專利名稱：便于拆裝的防漏盤的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種便于拆裝的防漏盤。
背景技術(shù)：
現(xiàn)在，晶圓廠(Fab)內(nèi)機臺的附屬設(shè)備上方通常設(shè)有防漏盤，以防止水滴入所述 附屬設(shè)備內(nèi)。請參閱圖l，圖l所示為現(xiàn)有的防漏盤的結(jié)構(gòu)示意圖。所述防漏盤是由側(cè)板l 和底板2合圍組成的凹槽體，所述底板1的下方設(shè)有四個支撐腿4，且所述底板2上設(shè)有漏 水孔21，所述漏水孔21下接排水管3。由于這些附屬設(shè)備的頂部通常都有電纜或管子進出， 因此，在所述防漏盤的底板2上設(shè)有向上的凸部，所述凸部和底板具有貫通的通孔22，該通 孔22供所述電纜或管子進出。 然而，其中，有些機臺的附屬設(shè)備需要做定期的維護。設(shè)備工程師在做維護的時 候，只有把防漏盤取下，才能進行維護工作。由于附屬設(shè)備頂部有電纜或管子進出，這些電 纜或管子穿經(jīng)所述防漏盤的通孔，使得防漏盤安裝到附屬設(shè)備后就不能取下來。如果需要 把安裝在附屬設(shè)備頂部的防漏盤取下來，必須得通知廠商把防漏盤沿通孔處切開，方可取 下防漏盤。當(dāng)維護工作完成后，再通過焊條將防漏盤補焊恢復(fù)。然而，在切割防漏盤的過程 中，容易造成防漏盤破損。切開和補焊的過程也會使得維護費用增加，同時也降低了設(shè)備的 維護效率。 因此，如何提供一種便于拆裝的防漏盤是本領(lǐng)域的技術(shù)人員亟待解決的一個技術(shù) 問題。
實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種便于拆裝的防漏盤，使其能夠靈活的 拆裝，便于設(shè)備維護。 為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案 —種便于拆裝的防漏盤，包括可拆裝的兩個防漏盤分體，所述防漏盤分體是由若 干側(cè)板和一底板合圍成的凹槽體，所述側(cè)板中包括一具有內(nèi)凹圓弧段的對接側(cè)板，當(dāng)兩個 防漏盤分體的對接側(cè)板拼合在一起時，所述內(nèi)凹圓弧段連接形成一個通孔，所述防漏盤還 設(shè)有用于鎖定所述兩個防漏盤分體的鎖定機構(gòu)。 在上述的便于拆裝的防漏盤中，所述對接側(cè)板由前直板、內(nèi)凹圓弧板和后直板依 次連接而成。 在上述的便于拆裝的防漏盤中，所述鎖定機構(gòu)有兩個，當(dāng)兩個防漏盤分體的對接 側(cè)板拼合在一起時， 一個鎖住兩個防漏盤分體的對應(yīng)的前直板，另一個鎖住兩個防漏盤分 體的對應(yīng)的后直板。 在上述的便于拆裝的防漏盤中，所述鎖定機構(gòu)為縱向開槽口的圓管，當(dāng)兩個防漏 盤分體的對接側(cè)板拼合在一起時，所述對應(yīng)的前直板或?qū)?yīng)的后直板分別插置于所述槽口 內(nèi)。[0011] 在上述的便于拆裝的防漏盤中，所述圓管的長度分別與所述前直板或后直板的長 度相對應(yīng)。 在上述的便于拆裝的防漏盤中，所述底板上開有漏水孔，所述漏水孔下接排水管。 在上述的便于拆裝的防漏盤中，所述內(nèi)凹圓弧段為半圓。 在上述的便于拆裝的防漏盤中，所述底板下方分別設(shè)有若干支撐腿。 在上述的便于拆裝的防漏盤中，所述支撐腿為四根。 在上述的便于拆裝的防漏盤中，所述防漏盤的材質(zhì)為聚丙烯。 本實用新型的有益效果如下 本實用新型便于拆裝的防漏盤，通過將傳統(tǒng)的安裝在機臺附屬設(shè)備上固定而不能 移動的防漏盤進行分體制造，并進行可拆裝式連接，從而可以在這些附屬設(shè)備需要維護時， 不需要切割防漏盤，就可以將防漏盤從附屬設(shè)備上方取下來，從而免去了防漏盤的切割和 補焊工作，不但免去了切割和補焊產(chǎn)生的費用，同時有效提高了附屬設(shè)備的維護效率。
本實用新型的便于拆裝的防漏盤由以下的實施例及附圖給出。
圖1是現(xiàn)有的防漏盤的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本實用新型便于拆裝的防漏盤的分離狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是本實用新型便于拆裝的防漏盤的組合狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖中，l-側(cè)板(含對接側(cè)板)、11_前直板、12-內(nèi)凹圓弧板(即內(nèi)凹圓弧段)、
13-后直板、2-底板、21-漏水孔、22-通孔，3-排水管、4-支撐腿、5_鎖定機構(gòu)。
具體實施方式以下將對本實用新型的便于拆裝的防漏盤作進一步的詳細描述。 下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選
實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現(xiàn)本實用新型
的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對
本實用新型的限制。 為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能 和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認為在任何實際實施例 的開發(fā)中，必須作出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商 業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當(dāng)認為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和 耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。 為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實 施方式作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。 本實用新型的核心思想通過將傳統(tǒng)的安裝在機臺附屬設(shè)備上固定而不能移動的 防漏盤進行分體制造，并進行可拆裝式連接，從而可以在這些附屬設(shè)備需要維護時，不需要 切割防漏盤，就可以將防漏盤從附屬設(shè)備上方取下來，從而免去了防漏盤的切割和補焊工 作，不但免去了切割和補焊產(chǎn)生的費用，同時有效提高了附屬設(shè)備的維護效率。[0029] 請參閱圖2和圖3，圖2是本實用新型便于拆裝的防漏盤的分離狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意 圖；圖3是本實用新型便于拆裝的防漏盤的組合狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖。 這種便于拆裝的防漏盤，包括可拆裝的兩個防漏盤分體。所述防漏盤分體是由若 干側(cè)板1和一底板2合圍成的凹槽體。所述側(cè)板1中包括一具有內(nèi)凹圓弧段的對接側(cè)板1， 所述對接側(cè)板l由前直板11、內(nèi)凹圓弧板12(即內(nèi)凹圓弧段12)和后直板13依次連接而 成。當(dāng)兩個防漏盤分體的對接側(cè)板1拼合在一起時，所述內(nèi)凹圓弧段12連接形成一個通孔 22，該通孔22供附屬設(shè)備頂部的電纜或管子進出。本實施例中，所述內(nèi)凹圓弧段12為半圓 形。另外，所述防漏盤還設(shè)有用于鎖定所述兩個防漏盤分體的鎖定機構(gòu)5。 所述鎖定機構(gòu)5有兩個，當(dāng)兩個防漏盤分體的對接側(cè)板拼合在一起時，一個鎖住 所述兩個防漏盤分體的對應(yīng)的(即對接的)前直板ll，另一個鎖住所述兩個防漏盤分體的 對應(yīng)的(即對接的)后直板13。所述鎖定機構(gòu)5為縱向開槽口的圓管，當(dāng)兩個防漏盤分體 的對接側(cè)板拼合在一起時，所述對應(yīng)的前直板11或?qū)?yīng)的后直板13分別插置于各自鎖定 機構(gòu)5的槽口內(nèi)。所述圓管的長度分別與所述前直板11或后直板13的長度相對應(yīng)。 所述底板2上開有漏水孔21，所述漏水孔21下接排水管3。該防漏盤接到的水經(jīng) 漏水孔21及排水管3排出。 所述底板2下方分別設(shè)有若干支撐腿4。通過支承腿4使得防漏盤安裝在機臺附 屬設(shè)備的上方。所述支撐腿4為四根。 所述防漏盤的材質(zhì)為聚丙烯。用聚丙烯制成的防漏盤具有無毒、無味，密度小、耐 腐蝕和絕緣性高等優(yōu)點。 本實用新型中的便于拆裝的防漏盤可以一體成型制成，也可以通過原來的防漏盤 改裝而成。改裝方法如下首先，將傳統(tǒng)的防漏盤，沿通孔的中心線切開，將防漏盤分成兩 部分即兩個防漏盤分體。然后，在每個防漏盤分體的被切割面上安裝封邊板(即前直板和 后直板)。接著，在每個防漏盤分體的底板上安裝兩個支撐腿，使得每個防漏盤分體的底板 上具有四個支撐腿。接著，在沒有漏水孔的防漏盤分體的底板上開設(shè)漏水孔，且在漏水孔下 方安裝排水管。最后，制作鎖定機構(gòu)，將類似排水管的圓管切成所需長度(即長度分別與前 直板和后直板相應(yīng))的兩段，并沿縱向開槽。如此，傳統(tǒng)的防漏盤就改裝成便于拆裝的防漏 本實用新型是這樣工作的 當(dāng)需要將這種便于拆裝的防漏盤安裝到機臺的附屬設(shè)備上方時，先將兩個防漏盤 分體對接的側(cè)板對齊，使得附屬設(shè)備的上方的電纜或管子從兩內(nèi)凹圓弧版組成的通孔中伸 出；然后。將鎖定機構(gòu)分別套置在對接的前直板和后直板上，使得兩個防漏盤分體組合連接 在一起。 當(dāng)機臺的附屬設(shè)備需要維護而需將便于拆裝的防漏盤取下時，只要將鎖定機構(gòu)向 上取走后，就可以將兩個防漏盤分體分開，從而順利地將防漏盤從機臺的附屬設(shè)備上方取 下來，操作非常方便。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及 其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求一種便于拆裝的防漏盤，其特征在于，包括可拆裝的兩個防漏盤分體，所述防漏盤分體是由若干側(cè)板和一底板合圍成的凹槽體，所述側(cè)板中包括一具有內(nèi)凹圓弧段的對接側(cè)板，當(dāng)兩個防漏盤分體的對接側(cè)板拼合在一起時，所述內(nèi)凹圓弧段連接形成一個通孔，所述防漏盤還設(shè)有用于鎖定所述兩個防漏盤分體的鎖定機構(gòu)。
2. 如權(quán)利要求1所述的便于拆裝的防漏盤，其特征在于，所述對接側(cè)板由前直板、內(nèi)凹 圓弧板和后直板依次連接而成。
3. 如權(quán)利要求2所述的便于拆裝的防漏盤，其特征在于，所述鎖定機構(gòu)有兩個，當(dāng)兩個 防漏盤分體的對接側(cè)板拼合在一起時， 一個鎖住兩個防漏盤分體的對應(yīng)的前直板，另一個 鎖住兩個防漏盤分體的對應(yīng)的后直板。
4. 如權(quán)利要求3所述的便于拆裝的防漏盤，其特征在于，所述鎖定機構(gòu)為縱向開槽口 的圓管，當(dāng)兩個防漏盤分體的對接側(cè)板拼合在一起時，所述對應(yīng)的前直板或?qū)?yīng)的后直板 分別插置于所述槽口內(nèi)。
5. 如權(quán)利要求4所述的便于拆裝的防漏盤，其特征在于，所述圓管的長度分別與所述 前直板或后直板的長度相對應(yīng)。
6. 如權(quán)利要求1所述的便于拆裝的防漏盤，其特征在于，所述底板上開有漏水孔，所述 漏水孔下接排水管。
7. 如權(quán)利要求1所述的便于拆裝的防漏盤，其特征在于，所述內(nèi)凹圓弧段為半圓。
8. 如權(quán)利要求1所述的便于拆裝的防漏盤，其特征在于，所述底板下方分別設(shè)有若干 支撐腿。
9. 如權(quán)利要求8所述的便于拆裝的防漏盤，其特征在于，所述支撐腿為四根。
10. 如權(quán)利要求1所述的便于拆裝的防漏盤，其特征在于，所述防漏盤的材質(zhì)為聚丙烯。
專利摘要本實用新型公開了一種便于拆裝的防漏盤，包括可拆裝的兩個防漏盤分體，所述防漏盤分體是由若干側(cè)板和一底板合圍成的凹槽體，所述側(cè)板中包括一具有內(nèi)凹圓弧段的對接側(cè)板，當(dāng)兩個防漏盤分體的對接側(cè)板拼合在一起時，所述內(nèi)凹圓弧段連接形成一個通孔，所述防漏盤還設(shè)有用于鎖定所述兩個防漏盤分體的鎖定機構(gòu)。通過將傳統(tǒng)的安裝在機臺附屬設(shè)備上固定而不能移動的防漏盤進行分體制造，并進行可拆裝式連接，從而可以在這些附屬設(shè)備需要維護時，不需要切割防漏盤，就可以將防漏盤從附屬設(shè)備上方取下來，從而免去了防漏盤的切割和補焊工作，不但免去了切割和補焊產(chǎn)生的費用，同時有效提高了附屬設(shè)備的維護效率。
文檔編號H01L21/00GK201532939SQ20092021401
公開日2010年7月21日 申請日期2009年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月20日
發(fā)明者汪建德, 盛春賢 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司