專利名稱:一種波長(zhǎng)可以無(wú)跳模調(diào)諧的半導(dǎo)體激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體激光器,尤其涉及一種波長(zhǎng)可調(diào)諧的半導(dǎo)體激光器。
背景技術(shù):
在干涉測(cè)量、光譜學(xué)、光通信等多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域,都希望能得到無(wú)波長(zhǎng)跳模 的可調(diào)激光源。激光器一般通過(guò)調(diào)節(jié)諧振腔的光學(xué)性質(zhì)來(lái)改變其輸出波長(zhǎng),而 當(dāng)諧振腔光學(xué)特性連續(xù)調(diào)諧時(shí)激光器的激發(fā)模式有時(shí)會(huì)由一個(gè)波長(zhǎng)突然跳躍到 另一個(gè)波長(zhǎng),這就是所謂的跳模。以波長(zhǎng)掃描干涉測(cè)量法為例,跳模對(duì)于距離 測(cè)量的空間分辨率,位置精確度以及其他依賴于距離/深度的特性都會(huì)產(chǎn)生不利 的影響。為了實(shí)現(xiàn)無(wú)跳模波長(zhǎng)調(diào)節(jié),當(dāng)波長(zhǎng)受到一個(gè)波長(zhǎng)選擇因素的影響被調(diào) 諧時(shí),必須使諧振腔的光程長(zhǎng)度也被同步調(diào)節(jié)。以外腔可調(diào)激光器為例,當(dāng)通 過(guò)旋轉(zhuǎn)衍射光柵對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行調(diào)節(jié)時(shí),必須同時(shí)使它產(chǎn)生空間位移以保證總腔長(zhǎng) 中包含相同的波長(zhǎng)數(shù)。
同由多個(gè)分立元件裝配而成的外腔可調(diào)激光器相比,單片集成半導(dǎo)體可調(diào) 激光器具有更多優(yōu)點(diǎn)。它結(jié)構(gòu)緊湊,成本低,而且更可靠,因?yàn)樗鼪]有任何可 移動(dòng)部件。 一個(gè)常規(guī)的單片集成可調(diào)激光器通常包括一個(gè)多電極結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)無(wú) 跳模調(diào)諧。圖1是個(gè)已有技術(shù)的實(shí)例, 一個(gè)半導(dǎo)體可調(diào)激光器由一個(gè)布拉格分
布反射(DBR)光柵(波長(zhǎng)調(diào)諧元件), 一個(gè)有源增益區(qū)(產(chǎn)生激光), 一個(gè)相 移區(qū)(調(diào)節(jié)光學(xué)腔長(zhǎng))組成。用于電控的電極被沉積到這三部分的頂部。當(dāng)DBR 光柵的反射峰值波長(zhǎng)被輸入電流或負(fù)載電壓調(diào)節(jié)時(shí),為了防止隨波長(zhǎng)改變發(fā)生 跳模,必須同時(shí)調(diào)整相移區(qū)。因此,為了實(shí)現(xiàn)無(wú)跳模波長(zhǎng)調(diào)諧,就需要兩個(gè)控 制電路配合工作。對(duì)兩個(gè)控制單元的同步要求使得設(shè)備的復(fù)雜性和成本都有所 增加,并且由于激光器使用年限或者環(huán)境條件等因素的影響要保持同步是非常 困難的。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種波長(zhǎng)可以無(wú)跳模調(diào)諧的 半導(dǎo)體激光器。
本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的 一種波長(zhǎng)可以無(wú)跳模調(diào)諧的 半導(dǎo)體激光器,它包括無(wú)源諧振腔、增益波導(dǎo)和無(wú)源波導(dǎo)。其中,無(wú)源諧振 腔由第三波導(dǎo)和第四波導(dǎo)組成,無(wú)源波導(dǎo)由第一波導(dǎo)和第二波導(dǎo)組成。無(wú)源諧振腔的第三波導(dǎo)和無(wú)源波導(dǎo)的一部分第一波導(dǎo)構(gòu)成一個(gè)折射率可以人為改變的 調(diào)諧區(qū),通過(guò)改變調(diào)諧區(qū)的折射率,可以同時(shí)改變無(wú)源諧振腔的諧振波長(zhǎng)和激 光器的激射波長(zhǎng)。通過(guò)選取第三波導(dǎo)和第一波導(dǎo)的長(zhǎng)度,可以使得當(dāng)調(diào)諧區(qū)折 射率改變時(shí),對(duì)無(wú)源腔諧振波長(zhǎng)的調(diào)諧速率與對(duì)激光器諧振波長(zhǎng)的調(diào)諧速率一 致,從而實(shí)現(xiàn)無(wú)跳模調(diào)諧而無(wú)需任何額外的同步調(diào)諧措施。
進(jìn)一步地,所述無(wú)源諧振腔為無(wú)源環(huán)形諧振腔,所述激光器為與該無(wú)源環(huán) 形諧振腔耦合的帶有增益波導(dǎo)的法布里-泊羅腔。
進(jìn)一步地,所述無(wú)源諧振腔為無(wú)源環(huán)形諧振腔,所述激光器為與該無(wú)源環(huán) 形諧振腔耦合的帶有增益波導(dǎo)的環(huán)形諧振腔。
進(jìn)一步地,所述無(wú)源諧振腔為無(wú)源法布里-泊羅腔,所述激光器為與該無(wú)源 法布里-泊羅腔耦合的帶有增益波導(dǎo)的法布里-泊羅腔。
進(jìn)一步地,所述無(wú)源諧振腔和激光器的諧振腔等效腔長(zhǎng)有一定差異,從而 可以利用游標(biāo)效應(yīng)擴(kuò)展激光器的自由光譜范圍,從而實(shí)現(xiàn)單模工作并拓展調(diào)諧 范圍。
進(jìn)一步地,所述的激光器中含有其它寬譜濾波元件,但其帶小于所述無(wú)源 諧振腔自由光譜范圍的2倍,從而保證激光器實(shí)現(xiàn)單模工作。
本發(fā)明與背景技術(shù)相比,具有的有益效果是本發(fā)明僅利用單一調(diào)諧區(qū)就 可以實(shí)現(xiàn)無(wú)跳模波長(zhǎng)調(diào)諧,而無(wú)需任何與之配合的調(diào)諧區(qū)同步調(diào)諧。因此可以 大大減小調(diào)諧控制電路和算法的復(fù)雜性,提高調(diào)諧速率。
圖1為現(xiàn)有DBR波長(zhǎng)調(diào)諧激光器示意圖; 圖2為本發(fā)明第一種實(shí)施方式結(jié)構(gòu)示意圖3為第一種實(shí)施方式給出的例子中,調(diào)諧區(qū)折射率w變化從3.2 - 0.0075 到3.2 + 0.0075變化時(shí),激光器諧振波長(zhǎng)的變化情況圖4為本發(fā)明第二種實(shí)施方式結(jié)構(gòu)示意圖5為本發(fā)明第三種實(shí)施方式結(jié)構(gòu)示意圖6為本發(fā)明第四種實(shí)施方式結(jié)構(gòu)示意圖7為本發(fā)明第五種實(shí)施方式結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面根據(jù)附圖和實(shí)施例詳細(xì)描述本發(fā)明,本發(fā)明的目的和效果將變得更加 明顯。
圖2是本發(fā)明的波長(zhǎng)可以無(wú)跳模調(diào)諧的半導(dǎo)體激光器的一個(gè)實(shí)施方式。該 激光器由無(wú)源環(huán)形諧振腔l、增益波導(dǎo)2、無(wú)源波導(dǎo)3、第一反射鏡4和第二反
4射鏡5組成。所述無(wú)源波導(dǎo)3分為第一波導(dǎo)31和第二波導(dǎo)32兩段。該激光器 可以看作一個(gè)腔內(nèi)放置的環(huán)形諧振器的以第一反射鏡4和第二反射鏡5作為反 射鏡的法布里-泊羅(FP)腔。無(wú)源環(huán)形諧振腔1通過(guò)側(cè)向耦合的方式與無(wú)源波導(dǎo)3 發(fā)生能量耦合。
當(dāng)?shù)谝徊▽?dǎo)31中向左傳播的光到達(dá)波導(dǎo)與無(wú)源環(huán)形諧振腔1耦合的區(qū)域 時(shí),會(huì)有一小部分光耦合到無(wú)源環(huán)形諧振腔1里,并在里面發(fā)生諧振,由于無(wú) 源環(huán)形諧振腔1的自干涉作用,只有當(dāng)無(wú)源環(huán)形諧振腔1的光程(光程為無(wú)源 環(huán)形諧振腔1的長(zhǎng)度乘以其折射率)滿足光波長(zhǎng)的整數(shù)倍時(shí),該波長(zhǎng)稱為無(wú)源 環(huán)形諧振腔l的諧振波長(zhǎng),該波長(zhǎng)的光波才能被從第二波導(dǎo)32中耦合出來(lái),向 右繼續(xù)傳播,否則大部分光能量將會(huì)從第一波導(dǎo)31左側(cè)的端口出去,無(wú)法再回 到激光器中。同理,從第二波導(dǎo)32向左傳播的光波的波長(zhǎng)也必須滿足上述條件 才能在激光器中傳播,與諧振波長(zhǎng)偏離得越遠(yuǎn)的光波,則通過(guò)環(huán)形諧振器1的 時(shí)候損耗越大。
因此,無(wú)源環(huán)形諧振腔1在這里起到了一個(gè)激光腔內(nèi)濾波器的作用,它的 存在使得只有特定波長(zhǎng)的光波才可能在激光腔里建立起諧振。無(wú)源環(huán)形諧振腔1 的這一作用可以由從第一波導(dǎo)31經(jīng)環(huán)到第二波導(dǎo)32或者從第二波導(dǎo)32到第一 波導(dǎo)31的透射系數(shù)來(lái)描述,由于對(duì)稱性,這兩個(gè)透射系數(shù)/是一致的
"1 一 (1 — c2 )gA + 2A2)( 1 )
式中,c表示從第一波導(dǎo)31到無(wú)源環(huán)形諧振腔l的耦合系數(shù),w,£77分別表
示無(wú)源環(huán)形諧振腔1位與第一波導(dǎo)31和第二波導(dǎo)32左側(cè)的波導(dǎo)部分11的折射
率和長(zhǎng)度, 乂/2表示第四波導(dǎo)12的折射率和長(zhǎng)度。^是光波在真空中的波數(shù)。
由(1)式可以得到無(wú)源環(huán)形諧振腔l的諧振條件 (nLu+n2"2):m/^ (2)
其中、是環(huán)的諧振波長(zhǎng),m是某個(gè)正整數(shù)。
激光器的調(diào)諧區(qū)包括無(wú)源環(huán)形諧振腔1的第三波導(dǎo)11和無(wú)源環(huán)形諧振腔1
之外的無(wú)源波導(dǎo)3的一部分第一波導(dǎo)31。 一個(gè)調(diào)諧電極覆蓋這兩個(gè)部分,通過(guò)
改變電極上的注入電流或者偏置電壓,可以改變調(diào)諧區(qū)的折射率,并且由于使
用了同一個(gè)調(diào)諧電極,調(diào)諧區(qū)兩部分第三波導(dǎo)11和第一波導(dǎo)31的折射率變化
是一樣的。因此在可以假設(shè)兩部分折射率相同。則激光器的諧振條件可以表示
為
2(naLa+nL31+n'L32+4,)=m。4 (3)其中,w。乂。分別表示有源波導(dǎo)2的折射率和長(zhǎng)度,"',&2分別表示第二波導(dǎo)
32的折射率和長(zhǎng)度。^表示無(wú)源環(huán)形諧振腔1透射系數(shù)f的相位,表示第
一波導(dǎo)31的長(zhǎng)度。^是激光器的諧振波長(zhǎng),me是某個(gè)正整數(shù)。
根據(jù)前述分析,只有當(dāng)激光器諧振波長(zhǎng)^e和無(wú)源環(huán)形諧振腔1諧振波長(zhǎng)Jr
相等時(shí),激光器腔內(nèi)的損耗最小,此時(shí)激光器主模與邊模之間有最大的閾值差
異。滿足這一條件時(shí)的激光器諧振條件可表示為
2(naLa + n L31+n, L32十nLu) =m' /lr (4)
通過(guò)調(diào)諧區(qū)的電極調(diào)節(jié)折射率M時(shí),對(duì)式(2)微分可以得到無(wú)源環(huán)形諧振腔
1的諧振波長(zhǎng)隨折射率"變化率-
(5)
d々/d n=
同樣,對(duì)(4)式取微分可以得到激光器諧振波長(zhǎng)對(duì)折射率的變化率
丄? /Hn- ^ +L31) ,,、
為了獲得無(wú)跳模的波長(zhǎng)調(diào)諧,兩波長(zhǎng)的變化率必須保持同步,令(5) (6) 兩式右邊相等可得
n2L12 = naLa+n'L32 (7) 式(2, 4, 7)即為波長(zhǎng)無(wú)跳模調(diào)諧需要滿足的條件。
圖3給出了折射率w變化從3.2-0.0075到3.2+0.0075變化時(shí),激光器諧振 波長(zhǎng)的變化情況。在這個(gè)例子中,根據(jù)式(2, 4, 7),丄仏丄/2,"7,&2和丄。分 別為66.67, 33.12, 738.67, 100, 300微米,除打變化外,其余折射率均設(shè) 為3.2。耦合系數(shù)c為0.32。 11=3.2時(shí)諧振波長(zhǎng)為1.55微米。從圖中可以看到, 波長(zhǎng)隨折射率變化而連續(xù)變化,無(wú)任何不連續(xù)變化,即跳模產(chǎn)生,波長(zhǎng)調(diào)諧范 圍為5nm。
圖4給出了本發(fā)明第二種實(shí)施方式的示意圖。激光器由無(wú)源法布里-泊羅腔 6、增益波導(dǎo)2、第一波導(dǎo)31、第二波導(dǎo)32和反射鏡4構(gòu)成,與第一種實(shí)施方 式不同之處在于,第一種實(shí)施方式中的無(wú)源環(huán)形諧振腔1由一個(gè)無(wú)源的法布里-泊羅腔6代替。無(wú)源的法布里-泊羅腔6由第三波導(dǎo)11,第四波導(dǎo)12和兩個(gè)反 射鏡13, 14組成。激光器可以看成一個(gè)有源法布里-泊羅腔,該有源法布里-泊羅腔的一個(gè)反射
面為反射鏡4,此外可以將無(wú)源法布里-泊羅腔6看作一個(gè)等效反射鏡作為另一
個(gè)反射面。等效反射系數(shù)可以表示為
一 —ri3cV2V^
r=i-。,14(i-c2y2/t°(—A2) (8)
式中,Oj,r"分別表示反射鏡13和14的反射系數(shù),c是第一波導(dǎo)31到無(wú)源 腔波導(dǎo)的耦合系數(shù)。其他參數(shù)與第一種實(shí)施方式意義相同。類似于第一種實(shí)施
方式的推理過(guò)程,可以得到激光器的諧振條件
2(naLa + n L31+n' L32 )+4, =me 4 (9)
以及激光器諧振峰與無(wú)源法布里-泊羅腔6諧振峰重合時(shí)的諧振條件 2(naLa+nL3l+n'L32+nLu)=m';ir (10)
同理,可以得到無(wú)跳模調(diào)諧所滿足的條件
n2L12 = naLa+n'L32 (h)
圖5給出了本發(fā)明第三種實(shí)施方式的示意圖。激光器由一個(gè)無(wú)源環(huán)形諧振 腔l、增益波導(dǎo)2、第一波導(dǎo)31和第二波導(dǎo)32組成的另一個(gè)有源環(huán)形諧振器構(gòu) 成,這種雙環(huán)結(jié)構(gòu)也被稱為法諾環(huán)(Fano-ring)。對(duì)于法諾環(huán)結(jié)構(gòu),當(dāng)激光器(有 源環(huán))的諧振波長(zhǎng)與無(wú)源環(huán)形諧振腔1一致時(shí),諧振條件可分別表示為
(nLu+ri2"2)^m;ir (12) naLa +nL31+n'L32 +11!^ =111';^ (13)
無(wú)跳模條件為
n2L12 = naLa+n'L32 (14) Mi L^+乙u
圖6給出了本發(fā)明第四種實(shí)施方式的示意圖。該實(shí)施方式的基本結(jié)構(gòu)與實(shí) 施方式二類似。區(qū)別在于除了前述用于無(wú)跳模調(diào)諧的調(diào)諧區(qū)外,第四波導(dǎo)12也 作為一個(gè)調(diào)諧區(qū)由一個(gè)獨(dú)立的電極控制。該結(jié)構(gòu)可以看作第三波導(dǎo)11和第四波 導(dǎo)12組成的無(wú)源腔以及第三波導(dǎo)11、第一波導(dǎo)31、第二波導(dǎo)32和增益波導(dǎo)2 所組成的有源腔的復(fù)合腔結(jié)構(gòu)。對(duì)于復(fù)合腔結(jié)構(gòu),當(dāng)兩腔光學(xué)腔長(zhǎng)較為接近時(shí), 會(huì)產(chǎn)生較為顯著的游標(biāo)效應(yīng),即當(dāng)無(wú)源法布里-泊羅腔6和激光器的某一個(gè)諧振 波長(zhǎng)一致時(shí),由于不同諧振腔諧振的波長(zhǎng)間隔有差異,下一個(gè)無(wú)源法布里-泊羅
7腔6的諧振波長(zhǎng)并不能和激光器的諧振波長(zhǎng)對(duì)準(zhǔn),而是要跳過(guò)數(shù)個(gè)無(wú)源法布里-泊羅腔6的諧振波長(zhǎng)之后才能再次和激光器的諧振波長(zhǎng)一致。游標(biāo)效應(yīng)的作用 在于,首先它可以讓復(fù)合腔的自由光譜范圍(FSR)相對(duì)于每個(gè)獨(dú)立腔的FSR 產(chǎn)生一個(gè)顯著的放大,從而有助于改善激光器的單縱模特性。此外,通過(guò)改變 無(wú)源法布里-泊羅腔6的光學(xué)長(zhǎng)度,可以令對(duì)準(zhǔn)的波長(zhǎng)從無(wú)源法布里-泊羅腔6的 一個(gè)諧振峰切換到另一個(gè)諧振峰,從而實(shí)現(xiàn)工作波段的切換,拓展調(diào)諧范圍。 調(diào)諧區(qū)12的作用就在于通過(guò)折射率變化改變無(wú)源法布里-泊羅腔6光學(xué)長(zhǎng)度,從 而實(shí)現(xiàn)工作波段的切換。而在每個(gè)波段內(nèi),仍利用由第三波導(dǎo)11和第一波導(dǎo)31 組成的調(diào)諧區(qū)實(shí)現(xiàn)無(wú)跳模調(diào)諧。
本實(shí)施方式與背景技術(shù)中的DBR激光器不同之處在于,本實(shí)施方式的兩個(gè) 調(diào)諧區(qū)電極是獨(dú)立工作的,無(wú)需任何同步措施,因此調(diào)諧電路的控制復(fù)雜程度 比背景技術(shù)簡(jiǎn)單很多。
圖7給出了本發(fā)明第五種實(shí)施方式的示意圖。該結(jié)構(gòu)是在實(shí)施方式二的基 礎(chǔ)上,在無(wú)源法布里-泊羅腔6內(nèi)加入一個(gè)有濾波特性的濾波器所構(gòu)成。例如, 濾波器可以是空氣槽15-波導(dǎo)16-空氣界面14組成的濾波反射鏡。這一濾波器的 帶寬要遠(yuǎn)大于無(wú)源法布里-泊羅腔6,但是卻小于無(wú)源法布里-泊羅腔6自由光譜 范圍的2倍,它與無(wú)源法布里-泊羅腔6配合可以讓激光器更好的實(shí)現(xiàn)單模工作。 在本實(shí)施方式中,波長(zhǎng)調(diào)諧范圍由該濾波器的帶寬決定。
上述實(shí)施例用來(lái)解釋說(shuō)明本發(fā)明,而不是對(duì)本發(fā)明進(jìn)行限制。例如,本發(fā)明 的實(shí)施方式一和三也可以利用游標(biāo)效應(yīng)或者腔內(nèi)濾波器實(shí)現(xiàn)單模性能改善。在 本發(fā)明的精神和權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi),對(duì)本發(fā)明作出的任何修改和改變,都 落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種波長(zhǎng)可以無(wú)跳模調(diào)諧的半導(dǎo)體激光器,其特征在于,它包括無(wú)源諧振腔、增益波導(dǎo)(2)和無(wú)源波導(dǎo)(3)。其中,無(wú)源諧振腔由第三波導(dǎo)(11)和第四波導(dǎo)(12)組成,無(wú)源波導(dǎo)(3)由第一波導(dǎo)(31)和第二波導(dǎo)(32)組成。無(wú)源諧振腔的第三波導(dǎo)(11)和無(wú)源波導(dǎo)(3)的一部分第一波導(dǎo)(31)構(gòu)成一個(gè)折射率可以人為改變的調(diào)諧區(qū),通過(guò)改變調(diào)諧區(qū)的折射率,可以同時(shí)改變無(wú)源諧振腔的諧振波長(zhǎng)和激光器的激射波長(zhǎng)。通過(guò)選取第三波導(dǎo)(11)和第一波導(dǎo)(31)的長(zhǎng)度,可以使得當(dāng)調(diào)諧區(qū)折射率改變時(shí),對(duì)無(wú)源腔諧振波長(zhǎng)的調(diào)諧速率與對(duì)激光器諧振波長(zhǎng)的調(diào)諧速率一致,從而實(shí)現(xiàn)無(wú)跳模調(diào)諧而無(wú)需任何額外的同步調(diào)諧措施。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述波長(zhǎng)可以無(wú)跳模調(diào)諧的半導(dǎo)體激光器,其特征在于, 所述無(wú)源諧振腔為無(wú)源環(huán)形諧振腔(1),所述激光器為與該無(wú)源環(huán)形諧振腔耦 合的帶有增益波導(dǎo)(2)的法布里-泊羅腔。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述波長(zhǎng)可以無(wú)跳模調(diào)諧的半導(dǎo)體激光器,其特征在于, 所述無(wú)源諧振腔為無(wú)源環(huán)形諧振腔(1),所述激光器為與該無(wú)源環(huán)形諧振腔耦 合的帶有增益波導(dǎo)(2)的環(huán)形諧振腔。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述波長(zhǎng)可以無(wú)跳模調(diào)諧的半導(dǎo)體激光器,其特征在于, 所述無(wú)源諧振腔為無(wú)源法布里-泊羅腔(6),所述激光器為與該無(wú)源法布里-泊羅 腔耦合的帶有增益波導(dǎo)(2)的法布里-泊羅腔。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述波長(zhǎng)可以無(wú)跳模調(diào)諧的半導(dǎo)體激光器,其特征在于, 所述無(wú)源諧振腔和激光器的諧振腔等效腔長(zhǎng)有一定差異,從而可以利用游標(biāo)效 應(yīng)擴(kuò)展激光器的自由光譜范圍,實(shí)現(xiàn)單模工作并拓展調(diào)諧范圍。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述波長(zhǎng)可以無(wú)跳模調(diào)諧的半導(dǎo)體激光器,其特征在于, 所述的激光器中含有其它寬譜濾波元件,但其帶小于所述無(wú)源諧振腔自由光譜 范圍的2倍,從而保證激光器實(shí)現(xiàn)單模工作。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種波長(zhǎng)可以無(wú)跳模調(diào)諧的半導(dǎo)體激光器,它包括一個(gè)無(wú)源諧振腔、增益波導(dǎo)2和無(wú)源波導(dǎo)3。僅有無(wú)源諧振腔的諧振波長(zhǎng)的光波才能以最小的損耗在激光器中產(chǎn)生諧振。激光器存在一個(gè)調(diào)諧區(qū),其折射率可以通過(guò)外界手段加以改變,從而改變激光器的諧振波長(zhǎng),實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)調(diào)諧的目的。調(diào)諧區(qū)包括無(wú)源諧振腔的一部分第三波導(dǎo)11和無(wú)源波導(dǎo)3的一部分第一波導(dǎo)31,通過(guò)合適的選取第三波導(dǎo)11和第一波導(dǎo)31的長(zhǎng)度,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)無(wú)源腔諧振波長(zhǎng)的調(diào)諧速率與對(duì)激光器的諧振波長(zhǎng)的調(diào)諧速率一致,從而可以僅僅通過(guò)改變?cè)撜{(diào)諧區(qū)的折射率,就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)激光波長(zhǎng)的無(wú)跳模調(diào)諧,而無(wú)需任何額外的同步調(diào)諧機(jī)制。
文檔編號(hào)H01S5/00GK101593931SQ200910100208
公開日2009年12月2日 申請(qǐng)日期2009年6月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月25日
發(fā)明者何建軍, 磊 王 申請(qǐng)人:浙江大學(xué)