專利名稱：有機(jī)el裝置、有機(jī)el裝置的制造方法及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機(jī)EL裝置、有機(jī)EL裝置的制造方法及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
近年來，作為平面型的顯示裝置，將對陽極(第1電極)、至少包含有機(jī)EL(場致發(fā)光)層的發(fā)光功能層與陰極(第2電極)層疊而形成的有機(jī)EL元件規(guī)則地配置在圖像顯示區(qū)域內(nèi)所構(gòu)成的有機(jī)EL裝置備受關(guān)注。而且，作為該有機(jī)EL裝置的利用領(lǐng)域，目前開拓出移動電話機(jī)的顯示畫面、頭戴式顯示器(HMD)、電子取景器(EVF)等被要求小型化的領(lǐng)域。在該小型的有機(jī)EL裝置中，為了降低有機(jī)EL元件與濾色器(color filter)的匹配偏差(matching deviation)，可考慮采用將濾色器形成在形成有有機(jī)EL元件的基板的單片 (on-chip)濾色器。當(dāng)在形成有有機(jī)EL元件的基板上形成濾色器時，提出一種將由金屬構(gòu)成的黑矩陣作為隔壁來使用的構(gòu)成(例如參照專利文獻(xiàn)1)。即，通過使Cr (鉻)或Al (鋁)等金屬薄膜圖案化(patterning)形成俯視呈網(wǎng)狀(格子狀)的隔壁，來降低有機(jī)EL元件的發(fā)光從相鄰的其他有機(jī)EL元件的發(fā)光區(qū)域射出的現(xiàn)象。[專利文獻(xiàn)1]日本特開2010-027^5號公報(bào)然而，上述的有機(jī)EL裝置在制造過程中額外需要金屬薄膜的形成工序及圖案化工序，存在相應(yīng)地導(dǎo)致制造成本增加的課題。另外，存在擔(dān)心對于耐熱性低的有機(jī)EL元件有影響這一課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決上述的課題的至少一部分而提出，能夠以以下的方式或者應(yīng)用例來實(shí)現(xiàn)。[應(yīng)用例1]本應(yīng)用例所涉及的有機(jī)EL裝置具備基板；有機(jī)EL元件，其形成在上述基板上，具有第1電極、發(fā)光功能層和具有透明導(dǎo)電性的第2電極，該有機(jī)EL元件向上述第2電極側(cè)射出光；濾色器，其在上述有機(jī)EL元件射出光的區(qū)域、即像素區(qū)域中形成在上述第2電極側(cè)；和隔壁，其形成在上述像素區(qū)域以外的區(qū)域、即遮光區(qū)域；上述濾色器是使紅色光透射的紅色濾色器、使綠色光透射的綠色濾色器、使藍(lán)色光透射的藍(lán)色濾色器中的任意一個，上述3色濾色器中的至少1種顏色的上述濾色器構(gòu)成上述隔壁的至少一部分。根據(jù)這樣的構(gòu)成，與使用金屬等遮光性材料通過其他途徑形成隔壁的情況相比， 能夠減少薄膜形成工序以及圖案化工序。因此，能夠提高有機(jī)EL裝置的可靠性。而且，制造成本也降低。[應(yīng)用例2]在上述的有機(jī)EL裝置中，上述隔壁的至少上述基板側(cè)由上述紅色濾色器構(gòu)成。紅色濾色器相對紅色光以外的2個原色光、即綠色光與藍(lán)色光具有高的遮光性。 因此，根據(jù)這樣的構(gòu)成，能夠充分降低從遮光區(qū)域射出的光，能夠提高顯示品質(zhì)。
[應(yīng)用例3]在上述的有機(jī)EL裝置中，上述隔壁中的俯視下與上述像素區(qū)域相鄰的部分的至少上述基板側(cè)，由形成在各個上述像素區(qū)域的上述濾色器構(gòu)成。根據(jù)這樣的構(gòu)成，無需在相鄰的像素區(qū)域間形成與形成在雙方的像素區(qū)域的濾色器不同顏色的濾色器。因此，無需實(shí)施細(xì)密的圖案化工序即可構(gòu)成隔壁，能夠進(jìn)一步削減制造成本。[應(yīng)用例4]在上述的有機(jī)EL裝置中，上述發(fā)光功能層為發(fā)出白色光的發(fā)光功能層，上述第2電極由半透過反射性材料構(gòu)成，在上述基板與上述發(fā)光功能層之間形成有反射層，在上述第2電極與上述反射層之間形成有光共振構(gòu)造。根據(jù)這樣的構(gòu)成，在通過光共振構(gòu)造強(qiáng)調(diào)了特定波長范圍的光后，能夠作為通過濾色器進(jìn)一步提高了顏色純度的光而射出。因此，能夠省略發(fā)光功能層的圖案化工序，進(jìn)一步削減了制造成本。[應(yīng)用例5]在上述的有機(jī)EL裝置中，在上述有機(jī)EL元件與上述濾色器之間形成有含有無機(jī)材料層的保護(hù)層。由于無機(jī)材料層具有高的密封性，所以根據(jù)這樣的構(gòu)成，在濾色器的制造過程以及有機(jī)EL裝置的完成后，能夠保護(hù)有機(jī)EL元件。因此，能夠提高有機(jī)EL裝置的可靠性。[應(yīng)用例6]在上述的有機(jī)EL裝置中，上述保護(hù)層是包含平坦化層與無機(jī)材料層的層，該平坦化層形成在上述有機(jī)EL元件側(cè)且由有機(jī)材料構(gòu)成，該無機(jī)材料層形成在上述濾色器側(cè)。根據(jù)這樣的構(gòu)成，能夠通過無機(jī)材料層確保密封性，同時通過平坦化層能夠消除與上述的光共振構(gòu)造的形成相伴的階梯差。因此，能夠維持有機(jī)EL裝置的可靠性，并且提尚顯不品質(zhì)。[應(yīng)用例7]本應(yīng)用例所涉及的電子設(shè)備的特征在于，具備上述的有機(jī)EL裝置。根據(jù)這樣的構(gòu)成，能夠以低成本得到具有顯示品質(zhì)與可靠性提高了的顯示部的電子設(shè)備。[應(yīng)用例8]本應(yīng)用例所涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法按如下記載的順序依次實(shí)施下述工序第1工序，在基板上的圖像顯示區(qū)域依次層疊島狀的第1電極、發(fā)光功能層和由透明導(dǎo)電性材料構(gòu)成的第2電極來形成有機(jī)EL元件；第2工序，將上述圖像顯示區(qū)域劃分為俯視下包含于上述第1電極的像素區(qū)域和上述像素區(qū)域以外的區(qū)域、即遮光區(qū)域，進(jìn)而將上述像素區(qū)域劃分為紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域和藍(lán)色像素區(qū)域這3種像素區(qū)域； 第3工序，在上述紅色像素區(qū)域與上述遮光區(qū)域形成紅色著色層；和第4工序，在上述綠色像素區(qū)域形成綠色著色層，并且在上述藍(lán)色像素區(qū)域形成藍(lán)色著色層。根據(jù)這樣的制造方法，無需進(jìn)行遮光性材料層的形成與圖案化即可在相鄰的像素區(qū)域間形成隔壁。因此，能夠降低對于有機(jī)EL元件的影響以及削減制造成本，同時得到可進(jìn)行彩色顯示的有機(jī)EL裝置。[應(yīng)用例9]在上述的有機(jī)EL裝置的制造方法中，上述第4工序是在上述綠色像素區(qū)域與包圍該綠色像素區(qū)域的環(huán)狀區(qū)域形成上述綠色著色層，并且在上述藍(lán)色像素區(qū)域與包圍該藍(lán)色像素區(qū)域的環(huán)狀區(qū)域形成上述藍(lán)色著色層的工序。根據(jù)這樣的制造方法，能夠在綠色像素區(qū)域的周圍的遮光區(qū)域以及藍(lán)色像素區(qū)域的周圍的遮光區(qū)域形成由含有紅色著色層的2層透明著色層構(gòu)成的隔壁。因此，能夠得到進(jìn)一步提高了顯示品質(zhì)的有機(jī)EL裝置。[應(yīng)用例10]本應(yīng)用例所涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法按如下記載的順序依次實(shí)施下述工序第1工序，在基板上的圖像顯示區(qū)域依次層疊島狀的第1電極、發(fā)光功能層和由透明導(dǎo)電性材料構(gòu)成的第2電極來形成有機(jī)EL元件；第2工序，將上述圖像顯示區(qū)域劃分為俯視下包含于上述第1電極的像素區(qū)域和上述像素區(qū)域以外的區(qū)域、即遮光區(qū)域，進(jìn)而將上述像素區(qū)域劃分為紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域和藍(lán)色像素區(qū)域這3種像素區(qū)域； 第3工序，在上述紅色像素區(qū)域與上述遮光區(qū)域中的與上述紅色像素區(qū)域相鄰的區(qū)域形成紅色著色層；第4工序，在上述綠色像素區(qū)域與上述遮光區(qū)域中的與上述綠色像素區(qū)域相鄰的區(qū)域形成綠色著色層；和第5工序，在上述藍(lán)色像素區(qū)域與上述遮光區(qū)域中的與上述藍(lán)色像素區(qū)域相鄰的區(qū)域形成藍(lán)色著色層。根據(jù)這樣的制造方法，無需進(jìn)行遮光性材料層的形成與圖案化即可在相鄰的像素區(qū)域間形成隔壁。因此，能夠降低對于有機(jī)EL元件的影響以及削減制造成本，同時得到可進(jìn)行彩色顯示的有機(jī)EL裝置。[應(yīng)用例11]在上述的有機(jī)EL裝置的制造方法中，上述第3工序是下述的工序 在上述紅色像素區(qū)域和上述遮光區(qū)域中的與上述紅色像素區(qū)域相鄰的區(qū)域、以及在上述第 4工序中不形成上述綠色著色層且在上述第5工序不形成上述藍(lán)色著色層的區(qū)域形成上述紅色著色層。根據(jù)這樣的制造方法，能夠在遮光區(qū)域的整個區(qū)域形成至少一層的透明著色層。 因此，能夠減少從遮光區(qū)域射出光，能夠得到進(jìn)一步提高了顯示品質(zhì)的有機(jī)EL裝置。


圖1是表示第1實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置的電路構(gòu)成的圖。圖2是表示有機(jī)EL裝置的圖像顯示區(qū)域內(nèi)的像素電極等的配置的方式的示意俯視圖。圖3是表示有機(jī)EL裝置的圖像顯示區(qū)域內(nèi)的像素電極等的配置的方式的示意俯視圖。圖4是表示第1實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的Y方向的剖面的示意剖視圖。圖5是表示第1實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的X方向的剖面的示意剖視圖。圖6是放大表示像素電極的外緣部的示意剖視圖。圖7是表示濾色器的分光透過特性的圖。圖8是第2實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置的示意俯視圖。圖9是在第2實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置中，按照濾色器的每個顏色表示形成該濾色器的區(qū)域的圖。圖10是表示第2實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置的X方向的剖面的示意剖視圖。圖11是第3實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置的示意俯視圖。圖12是表示第4實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法的工序剖面圖。圖13是表示第4實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法的工序剖面圖。圖14是表示第5實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法的工序剖面圖。圖15是表示第5實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法的工序剖面圖。
圖16是表示將第1實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置作為部件進(jìn)行組裝的電子設(shè)備的圖。其中，附圖標(biāo)記說明如下1…第1實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置，2…第2實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置，3···第3實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置，10…元件基板，11…對置基板，12…元件層， 35…紅色著色層，36…綠色著色層，37···藍(lán)色著色層，42···像素區(qū)域，42B…藍(lán)色像素區(qū)域， 42G···綠色像素區(qū)域，4 …紅色像素區(qū)域，43···遮光區(qū)域，44···隔壁，46···像素，46B…藍(lán)色像素，46G…綠色像素，46R…紅色像素，50···有機(jī)EL元件，52…作為第1電極的像素電極， 52B···藍(lán)色像素電極，52G…綠色像素電極，52R…紅色像素電極，54···發(fā)光功能層，56···作為第2電極的陰極，61···第1層間絕緣膜，62…第2層間絕緣膜，63…反射層，64…反射層保護(hù)膜，67···第1接觸孔，68…第2接觸孔，71…半導(dǎo)體層，72···溝道區(qū)域，73…源極區(qū)域，7如·· 漏極區(qū)域，75…柵電極，77…源電極，78…漏電極，79…柵極絕緣膜，80…階梯差區(qū)域，81··· 第1階梯差區(qū)域，82···第2階梯差區(qū)域，90···濾色器，90B…藍(lán)色濾色器，90G…綠色濾色器， 90R…紅色濾色器，92···平坦化層，93···密封層，94···保護(hù)層，95···外涂(overcoat)層，96··· 填充層，100…圖像顯示區(qū)域，102…掃描線，104…信號線，106···電源供給線，108···開關(guān)用TFT，110…保持電容，112…驅(qū)動用TFT，120…掃描線驅(qū)動電路，130…信號線驅(qū)動電路， 140…同步信號線，260…頭戴式顯示器，沈1·· 綁帶，262…光學(xué)系統(tǒng)收納部，270…背面型投影儀，271···框體，273…合成光學(xué)系統(tǒng)，274…反射鏡，275…反射鏡，276…屏幕，280…前面型投影儀，觀1·· 光學(xué)系統(tǒng)，觀2·· 框體，觀3·· 屏幕。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法等進(jìn)行描述。其中，在以下的各圖中，為使各層、各部位形成為可在附圖上識別的大小，使各層、各部位的比例尺與實(shí)際不同。(第1實(shí)施方式)圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置1的電路構(gòu)成的圖。其中，后述的各實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置的電路構(gòu)成也與圖1所示的構(gòu)成相同。有機(jī)EL裝置1是分別獨(dú)立地控制規(guī)則形成的多個有機(jī)EL元件50的發(fā)光，在圖像顯示區(qū)域100形成彩色圖像的有源矩陣型有機(jī)EL裝置。在圖像顯示區(qū)域100形成有沿X方向延伸的多個掃描線102、 以與該掃描線正交的方式沿Y方向延伸的多個信號線104和與該信號線平行延伸的多個電源供給線106。而且，在由上述3種布線圍起的每一劃分區(qū)域形成有像素46。各個像素46具備被經(jīng)由掃描線102對柵電極供給掃描信號的開關(guān)用TFT(薄膜晶體管)108、保持經(jīng)由開關(guān)用TFT108而從信號線104供給的圖像信號的保持電容110、由保持電容110保持的圖像信號被向柵電極供給的驅(qū)動用TFT112、和經(jīng)由驅(qū)動用TFT112被從電源供給線106供給驅(qū)動電流的有機(jī)EL元件50。上述的各TFT使用了所謂的高溫多晶硅工藝而形成。而且，各有機(jī)EL元件50構(gòu)成為包括作為第1電極的像素電極(陽極)52(參照圖5)、形成于圖像顯示區(qū)域100的整個區(qū)域的作為第2電極的陰極56 (參照圖5)、和同樣形成于圖像顯示區(qū)域100的整個區(qū)域的至少含有機(jī)EL層的發(fā)光功能層54 (參照圖3)。像素46有射出紅色光的紅色像素46R、射出綠色光的綠色像素46G和射出藍(lán)色光的藍(lán)色像素46B共計(jì)3種，在圖像顯示區(qū)域100內(nèi)規(guī)則地形成。具體而言，生成同一顏色的像素46沿Y方向排列，而在X方向上規(guī)則地形成有上述的3種像素46 (R、G、B)。其中，像素46是由相關(guān)的諸多要素構(gòu)成的功能性概念。另一方面，后述的像素區(qū)域42 (參照圖2等) 是對能夠射出(發(fā)出)紅色光、綠色光、藍(lán)色光3種原色光的任意光的最小單位區(qū)域進(jìn)行表示的平面性概念。在圖像顯示區(qū)域100的周邊形成有掃描線驅(qū)動電路120及信號線驅(qū)動電路130。 掃描信號根據(jù)由未圖示的外部電路供給的各種信號從掃描線驅(qū)動電路120向掃描線102依次供給。而且，圖像信號從信號線驅(qū)動電路130向信號線104供給，像素驅(qū)動電流從未圖示的外部電路向電源供給線106供給。其中，掃描線驅(qū)動電路120的動作與信號線驅(qū)動電路 130的動作通過經(jīng)由同步信號線140從外部電路供給的同步信號實(shí)現(xiàn)相互同步。當(dāng)掃描線102被驅(qū)動、開關(guān)用TFT108處于接通狀態(tài)時，此刻的信號線104的電位被保持電容110保持，根據(jù)保持電容110的狀態(tài)來決定驅(qū)動用TFT112的電平。然后，經(jīng)由驅(qū)動用TFT112從電源供給線106向像素電極52流過驅(qū)動電流，進(jìn)而經(jīng)由發(fā)光功能層M向陰極56流過驅(qū)動電流。發(fā)光功能層M根據(jù)驅(qū)動電流的大小發(fā)光。結(jié)果，具備該發(fā)光功能層的各個有機(jī)EL元件50、以及具備該有機(jī)EL元件的各個像素46根據(jù)該驅(qū)動電流的大小射出光。結(jié)果，在規(guī)則地形成有3種像素46 (R、G、B)的圖像顯示區(qū)域100形成彩色圖像。各個像素46的發(fā)光色(3原色中任意顏色)如后所述，由使規(guī)定波長范圍的光透射并遮擋其他波長范圍的光的濾色器90(參照圖3等)生成。因此，各個有機(jī)EL元件50 在3種像素46(R、G、B)間相通。其中，在以下的記載中，當(dāng)簡單使用“像素46”時，意指上述3種像素46 (R、G、B)的統(tǒng)稱。在本實(shí)施方式以及后述的各實(shí)施方式的記載中，對于作為像素46的構(gòu)成要素的、 濾色器90 (參照圖3)、像素區(qū)域42 (參照圖2)、像素電極52 (參照圖2)等也按照3種像素 46 (R、G、B)標(biāo)注了 R、G、B的附圖標(biāo)記。而且，當(dāng)省略附圖標(biāo)記(R、G、B)而簡單記載為如 “濾色器90”時，與“像素46”同樣是指統(tǒng)稱。由于各個像素46能夠在規(guī)定的范圍內(nèi)生成任意強(qiáng)度的光(3原色光中的任意一種光)，所以沿X方向排列的3個像素46的組合能夠生成任意顏色(色度)的光。雖然也可以將該3個像素46的組合定義為“像素”，將上述各個像素46定義為“子像素”，但在本說明書中將能夠生成3原色光的任意顏色的光的最小單位作為“像素46”。圖2 圖7是表示本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置1的構(gòu)成等的圖。圖2是放大表示有機(jī)EL裝置1的圖像顯示區(qū)域100內(nèi)的示意俯視圖。圖4是表示圖2的Y方向上的剖面的示意剖視圖。圖5是表示圖2的X方向上的剖面的示意剖視圖。圖3、圖6以及圖7將在后面描述。以下，使用圖2 圖7對有機(jī)EL裝置1的構(gòu)成等進(jìn)行描述。圖2是表示有機(jī)EL裝置1的圖像顯示區(qū)域100(參照圖1)內(nèi)的像素電極52的等配置方式、以及紅色濾色器90R的形成區(qū)域(所形成的區(qū)域)的示意俯視圖。圖3是表示有機(jī)EL裝置1的圖像顯示區(qū)域100內(nèi)的像素電極52等的配置方式、以及綠色濾色器90G 的形成區(qū)域和藍(lán)色濾色器90B的形成區(qū)域的示意俯視圖。有機(jī)EL裝置1以及后述的各實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置在包含后述的遮光區(qū)域43的圖像顯示區(qū)域100的整個面形成有至少 1層濾色器90。如圖2以及圖3所示，在圖像顯示區(qū)域100內(nèi)規(guī)則地形成俯視呈方形的像素電極 52。而且，在各個像素電極52中，像素區(qū)域42被劃分成俯視下包含在該像素電極中。具體而言，在俯視圖中，從像素電極52將占該像素電極的外緣部的具有若干寬度的環(huán)狀區(qū)域除去后的區(qū)域?yàn)橄袼貐^(qū)域42。其中，如上所述，像素46 (R、G、B)與像素電極52 (R、G、B) —一對應(yīng)。圖像顯示區(qū)域100內(nèi)不包含在像素區(qū)域42中的區(qū)域、即將相鄰的像素區(qū)域42隔開的區(qū)域?yàn)檎诠鈪^(qū)域43。如上所述，像素區(qū)域42是包含在像素電極52的區(qū)域。因此，像素電極52的外緣部、即上述的環(huán)狀區(qū)域包含在遮光區(qū)域43中。由于在有機(jī)EL裝置1中，像素電極52形成為矩陣狀，所以遮光區(qū)域43成為格子狀。此外，像素電極52的配置方式并不局限于矩陣狀，也可以為其他方式，例如可以是鋸齒狀的配置。各像素區(qū)域42的尺寸為約14μ mX約4μ m。而且，將相鄰的像素區(qū)域42間隔開的遮光區(qū)域43的寬度為約lym。因此，像素區(qū)域42形成為中心間尺寸為約15μπιΧ約 5μπι。如上所述，在本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置1中，構(gòu)成對各個有機(jī)EL元件50進(jìn)行驅(qū)動的驅(qū)動用TFT112等的半導(dǎo)體層71(參照圖4)由高溫多晶硅工藝形成。因此，使得驅(qū)動用 TFTl 12等元件小型化且小面積化。從而，能夠在上述的約14 μ mX約4 μ m的小面積的像素區(qū)域42內(nèi)形成構(gòu)成一個像素46的開關(guān)用TFT108、保持電容110和驅(qū)動用TFT112。像素區(qū)域42是射出在有機(jī)EL元件50內(nèi)產(chǎn)生的發(fā)光的區(qū)域。上述的發(fā)光在通過濾色器90以及后述的光共振構(gòu)造形成為符合3原色光中的任意一個的光后被射出。如上所述，在本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置1以及后述的各實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置(以下稱作“有機(jī)EL裝置1等”)中，發(fā)光功能層M以及陰極56形成在圖像顯示區(qū)域100的整個面。因此，像素電極52的形成區(qū)域與產(chǎn)生發(fā)光的區(qū)域一致。但是，如上所述，在有機(jī)EL裝置1等中，同時采用光共振構(gòu)造與濾色器90得到了 3原色光。而且，由于在像素電極52的外緣部像素電極52的層厚存在偏差，所以共振長度變動。即，無法恰宜地形成光共振構(gòu)造。結(jié)果，在該外緣部，將產(chǎn)生波長分布脫離3原色光的各個波長分布的光。因此，在有機(jī)EL裝置1等中，將俯視圖中從像素電極52除去了外緣部的區(qū)域定義為像素區(qū)域42，外緣部包含在遮光區(qū)域43中。圖2中被施以陰影的區(qū)域是紅色濾色器90R的形成區(qū)域。而且，圖3中被施以陰影的區(qū)域是綠色濾色器90G的形成區(qū)域與藍(lán)色濾色器90B的形成區(qū)域。這里，對于濾色器的形成材料進(jìn)行說明。有機(jī)EL裝置1等的濾色器90通過使分散有顏料的負(fù)型丙烯等樹脂、 即透明著色層圖案化而形成。在各個濾色器90中混入有與各像素46的發(fā)光色對應(yīng)的顏料。在紅色濾色器90R 中分散有使與紅色光相當(dāng)?shù)牟ㄩL范圍的光、即波長為約610nm 約750nm的范圍內(nèi)的光透過，但吸收此外的波長范圍的光的材料。在綠色濾色器90G中分散有使與綠色光相當(dāng)?shù)牟ㄩL范圍的光、即波長為約500nm 約560nm的范圍內(nèi)的光透過，但吸收此外的波長范圍的光的材料。在藍(lán)色濾色器90B中分散有使與藍(lán)色光相當(dāng)?shù)牟ㄩL范圍的光、即波長為約435nm 約480nm的范圍內(nèi)的光透過，但吸收此外的波長范圍的光的材料。如圖2所示，紅色濾色器90R形成在除了綠色像素區(qū)域42G以及藍(lán)色像素區(qū)域42B 以外的整個區(qū)域。即，紅色濾色器90R形成在遮光區(qū)域43的整個區(qū)域以及紅色像素區(qū)域 42R。另一方面，如圖3所示，綠色濾色器90G以及藍(lán)色濾色器90B與紅色濾色器90R相比， 形成在局部區(qū)域。具體而言，在俯視圖中，綠色濾色器90G以及藍(lán)色濾色器90B形成為與像素電極52(G、B)和包圍該像素電極的規(guī)定寬度的環(huán)狀區(qū)域(用外側(cè)的雙點(diǎn)劃線表示)重疊。因此，綠色濾色器90G以及藍(lán)色濾色器90B僅形成在對應(yīng)的像素區(qū)域42 (B、G)上和遮光區(qū)域43內(nèi)的與像素區(qū)域42 (B、G)鄰接的區(qū)域、即包圍該像素區(qū)域的環(huán)狀的區(qū)域。在有機(jī)EL裝置1等中，濾色器90兼作隔壁44 (參照圖5等)。S卩，在有機(jī)EL裝置 1等中，隔壁44由濾色器90構(gòu)成。其中，如段落3 (第三段)等所描述那樣，隔壁44是為了降低有機(jī)EL元件50的發(fā)光從除了像素區(qū)域42以外的區(qū)域射出而形成的要素。形成在圖像顯示區(qū)域100的整個區(qū)域的濾色器90中的不與像素區(qū)域42重疊的區(qū)域、即形成在遮光區(qū)域43的部分成為隔壁44。因此，濾色器90內(nèi)形成在像素區(qū)域42的部分作為狹義的、即本來的濾色器90發(fā)揮功能。如上所述，濾色器90為透明著色層。也可以為將形成于圖像顯示區(qū)域100的整個區(qū)域的透明著色層中與像素區(qū)域42重疊的部分定義為濾色器90，將與遮光區(qū)域43重疊的部分定義為隔壁44。在本說明書中，俯視圖中不使用“44”的附圖標(biāo)記而全部使用“90”的附圖標(biāo)記。 而且，在剖視圖中，對廣義的濾色器中的形成于遮光區(qū)域43而發(fā)揮隔壁功能的部分標(biāo)注了 “44(90)，，的附圖標(biāo)記。并且說明書中的記載為“隔壁44”。如圖2所示，紅色濾色器90R形成于紅色像素區(qū)域42R以及遮光區(qū)域43的整個區(qū)域。即，形成為直至綠色像素區(qū)域42G以及藍(lán)色像素區(qū)域42B的外周線。而且，在有機(jī)EL 裝置1中，紅色濾色器90R比其他兩種濾色器90 (G、B)先形成。因此，在包圍綠色像素區(qū)域 42G的環(huán)狀區(qū)域形成有下層(元件基板10側(cè))為紅色濾色器90R、上層為綠色濾色器90G 的層疊體。同樣，在包圍藍(lán)色像素區(qū)域42B的環(huán)狀區(qū)域形成有下層(元件基板10側(cè))為紅色濾色器90R、上層為藍(lán)色濾色器90B的層疊體。另一方面，在包圍紅色像素區(qū)域42R的環(huán)狀區(qū)域僅形成有紅色濾色器90R。本發(fā)明的各實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置1等，通過由濾色器90構(gòu)成隔壁44，從而無需通過其他途徑形成分散有黑色顏料等的透明樹脂、或由Al等金屬材料構(gòu)成的黑色矩陣，降低了從除了像素區(qū)域42以外的區(qū)域射出發(fā)光的情況。因此，光刻工序、即成膜工序與圖案化工序即濕式蝕刻工序降低了至少一次。結(jié)果，降低了對耐腐蝕性、耐熱性低的有機(jī) EL元件50施加的負(fù)荷，有助于有機(jī)EL裝置的可靠性提高。并且，在本實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置1中，通過在遮光區(qū)域43的整個區(qū)域形成紅色濾色器90R，還能應(yīng)對在像素電極52的外緣部的共振長度的變動，提高了顯示品質(zhì)。圖4是表示有機(jī)EL裝置1的Y方向的剖面的示意剖視圖。具體而言，是將圖2中的A-A'線的剖面、B-B'線的剖面和C-C'線的剖面接合進(jìn)行表示的圖，是將沿X方向排列的3種像素46(R、G、B)的剖面接合進(jìn)行表示的圖。其中，本圖中對于開關(guān)用TFT108與保持電容110省略了圖示。以下，從元件基板10側(cè)開始按順序進(jìn)行說明。元件基板10由石英玻璃構(gòu)成。有機(jī)EL裝置1等是向與元件基板10側(cè)相反一側(cè)射出光的頂部發(fā)光型的有機(jī)EL裝置。因此，元件基板10不需要透明性。但是，元件基板 10還作為由高溫多晶硅工序形成驅(qū)動用TFT112等時的基體發(fā)揮功能。因此，需要耐熱至約1000度，并且在該加熱時不會析出雜質(zhì)。為了滿足該條件，使用了石英玻璃作為元件基板10。在元件基板10的對置基板11側(cè)的面上，以與每3種像素46 (R、G、B)對應(yīng)的方式形成了驅(qū)動用TFT112。如上所述，開關(guān)用TFT108等被省略圖示。在以下的記載中，將該對置基板11側(cè)稱為“上面”、“上方”或“上側(cè)”。驅(qū)動用TFT112包括由多晶(poly)硅構(gòu)成的半導(dǎo)體層71、柵極絕緣膜79和柵電極75。作為半導(dǎo)體層71的構(gòu)成材料的多晶硅如上所述通過高溫工序形成，遷移率等提高。 柵電極75由Al (鋁)等構(gòu)成，通過使與上述的掃描線102相同的層圖案化而形成。柵極絕緣膜79由SiOn(氧化硅)或SiNn(氮化硅)或SiOmNn(氮氧化硅)構(gòu)成，且形成在圖像顯示區(qū)域100的整個面。半導(dǎo)體層71由作為與柵電極75對置的部分的溝道區(qū)域72、作為該溝道區(qū)域的兩側(cè)區(qū)域的源極區(qū)域73以及漏極區(qū)域74構(gòu)成。在驅(qū)動用TFT112的上表面形成了由SiOn等構(gòu)成的第1層間絕緣膜61。在第1層間絕緣膜61的與上述的源極區(qū)域73以及漏極區(qū)域 74重疊的區(qū)域(選擇性除去該第1層間絕緣膜)形成了第1接觸孔67。而且，以埋設(shè)于該第1接觸孔的方式形成了源電極77以及漏電極78。在源電極77以及漏電極78的上表面形成由SiOn等構(gòu)成的第2層間絕緣膜62。而且，在漏電極78的上表面選擇性地除去該第2層間絕緣膜而形成了第2接觸孔68。而且， 俯視下在除了該第2接觸孔的形成區(qū)域及其周圍的若干區(qū)域以外的區(qū)域形成有反射層63。 反射層63通過使由Al等反射性高的金屬材料層圖案化而形成。各反射層63被由SiOn等無機(jī)材料構(gòu)成的反射層保護(hù)層64覆蓋。而且，在各反射層63的上表面隔著該反射層保護(hù)層形成有像素電極52。像素電極52由ITO(氧化銦錫合金)等透明導(dǎo)電性材料構(gòu)成，且經(jīng)由第2接觸孔 68與漏電極78連接。因此，像素電極52與驅(qū)動用TFT112導(dǎo)通，能夠?qū)碾娫垂┙o線106 供給來的驅(qū)動電流向后述的發(fā)光功能層M供給。如圖所示，有機(jī)EL裝置1的像素電極52的層厚因像素46的發(fā)光顏色而各異。具體而言，紅色像素46R的紅色像素電極52R的層厚為約lOOnm，綠色像素46G的綠色像素電極52G的層厚為約60nm，藍(lán)色像素46B的藍(lán)色像素電極52B的層厚為約20nm。該層厚之差是為了利用共振(共振現(xiàn)象)來強(qiáng)調(diào)規(guī)定波長分布的光而設(shè)定的。即，像素電極52的層厚、 發(fā)光功能層M的層厚與反射層保護(hù)層64的層厚之和被設(shè)定為恰當(dāng)?shù)拈L度，以便強(qiáng)調(diào)各個像素46應(yīng)該射出的波長范圍的光。像素電極52通過反復(fù)進(jìn)行共計(jì)3次光刻工序、具體為ITO薄膜的成膜工序與圖案化工序的組合而形成。第一次的光刻工序是在將膜厚40nm的ITO薄膜形成在元件基板10上的整個面后，在第2接觸孔68的附近的區(qū)域以及將來形成紅色像素電極52R的區(qū)域殘留該薄膜，而從其他區(qū)域選擇性除去該薄膜的工序。第二次的光刻工序是在將膜厚40nm的ITO薄膜形成在元件基板10上的整個面后，在第2接觸孔68的附近的區(qū)域、將來形成紅色像素電極52R的區(qū)域以及將來形成綠色像素電極52G的區(qū)域殘留該薄膜，并從其他區(qū)域選擇性除去該薄膜的工序。第三次的光刻工序是在將膜厚20nm的ITO薄膜形成在元件基板10上的整個面后，在第2接觸孔68的附近的區(qū)域以及將來形成3種像素電極52 (R、G、B)中的任意一個的區(qū)域殘留該薄膜，并從其他區(qū)域選擇性除去該薄膜的工序。這里，由于ITO薄膜的圖案化是通過WET蝕刻來進(jìn)行的，所以像素電極52的外緣部的層厚逐漸減薄。另外，在紅色像素46R以及綠色像素46G的像素電極52(R、G)中，因首先形成的ITO薄膜的端部導(dǎo)致產(chǎn)生階梯差，無法將上述的共振長度形成為恰當(dāng)?shù)木嚯x。因此，在有機(jī)EL裝置1中，使該外緣部不包含在像素區(qū)域42而包含在遮光區(qū)域43中。而且，以與該外緣部俯視重疊的方式形成隔壁44，從而降低了射出不恰當(dāng)?shù)牟ㄩL范圍的光的情況。如上所述，隔壁44是濾色器90中形成在遮光區(qū)域43的部分。另外，雖然有時如后所述，隔壁44由雙層的濾色器90的層疊體構(gòu)成，但在本圖中， 圖示為全部由單層的濾色器90構(gòu)成。在像素電極52的上表面遍及圖像顯示區(qū)域100的整個區(qū)域形成有發(fā)光功能層M 與陰極56。由像素電極52、發(fā)光功能層M和陰極56構(gòu)成有機(jī)EL元件50。其中，在以下的記載中，將從元件基板10的上表面直至反射層63的下表面之間稱作元件層12。陰極56是由LiF(氟化鋰)或Ca(鈣)等構(gòu)成的電子注入緩沖層(無附圖標(biāo)記) 與導(dǎo)電層(無附圖標(biāo)記)的層疊體。而且，陰極56在圖像顯示區(qū)域100內(nèi)的整個區(qū)域?yàn)橥浑娢?，且在圖像顯示區(qū)域的外側(cè)與形成在元件基板10上的陰極布線(未圖示)導(dǎo)通。導(dǎo)電層由ITO或Al、AgMg(銀-鎂合金)等金屬薄膜構(gòu)成，具有半透過反射性、即使被照射的光的約50%透射、將其余部分反射的性質(zhì)。因此，在反射層63與陰極56之間構(gòu)成了微腔 (microcavity)、即光共振構(gòu)造。有機(jī)EL元件50能夠利用該光共振構(gòu)造使在發(fā)光功能層M 內(nèi)產(chǎn)生的白色光共振，并經(jīng)由對置基板11將其射出。發(fā)光功能層M是從元件基板10側(cè)按順序依次層疊下述5個層而形成的層，即用于容易地從像素電極52注入空穴的空穴注入層、用于容易地將被注入的空穴輸送給發(fā)光層的空穴輸送層、通過通電即空穴與電子的結(jié)合而發(fā)光的有機(jī)EL層、用于容易地將從陰極 56注入的電子輸送給有機(jī)EL層的電子輸送層、用于容易地從陰極56注入電子的電子注入層。有機(jī)EL層是通過上述的結(jié)合而發(fā)出白色光的層，由低分子系有機(jī)EL材料或高分子系有機(jī)EL材料形成。如上所述，有機(jī)EL層在3種像素46 (R、G、B)間相通。有機(jī)EL裝置 1等通過上述的光共振構(gòu)造與濾色器90將白色光形成為3原色光中的任意光后將其射出。 因此，作為功能性概念的像素46除了包括有機(jī)EL元件50、形成在元件基板10上的驅(qū)動用 TFTl 12等元件外，還包括濾色器90。在陰極56的上面隔著保護(hù)層94形成有濾色器90以及隔壁44。保護(hù)層94通過從元件基板10側(cè)按順序?qū)盈B由丙烯酸等有機(jī)材料構(gòu)成的平坦化層92與由SiOn等無機(jī)材料構(gòu)成的密封層93而形成。平坦化層92主要發(fā)揮使像素電極52的外緣部的階梯差、以及相鄰的像素電極52間的階梯差降低的功能。密封層93主要發(fā)揮使水分或蝕刻液等浸入到有機(jī)EL元件50等的形成區(qū)域的現(xiàn)象降低的功能。在濾色器90以及隔壁44的上面隔著外涂層95以及填充層96粘接有對置基板11。 由于對置基板11具有透明性而不需要耐熱性，所以可以由通常的玻璃或塑料等形成。有機(jī) EL裝置1等由對置基板11、元件基板10、和形成在該一對基板間的各要素構(gòu)成。并且，也可以在對置基板11的上表面配置偏光板等。像素電極52被圖案化成除了第2接觸孔68的周邊區(qū)域之外，俯視下處于反射層 63中。因此，除了該周邊區(qū)域以外，發(fā)光功能層M內(nèi)產(chǎn)生的光在反射層63與陰極56之間共振，特定的波長范圍的光在被強(qiáng)調(diào)后，透過陰極56而向?yàn)V色器90射出。然后，通過濾色器90將不含于3原色光的各個波長范圍的光吸收，成為顏色純度進(jìn)一步提高了的光，從對置基板11側(cè)射出。結(jié)果，在有機(jī)EL裝置1的圖像顯示區(qū)域100中形成高品質(zhì)的圖像。如上所述，由于在像素電極52的外緣部共振長度發(fā)生變動，所以可產(chǎn)生從作為目標(biāo)的光的波長范圍脫離的光。因此，在有機(jī)EL裝置1等中，在俯視下包圍濾色器90的周圍的遮光區(qū)域43形成以該濾色器作為構(gòu)成要素的隔壁44，降低了射出目標(biāo)之外的光的情況。圖5是X方向的剖視圖，是表示圖2所示的D-D'線處的剖面的示意剖視圖。在本圖中，對形成在濾色器90的上方的外涂層95以及對置基板11等圖示進(jìn)行了省略。并且，將從元件基板10的表面到反射層63的各要素簡化為元件層12 (參照圖4)來進(jìn)行圖示。其中，在以下的說明中，對于一部分的要素省略了記載。如圖所示，在陰極56的上方隔著將平坦化層92與密封層93層疊而構(gòu)成的保護(hù)層 94形成了濾色器90與隔壁44。如上所述，濾色器90由分散有顏料等的丙烯酸樹脂、即透明著色層構(gòu)成。該透明著色層能夠通過改變被分散等的顏料而實(shí)現(xiàn)任意的顏色。即，能夠得到使任意波長范圍的光透過、吸收其他波長范圍的光的透明著色層。如上所述，濾色器90在像素區(qū)域42中發(fā)揮狹義的濾色器90的功能，在遮光區(qū)域 43中作為隔壁44發(fā)揮功能。而且，在有機(jī)EL裝置1中，紅色濾色器90R(成為紅色濾色器 90R的透明著色層、即紅色著色層)形成在遮光區(qū)域43的整個區(qū)域。因此，全部的隔壁44 的至少一部分由紅色濾色器90R構(gòu)成。具體而言，紅色像素區(qū)域42R的周圍的隔壁44僅由紅色濾色器90R(附圖標(biāo)記為 “44(90)”)構(gòu)成。綠色像素區(qū)域42G的周圍的隔壁44具有由下層的紅色濾色器90R(附圖標(biāo)記為“44(90)”)與上層的綠色濾色器90G(附圖標(biāo)記為“44(90)”)構(gòu)成的雙層構(gòu)造。藍(lán)色像素區(qū)域42B的周圍的隔壁44具有由下層的紅色濾色器90R(附圖標(biāo)記為“44(90) ”)與上層的藍(lán)色濾色器90B (附圖標(biāo)記為“44 (90)”)構(gòu)成的雙層構(gòu)造。通過該構(gòu)成，在有機(jī)EL 裝置1中，降低了因像素電極52的外緣部的共振長度的變動而產(chǎn)生的、從作為目標(biāo)的光的波長范圍脫離的光經(jīng)由對置基板11被射出的現(xiàn)象。以下，對該像素電極52的外緣部的共振長度的變動等進(jìn)行說明。圖6是放大表示像素電極52的外緣部的示意剖視圖。圖6(a)是放大表示圖5所示的E部分、即紅色像素電極52R的外緣部的圖。圖6(b)是放大表示圖5所示的F部分、 即綠色像素電極52G的外緣部的圖。上述兩個圖都在反射層63的下層僅圖示出第2層間絕緣膜62，而省略了從第2層間絕緣膜62到元件基板10的各要素的圖示。另外，還省略了形成在陰極56的上層的各要素的圖示。如上所述，像素電極52將ITO的薄膜層疊而形成。因此，如圖6(a)所示，在紅色像素電極52R的外緣部(即包圍紅色像素區(qū)域42R的環(huán)狀的區(qū)域)形成由第1階梯差區(qū)域 81與第2階梯差區(qū)域82構(gòu)成的階梯差區(qū)域80。在第1階梯差區(qū)域81中，紅色像素電極 52R由第二層的ITO薄膜與第三層的ITO薄膜的層疊體構(gòu)成。在第2階梯差區(qū)域82中，紅色像素電極52R僅由第三層的ITO薄膜構(gòu)成。另外，如圖6(b)所示，在綠色像素電極52G的外緣部(即包圍綠色像素區(qū)域42G 的環(huán)狀的區(qū)域)形成階梯差區(qū)域80。在階梯差區(qū)域80中，綠色像素電極52G僅由第三層的 ITO薄膜構(gòu)成。如圖4所示，如果除了外緣部以及第2接觸孔68的附近，則綠色像素電極52G通過第二層的ITO薄膜與第三層的ITO薄膜層疊而形成。該兩層ITO薄膜的層厚被設(shè)定為合并該兩層的層厚、發(fā)光功能層M的層厚和反射層保護(hù)層64的層厚之和、即合計(jì)的層厚成為能夠通過共振來強(qiáng)調(diào)綠色光的厚度(長度)。另外，藍(lán)色像素電極52B由第三層的ITO薄膜形成。第三層的ITO薄膜的層厚被設(shè)定為該第三層的ITO薄膜的層厚、發(fā)光功能層M的層厚和反射層保護(hù)層64的層厚之和、即合計(jì)的層厚成為可通過共振來強(qiáng)調(diào)藍(lán)色光的厚度(長度)。因此，在包圍紅色像素區(qū)域42R的規(guī)定寬度的環(huán)狀區(qū)域，綠色光以及藍(lán)色光通過共振被強(qiáng)調(diào)且經(jīng)由陰極56向?qū)χ没?1(參照圖4)側(cè)射出。同樣，在包圍綠色像素區(qū)域 42G的規(guī)定寬度的環(huán)狀區(qū)域，藍(lán)色光通過共振被強(qiáng)調(diào)且經(jīng)由陰極56向?qū)χ没?1 (參照圖 4)側(cè)射出。另外，雖然在放大圖中省略了提示，但在包圍藍(lán)色像素區(qū)域42B的規(guī)定寬度的環(huán)狀區(qū)域中，通過藍(lán)色像素電極52B的層厚的變動，主要使比藍(lán)色光處于短波長側(cè)的光被強(qiáng)調(diào)并射出。該情況下，紅色濾色器90R(成為紅色濾色器90R的透明著色層)由于具有高的對綠色光以及比該綠色光更靠短波長側(cè)的光進(jìn)行遮光(遮擋)的功能，所以能夠充分發(fā)揮作為隔壁44的功能。圖7是按照R、G、B每個顏色表示成為濾色器90的、分散有顏料的負(fù)型感光性丙烯酸材料的波長-透過率特性、即分透光特性的圖。如圖所示，紅色濾色器90R相對于綠色光以及藍(lán)色光具有高的遮光性(截?cái)?cutoff)特性)。因此，在使用3原色光形成彩色圖像的有機(jī)EL裝置中，通過以紅色濾色器90R構(gòu)成隔壁44，能夠充分地降低非適宜的波長的光射出。“充分”是指與使用了由分散有黑色顏料等的樹脂材料或Al等金屬材料形成的隔壁 44的情況相比，幾乎不發(fā)生改變的程度。另外，通過由濾色器90形成隔壁44，與由不同于濾色器90的材料通過其他途徑形成隔壁44的情況相比，能夠削減制造成本。因此，本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置1能夠在維持顯示品質(zhì)的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)低成本化。而且，與由上述的材料等通過其他途徑形成隔壁的情況相比，減少了至少一次的薄膜形成工序及圖案化工序，因此也降低了對于有機(jī)EL元件50等的影響，還提高了可靠性。(第2實(shí)施方式)接下來，使用圖8 10對作為本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的電氣光學(xué)裝置的有機(jī)EL裝置進(jìn)行說明。圖8是表示第2實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置2的圖像顯示區(qū)域 100 (參照圖1)內(nèi)的像素46、像素電極52等的配置方式與形成濾色器90的區(qū)域的示意俯視圖。本實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置2具有與第1實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置1相似的構(gòu)成。元件層12等的構(gòu)成相同，濾色器90以及隔壁44的構(gòu)成、像素電極52的Y方向的間隔與有機(jī)EL裝置1不同。因此，對于相通的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并省略部分說明。 并且，省略電路圖以及Y方向的剖視圖。如圖8所示，與上述的有機(jī)EL裝置1相同，有機(jī)EL裝置2具有在圖像顯示區(qū)域 100內(nèi)規(guī)則地形成的與3原色對應(yīng)的3種像素46 (R、G、B)。各個像素46具有像素電極52 和俯視下收容在該像素電極內(nèi)的像素區(qū)域42(以雙點(diǎn)劃線進(jìn)行圖示)。圖像顯示區(qū)域100 內(nèi)的像素區(qū)域42以外的區(qū)域?yàn)檎诠鈪^(qū)域43。由于像素電極52形成為矩陣狀，所以遮光區(qū)域43的平面形狀成為具有沿X方向延伸的帶狀的部分與沿Y方向延伸的帶狀的部分的格子狀。在圖像顯示區(qū)域100內(nèi)的整個區(qū)域形成有至少一層的濾色器90。該濾色器為廣義的濾色器90，是分散有紅、綠、藍(lán)中的任意一個顏料等的透明著色層。與上述的有機(jī)EL裝置 1相同，該透明著色層中形成于像素區(qū)域42的部分成為本來的(狹義的)濾色器90，形成于遮光區(qū)域43的部分成為隔壁44 (參照圖10)。在有機(jī)EL裝置2中，Y方向相鄰的像素46間的間隔被形成為大于X方向相鄰的像素46間的間隔。因此，遮光區(qū)域43中沿X方向延伸的部分的寬度比沿Y方向延伸的部分的寬度寬。當(dāng)將各個像素46作為子像素、將3色的像素46 (R、G、B)的集合定義為“像素” 時，也可以靠考慮將相鄰的“像素”的Y方向的間隔形成為比同一 “像素”內(nèi)的“子像素”間的間隔寬。而且，3色的濾色器90中的綠色濾色器90G與藍(lán)色濾色器90B僅形成在對應(yīng)的像素區(qū)域42與包圍該像素區(qū)域的環(huán)狀的區(qū)域。另一方面，紅色濾色器90R還形成在遮光區(qū)域43中的將Y方向相鄰的像素46間隔開的區(qū)域、即在X方向延伸的帶狀的區(qū)域。圖9是將本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置2中的(廣義的)濾色器90的形成區(qū)域按照該濾色器的每個顏色進(jìn)行表示的圖。圖9(a)是表示紅色濾色器90R的形成區(qū)域的圖，圖 9(b)是表示綠色濾色器90G的形成區(qū)域的圖，圖9(c)是表示藍(lán)色濾色器90B的形成區(qū)域的圖。在本圖中，由雙點(diǎn)劃線包圍的方形的區(qū)域是在將各個像素46定義為“子像素”時包含一個“像素”的區(qū)域(范圍)。因此，由該雙點(diǎn)劃線包圍的區(qū)域是能夠以任意的強(qiáng)度射出任意波長分布的光(即任意顏色的光)的最小的區(qū)域。如圖所示，綠色濾色器90G的形成區(qū)域和藍(lán)色濾色器90B的形成區(qū)域與上述的第 1實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置1中的該形成區(qū)域類似。即，形成為俯視下與像素電極 52(G、B)和包圍該像素電極的規(guī)定寬度的環(huán)狀的區(qū)域重疊。但是，與有機(jī)EL裝置1中的該形成區(qū)域不同，綠色濾色器90G與藍(lán)色濾色器90B的形成區(qū)域，在雙方的像素電極(G、B)俯視對置的區(qū)域中部分重疊。另一方面，紅色濾色器90R的形成區(qū)域與有機(jī)EL裝置1中的該形成區(qū)域不同。艮口， 紅色濾色器90R未形成在綠色像素46G與藍(lán)色像素46B沿X方向相鄰的部分。另外，也不形成在與綠色像素區(qū)域42G以及藍(lán)色像素區(qū)域42B相鄰的區(qū)域。在像素46沿Y方向相鄰的部分的遮光區(qū)域43、即遮光區(qū)域43中沿X方向延伸的部分，紅色濾色器90R僅形成在中央部分，而不形成在兩側(cè)的部分。因此，在包圍各個像素區(qū)域42 (R、G、B)的環(huán)狀的區(qū)域、即與各個像素區(qū)域42 (R、G、B)相鄰的區(qū)域形成了單層的濾色器90 (R、G、B)。該方式的(廣義的)濾色器90與第1實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置1的濾色器90相比，具有容易形成的優(yōu)點(diǎn)。由于無需將紅色濾色器90R圖案化成該紅色濾色器的外周線與綠色像素區(qū)域42G的外周線或藍(lán)色像素區(qū)域42B的外周線一致，所以降低了光刻工序的難易度。因此，本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置2具有制造成本減少的效果。圖10是表示圖8的E-E'線處的剖面的示意剖視圖，是有機(jī)EL裝置2在X方向的示意剖視圖。如圖所示，廣義的濾色器90形成為完全覆蓋對應(yīng)的像素區(qū)域42 (R、G、B)， 其中也包括包圍該像素區(qū)域的環(huán)狀的區(qū)域在內(nèi)。而且，與像素區(qū)域42重疊的部分作為狹義的濾色器90發(fā)揮功能，像素區(qū)域42間的與遮光區(qū)域43重疊的部分作為隔壁44 (附圖標(biāo)記為“44(90)”)發(fā)揮功能。因此，與上述的有機(jī)EL裝置1同樣減少了形成有機(jī)EL元件50后的光刻工序、即覆蓋有機(jī)EL元件50的保護(hù)層94的上表面的成膜工序以及圖案化工序。結(jié)果，降低了對耐腐蝕性、耐熱性低的有機(jī)EL元件50施加的負(fù)荷，有助于有機(jī)EL裝置的可靠性的提高。另外，如圖所示，本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置2由狹義的濾色器90、即像素區(qū)域42 上的濾色器90與隔壁44連續(xù)的透明著色層構(gòu)成。即，只有隔壁44未通過其他途徑形成，在X方向相鄰的像素區(qū)域42間未形成細(xì)的圖案。因此提高了濾色器90以及隔壁44相對保護(hù)層94的密合性，可靠性提高。此外，在本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置2中，綠色像素電極52G的外緣部的遮光性、即包圍綠色像素區(qū)域42G的環(huán)狀區(qū)域的遮光性成為問題。如上所述在包圍綠色像素區(qū)域42G 的環(huán)狀區(qū)域，存在因共振長度的變動而使比綠色光處于短波長側(cè)的光被強(qiáng)調(diào)的趨勢。但是， 如上述的圖7所示，綠色濾色器90G (綠色著色層)對于紅色濾色器90R稍微遜色但對于藍(lán)色光具有充分的遮光性。因此幾乎不對綠色像素46G的性能產(chǎn)生影響。因此，本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置2與上述的效果相輔，充分地實(shí)現(xiàn)了低成本化與可靠性的提高。(第3實(shí)施方式)接下來，對本發(fā)明的第3實(shí)施方式所涉及的作為電氣光學(xué)裝置的有機(jī)EL裝置進(jìn)行說明。圖11是表示第3實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置3的圖像顯示區(qū)域100(參照圖1) 內(nèi)的像素46、像素電極52的配置方式和形成濾色器90的區(qū)域的示意俯視圖。本實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置3具有與上述的有機(jī)EL裝置1以及有機(jī)EL裝置2相似的構(gòu)成，僅(廣義的)濾色器90以及隔壁44的構(gòu)成不同。因此，對于相通的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并省略部分說明，而且對電路圖以及Y方向的剖視圖省略了圖示。另外，本實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置3在X方向的剖視圖與圖10所示的第2實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置2的剖視圖大致相同。因此，僅使用圖11的示意俯視圖進(jìn)行對本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置3的說明。如圖11所示，有機(jī)EL裝置3與上述的各實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置相同，具有在圖像顯示區(qū)域100內(nèi)規(guī)則地形成的與3原色對應(yīng)的3種像素46 (R、G、B)。各個像素46與上述的有機(jī)EL裝置1的像素46同樣，在反射層63(參照圖4)與陰極56(參照圖4)之間具有光共振構(gòu)造，像素電極52的層厚根據(jù)射出的光(的顏色)而形成。有機(jī)EL裝置3中在發(fā)光功能層M (參照圖10)內(nèi)產(chǎn)生的白色光在通過該光共振構(gòu)造與濾色器90而成為特定波長范圍的光后射出。各個像素46具有像素電極52和俯視下收容在該像素電極內(nèi)的像素區(qū)域42。相鄰的像素區(qū)域42的間隔在X方向與Y方向上相同。因此，遮光區(qū)域43的寬度、 即沿X方向延伸的帶狀部分的寬度與沿Y方向延伸的帶狀部分的寬度相同。如圖所示，有機(jī)EL裝置3的濾色器90俯視下形成為沿Y方向延伸的帶狀。其中， 本圖中的濾色器90為廣義的濾色器90。濾色器90的寬度、即X方向的尺寸超出像素電極 52的X方向的間距(在本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置3中為約5 μ m)。而且，濾色器90形成為沿Y方向延伸的中心線與對應(yīng)的像素電極52的沿Y方向延伸的中心線大致一致。因此， 在圖11中被施以陰影的區(qū)域、即沿X方向相鄰的像素電極52間的區(qū)域，層疊不同顏色的濾色器90。因此，無論切斷位置如何，有機(jī)EL裝置3的X方向的剖視圖都與圖10所示的第2 實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置2的剖視圖大致相同。即，隔壁44(參照圖10)的至少一部分通過將相互不同顏色的雙層濾色器90層疊而形成。如上所述，濾色器90具有使與3原色光中的任意一個相當(dāng)?shù)牟ㄩL范圍的光透射，而吸收其他波長范圍的光的功能。因此，不同色的雙層濾色器90層疊而成的層對于寬波長范圍的光具有吸收性，具有高遮光性。本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置3的特征在于，濾色器90由在像素電極52的X方向上具有比間距寬的寬度的帶狀圖案的組合構(gòu)成。由于未實(shí)施高精細(xì)的圖案化，所以進(jìn)一步減少了圖案化工序的難易度。另外，由于能夠?qū)?種(3色)的濾色器90圖案化成相同形狀， 所以能夠?qū)崿F(xiàn)光掩模在3種顏色中通用化。而且，如上所述，由于將與不同顏色對應(yīng)的像素區(qū)域42間分開的隔壁44的至少一部分通過層疊2色的濾色器90而形成，所以具有高遮光性。另外，由于濾色器90僅由沿Y 方向延伸的帶狀部分構(gòu)成，所以密合性進(jìn)一步提高。因此，本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置3在維持了顯示品質(zhì)以及可靠性的同時實(shí)現(xiàn)了進(jìn)一步的低成本化。(第4實(shí)施方式)接下來，作為本發(fā)明的第4實(shí)施方式，對于作為電氣光學(xué)裝置的有機(jī)EL裝置的制造方法進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的制造方法的對象為上述的第1實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL 裝置1。而且，本實(shí)施方式以及后述的第5實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法的特征在于濾色器90的形成工序。構(gòu)成元件層12的驅(qū)動用TFT112(參照圖4)以及有機(jī)EL元件50 (參照圖4)等各要素通過公知的技術(shù)形成。因此，關(guān)于本實(shí)施方式以及后述的第5實(shí)施方式，從形成了保護(hù)層94的階段開始進(jìn)行說明。另外，對于上述的第1實(shí)施方式中所說明的構(gòu)成要素省略部分說明的記載。在后述的第5實(shí)施方式中也同樣如此。圖12以及圖13是表示第4實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法的工序剖面圖。在上述的兩個圖中，與上述的圖5相同，從元件基板10的表面直到反射層63的各要素被簡化為元件層12 (參照圖4)來進(jìn)行圖示。其中，形成上述的有機(jī)EL元件50的工序是本實(shí)施方式中的第1工序。因此，在本實(shí)施方式的說明中，從第2工序的說明開始。此外， 在實(shí)施了第1工序后、即有機(jī)EL元件50形成后，實(shí)施在該有機(jī)EL元件的上表面層疊平坦化層92與密封層93來形成保護(hù)層94的工序。以下，按工序順序進(jìn)行說明。其中，在本實(shí)施方式以及后述的第5實(shí)施方式的說明所使用的附圖(圖12 圖 15)中，對于圖案化后的透明著色層(35、36、37)標(biāo)注了 “44(90) ”或者“90”的附圖標(biāo)記。首先，作為第2工序，如圖12(a)所示，將圖像顯示區(qū)域100內(nèi)劃分為像素區(qū)域42 和作為該像素區(qū)域以外的區(qū)域的遮光區(qū)域43，該像素區(qū)域42是俯視下包含于像素電極52 的區(qū)域，是有機(jī)EL元件50射出光的區(qū)域。而且，將像素區(qū)域42按照從該像素區(qū)域射出的光的顏色劃分為紅色像素區(qū)域42R、綠色像素區(qū)域42G和藍(lán)色像素區(qū)域42B。接著，作為第3工序，在紅色像素區(qū)域42R與遮光區(qū)域43形成紅色著色層35。首先，如圖12(b)所示，在保護(hù)層94上的整個面形成紅色著色層35。紅色著色層35是由負(fù)型感光性丙烯酸構(gòu)成的層，該丙烯酸中分散有紅色的顏料、即可使波長為約eiOnm 約750nm 的范圍內(nèi)的光透射，而吸收其余的波長范圍的光的材料。接下來，通過光刻法對該紅色著色層進(jìn)行圖案化，從除了紅色像素區(qū)域42R以及遮光區(qū)域43這兩個區(qū)域以外的區(qū)域選擇性地除去該紅色著色層。然后，對選擇性殘留的紅色著色層35實(shí)施堅(jiān)膜(post-baking)處理、即加熱處理使之固化。如此一來，如圖12(c)所示，僅在上述的兩個區(qū)域殘留紅色著色層35。如上所述，對圖案化后的紅色著色層35標(biāo)注了 “44(90) ”或者“90”的附圖標(biāo)記。 圖案化后的紅色著色層35相當(dāng)于上述的第1 第3實(shí)施方式中的廣義的紅色濾色器90R。 紅色著色層35中殘留于紅色像素區(qū)域42R的部分作為紅色濾色器90R發(fā)揮功能。而且，殘留于遮光區(qū)域43的部分通過該紅色著色層單層，或者以與其他顏色的透明著色層層疊的狀態(tài)作為隔壁44發(fā)揮功能。其中，光刻法是對作為對象的薄膜按順序?qū)嵤┢毓夤ば蚺c蝕刻工序來圖案化的方法。在本實(shí)施方式中，由于作為對象的薄膜為感光性丙烯酸，所以顯影工序兼做蝕刻工序。接著，作為第4工序，在綠色像素區(qū)域42G形成綠色著色層36，在藍(lán)色像素區(qū)域 42B形成藍(lán)色著色層37。如上所述，綠色著色層36是分散有使波長為約500nm 約560nm 的范圍內(nèi)的光透射，而吸收其余波長范圍的光的材料的層，藍(lán)色著色層37是分散有使波長為約435nm 約480nm的范圍內(nèi)的光透射，而吸收其余波長范圍的光的材料的層，首先，如圖13(d)所示，在保護(hù)層94上(以及在先形成的紅色濾色器90R上)的整個面形成綠色著色層36。然后，通過光刻法對該綠色著色層進(jìn)行圖案化，從除了綠色像素區(qū)域42G以及包圍該綠色像素區(qū)域的環(huán)狀區(qū)域這兩個區(qū)域以外的區(qū)域選擇性地除去該綠色著色層。然后，通過堅(jiān)膜處理使圖案化后的該綠色著色層固化，如圖13(e)所示在上述的兩個區(qū)域形成綠色著色層36。其中，在上述的圖案化時，由于形成在下層的紅色濾色器90R以及隔壁44已經(jīng)被固化，所以不會因蝕刻液(即顯影液)而受損。這里，上述的環(huán)狀區(qū)域是從適當(dāng)?shù)南袼貐^(qū)域42起連續(xù)、且不到達(dá)相鄰的其他像素區(qū)域42的區(qū)域。因此，綠色著色層36被圖案化為殘留在俯視下包含綠色像素區(qū)域42G的島狀區(qū)域中。該殘留的綠色著色層36中俯視下與綠色像素區(qū)域42G重疊的部分作為狹義的綠色濾色器90G發(fā)揮功能。而且，殘留的綠色著色層36中與包圍綠色像素區(qū)域42G的環(huán)狀區(qū)域重疊的部分作為隔壁44發(fā)揮功能。在上述第3工序中，在綠色像素區(qū)域42G的周圍直至該綠色像素區(qū)域的外周線殘留有紅色著色層35。因此，在上述的環(huán)狀區(qū)域、即包圍綠色像素區(qū)域42G的遮光區(qū)域43形成由下層的紅色著色層35與上層的綠色著色層36構(gòu)成的隔壁44。接下來，如圖13(f)所示，在保護(hù)層94上(以及在先形成的紅色濾色器90R等上) 的整個面形成藍(lán)色著色層37。然后如圖13(g)所示，通過光刻法對該藍(lán)色著色層進(jìn)行圖案化，從除了藍(lán)色像素區(qū)域42B以及包圍該藍(lán)色像素區(qū)域的環(huán)狀區(qū)域這兩個區(qū)域以外的區(qū)域選擇性地除去該藍(lán)色著色層。即，在藍(lán)色像素區(qū)域42B以及包圍該藍(lán)色像素區(qū)域的環(huán)狀區(qū)域殘留藍(lán)色著色層37。然后，通過堅(jiān)膜處理，使圖案化后的藍(lán)色著色層37固化。圖案化后的藍(lán)色著色層37中俯視下與藍(lán)色像素區(qū)域42B重疊的部分作為狹義的藍(lán)色濾色器90B發(fā)揮功能。而且，殘留的藍(lán)色著色層37中與包圍藍(lán)色像素區(qū)域42B的環(huán)狀區(qū)域重疊的部分作為隔壁44發(fā)揮功能。在上述第3工序中，在藍(lán)色像素區(qū)域42B的周圍直至該藍(lán)色像素區(qū)域的外周線殘留紅色著色層35。因此，在上述的環(huán)狀區(qū)域、即包圍藍(lán)色像素區(qū)域42B的遮光區(qū)域43形成由下層的紅色著色層35與上層的藍(lán)色著色層37構(gòu)成的隔壁44。通過以上的工序，在各像素區(qū)域42 (R、G、B)形成濾色器90 (R、G、B)，在包圍該像素區(qū)域的遮光區(qū)域形成1層或者雙層的透明著色層(35、36、37)。該透明著色層(35、36、37) 作為隔壁44發(fā)揮功能。其中，在形成紅色濾色器90R后，可先進(jìn)行綠色濾色器90G的形成與藍(lán)色濾色器90B的形成中的任意一方。根據(jù)本實(shí)施方式的制造方法，在各個像素區(qū)域42 (R、G、B)形成濾色器90 (R、G、B)， 在將相鄰的像素區(qū)域42間分開的俯視呈格子狀的遮光區(qū)域43形成隔壁44。而且，該隔壁中包圍綠色像素區(qū)域42G的環(huán)狀部分與包圍藍(lán)色像素區(qū)域42B的環(huán)狀部分成為層疊有2層透明著色層的方式。透明著色層是吸收特定波長范圍的光以外的光的層。因此，該層疊了 2層透明著色層的構(gòu)造具有高遮光性、即吸收較寬波長范圍的光的功能。
根據(jù)本實(shí)施方式的制造方法，無需實(shí)施遮光性材料層的成膜工序及該遮光性材料層的圖案化工序即可形成該具有高遮光性的隔壁44。即，無需實(shí)施成膜工序以及光刻工序中的作為加熱處理以及濕式處理的顯影處理等即可形成隔壁44。因此，能夠降低上述的加熱處理等對位于濾色器90與元件基板10之間的有機(jī)EL元件50造成的影響，能夠制造出可靠性提高的有機(jī)EL裝置。而且，由于能夠減少成膜工序等的實(shí)施次數(shù)，所以能夠制造出制造成本降低且該可靠性提高的有機(jī)EL裝置。(第5實(shí)施方式)接下來，對作為本發(fā)明的第5實(shí)施方式所涉及的電氣光學(xué)裝置的有機(jī)EL裝置的制造方法進(jìn)行說明。圖14以及圖15是表示第5實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法的工序剖面圖。本實(shí)施方式的制造方法的對象是上述的第2實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置2。在上述兩個圖中，與上述的圖12、圖13相同，將從元件基板10的表面直至反射層 63的各要素簡化為元件層12 (參照圖4)來進(jìn)行圖示。如上所述，對于本實(shí)施方式的制造方法，與上述的第4實(shí)施方式的制造方法的說明相同，在實(shí)施形成有機(jī)EL元件50的第1工序后，從在該有機(jī)EL元件的上表面形成有保護(hù)層94的階段起按工序順序進(jìn)行說明。首先，作為第2工序，如圖14(a)所示，將圖像顯示區(qū)域100內(nèi)劃分為像素區(qū)域42 和作為該像素區(qū)域以外的區(qū)域的遮光區(qū)域43，該像素區(qū)域42是包含于像素電極52的區(qū)域， 是有機(jī)EL元件50射出光的區(qū)域。而且，將像素區(qū)域42按照從該像素區(qū)域射出的光的顏色劃分為紅色像素區(qū)域42R、綠色像素區(qū)域42G和藍(lán)色像素區(qū)域42B。接著，作為第3工序，在圖9(a)所示的區(qū)域、即在紅色像素區(qū)域42R及遮光區(qū)域43 中與紅色像素區(qū)域42R相鄰的區(qū)域和沿Y方向延伸的帶狀部分(將沿Y方向相鄰的像素區(qū)域42間分開的部分)的中央部分形成紅色著色層35。首先，如圖14(b)所示，在保護(hù)層94 上的整個面形成紅色著色層35。之后，通過光刻法對該紅色著色層圖案化，如圖14(c)所示，在上述的區(qū)域(圖9(a)所示的區(qū)域)殘留紅色著色層35。然后，對殘留的紅色著色層 35進(jìn)行堅(jiān)膜處理使之固化。該固化后的紅色著色層35中與紅色像素區(qū)域42R重疊的部分作為(狹義的)紅色濾色器90R發(fā)揮功能。接著，作為第4工序，在綠色像素區(qū)域42G和遮光區(qū)域43中與綠色像素區(qū)域42G 相鄰的區(qū)域形成綠色著色層36。首先，如圖15(d)所示，在保護(hù)層94上(以及在先形成的紅色濾色器90R等之上)的整個面形成綠色著色層36。然后，通過光刻法對綠色著色層36 圖案化，如圖15(e)所示，僅在上述的兩個區(qū)域以外殘留綠色著色層36。然后，對殘留的綠色著色層36進(jìn)行堅(jiān)膜處理，使該綠色著色層固化。該固化后的綠色著色層36中與綠色像素區(qū)域42G重疊的部分作為(狹義的)綠色濾色器90G發(fā)揮功能。而且，與遮光區(qū)域43重疊的部分作為隔壁44發(fā)揮功能。形成綠色著色層36的區(qū)域是形成有圖9(b)中表示的廣義含義下的綠色濾色器 90G的區(qū)域。具體而言，是與綠色像素區(qū)域42G和包圍該綠色像素區(qū)域的環(huán)狀吻合的區(qū)域。 該環(huán)狀的區(qū)域是外緣部最終與其他顏色的濾色器90重疊的區(qū)域。即，是上述的外緣部在俯視下與藍(lán)色像素區(qū)域42B對置的邊上和在后述的第5工序中形成的(廣義的)藍(lán)色濾色器 90B重疊的區(qū)域。而且，是在其他3條邊上和在第3工序中形成的(廣義的)紅色濾色器 90R重疊的區(qū)域。因此如圖所示，圖案化后的綠色著色層36在紅色像素區(qū)域42R與綠色像素區(qū)域42G之間的遮光區(qū)域43的中央，與在先形成的紅色著色層35的端部重合。接著，作為第5工序，在藍(lán)色像素區(qū)域42B和遮光區(qū)域43中與藍(lán)色像素區(qū)域42B 相鄰的區(qū)域形成藍(lán)色著色層37。首先如圖15(f)所示，在保護(hù)層94上(以及在先形成的紅色濾色器90R等上)的整個面形成藍(lán)色著色層37。之后，通過光刻法對藍(lán)色著色層37進(jìn)行圖案化，如圖15(g)所示，僅在上述的兩個區(qū)域以外殘留藍(lán)色著色層37。然后，對殘留的藍(lán)色著色層37進(jìn)行堅(jiān)膜處理來使之固化。該固化后的藍(lán)色著色層37中與藍(lán)色像素區(qū)域42B 重疊的部分作為(狹義的)藍(lán)色濾色器90B發(fā)揮功能。而且，與遮光區(qū)域43重疊的部分作為隔壁44發(fā)揮功能。形成藍(lán)色著色層37的區(qū)域是形成有圖9(c)中所示的廣義的藍(lán)色濾色器90B的區(qū)域。具體而言，是藍(lán)色像素區(qū)域42B和包圍該藍(lán)色像素區(qū)域的環(huán)狀吻合的區(qū)域。該環(huán)狀區(qū)域是外緣部與在先形成的廣義的濾色器90重疊的區(qū)域。即，是上述的外緣部在俯視下與綠色像素區(qū)域42G對置的邊上和在上述的第4工序中形成的綠色著色層36、即廣義的綠色濾色器90G重疊的區(qū)域。而且，是在其他3條邊上和在第3工序中形成的紅色濾色器35、即廣義的紅色濾色器90R重疊的區(qū)域。因此如圖所示，圖案化后的藍(lán)色著色層37在紅色像素區(qū)域42R與藍(lán)色像素區(qū)域42B之間的遮光區(qū)域43的中央，與在先形成的紅色著色層35的端部重合。而且，在綠色像素區(qū)域42G和藍(lán)色像素區(qū)域42B之間的遮光區(qū)域43的中央與在先形成的綠色著色層36的端部重合。通過以上的工序，在各個像素區(qū)域42形成與該像素區(qū)域射出的光的顏色對應(yīng)的 (狹義的)濾色器90(R、G、B)。而且，在將相鄰的該像素區(qū)域42分開的遮光區(qū)域43形成隔
壁44。根據(jù)本實(shí)施方式的制造方法，無需實(shí)施遮光性材料層的成膜工序及該遮光性材料層的圖案化工序即可形成隔壁44。即，無需實(shí)施成膜工序以及光刻工序中的作為加熱處理以及濕式處理的顯影處理等即可形成隔壁44。因此，能夠降低上述的加熱處理等對位于濾色器90與元件基板10之間的有機(jī)EL元件50造成的影響，能夠制造出可靠性提高的有機(jī) EL裝置。而且，有機(jī)EL裝置的制造成本也降低。另外，根據(jù)本實(shí)施方式的制造方法，能夠形成在遮光區(qū)域43內(nèi)濾色器90的外緣部相互重合的隔壁44。由于在先形成的濾色器90的外緣部被后形成的濾色器90的外緣部覆蓋，所以該構(gòu)成的隔壁44的密合性提高。因此，能夠形成濾色器90及隔壁44的可靠性都提高了的有機(jī)EL裝置。(電子設(shè)備)圖16是表示將上述的第1實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置1作為部件組裝的各種電子設(shè)備的圖。其中，除了上述的有機(jī)EL裝置1之外，也可以將第2實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置2或第3實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置3用作部件。圖16(a)是表示在作為電子設(shè)備的頭戴式顯示器中的應(yīng)用例的示意圖。頭戴式顯示器260具備綁帶沈1、光學(xué)系統(tǒng)收納部沈2以及有機(jī)EL裝置1。這樣，有機(jī)EL裝置1能夠作為圖像顯示器進(jìn)行利用。圖16(b)是表示在背面型投影儀中的應(yīng)用例的示意圖。背面型投影儀270在框體 271中具備合成光學(xué)系統(tǒng)273、反射鏡274、反射鏡275、屏幕276以及有機(jī)EL裝置1。這樣， 有機(jī)EL裝置1能夠作為圖像顯示器進(jìn)行利用。
圖16(c)是表示在前面型投影儀(便攜式投影儀)中的應(yīng)用例的示意圖。前面型投影儀280在框體282中具備光學(xué)系統(tǒng)281以及有機(jī)EL裝置1，能夠?qū)D像顯示在屏幕283 上。此外，當(dāng)作為便攜式投影儀進(jìn)行使用時，如果取代屏幕283而朝向白墻壁進(jìn)行放映，則可省略屏幕觀3，能夠提供更易于攜帶的便攜式投影儀。這樣，有機(jī)EL裝置1能夠作為圖像顯示器進(jìn)行利用。如上所述，由于第1 第3實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL裝置1 3減少了形成濾色器90所需的光刻工序，所以實(shí)現(xiàn)了低成本化以及可靠性的提高。因此，通過將該有機(jī)EL裝置1 3應(yīng)用到各種電子設(shè)備中，能夠提供低價格且高品質(zhì)的電子設(shè)備。本發(fā)明的實(shí)施方式除了上述的各實(shí)施方式以外，還可以考慮各種變形例。以下，列舉變形例進(jìn)行說明。(變形例1)在上述各實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置(1 幻中，針對每一像素電極52對反射層63 進(jìn)行圖案化。但是也可以是下述方式在第2接觸孔68的附近以外不對反射層63圖案化， 而形成在第2層間絕緣膜62上的近似整個面。根據(jù)這樣的方式，能夠減低像素區(qū)域42與遮光區(qū)域43之間的階梯差。結(jié)果，能夠提高濾色器90的層厚的均勻性，能夠提高有機(jī)EL 裝置的顯示品質(zhì)。(變形例2)在上述各實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置(1 幻中，形成在有機(jī)EL元件50 (具體為陰極56)與濾色器90之間的保護(hù)層94通過從有機(jī)EL元件50側(cè)按順序?qū)盈B由丙烯酸等有機(jī)材料構(gòu)成的平坦化層92與由SiOn等無機(jī)材料構(gòu)成的密封層93而形成。但是，保護(hù)層94的構(gòu)成并不局限于該兩層的層疊體。例如，也可以是還在平坦化層92與陰極56之間形成由無機(jī)材料構(gòu)成的層。根據(jù)該構(gòu)成，能夠提高密封性等，能夠提高有機(jī)EL裝置的可靠性。另外，也可以將密封層93設(shè)為由CVD等真空成膜法形成的層與由濕式成膜法形成的層的層疊體。由于平坦性提高，所以能夠提高濾色器90的層厚的均勻性，能夠提高顯示品質(zhì)。(變形例3)在上述各實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置(1 3)中，分開形成像素電極52與反射層63。 但是，也可以是使像素電極52兼有反射層的構(gòu)成。根據(jù)該構(gòu)成，能夠減少至少1次的成膜工序以及圖案化工序，所以能夠削減制造成本。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)EL裝置，其特征在于，具備 基板；有機(jī)EL元件，其形成在上述基板上，具有第1電極、發(fā)光功能層和具有透明導(dǎo)電性的第 2電極，該有機(jī)EL元件向上述第2電極側(cè)射出光；濾色器，其在上述有機(jī)EL元件射出光的區(qū)域、即像素區(qū)域中形成在上述第2電極側(cè)；和隔壁，其形成在上述像素區(qū)域以外的區(qū)域、即遮光區(qū)域；上述濾色器是使紅色光透射的紅色濾色器、使綠色光透射的綠色濾色器、使藍(lán)色光透射的藍(lán)色濾色器這3色濾色器中的任意一個，上述3色濾色器中的至少1種顏色的上述濾色器構(gòu)成上述隔壁的至少一部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于， 上述隔壁的至少上述基板側(cè)由上述紅色濾色器構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于，上述隔壁中的俯視下與上述像素區(qū)域相鄰的部分的至少上述基板側(cè)，由形成在各個上述像素區(qū)域的上述濾色器構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于， 上述發(fā)光功能層為發(fā)出白色光的發(fā)光功能層，上述第2電極由半透過反射性材料構(gòu)成， 在上述基板與上述發(fā)光功能層之間形成有反射層， 在上述第2電極與上述反射層之間形成有光共振構(gòu)造。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于， 在上述有機(jī)EL元件與上述濾色器之間形成有含有無機(jī)材料層的保護(hù)層。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于，上述保護(hù)層是包含平坦化層與無機(jī)材料層的層，該平坦化層形成在上述有機(jī)EL元件側(cè)且由有機(jī)材料構(gòu)成，該無機(jī)材料層形成在上述濾色器側(cè)。
7.一種電子設(shè)備，其特征在于，具備權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置。
8.一種有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，按如下記載的順序依次實(shí)施下述工序 第1工序，在基板上的圖像顯示區(qū)域依次層疊島狀的第1電極、發(fā)光功能層和由透明導(dǎo)電性材料構(gòu)成的第2電極來形成有機(jī)EL元件；第2工序，將上述圖像顯示區(qū)域劃分為俯視下包含于上述第1電極的像素區(qū)域和上述像素區(qū)域以外的區(qū)域、即遮光區(qū)域，進(jìn)而將上述像素區(qū)域劃分為紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域和藍(lán)色像素區(qū)域這3種像素區(qū)域；第3工序，在上述紅色像素區(qū)域與上述遮光區(qū)域形成紅色著色層；和第4工序，在上述綠色像素區(qū)域形成綠色著色層，并且在上述藍(lán)色像素區(qū)域形成藍(lán)色著色層。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，上述第4工序是在上述綠色像素區(qū)域與包圍該綠色像素區(qū)域的環(huán)狀區(qū)域形成上述綠色著色層，并且在上述藍(lán)色像素區(qū)域與包圍該藍(lán)色像素區(qū)域的環(huán)狀區(qū)域形成上述藍(lán)色著色層的工序。
10.一種有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，按如下記載的順序依次實(shí)施下述工序第1工序，在基板上的圖像顯示區(qū)域依次層疊島狀的第1電極、發(fā)光功能層和由透明導(dǎo)電性材料構(gòu)成的第2電極來形成有機(jī)EL元件；第2工序，將上述圖像顯示區(qū)域劃分為俯視下包含于上述第1電極的像素區(qū)域和上述像素區(qū)域以外的區(qū)域、即遮光區(qū)域，進(jìn)而將上述像素區(qū)域劃分為紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域和藍(lán)色像素區(qū)域這3種像素區(qū)域；第3工序，在上述紅色像素區(qū)域和上述遮光區(qū)域中的與上述紅色像素區(qū)域相鄰的區(qū)域形成紅色著色層；第4工序，在上述綠色像素區(qū)域和上述遮光區(qū)域中的與上述綠色像素區(qū)域相鄰的區(qū)域形成綠色著色層；和第5工序，在上述藍(lán)色像素區(qū)域和上述遮光區(qū)域中的與上述藍(lán)色像素區(qū)域相鄰的區(qū)域形成藍(lán)色著色層。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于， 上述第3工序是下述的工序在上述紅色像素區(qū)域和上述遮光區(qū)域中的與上述紅色像素區(qū)域相鄰的區(qū)域、以及在上述第4工序中不形成上述綠色著色層且在上述第5工序中不形成上述藍(lán)色著色層的區(qū)域形成上述紅色著色層。
全文摘要
本發(fā)明涉及有機(jī)EL裝置及其制造方法和電子設(shè)備，該有機(jī)EL裝置具備基板(10)；有機(jī)EL元件(50)，其形成在基板(10)上，具有第1電極(52)、發(fā)光功能層(54)和具有透明導(dǎo)電性的第2電極(56)，向第2電極(56)側(cè)射出光；濾色器(90)，其在有機(jī)EL元件(50)射出光的區(qū)域、即像素區(qū)域(42)中形成在第2電極(56)側(cè)；和隔壁(44)，其形成在像素區(qū)域(42)以外的區(qū)域、即遮光區(qū)域(43)；濾色器(90)是紅色濾色器(90R)、綠色濾色器(90G)和藍(lán)色濾色器(90B)這3色濾色器(90)中任意的任意一個，3色濾色器(90)中的至少1種顏色的濾色器(90)構(gòu)成隔壁(44)的至少一部分。
文檔編號H01L51/52GK102376746SQ201110229940
公開日2012年3月14日 申請日期2011年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月11日
發(fā)明者巖崎正憲, 巖田信一, 花村雄基, 西岡大輔 申請人:精工愛普生株式會社