專利名稱：噴嘴浸泡裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體工藝裝置，尤其涉及一種噴嘴浸泡裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制造工藝中，在光刻掩膜形成的步驟中，需要對晶圓或掩膜上涂抹一層物 質(zhì)，如光刻膠等，然后對晶圓進(jìn)行下一步處理，涂抹所述物質(zhì)通常是采用噴嘴對晶圓進(jìn)行噴 涂，現(xiàn)有技術(shù)中的噴嘴為長條形結(jié)構(gòu)或圓柱形結(jié)構(gòu)，包括外部固定裝置和多個的噴頭，所述 外部固定裝置下固定設(shè)置所述噴頭上。在光刻掩膜形成的步驟中，將所述噴嘴對準(zhǔn)晶圓，勻 速運動的同時進(jìn)行均勻噴涂。然而，在長時間使用后，所述噴嘴的噴頭中會有很多殘留物， 殘留物會阻塞噴頭，使噴涂到晶圓上物質(zhì)不均勻，會對后續(xù)工藝造成影響，甚至損壞晶圓。為了保證光刻掩膜步驟的順利進(jìn)行，需要定期清潔噴嘴。普通的清洗可以是直接 對噴嘴進(jìn)行擦拭，不需拆卸噴嘴，但長時間使用后，擦洗不到的污垢長期堆積在噴嘴內(nèi)部， 這時普通的擦拭就不能徹底清洗噴嘴了，就需要必要的浸泡，現(xiàn)有技術(shù)中是將噴嘴從固定 裝置上全部拆卸下來，再將噴嘴放到清洗池中用化學(xué)物質(zhì)進(jìn)行浸泡，達(dá)到徹底清除噴嘴上 的污垢。然而，現(xiàn)有技術(shù)中拆卸噴嘴、浸泡噴嘴的清洗步驟會產(chǎn)生以下幾個問題1、安裝噴 嘴的工序非常復(fù)雜，每次清洗都要拆卸和重新安裝，故清洗過程浪費時間，降低效率；2、所 述噴嘴的噴頭非常脆弱，在拆卸安裝的過程中非常容易收到損壞；3、所述噴嘴安裝到固定 裝置時需要對準(zhǔn)安裝基線，由于安裝工序復(fù)雜，會造成固定裝置沒有對準(zhǔn)基線，一旦沒有對 準(zhǔn)，就會使所述噴嘴的噴出的物質(zhì)不均勻，影響后續(xù)工藝，甚至造成損失。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是，提供一種在清洗噴嘴過程中不需要拆卸就可以 浸泡噴嘴的裝置。為解決上述問題，本實用新型提供一種噴嘴浸泡裝置，包括保護槽、設(shè)置在所述保 護槽底面的突起，所述突起的突出方向為與所述保護槽的開口方向相反，所述保護槽底面 設(shè)有一外凸的突起，所述突起與保護槽為一體成型，所述突起內(nèi)設(shè)有浸泡槽，所述浸泡槽與 所述保護槽相通，所述浸泡槽與所述噴嘴相適配。進(jìn)一步的，所述噴嘴浸泡裝置的橫截面呈倒“凸”字形結(jié)構(gòu)。較佳的，所述保護槽的垂直截面為梯形，所述浸泡槽的垂直截面為梯形。可選的，所述保護槽的水平橫截面為矩形，所述浸泡槽的水平橫截面為矩形?？蛇x的，所述保護槽的水平橫截面為圓形，所述噴嘴槽的水平橫截面為圓形。進(jìn)一步的，所述噴嘴浸泡裝置的材料為塑料。可選的，所述噴嘴浸泡裝置的材料為聚氯乙烯、聚苯醚(PPE)、聚四氟乙烯、聚片氯 乙烯。進(jìn)一步的，所述噴嘴浸泡裝置上還設(shè)置有固定裝置，所述固定裝置用于將所述噴嘴固定在所述噴嘴浸泡裝置上。較佳的，所述固定裝置為螺母機構(gòu)。綜上所述，本實用新型提供了一種噴嘴浸泡裝置，所述清洗裝置可以直接對準(zhǔn)所 述噴頭，將噴頭浸泡在清洗液中，從而所述噴嘴浸泡步驟不需要將所述噴嘴從固定裝置上 拆卸下來，即可直接清洗所述噴嘴，從而避免在安裝拆卸所述噴嘴時對噴嘴造成的損壞，以 及因安裝誤差造成噴嘴噴射不均勻?qū)A造成的影響。此外，所述噴嘴浸泡裝置的結(jié)構(gòu)簡單，且采用塑料材料，塑料材料的硬度比噴嘴 低，不易因為觸碰損傷噴嘴，同時塑料為常見材料，故成本低，故易于制作。

圖1為本實用新型中噴嘴一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實用新型一實施例中噴嘴浸泡裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實用新型中噴嘴浸泡裝置一實施例的沿AB的縱向橫截面的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本實用新型中噴嘴浸泡裝置一實施例的水平橫截面的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本實用新型中噴嘴另一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖6為本實用新型中噴嘴浸泡裝置另一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為使本實用新型的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本實用新型的內(nèi) 容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本實用新型并不局限于該具體實施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知 的一般替換也涵蓋在本實用新型的保護范圍內(nèi)。其次，本實用新型利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的表述，在詳述本實用新型實例時，為了 便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對本實用新型的限定。圖2為本實用新型一實施例中噴嘴浸泡裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。結(jié)合圖2，本實用新型 提供一種噴嘴浸泡裝置，包括保護槽11、設(shè)置在所述保護槽11底面的突起，所述突起的突 出方向為與所述保護槽11的開口方向相反，所述突起與保護槽11為一體成型，所述突起內(nèi) 設(shè)有浸泡槽13，所述浸泡槽13與所述保護槽11相通，所述浸泡槽13與所述噴嘴相適配。圖1為本實用新型中噴嘴一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，結(jié)合圖1和圖2，所述噴嘴為 長條形結(jié)構(gòu)，所述噴嘴包括噴頭20a和外部保護裝置20b，所述浸泡槽13與所述噴嘴相適 配，所述浸泡槽13的深度略大與所述噴嘴的噴頭20a的高度，所述浸泡槽13的寬度和長度 均略大于所述噴頭20a的寬度和高度，所述保護槽11與外部保護裝置20b相適配，這樣當(dāng) 將所述噴頭20a放入所述浸泡槽13時，所述噴頭20a不會因觸碰到所述浸泡槽13而損壞， 從而在清洗過程中，保護噴嘴20不被損壞。圖3為本實用新型中噴嘴浸泡裝置一實施例的沿AB的縱向橫截面的結(jié)構(gòu)示意 圖。。結(jié)合圖4和圖1，進(jìn)一步的，所述噴嘴浸泡裝置的橫截面，即沿圖3中AB方向的截面呈 倒“凸”字形結(jié)構(gòu)。所述浸泡槽13底面的尺寸小于所述保護槽11底面的尺寸，故在所述浸 泡槽13與所述保護槽11的交界處形成有臺階，所述臺階使所述噴嘴上方的固定裝置20b 卡在所述臺階處，控制所述噴頭20a浸沒在浸泡槽13的深度，使噴頭20a不會觸碰到所述 浸泡槽13的地步，進(jìn)一步保護所述噴嘴不損壞。較佳的，所述保護槽的垂直截面為梯形，所述浸泡槽的垂直截面為梯形，保護槽和浸泡槽的橫截面均可設(shè)計為梯形，進(jìn)一步為小角度 的梯形，可以方便對噴嘴進(jìn)行浸泡時裝置的安裝和定位準(zhǔn)確?？蛇x的的，圖4為本實用新型中噴嘴浸泡裝置一實施例的水平橫截面的結(jié)構(gòu)示意 圖，結(jié)合圖4，所述保護槽11的水平橫截面為矩形，所述浸泡槽13的水平橫截面為矩形，上 述噴嘴浸泡裝置的實施例為針對長條形噴嘴設(shè)計的，所述噴嘴浸泡裝置的形狀根據(jù)噴嘴的 形狀所作的改變均為本是實施例中的思想范圍?？蛇x的，圖5為本實用新型中噴嘴另一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖5所示，所述 噴嘴20的噴頭20a為圓柱形，所述噴嘴20的所述外部固定裝置20b亦為圓柱形。圖6為 本實用新型中噴嘴浸泡裝置另一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，針對上述圖5所述的噴嘴形狀，設(shè) 計如圖6所示噴嘴浸泡裝置形狀，即所述保護槽11的水平橫截面為圓形，所述噴嘴槽13的 水平橫截面為圓形。此外，所述噴嘴浸泡裝置其他類似形狀的改變也在本是實施例的思想 范圍內(nèi)。進(jìn)一步的，所述噴嘴浸泡裝置的材料為塑料。在清洗過程中，需要用化學(xué)物質(zhì)，例 如IPA(異丙烯基乙炔)等物質(zhì)進(jìn)行清洗，具有腐蝕性，故成本低廉、耐腐蝕較好的塑料為所 述噴嘴浸泡裝置的較佳材料，可選的，所述噴嘴浸泡裝置的材料為聚氯乙烯、聚苯醚(PPE)、 聚四氟乙烯、聚片氯乙烯等。進(jìn)一步的，所述噴嘴浸泡裝置上還設(shè)置有固定裝置15，所述固定裝置15用于將所 述噴嘴固定在所述噴嘴浸泡裝置上。在浸泡時可以利用所述固定裝置15將所述噴嘴固定 連接在所述噴嘴浸泡裝置上，則在浸泡過程中不需要人監(jiān)護或操作了。較佳的，所述固定裝 置15為螺母機構(gòu)，所述螺母機構(gòu)包括螺孔和螺絲，兩個所述螺孔對稱固定于所述噴嘴浸泡 裝置對邊的上沿，此外在所述噴嘴固定裝置相應(yīng)的位置上開設(shè)孔腔，此外還可以為膠帶粘 貼固定。本實用新型的使用步驟如下，將清洗液，如IPA倒入所述噴嘴浸泡裝置中，然后將 所述噴嘴浸泡裝置對準(zhǔn)所述噴嘴，將所述噴嘴的噴頭20a浸沒入所述浸泡槽后，固定所述 噴嘴浸泡裝置，待浸泡一段時間取下所述噴嘴浸泡裝置，對所述噴嘴20進(jìn)行適當(dāng)?shù)臎_洗， 即完成沖洗過程。綜上所述，本實用新型提供了一種噴嘴浸泡裝置，所述噴嘴浸泡裝置可以直接對 準(zhǔn)所述噴頭，將噴頭浸泡在清洗液中，從而所述噴嘴浸泡步驟不需要將所述噴嘴從固定裝 置上拆卸下來，即可直接浸泡所述噴嘴，去除所述噴嘴上的污垢，從而避免在安裝拆卸所述 噴嘴時對噴嘴造成的損壞，以及因安裝誤差造成噴嘴噴射不均勻?qū)A造成的影響。此外，所述噴嘴浸泡裝置的結(jié)構(gòu)簡單，且采用塑料材料，塑料材料的硬度比噴嘴 低，不易因為觸碰損傷噴嘴，同時塑料為常見材料，故成本低，故易于制作。雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本實用新型，任何 所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更 動與潤飾，因此本實用新型的保護范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種噴嘴浸泡裝置，其特征在于，包括保護槽、設(shè)置在所述保護槽底面的突起，所述 突起的突出方向為與所述保護槽的開口方向相反，所述突起與保護槽為一體成型，所述突 起內(nèi)設(shè)有浸泡槽，所述浸泡槽與所述保護槽相通，所述浸泡槽與所述噴嘴相適配。
2.如權(quán)利要求1所述的噴嘴浸泡裝置，其特征在于，所述噴嘴浸泡裝置的垂直截面呈 倒“凸”字形結(jié)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求2所述的噴嘴浸泡裝置，其特征在于，所述保護槽的垂直截面為梯形，所 述浸泡槽的垂直截面為梯形。
4.如權(quán)利要求2所述的噴嘴浸泡裝置，其特征在于，所述保護槽的水平橫截面為矩形， 所述浸泡槽的水平橫截面為矩形。
5.如權(quán)利要求2中所述的噴嘴浸泡裝置，其特征在于，所述保護槽的水平橫截面為圓 形，所述噴嘴槽的水平橫截面為圓形。
6.如權(quán)利要求1至5中任意一項所述的噴嘴浸泡裝置，其特征在于，所述噴嘴浸泡裝置 的材料為塑料。
7.如權(quán)利要求6所述的噴嘴浸泡裝置，其特征在于，所述噴嘴浸泡裝置的材料為聚氯 乙烯、聚苯醚(PPE)、聚四氟乙烯、聚片氯乙烯。
8.如權(quán)利要求1至5中任意一項所述的噴嘴浸泡裝置，其特征在于，所述噴嘴浸泡裝置 上還設(shè)置有固定裝置，所述固定裝置用于將所述噴嘴固定在所述浸泡裝置上。
9.如權(quán)利要求8所述的噴嘴浸泡裝置，其特征在于，所述固定裝置為螺母機構(gòu)。
專利摘要本實用新型提供一種噴嘴浸泡裝置，包括保護槽，所述保護槽底面設(shè)有一外凸的突起，所述突起與保護槽為一體成型，所述突起內(nèi)設(shè)有浸泡槽，所述浸泡槽與所述保護槽相通，所述浸泡槽與所述噴嘴相適配。綜上所述，所述清洗裝置可以直接對準(zhǔn)所述噴頭，將噴頭浸泡在清洗液中，從而所述噴嘴浸泡步驟不需要將所述噴嘴從固定裝置上拆卸下來，即可直接清洗所述噴嘴，從而避免在安裝拆卸所述噴嘴時對噴嘴造成的損壞，以及因安裝誤差造成噴嘴噴射不均勻?qū)A造成的影響。此外，所述噴嘴浸泡裝置的結(jié)構(gòu)簡單，且采用塑料材料，塑料材料的硬度比噴嘴低，不易因為觸碰損傷噴嘴，同時塑料為常見材料，故成本低，故易于制作。
文檔編號H01L21/31GK201898116SQ20102050627
公開日2011年7月13日 申請日期2010年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月26日
發(fā)明者付國亮, 袁剛 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司, 武漢新芯集成電路制造有限公司