專利名稱：硅片傳送手臂及其使用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導體制造設(shè)備，具體涉及一種硅片傳送手臂，本發(fā)明還涉及該
硅片傳送手臂的使用方法。
背景技術(shù)：
目前，集成電路的制造過程中所使用的硅片傳送手臂，不能實現(xiàn)向多個方向(例 如水平和垂直方向)同時傳送硅片，如果需要將硅片向多個方向傳送，則采用多個獨立手 臂分步進行配合使用，不能在同一手臂上完成。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種硅片傳送手臂，它可以同時向多個方向傳 送硅片。 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明硅片傳送手臂的技術(shù)解決方案為
包括多個手臂支架、連接器、驅(qū)動馬達；每個手臂支架的一端與連接器連接，連接 器與驅(qū)動馬達連接。所述手臂支架為四個，所述四個手臂支架彼此形成十字形。所述手臂 支架也可為兩個，所述兩個手臂支架互相垂直。 所述手臂支架包括彼此形成剪刀狀的兩個夾柄，夾柄的尾端連接行星齒輪；兩個 行星齒輪互相噬合。所述手臂支架包括兩對或多對夾柄。 本發(fā)明還提供了該硅片傳送手臂的使用方法，采用以下步驟傳送硅片 第一步，使第一手臂支架、第三手臂支架處于水平狀態(tài)，第二手臂支架、第四手臂
支架處于垂直狀態(tài)；處于右側(cè)的手臂支架用于硅片的接收，處于下方的手臂支架用于垂直
方向的傳送，處于左側(cè)的手臂支架用于硅片的送出； 第二步，使處于右側(cè)的手臂支架接收硅片； 第三步，使連接器順時針旋轉(zhuǎn)90度，使第一手臂支架、第三手臂支架處于垂直狀 態(tài)，第二手臂支架、第四手臂支架處于水平狀態(tài)，實現(xiàn)水平方向與垂直方向的手臂支架功能 互換； 第四步，使處于下方的手臂支架執(zhí)行硅片操作；或者在下方直接將硅片送出，實現(xiàn)
垂直方向傳送硅片；同時使處于右側(cè)的手臂支架接收硅片，實現(xiàn)水平方向接收硅片。 第五步，使連接器再次順時針旋轉(zhuǎn)90度，使第一手臂支架、第三手臂支架處于水
平狀態(tài)；將處于左側(cè)的手臂支架上的硅片送出，同時通過處于右側(cè)的手臂支架接收新的硅
片，處于下方的手臂支架執(zhí)行硅片操作。 本發(fā)明可以達到的技術(shù)效果是 本發(fā)明設(shè)有水平方向的手臂支架和垂直方向的手臂支架，水平方向的手臂支架用 于水平方向硅片的接送，垂直方向的手臂支架用于垂直方向硅片的傳送。在轉(zhuǎn)動控制軸的 旋轉(zhuǎn)帶動下，水平方向與垂直方向的手臂支架能夠?qū)崿F(xiàn)功能互換。 本發(fā)明能夠在同一手臂中進行多個方向的硅片傳送操作，如同時向水平方向和垂
3直方向傳送硅片。
下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進一步詳細的說明 圖1是本發(fā)明硅片傳送手臂的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是每個手臂支架有多對夾柄的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是手臂支架的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4是圖3的俯視圖； 圖5是本發(fā)明夾有兩枚硅片的示意圖； 圖6是圖5順時針旋轉(zhuǎn)90度的示意圖。 圖中，1、2、3、4手臂支架，5連接器，10硅片，11夾柄，12行星齒輪，13帶槽卡子。
具體實施例方式
如圖1所示，本發(fā)明硅片傳送手臂，包括手臂支架1、2、3、4，手臂支架分別與連接 器5固定連接，手臂支架1、2、3、4彼此形成十字形。連接器5與轉(zhuǎn)動控制軸連接，轉(zhuǎn)動控制 軸與驅(qū)動馬達連接。驅(qū)動馬達通過驅(qū)動轉(zhuǎn)動控制軸的旋轉(zhuǎn)，控制連接器5的轉(zhuǎn)動。
如圖3、圖4所示，每個手臂支架包括兩個夾柄ll，兩個夾柄11形成剪刀狀，使手 臂支架成為可開合的夾子，夾柄ll的頂端(即自由端)為弧形，該弧度與硅片io邊緣的弧 度相適應(yīng)。當夾子合攏時可沿硅片10的圓形邊緣將硅片IO夾緊。 夾柄11的弧形部分固定設(shè)置有多個帶槽卡子13，用于固定硅片。也可在夾柄11 的弧形部分設(shè)有多個槽，用于卡住硅片10。手臂支架可用于固定6英寸、8英寸、12英寸、18 英寸等多種規(guī)格的硅片。 兩個夾柄11的尾端各連接一個行星齒輪12。行星齒輪12固定連接于連接器5 上。 兩個行星齒輪12互相噬合，通過控制行星齒輪12的轉(zhuǎn)動方向，實現(xiàn)手臂支架的開 合，使手臂支架能實現(xiàn)夾住固定硅片和釋放硅片的功能。 如圖2所示，每個手臂支架包括兩對或多對并列的夾柄ll，每對夾柄11承載一枚 硅片，則每個手臂支架可承載多枚硅片。每個手臂支架的多對夾柄ll共用一對行星齒輪 12，可實現(xiàn)多枚硅片同時操作。 本發(fā)明可以在同一手臂中實現(xiàn)多個方向同時進行硅片傳送操作，如在水平方向和
垂直方向同時傳送硅片。水平方向的手臂支架實現(xiàn)硅片的接送，垂直方向的手臂支架可以
進行其它的操作。 本發(fā)明的操作方法如下 1、如圖5所示，使手臂支架1、3處于水平狀態(tài)，手臂支架2、4處于垂直狀態(tài)；此時
處于右側(cè)的手臂支架3用于硅片的接收；處于下方的手臂支架2用于垂直方向的傳送，如將
硅片10送入相關(guān)腔體作業(yè)；處于左側(cè)的手臂支架1用于硅片10的送出。 2、硅片10送入手臂后，由處于右側(cè)的手臂支架3接收硅片10 ;使本發(fā)明在轉(zhuǎn)動控
制軸的帶動下旋轉(zhuǎn)90度，此時手臂支架1 、 3處于垂直方向，如圖6所示。 3、使處于下方的手臂支架3上接收的硅片IO與相關(guān)設(shè)備執(zhí)行硅片交換；交換完畢后，手臂支架3上的硅片IO為從相關(guān)設(shè)備收回的硅片。 使手臂在轉(zhuǎn)動控制軸的帶動下再旋轉(zhuǎn)90度，此時手臂支架1、3再次處于水平方 向。將處于左側(cè)的手臂支架3上的硅片送出，同時通過處于右側(cè)的手臂支架4接收新的硅 片，此時處于下方的手臂支架2與相關(guān)設(shè)備執(zhí)行硅片交換。依次旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動控制軸，進行硅片 的傳送。 本發(fā)明可以在手臂支架3處于下方時直接將硅片送出，實現(xiàn)垂直方向傳送硅片； 或者在手臂支架3處于左側(cè)時將硅片送出，實現(xiàn)水平方向傳送硅片；也可在手臂支架3旋轉(zhuǎn) 360度后再次處于右側(cè)時將硅片送出，實現(xiàn)在同一位置接收和送出硅片。
權(quán)利要求
一種硅片傳送手臂，其特征在于包括多個手臂支架、連接器、驅(qū)動馬達；每個手臂支架的一端與連接器連接，連接器與驅(qū)動馬達連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的硅片傳送手臂，其特征在于所述手臂支架為四個，所述四個 手臂支架彼此形成十字形。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的硅片傳送手臂，其特征在于所述手臂支架為兩個，所述兩個 手臂支架互相垂直。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片傳送手臂，其特征在于所述手臂支架包括彼此形成剪 刀狀的兩個夾柄，夾柄的尾端連接行星齒輪；所述兩個行星齒輪互相噬合。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片傳送手臂，其特征在于所述夾柄的自由端為弧形。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片傳送手臂，其特征在于所述夾柄上固定設(shè)置有多個帶 槽卡子。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片傳送手臂，其特征在于所述夾柄的弧形部分設(shè)有多個槽。
8. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片傳送手臂，其特征在于所述手臂支架包括兩對或多對夾柄。
9. 一種權(quán)利要求1所述的硅片傳送手臂的使用方法，其特征在于采用以下步驟傳送 硅片第一步，使第一手臂支架、第三手臂支架處于水平狀態(tài)，第二手臂支架、第四手臂支架 處于垂直狀態(tài)；處于右側(cè)的手臂支架用于硅片的接收，處于下方的手臂支架用于垂直方向 的傳送，處于左側(cè)的手臂支架用于硅片的送出；第二步，使處于右側(cè)的手臂支架接收硅片；第三步，使連接器順時針旋轉(zhuǎn)90度，使第一手臂支架、第三手臂支架處于垂直狀態(tài)， 第二手臂支架、第四手臂支架處于水平狀態(tài)，實現(xiàn)水平方向與垂直方向的手臂支架功能互 換；第四步，使處于下方的手臂支架執(zhí)行硅片操作；或者在下方直接將硅片送出，實現(xiàn)垂直 方向傳送硅片；同時使處于右側(cè)的手臂支架接收硅片，實現(xiàn)水平方向接收硅片。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的硅片傳送手臂的使用方法，其特征在于所述第四步完成之 后，使連接器再次順時針旋轉(zhuǎn)90度，使第一手臂支架、第三手臂支架處于水平狀態(tài)；將處于 左側(cè)的手臂支架上的硅片送出，同時通過處于右側(cè)的手臂支架接收新的硅片，處于下方的 手臂支架執(zhí)行硅片操作。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種硅片傳送手臂，包括多個手臂支架、連接器、驅(qū)動馬達；每個手臂支架的一端與連接器連接，連接器與驅(qū)動馬達連接。所述手臂支架為四個，所述四個手臂支架彼此形成十字形。水平方向的手臂支架用于水平方向硅片的接送，垂直方向的手臂支架用于垂直方向硅片的傳送。其中處于右側(cè)的手臂支架用于硅片的接收，處于下方的手臂支架用于垂直方向的傳送，處于左側(cè)的手臂支架用于硅片的送出。在轉(zhuǎn)動控制軸的旋轉(zhuǎn)帶動下，水平方向與垂直方向的手臂支架能夠?qū)崿F(xiàn)功能互換。本發(fā)明能夠在同一手臂中進行多個方向的硅片傳送操作，同時向水平方向和垂直方向傳送硅片。本發(fā)明還公開了該硅片傳送手臂的使用方法。
文檔編號H01L21/677GK101740438SQ20081004393
公開日2010年6月16日 申請日期2008年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月13日
發(fā)明者寧開明 申請人:上海華虹Nec電子有限公司