專利名稱：顯示器面板及其制造方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明的一個或多個實施例普遍地涉及液晶面板及其制造方法。特 別地，本發(fā)明的一個或多個實施例涉及嵌入式觸摸屏液晶顯示器面板， 其中在同一層形成單元間隙隔板和導電隔板、以及制造液晶顯示器面板 的方法。
背景技術(shù)：
觸摸屏是能取代鼠標和鍵盤的新型輸入方式。通過使用手或者筆能 夠直接把信息輸入到觸摸屏。另外，觸摸屏很容易操作，并允許用戶在 觀看觸摸屏時執(zhí)行需要的任務。因此，觸摸屏被認為是在圖形用戶接口 (GUI)環(huán)境下最理想的輸入方式。目前，觸摸屏廣泛使用于移動電話、 個人數(shù)字助理(PDA)、銀行終端、政府和公共辦公室、各種醫(yī)療裝備、 安裝在觀光點和其它主要機構(gòu)的信息板、以及等等。
在使用觸摸屏的各種產(chǎn)品中，液晶顯示器(LCD)通常具有安裝在 其外面的觸摸屏。因此，必須在分開的步驟中把外觸摸屏附加到完整的 液晶顯示器面板上，使得制造過程變得復雜并且增加了LCD的厚度。為 了解決這些問題，對于正逐漸趨向更亮、更小和更薄的例如LCD的平板 顯示器，開發(fā)了內(nèi)置式觸摸屏。
內(nèi)置式觸摸屏根據(jù)它們的用途分為光學觸摸屏、超聲觸摸屏、靜電 電容型觸摸屏、以及電阻薄膜型觸摸屏。為了制造使用導電隔板作為感 應裝置的內(nèi)置式觸摸屏，需要形成維持用作感應裝置的單元間隙的單元 間隙隔板的步驟、以及在和單元間隙隔板不同層上形成導電隔板的步驟。然而，如果如上所述在兩個步驟中在不同層上形成單元間隙隔板和導電 隔板，增加了制造步驟的數(shù)目，從而增加了制造成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個或多個實施例提供一種包括在同一層上同時形成單 元間隙隔板和導電隔板來減小制造步驟數(shù)目和制造成本的嵌入式觸摸屏 液晶顯示器面板，包括嵌入式觸摸屏液晶顯示器面板的液晶顯示器
acD)、以及其制造方法。
根據(jù)本發(fā)明示例性實施例，顯示器面板包括透明的第一襯底；面對 第一襯底的第二襯底；在第一襯底上形成的導電隔板和單元間隙隔板； 以及在第二襯底上形成的并且在接觸單元間隙隔板的區(qū)域中具有小孔的 公共電極。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，在同一層形成導電隔板和單元間隙隔板。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，第一襯底包括其上形成導電隔板和單 元間隙隔板的第一結(jié)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，第二襯底包括其上形成公共電極的第 二結(jié)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，第一結(jié)構(gòu)包括薄膜晶體管(TFT)、第 一和第二讀出線(sensing lines)、以及在TFT和第一和第二讀出線上 形成的絕緣膜。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，在導電隔板上形成讀出電極(sensing electrode),并將其通過在絕緣膜中形成的接觸孔和第一和第二讀出線 相連接。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，第二結(jié)構(gòu)可以包括黑矩陣、在黑矩陣 上形成的濾色器、以及在濾色器中形成的公共電極。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，第一結(jié)構(gòu)可以包括TFT、第一和第二 讀出線、以及在TFT和第一和第二讀出線上形成的濾色器。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，在導電隔板上形成讀出電極，并通過 在濾色器上形成的接觸孔將所述讀出電極與第一和第二讀出線相連接。根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，濾色器包括具有不同厚度的紅色濾色 器、綠色濾色器以及藍色濾色器。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，在濾色器之中最厚的濾色器上形成單 元間隙隔板，并在和形成單元間隙隔板的濾色器不同顏色的濾色器上形 成導電隔板。
根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性實施例，制造顯示器面板的方法包括在
第一襯底上形成包括第一和第二讀出線的第一結(jié)構(gòu)；在第一結(jié)構(gòu)上形成 單元間隙隔板和導電隔板；把導電隔板和第一和第二讀出線相連接；在 第二襯底上形成包括公共電極的第二結(jié)構(gòu)；在公共電極上形成圖案；以 及把第一襯底粘附到第二襯底上。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，第一結(jié)構(gòu)的形成包括在第一襯底上形 成沿某個方向延伸的第一讀出線、以及包括柵電極的柵極線；在柵極線 上順序形成柵極絕緣膜、有源層和歐姆接觸層、以及然后形成TFT的有 源區(qū)；形成橫跨柵極線的第二讀出線、以及包括源電極和漏電極的數(shù)據(jù) 線；以及在TFT、柵極線、數(shù)據(jù)線，和第一和第二讀出線上形成絕緣膜。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，把導電隔板和第一和第二讀出線相連 接包括在絕緣膜中形成接觸孔以部分地暴露第一和第二讀出線；以及 在導電隔板和所暴露的第一和第二讀出線上形成讀出電極。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，第二結(jié)構(gòu)的形成包括在第二襯底上 形成黑矩陣；以及在第二襯底上形成濾色器。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，第二結(jié)構(gòu)的形成包括在濾色器上形成 導電層；以及刻蝕與形成單元間隙隔板的區(qū)域相對應的導電層區(qū)域，并 從而形成公共電極。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，第一結(jié)構(gòu)的形成包括在第一襯底上 形成沿某個方向延伸的第一讀出線、以及包括柵電極的柵極線；在柵極 線上順序形成柵極絕緣膜、有源層和歐姆接觸層、以及然后形成TFT的 有源區(qū)；形成橫跨柵極線的第二讀出線、以及包括源電極和漏電極的數(shù) 據(jù)線；以及在TFT、柵極線、數(shù)據(jù)線，和第一和第二讀出線上形成濾色 器。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，濾色器的形成包括在TFT、柵極線、數(shù)據(jù)線、以及第一和第二讀出線上形成具有不同厚度的紅色濾色器、綠 色濾色器以及藍色濾色器。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，在第一結(jié)構(gòu)上形成單元間隙隔板和導 電隔板包括在濾色器之中最厚的濾色器上形成單元間隙隔板，并在與 其上形成單元間隙隔板的濾色器不同顏色的濾色器上形成導電隔板。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，第二結(jié)構(gòu)的形成包括在第二襯底上形— 成導電層；以及刻蝕與形成單元間隙隔板的區(qū)域相對應的導電層區(qū)域， 并從而形成公共電極。


通過參考其附圖詳細描述示例性實施例，本發(fā)明上述和其它實施例 將變得更明白，其中
圖1是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例嵌入式觸摸屏液晶顯示 器面板(LCD)的示意性方框圖2是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例嵌入式觸摸屏液晶顯示 器面板的示意性平面圖3和4是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例沿著圖2的I-I'
和n-ir線的嵌入式觸摸屏液晶顯示器面板的截面圖5A到10B是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例用于依次解釋 沿著圖2的I-I'和II-II'線的嵌入式觸摸屏LCD的下襯底制造方法中包 括的步驟的裝置截面圖IIA到13B是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例用于依次解釋 沿著圖2的I-I，和II-II，線的嵌入式觸摸屏LCD的上襯底制造方法中包 括的步驟的裝置截面圖14是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例嵌入式觸摸屏液晶顯 示器面板的示意性平面圖15和16是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例沿著圖14的 ni-in'和IV-IV'線的嵌入式觸摸屏液晶顯示器面板的截面圖17A到23B是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例用于依次解釋 沿著圖14的III-III'和IV-IV'線的嵌入式觸摸屏LCD的下襯底制造方；
圖24A到25B是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例用于依次解釋 沿著圖14的III-in，和IV-工V，線的嵌入式觸摸屏LCD的上襯底制造方 法中包括的步驟的裝置截面圖。
具體實施例方式
通過參考下面的詳細說明和附圖，其中表示了本發(fā)明一個或多個示 例性實施例，可以更好的理解本發(fā)明的實施例。然而，本發(fā)明可以以很 多不同形式實施，并不限制于這里闡明的實施例。而是向本領域技術(shù)人 員提供這些實施例以便該公開更徹底和完整，并完全地表達本發(fā)明實施 例的概念。同樣，本發(fā)明范疇不僅僅由所附權(quán)利要求定義。在附圖中， 為了清楚夸大了層和區(qū)域的尺寸和相對尺寸。
應當理解，當元件或?qū)颖环Q為在另一個元件或?qū)?上"時，元件或 層可以是直接在另一個元件或?qū)由希蛘呖梢源嬖诓迦氲脑驅(qū)?。與 之相對，當元件或?qū)颖环Q為"直接"在另一個元件或?qū)?上"時，則沒 有插入的元件或?qū)?。相同的參考?shù)字全部代表相同的元件。作為這里使 用的，術(shù)語"和/或"包括相關(guān)列出項目的一個或多個的任意和全部組合。
空間相關(guān)術(shù)語，例如"下"、"下面"、"下"、"上"、"上"以及類似 的，這里用于描述如圖所示的一貫元件或特征和其它元件或特征的關(guān)系 的簡單描述。應當理解，空間相關(guān)術(shù)語傾向于包含圖中描述的方向之外 在使用或工作中的裝置的不同方位。
參考表示實施例理想化原理視圖的平面圖和/或截面圖，將描述一 個或多個實施例。相應地，可以根據(jù)使用的制造技術(shù)和/或想要的容差修 改視圖。因此，應當理解，實施例不限于視圖中示出的這些實施例，而 是可以包括基于制造過程中做的配置上的修改。另外，圖中作為例子的 區(qū)域和形狀不限于本發(fā)明其它實施例。
圖1是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例嵌入式觸摸屏液晶顯示 器面板(LCD)的示意性方框圖。參考圖l，嵌入式觸摸屏LCD可以包括 液晶顯示器面板100、面板驅(qū)動器400、觸摸位置檢測器500、以及位置確定器600。
液晶顯示器面板100可以包括下襯底200、上襯底300、以及插入 在下襯底200和上襯底300之間的液晶層(未示出)。在下襯底200上形 成薄膜晶體管(TFT)、像素電極、讀出電極、導電隔板、以及單元間隙 隔板。另外，在上襯底300上形成濾色器、黑矩陣、以及公共電極。
特別地，在下襯底200上形成沿一個方向延伸的多個柵極線GL1到 GLn、以及沿另一個方向延伸的多個數(shù)據(jù)線DL1到DLm。在柵極線GL1到 GLn和數(shù)據(jù)線DL1到DLm的每個交叉點上的區(qū)域中形成像素。另外，在 每個像素中形成包括TFT T和像素電極280的開關(guān)裝置。TFT T由柵電 極、源電極和漏電極組成。TFT T的柵電極和柵極線GL1到GLn之一相 連接，源電極和數(shù)據(jù)線DL1到DLm之一相連接，而漏電極和像素電極280 相連接。
為了作為觸摸屏面板，在下襯底200上形成多個第一讀出線(未示 出)和多個第二讀出線(未示出)。另外，在下襯底200上形成和第一和 第二讀出線相連接的讀出電極(未示出)。第一讀出線向和柵極線GL1 到GLn相同的方向延伸，而第二讀出線向和數(shù)據(jù)線DL1到DLm相同的方 向延伸。第一和第二讀出線在電氣上互相絕緣，并可以相互交叉。
向每根第一和第二讀出線施加具有預定電位的初始化驅(qū)動電壓 Vid，并把第一和第二讀出線和觸摸位置檢測器500相連接。每根第一和 第二讀出線形成紅色(R)、綠色(G)和藍色(B)像素的每一個，或者 形成像素的每個預定數(shù)字。例如，每根第一和第二讀出線形成每三個像 素。
為了作為觸摸屏面板，在下襯底200上形成多個導電隔板(未示出)。 導電隔板和連接到第一和第二讀出線的讀出電極相連接。當向液晶顯示 器面板100施加外部壓力時，導電隔板和在上襯底300上形成的公共電 極(未示出)產(chǎn)生電氣接觸。導電隔板形成R、 G和B像素的每一個，或 者形成像素的每個預定數(shù)字，例如每三個像素。在本實施例中，通過如 上所述的讀出電極把每個導電隔板和第一和第二讀出線相連接?？商鎿Q 地，每個導電隔板可以直接和第一和第二讀出線相連接。
在上襯底300上形成濾色器、公共電極以及黑矩陣。上襯底300面對下襯底200，并且和下襯底200相耦合，以便把液晶層(未示出)插 入到上襯底300和下襯底200之間。上襯底300是其上形成用于相應像 素的濾色器的濾色器襯底?？商鎿Q地，也可以在下襯底200上形成濾色器。
當可以和在下襯底200上形成的讀出電極相連接的導電隔板由于外 部壓力和在上襯底300上形成的公共電極電氣接觸時，施加到第一和第 二讀出線上的初始化驅(qū)動電壓Vid的電平發(fā)生變化。從而通過檢測初始 化驅(qū)動電壓Vid電平變化來確定施加外部壓力位置的x-和y-軸坐標。
面板驅(qū)動器400包括定時控制器410、電源單元420、灰度電壓發(fā) 生器430、數(shù)據(jù)驅(qū)動器440、以及柵極驅(qū)動器450。
定時控制器410控制LCD的全部操作。定時控制器410從例如圖形 控制器(未示出)的主機系統(tǒng)接收R、 G和B未處理數(shù)據(jù)信號DATAJ)以 及第一控制信號CNTL1，并輸出第一數(shù)據(jù)信號DATA1和第二到第四控制 信號CNTL2到CNTL4，以在液晶顯示器面板100上顯示圖像。
特別地，第一控制信號CNTL1包括主時鐘信號MCLK、水平同步信號 HSYNC、以及垂直同步信號VSYNC。第二控制信號CNTL2包括水平開始信 號STH、反轉(zhuǎn)信號REV、以及數(shù)據(jù)加載信號TP來控制數(shù)據(jù)驅(qū)動器440。 第三控制信號CNTL3包括垂直開始信號STV、時鐘信號CK、以及輸出使 能信號OE來控制柵極驅(qū)動器450。第四控制信號CNTL4包括CNTL3的時 鐘信號CK以及CNTL2的反轉(zhuǎn)信號REV來控制電源供應單元420。
如前所述，定時控制器410向數(shù)據(jù)驅(qū)動器440提供用來控制收到的 R、 G和B未處理信號DATA—0的輸出定時的第一數(shù)據(jù)信號DATA1。另夕卜， 定時控制器410還輸出第五控制信號CNTL5來控制觸摸位置檢測器500。 第五控制信號CNTL5包括向第一和第二讀出線提供的時鐘信號來控制來 自電源供應單元420輸出的初始化驅(qū)動電壓Vid。
響應來自定時控制器410輸出的第四控制信號CNTL4，電源單元420 輸出提供給液晶顯示器面板100的公共電壓Vcom和Vcst，提供給下襯 底200用于觸摸屏功能的初始化驅(qū)動電壓Vid，提供給灰度電壓發(fā)生器 430的模擬驅(qū)動電壓AVDD、以及提供給柵極驅(qū)動器450的柵極打開和柵 極關(guān)閉電壓Von和Voff?；叶入妷喊l(fā)生器430通過使用由電源單元420提供的模擬驅(qū)動電壓 AVDD輸出在數(shù)目上等于灰度等級數(shù)目的多個參考灰度電壓VGMA一R作為 參考電壓。也就是說，根據(jù)和施加伽馬曲線成正比的電阻把模擬驅(qū)動電 壓AVDD分成多個參考灰度電壓VGMA—R。
數(shù)據(jù)驅(qū)動器440基于從灰度電壓發(fā)生器430收到的參考灰度電壓 VGMA_R產(chǎn)生灰度電壓VGMA。另外，數(shù)據(jù)驅(qū)動器440基于從定時控制器 410收到的第二控制信號CNTL2和灰度電壓VGMA把以線為單位提供的數(shù) 字第一數(shù)據(jù)信號DATA1轉(zhuǎn)換成模擬數(shù)據(jù)信號。另外，數(shù)據(jù)驅(qū)動器440控 制數(shù)據(jù)信號的輸出定時，并向數(shù)據(jù)線DL1到DLm輸出數(shù)據(jù)信號。
柵極驅(qū)動器450響應從定時控制器410輸出的第三控制信號CNTL3 以及從電源單元420輸出的柵極打開和柵極關(guān)閉電壓Von和Voff產(chǎn)生柵 極信號，并且接著向柵極線GL1到GLn輸出產(chǎn)生的柵極信號。
觸摸位置檢測器500檢測施加了外部壓力的位置的坐標。也就是說， 當在下襯底200上形成的導電隔板由于外部壓力和在上襯底上形成的公 共電極相接觸時，施加到和導電隔板電氣上相連接的第一和第二讀出線 上的初始化驅(qū)動電壓Vid發(fā)生變化。這里，觸摸位置檢測器500檢測初 始化驅(qū)動電壓Vid的變化并且檢測施加外部壓力位置的x-和y-軸坐標。 因此，觸摸位置檢測器500包括電源控制器(未示出)和數(shù)據(jù)取樣器(未 示出)。電源控制器響應第五控制信號CNTL5向第一和第二讀出線提供初 始化驅(qū)動電壓Vid。數(shù)據(jù)取樣器檢測施加到每根第一和第二讀出線的初 始化驅(qū)動電壓Vid的變化，并且輸出第一檢測信號DS1和第二檢測信號 DS2。也可以在數(shù)據(jù)驅(qū)動器440中形成觸摸位置檢測器500。
位置確定器600結(jié)合基于從觸摸位置檢測器500收到的第一和第二 檢測信號DS1和DS2判定的x-和y-軸坐標，并且判定在液晶顯示器面板 100上施加了外部壓力的位置。
圖2是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例嵌入式觸摸屏液晶顯示 器面板100的示意性平面圖。圖3和4是分別沿著圖2的I-I'和II-II' 線的嵌入式觸摸屏液晶顯示器面板100的截面圖。在本實施例中，假設 為每三個像素形成讀出電極和導電隔板。
參考圖2到4，嵌入式觸摸屏液晶顯示器面板100包括互相面對面的下襯底200和上襯底300、以及插入在下襯底200和上襯底300之間 的液晶層(未示出)。
下襯底200包括在第一絕緣襯底210上的多個柵極線221、多個數(shù) 據(jù)線260、像素電極280、以及TFT T。柵極線221沿著第一方向延伸， 而數(shù)據(jù)線260沿著第二方向延伸并和柵極線221交叉。另外，在用柵極 線221和數(shù)據(jù)線260定義的像素區(qū)域中形成像素電極280，并且TFT T 和每根柵極線221、每根數(shù)據(jù)線260、以及像素電極280相連接。下襯底 200還包括第一和第二讀出線SL1和SL2、讀出電極281、單元間隙隔板 CS1、以及導電隔板CS2。第一讀出線SL1和每根柵極線221分開并以和 每根柵極線221相同的方向延伸。類似地，第二讀出線SL2和每根數(shù)據(jù) 線260分開并以和每根數(shù)據(jù)線260相同的方向延伸。另外，讀出電極281 和第一和第二讀出線SL1和SL2相連接。
特別地，柵極線221可以沿例如水平方向延伸，而每根柵極線221 的一部分可以凸出以形成柵電極222。在具有柵極線221的第一絕緣襯 底210的整個表面上形成柵極絕緣膜230。柵極絕緣膜230可以是單層 或多層，并由氧化硅(SiOx)或氮化硅(SiNx)做成。
有源層241由例如無定形硅的第一半導體材料做成，并形成在柵極 絕緣膜230上。歐姆接觸層251由例如硅化物或摻雜了高濃度n型雜質(zhì) 的n+氫化無定形硅的第二半導體材料做成，并形成在有源層241上?？?以去掉在源電極261和漏電極262之間的通道區(qū)域中的部分歐姆接觸層 251。
在柵極絕緣膜230上形成數(shù)據(jù)線260。數(shù)據(jù)線260以和柵極線221 交叉的垂直方向延伸。把其中數(shù)據(jù)線260和柵極線221相互交叉的區(qū)域 定義為像素區(qū)域。源電極261從每根數(shù)據(jù)線260伸出到歐姆接觸層251。 另外，漏電極262和源電極261相分離，并形成在歐姆接觸層251上。
在具有柵極線221和數(shù)據(jù)線260的柵極絕緣膜230的整個表面上形 成鈍化層270。鈍化層270是無機絕緣層或有機絕緣層。另外，在鈍化 層270的預定區(qū)域上形成第一到第三接觸孔271到273。第一接觸孔271 暴露漏電極262的預定區(qū)域；第二接觸孔272部分地暴露第一讀出線 SL1;以及第三接觸孔273部分地暴露第二讀出線SL2。在鈍化層270上形成像素電極280。像素電極280由例如銦錫氧化 物(ITO)或銦鋅氧化物(IZO)的透明導電材料做成。像素電極280通 過第一接觸孔271和漏電極262相連接。
通過預定間隙把第一讀出線SL1和每根柵極線221分隔開，并在和 柵極線221同樣的時間形成第一讀出線SL1。另外，通過預定間隙把第 二讀出線SL2和每根數(shù)據(jù)線260分隔開。為每預定數(shù)目的像素形成第二 讀出線SL2。例如，在B像素和R像素之間形成第二讀出線SL2。另外， 在和數(shù)據(jù)線260同樣的時間形成第二讀出線SL2。
分別通過第二和第三接觸孔272和273把讀出電極281和第一和第 二讀出線SL1和SL2相連接。在和像素電極280同樣的時間形成第讀出 電極281，并通過預定間隙把讀出電極281和像素電極280分隔開。
單元間隙隔板CS1用于維持下襯底200和上襯底300之間的間隙， 并為每個像素或每預定數(shù)目的像素形成單元間隙隔板CS1。例如，可以 為每三個像素形成單元間隙隔板CS1。可以在TFTT上，特別地，在形 成B濾波器和R濾波器之間的黑矩陣的區(qū)域中形成單元間隙隔板CS1 。
為每預定數(shù)目的像素形成單元間隙隔板導電隔板CS2。例如，可以 在下襯底200的第一和第二讀出線上形成導電隔板CS2，來和在依次排 列的R、 G和B像素中的R像素和B像素之間的黑矩陣相對應。可以改變 導電隔板CS2的位置，只要導電隔板CS2在屏幕上不可見，并且能用導 電隔板CS2毫無困難的檢測到用戶觸摸的屏幕上的位置。
根據(jù)本發(fā)明一個或多個實施例，可以在同一層上，也就是在下襯底 200的鈍化層270上，形成單元間隙隔板CS1和導電隔板CS2，并且相互 分離。可以在單元間隙隔板CS1和導電隔板CS2上形成和像素電極280 同樣的導電層。單元間隙隔板CS1可以和上襯底300相接觸，并從而支 撐下和上襯底200和300。在另一方面，導電隔板CS2可以和第一和第 二讀出電極相接觸，但是通過預定間隙和上襯底300分隔開。當用戶觸 摸屏幕時，通過預定間隙和上襯底300分隔開的導電隔板CS2和上襯底 300上形成的公共電極相接觸。從而能檢測到用戶觸摸的屏幕上的位置。 在本實施例中，導電隔板CS2和第一和第二讀出電極相接觸。然而，本 發(fā)明的實施例并不限于此。例如，兩個導電隔板可以分別和第一和第二讀出電極相接觸。
上襯底300包括黑矩陣320、濾色器330、涂敷層340、以及在第二 絕緣襯底310上的公共電極350。
在上襯底300的區(qū)域中而不是像素區(qū)域中形成黑矩陣320。例如， 在與下襯底200的每根柵極線221、每根數(shù)據(jù)線260、 TFT T、以及第一 和第二讀出線SL1和SL2相對應的上襯底300區(qū)域中形成黑矩陣320。 黑矩陣320防止光線泄露到像素區(qū)域以外，并且還防止相鄰像素區(qū)域之 間的光學干涉。黑矩陣320由添加了黑色顏料的光敏有機材料做成。黑 色顏料可以是碳黑或氧化鈦。
在部分黑矩陣320之間的重復圖案中形成R、 G和B濾色器來形成 濾色器330。濾色器330向光源發(fā)出并經(jīng)過液晶層(未示出)的光添加 顏色。濾色器330由光敏有機材料做成。
在本實施例中，在上襯底上形成濾色器和黑矩陣。然而，本發(fā)明實 施例并不限于本實施例。例如，也可以在下襯底上形成濾色器和黑矩陣， 這將在接下來的實施例中描述。
公共電極350由例如ITO或IZO的透明導電材料做成。在具有黑矩 陣320和濾色器330的第二絕緣襯底310上形成公共電極350。在本實 施例中，可以刻蝕在其中形成單元間隙隔板CS1的區(qū)域中的公共電極 350，以防止在下襯底200的單元間隙隔板CS1上形成的導電層和上襯底 300的公共電極350在電氣上相接觸。在這種情況下，當形成公共電極 圖案時，可以普遍地刻蝕公共電極350。從而不要求額外步驟。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的LCD具有在下襯底200的同 一層上形成的單元間隙隔板CS1和導電隔板CS2。因此，能夠減少制造 顯示器面板所要求的步驟數(shù)。另外，可以在每個公共電極350上形成狹 縫圖案，來每個像素的液晶分子分離成多個范圍，以便相應地排列液晶 分子。在這種情況下，當形成狹縫圖案時，可以刻蝕對應于其中形成單 元間隙隔板CS1的區(qū)域的部分公共電極350。從而不要求額外步驟的制 造上襯底300。即使在每個公共電極350中沒有形成狹縫圖案，也可以 刻蝕對應于其中形成單元間隙隔板CS1的區(qū)域的部分公共電極350。在 這種情況下，刻蝕平坦公共電極350比去掉下襯底200的單元間隙隔板CS1上形成的導電層更簡單。
圖5A到10B是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例用于依次解釋 沿著圖2的I-I，和II-II'線的嵌入式觸摸屏LCD的下襯底制造方法中包
括的步驟的裝置截面圖。每個圖的"a"是沿著圖2的i-r線的下襯底
200的步驟截面圖，而每個圖的"B"是沿著圖2的II-n，線的下襯底 200的步驟截面圖。
參考圖5A和5B，為了制造根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的嵌入式觸摸 屏LCD，在透明絕緣襯底，也就是由玻璃、石英或塑料做成的第一絕緣 襯底210上形成第一導電層。然后，在使用第一掩模的光刻步驟中給第 一導電層加上圖案。結(jié)果，形成了以周期隔板在一個方向上延伸的柵極 線221、以及從每根柵極線221伸出的柵電極222。另外，形成通過預定 間隙和每根柵極線221分隔開的第一讀出線SL1。
參考圖6A和6B，在第一絕緣襯底210的整個表面上依次形成柵極 絕緣膜230以及第一和第二半導體層。然后，在使用第二掩模的光刻步 驟中給第一和第二半導體層加上圖案。結(jié)果，形成了有源層241和歐姆 接觸層251。形成有源層241和歐姆接觸層251來覆蓋柵極222。柵極絕 緣膜230由包括SiOx或SiNx的無機絕緣材料做成。另外，第一半導體 層可以是無定形硅層，而第二半導體層可以由例如硅化物或摻雜了高濃 度n型雜質(zhì)的n+氫化無定形硅做成。
參考圖7A和7B，在第一絕緣襯底210的整個表面上形成第二導電 層。然后，在使用第三掩模的光刻步驟中給第二導電層加上圖案。結(jié)果， 形成了每根包括從數(shù)據(jù)線260伸出的源電極261和漏電極262的數(shù)據(jù)線 260，以和柵極線221正交的方向延伸。同時，形成通過預定間隙和每根 數(shù)據(jù)線260分隔開的第二讀出線SL2?？梢詾槊拷M一個或多個像素，例 如每三個像素，形成第二讀出線SL2。
參考圖8A和8B，在第一絕緣襯底210的整個表面上形成鈍化層270。 然后，在使用第四掩模的光刻步驟中給鈍化層270加上圖案。結(jié)果，形 成了暴露漏電極262的第一接觸孔271，暴露第一讀出線SL1的第二接 觸孔272、以及暴露第二讀出線SL2的第三接觸孔273。
參考圖9A和9B，在鈍化層270上形成第三導電層。然后，在使用第五掩模的光刻步驟中給第三導電層加上圖案。結(jié)果，形成了單元間隙
隔板CS1和導電隔板CS2。這里，形成具有不同高度的單元間隙隔板CS1 和導電隔板CS2。也就是說，單元間隙隔板CS1比導電隔板CS2更高。 在這種情況下，當用戶沒有觸摸屏幕時，單元間隙隔板CS1和上襯底300 相接觸，而導電隔板CS2通過預定間隙和上襯底300分隔開。在本實施 例中，使用第三導電層來形成單元間隙隔板CS1和導電隔板CS2。然而， 也可以使用絕緣材料來形成單元間隙隔板CS1和導電隔板CS2。
參考圖10A和IOB，在第一絕緣襯底210的整個表面上形成第四導 電層。然后，在使用第六掩模的光刻步驟中給第四導電層加上圖案。結(jié) 果，形成了像素電極280和讀出電極281。在柵極線221和數(shù)據(jù)線260 相互交叉的像素區(qū)域中形成像素電極280。用第一接觸孔271把像素電 極280和漏電極262相連接。另外，讀出電極281分別通過第二和第三 接觸孔272和273和第一和第二讀出線SL1和SL2電氣上相連接。因為 在像素區(qū)域以外的區(qū)域形成讀出電極281，它和像素電極280在電氣上 不相連。第四導電層可以是由ITO或IZO做成的透明導電層。
圖IIA到13B是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例用于依次解釋 沿著圖2的I-I，和II-II，線的嵌入式觸摸屏LCD的上襯底300制造方法 中包括的步驟的裝置截面圖。每個圖的"A"是沿著圖2的I-I，線的上 襯底300的步驟截面圖，而每個圖的"B"是沿著圖2的II-n'線的上 襯底300的步驟截面圖。
參考圖11A和11B，在透明絕緣襯底，也就是由玻璃、石英、陶瓷 或塑料做成的第二絕緣襯底310的預定區(qū)域上形成黑矩陣320。特別地， 在第二絕緣襯底310上形成添加了例如碳黑或氧化鈦的黑色顏料的光敏 有機材料，并使用第一掩模在光敏有機材料上執(zhí)行曝光和顯影步驟。結(jié) 果，形成了黑矩陣320。在像素區(qū)域以外的區(qū)域，也就是在對應于下襯 底200的每根柵極線221、每根數(shù)據(jù)線260、以及第一和第二讀出線SL1 和SL2的區(qū)域中形成黑矩陣320。黑矩陣320把濾色器330分隔開，并 在不能用下襯底200的像素電極280控制的區(qū)域中阻擋通過液晶細胞的 光線，從而提高LCD的對比度。
參考圖12A和12B,在具有黑矩陣320的第二絕緣襯底310上形成包括例如R、 G和B濾波器的濾色器330。特別地，在第二絕緣襯底310 上涂敷具有在那里散開的R顏料的負顏色阻抗(negative color resist)。然后使用第二掩模曝光要形成R濾波器的區(qū)域中的負顏色阻 抗。接下來，使用顯影液對負顏色阻抗進行顯影。相應地，不去掉曝光 區(qū)域，但是當去掉沒有曝光的區(qū)域時保留下圖案。結(jié)果，在第二絕緣襯 底310上形成了 R濾波器。如上所述還可以形成B濾波器和G濾波器。 為了得到出眾的階躍覆蓋，當形成公共電極350時可以在濾色器330上 形成涂敷層340。
參考圖13A和13B，在具有濾色器330的第二絕緣襯底310的整個 表面上形成導電層。導電層由包含ITO或IZO的透明導電材料做成，并 可以使用濺射形成。結(jié)果，在第二絕緣襯底310的整個表面上形成公共 電極350。在使用第三掩模的光刻步驟中在公共電極350上形成圖案。 當形成公共電極350的圖案(未示出)時，還可以在對應于下襯底200 的單元間隙隔板CS1的部分公共電極350中形成狹縫351，以便單元間 隙隔板CS1和公共電極350不在電氣上相互接觸。然后，把下襯底200 和上襯底300互相粘到一起，來完成根據(jù)本實施例的液晶顯示器面板 亂
以下將參考附圖描述根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例的包括 其下襯底上的濾色器和黑矩陣的嵌入式觸摸屏LCD。
圖14是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例嵌入式觸摸屏液晶顯 示器面板100的示意性平面圖。圖15和16是分別沿著圖14的III-nr 和IV-IV'線的嵌入式觸摸屏液晶顯示器面板100的截面圖。如在前面圖 2到4的實施例一樣，在本實施例中，假設為每三個像素形成讀出電極 和導電隔板。
參考圖14到16，根據(jù)示例性實施例嵌入式觸摸屏液晶顯示器面板 100包括互相面對面的下襯底200和上襯底300、以及插入在下襯底200 和上襯底300之間的液晶層(未示出)。
下襯底200包括在第一絕緣襯底210上的黑矩陣211、多個柵極線 221、多個數(shù)據(jù)線260、像素電極280、以及TFT T。柵極線221沿著第 一方向延伸，而數(shù)據(jù)線260沿著第二方向延伸并和柵極線221交叉。在用柵極線221和數(shù)據(jù)線260定義的像素區(qū)域中形成像素電極280，并且 通過第一接觸孔271和漏電極262相連接。TFT T和每根柵極線221、每 根數(shù)據(jù)線260，以及像素電極280相連接。
下襯底200還包括第一和第二讀出線SL1和SL2、濾色器、單元間 隙隔板CS1、導電隔板CS2、以及讀出電極281。第一讀出線SL1和每根 柵極線221分開并以和每根柵極線221相同的方向延伸。類似地，第二 讀出線SL2和每根數(shù)據(jù)線260分開并以和每根數(shù)據(jù)線260相同的方向延 伸。在第一和第二讀出線SL1和SL2上形成濾色器，并在濾色器上形成 單元間隙隔板CS1和導電隔板CS2。在單元間隙隔板CS1上形成讀出電 極281，并分別通過第二和第三接觸孔272和273和第一和第二讀出線 SL1和SL2相連接。另外，上襯底300包括第二絕緣襯底310以及在第 二絕緣襯底310上下襯底公共電極350。
濾色器包括R濾色器CF1、 G濾色器CF2和B濾色器CF3，并在其上 有TFT T、第二讀出線SL2和數(shù)據(jù)線260的柵極絕緣膜230上形成。在 濾色器中形成部分暴露漏電極262的第一接觸孔271，分別部分暴露第 一和第二讀出線SL1和SL2的第二和第三接觸孔272和273。這里，在 濾色器上形成像素電極280，并通過第一接觸孔271和TFTT的漏電極262 相連接。像素電極280由例如ITO或IZO的透明導電材料做成。
如上所述，濾色器包括R濾色器CF1、G濾色器CF2和B濾色器CF3。 在本實施例中，每個R濾色器CF1、 G濾色器CF2和B濾色器CF3具有不 同厚度。例如，R濾色器CF1的厚度最小，G濾色器CF2的厚度居中，而 B濾色器CF3的厚度是三個濾色器中最大的。然而，本發(fā)明實施例并不 限于此。當每個濾色器具有不同厚度時，其顏色可以變化。
由于R濾色器CF1、 G濾色器CF2和B濾色器CF3的厚度之間的不 同，可以形成具有相等高度的單元間隙隔板CS1和導電隔板CS2，不同 于前面圖2到4的示例性實施例。也就是說，在例如B濾色器CF3的最 厚的濾色器上形成單元間隙隔板CS1，并在例如R濾色器CF1的不具有 單元間隙隔板CS1的濾色器上形成導電隔板CS2。因此，單元間隙隔板 CS1和上襯底300相接觸，而導電隔板CS2不和上襯底300相接觸。這 里，在單元間隙隔板CS1頂部和導電隔板CS2頂部之間的高度或間隙的差異足以使得觸摸面板能夠工作。例如，間隙為0. 3到1. 0y m或者0. 5 到0.8um。然而，本發(fā)明實施例并不限于此。
如上所述，在下襯底上形成濾色器，并且每個濾色器具有不同厚度， 使得在下襯底200和上襯底300之間的單元間隙在每個區(qū)域不同。在下 和上襯底200和300之間的單元間隙可以是多單元間隙。相應地，在不 同顏色的濾色器上形成的單元間隙隔板CS1和導電隔板CS2具有不同高 度。這里，其上形成單元間隙隔板CS1的濾色器必須比其上形成導電隔 板CS2的濾色器更厚。
在本實施例中，在下襯底200上形成具有不同厚度和顏色的濾色器， 并且在具有不同厚度的濾色器上形成單元間隙隔板CS1和導電隔板CS2。 因此，不需要額外步驟，可以形成具有不同厚度的單元間隙隔板CS1和 導電隔板CS2。
圖17A到23B是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例用于依次解釋 嵌入式觸摸屏LCD的下襯底200制造方法中包括的步驟的裝置截面圖。 每個圖的"A"是沿著圖14的ni-in，線的下襯底200的步驟截面圖， 而每個圖的"B"是沿著圖14的IV-IV'線的下襯底200的步驟截面圖。
參考圖17A和17B，在透明絕緣襯底，也就是第一絕緣襯底210上 通過化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)或者濺射形成第一導電 層。第一導電層由的Cr、 MoW、 Cr/Al、 Cu、 Al (Nd) 、 Mo/Al、 Mo/Al (Nd) 或者Cr/Al(Nd)中的至少之一做成。第一導電層可以是多個層。然后， 在第一導電層上形成光敏膜，并用第一掩模(未示出)在光敏膜上執(zhí)行 光刻步驟來形成第一光敏膜掩模圖案(未示出)。接下來，使用第一光敏 膜掩模圖案作為刻蝕掩模來執(zhí)行刻蝕步驟以形成每根柵極線221、從柵 極線221伸出的柵電極222、第一讀出線SL1、以及黑矩陣211。然后， 執(zhí)行剝離步驟來去掉第一光敏膜掩模圖案。
參考圖18A和19B，在第一絕緣襯底210上依次形成柵極絕緣膜230、 有源層241、以及歐姆接觸層251。然后，使用第二光敏膜掩模圖案(未 示出)執(zhí)行刻蝕步驟以形成TFT T的有源區(qū)。
特別地，在第一絕緣襯底210上用等離子增強化學氣相沉積(PECVD) 或濺射形成柵極絕緣膜230。這里，柵極絕緣膜230由包含SiOx或SiNx的無機絕緣材料做成。使用例如上述的CVD、 PVD或者濺射的沉積方法之 一，在柵極絕緣膜230上依次形成有源層241和歐姆接觸層251。使用 無定形硅作為有源層241，使用硅化物層或摻雜了高濃度n型雜質(zhì)的n+ 氫化無定形硅層作為歐姆接觸層251。
接下來，在歐姆接觸層251上涂敷光敏膜，并用第二掩模(未示出) 執(zhí)行光刻步驟來形成第二光敏膜掩模圖案(未示出)。接下來，為了去除 歐姆接觸層251和有源層241，使用第二光敏膜掩模圖案作為刻蝕掩模 和使用柵極絕緣膜230作為終止刻蝕膜來執(zhí)行刻蝕步驟。結(jié)果，在柵電 極222上形成了具有預定形狀的有源區(qū)。然后，進行剝離步驟來去掉剩
余的第二光敏膜掩模圖案。
參考圖19A和19B,在具有每個TFT T的有源區(qū)的第一絕緣襯底210
的整個表面上形成第二導電層。然后，使用第三光敏膜掩模圖案(未示 出)刻蝕第二導電層來形成每根數(shù)據(jù)線260、第二讀出線SL2、從數(shù)據(jù)線 260伸出的源電極261、以及漏電極262。
特別地，使用CVD、 PVD或者濺射在第一絕緣襯底210上形成第二 導電層。使用由Mo、 Al、 Cr或Ti中的至少之一做成的單層或多層作為 第二導電層?？商鎿Q地，第二導電層由和第一導電層相同的材料做成。 當在第二導電層上涂敷了光敏膜之后，使用掩模執(zhí)行光刻步驟來形成第 三光敏膜掩模圖案。然后，使用第三光敏膜掩模圖案作為刻蝕掩模來刻 蝕第二導電層。接下來，去掉第三光敏膜掩模圖案，并使用刻蝕的第二 導電層作為刻蝕掩模來執(zhí)行刻蝕步驟。結(jié)果，去掉了用第二導電層暴露 的部分歐姆接觸層251，并在源電極261和漏電極262之間形成了有源 層241的通道。
參考圖20A和20B，在具有TFT T和數(shù)據(jù)線260的第一絕緣襯底210 的整個表面上形成包括R濾色器CF1、G濾色器CF2和B濾色器CF3的濾 色器。這里，形成每個R濾色器CF1、 G濾色器CF2和B濾色器CF3具有 不同厚度。例如，R濾色器CF1的厚度最小，G濾色器CF2的厚度居中， 而B濾色器CF3的厚度是三個濾色器中最大的。
參考圖21A和21B，使用第四光敏膜掩模圖案執(zhí)行刻蝕步驟來部分 地去掉濾色器。結(jié)果，形成了第一到第三接觸孔271到273。參考圖22A和22B，在濾色器的整個表面上形成第三導電層。然后 使用第五光敏膜掩模圖案(未示出)給第三導電層加上圖案，來形成單 元間隙隔板CS1和導電隔板CS2。在TFTT上形成單元間隙隔板CS1，并 在第一和第二讀出線SL1和SL2上形成導電隔板CS2。
參考圖23A和23B，在濾色器、單元間隙隔板CS1和導電隔板CS2 上形成第四導電層。然后，使用第六光敏膜掩模圖案(未示出)給第四 導電層加上圖案，來形成像素電極280和讀出電極281。像素電極280 通過第一接觸孔271和漏電極262相連接，而讀出電極281分別通過第 二和第三接觸孔272和273和第一和第二讀出線SL1和SL2相連接。成 第四導電層是由ITO或IZO做成的透明導電層。
圖24A到25B是根據(jù)本發(fā)明一個或多個示例性實施例用于依次解釋 沿著圖14的ni-II工，和IV-IV，線的嵌入式觸摸屏LCD的上襯底300制 造方法中包括的步驟的裝置截面圖。每個圖的"A"是沿著圖14的 III-in，線的上襯底300的步驟截面圖，而每個圖的"B"是沿著圖14 的IV-IV，線的上襯底300的步驟截面圖。
參考圖24A和24B，可以在透明絕緣襯底(即，第二絕緣襯底310，
可以由玻璃、石英、陶瓷或塑料形成)上形成第一導電層(即公共電極 350)。所述第一導電層可以是由ITO或IZO制成的、并且是通過CVD、 PVD或濺射形成的透明導電層。
參考圖25A和25B，在形成狹縫351的光刻步驟中使用掩模去掉與 形成下襯底200的單元間隙隔板CS1相對應區(qū)域部分的公共電極350， 以便單元間隙隔板CS1不和公共電極350在電氣上相接觸。當在與單元 間隙隔板CS1相對應區(qū)域的那部分公共電極350中執(zhí)行光刻步驟時，在 公共電極350上還形成了圖案(未示出)。然后，把下襯底200和上襯底 300互相粘附到一起，來完成根據(jù)本實施例的液晶顯示器面板100。
本發(fā)明提供包括單元間隙隔板CS1和導電隔板CS2的嵌入式觸摸屏 液晶顯示器面板100、以及在同一層上同時形成單元間隙隔板CS1和導 電隔板CS2來減小制造步驟數(shù)目和制造成本的嵌入式觸摸屏液晶顯示器 面板100的制造方法。
另外，本發(fā)明提供嵌入式觸摸屏液晶顯示器面板100、以及嵌入式觸摸屏液晶顯示器面板ioo的制造方法，其中在同一層上形成單元間隙
隔板CSl和導電隔板CS2，并且刻蝕與形成單元間隙隔板CSl相對應區(qū) 域的那部分公共電極350來形成狹縫圖案351，從而不要求額外步驟的 制造上襯底300。
盡管已經(jīng)具體示出和描述了本發(fā)明示例性實施例，但本領域普通技 術(shù)人員應當理解，在不脫離所附權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍 的情況下，可以進行形式和細節(jié)上的多種改變。示例性實施例應該僅僅 作為描述性考慮，而不是用于限制本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種顯示器面板，包括透明的第一襯底；面對所述第一襯底的第二襯底；在所述第一襯底上形成的導電隔板和單元間隙隔板；以及在所述第二襯底上形成的并且在接觸所述單元間隙隔板的區(qū)域中具有小孔的公共電極。
2. 如權(quán)利要求1的顯示器面板，其中在同一層形成所述導電隔板和 所述單元間隙隔板。
3. 如權(quán)利要求2的顯示器面板，其中所述第一襯底包括其上形成所 述導電隔板和所述單元間隙隔板的第一結(jié)構(gòu)。
4. 如權(quán)利要求3的顯示器面板，其中所述第二襯底包括其上形成所 述公共電極的第二結(jié)構(gòu)。
5. 如權(quán)利要求4的顯示器面板，其中所述第一結(jié)構(gòu)包括薄膜晶體管 (TFT)、第一和第二讀出線、以及在所述TFT以及所述第一和第二讀出線上形成的絕緣膜。
6. 如權(quán)利要求5的顯示器面板，其中在所述導電隔板上形成讀出電 極，并通過在所述絕緣膜中形成的接觸孔將所述讀出電極與所述第一和 第二讀出線相連接。
7. 如權(quán)利要求5的顯示器面板，其中所述第二結(jié)構(gòu)包括黑矩陣、在 所述黑矩陣上形成的濾色器、以及在所述濾色器上形成的所述公共電極。
8. 如權(quán)利要求3的顯示器面板，其中所述第一結(jié)構(gòu)包括TFT、第一 和第二讀出線、以及在所述TFT和所述第一和第二讀出線上形成的濾色 器。
9. 如權(quán)利要求8的顯示器面板，其中在所述導電隔板上形成讀出電 極，并通過在所述濾色器中形成的接觸孔將所述讀出電極與所述第一和 第二讀出線相連接。
10. 如權(quán)利要求8的顯示器面板，其中所述濾色器包括具有不同厚 度的紅色濾色器、綠色濾色器以及藍色濾色器。
11. 如權(quán)利要求10的顯示器面板，其中在濾色器之中最厚的濾色器 上形成單元間隙隔板，并在和形成單元間隙隔板的濾色器不同顏色的濾色器上形成導電隔板。
12. —種制造顯示器面板的方法，所述方法包括在第一襯底上形成包括第一和第二讀出線的第一結(jié)構(gòu)；在所述第一結(jié)構(gòu)上形成單元間隙隔板和導電隔板； 把所述導電隔板與所述第一和第二讀出線相連接； 在第二襯底上形成包括公共電極的第二結(jié)構(gòu)； 在所述公共電極上形成圖案；以及 把所述第一襯底粘附到所述第二襯底上。
13. 如權(quán)利要求12的方法，其中所述第一結(jié)構(gòu)的形成包括在所述第一襯底上形成沿某個方向延伸的第一讀出線、以及包括柵 電極的柵極線；在所述柵極線上順序形成柵極絕緣膜、有源層和歐姆接觸層、以及 然后形成薄膜晶體管(TFT)的有源區(qū)；形成橫跨所述柵極線的第二讀出線、以及包括源電極和漏電極的數(shù) 據(jù)線；以及在所述TFT、所述柵極線、所述數(shù)據(jù)線、和所述第一和第二讀出線 上形成絕緣膜。
14. 如權(quán)利要求13的方法，其中把所述導電隔板與所述第一和第二 讀出線相連接包括在所述絕緣膜中形成接觸孔以部分地暴露所述第一和第二讀出線；以及在所述導電隔板和所暴露的第一和第二讀出線上形成讀出電極。
15. 如權(quán)利要求14的方法，其中所述第二結(jié)構(gòu)的形成包括 在所述第二襯底上形成黑矩陣；以及 在所述第二襯底上形成濾色器。
16. 如權(quán)利要求15的方法，其中所述第二結(jié)構(gòu)的形成包括 在所述濾色器上形成導電層；以及刻蝕與形成單元間隙隔板的區(qū)域相對應的導電層區(qū)域，并從而形成所述公共電極。
17. 如權(quán)利要求12的方法，其中所述第一結(jié)構(gòu)的形成包括 在所述第一襯底上形成沿某個方向延伸的第一讀出線、以及包括柵電極的柵極線；在所述柵極線上順序形成柵極絕緣膜、有源層和歐姆接觸層、以及然后形成TFT的有源區(qū)；形成橫跨所述柵極線的第二讀出線、以及包括源電極和漏電極的數(shù)據(jù)線；以及在所述TFT、所述柵極線、所述數(shù)據(jù)線和所述第一和第二讀出線上 形成濾色器。
18. 如權(quán)利要求17的方法，其中所述濾色器的形成包括 在所述TFT、所述柵極線、所述數(shù)據(jù)線和所述第一和第二讀出線上形成具有不同厚度的紅色濾色器、綠色濾色器以及藍色濾色器。
19. 如權(quán)利要求18的方法，其中在所述第一結(jié)構(gòu)上形成所述單元間 隙隔板和所述導電隔板包括在濾色器之中最厚的濾色器上形成所述單元間隙隔板；以及 在與其上形成所述單元間隙隔板的濾色器不同顏色的濾色器上形 成所述導電隔板。
20. 如權(quán)利要求19的方法，其中所述第二結(jié)構(gòu)的形成包括在所述第二襯底上形成導電層；以及刻蝕與形成所述單元間隙隔板的區(qū)域相對應的導電層區(qū)域，并從而 形成所述公共電極。
全文摘要
根據(jù)一個或多個實施例，提供嵌入式觸摸屏液晶顯示器面板、以及其制造方法。例如，所述嵌入式觸摸屏液晶顯示器面板包括透明的第一襯底；面對第一襯底的第二襯底；在第一襯底上形成的導電隔板和單元間隙隔板；以及在第二襯底上形成的并且在接觸第一襯底上的單元間隙隔板的區(qū)域上具有小孔的公共電極。
文檔編號H01L21/50GK101540127SQ20091000639
公開日2009年9月23日 申請日期2009年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月17日
發(fā)明者張善榮, 李相憲, 澈 許, 金官秀, 金怲住 申請人:三星電子株式會社