專利名稱：一種引束時(shí)更換菜單的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及離子注入機(jī)引束時(shí)更換菜單的控制方法。特別涉及半導(dǎo)體制造離子注入工藝中所用的離子注入機(jī)，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體集成電路制造工藝已發(fā)展到12英寸晶片、納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)時(shí)期。隨著晶圓片尺寸越來越大，單元器件尺寸越來越小，對半導(dǎo)體工藝設(shè)備的性能要求也就越來越高。離子注入機(jī)是半導(dǎo)體集成電路器件制造工藝中必不可少的關(guān)鍵設(shè)備。為了提高離子注入機(jī)的性能，使其滿足現(xiàn)代大晶圓片、納米器件生產(chǎn)工藝的要求和適應(yīng)將來半導(dǎo)體工藝技術(shù)的發(fā)展， 必須要開發(fā)高效的全自動(dòng)控制系統(tǒng)。在生產(chǎn)芯片時(shí)，不可避免的要制作不同離子，不同要求工藝的芯片。這時(shí)，需要對引出束流進(jìn)行菜單切換。為了能夠更快，污染最小的完成此項(xiàng)功能，必須對更換菜單的流程算法進(jìn)行統(tǒng)籌。一般的更換菜單的方法，不會對更換后菜單作出任何判斷，只是單純的將前次所引束流停掉，重新引更換后的菜單。這樣造成了時(shí)間的浪費(fèi)，并且不能保證無污染的進(jìn)行。 結(jié)果導(dǎo)致生產(chǎn)效率不高，甚至造成芯片的污染。本發(fā)明的一種引束時(shí)更換菜單的方法，提出一種全新的更換菜單的方法，應(yīng)用此方法可減少更換菜單時(shí)的引出目標(biāo)束流的時(shí)間消耗，并且能夠減少更換氣體帶來的污染， 在實(shí)際生產(chǎn)中可以提高生產(chǎn)效率，很有意義。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明一種引束時(shí)更換菜單的方法，主要是為了更快、更高效的完成菜單切換的功能而提出的一種方法。本發(fā)明通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)一種引束時(shí)更換菜單的方法，具體步驟如下1.當(dāng)接收到了更換菜單的命令后(1)，則判斷當(dāng)前菜單名稱，與更換后的菜單名稱是否一致(2)。2.如果當(dāng)前菜單名稱與更換后的菜單名稱一致(3)1)首先比較當(dāng)前不可調(diào)電源設(shè)定值與更換菜單值是否做過更改(5)，如果做過更改(7)，則將菜單值設(shè)置給各個(gè)電源(19)，然后進(jìn)行起弧引束(20)，然后進(jìn)行束流均勻性檢測⑶。2)比較當(dāng)前不可調(diào)電源設(shè)定值與菜單值是否做過更改(5)，如果未做過更改(6)， 則直接進(jìn)行束流均勻性檢測(8).3)做完束流均勻性檢測(8)后，判斷均勻性是否符合標(biāo)準(zhǔn)(9)。a)如果符合標(biāo)準(zhǔn)(10)，則引束完成退出(11)。b)如果不符合標(biāo)準(zhǔn)(12)，則判斷是否調(diào)節(jié)過可變電源(13)，如果調(diào)節(jié)過(14)，則引束不成功，報(bào)錯(cuò)退出(15)；如果未調(diào)節(jié)過(16)，則調(diào)節(jié)可調(diào)電源(17)，然后再做均勻性檢測⑶。3.如果當(dāng)前菜單名稱與更換后的菜單名稱不一致1)進(jìn)行更換菜單引束前處理(18)。a)接收到更換菜單引束前處理命令后，首先將引出電流設(shè)置到0.5AQ2)。這樣可以杜絕再操作其他電源時(shí)發(fā)生電源打火的現(xiàn)象。b)判斷當(dāng)前引出的氣體是否與更換菜單氣體一致03)。如果一致07)則直接進(jìn)行能量模式的判斷( )。如果不一致(M)，則需要停掉當(dāng)前所引的氣體，并等待30秒05)， 這樣可以將管道和離子源中的剩余氣體充分清除掉。選擇更換菜單中的氣體06)。待選擇后進(jìn)行能量模式的判斷08)。c)判斷當(dāng)前所應(yīng)用的能量模式是否與更換菜單時(shí)的能量模式一致08)。如果一致( )，則預(yù)備工作完成，退出(30)。如果不一致(31)，則首先關(guān)掉加速，減速電源(32)， 然后將能量模式更改為菜單中的模式(33)，然后完成，退出(30)。2)將菜單值設(shè)置給各個(gè)電源(19)，然后進(jìn)行起弧引束(20)，然后進(jìn)行束流均勻性檢測⑶。3)做完束流均勻性檢測⑶后，判斷均勻性是否符合標(biāo)準(zhǔn)(9)。a)如果符合標(biāo)準(zhǔn)(10)，則引束完成退出(11)。b)如果不符合標(biāo)準(zhǔn)(12)，則判斷是否調(diào)節(jié)過可變電源(13)，如果調(diào)節(jié)過(14)，則引束不成功，報(bào)錯(cuò)退出(15)；如果未調(diào)節(jié)過(16)，則調(diào)節(jié)可調(diào)電源(17)，然后再做均勻性檢測⑶。本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點(diǎn)1.減少了菜單更換所需要的時(shí)間。2.減少了菜單更換對產(chǎn)品造成的污染。


圖1為菜單更換流程說明圖。圖2為更換菜單引束預(yù)處理說明圖。本發(fā)明的特定實(shí)施例已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動(dòng)，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求
1.一種引束時(shí)更換菜單的方法，其特征在于該方法分成了兩個(gè)部分進(jìn)行處理，即當(dāng)前菜單與更換菜單一致C3)和當(dāng)前菜單與更換菜單不一致G)，判斷的依據(jù)是菜單名稱是否一致O)。此處所做的判斷為后續(xù)的細(xì)節(jié)處理提供了一個(gè)基礎(chǔ)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種引束時(shí)更換菜單的方法，其特征在于當(dāng)前菜單與更換菜單一致(3)時(shí)，需要判斷各個(gè)不可調(diào)電源的設(shè)定值與更換菜單中的值是否有更改(5)，根據(jù)結(jié)果再進(jìn)行不同處理。
3.如權(quán)利要求1所述的一種引束時(shí)更換菜單的方法，其特征在于當(dāng)前菜單與更換菜單不一致時(shí)，需要做更換菜單引束前處理(18)。
4.如權(quán)利要求1所述的一種引束時(shí)更換菜單的方法，其特征在于做更換菜單引束前處理的第一步，是將引出電流值降低到一個(gè)比較小的值0幻。這樣可以避免電源出現(xiàn)打火現(xiàn)象。
5.如權(quán)利要求1所述的一種引束時(shí)更換菜單的方法，其特征在于需要判斷當(dāng)前所引出的氣體與更換菜單氣體是否一致03)。需要根據(jù)判斷結(jié)果作出不同的處理。
6.如權(quán)利要求1所述的一種引束時(shí)更換菜單的方法，其特征在于當(dāng)發(fā)現(xiàn)所引出的氣體與更換菜單氣體不一致時(shí)(對)，需要停掉當(dāng)前所引出的氣體，并等待至少30秒05)，以此來保證離子源中氣體的純凈度。
7.如權(quán)利要求1所述的一種引束時(shí)更換菜單的方法，其特征在于當(dāng)發(fā)現(xiàn)均勻性檢測不符合標(biāo)準(zhǔn)時(shí)(12)，會再次判斷各項(xiàng)可調(diào)電源是否調(diào)節(jié)過(13)，然后根據(jù)結(jié)果進(jìn)行不同處理。
全文摘要
本發(fā)明闡述了一種引束時(shí)更換菜單的方法，控制離子注入機(jī)引束時(shí)需要進(jìn)行菜單更換，從而進(jìn)行另一次引束的過程。本方法涉及離子注入機(jī)，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。本方法可以分成兩個(gè)小的部分討論，即附圖中的步驟(3)更換菜單與當(dāng)前菜單一致和步驟(4)更換菜單與當(dāng)前菜單不一致。通過分析這兩種方式的不同以及對當(dāng)前不同作出判斷，然后操作各項(xiàng)電源包括氣箱，以達(dá)到快速，無污染的更換菜單及束流的目的。
文檔編號H01L21/00GK102569014SQ201010622169
公開日2012年7月11日 申請日期2010年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月27日
發(fā)明者周文龍, 孫勇, 林萍, 鄧穎輝, 黃永章 申請人:北京中科信電子裝備有限公司