素電極44之間的絕緣層作為電容介質(zhì)層43 ;第六層的像素電極44。第二實(shí)施的其它結(jié)構(gòu)和第一實(shí)施例相同，在此不再詳細(xì)描述。第三實(shí)施例圖7為本發(fā)明第三具體實(shí)施例的電子紙顯示面板像素的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，參考圖
7,濾色層49位于透明電容介質(zhì)層43上，像素電極44位于濾色層49上。S卩，與第一實(shí)施例相比，像素電極44和濾色層49的位置關(guān)系互換。其他與第一實(shí)施例相同，在此不做贅述。第四實(shí)施例圖8為本發(fā)明第四具體實(shí)施例的電子紙顯示面板的像素區(qū)域的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，參考圖8，濾色層49為色阻層，像素電極44位于透明電容介質(zhì)層43上，濾色層49位于像素電極44上，TFT陣列基板40還包括平坦層61，覆蓋所述像素電極44、濾色層49，平坦層61的材料為有機(jī)膜；其中，平坦層61的表面為平面，也就是說，形成平坦層61后，對(duì)平坦層61進(jìn)行平坦化工藝使其表面平整。涂布一層平坦層的目的是對(duì)濾色層和TFT陣列形成的段差進(jìn)行平坦化。由于濾色層49為色阻層時(shí)，沉積形成色阻層時(shí)沒有進(jìn)行平坦化，可能會(huì)造成TFT陣列基板的表面不平整，與電子紙膜黏貼不太好，所以在該實(shí)施例中形成平坦層61，可使得TFT陣列基板40的表面平整化。其他與第一實(shí)施例相同，在此不做贅述。第五實(shí)施例圖9為本發(fā)明第五具體實(shí)施例的電子紙顯示面板的像素區(qū)域的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，濾色層49為色阻層，濾色層49位于電容介質(zhì)層43上，像素電極44位于濾色層49上，TFT陣列基板40還包括平坦層61，覆蓋所述像素電極44、濾色層49 ;其中，平坦層61的表面為平面，也就是說，沉積形成平坦層61后，對(duì)平坦層61進(jìn)行平坦化工藝使其表面平整。平坦層的作用和第四實(shí)施例相同，在此不做贅述。第六實(shí)施例圖10為本發(fā)明第六具體實(shí)施例的電子紙顯示面板的像素區(qū)域的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，參考圖10，濾色層49為色阻層，TFT陣列基板40還包括平坦層61，濾色層49位于透明電容介質(zhì)層43上，平坦層61覆蓋濾色層49，像素電極44位于平坦層61上，其中，平坦層61的表面為平面，也就是說，沉積形成平坦層61后，對(duì)平坦層61進(jìn)行平坦化工藝使其表面平整。平坦層的作用和第四實(shí)施例相同，在此不做贅述。第七實(shí)施例圖11為本發(fā)明第七具體實(shí)施例的電子紙顯示面板的像素區(qū)域的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，參考圖11，濾色層491為彩色濾光板，該彩色濾光板位于第二透明基板53的外側(cè)；濾色層492也為彩色濾光板，其 位于第一透明基板41的外側(cè)。本實(shí)施例提供的電子紙顯示面板可以在電子紙顯示面板的兩個(gè)顯示面均實(shí)現(xiàn)彩色顯示。第八實(shí)施例圖12為本發(fā)明第八具體實(shí)施例的電子紙顯示面板的像素區(qū)域的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，參考圖12，濾色層49為彩色濾光板，該彩色濾光板位于第二透明基板53的外側(cè)，這樣可以在電子紙顯示面板的第二透明基板53 —側(cè)實(shí)現(xiàn)彩色顯示，在TFT陣列基板40實(shí)現(xiàn)黑白顯不O基于以上所述的電子紙顯示面板，本發(fā)明還提供一種TFT陣列基板，在具體闡述電子紙顯示面板時(shí)，對(duì)電子紙顯示面板中的TFT陣列基板的所有內(nèi)容可以援引于此。在此不對(duì)TFT陣列基板重復(fù)描述。本發(fā)明還提供一種形成TFT陣列基板的方法，圖14為本發(fā)明的TFT陣列基板形成方法的第一具體實(shí)施例的流程示意圖，參考圖14，本發(fā)明TFT陣列基板形成方法的第一具體實(shí)施例包括步驟S11，提供第一透明基板；步驟S12，在所述第一透明基板上形成公共電極，在所述公共電極上形成透明電容介質(zhì)層，在所述透明電容介質(zhì)層上形成像素電極，所述公共電極的材料和所述像素電極的材料均為透明導(dǎo)電材料；所述公共電極、透明電容介質(zhì)層、像素電極構(gòu)成存儲(chǔ)電容；步驟S13，在所述像素電極上形成濾色層。
結(jié)合參考圖13和圖14，執(zhí)行步驟S11，提供第一透明基板41。結(jié)合參考圖13和圖15，執(zhí)行步驟S12，在所述第一透明基板41上形成公共電極42，在所述公共電極42上形成透明電容介質(zhì)層43，在所述透明電容介質(zhì)層43上形成像素電極44，所述公共電極42的材料和所述像素電極44的材料均為透明導(dǎo)電材料,例如ITO材料。在該實(shí)施例中，各個(gè)像素的公共電極42呈陣列排布，其形成方法為在透明基板41上沉積形成一層ITO材料，然后對(duì)該ITO材料進(jìn)行光刻、刻蝕形成呈陣列排布的公共電極42。結(jié)合參考圖13和圖16，執(zhí)行步驟S13，在所述像素電極44上形成濾色層49。濾色層49為色阻層，色阻層包括R色阻、G色阻和B色阻；形成色阻層的方法包括沉積形成第一色阻層，之后對(duì)所述第一色阻層進(jìn)行曝光顯影，形成第一色阻；沉積形成第二色阻層，之后對(duì)所述第二色阻層進(jìn)行曝光顯影，形成第二色阻；形成第三色阻層，之后對(duì)所述第三色阻層進(jìn)行曝光顯影，形成第三色阻；所述第一色阻、第二色阻、第三色阻分別為R色阻、G色阻和B色阻中的一種，構(gòu)成所述色阻層。其中，形成第一色阻層、第二色阻層、第三色阻層的方法為涂覆、旋涂或者滴涂。可以為第一色阻層為R色阻層、第二色阻層為G色阻層、第三色阻層為B色阻層；也可以為第一色阻層為B色阻層、第二色阻層為G色阻層、第三色阻層為R色阻層。此處只是列舉，第一色阻、第二色阻、第三色阻為R色阻、G色阻和B色阻中的一種，構(gòu)成RGB色阻層。具體實(shí)施例的TFT陣列基板的形成方法，還包括在所述透明基板上形成TFT開關(guān)陣列，參考圖5或圖6，形成的TFT開關(guān)和存儲(chǔ)電容沿平行透明基板表面的方向排布在所述透明基板上，每一個(gè)存儲(chǔ)電容與對(duì)應(yīng)的TFT開關(guān)電連接。形成TFT開關(guān)陣列的方法為本領(lǐng)域技術(shù)人員的公知技術(shù)，在此不做贅述。形成的TFT開關(guān)可以為圖5或圖6所示具體實(shí)施例中的TFT開關(guān)。以上方法形成TFT陣 列基板對(duì)應(yīng)圖4所示的TFT陣列基板。圖7所示的第三實(shí)施例的TFT陣列基板的形成方法，在所述第一透明基板41上形成公共電極42，在所述公共電極42上形成透明電容介質(zhì)層43，在所述透明電容介質(zhì)層43上形成濾色層49，在所述濾色層 49上形成像素電極44。也就是將像素電極44和濾色層49的形成順序互換，其他與TFT陣列基板形成方法的第一具體實(shí)施例相同。圖8所示的第四實(shí)施例的TFT陣列基板的形成方法，在形成像素電極44、濾色層49后，形成平坦層61，覆蓋所述像素電極44、濾色層49。形成平坦層61的方法為化學(xué)氣相沉積方法，之后對(duì)平坦層61進(jìn)行平坦化。其他與TFT陣列基板形成方法的第一具體實(shí)施例相同。圖9所示的第五實(shí)施例的TFT陣列基板的形成方法，在形成像素電極44、濾色層49后，形成平坦層61，覆蓋所述像素電極44、濾色層49。形成平坦層61的方法為化學(xué)氣相沉積方法，之后對(duì)平坦層61進(jìn)行平坦化。其他與TFT陣列基板形成方法的第一具體實(shí)施例相同。圖10所示的第六實(shí)施例的TFT陣列基板的形成方法，在形成濾色層49后，形成平坦層61，覆蓋濾色層49 ;之后，在平坦層61上形成像素電極44。形成平坦層61的方法為化學(xué)氣相沉積方法，之后對(duì)平坦層61進(jìn)行平坦化。也就是說，與第二實(shí)施例相比，在像素電極44和濾色層49之間形成了平坦層61，其他與TFT陣列基板形成方法的第一具體實(shí)施例相同。
需要說明的是，關(guān)于TFT陣列基板結(jié)構(gòu)中描述的內(nèi)容，可以援引于形成TFT陣列基板的方法中。本發(fā)明的TFT陣列基板具有厚度薄，成本低、形成方法相對(duì)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。參考圖17，本發(fā)明還提供了一種形成電子紙顯示面板的方法，包括提供所述的TFT陣列基板40 ;圖17中顯示的TFT陣列基板40為圖4第一實(shí)施例的TFT陣列基板，即濾色層為色阻層，并且所述色阻層形成在TFT陣列基板內(nèi)。TFT陣列基板可以為以上其他實(shí)施例的TFT陣列基板，只要濾色層為色阻層，并且所述色阻層形成在TFT陣列基板內(nèi)即可。TFT陣列基板40的形成方法為以上所述的方法；提供電子紙膜51，將電子紙膜51貼附在TFT陣列基板40上；提供第二透明基板53，在所述第二透明基板上沉積透明電極52 ；使所述透明電極52朝向電子紙膜一側(cè)將所述第二透明基板53貼附在電子紙膜上。也就是說，在該實(shí)施例中，先將電子紙膜51與TFT陣列基板40粘合在一起，然后將結(jié)合在一起的第二透明基板53、透明電極52與電子紙膜51粘合在一起。

參考圖18，，本發(fā)明另一種形成電子紙顯示面板的方法，包括提供所述的TFT陣列基板40 ;圖18中顯示的TFT陣列基板40為圖4第一實(shí)施例的TFT陣列基板，即濾色層為色阻層，并且所述色阻層形成在TFT陣列基板內(nèi)。TFT陣列基板可以為以上其他實(shí)施例的TFT陣列基板，只要濾色層為色阻層，并且所述色阻層形成在TFT陣列基板內(nèi)即可。TFT陣列基板40的形成方法為以上所述的方法；提供第二透明基板53，在所述第二透明基板53上沉積透明電極52 ；提供電子紙膜51，將電子紙膜51貼附在透明電極52上；使所述電子紙膜51朝向TFT陣列基板40 —側(cè)，將所述第二透明基板53粘附在TFT陣列基板40上。也就是說，該實(shí)施例中，先將第二透明基板53、透明電極52、電子紙膜51結(jié)合在一起，然后將其和TFT陣列基板結(jié)合在一起。本發(fā)明的形成電子紙顯示面板的方法，減小了貼附時(shí)的精度要求。通常地，電子紙顯示面板的形成過程的彩色濾光板與TFT陣列基板結(jié)合時(shí)，需要像素級(jí)別上的精細(xì)對(duì)準(zhǔn)，R濾色區(qū)域需要與R像素區(qū)域?qū)?zhǔn)，G濾色區(qū)域需要與G像素區(qū)域?qū)?zhǔn)，B濾色區(qū)域需要與B像素區(qū)域?qū)?zhǔn)，該對(duì)準(zhǔn)過程稍微有點(diǎn)偏差就容易造成彩色濾光板與TFT陣列基板的錯(cuò)位，對(duì)制程的對(duì)位精度要求非常高，但是對(duì)位貼合的機(jī)器很難保證如此高的精度。本發(fā)明提供的電子紙顯示面板的方法所使用的TFT陣列基板，色阻層是通過涂覆材料在TFT陣列基板內(nèi)的。在組合TFT陣列基板、電子紙膜和第二透明基板時(shí)并不需要像素級(jí)別上的精細(xì)對(duì)位，大大降低了貼附時(shí)的精度要求，降低了工藝難度，提高了良品率。本發(fā)明雖然已以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案做出可能的變動(dòng)和修改，因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種TFT陣列基板，其特征在于，包括 第一透明基板； 位于所述第一透明基板內(nèi)側(cè)的存儲(chǔ)電容陣列，每一存儲(chǔ)電容依次包括位于第一透明基板內(nèi)側(cè)的公共電極、位于所述公共電極上的透明電容介質(zhì)層、以及位于所述透明電容介質(zhì)層上的像素電極； 所述公共電極和所述像素電極的材料均為透明導(dǎo)電材料。
2.如權(quán)利要求1所述的TFT陣列基板，其特征在于，還包括彩色濾光板，位于所述第一透明基板的外側(cè)。
3.如權(quán)利要求2所述的TFT陣列基板，其特征在于，所述彩色濾光板為RGB彩色濾光板。
4.如權(quán)利要求1所述的TFT陣列基板，其特征在于，還包括色阻層，所述色阻層位于所述第一透明基板的內(nèi)側(cè)。
5.如權(quán)利要求4所述的TFT陣列基板，其特征在于，所述色阻層包括R色阻、G色阻和B色阻。
6.如權(quán)利要求4所述的TFT陣列基板，其特征在于，所述色阻層位于所述像素電極上。
7.如權(quán)利要求6所述的TFT陣列基板，其特征在于，還包括平坦層，所述平坦層覆蓋所述色阻層。
8.如權(quán)利要求4所述的TFT陣列基板，其特征在于，所述色阻層位于所述透明電容介質(zhì)層與所述像素電極之間。
9.如權(quán)利要求8所述的TFT陣列基板，其特征在于，還包括平坦層，所述平坦層覆蓋所述色阻層。
10.如權(quán)利要求8所述的TFT陣列基板，其特征在于，還包括平坦層，所述平坦層覆蓋所述像素電極。
11.如權(quán)利要求1所述的TFT陣列基板，其特征在于，所述透明導(dǎo)電材料為ITO。
12.如權(quán)利要求1所述的TFT陣列基板，其特征在于，所述第一透明基板為玻璃基板。
13.一種電子紙顯示面板，其特征在于，包括 如權(quán)利要求1 12任一所述的TFT陣列基板； 位于所述TFT陣列基板上的電子紙膜； 位于所述電子紙膜上的透明電極； 位于所述透明電極上的第二透明基板。
14.如權(quán)利要求13所述的電子紙顯示面板，其特征在于，所述透明電極的材料為ITO。
15.如權(quán)利要求13所述的電子紙顯示面板，其特征在于，所述第二透明基板為PET基板、玻璃基板或者塑料基板。
16.如權(quán)利要求13所述的電子紙顯示面板，其特征在于，所述電子紙膜為微膠囊膜，所述微膠囊膜內(nèi)包括多個(gè)微膠囊膜。
17.如權(quán)利要求16所述的電子紙顯示面板，其特征在于，所述每一微膠囊內(nèi)包括黑色顆 粒和白色顆粒以及透明液體。
18.如權(quán)利要求16所述的電子紙顯示面板，其特征在于，所述每一微膠囊內(nèi)包括白色粒子和黑色不透明液體。
19.如權(quán)利要求16所述的電子紙顯示面板，其特征在于，所述每一微膠囊內(nèi)包括黑色粒子和白色不透明液體。
20.一種形成電子紙顯示面板的方法，包括 提供如權(quán)利要求4 10任一所述的TFT陣列基板； 提供電子紙膜，將電子紙膜貼附在TFT陣列基板上； 提供第二透明基板，在所述第二透明基板上沉積透明電極； 使所述透明電極朝向電子紙膜一側(cè)將所述第二透明基板貼附在電子紙膜上。
21.—種形成電子紙顯示面板的方法，包括 提供如權(quán)利要求4 10任一所述的TFT陣列基板； 提供第二透明基板，在所述第二透明基板上沉積透明電極； 提供電子紙膜，將電子紙膜貼附在透明電極上； 使所述電子紙膜朝向TFT陣列基板一側(cè)將所述第二透明基板粘附在TFT陣列基板上。
全文摘要
一種TFT陣列基板、電子紙顯示面板及其形成方法，電子紙顯示面板包括第一透明基板；位于所述第一透明基板內(nèi)側(cè)的存儲(chǔ)電容陣列，每一存儲(chǔ)電容依次包括位于第一透明基板內(nèi)側(cè)的公共電極、位于所述公共電極上的透明電容介質(zhì)層、以及位于所述透明電容介質(zhì)層上的像素電極；所述公共電極和所述像素電極的材料均為透明導(dǎo)電材料；位于所述TFT陣列基板上的電子紙膜；位于所述電子紙膜上的透明電極；位于所述透明電極上的第二透明基板。本技術(shù)方案的電子紙顯示面板可以進(jìn)行雙面顯示。
文檔編號(hào)H01L21/77GK103066069SQ20111032130
公開日2013年4月24日 申請(qǐng)日期2011年10月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月20日
發(fā)明者陳浩, 吳天一, 馬駿, 吳勇, 柴慧平 申請(qǐng)人:上海天馬微電子有限公司