缺陷檢查裝置、圖形描繪裝置及圖形描繪系統(tǒng)的制作方法

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導(dǎo)航： X技術(shù)> 最新專利>電氣元件制品的制造及其應(yīng)用技術(shù)

專利名稱：缺陷檢查裝置、圖形描繪裝置及圖形描繪系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種檢査行程長度(Run-length)數(shù)據(jù)缺陷的技術(shù)，上述行程長度數(shù)據(jù)通過對記載有應(yīng)描繪的圖形的輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行RIP處理來取得，并用于圖形描繪。例如，一種檢査將半導(dǎo)體基板、液晶顯示裝置用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、等離子顯示用玻璃基板、光盤用基板等(以下，簡稱為"基板")的電路圖案根據(jù)CAD數(shù)據(jù)直接描繪到抗蝕劑上時所提供的行程長度數(shù) 據(jù)的缺陷。
背景技術(shù)：
隨著近年來的半導(dǎo)體集成電路的高度集成化和復(fù)雜化，必須從DRAM (Dynamic Random Access Memory:動態(tài)隨機(jī)存取存儲器)等的少品種大量生產(chǎn)的商業(yè)模式，轉(zhuǎn)換到系統(tǒng)LSI等多品種小量生產(chǎn)的商業(yè)模式。另外，系統(tǒng)LSI等的電路圖案逐年變得微細(xì)化，其生產(chǎn)費(fèi)變得龐大。以前，對基板的圖案描繪(更具體地講，利用光蝕刻法的圖案描繪(曝光))是通過將利用CAD系統(tǒng)作成并編輯的電路圖案以激光描繪在薄膜上來作成光掩模，并采用了用該光掩模將電路圖案轉(zhuǎn)印在基板上的方法。但是，存在如下問題，即，因為該光掩模是高精度微細(xì)加工而成的，所以價格非常高，從費(fèi)用上面考慮的話不適合多品種少量的生產(chǎn)。因此，為了減少系統(tǒng)LSI等的開發(fā)費(fèi)用，正在導(dǎo)入不使用光掩模的圖案描繪方法(即，不使用光掩模，根據(jù)CAD數(shù)據(jù)直接在抗蝕劑上描繪電路圖案的方法，以下稱為"直接描繪方法")。在利用直接描繪方法描繪電路圖案的裝置(以下，成為"直接描繪裝置") 中，解析行程長度數(shù)據(jù)(根據(jù)多個水平方向(或垂直方向)的線段的起點(diǎn)位置及長度來記載的數(shù)據(jù))并進(jìn)行描繪，其中上述行程長度數(shù)據(jù)是對記載有應(yīng) 描繪的電路圖案的CAD數(shù)據(jù)進(jìn)行RIP (Raster Image Processor:光柵圖形處理)處理而取得的。但是，在通過RIP處理而取得的行程長度數(shù)據(jù)中，可能會產(chǎn)生因RIP處理中的誤轉(zhuǎn)換等而引起的缺陷(即，與CAD數(shù)據(jù)的記載內(nèi)容之間的差異)。若行程長度數(shù)據(jù)中產(chǎn)生缺陷，則會導(dǎo)致無法進(jìn)行正確的描繪。因此，在執(zhí)行描繪時，需要執(zhí)行如下的驗證步驟，即，根據(jù)無缺陷的行程長度數(shù)據(jù)，驗證是否能夠執(zhí)行正確的描繪。當(dāng)利用使用光掩模的圖案描繪方法時，在執(zhí)行描繪之前一定會生成光掩模。因此，通過檢查該光掩模，能夠驗證是否可執(zhí)行正確的掃描。但是，當(dāng)利用不使用光掩模的直接描繪方法時，因為不生成光掩模就執(zhí) 行描繪，所以無法利用光掩模來檢查行程長度數(shù)據(jù)的缺陷。因此，在現(xiàn)有技術(shù)中，在利用直接描繪方法時，暫先執(zhí)行對基板的描繪，再檢査所描繪的電路圖案。例如，通過以目視來確認(rèn)顯影后的基板的電路圖案，或者，通過檢查拍攝顯影后的基板的電路圖案而獲得的圖像(拍攝圖案)，從而檢查缺陷 (參照專利文獻(xiàn)l)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，如果沒有暫先執(zhí)行描繪，則無法檢測出行程長度數(shù)據(jù)的缺陷。S卩，因為即使在通過RIP處理而取得的行程長度數(shù)據(jù)中產(chǎn)生了缺陷，在執(zhí)行描繪之前也無法檢測出該缺陷，所以根據(jù)有缺陷的行程長度數(shù)據(jù)執(zhí)行描繪處理，導(dǎo)致通過上述掃描處理而獲得的基板變成無用。為了防止產(chǎn)生這種無用的試驗材料，提出一種能夠在執(zhí)行描繪之前檢測出行程長度數(shù)據(jù)的缺陷的技術(shù)。例如，提供如下的方法，即，對通過RIP處理而從CAD數(shù)據(jù)中取得的行程長度數(shù)據(jù)(用于描繪的行程長度數(shù)據(jù))和利用與該RIP處理不同的算法從該CAD數(shù)據(jù)中取得的行程長度數(shù)據(jù)(驗證用行程長度數(shù)據(jù))進(jìn)行比較，檢測出用于描繪的行程長度數(shù)據(jù)中所產(chǎn)生的缺陷。專利文獻(xiàn)l: JP特開2001-337041號公報專利文獻(xiàn)2: JP特開2004-56068號公報根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，存在如下益處，g卩，因為在執(zhí)行描繪前檢測出行程長度數(shù)據(jù)的缺陷，所以不會使試驗材料變成無用。但是，在該結(jié)構(gòu)中，除了需要執(zhí)行用于取得實際上用于描繪的行程長度數(shù)據(jù)的RIP處理的功能部之外，還需要執(zhí)行如下的RIP處理的功能部，即，由與上述RIP處理不同的算法所規(guī)定的RIP處理。S卩，需要多個RIP處理功能部，從而導(dǎo)致在缺陷的檢測時需要進(jìn)行多次的RIP處理。這樣，導(dǎo)致檢測缺陷所需的處理負(fù)擔(dān)增大，處理時間也變長。因此，需要一種以簡單的結(jié)構(gòu)，能夠在執(zhí)行描繪之前檢測出行程長度數(shù) 據(jù)的缺陷的技術(shù)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述問題所提出的，其目的在于，提供一種以簡單的結(jié)構(gòu) 能夠在執(zhí)行描繪之前檢測出用于圖形描繪的行程長度數(shù)據(jù)的缺陷的技術(shù)。(1) 本發(fā)明是一種缺陷檢査裝置，其檢查用于描繪圖像的行程長度數(shù)據(jù) 的缺陷，具有輸入數(shù)據(jù)取得裝置，其取得記載有應(yīng)描繪的圖形的輸入數(shù)據(jù)；行程長度數(shù)據(jù)取得裝置，其取得通過對上述輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行RIP處理而取得的上述行程長度數(shù)據(jù)；缺陷檢測裝置，其比較上述輸入數(shù)據(jù)和上述行程長度數(shù) 據(jù)，當(dāng)存在差異區(qū)域時，檢測出上述差異區(qū)域而作為上述行程長度數(shù)據(jù)的缺陷區(qū)域。(2) 本發(fā)明是如上述(1)所述的缺陷檢查裝置，還具有修復(fù)裝置，該修復(fù)裝置在上述行程長度數(shù)據(jù)中檢測出上述缺陷區(qū)域時，修復(fù)上述缺陷區(qū)域并取得修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)。(3) 本發(fā)明是如上述(2)所述的缺陷檢查裝置，上述缺陷檢測裝置，具有數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換裝置，該數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換裝置對上述輸入數(shù)據(jù)和上述行程長度數(shù)據(jù)中的至少一種數(shù)據(jù)執(zhí)行規(guī)定的轉(zhuǎn)換處理，以使兩種數(shù)據(jù)變成能夠相互比較的數(shù)據(jù)格式。(4) 本發(fā)明是如上述(3)所述的缺陷檢査裝置，上述數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換裝置具有圖形化裝置，該圖形化裝置對上述行程長度數(shù)據(jù)執(zhí)行圖形化處理，以此取得對上述行程長度數(shù)據(jù)實施過圖形化處理的圖形化行程長度數(shù)據(jù)；上述缺陷檢測裝置還具有差異區(qū)域確定裝置，該差異區(qū)域確定裝置通過對上述圖形化行程長度數(shù)據(jù)和上述輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行邏輯異或運(yùn)算，取得已確定上述差異區(qū)域的差異區(qū)域數(shù)據(jù)。(5) 本發(fā)明是如上述(4)所述的缺陷檢查裝置，上述缺陷檢測裝置還具有多余缺陷區(qū)域確定裝置，該多余缺陷區(qū)域確定裝置通過對上述差異區(qū)域數(shù)據(jù)和上述圖形化行程長度數(shù)據(jù)進(jìn)行邏輯與運(yùn)算，確定多余缺陷區(qū)域，其中，該多余缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，不存在上述輸入數(shù)據(jù)卻已生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域。(6) 本發(fā)明是如上述(4)所述的缺陷檢査裝置，上述缺陷檢測裝置還具有遺漏缺陷區(qū)域確定裝置，該遺漏缺陷區(qū)域確定裝置通過對上述差異區(qū)域數(shù)據(jù)和上述輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行邏輯與運(yùn)算，確定遺漏缺陷區(qū)域，其中，該遺漏缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，存在上述輸入數(shù)據(jù)卻未生成有行程數(shù) 據(jù)的區(qū)域。(7) 本發(fā)明是如上述(4)所述的缺陷檢查裝置，上述缺陷檢測裝置還具有第一差異差分區(qū)域取得裝置，其從根據(jù)上述差異區(qū)域數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域中減去根據(jù)上述輸入數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域，以此取得第一差異差分區(qū)域數(shù)據(jù)；多余缺陷區(qū)域確定裝置，其通過提取上述第一差異差分區(qū)域數(shù)據(jù) 中的正的值的區(qū)域，確定多余缺陷區(qū)域，其中，該多余缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，不存在上述輸入數(shù)據(jù)卻生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域。(8) 本發(fā)明是如上述(4)所述的缺陷檢查裝置，上述缺陷檢測裝置還具有第二差異差分區(qū)域取得裝置，其從根據(jù)上述差異區(qū)域數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域中減去根據(jù)上述圖形化行程長度數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域，以此取得第二差異差分區(qū)域數(shù)據(jù)；遺漏缺陷區(qū)域確定裝置，其通過提取上述第二差異差分區(qū)域數(shù)據(jù)中的正的值的區(qū)域，確定多余缺陷區(qū)域，其中，該多余缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，存在上述輸入數(shù)據(jù)卻未生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū) 域。(9) 本發(fā)明是如上述(3)所述的缺陷檢査裝置，上述數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換裝置還具有圖形化裝置，該圖形化裝置對上述行程長度數(shù)據(jù)執(zhí)行圖形化處理，以此取得對上述行程長度數(shù)據(jù)實施過圖形化處理的圖形化行程長度數(shù)據(jù)；上述缺陷檢測裝置還具有第一差分區(qū)域取得裝置，其從根據(jù)上述圖形化行程長度數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域中減去根據(jù)上述輸入數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域，以此取得第一差分區(qū)域數(shù)據(jù)；多余缺陷區(qū)域確定裝置，其通過提取上述第一差分區(qū)域數(shù)據(jù)的正值的區(qū)域，確定多余缺陷區(qū)域，其中，該多余缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，不存在上述輸入數(shù)據(jù)卻生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域。(10) 本發(fā)明是如上述(3)所述的缺陷檢査裝置，其特征在于，上述數(shù) 據(jù)格式轉(zhuǎn)換裝置具有圖形化裝置，該圖形化裝置對上述行程長度數(shù)據(jù)執(zhí)行圖形化處理，以此取得對上述行程長度數(shù)據(jù)實施過圖形化的圖形化行程長度數(shù) 據(jù)；上述缺陷檢測裝置還具有第二差分區(qū)域取得裝置，其從根據(jù)上述輸入數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域中減去根據(jù)上述圖形化行程長度數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū) 域，以此取得第二差分區(qū)域數(shù)據(jù)，遺漏缺陷區(qū)域確定裝置，其通過提取上述第二差分區(qū)域數(shù)據(jù)中的正值的區(qū)域，確定多余缺陷區(qū)域，其中，該多余缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，存在上述輸入數(shù)據(jù)卻未生成有行程數(shù)據(jù) 的區(qū)域。(11) 本發(fā)明是如上述(3)所述的缺陷檢查裝置，上述數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換裝置具有行程長度數(shù)據(jù)圖像化裝置，其對上述行程長度數(shù)據(jù)執(zhí)行第一圖像化處理，以此取得對上述行程長度數(shù)據(jù)實施過圖形化處理的圖像化行程長度數(shù)據(jù)；輸入數(shù)據(jù)圖像化裝置，其對上述輸入數(shù)據(jù)執(zhí)行第二圖像化處理，以此取得對上述輸入數(shù)據(jù)實施過圖像化處理的圖像化輸入數(shù)據(jù)；上述缺陷檢測裝置還具有差異區(qū)域確定裝置，該差異區(qū)域確定裝置通過以像素單位比較上述圖像化行程長度數(shù)據(jù)和上述圖像化輸入數(shù)據(jù)，確定上述差異區(qū)域。(12) 本發(fā)明是如上述(11)所述的缺陷檢查裝置，上述差異區(qū)域確定裝置以像素單位比較上述圖像化行程長度數(shù)據(jù)和上述圖像化輸入數(shù)據(jù)，以此將只在上述圖像化行程長度數(shù)據(jù)中存在像素的區(qū)域確定為多余缺陷區(qū)域，其中，該多余缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，不存在上述輸入數(shù)據(jù)卻生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域。(13) 本發(fā)明是如上述(11)所述的缺陷檢查裝置，上述差異區(qū)域確定裝置以像素單位比較上述圖像化行程長度數(shù)據(jù)和上述圖像化輸入數(shù)據(jù)，以此將只在上述圖像化輸入數(shù)據(jù)中存在像素的區(qū)域確定為遺漏缺陷區(qū)域，其中，該遺漏缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，存在上述行程長度數(shù)據(jù)卻未生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域。(14) 本發(fā)明是如上述(3)所述的缺陷檢查裝置，上述數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換裝置具有輸入數(shù)據(jù)坐標(biāo)值化裝置，該輸入數(shù)據(jù)坐標(biāo)值化裝置對上述輸入數(shù)據(jù)執(zhí) 行坐標(biāo)值化處理，以此取得坐標(biāo)值化輸入數(shù)據(jù)，其中，該坐標(biāo)值化輸入數(shù)據(jù) 是指，根據(jù)坐標(biāo)值的集合，記載了包含在上述輸入數(shù)據(jù)中的1個以上的圖形的每一個的數(shù)據(jù)；上述缺陷檢測裝置還具有差異區(qū)域確定裝置，該差異區(qū)域確定裝置通過比較包含在上述行程長度數(shù)據(jù)中的多個行程的起點(diǎn)及終點(diǎn)的位置、和包含在上述坐標(biāo)值化輸入數(shù)據(jù)中的多個坐標(biāo)值中的規(guī)定坐標(biāo)值，分別確定多余缺陷區(qū)域和遺漏缺陷區(qū)域，其中，該多余缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，不存在上述輸入數(shù)據(jù)卻生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域，該遺漏缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，存在上述輸入數(shù)據(jù)卻未生成有行程數(shù)據(jù) 的區(qū)域。(15) 本發(fā)明是如上述(5) 、 (7) 、 (12)及(14)中任一項所述的缺陷檢査裝置，具有多余缺陷修復(fù)裝置，該多余缺陷修復(fù)裝置在已確定上述多余缺陷區(qū)域時，刪除在上述行程長度數(shù)據(jù)中的上述多余缺陷區(qū)域所生成的行程數(shù)據(jù)。(16) 本發(fā)明是如上述(6) 、 (8) 、 (13)及(14)中任一項所述的缺陷檢查裝置，具有遺漏缺陷修復(fù)裝置，該遺漏缺陷修復(fù)裝置在己確定上述遺漏缺陷區(qū)域時，在上述行程長度數(shù)據(jù)中的上述遺漏缺陷區(qū)域重新生成行程數(shù)據(jù)。(17) 本發(fā)明是如上述(1)所述的缺陷檢査裝置，上述輸入數(shù)據(jù)是應(yīng) 描繪在基板上的圖案的CAD數(shù)據(jù)，上述行程長度數(shù)據(jù)用于在基板上描繪上述圖案。(18) 本發(fā)明是一種圖形描繪裝置，基于行程長度數(shù)據(jù)，對輸出介質(zhì)描繪圖形，其特征在于，具有輸入數(shù)據(jù)取得裝置，其取得記載了應(yīng)描繪的圖形的輸入數(shù)據(jù)；行程長度數(shù)據(jù)取得裝置，其取得通過對上述輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行RIP 處理而取得的上述行程長度數(shù)據(jù)；缺陷檢測裝置，其比較上述輸入數(shù)據(jù)和上述行程長度數(shù)據(jù)，當(dāng)存在差異區(qū)域時，檢測出該差異區(qū)域而作為上述行程長度數(shù)據(jù)的缺陷區(qū)域；修復(fù)裝置，其在上述行程長度數(shù)據(jù)中檢測出上述缺陷區(qū) 域時，修復(fù)該缺陷區(qū)域并取得修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)；描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得裝置，其在上述行程長度數(shù)據(jù)中檢測出上述缺陷區(qū)域時，取得上述修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)而作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)，而在上述行程長度數(shù)據(jù)中未檢測出上述缺陷區(qū)域時，取得上述行程長度數(shù)據(jù)而直接作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)；描繪裝置，其基于上述描繪用行程長度數(shù)據(jù)，在上述輸入介質(zhì)上描繪圖形。(19) 本發(fā)明是如上述(18)所述的圖形描繪裝置，上述輸入數(shù)據(jù)是應(yīng) 描繪在基板上的圖案的CAD數(shù)據(jù)，上述描繪裝置基于通過對上述CAD數(shù)據(jù) 進(jìn)行RIP處理來取得的上述行程長度數(shù)據(jù)，在基板上描繪上述圖案。(20) 本發(fā)明是一種圖形描繪系統(tǒng)，基于行程長度數(shù)據(jù)，對輸出介質(zhì)描繪圖形，具有缺陷檢査裝置，其檢查上述行程長度數(shù)據(jù)的缺陷；描繪裝置，其從上述缺陷檢查裝置中取得描繪用行程長度數(shù)據(jù)，并基于上述描繪用行程長度數(shù)據(jù)，在上述輸出介質(zhì)上描繪圖形；上述缺陷檢査裝置具有輸入數(shù)據(jù) 取得裝置，取得記載有應(yīng)描繪的圖形的輸入數(shù)據(jù)；行程長度數(shù)據(jù)取得裝置，其取得通過對上述輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行RIP處理而取得的上述行程長度數(shù)據(jù)；缺陷檢測裝置，其比較上述輸入數(shù)據(jù)和上述行程長度數(shù)據(jù)，當(dāng)存在差異區(qū)域時，檢測出該差異區(qū)域二作為上述行程長度數(shù)據(jù)；修復(fù)裝置，其在上述行程長度數(shù)據(jù)中檢測出上述缺陷區(qū)域時，修復(fù)該缺陷區(qū)域并取得修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)；描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得裝置，其在上述行程長度數(shù)據(jù)中檢測出上述缺陷區(qū) 域時，取得上述修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)而作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)，而在上述行程長度數(shù)據(jù)中未檢測出上述缺陷區(qū)域時，取得上述行程長度數(shù)據(jù)而直接作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)；描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送裝置，其向上述描繪裝置發(fā) 送上述描繪用行程長度數(shù)據(jù)。(21)本發(fā)明是如上述(20)所述的圖形描繪系統(tǒng)，上述輸入數(shù)據(jù)是應(yīng) 描繪在基板上的圖案的CAD數(shù)據(jù)，上述描繪裝置基于通過對上述CAD數(shù)據(jù) 進(jìn)行RIP處理而取得的上述行程長度數(shù)據(jù)，在基板上描繪上述圖案。發(fā)明效果根據(jù)上述(1) (21)所述的發(fā)明，通過比較RIP處理前后的數(shù)據(jù)，艮口，比較輸入數(shù)據(jù)和行程長度數(shù)據(jù)，檢測出行程長度數(shù)據(jù)的缺陷，因此，即使不執(zhí)行基于行程長度數(shù)據(jù)的描繪，也能夠檢測出生成在行程長度數(shù)據(jù)中的缺陷。特別是，根據(jù)上述(2)所述的發(fā)明，在行程長度數(shù)據(jù)中檢測出缺陷時，修復(fù)該缺陷，因此，能夠取得無缺陷的行程長度數(shù)據(jù)。特別是，根據(jù)上述(17)所述的發(fā)明，在基于行程長度數(shù)據(jù)對基板執(zhí)行圖案的描繪之前，能夠檢測出生成在行程長度數(shù)據(jù)中的缺陷。因此，能夠預(yù) 先防止如下情況，即，根據(jù)有缺陷的行程長度數(shù)據(jù)對基板執(zhí)行描繪處理，從而導(dǎo)致產(chǎn)生無用的實驗材料。根據(jù)上述(18) (21)所述的發(fā)明，在行程長度數(shù)據(jù)中檢測出缺陷時，基于修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)描繪圖形。因此，基于修復(fù)了缺陷的行程長度數(shù)據(jù)，能夠正確地執(zhí)行圖形的描繪。

圖1是表示本發(fā)明的第一實施方式的圖形描繪系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的圖。圖2是表示缺陷檢査裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖3是表示缺陷檢査裝置的功能性結(jié)構(gòu)的示意圖。圖4是示意地顯示缺陷檢測處理中所取得的各種數(shù)據(jù)及其相關(guān)關(guān)系的圖。圖5是用于說明圖形化處理的示意圖。圖6是用于說明缺陷修復(fù)處理的示意圖。圖7是表示取得輸入CAD數(shù)據(jù)后到執(zhí)行圖形描繪為止的處理流程的圖。圖8是表示缺陷檢査處理及缺陷修復(fù)處理的流程的圖。圖9是表示缺陷檢査裝置的功能性結(jié)構(gòu)的示意圖。圖10是示意地表示缺陷檢測處理中所取得的各種數(shù)據(jù)及其相關(guān)關(guān)系的圖。圖11A、 11B是用于說明CAD數(shù)據(jù)圖像化處理及行程長度圖像化處理的示意圖。圖12是表示缺陷檢査裝置的功能性結(jié)構(gòu)的示意圖。圖13是示意地表示從缺陷檢查裝置所執(zhí)行的缺陷檢測處理中所取得的各種數(shù)據(jù)及其相關(guān)關(guān)系的圖。圖14是用于說明坐標(biāo)值化處理的示意圖。圖15是表示差異區(qū)域確定部所執(zhí)行的處理流程的圖。圖16是表示差異區(qū)域確定部所執(zhí)行的處理流程的圖。圖17是示意地舉例顯示差異區(qū)域的圖。圖18是表示第一變形例的缺陷檢測部的功能性結(jié)構(gòu)的圖。圖19A、 19B是示意地表示第一變形例的缺陷檢測處理中所取的的各種的數(shù)據(jù)及其相關(guān)關(guān)系的圖。圖20是表示第二變形例的缺陷檢測部的功能性結(jié)構(gòu)的圖。圖21A、 21B是示意地表示第二變形例的缺陷檢測處理中所取的的各種的數(shù)據(jù)及其相關(guān)關(guān)系的圖。圖22是表示描繪裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。
具體實施方式
第一實施方式<1.結(jié)構(gòu)><1&圖形描繪系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)>對本發(fā)明的第一實施方式的圖形描繪系統(tǒng)100，參照圖1進(jìn)行說明。圖1 是表示圖形描繪系統(tǒng)100的整體結(jié)構(gòu)的圖。圖形描繪裝置100具有CAD裝置1、 RIP裝置2、缺陷檢查裝置3及描繪裝置4。這些裝置1 4經(jīng)由LAN等網(wǎng)絡(luò)N相互連接。CAD裝置1是作成和編輯記載有應(yīng)描繪的圖形的數(shù)據(jù)的裝置，并將該數(shù) 據(jù)作為CAD數(shù)據(jù)輸出，其中，該CAD數(shù)據(jù)是矢量數(shù)據(jù)。CAD數(shù)據(jù)以被稱為流格式(Stream form)(例如，GDSII)的具有單元層(cell hierarchy)的數(shù) 據(jù)格式來表現(xiàn)。在每個單元層中，具有至少一個以上的與圖形有關(guān)的信息(例如，是與圖形的位置及形狀有關(guān)的信息，具體地講，圖形的頂點(diǎn)位置坐標(biāo)等) 或單元參照信息。以下，將從CAD裝置1輸出的CAD數(shù)據(jù)稱為"輸入CAD 數(shù)據(jù)D1 "。RIP裝置2從CAD裝置1取得輸入CAD數(shù)據(jù)Dl ，并RIP展開該取得的輸入CAD數(shù)據(jù)D1，而且將其轉(zhuǎn)換成行程長度數(shù)據(jù)來輸出。更具體地講，將作為矢量數(shù)據(jù)的輸入CAD數(shù)據(jù)Dl轉(zhuǎn)換成柵格圖像數(shù)據(jù)(Raster image data)(即，將線數(shù)據(jù)(line data)轉(zhuǎn)換成向與第一方向垂直的第二方向排列多個而成的數(shù)據(jù)，該線數(shù)據(jù)是在第一方向上排列了形成多個像素的二值圖像(Binary image)數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù))。另外，對該柵格圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行行程長度符號化處理，并作為壓縮的行程長度數(shù)據(jù)來輸出。更具體地講，以線數(shù)據(jù)為單位，將位圖數(shù)據(jù)從第二方向的第一行開始到最后一行為止依次進(jìn)行行程長度符號化處理，并轉(zhuǎn)換成被壓縮的行程長度數(shù)據(jù)。所獲得的行程長度數(shù)據(jù)是如圖4所示，在輸入CAD數(shù)據(jù)D1中的圖形區(qū)域變成通過多個水平方向的線段(線Li (i=l， 2，…)的起點(diǎn)位置及長度所記錄的數(shù)據(jù)。以下，將從RIP裝置2輸出出來的行程長度數(shù)據(jù)稱為"行程長度數(shù)據(jù)D2"。缺陷檢査裝置3檢查供描繪的行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷，該數(shù)據(jù)D2是提的。S卩，從CAD裝置取得輸入CAD數(shù)據(jù)Dl,從RIP裝置2分別取得行程長度數(shù)據(jù)D2，并根據(jù)上述取得的兩個數(shù)據(jù)檢查行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷。另外，缺陷檢査裝置3向描繪裝置4發(fā)送用于描繪的行程長度數(shù)據(jù)("描繪用行程長度數(shù)據(jù)T")。即，檢測出行程長度數(shù)據(jù)D2中的缺陷時，向描繪裝置4發(fā)送作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)T的修復(fù)了該缺陷的數(shù)據(jù)("修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)D4"(參照圖6))。另外，未檢測出行程長度數(shù)據(jù)D2中的缺陷時，直接向描繪裝置4發(fā)送作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)T的行程長度數(shù)據(jù)D2。對缺陷檢査裝置3的具體的結(jié)構(gòu)，下面詳細(xì)進(jìn)行敘述。描繪裝置4是在輸出介質(zhì)上描繪圖形的裝置。g卩，從缺陷檢査裝置3取得描繪用行程長度數(shù)據(jù)T，并根據(jù)該取得的描繪用行程長度數(shù)據(jù)T執(zhí)行圖形的描繪。更具體地講，將描繪用行程長度數(shù)據(jù)T展開成位圖數(shù)據(jù)，并根據(jù)該位圖數(shù)據(jù)在輸出介質(zhì)上記錄二維圖像。此外，在本實施方式中，CAD裝置1是做成電路圖案的描繪數(shù)據(jù)，并將其作為CAD數(shù)據(jù)Dl來輸出，該電路圖案是用于曝光記錄到基板上的LSI等。另外，描繪裝置4是在CAD裝置1中所做成的電路圖案直接描繪(曝光)到基板上的裝置。<比.缺陷檢査裝置的結(jié)構(gòu)><113—1.硬件結(jié)構(gòu)>對于缺陷檢查裝置3的硬件結(jié)構(gòu)，參照圖2進(jìn)行說明。圖2是表示缺陷檢查裝置3的硬件結(jié)構(gòu)的示意圖。缺陷檢查裝置3成為經(jīng)由總線17電連接控制部11、 R0M12、 RAM13、媒體驅(qū)動器14、操作部15及顯示部16?？刂撇?1由CPU結(jié)構(gòu)。控制部11根據(jù)存儲在ROM12中的程序(或者通過媒體驅(qū)動器14讀取的程序)P，控制上述的硬件各部，從而實現(xiàn)缺陷檢査裝置3的功能。ROM12是讀取專用的記錄裝置，其預(yù)先存儲缺陷檢查裝置3的控制所需的程序P或數(shù)據(jù)。RAM13是能夠讀取和寫入的存儲裝置，其暫時存儲利用控制部11進(jìn)行的運(yùn)算處理時所產(chǎn)生的數(shù)據(jù)。RAM13由SRAM、閃存等構(gòu)成。媒體驅(qū)動器14是從記錄介質(zhì)(更具體地講，CD—ROM、 DVD (Digital Versatile Disk:數(shù)字通用光盤)、軟盤(flexible disk)等的可移動的記錄介質(zhì)) M中讀取存儲在其中的信息的功能部。操作部15是由鍵盤及鼠標(biāo)構(gòu)成的輸入裝置，接收指令或各種數(shù)據(jù)的輸入這樣的用戶操作。操作部15所接收的用戶操作作為信號輸出到控制部11。顯示部16具有顯示器等，顯示各種數(shù)據(jù)、缺陷檢査裝置3的動作狀態(tài)等。 <11>2.功能性結(jié)構(gòu)〉對于缺陷檢查裝置3的功能性結(jié)構(gòu)，參照圖3及圖4進(jìn)行說明。圖3是表示缺陷檢查裝置3的功能性結(jié)構(gòu)的示意圖。圖4是示意地顯示在缺陷檢査裝置3所執(zhí)行的缺陷檢測處理中取得的各種數(shù)據(jù)及其相關(guān)關(guān)系的圖。缺陷檢查裝置3具有CAD數(shù)據(jù)取得部31、行程長度數(shù)據(jù)取得部32、缺陷檢測部33、缺陷修復(fù)部34、描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部35及描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送部36。這些各部的功能通過以下方式來實現(xiàn)，g卩，讀取預(yù)先存儲在ROM12等中的程序P或記錄在記錄介質(zhì)M中的程序P，并在控制部 11中執(zhí)行上述程序P。CAD數(shù)據(jù)取得部31,經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)N，從CAD裝置1中取得記錄有應(yīng)描繪的圖形的輸入CAD數(shù)據(jù)D1 (即，RIP展開成為檢査對象的行程長度數(shù)據(jù)D2 之前的數(shù)據(jù))。行程長度數(shù)據(jù)取得部32，經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)N，從RIP裝置2中取得用于圖形描繪的行程長度數(shù)據(jù)D2 (即，RIP展開記錄有應(yīng)描繪的圖形的輸入CAD數(shù)據(jù) Dl而取得的數(shù)據(jù))。缺陷檢測部33檢測行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷。更具體地講，比較輸入CAD 數(shù)據(jù)Dl和行程長度數(shù)據(jù)D2，當(dāng)存在差異區(qū)域時，檢測出該差異區(qū)域而作為行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷區(qū)域。缺陷檢測部33具有轉(zhuǎn)換處理部331、差異區(qū)域確定部332、多余缺陷區(qū)域確定部333及遺漏缺陷區(qū)域確定部334。轉(zhuǎn)換處理部331，對以相互不同的格式記載的輸入CAD數(shù)據(jù)Dl和行程長度數(shù)據(jù)D2中的至少一方執(zhí)行規(guī)定的轉(zhuǎn)換處理，并取得變?yōu)槟軌蛳嗷ケ容^的數(shù)據(jù)格式的比較CAD數(shù)據(jù)F1和比較行程長度數(shù)據(jù)F2 (參照圖4)。轉(zhuǎn)換處理部331具有比較輸入CAD數(shù)據(jù)取得部3311和比較行程長度數(shù)據(jù)取得部 3312。比較輸入CAD數(shù)據(jù)取得部3311將CAD數(shù)據(jù)取得部31所取得的輸入 CAD數(shù)據(jù)D1直接作為比較CAD數(shù)據(jù)來取得(參照圖4)。比較行程長度數(shù)據(jù)取得部3312對行程長度數(shù)據(jù)取得部32所取得的行程長度數(shù)據(jù)D2執(zhí)行"圖形化處理"，并將執(zhí)行該處理中所取得的圖形化行程長度數(shù)據(jù)D22作為比較行程長度數(shù)據(jù)F2來取得(參照圖4)。所謂"圖形化處理"是將行程長度數(shù)據(jù)D2轉(zhuǎn)換成用圖形來記載的數(shù)據(jù)格式的處理，其中，該行程長度數(shù)據(jù)D2是由多個行程Li (i=l， 2，...)記載的數(shù)據(jù)。對圖形化處理，參照圖5進(jìn)行說明。圖5是用于說明圖形化處理的示意圖。在圖形化處理中，首先，將構(gòu)成行程長度數(shù)據(jù)D2的多個行程Li的每一個圖形化處理成長方形。即，將各行程Li以如下方式轉(zhuǎn)換成長方形圖形Ri (i=l， 2，…)，X方向上的長度等于行程Li的線段的長度，Y方向上的長度等于行程Li之間在Y方向上的距離。由此，行程長度數(shù)據(jù)D2從多個行程 Li所記載的數(shù)據(jù)，轉(zhuǎn)換成由多個長方形圖形Ri記載的數(shù)據(jù)D21。接著，將多個長方形圖形Ri進(jìn)行合并(計算多個長方形圖形Ri的邏輯或(OR))，提取各長方形圖形Ri的合并區(qū)域。由此，對利用行程長度數(shù) 據(jù)D2所記述的區(qū)域進(jìn)行圖形化處理，從而能夠取得圖形化行程長度數(shù)據(jù) D22。再次參照圖3。差異區(qū)域確定部332對比較CAD數(shù)據(jù)Fl和比較行程長度數(shù)據(jù)F2進(jìn)行比較，檢測出兩個數(shù)據(jù)的差異。更具體地講，進(jìn)行比較CAD 數(shù)據(jù)F1 (即，這里為輸入CAD數(shù)據(jù)D1)和比較行程長度數(shù)據(jù)F2 (g卩，這里為圖形化行程長度數(shù)據(jù)D22)的邏輯異或(XOR)運(yùn)算，并取得確定了兩個數(shù)據(jù)間的差異區(qū)域的差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3 (參照圖4)。當(dāng)兩個數(shù)據(jù)之間存在差異區(qū)域時，檢測出該差異區(qū)域而作為行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷區(qū)域。多余缺陷區(qū)域確定部333進(jìn)行差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3和比較行程長度數(shù)據(jù)F2 (即，圖形化行程長度數(shù)據(jù)D22)的邏輯與(AND)運(yùn)算，并取得確定了 "多余缺陷區(qū)域Ae"的多余缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3a (參照圖4)。其中，所謂"多余缺陷區(qū)域Ae"是在RIP處理中多余地生成于本不應(yīng)該生成的區(qū)域上的數(shù)據(jù)區(qū) 域(即，在行程長度數(shù)據(jù)D2中，不存在輸入CAD數(shù)據(jù)Dl卻生成有行程(mn) 數(shù)據(jù)的區(qū)域)。也就是說，多余缺陷區(qū)域確定部333在由差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3 規(guī)定的區(qū)域(即，輸入CAD數(shù)據(jù)Dl和行程長度數(shù)據(jù)D2之間的差異區(qū)域) 中只提取存在于圖形化行程長度數(shù)據(jù)D22中的區(qū)域，以此確定多余缺陷區(qū)域 Ae。遺漏缺陷區(qū)域確定部334進(jìn)行差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3和比較CAD數(shù)據(jù)Fl(即，輸入CAD數(shù)據(jù)D1)的邏輯與(AND)運(yùn)算，取得確定了 "遺漏缺陷區(qū)域Af"的遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3b (參照圖4)。其中，所謂"遺漏缺陷區(qū)域Af"，是RIP處理中，在本應(yīng)生成的區(qū)域上未生成有數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)區(qū)域(即，在行程長度數(shù)據(jù)D2中，存在輸入CAD數(shù)據(jù)D1卻未生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域)。也就是說，遺漏缺陷區(qū)域確定部334在由差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3規(guī)定的區(qū)域中只提取存在于輸入CAD數(shù)據(jù)D1中的區(qū)域，以此確定遺漏缺陷區(qū)域Af。缺陷檢測部33在行程長度數(shù)據(jù)D2中檢測出缺陷時，缺陷修復(fù)部34對該行程長度數(shù)據(jù)D2執(zhí)行缺陷修復(fù)處理，并取得修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)D4。缺陷修復(fù)部34具有多余缺陷修復(fù)部341和遺漏缺陷修復(fù)部342。檢測出多余缺陷區(qū)域Ae時，多余缺陷修復(fù)部341修復(fù)該多余缺陷區(qū)域 Ae。更具體地講，如圖6所示，根據(jù)多余缺陷區(qū)域確定部333所取得的多余缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3a，確定行程長度數(shù)據(jù)D2中的多余缺陷區(qū)域Ae (例如，根據(jù)缺陷區(qū)域的頂點(diǎn)坐標(biāo)值確定缺陷區(qū)域)，并執(zhí)行刪除存在于該區(qū)域中的行程數(shù)據(jù)的處理。由此，修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)D2的多余缺陷。檢測出遺漏缺陷區(qū)域Af時，遺漏缺陷修復(fù)部342修復(fù)該遺漏缺陷區(qū)域 Af。更具體地講，如圖6所示，根據(jù)遺漏缺陷區(qū)域確定部334所取得的遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3b，確定行程長度數(shù)據(jù)D2中的遺漏缺陷區(qū)域Af，并對該區(qū) 域再次執(zhí)行RIP處理，從而生成新的行程數(shù)據(jù)。另外，在新生成的行程數(shù)據(jù) 的附近存在行程數(shù)據(jù)時，將新生成的行程數(shù)據(jù)與該附近的行程數(shù)據(jù)結(jié)合。由此，取得已修復(fù)了行程長度數(shù)據(jù)D2的遺漏缺陷的修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)D4，該修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)D4。描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部35取得作為應(yīng)該用于描繪的行程長度數(shù)據(jù)的描繪用行程長度數(shù)據(jù)T。更具體地講，缺陷檢測部33在檢查對象的行程長度數(shù)據(jù)D2中未檢測出缺陷時，將該行程長度數(shù)據(jù)D2直接作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)T來取得；缺陷檢測部33在檢查對象的行程長度數(shù)據(jù)D2中檢測出缺陷時，將通過缺陷修復(fù)部34取得的修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)D4作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)T來取得。描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送部36向描繪裝置4發(fā)送描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部35所取得的描繪用行程長度數(shù)據(jù)T。描繪裝置4根據(jù)從描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送部36接收到的描繪用行程長度數(shù)據(jù)T，執(zhí)行描繪。<2.處理動作><2^圖形描繪系統(tǒng)中的處理動作>在這里，對于圖形描繪系統(tǒng)100所執(zhí)行的處理，參照圖7進(jìn)行說明。圖7 是表示從取得輸入CAD數(shù)據(jù)Dl到執(zhí)行圖形的描繪為止的處理流程的圖。首先，CAD裝置1作成應(yīng)曝光記錄到基板上的電路圖案的描繪數(shù)據(jù)，并將其作為輸入CAD數(shù)據(jù)Dl發(fā)送到RIP裝置2中(步驟Sl)。接著，從CAD裝置1取得了輸入CAD數(shù)據(jù)Dl的RIP裝置2， RIP展開該取得的輸入CAD數(shù)據(jù)D1，并輸出行程長度數(shù)據(jù)D2 (步驟S2)。接著，缺陷檢査裝置3從RIP裝置2中取得在步驟S2中被輸出的行程長度數(shù)據(jù)D2，并檢查該取得的行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷的基礎(chǔ)上，取得描繪用行程長度數(shù)據(jù)T并向描繪裝置4發(fā)送(步驟S3)。對于步驟3的具體的處理流程，后面進(jìn)行詳細(xì)敘述。接著，從缺陷檢查裝置3中取得描繪用行程長度數(shù)據(jù)T的描繪裝置4，根據(jù)該取得的描繪用行程長度數(shù)據(jù)T執(zhí)行描繪處理(步驟S4)。即，在基板上曝光作為二維圖像的電路圖案。以上是在圖形描繪系統(tǒng)100中所執(zhí)行的一系列的描繪處理。接著，對在缺陷檢査裝置3中所執(zhí)行的處理(步驟S3)進(jìn)行說明?！?b.缺陷檢查裝置3中的處理動作>對于缺陷檢査裝置3所執(zhí)行的處理(g卩，缺陷檢査處理及缺陷修復(fù)處理)，參照圖8更具體地進(jìn)行說明。圖8是表示在缺陷檢査裝置3中所執(zhí)行的缺陷檢查處理及缺陷修復(fù)處理的流程的圖。首先，CAD數(shù)據(jù)取得部31從CAD裝置1中取得輸入CAD數(shù)據(jù)Dl (步驟S11)。另外，行程長度數(shù)據(jù)取得部32從RIP裝置2中取得行程長度數(shù)據(jù) D2 (步驟S12)。接著，缺陷檢測部33檢測出在步驟S12中所取得的行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷(步驟S13 步驟S16)。艮口，首先，轉(zhuǎn)換處理部331取得比較CAD數(shù)據(jù)F1和比較行程長度數(shù)據(jù) F2 (步驟S13)，其中，使上述比較CAD數(shù)據(jù)F1和上述比較行程長度數(shù)據(jù) F2變成能夠相互比較的數(shù)據(jù)格式。更具體地講，比較輸入CAD數(shù)據(jù)取得部 3311將輸入CAD數(shù)據(jù)D1 (即，在步驟Sll中CAD數(shù)據(jù)取得部31所取得的數(shù)據(jù))直接作為比較CAD數(shù)據(jù)F1來取得。另外，比較行程長度數(shù)據(jù)取得部3312對行程長度數(shù)據(jù)D2 (即，在步驟S12中行程長度數(shù)據(jù)取得部32所取得的數(shù)據(jù))執(zhí)行圖形化處理，并將執(zhí)行該處理所取得的圖形化行程長度數(shù)據(jù)D22 作為比較行程長度數(shù)據(jù)F2來取得。接著，差異區(qū)域確定部332進(jìn)行比較CAD數(shù)據(jù)Fl和比較行程長度數(shù)據(jù) F2的邏輯異或運(yùn)算，并取得確定了兩個數(shù)據(jù)之間的差異區(qū)域的差異區(qū)域數(shù)據(jù) D3 (步驟S14)。接著，多余缺陷區(qū)域確定部333進(jìn)行在步驟S14中所取得的差異區(qū)域數(shù) 據(jù)D3和在步驟S13中所取得的比較行程長度數(shù)據(jù)F2 (即，圖形化行程長度數(shù)據(jù)D22)的邏輯與(AND)運(yùn)算，并取得確定了多余缺陷區(qū)域Ae的多余缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3a (步驟S15)。接著，遺漏缺陷區(qū)域確定部334進(jìn)行在步驟S14中所取得的差異區(qū)域數(shù) 據(jù)D3和在步驟S13中所取得比較CAD數(shù)據(jù)F1 (g口，輸入CAD數(shù)據(jù)D1)的邏輯與(AND)運(yùn)算，并取得確定了遺漏缺陷區(qū)域Af的遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù) D3b (步驟S16)。此外，步驟S15的處理和步驟S16的處理的執(zhí)行順序也可以相反。艮口，先進(jìn)行取得遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3b的處理和取得多余缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3a的處理中的哪一個都可以。接著，缺陷修復(fù)部34根據(jù)在步驟S14中所取得的差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3，判斷缺陷檢測部33是否檢測出行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷(即，是否檢測出差異區(qū)域)(步驟S17)。判斷為在步驟S17中檢測出了缺陷時，缺陷修復(fù)部34修復(fù)該被檢測出的缺陷，并取得修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)D4 (步驟S18)。更具體地講，首先，多余缺陷修復(fù)部341修復(fù)多余缺陷。S卩，根據(jù)在步驟S15中所取得的多余缺陷區(qū) 域數(shù)據(jù)D3a，確定行程長度數(shù)據(jù)D2中的多余缺陷區(qū)域Ae，并刪除存在于該區(qū)域中的行程數(shù)據(jù)，以此修復(fù)多余缺陷。接著，遺漏缺陷修復(fù)部342修復(fù)遺漏缺陷。即，根據(jù)在步驟S16中所取得的遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3b，確定行程長度數(shù)據(jù)D2中的遺漏缺陷區(qū)域Af，并對該區(qū)域再次執(zhí)行RIP處理而生成新的行程數(shù)據(jù)，以此修復(fù)遺漏缺陷。通過執(zhí)行這些處理，取得修復(fù)行程長度數(shù) 據(jù)D4。接著，描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部35將在步驟S18中所取得的修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)D4作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)T來取得(步驟S19)。另一方面，判斷為在步驟S17中未檢測出缺陷時，不執(zhí)行步驟S18的處理，而進(jìn)入到步驟S20的處理中。在步驟S20中，描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部35將在步驟S12中所取得的行程長度數(shù)據(jù)D2作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)T 來取得(步驟S20)。當(dāng)通過執(zhí)行步驟S19或步驟20中的任一處理而取得描繪用行程長度數(shù)據(jù) T時，描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送部36就向描繪裝置4發(fā)送該取得的描繪用行程長度數(shù)據(jù)T (步驟S21)。描繪裝置4根據(jù)描繪用行程長度數(shù)據(jù)T，執(zhí)行描繪(圖7的步驟S4)。以上是在缺陷檢查裝置3中所執(zhí)行的一系列的處理。 <3.效果>根據(jù)上述的實施方式，缺陷檢査裝置3通過比較RIP處理前后的數(shù)據(jù)，即，輸入CAD數(shù)據(jù)Dl和行程長度數(shù)據(jù)D2，檢測出行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷，因此，在描繪裝置4根據(jù)行程長度數(shù)據(jù)D2執(zhí)行描繪之前(即，即使不執(zhí)行描繪也)，能夠檢測出生成在行程長度數(shù)據(jù)D2中的缺陷。另外，檢測缺陷時，既不需要具有多個RIP處理功能部，也不需要多次執(zhí)行RIP處理。因此，能夠以簡易結(jié)構(gòu)，檢測出生成在行程長度數(shù)據(jù)D2中的缺陷。另外，在行程長度數(shù)據(jù)D2中檢測出缺陷時，修復(fù)該缺陷并生成修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)D4，因此，能夠取得無缺陷的行程長度數(shù)據(jù)。另外，在行程長度數(shù)據(jù)D2中檢測出缺陷時，將修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)D4作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)T發(fā)送到描繪裝置4中，描繪裝置4根據(jù)該描繪用行程長度數(shù)據(jù)T執(zhí)行描繪。因此，描繪裝置4不會根據(jù)有缺陷的行程長度數(shù)據(jù) D2執(zhí)行圖案的描繪，從而不會產(chǎn)生浪費(fèi)的基板。另外，根據(jù)上述的實施方式，對CAD數(shù)據(jù)實施過修正處理的情況下，能夠高效率地確認(rèn)其修正內(nèi)容。S卩，通過執(zhí)行下面的處理，能夠確認(rèn)對CAD數(shù) 據(jù)所實施的修正內(nèi)容。首先，從CAD裝置1中取得"修正前的CAD數(shù)據(jù)"來作為輸入CAD數(shù) 據(jù)Dl，并從RIP裝置2中取得對"修正后的CAD數(shù)據(jù)"進(jìn)行RIP展開而取得的行程長度數(shù)據(jù)(即，從修正后的CAD數(shù)據(jù)中生成的行程長度數(shù)據(jù))來作為行程長度數(shù)據(jù)D2。然后，比較所取得的CAD數(shù)據(jù)Dl和行程長度數(shù)據(jù)D2，檢測出兩個數(shù)據(jù)的差異，并取得差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3。該差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3中，應(yīng)該將對CAD數(shù)據(jù)進(jìn)行修正的部分作為差異區(qū)域來檢測。g卩，如果觀察所取得的差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3，就能夠有效地確認(rèn)到對CAD數(shù)據(jù)是否進(jìn)行了怎樣的修正。另外，通過確認(rèn)對CAD數(shù)據(jù)進(jìn)行過修正的部分是否作為差異區(qū)域而正確地檢測出，以此能夠驗證對CAD數(shù)據(jù)進(jìn)行的修正是否正確地反映到所生成的行程長度數(shù)據(jù)中。此外，理所當(dāng)然地如果從CAD裝置1中取得"修正后的CAD數(shù)據(jù)"作為輸入CAD數(shù)據(jù)，并與從修正后的CAD數(shù)據(jù)中生成的行程長度數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，就能夠驗證根據(jù)修正后的CAD數(shù)據(jù)是否生成了正確的行程長度數(shù)據(jù)(即，檢測出行程長度數(shù)據(jù)的缺陷)。第二實施方式 <1.結(jié)構(gòu)><1^圖形描繪系統(tǒng)的全體結(jié)構(gòu)>對本發(fā)明的第二實施方式的圖形描繪系統(tǒng)進(jìn)行說明。此外，下面對與第一實施方式不同的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明，并對相同的結(jié)構(gòu)省略其說明。另外，對相同的結(jié)構(gòu)適當(dāng)使用在第一實施方式中所使用的附圖標(biāo)記。第二實施方式的圖形描繪系統(tǒng)與第一實施方式的圖形描繪系統(tǒng)100相同，具有經(jīng)由LAN等的網(wǎng)絡(luò)N相互連接的，CAD裝置1、 RIP裝置2、缺陷檢査裝置5、描繪裝置4 (參照圖1) 。 CAD裝置1、 RIP裝置2、描繪裝置4的各結(jié)構(gòu)與第一實施方式相同。缺陷檢査裝置5與第一實施方式的缺陷檢查裝置3—樣，檢查用于描繪的行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷。下面，對缺陷檢查裝置 5的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。<比.缺陷檢査裝置的結(jié)構(gòu)>缺陷檢査裝置5以與第一實施方式的缺陷檢査裝置3相同的硬件結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)(參照圖2)。對缺陷檢査裝置5的功能性結(jié)構(gòu)，參照圖9和圖IO進(jìn)行說明。圖9是表示缺陷檢査裝置5的功能性結(jié)構(gòu)的示意圖。圖10是示意地表示缺陷檢查裝置 5中執(zhí)行的缺陷檢測處理中所取得的各種的數(shù)據(jù)及其相關(guān)關(guān)系的圖。缺陷檢查裝置5具有CAD數(shù)據(jù)取得部51、行程長度數(shù)據(jù)取得部52、缺陷檢測部53、缺陷修復(fù)部54、描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部55及描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送部56。這些各部的功能，通過讀取預(yù)先存儲在ROM12等中的程序P或記錄在記錄介質(zhì)M中的程序并在控制部11中執(zhí)行來實現(xiàn)(參照圖 2) 。 CAD數(shù)據(jù)取得部51、行程長度數(shù)據(jù)取得部52、缺陷修復(fù)部54、描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部55、描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送部56的各功能，分別與 CAD數(shù)據(jù)取得部31、行程長度數(shù)據(jù)取得部32、缺陷修復(fù)部54、描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部35、描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送部36相同。缺陷檢測部53檢測出行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷。更具體地講，比較輸入 CAD數(shù)據(jù)D1和行程長度數(shù)據(jù)D2，當(dāng)存在差異區(qū)域時，檢測出該差異區(qū)域而作為行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷區(qū)域。缺陷檢測部53具有轉(zhuǎn)換處理部531和差異區(qū)域確定部532。轉(zhuǎn)換處理部531對以相互不同的格式記載的輸入CAD數(shù)據(jù)D1和行程長度數(shù)據(jù)D2兩方執(zhí)行規(guī)定的轉(zhuǎn)換處理，并取得變?yōu)槟軌蛳嗷ケ容^的數(shù)據(jù)格式的比較CAD數(shù)據(jù)Gl和比較行程長度數(shù)據(jù)G2 (參照圖10)。轉(zhuǎn)換處理部531 具有比較輸入CAD數(shù)據(jù)取得部5311和比較行程長度數(shù)據(jù)取得部5312。比較輸入CAD數(shù)據(jù)取得部5311對CAD數(shù)據(jù)取得部51所取得的輸入 CAD數(shù)據(jù)D1執(zhí)行"CAD數(shù)據(jù)圖像化處理"，并將執(zhí)行該處理所取得的圖像化CAD數(shù)據(jù)D101作為比較CAD數(shù)據(jù)G1來取得(參照圖10)。所謂"CAD數(shù)據(jù)圖像化處理"，如圖IIA所示，是將輸入CAD數(shù)據(jù)D1 轉(zhuǎn)換成用圖像來記載的數(shù)據(jù)格式的處理，其中，該輸入CAD數(shù)據(jù)D1為用圖形來記載的數(shù)據(jù)。在CAD數(shù)據(jù)圖像化處理中，對包含在輸入CAD數(shù)據(jù)Dl 中的多角形圖形數(shù)據(jù)的每一個，進(jìn)行涂敷該多角形圖形(polygon)的內(nèi)部的處理。由此，生成其輪廓線成為圖形數(shù)據(jù)所規(guī)定的多角形圖形的圖像。艮P，圖形數(shù)據(jù)被轉(zhuǎn)換成圖像數(shù)據(jù)。對包含在輸入CAD數(shù)據(jù)D1中的全部圖形數(shù)據(jù) 執(zhí)行該處理，由此取得圖像化CAD數(shù)據(jù)D101。比較行程長度數(shù)據(jù)取得部5312，對行程長度數(shù)據(jù)取得部52所取得的行程長度數(shù)據(jù)D2執(zhí)行"行程長度圖像化處理"，并將執(zhí)行該處理所取得的圖像化行程長度數(shù)據(jù)D202作為比較行程長度數(shù)據(jù)G2來取得(參照圖10)。所謂"行程長度圖像化處理"，如圖11B所示，是將作為用多個行程Li (i=l， 2，…)記載的數(shù)據(jù)的行程長度數(shù)據(jù)D2轉(zhuǎn)換成用圖像來記載的數(shù)據(jù)格式的處理。更具體地講，是根據(jù)行程長度數(shù)據(jù)D2具有的行程Li的坐標(biāo)值信息，涂敷對應(yīng)的像素的處理。在行程長度圖像化處理中，首先，根據(jù)構(gòu)成行程長度數(shù)據(jù)D2的多個行程Li (i=l， 2，…)的每一個行程，規(guī)定長方形區(qū)域 Ri (i=l， 2，…)(D201)，并涂敷與該長方形區(qū)域Ri (i=l， 2，…)的每一個區(qū)域相對應(yīng)的像素(D202)。由此，行程長度數(shù)據(jù)D2，從用多個行程 Li來記載的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成用像素集合來記載的數(shù)據(jù)D202。 g卩，取得了像素化行程長度數(shù)據(jù)D202。再次參照圖9。差異區(qū)域確定部532比較比較CAD數(shù)據(jù)Fl和比較行程長度數(shù)據(jù)F2，并檢測出兩個數(shù)據(jù)之間的差異。更具體地講，以像素單位比較比較CAD數(shù)據(jù)G1 (即，在這里為圖像化CAD數(shù)據(jù)DIOI)和比較行程長度數(shù)據(jù)G2 (g卩，在這里為圖像化行程長度數(shù)據(jù)D202)(更具體地講，對兩個數(shù)據(jù)比較有無同一個坐標(biāo)位置的像素)，并取得確定了兩個數(shù)據(jù)之間的差異區(qū)域(即，只在任一方的數(shù)據(jù)中存在像素的區(qū)域)的差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3。特別是，差異區(qū)域確定部532將只在圖像化行程長度數(shù)據(jù)D202中存在像素的區(qū)域，作為多余缺陷區(qū)域Ae來提取，從而取得確定了多余缺陷區(qū)域Ae 的多余缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3a。另外，將只在圖像化CAD數(shù)據(jù)DIOI中存在像素的區(qū)域，作為遺漏缺陷區(qū)域Af來提取，并取得確定了遺漏缺陷區(qū)域Af的遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3b。<2.處理動作><2&圖形描繪系統(tǒng)中的處理動作>第二實施方式的圖形描繪系統(tǒng)所執(zhí)行的處理的整體流程與第一實施方式的圖形描繪系統(tǒng)100所執(zhí)行的處理流程(參照圖7)相同。〈2b.缺陷檢査裝置5中的處理動作>對缺陷檢査裝置5所執(zhí)行的處理(即，缺陷檢査處理即缺陷修復(fù)處理) 進(jìn)行說明。缺陷檢査裝置5所執(zhí)行的處理流程與第一實施方式的缺陷檢査裝置3所執(zhí)行的處理流程(參照圖8)大致相同，因此，下面參照圖8說明與其不同的點(diǎn)。首先，CAD數(shù)據(jù)取得部51從CAD裝置1中取得輸入CAD數(shù)據(jù)Dl，行程長度取得部52從RIP裝置2中取得行程長度數(shù)據(jù)D2(參照步驟SI 1 S12)。接著，缺陷檢測部53檢測出在前面的工序(參照步驟S12)中所取得的行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷(參照步驟S13 S16)。即，首先，轉(zhuǎn)換處理部531取得變成相互能夠比較的數(shù)據(jù)格式的比較CAD 數(shù)據(jù)Gl和比較行程長度數(shù)據(jù)G2 (參照步驟S13)。更具體地講，比較輸入 CAD數(shù)據(jù)取得部5311對輸入CAD數(shù)據(jù)Dl (g卩，在前面的工序(參照步驟 Sll)中CAD數(shù)據(jù)取得部51所取得的數(shù)據(jù))執(zhí)行CAD數(shù)據(jù)圖像化處理，并將執(zhí)行該處理而取得的圖像化CAD數(shù)據(jù)D101作為比較CAD數(shù)據(jù)G1來取得。另外，比較行程長度數(shù)據(jù)取得部5312對行程長度數(shù)據(jù)D2 (即，在前面的工序(參照步驟S12)中行程長度數(shù)據(jù)取得部52所取得的數(shù)據(jù))執(zhí)行行程長度圖像化處理，并將執(zhí)行該處理而取得的圖像化行程長度數(shù)據(jù)D202作為比較行程長度數(shù)據(jù)G2來取得。接著，差異區(qū)域確定部532對比較CAD數(shù)據(jù)Gl和比較行程長度數(shù)據(jù)G2 的像素進(jìn)行比較，并取得確定了兩個數(shù)據(jù)之間的差異區(qū)域的差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3 (參照步驟S14)。另外，差異區(qū)域確定部532從差異區(qū)域中取得多余缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3a(參照步驟S15)，該多余缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3a提取了由多余像素構(gòu)成的區(qū)域(多余缺陷區(qū)域Ae)。另外，從差異區(qū)域中取得遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3b (參照步驟S16)，該遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3b提取了由遺漏像素構(gòu)成的區(qū)域(遺漏缺陷區(qū)域Af)。接著，缺陷修復(fù)部54根據(jù)在前面的工序(參照步驟S14)中所取得的差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3，判斷缺陷檢測部53是否檢測出了行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷 (即，是否檢測出差異區(qū)域)(參照步驟S17)。在這里判斷為檢測出缺陷時，缺陷修復(fù)部34修復(fù)該檢測出的缺陷并取得修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)D4 (參照步驟S18)，描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部55將該取得的修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)D4作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)T來取得(參照步驟 S19)。然后，描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送部56向描繪裝置4發(fā)送該取得的描繪用行程長度數(shù)據(jù)T (參照步驟S21)。另一方面，判斷為未檢測出缺陷時，描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部55將前面的工序(參照步驟S12)中所取得的行程長度數(shù)據(jù)D2作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)T來取得(參照步驟S20)。然后，描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送部56向描繪裝置4發(fā)送該取得的描繪用行程長度數(shù)據(jù)T (參照步驟S21)。第三實施方式 <1.結(jié)構(gòu)><13.圖形描繪系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)>對本發(fā)明的第三實施方式的圖形描繪系統(tǒng)進(jìn)行說明。此外，下面對與第一實施方式不同的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明，對相同的構(gòu)成省略其說明。另外，對相同的結(jié)構(gòu)適當(dāng)使用在第一實施方式中所使用的附圖標(biāo)記。第三實施方式的圖形描繪系統(tǒng)與第一實施方式的圖形描繪系統(tǒng)100—樣，具有通過LAN等的網(wǎng)絡(luò)N相互連接的、CAD裝置1、 RIP裝置2、缺陷檢查裝置6、描繪裝置4 (參照圖1) 。 CAD裝置1、 RIP裝置2、描繪裝置4的各結(jié)構(gòu)與第一實施方式相同。缺陷檢査裝置6與第一實施方式的缺陷檢査裝置3—樣，檢査用于描繪的行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷。下面，對缺陷檢查裝置 6的具體的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。<比.缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)>缺陷檢査裝置6通過與第一實施方式的缺陷檢查裝置3相同的硬件結(jié)構(gòu) 來實現(xiàn)的(參照圖2)。對缺陷檢査裝置6的功能性結(jié)構(gòu)，參照圖12及圖13進(jìn)行說明。圖12是表示缺陷檢査裝置6的功能性結(jié)構(gòu)的示意圖。圖13是示意地表示從在缺陷檢査裝置6中執(zhí)行的缺陷檢測處理中取得的各種數(shù)據(jù)及其相關(guān)關(guān)系的圖。缺陷檢査裝置6具有CAD數(shù)據(jù)取得部61、行程長度數(shù)據(jù)取得部62、缺陷檢測部63、缺陷修復(fù)部64、描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部65及描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送部66。這些各部功能通過以下方式來實現(xiàn)，即，讀取預(yù)先存儲在ROM12等中的程序P或記錄在記錄介質(zhì)M中的程序P,并在控制部11 中執(zhí)行上述程序P (參照圖2) 。 CAD數(shù)據(jù)取得部61、行程長度數(shù)據(jù)取得部 62、缺陷修復(fù)部64、描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部65及描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā) 送部66的各功能分別與CAD數(shù)據(jù)取得部31、行程長度數(shù)據(jù)取得部32、缺陷修復(fù)部34、描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部35及描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送部36 分別相同。缺陷檢測部63檢測行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷。更具體地講，比較輸入CAD 數(shù)據(jù)Dl和行程長度數(shù)據(jù)D2，當(dāng)存在差異區(qū)域時，檢測出該差異區(qū)域而作為行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷區(qū)域。缺陷檢測部63具有轉(zhuǎn)換處理部631、差異區(qū)域確定部632。轉(zhuǎn)換處理部631，對以相互不同的格式記載的輸入CAD數(shù)據(jù)Dl和行程長度數(shù)據(jù)D2的至少一方(在這里為輸入CAD數(shù)據(jù)Dl )執(zhí)行規(guī)定的轉(zhuǎn)換處理，并取得變成能夠相互比較的數(shù)據(jù)格式的比較CAD數(shù)據(jù)HI和比較行程長度數(shù) 據(jù)H2 (參照圖13)。轉(zhuǎn)換處理部631具有比較輸入CAD數(shù)據(jù)取得部6311 和比較行程長度數(shù)據(jù)取得部6312。比較輸入CAD數(shù)據(jù)取得部6311對CAD數(shù)據(jù)取得部61所取得的輸入 CAD數(shù)據(jù)Dl執(zhí)行"坐標(biāo)值化處理"，并將執(zhí)行該處理所取得的坐標(biāo)值化CAD 數(shù)據(jù)Dll作為比較CAD數(shù)據(jù)H1來取得(參照圖13)。所謂"坐標(biāo)值化處理"，如圖14所示，是將作為由圖形記載的數(shù)據(jù)的輸入CAD數(shù)據(jù)D1轉(zhuǎn)換成由坐標(biāo)值的集合記載的數(shù)據(jù)格式的處理。在坐標(biāo)值化處理中，首先，在輸入CAD數(shù)據(jù)D1中規(guī)定平行于掃描方向(或，副掃描方向)的多條直線Ni (i=l， 2，) (D10)。然后，取得各直線Ni與包含在輸入CAD數(shù)據(jù)Dl中的多角形圖形(polygon)之間的交叉點(diǎn)的坐標(biāo)信息。其中，直線Ni (i=l， 2，…)與各多角形圖形在兩個點(diǎn)上相交，在這里，將這兩個點(diǎn)的各坐標(biāo)值作為一對的坐標(biāo)值組(以下表示為"坐標(biāo)值組Mi (i=l， 2，…)")。另外，在坐標(biāo)值組Mi中將X坐標(biāo)值小的一方的坐標(biāo)值作為起點(diǎn)坐標(biāo)值Msi (i=l， 2，…)，將另一方的坐標(biāo)值作為終點(diǎn)坐標(biāo)值Mei (i=l， 2，…)。由此，取得坐標(biāo)值化CAD數(shù)據(jù)Dll，該坐標(biāo)值化CAD數(shù)據(jù)Dll 根據(jù)多個坐標(biāo)值組Mi (起點(diǎn)坐標(biāo)值Msi及終點(diǎn)坐標(biāo)值Mei) (i=l， 2，…)，規(guī)定包含在CAD數(shù)據(jù)D1中的各自的多角形圖形。再次參照圖12。比較行程長度數(shù)據(jù)取得部6312將行程長度數(shù)據(jù)取得部 52所取得的行程長度數(shù)據(jù)D2，直接作為比較行程長度數(shù)據(jù)H2來取得(參照圖13)。差異區(qū)域確定部632對比較CAD數(shù)據(jù)HI和比較行程長度數(shù)據(jù)H2進(jìn)行比較，并檢測出兩個數(shù)據(jù)間的差異。更具體地講，將包含在比較行程長度數(shù) 據(jù)H2 (即，在這里為行程長度數(shù)據(jù)D2)中的多個行程Li (i=l， 2，…)的每一個行程與包含在比較CAD數(shù)據(jù)HI (S卩，在這里為坐標(biāo)值化CAD數(shù)據(jù) Dll)中的多個坐標(biāo)值組Mi (i=l， 2，…)分別進(jìn)行比較(更具體地講，通過比較各行程Li的起點(diǎn)位置和與該行程Li相對應(yīng)的坐標(biāo)值組Mi的起點(diǎn)坐標(biāo)值Msi，還有，通過比較各行程Li的終點(diǎn)位置和與該行程Li相對應(yīng)的坐標(biāo)值組Mi的終點(diǎn)坐標(biāo)值Mei)，以此確定兩個數(shù)據(jù)之間的差異區(qū)域(多余缺陷區(qū) 域Ae或遺漏缺陷區(qū)域Af)，并作為差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3來取得。其中，包含在坐標(biāo)值化CAD數(shù)據(jù)Dll中的坐標(biāo)值組Mi分別和包含在行程長度數(shù)據(jù)D2中的行程Li (i=l， 2，…)的起點(diǎn)及終點(diǎn)的位置是使用共用坐標(biāo)系(例如，將 CAD數(shù)據(jù)的起點(diǎn)坐標(biāo)為共用的基準(zhǔn)的共用的坐標(biāo)系)來表示。對差異區(qū)域確定部632確定差異區(qū)域(多余曲線區(qū)域Ae及遺漏缺陷區(qū)域 Af)的處理，參照圖15 圖17進(jìn)行具體說明。圖15及圖16是表示差異區(qū) 域確定部632所執(zhí)行的處理流程的圖。圖17是示意地例示差異區(qū)域的圖。[生成在一X側(cè)的差異區(qū)域的確定]差異區(qū)域確定部632比較包含在比較行程長度數(shù)據(jù)H2中的行程Li(i-l， 2，…)的起點(diǎn)的位置和包含在比較CAD數(shù)據(jù)Hl中的坐標(biāo)值組MKi=l ， 2，) 的起點(diǎn)坐標(biāo)值Msi，以此確定生成在行程長度數(shù)據(jù)H2的一X側(cè)(更具體地講，應(yīng)描繪的多角形圖形的一X偵U)的差異區(qū)域。對于確定生成在一X側(cè)的差異區(qū)域的處理，參照圖15、圖17進(jìn)行說明。差異區(qū)域確定部632，首先，選擇包含在比較行程長度數(shù)據(jù)H2中的行程Li (i=l， 2，…)之中的一個行程，并取得該行程(表示為"行程Lt")的起點(diǎn)的坐標(biāo)值(步驟S31)。接著，從包含在比較CAD數(shù)據(jù)H1中的坐標(biāo)值組Mi (i=l， 2，…)中取得與步驟S31中所取得的行程Lt相對應(yīng)的坐標(biāo)值組Mi (表示為"坐標(biāo)值組 Mt")的起點(diǎn)坐標(biāo)值Msi (表示為"起點(diǎn)坐標(biāo)值Mst")(步驟S32)。所謂 "對應(yīng)的坐標(biāo)值組"是指線段區(qū)域和行程Lt原本(g卩，如果正確生成行程Lt) 具有一致關(guān)系的坐標(biāo)值組，上述線段區(qū)域是連接包含在該坐標(biāo)值組Mi中的起點(diǎn)坐標(biāo)值Msi和終點(diǎn)坐標(biāo)值Mei的區(qū)域。例如，作為"對應(yīng)的坐標(biāo)值組Mt"，取得如下的坐標(biāo)值組，S卩，與行程Lt同樣來自多角形圖形，并且具有與行程 Lt相等(或最接近)的Y坐標(biāo)值。接著，判斷在步驟S31中從比較行程長度數(shù)據(jù)H2中取得的行程Lt的起點(diǎn)坐標(biāo)值的X成分，和對應(yīng)的起點(diǎn)坐標(biāo)值Mst (在步驟S32中從比較CAD數(shù) 據(jù)H1中取得的起點(diǎn)坐標(biāo)值Mst)的X成分是否一致(步驟S33)'。在步驟S33中，判斷為兩個值一致時，判斷出行程Lt不是在一X側(cè)構(gòu)成差異區(qū)域的行程(步驟S34)(例如，圖17的行程Ll和起點(diǎn)坐標(biāo)值Msl、行程L2和起點(diǎn)坐標(biāo)值Ms2)。另一方面，在步驟S33中判斷為兩個值不一致時，判斷出行程Lt是在一 X側(cè)構(gòu)成差異區(qū)域的行程。這時，通過判斷從比較行程長度數(shù)據(jù)H2中所取得的行程Lt的起點(diǎn)坐標(biāo)值的X成分是否大于對應(yīng)的起點(diǎn)坐標(biāo)值Mst的X成分，以此判斷行程Lt是否為構(gòu)成遺漏缺陷區(qū)域Af或多余缺陷區(qū)域Ae中的任一個區(qū)域的行程(步驟S35)。即，在步驟S35中，判斷為行程Lt的起點(diǎn)坐標(biāo)值的X成分大于對應(yīng)的起點(diǎn)坐標(biāo)值Mst的X成分時，判斷行程Lt為在一X側(cè)構(gòu)成遺漏缺陷區(qū)域Af的行程(步驟S36)(例如，圖17的行程L22和起點(diǎn)坐標(biāo)值Ms22、行程L23 和起點(diǎn)坐標(biāo)值Ms23)。這時，差異區(qū)域確定部632將線段區(qū)域作為遺漏缺陷區(qū)域Af來提取，該線段區(qū)域?qū)⑵瘘c(diǎn)坐標(biāo)值Mst作為起點(diǎn)位置并將行程Lt的起點(diǎn)的坐標(biāo)值為終點(diǎn)位置。另外，在步驟S35中，判斷為行程Lt的起點(diǎn)坐標(biāo)值的X成分小于對應(yīng)的起點(diǎn)坐標(biāo)值Mst的X成分時，判斷行程Lt為在一X側(cè)形成多余缺陷區(qū)域Ae 的行程(步驟S37)。這時，差異區(qū)域確定部632將線段區(qū)域作為多余缺陷區(qū)域Ae來提取，該線段區(qū)域?qū)⑿谐蘈t的起點(diǎn)的坐標(biāo)值為起點(diǎn)位置并將起點(diǎn) 坐標(biāo)值Mst作為終點(diǎn)位置。對包含在比較行程長度數(shù)據(jù)H2中的所有的行程Li (i=l， 2，…)執(zhí)行以上的步驟S31 步驟S37的處理。若對所有的行程執(zhí)行了步驟S31 步驟S37 的處理，就結(jié)束處理(步驟S38)。[生成在+X側(cè)的差異區(qū)域的確定]差異區(qū)域確定部632比較包含在比較行程長度數(shù)據(jù)H2中的行程Li(i-l， 2，…)的終點(diǎn)位置和包含在比較CAD數(shù)據(jù)H1中的坐標(biāo)值組Mi(i^， 2，…) 的終點(diǎn)坐標(biāo)值Md，以此確定生成在行程長度數(shù)據(jù)H2的+X側(cè)(更具體地講，應(yīng)描繪的多角形圖形的+X頂0的差異區(qū)域。參照圖16及圖17說明確定生成在+X側(cè)的差異區(qū)域的處理。差異區(qū)域確定部632，首先，選擇包含在比較行程長度H2中的行程Li (i=l， 2，…)之中的一個行程，并取得該行程(表示為"行程Lt")的終點(diǎn)的坐標(biāo)值(步驟 S41)。接著，從包含在比較CAD數(shù)據(jù)H1中的坐標(biāo)值組Mi (i=l， 2，…)中取得與在步驟S41中所取得的行程Lt對應(yīng)的坐標(biāo)值組Mi (表示為"坐標(biāo)值組 Mt")的終點(diǎn)坐標(biāo)值Mei (表示為"終點(diǎn)坐標(biāo)值Met")(步驟S42)。接著，判斷在步驟S41中從比較行程長度數(shù)據(jù)H2中所取得的行程Lt的終點(diǎn)坐標(biāo)值的X成分，和對應(yīng)的終點(diǎn)坐標(biāo)值Met (在步驟S42中從比較CAD 數(shù)據(jù)H1中所取得的終點(diǎn)坐標(biāo)值Met)的X成分是否一致(步驟S43)。在步驟S43中判斷為兩個值一致時，判斷行程Lt不是在+X側(cè)構(gòu)成差異區(qū)域的行程(步驟S44)(例如，圖17的行程L1和終點(diǎn)坐標(biāo)值Mel，行程 L22和終點(diǎn)坐標(biāo)值Me22)。另一方面，在步驟S43中，判斷為兩個值不一致時，判斷行程Lt不是在 +乂側(cè)構(gòu)成差異區(qū)域的行程。這時，判斷從比較行程長度數(shù)據(jù)H2中取得的行程Lt的終點(diǎn)坐標(biāo)值的X成分是否大于對應(yīng)的終點(diǎn)坐標(biāo)值Met的X成分，以此判斷行程Lt是否為構(gòu)成遺漏缺陷區(qū)域Af或多余缺陷區(qū)域Ae中任一個區(qū)域的行程(步驟S45)。艮P，在步驟S45中，判斷為行程Lt的終點(diǎn)坐標(biāo)值的X成分大于對應(yīng)的終點(diǎn)坐標(biāo)值Met的X成分時，判斷行程Lt是在+X側(cè)構(gòu)成多余缺陷區(qū)域Ae的行程(步驟S46)(例如，圖17的行程L2和終點(diǎn)坐標(biāo)值Me2，行程L3和終點(diǎn)坐標(biāo)值Me3)。這時，差異區(qū)域確定部632作為多余缺陷區(qū)域提取線段區(qū) 域，該線段區(qū)域是將終點(diǎn)坐標(biāo)值Met作為起點(diǎn)位置并將行程Lt的終點(diǎn)的坐標(biāo) 值作為終點(diǎn)位置的區(qū)域。另一方面，在步驟S45中，判斷為行程Lt的終點(diǎn)坐標(biāo)值的X成分小于對應(yīng)的終點(diǎn)坐標(biāo)值Met的X成分時，判斷行程Lt為在+X側(cè)構(gòu)成遺漏缺陷區(qū)域 Af的行程(步驟S47)。這時，差異區(qū)域確定部632提取線段區(qū)域作為遺漏缺陷區(qū)域Af，該線段區(qū)域是將行程Lt的終點(diǎn)坐標(biāo)值作為起點(diǎn)位置并將終點(diǎn)坐標(biāo)值Met作為終點(diǎn)位置的區(qū)域。對包含在比較行程長度數(shù)據(jù)H2中的所有的行程Li (i=l， 2，…)執(zhí)行以上的步驟S41 步驟S47的處理。若對所有的行程執(zhí)行了步驟S41 步驟S47 的處理，就結(jié)束處理(步驟S48)。<2.處理動作><2^圖形描繪系統(tǒng)中的處理動作>第三實施方式的圖形描繪系統(tǒng)所執(zhí)行的處理的整個流程與第一實施方式的圖形描繪系統(tǒng)100所執(zhí)行的處理流程(參照圖7)相同。〈2b.在缺陷檢査裝置3中的處理動作>對缺陷檢査裝置6所執(zhí)行的處理(即，缺陷檢査處理及缺陷修復(fù)處理) 進(jìn)行說明。缺陷檢查裝置6所執(zhí)行的處理流程與第一實施方式的缺陷檢查裝置3所執(zhí)行的處理流程(參照圖8)大致相同，因此，下面參照圖8對其不同點(diǎn)進(jìn)行說明。首先，CAD數(shù)據(jù)取得部61從CAD裝置1中取得輸入CAD數(shù)據(jù)D1，而且行程長度數(shù)據(jù)取得部62從RIP裝置2中取得行程長度數(shù)據(jù)D2 (參照步驟 S11 S12)。接著，缺陷檢測部63檢測出在前面的工序(參照步驟S12)中所取得的行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷(參照步驟S13 步驟S16)。艮P，首先，轉(zhuǎn)換處理部631取得變成能夠相互比較的數(shù)據(jù)格式的比較CAD 數(shù)據(jù)Hl和比較行程長度數(shù)據(jù)H2 (參照步驟S13)。更具體地講，比較輸入 CAD數(shù)據(jù)取得部6311對輸入CAD數(shù)據(jù)Dl (即，在前面的工序(參照步驟 Sll)中CAD數(shù)據(jù)取得部61所取得的數(shù)據(jù))執(zhí)行坐標(biāo)化處理，并將執(zhí)行該處理所取得的坐標(biāo)值化CAD數(shù)據(jù)Dll作為比較CAD數(shù)據(jù)Hl來取得。另外，比較行程長度數(shù)據(jù)取得部6312，將行程長度數(shù)據(jù)D2 (g卩，在前面的工序(參照步驟S12)中行程長度數(shù)據(jù)取得部52所取得的數(shù)據(jù))作為比較行程長度數(shù) 據(jù)H2來取得。接著，差異區(qū)域確定部632比較包含在比較行程長度數(shù)據(jù)H2中的行程 Li (i=l， 2，…)的每一個行程，與包含在比較CAD數(shù)據(jù)H1中的坐標(biāo)值組 Mi (i=l， 2，…)的每一個坐標(biāo)值組，并取得確定了兩個數(shù)據(jù)之間的差異區(qū) 域(多余缺陷區(qū)域Ae及遺漏缺陷區(qū)域Af)的差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3 (參照圖15 及圖16)(相當(dāng)于步驟S14 步驟S16的處理)。接著，缺陷修復(fù)部64根據(jù)在前面的工序中所取得的差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3，判斷缺陷檢測部63是否檢測出行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷(即，是否檢測出差異區(qū)域)(參照步驟S17)。在這里，判斷為檢測出缺陷時，缺陷修復(fù)部64修復(fù)該檢測出的缺陷，并取得修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)D4(步驟S18)，描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部65將該所取得的修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)D4作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)T來取得(參照步驟S19)。然后，描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送部66向描繪裝置4發(fā)送該取得的描繪用行程長度數(shù)據(jù)T (參照步驟S21)。另一方面，判斷為未檢測出缺陷時，描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部65將在前面的工序(參照步驟S12)中取得的行程長度數(shù)據(jù)D2作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)T來取得(參照步驟S20)。然后，描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送部66向描繪裝置4發(fā)送該取得的描繪用行程長度數(shù)據(jù)T (參照步驟S21)。<3.效果〉根據(jù)上述的實施方式，比較輸入CAD數(shù)據(jù)取得部6311通過對輸入CAD 數(shù)據(jù)D1進(jìn)行"坐標(biāo)化處理"，來將其換成由坐標(biāo)值的集合(更具體地講，由起點(diǎn)坐標(biāo)值和終點(diǎn)坐標(biāo)值構(gòu)成的坐標(biāo)值組的集合)記載的數(shù)據(jù)(坐標(biāo)值化CAD 數(shù)據(jù)Dll)。通過比較該坐標(biāo)值化CAD數(shù)據(jù)Dll與行程長度數(shù)據(jù)D2 (即，記載為線段集合的數(shù)據(jù))，能夠確定生成在行程長度數(shù)據(jù)D2中的缺陷區(qū)域。另外，RIP處理是從多角形圖形中取得線段集合的處理。在RIP處理中有可能發(fā)生以下情況，S卩，在將與長度有關(guān)的信息進(jìn)行線段化的處理中發(fā)生錯誤或因解析度等的參數(shù)在解析中產(chǎn)生偏差，這些成為行程長度數(shù)據(jù)D2的缺陷。另一方面，因為坐標(biāo)值化處理是從多角形圖形中取得坐標(biāo)值的集合的處理，所以在通過坐標(biāo)化處理取得的坐標(biāo)值化CAD數(shù)據(jù)Dll中不會發(fā)生這種缺陷。因此，通過比較坐標(biāo)值化CAD數(shù)據(jù)D11和行程長度數(shù)據(jù)D2，就能夠準(zhǔn)確地檢測出生成在行程長度數(shù)據(jù)D2中的缺陷。[第一變形例]上述的第一實施方式的缺陷檢測部33以如下方式進(jìn)行運(yùn)算，即，多余缺陷區(qū)域確定部333和遺漏缺陷區(qū)域確定部334分別進(jìn)行差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3和比較行程長度數(shù)據(jù)F2之間的邏輯與、和差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3和比較CAD數(shù)據(jù)Fl 之間的邏輯與的運(yùn)算，以此取得分別確定多余缺陷區(qū)域Ae和遺漏缺陷區(qū)域 Af的多余缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3a和遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3b(參照圖3、圖4)，但也可以在以下的方式中取得各數(shù)據(jù)S3a、 D3b。該變形例的缺陷檢測部8，如圖18所示，具有轉(zhuǎn)換處理部81、第一差分區(qū)域確定部82、多余缺陷區(qū)域確定部83、第二差分區(qū)域確定部84及遺漏缺陷區(qū)域確定部85。轉(zhuǎn)換處理部81與第一實施方式的轉(zhuǎn)換處理部331相同。第一差分區(qū)域確定部82，如圖19A所示，從由比較行程長度數(shù)據(jù)F2(即，圖形化行程長度數(shù)據(jù)D22)所規(guī)定的圖形區(qū)域中減去由比較CAD數(shù)據(jù)FK即，輸入CAD數(shù)據(jù)D1)所規(guī)定的圖形區(qū)域(F2—F1)，并取得第一差分區(qū)域數(shù) 據(jù)Ka。在第一差分區(qū)域數(shù)據(jù)Ka中，在存在于比較行程長度數(shù)據(jù)F2中卻未存在于比較CAD數(shù)據(jù)F1中的區(qū)域的值為"正"(正區(qū)域S1)。另外，在未存于比較行程長度數(shù)據(jù)F2中卻存在于比較CAD數(shù)據(jù)F1中的區(qū)域的值為"負(fù)" (負(fù)區(qū)域S2)，在比較CAD數(shù)據(jù)Fl和比較行程長度數(shù)據(jù)F2兩方中都存在的區(qū)域的值為"0"。多余缺陷區(qū)域確定部83，如圖19A所示，提取在第一差分區(qū)域數(shù)據(jù)Ka 中"正"的值的區(qū)域，以此取得確定了多余缺陷區(qū)域Ae的多余缺陷區(qū)域數(shù)據(jù) D3a。第二差分區(qū)域確定部84，如圖19B所示，從由比較CAD數(shù)據(jù)F1 (即，輸入CAD數(shù)據(jù)D1)規(guī)定的圖形區(qū)域中減去由比較行程長度數(shù)據(jù)F2 (即，圖形化行程長度數(shù)據(jù)D22)規(guī)定的圖形區(qū)域(F1—F2)，取得第二差分區(qū)域數(shù) 據(jù)Kb。在第二差分區(qū)域數(shù)據(jù)Kb中，存在于比較CAD數(shù)據(jù)F1中卻未存在于比較行程長度數(shù)據(jù)F2中的區(qū)域的值為"正"(正區(qū)域Sl)。另外，未存在于比較CAD數(shù)據(jù)F1中卻存在于比較行程長度數(shù)據(jù)F2中的區(qū)域的值為"負(fù)" (負(fù)區(qū)域S2)，在比較CAD數(shù)據(jù)Fl和比較行程長度數(shù)據(jù)F2兩方中都存在的區(qū)域的值為"0"。遺漏缺陷區(qū)域確定部85，如圖19B所示，提取在第二差分區(qū)域數(shù)據(jù)Kb 中"正"的值的區(qū)域，以此取得確定了遺漏缺陷區(qū)域Af的遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù) D3b。在該變形例中，檢測出缺陷的處理動作(相當(dāng)于圖8的步驟S13 步驟 S16的處理)如下進(jìn)行。艮P，首先，轉(zhuǎn)換處理部81將輸入CAD數(shù)據(jù)D1作為比較CAD數(shù)據(jù)F1 來取得，并將圖形化行程長度數(shù)據(jù)D22作為比較行程長度數(shù)據(jù)F2來取得。接著，第一差分區(qū)域確定部82從由比較行程長度數(shù)據(jù)F2規(guī)定的圖形區(qū) 域中減去由比較CAD數(shù)據(jù)Fl規(guī)定的圖形區(qū)域，取得第一差分區(qū)域數(shù)據(jù)Ka。接著，多余缺陷區(qū)域確定部83通過提取在第一差分區(qū)域數(shù)據(jù)Ka中"正" 的值的區(qū)域，取得確定了多余缺陷區(qū)域Ae的多余缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3a。接著，第二差分區(qū)域確定部84從由比較CAD數(shù)據(jù)Fl規(guī)定的圖形區(qū)域中減去由比較行程長度數(shù)據(jù)F2規(guī)定的圖形區(qū)域，取得第二差分區(qū)域數(shù)據(jù)Kb。接著，遺漏缺陷區(qū)域確定部85通過提取在第二差分區(qū)域數(shù)據(jù)Kb中"正" 的值的區(qū)域，取得確定了遺漏缺陷區(qū)域Af的遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3b。另外，先執(zhí)行取得遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3b的處理和取得多余缺陷區(qū)域數(shù) 據(jù)D3a的處理中的哪一個都可以。在上述變形例中，不是進(jìn)行兩個數(shù)據(jù)的邏輯與的運(yùn)算，而是進(jìn)行差分的運(yùn)算，以此能夠確定多余缺陷區(qū)域及遺漏缺陷區(qū)域。另外，根據(jù)比較CAD數(shù) 據(jù)Fl和比較行程長度數(shù)據(jù)F2之間的差，能夠直接取得多余缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3a 及遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3b。因此，不需要象第一實施方式那樣生成差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3。另外，在上述的變形例中，取得第二差分區(qū)域數(shù)據(jù)Kb并提取其"正"的值的區(qū)域，以此確定遺漏缺陷區(qū)域Af，但也可以通過提取第一差分區(qū)域數(shù)據(jù) Ka的"負(fù)"的值的區(qū)域來確定遺漏缺陷區(qū)域Af。另外，在上述的變形例中，通過取得第一差分區(qū)域數(shù)據(jù)Ka并提取其"正"的值得區(qū)域來確定多余缺陷區(qū) 域Ae，但也可以通過提取第二差分區(qū)域數(shù)據(jù)Kb的"負(fù)"的值的區(qū)域來確定多余缺陷區(qū)域Ae。目卩，取得第一差分區(qū)域數(shù)據(jù)Ka或第二差分區(qū)域數(shù)據(jù)Kb 的任一方，并分別提取該取得的數(shù)據(jù)的"正"的值的區(qū)域和"負(fù)"的值的區(qū) 域，以此確定多余缺陷區(qū)域Ae和遺漏缺陷區(qū)域Af。[第二變形例]也可以用以下的方式取得多余缺陷數(shù)據(jù)D3a和遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3b。該變形例的缺陷檢測部9，如圖20所示，具有轉(zhuǎn)換處理部91、差異區(qū)域確定部92、第一差異差分區(qū)域確定部93、多余缺陷區(qū)域確定部94、第二差異差分區(qū)域確定部95及遺漏缺陷區(qū)域確定部96。轉(zhuǎn)換處理部91及差異區(qū)域確定部92分別與第一實施方式的轉(zhuǎn)換處理部331及差異區(qū)域確定部332相同。第一差異差分區(qū)域確定部93，如圖21A所示，從由差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3規(guī) 定的圖形區(qū)域中減去由比較CAD數(shù)據(jù)F1 (即，輸入CAD數(shù)據(jù)D1)規(guī)定的圖形區(qū)域(D3—F1)，并取得第一差異差分區(qū)域數(shù)據(jù)La。在第一差分區(qū)域數(shù) 據(jù)La中，存在于差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3中卻未存在于比較CAD數(shù)據(jù)F1中的區(qū)域的值為"正"(正區(qū)域S1)。另外，未存在于差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3中卻存在于比較CAD數(shù)據(jù)Fl中的區(qū)域的值為"負(fù)"(負(fù)區(qū)域S2).，在差異區(qū)域數(shù)據(jù) D3和比較CAD數(shù)據(jù)F1的兩方中都存在的區(qū)域的值為"0"。多余缺陷區(qū)域確定部94，如圖21A所示，在第一差異差分區(qū)域數(shù)據(jù)La 中提取"正"的值的區(qū)域，以此取得確定了多余缺陷區(qū)域Ae的多余缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3a。第二差異差分區(qū)域確定部95，如圖21B所示，從由差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3規(guī) 定的圖形區(qū)域中減去由比較行程長度數(shù)據(jù)F2(g卩、圖形化行程長度數(shù)據(jù)D22) 規(guī)定的圖形區(qū)域(D3—F2)，取得第二差異差分區(qū)域數(shù)據(jù)Lb。在第二差分區(qū) 域數(shù)據(jù)Lb中，存在于差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3中卻未存在于比較行程長度數(shù)據(jù)F2 中的區(qū)域的值為"正"(正區(qū)域S1)。另外，未存在于差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3中卻存在于比較行程長度數(shù)據(jù)F2中的區(qū)域的值為"負(fù)"(負(fù)區(qū)域S2)，在差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3和比較行程長度數(shù)據(jù)F2兩方中都存在的區(qū)域的值為"0"。遺漏缺陷區(qū)域確定部96，如圖21B所示，通過提取在第二差異差分區(qū)域 Lb中"正"的值的區(qū)域，以此取得確定了遺漏缺陷區(qū)域Af的遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3b。在該變形例中，檢測缺陷的處理動作(相當(dāng)于圖8的步驟S13 步驟S16 的處理)以如下的方式進(jìn)行。艮口，首先，轉(zhuǎn)換處理部91將輸入CAD數(shù)據(jù)D1作為比較CAD數(shù)據(jù)F1 來取得，并將圖形化行程長度數(shù)據(jù)D22作為比較行程長度數(shù)據(jù)F2來取得。接著，差異區(qū)域確定部92進(jìn)行比較CAD數(shù)據(jù)Fl和比較行程長度數(shù)據(jù) F2的邏輯異或運(yùn)算，并取得確定了兩個數(shù)據(jù)之間的差異區(qū)域的差異區(qū)域數(shù)據(jù) D3。接著，第一差異差分區(qū)域確定部93從由差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3規(guī)定的圖形區(qū) 域中減去由比較CAD數(shù)據(jù)F1規(guī)定的圖形區(qū)域，取得第一差異差分區(qū)域數(shù)據(jù) La。接著，多余缺陷區(qū)域確定部94通過在第一差異差分區(qū)域數(shù)據(jù)La中提取 "正"的值的區(qū)域，以此取得確定了多余缺陷區(qū)域Ae的多余缺陷區(qū)域數(shù)據(jù) D3a。接著，第二差異差分區(qū)域確定部95從由差異區(qū)域數(shù)據(jù)D3規(guī)定的圖形區(qū) 域中減去由比較行程長度數(shù)據(jù)F2規(guī)定的圖形區(qū)域，并取得第二差異差分區(qū)域數(shù)據(jù)Lb。接著，遺漏缺陷區(qū)域確定部96通過在第二差異差分區(qū)域數(shù)據(jù)Lb中提取 "正"的值的區(qū)域，以此取得確定了遺漏缺陷區(qū)域Af的遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù) D3b。另外，先進(jìn)行取得遺漏缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)D3b的處理和取得多余缺陷區(qū)域數(shù) 據(jù)D3a的處理中的哪一個都可以。在上述的變形例中，不進(jìn)行兩個數(shù)據(jù)的邏輯與的運(yùn)算，而是進(jìn)行差分運(yùn) 算，以此能夠確定多余缺陷區(qū)域及遺漏缺陷區(qū)域。[其他變形例]在上述的各實施方式中，缺陷檢査裝置3、 5、 6作為獨(dú)立于描繪裝置4的裝置來構(gòu)成，但缺陷檢査裝置3、 5、 6的功能結(jié)構(gòu)(參照圖3及圖9)也可以在描繪裝置4中實現(xiàn)。即，也可以將描繪裝置4作為與缺陷檢査裝置3 (或缺陷檢查裝置5、或缺陷檢査裝置6)成為一體的裝置來構(gòu)成。在圖22中顯示了該變形例的描繪裝置7的構(gòu)成。如圖22所示，描繪裝置7具有在輸出介質(zhì)上描繪圖形的功能部(描繪處理部71)的同時，在上述的各實施方式中的缺陷檢查裝置3 (或缺陷檢査裝置5、 6)所具有的各部(即， CAD數(shù)據(jù)取得部31 (51) (61)、行程長度數(shù)據(jù)取得部32 (52) (62)、缺陷檢測部33 (53) (63)、缺陷修復(fù)部34 (54) (64)、描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部35 (55) (65))的功能是通過描繪裝置7所具有的硬件結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)的。在這里，描繪處理部71取得描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得部35(55) (65) 所取得的描繪用行程長度數(shù)據(jù)T，并根據(jù)將該所取得的描繪用行程長度數(shù)據(jù)T 執(zhí)行描繪處理。另外，在上述各實施方式中，關(guān)于行程長度數(shù)據(jù)D2的遺漏缺陷區(qū)域Af，以如下方式構(gòu)成(圖8的步驟S26) ， S口，通過對該區(qū)域執(zhí)行再次RIP處理并生成行程數(shù)據(jù)來修復(fù)遺漏缺陷，但也可以是如下的構(gòu)成，即，不通過RIP 處理，直接在該遺漏缺陷區(qū)域Af中生成新的行程數(shù)據(jù)。例如，通過強(qiáng)制延伸存在于缺陷區(qū)域附近的行程數(shù)據(jù)，以此在遺漏缺陷區(qū)域Af中生成行程長度數(shù) 據(jù)。另外，缺陷區(qū)域的修復(fù)也可以是以如下的方式進(jìn)行修復(fù)的結(jié)構(gòu)，、即，通過接收操作員的輸入操作來進(jìn)行修復(fù)。例如，也可以以如下方式構(gòu)成，艮P，將缺陷區(qū)域提示給操作員的畫面(例如，在畫面上顯示行程長度數(shù)據(jù)D2的整體，并將行程長度數(shù)據(jù)D2中的多余缺陷區(qū)域Ae以紅色，將遺漏缺陷區(qū)域 Af以藍(lán)色來顯示的顯示的畫面)顯示在顯示部16中的同時，接收來自操作員的指示輸入，上述指示是對各缺陷區(qū)域生成行程數(shù)據(jù)的指示或刪除行程數(shù)據(jù) 的指示，并根據(jù)上述指示輸入修復(fù)缺陷區(qū)域。另外，在上述各實施方式中，記載了應(yīng)描繪的圖形的數(shù)據(jù)是CAD數(shù)據(jù)，但也可以是處理圖像或文本文件的文檔文件。這時，行程長度數(shù)據(jù)D2是通過 RIP處理取得該文檔文件的數(shù)據(jù)。另外，在上述的各實施方式中，應(yīng)描繪的圖形是電路圖案，但應(yīng)描繪的圖形也可以不是電路圖案。另外，在上述的各實施方式中，缺陷檢查裝置3、 5、 6是通過經(jīng)由網(wǎng)絡(luò) N連接的CAD裝置1及RIP裝置2分別來取得輸入CAD數(shù)據(jù)Dl和行程長度數(shù)據(jù)D2，但這些數(shù)據(jù)的取得方法不僅限于此。例如，通過從存儲這些數(shù)據(jù) 的記錄介質(zhì)M中讀取來取得也可以。另外，在上述的各實施方式中，根據(jù)描繪用行程長度數(shù)據(jù)T執(zhí)行描繪的裝置(描繪裝置4)由在基板上描繪電路圖案的直接描繪裝置來構(gòu)成，但執(zhí)行描繪的裝置不僅限于這些直接描繪裝置，也可以通過如下裝置構(gòu)成，即，采用根據(jù)行程長度數(shù)據(jù)在輸出介質(zhì)上描繪圖形的描繪方式的各種的裝置。例如，根據(jù)行程長度數(shù)據(jù)，在紙張等的記錄介質(zhì)上描繪圖形的印刷裝置來構(gòu)成也可以。另外，在上述的各實施的方式中，缺陷檢查裝置3、 5、 6具有的各功能部是通過由計算機(jī)執(zhí)行規(guī)定的程序P來實現(xiàn)的，但也可以通過專用的硬件來實現(xiàn)。
權(quán)利要求
1.一種缺陷檢查裝置，檢查用于描繪圖像的行程長度數(shù)據(jù)的缺陷，其特征在于，具有輸入數(shù)據(jù)取得裝置，其取得記載有應(yīng)描繪的圖形的輸入數(shù)據(jù)；行程長度數(shù)據(jù)取得裝置，其取得通過對上述輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行RIP處理而取得的上述行程長度數(shù)據(jù)；缺陷檢測裝置，其比較上述輸入數(shù)據(jù)和上述行程長度數(shù)據(jù)，當(dāng)存在差異區(qū)域時，檢測出該差異區(qū)域而作為上述行程長度數(shù)據(jù)的缺陷區(qū)域。
2. 如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，還具有修復(fù)裝置，該修復(fù)裝置在上述行程長度數(shù)據(jù)中檢測出上述缺陷區(qū)域時，修復(fù)該缺陷區(qū)域并取得修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)。
3. 如權(quán)利要求2所述的缺陷檢査裝置，其特征在于，上述缺陷檢測裝置具有數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換裝置，該數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換裝置對上述輸入數(shù)據(jù)和上述行程長度數(shù)據(jù)中的至少一種數(shù)據(jù)執(zhí)行規(guī)定的轉(zhuǎn)換處理，以使兩種數(shù)據(jù)變成能夠相互比較的數(shù)據(jù)格式。
4. 如權(quán)利要求3所述的缺陷檢査裝置，其特征在于，上述數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換裝置具有圖形化裝置，該圖形化裝置對上述行程長度數(shù)據(jù)執(zhí)行圖形化處理，以此取得對上述行程長度數(shù)據(jù)實施過圖形化處理的圖形化行程長度數(shù)據(jù)；上述缺陷檢測裝置還具有差異區(qū)域確定裝置，該差異區(qū)域確定裝置通過對上述圖形化行程長度數(shù)據(jù)和上述輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行邏輯異或運(yùn)算，取得已確定上述差異區(qū)域的差異區(qū)域數(shù)據(jù)。
5. 如權(quán)利要求4所述的缺陷檢査裝置，其特征在于，上述缺陷檢測裝置還具有多余缺陷區(qū)域確定裝置，該多余缺陷區(qū)域確定裝置通過對上述差異區(qū) 域數(shù)據(jù)和上述圖形化行程長度數(shù)據(jù)進(jìn)行邏輯與運(yùn)算，確定多余缺陷區(qū)域，其中，該多余缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，不存在上述輸入數(shù)據(jù)卻生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域。
6. 如權(quán)利要求4所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，上述缺陷檢測裝置還具有遺漏缺陷區(qū)域確定裝置，該遺漏缺陷區(qū)域確定裝置通過對上述差異區(qū) 域數(shù)據(jù)和上述輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行邏輯與運(yùn)算，確定遺漏缺陷區(qū)域，其中，該遺漏缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，存在上述輸入數(shù)據(jù)卻未生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域。
7. 如權(quán)利要求4所述的缺陷檢査裝置，其特征在于，上述缺陷檢測裝置還具有第一差異差分區(qū)域取得裝置，其從根據(jù)上述差異區(qū)域數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域中減去根據(jù)上述輸入數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域，以此取得第一差異差分區(qū)域數(shù)據(jù)；多余缺陷區(qū)域確定裝置，其通過提取上述第一差異差分區(qū)域數(shù)據(jù)中的正值的區(qū)域，確定多余缺陷區(qū)域，其中，該多余缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，不存在上述輸入數(shù)據(jù)卻生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域。
8. 如權(quán)利要求4所述的缺陷檢査裝置，其特征在于，上述缺陷檢測裝置還具有第二差異差分區(qū)域取得裝置，其從根據(jù)上述差異區(qū)域數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域中減去根據(jù)上述圖形化行程長度數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域，以此取得第二差異差分區(qū)域數(shù)據(jù)；遺漏缺陷區(qū)域確定裝置，其通過提取上述第二差異差分區(qū)域數(shù)據(jù)中的正值的區(qū)域，確定多余缺陷區(qū)域，其中，該多余缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，存在上述輸入數(shù)據(jù)卻未生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域。
9. 如權(quán)利要求3所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，上述數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換裝置還具有圖形化裝置，該圖形化裝置對上述行程長度數(shù)據(jù)執(zhí)行圖形化處理，以此取得對上述行程長度數(shù)據(jù)實施過圖形化處理的圖形化行程長度數(shù)據(jù)；上述缺陷檢測裝置還具有第一差分區(qū)域取得裝置，其從根據(jù)上述圖形化行程長度數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域中減去根據(jù)上述輸入數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域，以此取得第一差分區(qū)域數(shù)據(jù)，多余缺陷區(qū)域確定裝置，其通過提取上述第一差分區(qū)域數(shù)據(jù)的正值的區(qū) 域，確定多余缺陷區(qū)域，其中，該多余缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù) 中，不存在上述輸入數(shù)據(jù)卻生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域。
10. 如權(quán)利要求3所述的缺陷檢査裝置，其特征在于，上述數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換裝置具有圖形化裝置，該圖形化裝置對上述行程長度數(shù)據(jù)執(zhí)行圖形化處理，以此取得對上述行程長度數(shù)據(jù)實施過圖形化處理的圖形化行程長度數(shù)據(jù)；上述缺陷檢測裝置還具有第二差分區(qū)域取得裝置，其從根據(jù)上述輸入數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域中減去根據(jù)上述圖形化行程長度數(shù)據(jù)來規(guī)定的圖形區(qū)域，以此取得第二差分區(qū)域數(shù)據(jù)，遺漏缺陷區(qū)域確定裝置，其通過提取上述第二差分區(qū)域數(shù)據(jù)中的正值的區(qū)域，確定多余缺陷區(qū)域，其中，該多余缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù) 據(jù)中，存在上述輸入數(shù)據(jù)卻未生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域。
11. 如權(quán)利要求3所述的缺陷檢査裝置，其特征在于，上述數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換裝置具有行程長度數(shù)據(jù)圖像化裝置，其對上述行程長度數(shù)據(jù)執(zhí)行第一圖像化處理，以此取得對上述行程長度數(shù)據(jù)實施過圖形化處理的圖像化行程長度數(shù)據(jù)，輸入數(shù)據(jù)圖像化裝置，其對上述輸入數(shù)據(jù)執(zhí)行第二圖像化處理，以此取得對上述輸入數(shù)據(jù)實施過圖像化處理的圖像化輸入數(shù)據(jù)；上述缺陷檢測裝置還具有差異區(qū)域確定裝置，該差異區(qū)域確定裝置通過以像素單位比較上述圖像化行程長度數(shù)據(jù)和上述圖像化輸入數(shù)據(jù)，確定上述差異區(qū)域。
12. 如權(quán)利要求ll所述的缺陷檢査裝置，其特征在于，上述差異區(qū)域確定裝置以像素單位比較上述圖像化行程長度數(shù)據(jù)和上述圖像化輸入數(shù)據(jù)，以此將只在上述圖像化行程長度數(shù)據(jù)中存在像素的區(qū)域確定為多余缺陷區(qū)域，其中，該多余缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，不存在上述輸入數(shù)據(jù) 卻生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域。
13. 如權(quán)利要求ll所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，上述差異區(qū)域確定裝置以像素單位比較上述圖像化行程長度數(shù)據(jù)和上述圖像化輸入數(shù)據(jù)，以此將只在上述圖像化輸入數(shù)據(jù)中存在像素的區(qū)域確定為遺漏缺陷區(qū)域，其中，該遺漏缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，存在上述行程長度數(shù)據(jù)卻未生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域。
14. 如權(quán)利要求3所述的缺陷檢査裝置，其特征在于，上述數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換裝置具有輸入數(shù)據(jù)坐標(biāo)值化裝置，該輸入數(shù)據(jù)坐標(biāo)值化裝置對上述輸入數(shù)據(jù)執(zhí)行坐標(biāo)值化處理，以此取得坐標(biāo)值化輸入數(shù)據(jù)，其中，該坐標(biāo)值化輸入數(shù)據(jù)是指，根據(jù)坐標(biāo)值的集合，記載了包含在上述輸入數(shù)據(jù)中的1個以上的圖形的每一個的數(shù)據(jù)；上述缺陷檢測裝置還具有差異區(qū)域確定裝置，該差異區(qū)域確定裝置通過比較包含在上述行程長度數(shù)據(jù)中的多個行程的起點(diǎn)及終點(diǎn)的位置、和包含在上述坐標(biāo)值化輸入數(shù)據(jù)中的多個坐標(biāo)值中的規(guī)定坐標(biāo)值，分別確定多余缺陷區(qū)域和遺漏缺陷區(qū)域，其中，該多余缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，不存在上述輸入數(shù)據(jù)卻生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域，該遺漏缺陷區(qū)域是指，在上述行程長度數(shù)據(jù)中，存在上述輸入數(shù)據(jù)卻未生成有行程數(shù)據(jù)的區(qū)域。
15. 如權(quán)利要求5、 7、 9、 12及14中任一項所述的缺陷檢査裝置，其特征在于，具有多余缺陷修復(fù)裝置，該多余缺陷修復(fù)裝置在已確定上述多余缺陷區(qū)域時，刪除在上述行程長度數(shù)據(jù)中的上述多余缺陷區(qū)域所生成的行程數(shù) 據(jù)。
16. 如權(quán)利要求6、 8、 10、 13及14中任一項所述的缺陷檢査裝置，其特征在于，具有遺漏缺陷修復(fù)裝置，該遺漏缺陷修復(fù)裝置在已確定上述遺漏缺陷區(qū)域時，在上述行程長度數(shù)據(jù)中的上述遺漏缺陷區(qū)域重新生成行程數(shù)據(jù)。
17. 如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，上述輸入數(shù)據(jù)是應(yīng)描繪在基板上的圖案的CAD數(shù)據(jù)，上述行程長度數(shù)據(jù)用于在基板上描繪上述圖案。
18. —種圖形描繪裝置，基于行程長度數(shù)據(jù)，對輸出介質(zhì)描繪圖形，其特征在于，具有輸入數(shù)據(jù)取得裝置，其取得記載有應(yīng)描繪的圖形的輸入數(shù)據(jù)；行程長度數(shù)據(jù)取得裝置，其取得通過對上述輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行RIP處理而取得的上述行程長度數(shù)據(jù)；缺陷檢測裝置，其比較上述輸入數(shù)據(jù)和上述行程長度數(shù)據(jù)，當(dāng)存在差異區(qū)域時，檢測出該差異區(qū)域而作為上述行程長度數(shù)據(jù)的缺陷區(qū)域；修復(fù)裝置，其在上述行程長度數(shù)據(jù)中檢測出上述缺陷區(qū)域時，修復(fù)該缺陷區(qū)域并取得修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)；描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得裝置，其在上述行程長度數(shù)據(jù)中檢測出上述缺陷區(qū)域時，取得上述修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)而作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)，而在上述行程長度數(shù)據(jù)中未檢測出上述缺陷區(qū)域時，取得上述行程長度數(shù)據(jù)而直接作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)；描繪裝置，其基于上述描繪用行程長度數(shù)據(jù)，在上述輸入介質(zhì)上描繪圖形。
19. 如權(quán)利要求18所述的圖形描繪裝置，其特征在于，上述輸入數(shù)據(jù)是應(yīng)描繪在基板上的圖案的CAD數(shù)據(jù)，上述描繪裝置基于通過對上述CAD數(shù)據(jù)進(jìn)行RIP處理來取得的上述行程長度數(shù)據(jù)，在基板上描繪上述圖案。
20. —種圖形描繪系統(tǒng)，基于行程長度數(shù)據(jù)，對輸出介質(zhì)描繪圖形，其特征在于，具有缺陷檢査裝置，其檢查上述行程長度數(shù)據(jù)的缺陷；描繪裝置，其從上述缺陷檢査裝置中取得描繪用行程長度數(shù)據(jù)，并基于上述描繪用行程長度數(shù)據(jù)，在上述輸出介質(zhì)上描繪圖形；上述缺陷檢査裝置具有輸入數(shù)據(jù)取得裝置，其取得記載有應(yīng)描繪的圖形的輸入數(shù)據(jù)；行程長度數(shù)據(jù)取得裝置，其取得通過對上述輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行RIP處理而取得的上述行程長度數(shù)據(jù)；缺陷檢測裝置，其比較上述輸入數(shù)據(jù)和上述行程長度數(shù)據(jù)，當(dāng)存在差異區(qū)域時，檢測出該差異區(qū)域而作為上述行程長度數(shù)據(jù)的缺陷區(qū)域；修復(fù)裝置，其在上述行程長度數(shù)據(jù)中檢測出上述缺陷區(qū)域時，修復(fù)該缺陷區(qū)域并取得修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)；描繪用行程長度數(shù)據(jù)取得裝置，其在上述行程長度數(shù)據(jù)中檢測出上述缺陷區(qū)域時，取得上述修復(fù)行程長度數(shù)據(jù)而作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)，而在上述行程長度數(shù)據(jù)中未檢測出上述缺陷區(qū)域時，取得上述行程長度數(shù)據(jù)而直接作為描繪用行程長度數(shù)據(jù)；描繪用行程長度數(shù)據(jù)發(fā)送裝置，其向上述描繪裝置發(fā)送上述描繪用行程長度數(shù)據(jù)。
21. 如權(quán)利要求20所述的圖形描繪系統(tǒng)，其特征在于，上述輸入數(shù)據(jù)是應(yīng)描繪在基板上的圖案的CAD數(shù)據(jù)，上述描繪裝置基于通過對上述CAD數(shù)據(jù)進(jìn)行RIP處理而取得的上述行程長度數(shù)據(jù)，在基板上描繪上述圖案。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠以簡單的結(jié)構(gòu)在執(zhí)行描繪之前檢測用于圖形描繪的行程長度數(shù)據(jù)的缺陷的技術(shù)。分別取得輸入CAD數(shù)據(jù)(D1)和通過對該輸入CAD數(shù)據(jù)(D1)進(jìn)行RIP處理來取得的行程長度數(shù)據(jù)(D2)。然后，對輸入CAD數(shù)據(jù)(D1)和行程長度數(shù)據(jù)(D2)中的至少一種數(shù)據(jù)執(zhí)行規(guī)定的轉(zhuǎn)換處理，以使兩種數(shù)據(jù)變成能夠相互比較的數(shù)據(jù)格式，并比較兩種數(shù)據(jù)，進(jìn)而檢測出有差異的區(qū)域而作為行程長度數(shù)據(jù)(D2)的缺陷區(qū)域。
文檔編號H01L21/66GK101275917SQ20081008630
公開日2008年10月1日申請日期2008年3月25日優(yōu)先權(quán)日2007年3月30日
發(fā)明者中井一博, 北村清志, 古川至, 山田亮申請人:大日本網(wǎng)目版制造株式會社

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