專利名稱：一種射頻mems開關的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種射頻MEMS開關。
背景技術：
目前所制作的帶有觸點的MEMS開關，通常采用單個或單列觸點，當開關工作一定時間，由于頻繁的擊打，金屬表面會發(fā)生腐蝕，觸點會引起變形，從而導致開關觸點不能與信號線很好地接觸，最終導致失效，減小了開關的壽命。

發(fā)明內容
發(fā)明目的為了克服現(xiàn)有技術中存在的不足，本發(fā)明提供一種含有鯊齒式觸點系統(tǒng)的射頻MEMS開關，以提高射頻MEMS開關的壽命。
技術方案為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的技術方案為
一種射頻MEMS開關，包括驅動電極、懸臂梁、共面波導信號線、固定錨區(qū)和襯底，所述驅動電極、共面波導信號線固定在襯底上，懸臂梁的固定端通過固定錨區(qū)固定在共面波導信號線上，驅動電極位于懸臂梁的下方，該射頻MEMS開關還包括鯊齒式觸點系統(tǒng)，所述鯊齒式觸點系統(tǒng)位于懸臂梁自由端的下方，或者所述射頻MEMS開關導通時與懸臂梁自由端接觸的傳輸線的上方，所述鯊齒式觸點系統(tǒng)包括第一觸點和第二觸點，且第一觸電高度低于第二觸點高度，第一觸點距離固定錨區(qū)的距離長于第二觸點高度距離固定錨區(qū)的距離。有益效果本發(fā)明提供的射頻MEMS開關，有效地改善了觸點因多次接觸擊打引起的可靠性問題，使開關的壽命得到較大的提高。射頻MEMS開關工作一段時間后，由于觸點變形或表面蝕化會引起接觸不良，導致開關失效，本發(fā)明的鯊齒式觸點系統(tǒng)使得這一現(xiàn)象得到有效緩解，當左邊一列觸點失效后，右邊一列觸點可以作為補充，較好地實現(xiàn)與信號線的接觸，完成信號的傳輸，對開關性能的提高起了很大的作用。


圖I為本發(fā)明的正視結構示意 圖2為本發(fā)明的俯視結構示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖對本發(fā)明作更進一步的說明。圖I、圖2所示為一種射頻MEMS開關，其特征在于該射頻MEMS開關包括驅動電極I、懸臂梁3、共面波導信號線4、固定錨區(qū)6和襯底7，所述驅動電極I、共面波導信號線4固定在襯底7上，懸臂梁3的固定端通過固定錨區(qū)6固定在共面波導信號線4上，驅動電極I位于懸臂梁3的下方，該射頻MEMS開關還包括鯊齒式觸點系統(tǒng)2，所述鯊齒式觸點系統(tǒng)2位于懸臂梁3自由端的下方，或者所述射頻MEMS開關導通時與懸臂梁3自由端接觸的傳輸線的上方，所述S齒式觸點系統(tǒng)2包括第一觸點21和第二觸點22,且第一觸電21高度低于第二觸點22高度，第一觸點21距離固定錨區(qū)6的距離長于第二觸點22高度距離固定錨區(qū)6的距離。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出對于本技術領域的普通技術人 員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。
權利要求
1.一種射頻MEMS開關，其特征在于該射頻MEMS開關包括驅動電極(I)、懸臂梁(3)、共面波導信號線(4)、固定錨區(qū)(6)和襯底(7)，所述驅動電極(I)、共面波導信號線(4)固定在襯底(7)上，懸臂梁(3)的固定端通過固定錨區(qū)(6)固定在共面波導信號線(4)上，驅動電極(I)位于懸臂梁(3)的下方，該射頻MEMS開關還包括鯊齒式觸點系統(tǒng)(2)，所述鯊齒式觸點系統(tǒng)(2)位于懸臂梁(3)自由端的下方，或者所述射頻MEMS開關導通時與懸臂梁(3)自由端接觸的傳輸線的上方，所述鯊齒式觸點系統(tǒng)(2)包括第一觸點(21)和第二觸點(22)，且第一觸電(21)高度低于第二觸點(22)高度，第一觸點(21)距離固定錨區(qū)(6)的距離長于第二觸點(22)高度距離固定錨區(qū)(6)的距離。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種射頻MEMS開關，包括驅動電極、懸臂梁、共面波導信號線、固定錨區(qū)和襯底，所述驅動電極、共面波導信號線固定在襯底上，懸臂梁的固定端通過固定錨區(qū)固定在共面波導信號線上，驅動電極位于懸臂梁的下方，該射頻MEMS開關還包括鯊齒式觸點系統(tǒng)，所述鯊齒式觸點系統(tǒng)位于懸臂梁自由端的下方，或者所述射頻MEMS開關導通時與懸臂梁自由端接觸的傳輸線的上方，所述鯊齒式觸點系統(tǒng)包括第一觸點和第二觸點，且第一觸電高度低于第二觸點高度，第一觸點距離固定錨區(qū)距離長于第二觸點高度距離固定錨區(qū)距離。本發(fā)明提供的射頻MEMS開關，有效地改善了觸點因多次接觸擊打引起的可靠性問題，使開關的壽命得到較大的提高。
文檔編號H01H59/00GK102820174SQ20111015592
公開日2012年12月12日 申請日期2011年6月11日 優(yōu)先權日2011年6月11日
發(fā)明者黃菲 申請人:南通華翰家紡布藝設計有限公司