專利名稱：腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種開啟機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種適用于真空設(shè)備中腔體門或腔體 蓋的開啟、關(guān)閉才幾構(gòu)。
背景技術(shù)：
OLED( Organic Light-Emitting Diode )，由于其自發(fā)光的特性，不像TFT-LCD 需要背光，因此可視度大、亮度高，且電壓需求低，加上反應(yīng)快、重量輕、厚 度薄、構(gòu)造簡單等優(yōu)點(diǎn)，被視為21世紀(jì)最具前途的產(chǎn)品之一；OLED是目前所 有顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術(shù)，可以 做成和紙張一樣的厚度，由于OLED的眾多優(yōu)點(diǎn)，使OLED是唯一在應(yīng)用上能 和TFT-LCD相提并論的技術(shù)。OLED的基本工藝包括基板制作、光刻、基片處 理、成膜、封裝、老化測試及IC連接等，在OLED的生產(chǎn)工藝中，為了保證較 高的清潔度，常常需要在真腔體設(shè)備中完成各種工藝，因此真空腔體設(shè)備貫穿 整個(gè)生產(chǎn)制程，也是最普遍、最重要的設(shè)備之一。
在實(shí)際生產(chǎn)中，腔體內(nèi)部的零部件常常需要更換、改造、調(diào)試，腔體內(nèi)部 也常常需要清理，因此需要將腔蓋打開進(jìn)行維護(hù)，在維護(hù)的過程中既要確保調(diào) 試人員的安全和腔蓋的穩(wěn)定，又要保證調(diào)試的方便性，在調(diào)試完成后為了保證 真空腔體的密封性，又需要對(duì)下降過程中的腔蓋進(jìn)行控制和定位。但隨OLED 技術(shù)的發(fā)展，制造OLED的基片也趨向大面積發(fā)展，所以相應(yīng)的真空腔體設(shè)備 也趨于大型化發(fā)展，腔蓋的尺寸和重量亦隨之增大。由于現(xiàn)在很多真空腔體設(shè) 備中的腔蓋是由很厚的鋼板做成，靠人力一般都難以完成，況且此種操作也存 在著較大的人身安全隱患，所以需要借助機(jī)械裝置進(jìn)行操作，因此一種對(duì)腔蓋 進(jìn)行開啟和閉合的啟閉機(jī)構(gòu)就應(yīng)運(yùn)而生，而腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)是否合理直接影響真空效果，生產(chǎn)效率、維護(hù)的便利性、安全性等問題。
現(xiàn)有技術(shù)一種汽缸式開蓋機(jī)構(gòu)，蓋板在氣缸的作用下實(shí)現(xiàn)啟閉，此種機(jī)構(gòu) 一般只能將蓋板開啟到 一定的角度，在一定程度上影響操作者對(duì)腔體內(nèi)的操作, 且當(dāng)需要將蓋板升的較高時(shí)，又會(huì)使汽缸臂導(dǎo)軌非常長，占用較大的空間并影
響外觀；另一種是借助導(dǎo)軌將蓋板直接升降，即在鉛垂方向進(jìn)行提升下降，達(dá) 到啟閉的目的，在此技術(shù)中會(huì)涉及到以下問題 一是當(dāng)蓋板升高到一定位置時(shí)， 由于蓋板自身的重量，蓋板將不可避免的產(chǎn)生塑性變形，在蓋板閉合時(shí)將導(dǎo)致 密封不嚴(yán)，從而難以達(dá)到較高的真空度；二是當(dāng)需要將腔體內(nèi)的零部件取出時(shí) 就會(huì)產(chǎn)生操作不變問題，因?yàn)榧词箤⑸w板升到最高位置，也會(huì)造成零部件取出 困難，尤其是需取出的零部件很重，而人力無法完成時(shí)，需借用提升機(jī)構(gòu)，此 設(shè)計(jì)會(huì)影響到提升機(jī)構(gòu)的操作，進(jìn)一步加大了維修的難度，同時(shí)影響生產(chǎn)效率; 再一種是將蓋板鉛垂方向升高到一定位置，再將蓋板水平移動(dòng)，這種設(shè)計(jì)存在 著蓋板的垂直和水平運(yùn)動(dòng)，無形中增大了開啟機(jī)構(gòu)的復(fù)雜程度，同時(shí)，此種設(shè) 計(jì)也會(huì)使蓋板會(huì)產(chǎn)生較大的塑性變形，蓋板的水平移動(dòng)還會(huì)對(duì)腔體設(shè)備周圍其 它設(shè)備造成干擾，特別是蓋板的尺寸很大時(shí)。
因此，急需一種方便、省力、安全、結(jié)構(gòu)簡單，不易使腔蓋變形，保證腔 蓋密封性好、真空度高，且操作精度高的腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種方便、省力、安全、結(jié)構(gòu)簡單，不易使腔蓋變 形，保證腔蓋密封性好、真空度高，且操作精度高的腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為提供一種腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)，包括控 制單元、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)及具有腔蓋的設(shè)備腔，所述兩執(zhí)行 機(jī)構(gòu)固定連接于所迷腔蓋上且相互平行，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)固定連接于所述腔體的 一側(cè)壁且位于所述兩4丸行才凡構(gòu)之間，所述傳動(dòng)才幾構(gòu)的一端與所述執(zhí)4亍才幾構(gòu)連4妾, 另一端與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述控制單元控制所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)通過所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)同步的帶動(dòng)兩所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)所述腔蓋的啟閉，其 中，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸、減速器、蝸桿、蝸輪、連接軸及呈中空結(jié)構(gòu)的
5支撐體，所述支撐體與所述腔體的一側(cè)壁固定連接且位于所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)之間， 所述連接軸貫穿所述支撐體且平行于所述腔蓋，所述連接軸的兩端分別與所述 兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接，所述蝸輪固定于所述連接軸上且位于所述支撐體內(nèi)，所述蝸 桿設(shè)置于所述支撐體內(nèi)且與所述蝸輪垂直嚙合，所述蝸桿一端與所述減速器的 輸出軸連接，所述減速器的輸入軸與所述傳動(dòng)軸的一端連接，所述傳動(dòng)軸的另 一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連4妄。
較佳地，所述支撐體還包括一底板，所述底板位于所述支撐體的底部且與 所述連接軸平行，所述蝸輪及蝸桿位于所述支撐體內(nèi)，所述減速器固定于所述
底板的下方且與所述蝸桿連接；更具體地，所述支撐體還包括一支撐板，所述 支撐板位于所述底板上方且平行于所述底板，所述減速器固定于所述底板的下 方且所述減速器的輸出軸貫穿所述底板，所述蝸4侖及蝸桿位于所述支撐板的上 方，所述蝸桿通過軸承豎直安裝于所述支撐板上且貫穿所述支撐板，所述蝸桿 與所述減速器在所述底板與所述支撐板之間通過聯(lián)軸器連接。減速器將傳動(dòng)軸 的扭矩旋轉(zhuǎn)輸出，在通過蝸桿、蝸輪帶動(dòng)連4矣軸運(yùn)動(dòng)，連接軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)腔蓋 繞連接軸運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)腔蓋的開啟和關(guān)閉，利用減速器配合蝸桿、蝸輪傳輸動(dòng)力， 更省力，同時(shí)安全、穩(wěn)定的實(shí)現(xiàn)較大速比的傳動(dòng)。
較佳地，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括至少兩托架，所述托架安裝于所述支撐體的 兩側(cè)其垂直于所述腔體的側(cè)壁，所述連接軸貫穿所述托架，所述托架用于支撐 所述連接軸，使所述連接軸更穩(wěn)固。
較佳地，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括支柱及把手，所述把手設(shè)置于所述腔蓋上，所 述把手通過銷軸與所述支柱的一端固定連接，所述支柱的另 一端與所述連接軸 連接，所述支柱位于所述腔蓋上方且不與所述腔蓋接觸，避免了腔蓋在開啟的 過程中碰到腔體；把手設(shè)置于腔蓋上，用于開啟的過程中人工輔助完成腔蓋的 啟閉。
較佳地，所述腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)還包括傳感器及限位開關(guān)，所迷傳感器用于對(duì) 所述腔蓋的位置進(jìn)行檢測，所述限位開關(guān)用于對(duì)所述腔蓋的最高位置及最低位 置進(jìn)行檢測，所述傳感器及限位開關(guān)將釆集到的腔蓋位置信號(hào)發(fā)送到控制單元, 控制單元將信號(hào)處理后發(fā)送到驅(qū)動(dòng)^^構(gòu)，控制驅(qū)動(dòng)^L構(gòu)的運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)^M勾通過
6傳動(dòng)機(jī)構(gòu)控制腔蓋旋轉(zhuǎn)的角速度和角度，實(shí)現(xiàn)腔蓋的準(zhǔn)確運(yùn)動(dòng)，使腔蓋準(zhǔn)確的 停留在預(yù)設(shè)位置，保證了腔蓋在開啟和關(guān)閉過程中的高精度、高安全性，同時(shí) 可檢測腔蓋開啟的最大位置及關(guān)閉的最低位置，保證腔蓋關(guān)閉后的氣密性，保 證整體腔體啟閉機(jī)構(gòu)的高真空度。
較佳地，所述腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)還包括氣彈簧，所述氣彈簧一端設(shè)置于所述腔 蓋上，另一端設(shè)置于所述腔體上，腔蓋開啟和關(guān)閉的過程中停留在某一位置時(shí)， 氣彈簧輔助支撐腔蓋，進(jìn)一步保證腔蓋運(yùn)動(dòng)過程中的穩(wěn)定性和安全性。
較佳地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為手輪或伺服電機(jī)。選用手輪驅(qū)動(dòng)，可進(jìn)一步簡化
整個(gè)腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)和控制方法，使得操作筒單；選擇電機(jī)驅(qū)動(dòng)時(shí)，可實(shí) 現(xiàn)腔蓋啟閉整體的自動(dòng)化要求，達(dá)到閉環(huán)控制的目的；根據(jù)腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)自動(dòng) 化要求的高低，自由的選擇手輪或是電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使該設(shè)備適應(yīng)程度更 高。
較佳地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括電磁制動(dòng)器。當(dāng)腔蓋較重時(shí)，要維持腔蓋啟 閉機(jī)構(gòu)的靜止就需要提供較大的輸出轉(zhuǎn)矩，且靜止的時(shí)間有時(shí)會(huì)較長，應(yīng)用伺 服電機(jī)的自鎖功能會(huì)造成電機(jī)過熱或放大器過載，選擇電磁制動(dòng)器提高腔蓋啟 閉機(jī)構(gòu)的精確性和安全性。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)具有傳動(dòng)軸、減速 器、蝸桿、蝸輪、連接軸及呈中空結(jié)構(gòu)的支撐體，所迷支撐體與所述腔體的一 側(cè)壁固定連接且位于所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)之間，所述連接軸貫穿所述支撐體且平行 于所述腔蓋，所述連接軸的兩端分別與所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接，所述蝸輪固定于 所述連接軸上且位于所述支撐體內(nèi)，所述蝸桿設(shè)置于所述支撐體內(nèi)且與所述蝸 輪垂直嚙合，所述蝸桿一端與所述減速器的輸出軸連接，所述減速器的輸入軸 與所述傳動(dòng)軸的一端連接，所述傳動(dòng)軸的另一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接；所述傳動(dòng)軸 接收驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的傳輸扭矩，并經(jīng)過減速器的輸出軸旋轉(zhuǎn)輸出后傳輸給蝸桿，蝸 桿運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)與之相垂直嚙合的蝸輪轉(zhuǎn)動(dòng)，蝸輪帶動(dòng)連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)，連接軸的轉(zhuǎn)動(dòng) 同步帶動(dòng)兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，最后帶動(dòng)腔蓋繞連接軸運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)腔蓋的開啟或關(guān) 閉；由于利用減速器配合蝸桿、蝸輪來傳輸動(dòng)力，使傳動(dòng)過稱更省力，實(shí)現(xiàn)較 大速比傳動(dòng)，且安全性、穩(wěn)定性更強(qiáng)；也^f吏腔蓋在開啟或關(guān)閉的操作中具有4交高的操作精度；由于腔蓋在較大程度開啟后不需要升高或水平移動(dòng)，避免了腔 蓋的塑性變形，使腔蓋在開啟操作后仍具有較高的密封性，保證整個(gè)腔蓋開啟 機(jī)構(gòu)的真空度；同時(shí)，該腔體啟閉機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)筒單，操作方便。


圖1是本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)第一實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的截面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是圖2中A部分的放大示意圖。
圖4是本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)的原理框圖。
圖5是本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)第二實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖6是本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)第三實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在參考附圖描迷本發(fā)明的實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號(hào)代表類似的元件。
如圖1、圖2所示，本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)包括控制單元(圖未示)、驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)200、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300、兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)400及設(shè)備腔100， i殳備腔100包括腔蓋101 和腔體102，腔蓋101設(shè)置于腔體102之上，兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)400相互平行且固定連 接于腔蓋101上，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300固定連接于腔體102的一側(cè)壁且位于兩執(zhí)行機(jī) 構(gòu)400之間，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300的一端與執(zhí)行機(jī)構(gòu)400連接，另 一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200 連才妄，驅(qū)動(dòng)才幾構(gòu)200通過傳動(dòng)沖幾構(gòu)300帶動(dòng)執(zhí)4亍沖幾構(gòu)400運(yùn)動(dòng)，執(zhí)4亍才幾構(gòu)400 帶動(dòng)腔蓋101運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)腔蓋101的開啟和關(guān)閉；本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)的傳動(dòng) 機(jī)構(gòu)300包括傳動(dòng)軸301、減速器302、蝸桿303、蝸輪304、連接軸305及呈 中空結(jié)構(gòu)的支撐體306，支撐體306包括一底板308及一支撐板307，底板308 位于支撐體306的底部且平行于腔蓋101，支撐板307位于底板308上方且平行 于底板308，減速器302固定連接于底板308下方，減速器302的輸入軸通過傳 動(dòng)軸301與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200連接，減速器302的輸出軸貫穿所述底板308,蝸桿 303兩端通過軸承豎直安裝于支撐板307與支撐體306內(nèi)壁之間，且蝸桿303安裝于支撐板307的一端貫穿所述支撐板307,支撐板307對(duì)蝸桿303起支撐作用， 蝸桿303貫穿支撐板307 —端與減速器302的輸出端通過聯(lián)軸器310相連接， 聯(lián)軸器310位于支撐板307與底板308之間；連接軸305貫穿支撐體306且平 行地設(shè)置于支撐板307的上方，蝸輪304固定于連接軸305上且位于支撐體306 內(nèi)，蝸4侖304與蝸桿303垂直嚙合，連^r軸305的兩端分別與兩執(zhí)行^L構(gòu)400 的兩支柱401連接；執(zhí)行才幾構(gòu)400還包括把手402，把手402設(shè)置于腔蓋101上， 把手402通過銷軸與支柱401的一端固定連接，支柱401的另一端與連4妻軸305 連接，支柱401位于腔蓋101上方且不與腔蓋101接觸；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200運(yùn)動(dòng)， 傳動(dòng)軸301將驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200的扭矩傳輸?shù)綔p速器302的輸入軸，經(jīng)過減速器302 的輸出軸旋轉(zhuǎn)輸出后傳輸?shù)轿仐U303，蝸桿303的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)蝸輪304轉(zhuǎn)動(dòng)，蝸輪 304帶動(dòng)連接軸305運(yùn)動(dòng)，連接軸305通過兩支柱401及兩把手402帶動(dòng)腔蓋 101繞連接軸305運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)腔蓋101的開啟和關(guān)閉。
如圖1、圖4所示，本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)還包括兩托架500及兩氣彈簧600， 托架500安裝于支撐體306的兩側(cè)并垂直于腔體102的側(cè)壁，連接軸305兩端 貫穿兩托架500，托架500用于支撐連接軸305;氣彈簧600設(shè)置于腔蓋101與 腔體102之間，氣彈簧600 —端設(shè)置于腔蓋101上，另 一端設(shè)置于腔體102的 與支撐體306所在側(cè)壁相互垂直的兩側(cè)壁上，用于在腔蓋101開啟和關(guān)閉的過 程中，輔助支撐腔蓋101;氣彈簧600可以是自由氣彈簧、隨意停氣彈簧、自鎖 型氣彈簧等，優(yōu)選的為自鎖型氣彈簧，自鎖型氣彈簧具有自鎖能力，能較好的 保持腔蓋101的穩(wěn)定性。本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)還包括傳感器和限位開關(guān)，傳感 器包括用于發(fā)送信號(hào)的發(fā)射器701和用于接收發(fā)射器701信號(hào)的接收器702,發(fā) 射器701設(shè)置于腔蓋101上，相應(yīng)的接收器702設(shè)置于腔體102上；發(fā)射器701 也可以設(shè)置于腔體102上，其相應(yīng)的接收器702則設(shè)置于腔蓋101上；發(fā)射器 701可為紅外線發(fā)射器或發(fā)光二極管，發(fā)射器701為紅外線發(fā)射器時(shí)相應(yīng)的接收 器702為紅外線接收器，發(fā)射器701為發(fā)光二極管時(shí)相應(yīng)的接收器702為光電 耦合器；發(fā)射器701和接收器702用于采集腔蓋101的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)信息，采集的 信息發(fā)送到控制單元后，控制單元將狀態(tài)信息識(shí)別處理后發(fā)送到驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200， 控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200的運(yùn)動(dòng)，從而控制腔蓋101的運(yùn)動(dòng)；限位開關(guān)為兩壓力開關(guān)
9703、 704，壓力開關(guān)704設(shè)置于腔體102上，用于檢測腔蓋101最低位置狀態(tài) 信息；壓力開關(guān)703設(shè)置于支撐體306上，用于檢測腔蓋101最高位置狀態(tài)信 息。本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200為手輪或電機(jī)，電機(jī)可配備制動(dòng)器， 電機(jī)優(yōu)選的為伺服電機(jī)，相應(yīng)的制動(dòng)器優(yōu)選的為電磁制動(dòng)器，因?yàn)樵谇簧wIOI 較重時(shí)，維持腔蓋IOI機(jī)構(gòu)的靜止需電機(jī)提供較大的輸出扭矩，且靜止的時(shí)間 有時(shí)會(huì)較長，選擇成本較低的電磁制動(dòng)器，可避免使用伺服電機(jī)的自鎖功能造 成的電機(jī)過熱或放大器過載。
下面結(jié)構(gòu)附圖詳細(xì)說明本發(fā)明實(shí)施例的結(jié)構(gòu)及工作原理。 如圖1、圖2、圖3、圖4所示，在本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)的第一施例中，驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)200為手輪，手輪200與減速器302之間通過軸承311連接，減速器302 輸入軸一端設(shè)置有軸承座312,軸承311安裝于軸承座312內(nèi)且其一端與軸承座 312相4氐觸，另一端通過軸承蓋313固定，傳動(dòng)軸301套設(shè)于軸承311內(nèi)并與手 輪200及減速器302連接，在本實(shí)施例中，傳動(dòng)軸301為減速器302的輸入軸， 即減速器302的輸入軸套設(shè)于軸承311內(nèi)并與手輪200連接，通過手輪200帶 動(dòng)減速器302的輸入軸轉(zhuǎn)動(dòng)，減速器302的輸出軸帶動(dòng)蝸桿303轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶 動(dòng)蝸輪304及連接軸305轉(zhuǎn)動(dòng)，連接軸305通過連接于其上的支柱401和把手 402帶動(dòng)腔蓋101運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而使腔蓋101開啟或關(guān)閉，通過控制手輪200的旋轉(zhuǎn) 速度從而調(diào)整腔蓋101的開啟和關(guān)閉速度及幅度；減速器302可為行星齒輪或 蝸輪蝸桿；蝸桿303為單頭蝸桿，蝸輪304為扇形蝸輪且扇形角度大于80。， 更優(yōu)選的為90° 。在本實(shí)施例中，除應(yīng)用傳感器及限位開關(guān)來精確判斷腔蓋101 開啟或關(guān)閉的位置外，還設(shè)置有蜂鳴器，用于對(duì)外界作出提示。如果需要將腔 蓋101開啟或關(guān)閉到任意位置時(shí)，預(yù)先輸入腔蓋101需開啟或關(guān)閉的角度位置， 在腔蓋101開啟或關(guān)閉的過程中，腔蓋101上的發(fā)射器701發(fā)送信號(hào)到腔體102 上的接收器702，控制單元根據(jù)接收器702接受到的信號(hào)判斷腔蓋101開啟或關(guān) 閉的角度和速度，如果判斷達(dá)到預(yù)先輸入的角度時(shí)，控制單元將處理后的信號(hào) 輸出到蜂鳴器，蜂鳴器報(bào)警，停止手輪200的轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而使腔蓋101停止在預(yù) 先設(shè)定的位置，腔蓋101停止后，自鎖型氣彈簧600對(duì)腔蓋101具有輔助支撐 作用，保證腔蓋101的穩(wěn)定性，由于可對(duì)腔蓋101開啟或關(guān)閉的位置精確定位，且有氣彈簧600的支撐作用，提高整體設(shè)備的精度和操作效率，同時(shí)加強(qiáng)其安 全性；如果腔蓋101需開啟到最大位置，則當(dāng)腔蓋101升高到最高位置時(shí)，腔 蓋101會(huì)觸碰到支撐體306上的壓力開關(guān)703,當(dāng)接觸到的壓力達(dá)到預(yù)設(shè)要求時(shí)， 壓力開關(guān)703向控制單元發(fā)出信號(hào)，控制單元將此信號(hào)處理后發(fā)送到蜂鳴器， 蜂鳴器報(bào)警，停止手輪200的轉(zhuǎn)動(dòng)；在腔蓋101關(guān)閉的時(shí)，腔蓋101下落接觸 到腔體102上的壓力開關(guān)704，當(dāng)接觸到的壓力達(dá)到預(yù)設(shè)要求時(shí)，壓力開關(guān)704 向控制單元發(fā)出信號(hào)，控制單元將此信號(hào)處理后發(fā)送到蜂鳴器，蜂鳴器報(bào)警， 停止手輪200的轉(zhuǎn)動(dòng)，保證腔蓋101關(guān)閉后具有較好的密封性，保證設(shè)備工作 的高真空度。如圖4、圖5所示，本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)的第二施例用于自動(dòng)化要求較高的 情況下，該實(shí)施例與第一實(shí)施例相比，只在于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200的不同，本實(shí)施例 中使用電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200,因此可實(shí)現(xiàn)腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)整體的自動(dòng)化，達(dá)到閉 環(huán)控制的目的。電機(jī)200通過聯(lián)軸器與傳動(dòng)軸301—端連4妻，傳動(dòng)軸301另一 端通過聯(lián)軸器與減速器302的輸入軸連接，通過電機(jī)200帶動(dòng)減速器302的輸 入軸轉(zhuǎn)動(dòng)，減速器302的輸出軸帶動(dòng)蝸桿303、蝸輪304及連接軸305分級(jí)運(yùn)動(dòng)， 進(jìn)而通過支柱401及把手402運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)腔蓋101運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)腔蓋101的開啟和 關(guān)閉。如果需要將腔蓋101開啟或關(guān)閉到任意位置時(shí)，預(yù)先輸入腔蓋101需開 啟或關(guān)閉的角度，在腔蓋101開啟或關(guān)閉的過程中，腔蓋101上的發(fā)射器701 發(fā)送信號(hào)到腔體102上的接收器702，控制單元根據(jù)接收器702接受到的信號(hào)判 斷腔蓋101開啟的角度和速度，經(jīng)判斷達(dá)到預(yù)先輸入的角度時(shí)，控制單元將處 理后的信號(hào)輸出到電機(jī)200，使電機(jī)200停止轉(zhuǎn)動(dòng)，使腔蓋IOI停在預(yù)設(shè)位置， 同時(shí)將該信號(hào)輸出到蜂鳴器，蜂鳴器報(bào)警；腔蓋101停止后，自鎖型氣彈簧600 對(duì)腔蓋101具有輔助支撐作用；如果腔蓋101需開啟到最大位置，則當(dāng)腔蓋101 升高到最高位置時(shí)，腔蓋101會(huì)觸碰到支撐體306上的壓力開關(guān)703,當(dāng)接觸到 的壓力達(dá)到預(yù)設(shè)要求時(shí)，壓力開關(guān)703向控制單元發(fā)出信號(hào)，控制單元將此信 號(hào)處理后發(fā)送到電機(jī)200,電機(jī)200停止運(yùn)動(dòng)，同時(shí)將該信號(hào)輸出到蜂鳴器，蜂 鳴器報(bào)警；在腔蓋101關(guān)閉的時(shí)，腔蓋101下落接觸到腔體102上的壓力開關(guān) 704,當(dāng)接觸到的壓力達(dá)到預(yù)設(shè)要求時(shí)，壓力開關(guān)704向控制單元發(fā)出信號(hào)，控制單元將此信號(hào)處理后發(fā)送到電機(jī)200,電機(jī)200停止轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)將該信號(hào)輸出 到蜂鳴器，蜂鳴器報(bào)警。
如圖6所示，本發(fā)明第三實(shí)施例適用于不需要經(jīng)常開啟的設(shè)備腔100或?qū)?整體設(shè)備的自動(dòng)化要求不高時(shí)，本實(shí)施例的腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)與第一實(shí)施例中的腔 蓋啟閉機(jī)構(gòu)相比，沒有傳感器及限位開關(guān)，但都使用手輪作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200且 其他結(jié)構(gòu)相同，在本實(shí)施例中，可設(shè)置限位裝置對(duì)腔蓋101開啟的最高位置進(jìn) 行限位，如在支撐體306上設(shè)置一限位塊，或在支撐體306上設(shè)置銷進(jìn)行限位； 該實(shí)施例中，通過手輪200帶動(dòng)減速器302、蝸桿303、蝸輪304連接軸305分 級(jí)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而通過連接軸305上的支柱401及把手402帶動(dòng)腔蓋101運(yùn)動(dòng)，實(shí) 現(xiàn)腔蓋101的開啟和關(guān)閉，進(jìn)一步筒化腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)及控制方法。
由于本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)300具有傳動(dòng)軸301、減速器302、蝸 桿303、蝸輪304、連接軸305及呈中空結(jié)構(gòu)的支撐體306,所述支撐體306與 所述腔體102的一側(cè)壁固定連接，所述連接軸305貫穿所述支撐體306且平行 于所述腔蓋101，所述連接軸305的兩端分別與所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)400連接，所述 蝸輪304固定于所述連接軸305上且位于所述支撐體306內(nèi)，所述蝸桿303設(shè) 置于所述支撐體306內(nèi)且與所述蝸輪304垂直嚙合，所述蝸桿303 —端與所述 減速器302的輸出軸連接，所述減速器302的輸入軸與所述傳動(dòng)軸301的一端 連接，所述傳動(dòng)軸301的另一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200連接；所述傳動(dòng)軸301接收驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)200的傳輸扭矩，并經(jīng)過減速器302的輸出軸旋轉(zhuǎn)輸出后傳輸給蝸桿303， 蝸桿303運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)與之相垂直嚙合的蝸輪304轉(zhuǎn)動(dòng)，蝸輪304帶動(dòng)連接軸305 轉(zhuǎn)動(dòng)，連接軸305的轉(zhuǎn)動(dòng)同步帶動(dòng)兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)400運(yùn)動(dòng)，最后帶動(dòng)腔蓋101繞 連接軸305運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)腔蓋101的開啟或關(guān)閉；由于利用減速器302配合蝸桿 303、蝸輪304來傳輸動(dòng)力，使傳動(dòng)過程更省力，實(shí)現(xiàn)較大速比傳動(dòng)，且安全性、 穩(wěn)定性更高；也使腔蓋IOI在開啟或關(guān)閉的操作中具有較高的操作精度；由于 腔蓋101在較大程度開啟后不需要升高或水平移動(dòng)，避免了腔蓋101的塑性變 形，使腔蓋IOI在開啟操作后仍具有較高的密封性，保證整個(gè)腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)的 真空度；同時(shí)，該腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，操作方便。
本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)的腔蓋101位置并不限于上部，也可以是腔體102的側(cè)部等位置；本發(fā)明腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)的控制單元及原理等均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知，在此不再做詳細(xì)的說明。
以上所揭露的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利范圍，因此依本發(fā)明申請(qǐng)專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
1.一種腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)，包括控制單元、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)及具有腔蓋的設(shè)備腔，所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)固定連接于所述腔蓋上且相互平行，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)固定連接于所述腔體的一側(cè)壁且位于所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)之間，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的一端與所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接，另一端與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述控制單元控制所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)同步的帶動(dòng)兩所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)所述腔蓋的啟閉，其特征在于所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸、減速器、蝸桿、蝸輪、連接軸及呈中空結(jié)構(gòu)的支撐體，所述支撐體與所述腔體的一側(cè)壁固定連接且位于所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)之間，所述連接軸貫穿所述支撐體且平行于所述腔蓋，所述連接軸的兩端分別與所述兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接，所述蝸輪固定于所述連接軸上且位于所述支撐體內(nèi)，所述蝸桿設(shè)置于所述支撐體內(nèi)且與所述蝸輪垂直嚙合，所述蝸桿一端與所述減速器的輸出軸連接，所述減速器的輸入軸與所述傳動(dòng)軸的一端連接，所述傳動(dòng)軸的另一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。
2. 如權(quán)利要求1所述的腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)，其特征在于所述支撐體還包括一 底板，所述底板位于所述支撐體的底部且與所述連接軸平行，所述蝸輪及蝸桿 位于 所述支撐體內(nèi)，所述減速器固定于所述底板的下方且與所述蝸桿連接。
3. 如權(quán)利要求2所述的腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)，其特征在于所述支撐體還包括一 支撐板，所述支撐板位于所述底板上方且平行于所述底板，所述減速器固定于 所述底板的下方且所述減速器的輸出軸貫穿所述底板，所述蝸4侖及蝸桿位于所 述支撐板的上方，所述蝸桿通過軸承豎直安裝于所述支撐板上且貫穿所述支撐
4. 如權(quán)利要求1所述的腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)，其特征在于所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括 至少兩托架，所述托架安裝于所述支撐體的兩側(cè)其垂直于所述腔體的側(cè)壁，所 述連接軸貫穿所述托架。
5. 如權(quán)利要求1所述的腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)，其特征在于所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括支柱及把手，所述把手設(shè)置于所述腔蓋上，所述把手通過銷軸與所述支柱的一端 固定連接，所述支柱的另一端與所述連接軸連接，所述支柱位于所述腔蓋上方 且不與所述腔蓋接觸。
6. 如權(quán)利要求1所述的腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)，其特征在于所述腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)還 包括傳感器及限位開關(guān)，所述傳感器用于對(duì)所述腔蓋的位置進(jìn)行檢測，所述限 位開關(guān)用于對(duì)所述腔蓋的最高位置及最低位置進(jìn)行檢測。
7. 如權(quán)利要求1所述的腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)，其特征在于所述腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)還 包括氣彈簧，所述氣彈簧一端設(shè)置于所述腔蓋上，另一端設(shè)置于所述腔體上。
8、 如權(quán)利要求1所述的腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為手輪 或祠服電機(jī)。
9、 如權(quán)利要求8所述的腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括 電i茲制動(dòng)器。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種腔蓋啟閉機(jī)構(gòu)，包括控制單元、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)及具有腔蓋的設(shè)備腔，其傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸、減速器、蝸桿、蝸輪、連接軸及呈中空結(jié)構(gòu)的支撐體，支撐體與腔體的一側(cè)壁固定連接，連接軸貫穿支撐體且平行于腔蓋，連接軸的兩端分別與兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接，蝸輪固定于連接軸上且位于支撐體內(nèi)，蝸桿設(shè)置于支撐體內(nèi)且與蝸輪垂直嚙合，減速器的輸出軸與蝸桿一端連接，輸入軸與傳動(dòng)軸的一端連接，傳動(dòng)軸的另一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，控制單元控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)同步的帶動(dòng)兩執(zhí)行機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)腔蓋的啟閉，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、省力、安全、精度高、不易使腔蓋變形，保證OLED生產(chǎn)中真空設(shè)備的高真空度。
文檔編號(hào)H01L51/56GK101673810SQ20091004239
公開日2010年3月17日 申請(qǐng)日期2009年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月3日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 偉 王, 勇 王, 王曼媛, 范繼良, 郭遠(yuǎn)倫 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司