專利名稱：一種硅料轉(zhuǎn)籃的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及承載裝置，尤其涉及一種用于硅料腐蝕、清洗設(shè)備中的硅料轉(zhuǎn)籃。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體硅片廣泛應(yīng)用于電子、通信和IT等行業(yè)。制作硅片的硅料通常需要進(jìn)行腐 蝕、清洗等前序工藝的處理。在傳統(tǒng)的前序工藝處理中，原有硅料的盛載籃大多為方籃機(jī) 構(gòu)，硅料直接置于方籃(或分層置于方籃)中，硅料在工序處理中無(wú)法做到翻動(dòng)，而改變接 觸點(diǎn)，因此，對(duì)于硅料的腐蝕和清洗是不完全的。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為了解決上述的技術(shù)問(wèn)題，提供一種可以保證硅料在前序工序處理中 能夠翻動(dòng)、腐蝕更完全、更徹底的硅料轉(zhuǎn)籃。 為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是構(gòu)造一種硅料轉(zhuǎn)籃，其特包括轉(zhuǎn) 筒、設(shè)于該轉(zhuǎn)筒壁體上的通孔、設(shè)于該轉(zhuǎn)筒壁體上的進(jìn)料口、分別設(shè)于轉(zhuǎn)筒兩端的吊軸。 較優(yōu)的，所述的轉(zhuǎn)筒可以為圓柱體，也可以是正多邊形柱體。 本實(shí)用新型將硅料盛載籃設(shè)置成圓柱體或正多邊形柱體。在對(duì)硅料進(jìn)行前序工藝 的腐蝕、清洗處理時(shí)，采用圓周面或側(cè)面的方式先將硅料放入轉(zhuǎn)籃，再將該轉(zhuǎn)籃置于轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī) 構(gòu)上。該轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)由平行設(shè)置的可以同向轉(zhuǎn)動(dòng)的兩根轉(zhuǎn)軸5構(gòu)成(參閱

圖1和圖2)。將轉(zhuǎn) 籃的軸線平行轉(zhuǎn)軸軸線放置于轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上，隨著轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的兩根轉(zhuǎn)軸的同向轉(zhuǎn)動(dòng)；轉(zhuǎn)籃便 繞自身的軸線作與轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)向相反的轉(zhuǎn)動(dòng)。如此可以保證硅料在轉(zhuǎn)籃中的翻動(dòng)，以致硅料腐 蝕和清洗的更完全、更徹底。根據(jù)需要，還可以改變轉(zhuǎn)籃的轉(zhuǎn)動(dòng)方向，以達(dá)到最佳效果。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說(shuō)明，其中 圖1為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例處于轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的示意圖； 圖2為圖1的側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式如圖l和圖2所示，為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的基本結(jié)構(gòu)，所述的一種硅料轉(zhuǎn)籃， 其包括轉(zhuǎn)筒1，該轉(zhuǎn)筒的壁體上開(kāi)有通孔2，轉(zhuǎn)筒壁體上沿其軸向開(kāi)有用于進(jìn)出硅料的進(jìn)料 口3。還包括分別設(shè)于轉(zhuǎn)筒兩端的吊軸4，用于提吊轉(zhuǎn)籃。本實(shí)施例中，轉(zhuǎn)筒l采用圓柱體 結(jié)構(gòu)，也可以其他采用便于轉(zhuǎn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)，如，可以采用正多邊形柱體。 本實(shí)用新型將硅料盛載籃設(shè)置成圓柱體或正多邊形柱體。在對(duì)硅料進(jìn)行前序工藝 的腐蝕、清洗處理時(shí)，采用圓周面或側(cè)面的方式先將硅料放入轉(zhuǎn)籃，再將該轉(zhuǎn)籃置于轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī) 構(gòu)上。該轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)由平行設(shè)置的可以同向轉(zhuǎn)動(dòng)的兩根轉(zhuǎn)軸5構(gòu)成(參閱圖1和圖2)。將轉(zhuǎn) 籃的軸線平行轉(zhuǎn)軸軸線放置于轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上，隨著轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的兩根轉(zhuǎn)軸的同向轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)籃便繞自身的軸線作與轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)向相反的轉(zhuǎn)動(dòng)。如此可以保證硅料在轉(zhuǎn)籃中的翻動(dòng)，以致硅料腐 蝕和清洗的更完全、更徹底。根據(jù)需要，還可以改變轉(zhuǎn)籃的轉(zhuǎn)動(dòng)方向，以達(dá)到最佳效果。
權(quán)利要求一種硅料轉(zhuǎn)籃，其特征在于，包括壁體上開(kāi)有通孔(2)的轉(zhuǎn)筒(1)、設(shè)于該轉(zhuǎn)筒壁體上的進(jìn)料口(3)、分別設(shè)于轉(zhuǎn)筒兩端的吊軸(4)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的硅料轉(zhuǎn)籃，其特征在于，所述的轉(zhuǎn)筒(1)為圓柱體或正多邊形 柱體。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于硅料腐蝕、清洗設(shè)備中的硅料轉(zhuǎn)籃，其包括壁體上開(kāi)有通孔(2)的轉(zhuǎn)筒(1)、設(shè)于該轉(zhuǎn)筒壁體上的進(jìn)料口(3)、分別設(shè)于轉(zhuǎn)筒兩端的吊軸(4)。本實(shí)用新型將裝有硅料的轉(zhuǎn)籃置于轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上，通過(guò)驅(qū)使轉(zhuǎn)籃的轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)硅料進(jìn)行的翻動(dòng)，以此來(lái)保證硅料在轉(zhuǎn)籃中，腐蝕和清洗的更完全、更徹底。
文檔編號(hào)H01L21/00GK201440407SQ20092013056
公開(kāi)日2010年4月21日 申請(qǐng)日期2009年4月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月10日
發(fā)明者余仲, 黃進(jìn)權(quán) 申請(qǐng)人:深圳市捷佳創(chuàng)精密設(shè)備有限公司