專利名稱：分立掩膜和通過利用該分立掩膜裝配掩膜框組件的方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在沉積薄膜中使用的分立掩膜以及通過利用分立掩膜裝配掩膜框組件的方法。
背景技術：
一般來說，在顯示裝置中，有機發(fā)光顯示裝置具有寬的視角、優(yōu)良的對比度和快速的效應速度。在有機發(fā)光顯示裝置中，通過被注入陽極和陰極中的空穴和電子的復合發(fā)射光。 有機發(fā)光顯示裝置具有堆疊結構，在該堆疊結構中，發(fā)射層被插置在陽極與陰極之間。然而，由于對具有這種結構的有機發(fā)光顯示裝置來說難以具有高的發(fā)光效率，因此電子注入層、電子傳輸層、空穴傳輸層、空穴注入層等等被選擇性地插置在發(fā)射層與陽極和陰極中的每個之間。電極和包括有機發(fā)光顯示裝置的發(fā)射層的中間層，通過利用各種方法來形成。這些方法中之一是沉積方法。為了通過利用沉積方法來制造有機發(fā)光顯示裝置，具有與待形成在基板上的薄膜相同的圖案的精細金屬掩膜(FMM)被對準在該基板上，然后具有期望的圖案的薄膜通過沉積薄膜的原材料來形成。由于FMM在尺寸上很大，因此會出現(xiàn)更大的蝕刻誤差，并且FMM的中央部分可能由于它的重量而下陷。因此，近來，已經(jīng)廣泛使用通過形成各種掩膜桿并且將掩膜桿連附到框架上而形成的分立掩膜(division mask)。然而，分立掩膜在尺寸上很大,具有大約1，840mm的長度，以便滿足用戶對大尺寸顯示裝置的需求。因此，在每個分立掩膜中的長度方向上可能形成褶皺。也就是說，由于每個分立掩膜在尺寸上很長，因此可能在分立掩膜上形成褶皺，并且分立掩膜并不一直平坦。 在這種情況下，在精細圖案通過利用分立掩膜而形成的沉積過程中也可能出現(xiàn)各種問題。因此，需要防止在分立掩膜上形成褶皺。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供在沉積薄膜中使用的分立掩膜，以及通過利用該分立掩膜裝配掩膜框組件的方法，其中防止了在分立掩膜中形成褶皺。根據(jù)本發(fā)明的一方面，一種分立掩膜包括桿體，在該桿體上形成有沉積圖案；以及夾緊部分，所述夾緊部分沿所述桿體的縱向從所述桿體向外延伸，所述夾緊部分從所述桿體在寬度上增加。所述桿體和所述夾緊部分之間的連接部分可以被焊接到掩膜框組件的框架上。
在所述連接部分被焊接在所述框架上之后，所述夾緊部分可以被移除。所述夾緊部分可以包括延伸部分，該延伸部分具有從所述桿體向外增加的寬度， 并且所述夾緊部分可以具有“Y”形。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，一種裝配掩膜框組件的方法包括制備多個分立掩膜和所述多個分立掩膜被連附至的框架，每個分立掩膜包括桿體和夾緊部分，在所述桿體上形成有沉積圖案，所述夾緊部分沿所述桿體的縱向從所述桿體向外延伸，并且所述夾緊部分從所述桿體在寬度上增加；以及在通過夾持所述分立掩膜的夾緊部分將張力施加到所述分立掩膜上的同時，將所述桿體焊接到所述框架上。所述方法可以進一步包括切掉所述分立掩膜的在之上完成所述焊接的夾緊部分。在所述桿體被焊接到所述框架上時，所述桿體和所述夾緊部分之間的連接部分可以被焊接到所述框架上。所述夾緊部分可以包括延伸部分，所述延伸部分具有從所述桿體向外增加的寬度，并且所述夾緊部分可以具有“Y”形。通過利用以上結構，由于在掩膜框組件的裝配期間，拉緊張力因夾緊部分的延伸部分而被施加在所述分立掩膜上，因此可以防止形成褶皺，從而獲得精確且穩(wěn)定的掩膜框組件。


通過參照以下結合附圖考慮時的詳細描述，本發(fā)明的更完整理解及其許多伴隨優(yōu)勢由于變得更好理解而易于顯而易見，在附圖中相同的附圖標記表示相同或相似的部件， 其中圖I是根據(jù)本發(fā)明實施例的分立掩膜的平面圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明實施例的掩膜框組件的平面圖，在所述掩膜框組件中圖I的分立掩膜和一框架被彼此連附；以及圖3A到圖3D是根據(jù)本發(fā)明實施例的用于描述裝配圖2的掩膜框組件的方法的平面圖。
具體實施例方式現(xiàn)在將參照附圖對本發(fā)明進行更充分的描述，在附圖中示出了本發(fā)明的示例性實施例。圖I是根據(jù)本發(fā)明實施例的分立掩膜的平面圖，并且圖2是根據(jù)本發(fā)明實施例的掩膜框組件的平面圖，在所述掩膜框組件中圖I的分立掩膜和一框架被彼此連附。多個分立掩膜100被焊接在框架200上(參見圖2)，以構成掩膜框組件300。分立掩膜100可以由例如鎳、鎳合金、鎳鈷合金等等形成。如圖I中所示，分立掩膜100包括桿體110和夾緊部分120，在桿體110上形成有沉積圖案101，夾緊部分120與桿體110的兩個對端一體形成。桿體110被焊接到框架200上(參見圖2)，從而構成在沉積過程中使用的掩膜框組件300。在桿體110被焊接到框架200上時，夾緊部分120用于施加張力，并且在裝配過程期間被移除。附圖標記115表示桿體110和夾緊部分120之間的邊界，并且為待被焊接在框架200上的連接部分。分立掩膜100被連附到框架200，從而構成掩膜框組件300，如圖2中所示。通過將連接部分115焊接至框架200，分立掩膜100被固定在框架200上，使得沉積圖案101被設置在框架200的開口 201中。在連接部分115被焊接到框架200上之后，夾緊部分120 被移除，如圖2中的虛線所示。每個夾緊部分120具有“Y”形，并且包括延伸部分121，延伸部分121具有沿桿體 110的縱向從桿體110向外增加的寬度。因此，包括延伸部分121的夾緊部分120，具有在分立掩膜100被焊接到框架200上時用于施加張力的有利結構。也就是說，為了將分立掩膜100焊接到框架200上，在與分立掩膜100的兩端集成的夾緊部分120被張緊器(未示出)夾持和拉動的同時，連接部分115被焊接到框架200 上。在這種情況下，當每個均包括延伸部分121的夾緊部分120被夾持和拉動時，由于夾緊部分120與張緊器之間的接觸區(qū)域大于沒有延伸部分121的情況，因此與沒有延伸部分121 的情況相比，可以有更大的張力被施加到分立掩膜100上。因此，由于在非常緊的張力被施加到分立掩膜100上時進行焊接，因此分立掩膜100的表面平坦度被增加，從而顯著減小褶皺的尺寸。圖3A到圖3D是根據(jù)本發(fā)明實施例的用于描述裝配圖2的掩膜框組件的方法的平面圖。通過利用分立掩膜100裝配掩膜框組件300的方法可以根據(jù)圖3A到圖3D中所示的順序來執(zhí)行。首先，制備分立掩膜100和框架200?？蚣?00是掩膜框組件300的外框，并且具有方形結構，其中開口 201形成在該方形結構的中央部分中。分立掩膜100的連接部分115 被分別焊接且固定在框架200的兩側(cè)上。分立掩膜100為形狀像長桿的部件。被設置在開口 201中的沉積圖案101被形成在每個分立掩膜100上。另外，如上所述，桿體110和夾緊部分120之間的連接部分115被焊接在框架200上。圖3A示出其中第一分立掩膜100被連附到框架200的操作。參照圖3A，與第一分立掩膜100的兩端集成的夾緊部分120通過張緊器(未示出)被夾持和向外拉緊。然后， 拉緊張力T被施加到分立掩膜100上。如上所述，由于夾緊部分120和張緊器之間的接觸區(qū)域因延伸部分121而得到增加，因此更多的張力T被施加到分立掩膜100上。因此，在分立掩膜100的桿體110上形成的褶皺的尺寸得到顯著減小，從而改進桿體110的表面平坦度。在這種情況下，通過將連接部分115焊接在框架200上，第一分立掩膜100被固定在框架200上。在連接部分115被焊接在框架200上之后，在連接部分115外部形成的夾緊部分 120被切掉和移除，如圖3B中所示。如上所述，由于夾緊部分120包括延伸部分121，延伸部分121具有沿桿體110的縱向從桿體110向外增加的寬度，因此如果夾緊部分120被保留的話，則夾緊部分120可能妨礙另一相鄰分立掩膜100的另一夾緊部分120。因此，在焊接第二分立掩膜100之前，第一分立掩膜100的夾緊部分120被切掉和移除。同樣地，在完成第一分立掩膜100的焊接之后,第二分立掩膜100以與第一分立掩膜100相同的方式被焊接，如圖3C中所示。也就是說，張力T通過夾持和拉住第二分立掩膜100的Y形夾緊部分120被施加在第二分立掩膜100上。在這種狀況下，連接部分115被焊接在框架200上。而且，由于夾緊部分120和張緊器之間的接觸區(qū)域因延伸部分121而得到增加，因此更大的張力T被施加在第二分立掩膜100上。因此，焊接可以在形成于第二分立掩膜100的桿體110上的褶皺的尺寸得到顯著減小時進行。而且，如圖3D中所示，在連接部分115被焊接到框架200上時，在連接部分115外部形成的夾緊部分120被切掉和移除。同樣地，其它分立掩膜100被順序焊接在框架200上，從而完整裝配掩膜框組件 300，如圖2中所示。因此，通過利用分立掩膜100，由于在掩膜框組件300的裝配期間，在非常緊的張力正被施加到分立掩膜100上的同時，分立掩膜100被焊接在框架200上，因此可以防止在分立掩膜100上形成褶皺，并且從而可以獲得精確的掩膜框組件300。形成在分立掩膜100上的褶皺的尺寸被測量。結果，在不具有“Y”形的夾緊部分 120的常規(guī)情況下，褶皺具有大約19. 5μπι的高度。然而，在具有“Y”形的夾緊部分120的情況下，裙皺具有大于17. 8 μ m的聞度。因此，獲得了大約8. 7%的提聞。因此，可以獲得精確且穩(wěn)定的掩膜框組件300。另外，掩膜框組件300可以被用在各種沉積過程中，包括有機發(fā)光層的圖案化過程中。雖然已經(jīng)參照本發(fā)明的示例性實施例對本發(fā)明進行了具體示出和描述，但是本領域普通技術人員要理解的是，在不偏離由所附權利要求書限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以在其中進行形式上和細節(jié)上的各種改變。
權利要求
1.一種分立掩膜,包括桿體，在該桿體上形成有沉積圖案；以及夾緊部分，沿所述桿體的縱向從所述桿體向外延伸，所述夾緊部分的寬度從所述桿體增加。
2.根據(jù)權利要求I所述的分立掩膜，其中所述桿體和所述夾緊部分之間的連接部分被焊接到掩膜框組件的框架上。
3.根據(jù)權利要求2所述的分立掩膜，其中在所述連接部分被焊接到所述框架上之后， 所述夾緊部分被移除。
4.根據(jù)權利要求I至3中任一項所述的分立掩膜，其中所述夾緊部分包括延伸部分，所述延伸部分具有從所述桿體向外增加的寬度。
5.根據(jù)權利要求4所述的分立掩膜，其中所述夾緊部分具有“Y”形。
6.一種裝配掩膜框組件的方法，包括以下步驟制備多個分立掩膜以及所述多個掩膜被連附至的框架，每個分立掩膜包括桿體和夾緊部分，在所述桿體上形成有沉積圖案，所述夾緊部分沿所述桿體的縱向從所述桿體向外延伸，所述夾緊部分的寬度從所述桿體增加；以及在通過夾持和拉動所述分立掩膜的夾緊部分將張力施加到所述分立掩膜上的同時，將所述桿體焊接到所述框架上。
7.根據(jù)權利要求6所述的裝配掩膜框組件的方法，進一步包括在所述分立掩膜上完成所述焊接時，切掉所述分立掩膜的夾緊部分。
8.根據(jù)權利要求6所述的裝配掩膜框組件的方法，其中在將所述桿體焊接到所述框架上時，將所述桿體和所述夾緊部分之間的連接部分焊接到所述框架上。
9.根據(jù)權利要求6至8中任一項所述的裝配掩膜框組件的方法，其中所述夾緊部分包括延伸部分，所述延伸部分具有從所述桿體向外增加的寬度。
10.根據(jù)權利要求9所述的裝配掩膜框組件的方法，其中所述夾緊部分具有“Y”形。
全文摘要
在分立掩膜和通過利用該分立掩膜裝配掩膜框組件的方法中，該分立掩膜包括桿體和夾緊部分，在所述桿體上形成有沉積圖案，所述夾緊部件沿所述桿體的縱向從所述桿體向外延伸，所述夾緊部分從所述桿體在寬度上增加。通過利用這種結構，由于在所述掩膜框組件的裝配期間，拉緊張力因所述夾緊部分的延伸部分而被施加到所述分立掩膜上，因此防止在所述分立掩膜上形成褶皺，從而獲得精確的掩膜框組件。
文檔編號H01L51/56GK102593376SQ201110305579
公開日2012年7月18日 申請日期2011年10月11日 優(yōu)先權日2011年1月10日
發(fā)明者樸國喆 申請人:三星移動顯示器株式會社