專利名稱：半導(dǎo)體打線機(jī)臺的調(diào)校量具及其調(diào)校方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于一種調(diào)校量具及其調(diào)校方法，特別是有關(guān)于一種應(yīng)用于半導(dǎo)體打線機(jī)臺上的調(diào)校量具及其調(diào)校方法，以供調(diào)校半導(dǎo)體打線機(jī)臺時使用。
背景技術(shù)：
目前在半導(dǎo)體封裝制程中經(jīng)常被使用的打線制程(wire bonding)，在生產(chǎn)線上以半導(dǎo)體打線機(jī)臺進(jìn)行連續(xù)、快速且高精度的打線作業(yè)。由于半導(dǎo)體打線機(jī)臺于進(jìn)行打線作業(yè)時，必須要由放電棒(EFO wand)、導(dǎo)氣管及焊針一起配合才能精準(zhǔn)地完成打線作業(yè)；因此，為了確保打線制程的良率，當(dāng)半導(dǎo)體打線機(jī)臺在執(zhí)行打線作業(yè)前，均必須先后針對放電棒(EFO wand)長度、固定放電棒的固定部及導(dǎo)氣管相對熱壓板的高度及焊針高度進(jìn)行校正。而目前在執(zhí)行半導(dǎo)體打線機(jī)臺的校正時，分別使用多個各自獨(dú)立的量規(guī)物件(例如測量厚度的厚薄規(guī)、測量放電棒長度的校正片以及測量焊針高度的調(diào)校片)來分別進(jìn)行每一處的校正。同一機(jī)臺的調(diào)校上需要使用到多組不同的調(diào)校工具，由于每一組校正工具均為各自獨(dú)立元件，相當(dāng)容易遺失，常造成操作者使用上困擾。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述先前技術(shù)不盡理想之處，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體打線機(jī)臺調(diào)校量具及其調(diào)校方法，其可簡化多組的量具，便利使用者于校正半導(dǎo)體打線機(jī)臺時使用單一量具，即可達(dá)到多種調(diào)校用途，藉以節(jié)省調(diào)校時間及便于攜帶或收貯量具等功效。本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體打線機(jī)臺調(diào)校量具，其包括一第一測量部、第二測量部及第三測量部，以其邊緣依序連接形成一體，其中第一測量部、第二測量部及第三測量部為一矩形結(jié)構(gòu)且依序具有一第一厚度tl、第二厚度t2及第三厚度t3，該第三厚度t3大于第二厚度t2且第二厚度t2大于第一厚度tl，其中，該第三測量部，具有一第一端及一相對于第一端另一端的第二端、一相鄰第一端與第二端的第三端及一相對第三端另一端的第四端，第二測量部與第三測量部連接成一體，其中，第三測量部上表面設(shè)置有一凹槽，該凹槽一端延伸至第四端面上形成缺口，另一端則沿第三端方向而形成一封閉端。本發(fā)明再提供一種半導(dǎo)體打線機(jī)臺調(diào)校量具的調(diào)校方法，該半導(dǎo)體打線機(jī)臺包括有一熱壓板及一打線組件，打線組件中更包括一放電棒固定部、一放電棒、一導(dǎo)氣管及一垂向設(shè)置的焊針(Capillary)，其中，熱壓板設(shè)置于打線組件下方而與打線組件保持一間隙，且放電棒固定部供固設(shè)一放電棒及一導(dǎo)氣管，該放電棒外覆一導(dǎo)氣管并固設(shè)于放電棒固定部上，導(dǎo)氣管上對應(yīng)該焊針的運(yùn)動方向而設(shè)有垂向的穿孔，該方法包括下列步驟調(diào)校放電棒的長度，于導(dǎo)氣管設(shè)置于放電棒固定部之前，以放電棒伸置于調(diào)校量具的凹槽中，通過放電棒端部抵于凹槽封閉端，以調(diào)校放電棒伸出于放電棒固定部的長度；校正放電棒固定部及導(dǎo)氣管相對熱壓板的高度，于導(dǎo)氣管設(shè)置于放電棒固定部之后，以調(diào)校量具的一第一測量部及一第二測量部的第一厚度與第二厚度分別對放電棒固定部及導(dǎo)氣管相對熱壓板的高度進(jìn)行校正；校正焊針與導(dǎo)氣管的相對垂向高度，以焊針下降穿過導(dǎo)氣管的穿透孔，并以焊針端部抵于調(diào)校量具的一第二測量部的上表面，以進(jìn)行焊針與導(dǎo)氣管相對垂向高度的校正，通過凹槽及第一測量部、第二測量部厚度上差異，依序分別調(diào)校放電棒伸出于放電棒固定部的長度、校正放電棒固定部及導(dǎo)氣管相對熱壓板的高度、校正焊針與導(dǎo)氣管相對垂向高度，本發(fā)明可令使用者于校正半導(dǎo)體打線機(jī)臺時更為便利使用，并達(dá)成節(jié)省使用者調(diào)校時間的效果。


圖IA為本發(fā)明的調(diào)校量具的第一較佳實(shí)施例的上視示意圖。圖IB為本發(fā)明的調(diào)校量具的第一較佳實(shí)施例的AA剖面示意圖。圖2為本發(fā)明的第一較佳實(shí)施例的立體示意圖。圖3A為本發(fā)明的調(diào)校量具的第一較佳實(shí)施例的BB剖面示意圖。圖3B為本發(fā)明的調(diào)校量具的第二較佳實(shí)施例的BB剖面示意圖。圖4為本發(fā)明的半導(dǎo)體打線機(jī)臺與調(diào)校量具執(zhí)行測量的示意圖。主要元件符號說明調(diào)校量具I打線組件2熱壓板10第一測量部100放電棒固定部20第二測量部200放電棒30第三測量部300第三測量部第一端 301第三測量部第二端 302第三測量部第三端 303第三測量部第四端 304凸出部310擋塊313凹槽320導(dǎo)氣管40貫穿孔42焊針50
具體實(shí)施例方式由于本發(fā)明主要揭露一種使用于半導(dǎo)體制程中半導(dǎo)體打線機(jī)臺的調(diào)校量具及其調(diào)校方法，其中半導(dǎo)體打線機(jī)臺的基本構(gòu)造及功能，已為相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域具有通常知識者所能明了，故以下文中的說明，僅對與調(diào)校量具進(jìn)行調(diào)校相關(guān)的部份(例如放電棒、導(dǎo)氣管、焊針及熱壓板)進(jìn)行調(diào)校作業(yè)的說明。同時，以下文中所對照的圖式，表達(dá)與本發(fā)明特征有關(guān)的結(jié)構(gòu)示意，亦不需要依據(jù)實(shí)際尺寸完整繪制，合先敘明。
首先，請參照圖1A，為本發(fā)明的調(diào)校量具I的一較佳實(shí)施例的上視示意圖，并請配合圖1B，為本發(fā)明的調(diào)校量具I的一較佳實(shí)施例的AA剖面示意圖，調(diào)校量具I的結(jié)構(gòu)主要是由第一測量部100、第二測量部200及第三測量部300所組成，以彼此的邊緣依序并排連接形成一體，其中第一測量部100、第二測量部200及第三測量部300均為一矩形狀，且依序具有一第一厚度tl、第二厚度t2及第三厚度t3，該第三厚度t3大于第二厚度t2且第二厚度t2大于第一厚度tl，整體形成階梯狀的結(jié)構(gòu)，其中第三測量部300具有一第一端301及一相對第一端301另一端的第二端302、一相鄰第一端301與第二端302的第三端303及一相對第三端303另一端的第四端304，其中第三測量部300的第一端301與第二測量部200邊緣連接成一體，而第三測量部300上表面設(shè)置有一凹槽320，此凹槽320的一端延伸至第四端304面上形成缺口，另一端則沿第三端303方向而于第三測量部300之上形成一封閉端，且凹槽320具有一第四厚度t4。上述的調(diào)校量具I可以經(jīng)由CNC工具機(jī)對一塊狀物進(jìn)行加工而形成，此塊狀物可以是鋁、鐵或不銹鋼等材料。例如將一鋁塊進(jìn)行加工，并將調(diào)校量具I的第一測量部100加工至tl的厚度、將第二測量部200加工至t2的厚度、將第三測量部300加工至t3的厚度；而在第三測量部300上的凹槽320則加工至t4的厚度。在此要強(qiáng)調(diào)，本發(fā)明的調(diào)校量具I的形成方式并不限制使用CNC工具機(jī)，其僅為本發(fā)明的一可行的實(shí)施方式。此外，請參考圖2，為本發(fā)明的調(diào)校量具I的另一較佳實(shí)施例的立體示意圖。如圖2所示，為了使調(diào)校量具I在進(jìn)行調(diào)校作業(yè)的過程中，便于執(zhí)行調(diào)校工作者手持拿取調(diào)校量具1，故可進(jìn)一步于圖IA的調(diào)校量具I的第三測量部300的靠近第三端303的區(qū)域上形成另一凸出部310，而凸出部310相對第三端303的另一端則與凹槽320的封閉端相鄰接；很明顯地，凸出部310大于第三測量部300的厚度；請進(jìn)一步參考圖3A，為圖2沿BB線的剖面示意圖。再接著，請參考圖3B，是本發(fā)明的調(diào)校量具I的再一較佳實(shí)施例的剖面示意圖。如圖3B所示，調(diào)校量具I的本體結(jié)構(gòu)與功效實(shí)質(zhì)與前述的圖IA相同，在此不加贅述。在本實(shí)施例中，調(diào)校量具I進(jìn)一步包含一擋塊313，該擋塊313位于第三測量部300第一端301側(cè)緣的區(qū)域上，與凹槽320的一側(cè)緣切齊，其中，該擋塊313的厚度大于第三測量部300的第三厚度t3，而于凹槽320兩側(cè)形成一側(cè)較高，另一側(cè)較低的結(jié)構(gòu)；相同的，亦可于第三測量部300的沿著第二端302側(cè)緣的區(qū)域上降低高度，使其低于原第三測量部300第三端303的厚度t3，如此一來，亦可使該凹槽320的兩側(cè)分別形成高低差；此外，本實(shí)施例也可以于第三測量部300上近第三端303的區(qū)域上進(jìn)一步形成一凸出部310，其中凸出部310自第三端303的一側(cè)延伸至凹槽320的封閉端，特別的是，凸出部310的厚度大于擋塊313的厚度，其目的是用來提供使用者在調(diào)校使用時易于拿取，且擋塊313的目的是于進(jìn)行調(diào)校時，通過此擋塊313的厚度來作為測量放電棒30長度時，提供放電棒30側(cè)向上的定位，其操作過程將于下述中說明。接著請參考圖4，為本發(fā)明的一半導(dǎo)體打線機(jī)臺、與調(diào)校量具I執(zhí)行測量的示意圖。首先，半導(dǎo)體打線機(jī)臺包括有一熱壓板10及一打線組件2，打線組件2更包括一個放電棒固定部20、一個放電棒30、一導(dǎo)氣管40及一個與導(dǎo)氣管40呈垂直且重迭設(shè)置的焊針50，其中，熱壓板10設(shè)置于打線組件2下方且與打線組件2保持一間隙；放電棒固定部20用以固設(shè)放電棒30,該放電棒30外覆一導(dǎo)氣管40并固設(shè)于放電棒固定部20上,且于導(dǎo)氣管40的接近開放端附近設(shè)置一貫穿孔42，此貫穿孔42與焊針50于垂直方向?qū)?yīng)。當(dāng)半導(dǎo)體打線機(jī)臺的打線組件2要進(jìn)行調(diào)校時，使用本發(fā)明的調(diào)校量具I進(jìn)行，而其調(diào)校的方法包括下列步驟首先，進(jìn)行放電棒30長度的調(diào)校，以下以圖3A舉例說明，于導(dǎo)氣管40包覆放電棒30且設(shè)置于放電棒固定部20之前先進(jìn)行，其將放電棒30伸置于圖3A的調(diào)校量具I的凹槽320中，并以放電棒30端部抵于凹槽320封閉端，以調(diào)校放電棒30伸出于放電棒固定部20的長度，其中，該放電棒30的側(cè)緣可完全伸置于凹槽320的槽底面上，即為該放電棒30在導(dǎo)氣管40內(nèi)的相對位置；
接著，將導(dǎo)氣管40包覆放電棒30且設(shè)置于放電棒固定部20上，使得導(dǎo)氣管40底緣與熱壓板10保持一間隙；再接著，進(jìn)行放電棒固定部20及導(dǎo)氣管40相對熱壓板10高度的調(diào)校，將調(diào)校量具I置入于放電棒固定部20、導(dǎo)氣管40與熱壓板10之間并以調(diào)校量具I的第一測量部100及第二測量部200的第一厚度tl與第二厚度t2分別對放電棒固定部20及導(dǎo)氣管40相對熱壓板10的高度(間隙)進(jìn)行校正；之后，隨即進(jìn)行焊針50高度的調(diào)校，此時調(diào)校量具I仍位于放電棒固定部20、導(dǎo)氣管40與熱壓板10之間，將焊針50自目前高度向?qū)夤?0的相對垂向下降，并使焊針50下降穿過導(dǎo)氣管40的貫穿孔42，當(dāng)焊針50的端部碰觸于調(diào)校量具I的第二測量部200的上表面后停止。在此調(diào)校過程中故可通過焊針50下降使其針端抵于調(diào)校量具I的一第二測量部200的上表面時的移動距離的數(shù)據(jù)給予半導(dǎo)體打線機(jī)臺判讀是否為焊針50合適的下降距離。此外，當(dāng)使用圖3B的調(diào)校量具I進(jìn)行調(diào)校時，其調(diào)校過程與使用圖3A的調(diào)校量具I相同，其差異處在于對放電棒30進(jìn)行調(diào)校時，將調(diào)校量具I的第三厚度先移入至放電棒30的下側(cè)，之后通過擋塊313的厚度大于第三測量部300的構(gòu)造，使得放電棒30 —側(cè)邊緣會碰觸擋塊313邊緣以供放電棒30 —側(cè)向定位作用，以利于放電棒30伸置于凹槽320內(nèi)可提升使用者于調(diào)校時便利性使用。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非用以限定本發(fā)明的申請專利權(quán)利；同時以上的描述，對于熟知本技術(shù)領(lǐng)域的專門人士應(yīng)可明了及實(shí)施，因此其他未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾，均應(yīng)包含在權(quán)利要求范圍中。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體打線機(jī)臺的調(diào)校量具，包括 一第一測量部、第二測量部及第三測量部以其邊緣依序連接形成一體，其中第一測量部、第二測量部及第三測量部均為一矩形結(jié)構(gòu)且依序具有一第一厚度tl、第二厚度t2及第三厚度t3，該第三厚度t3大于第二厚度t2且第二厚度t2大于第一厚度tl，其中，該第三測量部具有一第一端及一相對該第一端另一端的第二端、一相鄰該第一端與該第二端的第三端及一相對該第三端另一端的第四端，該第一端與第二測量部連接成一體，且該第三測量部上表面設(shè)置有一凹槽，該凹槽一端延伸至第四端面上形成缺口，另一端則沿第三端方向延伸一距離并形成一封閉端。
2.如權(quán)利要求I所述的調(diào)校量具，其特征在于，該第三測量部位于該第一端一側(cè)的區(qū)域上并沿該凹槽的一側(cè)緣形成一擋塊。
3.如權(quán)利要求2所述的調(diào)校量具，其特征在于，該調(diào)校量具于該第三測量部的第三端與第四端之間的區(qū)域上具有一凸出部，該凸出部的厚度大于擋塊的厚度。
4.如權(quán)利要求3所述的調(diào)校量具，其特征在于，該調(diào)校量具的凹槽的封閉端連接于該凸出部。
5.一種如權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體打線機(jī)臺的調(diào)校量具的調(diào)校方法，該半導(dǎo)體打線機(jī)臺包括有一熱壓板及一打線組件，該打線組件更包括一放電棒固定部、一放電棒、一導(dǎo)氣管及一垂向設(shè)置的焊針，其中，該熱壓板設(shè)置于打線組件下方且與該打線組件保持一間隙，該放電棒固定部用以固定該放電棒，而該放電棒外覆該導(dǎo)氣管并將該導(dǎo)氣管固定于放電棒固定部上，該導(dǎo)氣管于對應(yīng)該焊針的垂直運(yùn)動方向處設(shè)有一貫穿孔，其中，該調(diào)校方法包括下列步驟 校正該放電棒的長度，于該導(dǎo)氣管設(shè)置于放電棒固定部之前，將該放電棒伸置于調(diào)校量具的凹槽中，并以放電棒端部抵于凹槽封閉端，以調(diào)校放電棒伸出于放電棒固定部的長度； 配置該導(dǎo)氣管于放電棒固定部上，使得導(dǎo)氣管包覆該放電棒，且使導(dǎo)氣管與熱壓板保持一間隙； 校正該放電棒固定部及該導(dǎo)氣管相對熱壓板的高度，將該調(diào)校量具的第一測量部及第二測量部的第一厚度與第二厚度分別對該放電棒固定部及該導(dǎo)氣管相對熱壓板的高度進(jìn)行校正； 校正該焊針與導(dǎo)氣管的相對垂向高度，將該焊針下降穿過導(dǎo)氣管的貫穿孔，并以焊針端部抵于調(diào)校量具的一第二測量部的上表面，以進(jìn)行焊針與導(dǎo)氣管相對垂向高度的校正。
6.如權(quán)利要求5所述的調(diào)校方法，其特征在于，該調(diào)校量具于該第三測量部第三端與第四端之間的區(qū)域上更包括有一凸出部。
7.如權(quán)利要求5所述的調(diào)校方法，其特征在于，在校正該焊針與導(dǎo)氣管的相對高度中，該焊針下降使其針端抵于調(diào)校量具的一第二測量部的上表面時，可提供一移動距離的數(shù)據(jù)給予半導(dǎo)體打線機(jī)臺判讀。
8.—種如權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體打線機(jī)臺的調(diào)校量具的調(diào)校方法，該半導(dǎo)體打線機(jī)臺包括有一熱壓板及一打線組件，該打線組件更包括一放電棒固定部、一放電棒、一導(dǎo)氣管及一垂向設(shè)置的焊針，其中，該熱壓板設(shè)置于打線組件下方且與該打線組件保持一間隙，該放電棒固定部用以固定該放電棒，且該放電棒外覆該導(dǎo)氣管并將該導(dǎo)氣管固定于放電棒固定部上，該導(dǎo)氣管于對應(yīng)該焊針的垂直運(yùn)動方向處設(shè)有一貫穿孔，其中該調(diào)校方法包括下列步驟 校正該放電棒的長度，于該導(dǎo)氣管設(shè)置于放電棒固定部之前，將該放電棒伸置于調(diào)校量具的凹槽中，并以放電棒端部抵于凹槽封閉端，以調(diào)校放電棒伸出于放電棒固定部的長度； 配置該導(dǎo)氣管于放電棒固定部上，該導(dǎo)氣管包覆該放電棒，且使導(dǎo)氣管與熱壓板保持一間隙； 校正該放電棒固定部及該導(dǎo)氣管相對熱壓板的高度，將該調(diào)校量具的第一測量部及第二測量部的第一厚度與第二厚度分別對該放電棒固定部及該導(dǎo)氣管相對熱壓板的高度進(jìn)行校正。
9.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體打線機(jī)臺的調(diào)校量具的調(diào)校方法，其特征在于，該調(diào)校量具的第三測量部上更包括有一擋塊，于對該放電棒進(jìn)行測量調(diào)校時，該第三測量部的擋塊提供該放電棒側(cè)向定位于凹槽內(nèi)。
全文摘要
一種半導(dǎo)體打線機(jī)臺的調(diào)校量具及調(diào)校量具的使用方法，調(diào)校量具主要包括具第一厚度的第一測量部、具第二厚度的第二測量部及具第三厚度的第三測量部，第三測量部上表面設(shè)置有一凹槽，且第三厚度大于第二厚度，而第二厚度大于第一厚度；通過上述調(diào)校量具不同厚度的結(jié)構(gòu)，于進(jìn)行半導(dǎo)體打線機(jī)臺的調(diào)校時，可以達(dá)到多種調(diào)校用途，并能大幅縮短調(diào)校時間、增加使用上的便利以及降低量具成本的功效。
文檔編號H01L21/60GK102620624SQ20111009368
公開日2012年8月1日 申請日期2011年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月26日
發(fā)明者劉志益, 賴柏蒼, 邱政中 申請人:南茂科技股份有限公司