專利名稱：拾取放置設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種可應(yīng)用于自動(dòng)設(shè)備(例如，測(cè)試分選機(jī)(test handler) 等)的拾取放置設(shè)備。更具體地講，該發(fā)明涉及一種當(dāng)半導(dǎo)體器件在其上裝 載或者布置有所述半導(dǎo)體器件的不同元件之間被傳遞時(shí)用于調(diào)節(jié)所述半導(dǎo)體 器件之間的間隔的技術(shù)。
背景技術(shù)：
測(cè)試分選機(jī)是這樣一種設(shè)備，其將通過特定過程制造的用戶托盤中的半 導(dǎo)體器件裝載到測(cè)試托盤上，支撐測(cè)試者測(cè)試被裝載在測(cè)試托盤上的半導(dǎo)體 器件，基于測(cè)試結(jié)果對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行分類，然后將測(cè)試托盤中的半導(dǎo)體器 件卸載到用戶托盤上。涉及測(cè)試分選機(jī)的技術(shù)已經(jīng)被很多出版物所公開。
通常，半導(dǎo)體器件被裝載并儲(chǔ)存到用戶托盤上。用戶托盤按照以下方式 被構(gòu)造被裝載的半導(dǎo)體器件的行之間的間隔以及列之間的間隔可以被最小 化，從而能夠裝載最大可能的數(shù)量的半導(dǎo)體器件。而且，測(cè)試托盤按照以下 方式被構(gòu)造被裝載的半導(dǎo)體器件能夠被布置成在被裝載的半導(dǎo)體器件的行 之間以及列之間具有用于測(cè)試的間隔。也就是說，測(cè)試托盤上的半導(dǎo)體器件 的間隔大于用戶托盤中的半導(dǎo)體器件的間隔。因此，當(dāng)半導(dǎo)體器件從用戶托 盤中被裝載到測(cè)試托盤上或者從測(cè)試托盤上被卸載到用戶托盤中時(shí)，半導(dǎo)體 器件的間隔必須被調(diào)節(jié)。
和用戶托盤和測(cè)試托盤類似，半導(dǎo)體器件的特定間隔通過下面的元件被 保持包括在裝載單元/卸載單元中的對(duì)準(zhǔn)器(aligner)或者校準(zhǔn)器(preciser), 用于裝載并儲(chǔ)存剩余的半導(dǎo)體器件的緩沖器，以及在本申請(qǐng)人的先前的韓國(guó) 專利申請(qǐng)(第10-2006-0007763號(hào)題為"TEST HANDLER AND LOADING METHOD THEREOF"(測(cè)試分選機(jī)及該測(cè)試分選機(jī)的裝載方法)的韓國(guó)專利 申請(qǐng))中公開的移動(dòng)型裝載桌或者包括在卸載單元中的分類桌等。
本發(fā)明涉及這樣一種拾取放置設(shè)備，其從上述列舉的元件(用戶托盤、 測(cè)試托盤、對(duì)準(zhǔn)器、緩沖器、運(yùn)動(dòng)型裝載桌和分類桌)中任意一個(gè)拾取半導(dǎo)體器件，然后將它們安全地放置到另一元件上。如果拾取放置設(shè)備被包括在 裝載單元中，則拾取放置設(shè)備被稱為裝載器或者裝載手。相反地，如果拾取 放置設(shè)備被包括在卸載單元中，則拾取放置設(shè)備被稱為卸載器或者卸載手。
現(xiàn)在已知的拾取放置設(shè)備包括8個(gè)或者16個(gè)拾取單元，所述拾取單元 按照2x4、 1x8或者2x8的矩陣形式被布置，以拾取半導(dǎo)體器件；橫向間隔調(diào) 節(jié)設(shè)備，用于改變和調(diào)節(jié)拾取單元沿寬度方向的間隔；和/或縱向間隔調(diào)節(jié)設(shè) 備，用于分別改變和調(diào)節(jié)拾取單元沿著長(zhǎng)度方向的間隔。近來，隨著拾取單 元變得小并且輕，拾取放置設(shè)備被構(gòu)造為包括按照2x8的矩陣形式被布置的 拾取單元。這里，拾取單元在拾取放置設(shè)備中被構(gòu)造成兩行，以增加可一次 傳遞的半導(dǎo)體器件的數(shù)量，從而減少裝載或者卸載時(shí)間。為了利用這種具有 兩行結(jié)構(gòu)的拾取放置設(shè)備在上述列舉的元件之間傳遞半導(dǎo)體器件，拾取單元 的列之間的間隔(橫向間隔，或者列間隔)和拾取單元的行之間的間隔(縱 向間隔，或者行間隔)必須分別被調(diào)節(jié)。
傳統(tǒng)的間隔調(diào)節(jié)設(shè)備調(diào)節(jié)拾取單元，使得行拾取單元中或者列拾取單元 的一行或者一列拾取單元能夠以相同的間隔都被對(duì)齊。更具體地講，參照?qǐng)D 1A和圖1B，可以通過間隔調(diào)節(jié)設(shè)備的操作按照?qǐng)D1A的第一狀態(tài)或者圖1B 的第二狀態(tài)選擇性地布置兩行拾取單元11。也就是說，處于第一狀態(tài)中的拾 取單元11的行之間的間隔是'x，，處于第二狀態(tài)的拾取單元11的行之間的 間隔是'u，。這樣，傳統(tǒng)的間隔調(diào)節(jié)設(shè)備僅提供兩種調(diào)節(jié)狀態(tài)(第一狀態(tài)和 第二狀態(tài))。也就是說，傳統(tǒng)的間隔調(diào)節(jié)設(shè)備僅能夠保持拾取單元的相鄰行之 間的間隔為'x'或'u，。這是因?yàn)楸谎b載到用戶托盤上的半導(dǎo)體器件的行之 間的間隔相同，同為'x，，被裝載到測(cè)試托盤上的半導(dǎo)體器件的行之間的間 隔相同，同為'u'。上述這些還被應(yīng)用到拾取單元的列之間的間隔。
同時(shí)，在第10-2006-0003709號(hào)題為"INSERT MODULE AND TEST TRAY FOR TEST HANDLER"(插入模塊和用于測(cè)試分選機(jī)的測(cè)試托盤)的 韓國(guó)專利申請(qǐng)(以下被稱為傳統(tǒng)技術(shù))中，本申請(qǐng)人已經(jīng)提出一種涉及用于 容納(裝載)兩個(gè)半導(dǎo)體器件的插入模塊的技術(shù)。在傳統(tǒng)的技術(shù)中，測(cè)試托 盤具有按照矩陣形式被布置的多個(gè)插入模塊。
下面是僅基于行的對(duì)傳統(tǒng)技術(shù)中公開的測(cè)試托盤200的描述。如圖2所 示，測(cè)試托盤200在其上安裝有按照矩陣形式布置的插入模塊201。每個(gè)插 入模塊201被構(gòu)造成裝載兩個(gè)半導(dǎo)體器件?？紤]到其它因素，由插入模塊容
5納的半導(dǎo)體器件最好按照不同的行間隔't'和'U，彼此分隔布置。也就是 說，由同一插入模塊201容納的半導(dǎo)體器件的行按照間隔't'彼此分隔開。 并且，由相鄰的插入模塊201容納的半導(dǎo)體器件的行按照間隔V彼此分隔 開。
同時(shí)，如圖3所示，半導(dǎo)體器件以其行之間都為'x，的間隔被布置在用 戶托盤300中。
因此，當(dāng)傳統(tǒng)的2x8拾取放置設(shè)備將半導(dǎo)體器件從圖3的用戶托盤300 傳遞到圖2的測(cè)試4乇盤200 (這稱為裝載)或者將半導(dǎo)體器件從測(cè)試托盤200 傳遞到用戶托盤300 (這稱為卸載)時(shí)，必須調(diào)節(jié)半導(dǎo)體器件的行之間的間 隔。但是，如上所述，由于傳統(tǒng)的拾取放置設(shè)備在調(diào)節(jié)半導(dǎo)體器件的行之間 的間隔方面一定會(huì)受到限制，所以不能被最大限度地執(zhí)行。具體地講，在裝 載方面，當(dāng)半導(dǎo)體器件被提供給(例如)測(cè)試托盤200的第一行和第二行時(shí)， 傳統(tǒng)的2x8拾取放置設(shè)備能夠一次在第一行和第二行放置16個(gè)半導(dǎo)體器件， 但是，當(dāng)半導(dǎo)體器件被提供給測(cè)試托盤200的第二行和第三行時(shí)，它首先在 第二行放置8個(gè)半導(dǎo)體器件，然后在第三行放置8個(gè)半導(dǎo)體器件。因此，傳 統(tǒng)的拾取放置設(shè)備的缺點(diǎn)在于其需要復(fù)雜的控制程序，因此，用于傳遞半導(dǎo) 體器件的時(shí)間被延遲。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題
因此，鑒于上述問題提出本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的在于提供一種能夠 將拾取單元的行之間的間隔選擇性地調(diào)節(jié)到三個(gè)值或者更多值中的任何一個(gè)
值的拾取放置設(shè)備。
本發(fā)明的另 一 目的在于提供一種按照以下方式執(zhí)行至少兩種調(diào)節(jié)或者更 多種調(diào)節(jié)中的任何一種調(diào)節(jié)的拾取放置設(shè)備，其方式為，拾取單元的相鄰行
隔不同。
技術(shù)方案
根據(jù)本發(fā)明的一方面，通過提供一種在第一裝載元件和第二裝載元件之 間傳遞并裝載半導(dǎo)體器件的拾取放置設(shè)備可實(shí)現(xiàn)上述和其它目的，在第一裝 載元件上，半導(dǎo)體器件按照第一行間隔被裝載，在第二裝載元件上，半導(dǎo)體器件按照第二行間隔和第三行間隔被交替地裝載。所述拾取放置設(shè)備包括 多個(gè)拾取單元模塊，所述多個(gè)拾取單元模塊的每個(gè)具有至少一個(gè)或更多的拾
取單元；間隔調(diào)節(jié)設(shè)備，用于在第一模式至第三模式調(diào)節(jié)所述拾取單元模塊 之間的間隔。第一行間隔的值至第三行間隔的值彼此互不相同。在第一模式， 所述拾取單元模塊之間的間隔都被調(diào)節(jié)到與第一行間隔相同。在第二模式， 所述拾取單元模塊之間的間隔被依次交替地調(diào)節(jié)到第二行間隔和第三行間 隔。在第三模式，所述拾取單元模塊之間的間隔被依次交替地調(diào)節(jié)到第三行 間隔和第二行間隔。
優(yōu)選地，間隔調(diào)節(jié)設(shè)備可包括凸輪構(gòu)件，用于調(diào)節(jié)所述拾取單元模塊 之間的間隔；驅(qū)動(dòng)源，用于為凸輪構(gòu)件提供驅(qū)動(dòng)力。
優(yōu)選地，凸輪構(gòu)件具有分別可滑動(dòng)地結(jié)合到所述拾取單元模塊的引導(dǎo)突 起的多個(gè)引導(dǎo)凹槽，并允許所述引導(dǎo)突起沿著所述引導(dǎo)凹槽調(diào)節(jié)所述引導(dǎo)突 起的間隔，使得所述拾取單元模塊之間的間隔被改變。
優(yōu)選地，凸輪構(gòu)件的形狀呈板狀，驅(qū)動(dòng)源提供用于移動(dòng)凸輪構(gòu)件的驅(qū)動(dòng)力。
根據(jù)本發(fā)明的另 一方面，可以通過提供一種拾取放置設(shè)備來實(shí)現(xiàn)上述和 其它目的，所述拾取放置設(shè)備包括多個(gè)拾取單元模塊，所述多個(gè)拾取單元 模塊的每個(gè)包括橫向?qū)R的多個(gè)拾取單元，其中，所述拾取單元模塊被布置 成列；縱向間隔調(diào)節(jié)設(shè)備，用于調(diào)節(jié)所述拾取單元模塊之間的縱向間隔，其 中，縱向間隔調(diào)節(jié)設(shè)備具有至少三種間隔調(diào)節(jié)模式。
間隔的橫向間隔調(diào)節(jié)設(shè)備。
優(yōu)選地，間隔調(diào)節(jié)設(shè)備可包括凸輪構(gòu)件，用于調(diào)節(jié)所述拾取單元模塊 之間的間隔；驅(qū)動(dòng)源，用于為凸輪構(gòu)件提供驅(qū)動(dòng)力。
有益效果
從以上描述清楚的是，根據(jù)本發(fā)明的拾取放置設(shè)備能夠?qū)⒉贾迷诰哂胁?同行間隔的一個(gè)元件上的半導(dǎo)體器件傳遞到另一個(gè)元件上，從而拾取放置設(shè) 備能夠在裝載期間高效地將半導(dǎo)體器件從用戶托盤傳遞到測(cè)試托盤上，或者 在卸載期間將半導(dǎo)體器件從測(cè)試托盤傳遞到用戶托盤上。


通過下面結(jié)合附圖進(jìn)行的詳細(xì)描述，本發(fā)明的上述和其它目的、特點(diǎn)和 其它優(yōu)點(diǎn)將會(huì)被更加清楚地理解，其中
圖1A和圖1B是描述傳統(tǒng)的拾取放置設(shè)備的示意性視圖2是示出根據(jù)本申請(qǐng)人的先前申請(qǐng)的傳統(tǒng)的測(cè)試托盤的示意性視圖3是示出一般的用戶托盤的示意性視圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的拾取放置設(shè)備的透視圖5至圖7是當(dāng)操作圖4的拾取放置設(shè)備時(shí)的側(cè)視圖8是示出根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的拾取放置設(shè)備的透視圖9是示出被應(yīng)用到圖8的拾取放置設(shè)備的圓柱形凸輪的引導(dǎo)凹槽的視
圖10是示出根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的拾取放置設(shè)備的透視圖； 圖11至圖13是示出裝載或者布置半導(dǎo)體器件的元件的示意性視圖，用 于描述圖4的拾取放置設(shè)備。
附圖中標(biāo)號(hào)的簡(jiǎn)要描述
450:拾取放置設(shè)備
41拾取單元
42引導(dǎo)突起
43導(dǎo)軌凹槽
50間隔調(diào)節(jié)設(shè)備
51安裝板
52a:后板
52b:》&
53汽缸
54凸輪板
55a,55b:滑動(dòng)導(dǎo)軌
56a,56b:滑動(dòng)構(gòu)件
5:引導(dǎo)導(dǎo)軌
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在，將參照附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的拾取放置設(shè)備的優(yōu)選實(shí)施例。 在以下的描述中，當(dāng)結(jié)合于此的公知功能和構(gòu)造的詳細(xì)說明會(huì)使本發(fā)明的主
8題變得不清楚時(shí)，將其省略。
圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的拾取放置設(shè)備的實(shí)施例的透視圖。
如圖4所示，拾取放置設(shè)備450包括沿著縱向并排布置的拾取單元模塊 40和間隔調(diào)節(jié)設(shè)備50。
每個(gè)拾取單元模塊40被構(gòu)造成包括8個(gè)橫向?qū)R的拾取單元41。例如， 四個(gè)拾取單元模塊40具有按照4x8的矩陣形式布置的拾取單元41。更具體 地講，在四行中的一行中布置8個(gè)拾取單元41，并且一行中的8個(gè)拾取單元 41一體地形成為模塊，以使得它們能夠沿著縱向運(yùn)動(dòng)。此外，每個(gè)拾取單元 模塊40在其一端(相對(duì)于圖4的左端)形成引導(dǎo)突起42,在其相對(duì)端(相 對(duì)于圖4的右端)形成導(dǎo)軌凹槽43。
間隔調(diào)節(jié)設(shè)備50被構(gòu)造成包括安裝板51、形成為一對(duì)的后板52a和前 板52b、汽缸53、凸輪板54、 一對(duì)滑動(dòng)導(dǎo)軌55a和55b、 一對(duì)滑動(dòng)構(gòu)件56a 和56b以及引導(dǎo)導(dǎo)軌57。
安裝板51相對(duì)于拾取單元41位于左側(cè)(或者在拾取單元模塊40的左 側(cè))。安裝板51被構(gòu)造成支撐被安裝到安裝板51上的后板52a和前板52b、 汽缸53、凸輪板54、 一對(duì)滑動(dòng)導(dǎo)軌55a和55b、 一對(duì)滑動(dòng)構(gòu)件56a和56b以 及引導(dǎo)導(dǎo)軌57。
分別在安裝板51的后端和前端沿著拾取單元41的行按照以下方式安裝 后板52a和前板52b,其安裝方式為，后板52a和前板52b的一端被固定到安 裝板51上，后板52a和前板52b的相對(duì)端被結(jié)合到引導(dǎo)導(dǎo)軌57。
汽缸53作為用于提供驅(qū)動(dòng)力使凸輪板54上下運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源而被包括。 作為汽缸53的替代，該實(shí)施例可以按照通過電機(jī)和/或齒輪設(shè)備使凸輪板54 能夠上下運(yùn)動(dòng)的方式被修改。
凸輪板54被安裝為與安裝板51平行。凸輪板54根據(jù)汽缸53的操作而 上下運(yùn)動(dòng)，從而調(diào)節(jié)拾取單元模塊40的間隔。凸輪板54在其上具有引導(dǎo)凹 槽54a、 54b、 54c和54d，與拾取單元模塊40的數(shù)量(例如，四個(gè))對(duì)應(yīng)。 引導(dǎo)凹槽54a、 54b、 54c和54d在凸輪板54上縱向地(大致上下地)形成。 這些引導(dǎo)凹槽54a、 54b、 54c和54d分別可滑動(dòng)地結(jié)合到引導(dǎo)突起42。這種 引導(dǎo)凹槽54a、 54b、 54c和54d在圖5中被更加詳細(xì)地示出，圖5是從圖4 的拾取放置設(shè)備的左側(cè)觀看的視圖。
參照?qǐng)D5,引導(dǎo)凹槽54a、 54b、 54c和54d按照以下方式形成在凸輪板
9上，其形成方式為，它們的間隔在指示凸輪板51的中心水平線的線B處被最
小化，隨著水平線(例如線A和線C)逐漸遠(yuǎn)離線B而變寬。這里，由于引 導(dǎo)突起42 (或者拾取單元模塊40)之間的間隔根據(jù)引導(dǎo)突起42 (或者拾取 單元模塊40)是否位于引導(dǎo)凹槽54a、 54b、 54c和54d中并保持沿著引導(dǎo)凹 槽54a、 54b、 54c和54d而改變，所以為了便于描述，線A、線B和線C被 定義為"調(diào)節(jié)狀態(tài)保持線"。
更具體地講，如圖5所示，相鄰引導(dǎo)凹槽之間的間隔根據(jù)線A、線B和 線C而改變。也就是說，由例如54a和54b表示的相鄰引導(dǎo)凹槽之間的間隔 按照以下不同，例如，相對(duì)于線A為't'(稱為第二間隔)，相對(duì)于線B為'x' (稱為第一間隔)，相對(duì)于線C為'u，(稱為第三間隔)。此外，相鄰引導(dǎo)凹 槽54b和54c之間的間隔相對(duì)于線A、線B和線C分別是'u， 、 'x'和't，。 此外，相鄰引導(dǎo)凹槽54c和54d之間的間隔相對(duì)于線A、線B和線C分別是 't'、 'x，和'u，。因此，當(dāng)引導(dǎo)突起42位于線A處時(shí)，拾取單元模塊40 在它們的行的方向上保持它們的間隔t、 u和t。此外，當(dāng)引導(dǎo)突起42位于線 B處時(shí)，拾取單元模塊40在它們的行的方向上保持它們的間隔x 、 x和x。此 外，當(dāng)引導(dǎo)突起42位于線C處時(shí)，拾取單元模塊40在它們的行的方向上保 持它們的間隔u、 t和u。
同時(shí)，凸輪板54位于其之間的一對(duì)滑動(dòng)導(dǎo)軌55a和55b上下地安裝在安 裝板51的兩端位置。
所述一對(duì)滑動(dòng)構(gòu)件56a和56b可滑動(dòng)地結(jié)合到所述一對(duì)滑動(dòng)導(dǎo)軌55a和 55b上，從而它們能夠沿著所述滑動(dòng)導(dǎo)軌55a和55b上下運(yùn)動(dòng)。所述滑動(dòng)構(gòu)件 56a和56b的每個(gè)的一端被固定到凸輪板54上。前面的滑動(dòng)構(gòu)件56b的另一 端結(jié)合到汽缸53的活塞桿53a上。因此，當(dāng)汽缸53被操作時(shí)，所述一對(duì)滑 動(dòng)構(gòu)件56a和56b沿著所述一對(duì)滑動(dòng)導(dǎo)軌55a和55b上下滑動(dòng)，因此，結(jié)合 到滑動(dòng)構(gòu)件56a和56b上的凸輪板54也上下運(yùn)動(dòng)。
再次參照?qǐng)D4,引導(dǎo)導(dǎo)軌57在其相對(duì)的端部被分別結(jié)合到后板52a和前 板52b的另一端。此外，引導(dǎo)導(dǎo)軌57可滑動(dòng)地結(jié)合到形成在各個(gè)拾取單元模 塊40的端部位置(右側(cè))的導(dǎo)軌凹槽43,以允許拾取單元模塊40的右側(cè)沿 著引導(dǎo)導(dǎo)軌57可滑動(dòng)地運(yùn)動(dòng)(往復(fù)運(yùn)動(dòng))。
以下，參照?qǐng)D5至圖7以及圖11至圖13描述上述構(gòu)造的拾取放置設(shè)備 450的操作。
10圖11和圖12 (或者圖13)示出了來自于半導(dǎo)體器件被裝載和布置于其 中的元件(例如，用戶托盤、測(cè)試托盤、運(yùn)動(dòng)型裝載桌、校準(zhǔn)器、緩沖器和
分類桌等))中的第一元件E1和第二元件E2，在第一元件E1中，被裝載的 半導(dǎo)體器件具有行間隔x，在第二元件E2中，被裝載的半導(dǎo)體器件在該元件 上依次具有交替的行間隔t和u(例如t、 u、 t、 u…)。為了便于描述，假設(shè)它 們的列之間的間隔是相同的。這里，圖11中所示的第一元件El可以被認(rèn)為 是(例如)用戶托盤、分類桌等，圖12和圖13中所示的第二元件E2可以被 認(rèn)為是(例如)測(cè)試托盤、運(yùn)動(dòng)型裝載桌和對(duì)準(zhǔn)器等。
首先，將半導(dǎo)體器件從第一元件E1傳遞到第二元件E2的過程執(zhí)行如下 由于拾取單元模塊40之間的間隔需要同為"x",所以拾取單元模塊40 從圖5所示的狀態(tài)的第一元件E1拾取半導(dǎo)體器件，即，間隔調(diào)節(jié)設(shè)備50保 持第一模式的調(diào)節(jié)狀態(tài)，在第一模式下，對(duì)應(yīng)地位于引導(dǎo)凹槽54a、 5樸、5牝 和54d中的引導(dǎo)突起42分別在線B上對(duì)齊。在此之后，汽缸53被操作，以 允許凸輪板54向下運(yùn)動(dòng)，從而間隔調(diào)節(jié)設(shè)備50能夠在拾取放置設(shè)備通過運(yùn) 動(dòng)設(shè)備(未顯示，例如，X-Y機(jī)器人)運(yùn)動(dòng)到第二元件E2的同時(shí)被操作，并 且間隔調(diào)節(jié)設(shè)備50能夠進(jìn)入第二模式的調(diào)節(jié)狀態(tài)。然后，引導(dǎo)突起42被定 位在線A處。接下來，半導(dǎo)體器件被安全地放置在第二元件E2上。
此外，如圖13所示，如果半導(dǎo)體器件已經(jīng)被裝載到第二元件E2的線Z 之上的行，則其它的半導(dǎo)體器件還將被放置到第二元件E2的線Z之下的行。 也就是說，半導(dǎo)體器件需要按照間隔u、 t和u而不是按照間隔t、 u和t被放 置到元件上。在這種情況下，間隔調(diào)節(jié)設(shè)備50保持第一模式的調(diào)節(jié)狀態(tài)，并 從第一元件El拾取半導(dǎo)體器件。汽缸.53被操作，以允許凸輪板54向上運(yùn)動(dòng)， 從而間隔調(diào)節(jié)設(shè)備50能夠進(jìn)入第三模式的調(diào)節(jié)狀態(tài)，同時(shí)拾取放置設(shè)備運(yùn)動(dòng) 到第二元件E2。然后，引導(dǎo)突起42位于線C處。接下來，半導(dǎo)體器件被安 全地放置在第二元件E2上。
同時(shí)，將半導(dǎo)體器件從第二元件E2傳遞到第 一元件El的過程執(zhí)行如下 如果半導(dǎo)體器件以間隔t、 u和t被保持，則它們?cè)趫D6的狀態(tài)下被拾取。 在此之后，半導(dǎo)體器件的間隔改變到圖5的狀態(tài)，同時(shí)半導(dǎo)體器件被傳遞到 第一元件E1，然后被放置到第一元件E1上。如果半導(dǎo)體器件以間隔u、 t和 u被保持，則它們?cè)趫D7的狀態(tài)下被拾取。在此之后，半導(dǎo)體器件的間隔改 變到圖5的狀態(tài)，同時(shí)半導(dǎo)體器件被傳遞到第一元件El,然后被放置到第一元件E1上。
在如上所述的本發(fā)明的實(shí)施例中，雖然使用了凸輪板54作為凸輪構(gòu)件，
但是凸輪構(gòu)件可以由圖8中所示的圓柱形凸輪84來實(shí)現(xiàn)。此外，即使本發(fā)明 的實(shí)施例使用汽缸53作為驅(qū)動(dòng)源，但是驅(qū)動(dòng)源可以由電機(jī)83或者齒輪設(shè)備 來實(shí)現(xiàn)，如圖8所示。圖9是示出形成在圖8的圓柱形凸輪84上的引導(dǎo)凹槽 的平面圖。
此外，在如上所述的本發(fā)明的實(shí)施例中，雖然凸輪板54具有按照以下方 式形成在其上的引導(dǎo)凹槽，其形成方式為，在線B處的相鄰引導(dǎo)凹槽之間的 間隔隨著引導(dǎo)凹槽運(yùn)動(dòng)到相對(duì)于線B位于其兩側(cè)并且與線B分隔開的線A和 線C的位置而逐漸變寬，但是，凸輪板54可以被修改成按照以下方式形成引 導(dǎo)凹槽，所述方式為，如圖IO中所示，相鄰引導(dǎo)凹槽之間的間隔可以從凸輪 板的一端(或者間隔被最小化的線D)到另一端逐漸變寬。這里，考慮到凸 輪板的運(yùn)動(dòng)距離，圖4的實(shí)施例的凸輪板54比圖10的實(shí)施例的凸輪板更優(yōu) 選。
此外，在如上所述的本發(fā)明的實(shí)施例中，雖然僅基于四行拾取單元模塊 (四個(gè)拾取單元模塊)來進(jìn)行描述，但是本實(shí)施例可以被修改為包括更多行 的拾取單元模塊或者更少行的拾取單元模塊。例如，本實(shí)施例可被構(gòu)造為包
括兩行拾取單元模塊。在這種情況下，凸輪板可以僅具有對(duì)應(yīng)于兩行拾取單 元模塊的兩個(gè)引導(dǎo)凹槽，因此，僅在相鄰的凹槽之間存在一個(gè)間隔。雖然凸 輪板具有兩個(gè)引導(dǎo)凹槽和 一 個(gè)間隔，但是間隔必須被形成為在三個(gè)調(diào)節(jié)狀態(tài) 保持線上具有三個(gè)間隔(距離)x、 t和u。因此，兩個(gè)引導(dǎo)凹槽之間的間隔 可以按照三個(gè)調(diào)節(jié)值中的 一個(gè)被選擇性地調(diào)節(jié)。
此外，在如上所述的本發(fā)明的實(shí)施例中，雖然描述成由于每行的拾取單 元41 一體地形成為模塊而僅調(diào)節(jié)拾取單元41的行之間的間隔，但是可以修 改為僅通過調(diào)節(jié)拾取單元41的列之間的間隔。此外，實(shí)施例可以修改為獨(dú)立 地調(diào)節(jié)按照矩陣形式布置的拾取單元的行之間的間隔以及矩陣形式的拾取單 元的列之間的間隔。在這種情況下，拾取放置設(shè)備可按照以下方式被實(shí)現(xiàn)， 其實(shí)現(xiàn)方式為，矩陣形式的拾取單元的行之間的間隔或者拾取單元的列之間 的間隔可以通過圖5的間隔調(diào)節(jié)設(shè)備被調(diào)節(jié)，相對(duì)間隔(叩posite internal)可 以通過傳統(tǒng)的間隔調(diào)節(jié)設(shè)備被調(diào)節(jié)。此外，拾取放置設(shè)備可以按照以下方式 被實(shí)現(xiàn)，其實(shí)現(xiàn)方式為，矩陣形式的拾取單元的列之間的間隔以及行之間的間隔兩者都可以通過圖4的間隔調(diào)節(jié)設(shè)備被調(diào)節(jié)。
此外，本發(fā)明的實(shí)施例可以通過僅布置成兩行的拾取單元來實(shí)現(xiàn)。在這 種情況下，通過使用能夠允許拾取單元的行之間的間隔為三個(gè)特定的操作距 離或者更多的特定操作距離的汽缸，或者通過使用能夠允許間隔為三個(gè)特定 旋轉(zhuǎn)距離或者更多的特定旋轉(zhuǎn)距離的步進(jìn)電機(jī)，本實(shí)施例可以基于三個(gè)調(diào)節(jié) 狀態(tài)值或者更多的調(diào)節(jié)狀態(tài)值被控制。
雖然出于示例性的目的已經(jīng)公開了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但是本領(lǐng)域技 術(shù)人員應(yīng)該理解，在不脫離由權(quán)利要求公開的本發(fā)明的精神和范圍的情況下， 可以進(jìn)行各種修改、增加和替換。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性 如上所述，根據(jù)本發(fā)明的拾取放置設(shè)備在測(cè)試托盤和用戶托盤之間傳遞 半導(dǎo)體器件，同時(shí)為了拾取半導(dǎo)體而選擇性地調(diào)節(jié)拾取單元的間隔。因此， 拾取放置設(shè)備能夠以高效率操作，因此，能夠被廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備中。
1權(quán)利要求
1、一種用于在第一裝載元件和第二裝載元件之間傳遞并裝載半導(dǎo)體器件的拾取放置設(shè)備，在第一裝載元件上，半導(dǎo)體器件按照第一行間隔被裝載，在第二裝載元件上，半導(dǎo)體器件按照第二行間隔和第三行間隔被交替地裝載，所述拾取放置設(shè)備包括多個(gè)拾取單元模塊，所述多個(gè)拾取單元模塊的每個(gè)具有至少一個(gè)或者更多的拾取單元；間隔調(diào)節(jié)設(shè)備，用于在第一模式至第三模式調(diào)節(jié)所述拾取單元模塊之間的間隔，其中，第一行間隔的值至第三行間隔的值彼此互不相同；在第一模式，所述拾取單元模塊之間的間隔都被調(diào)節(jié)到與第一行間隔相同；在第二模式，所述拾取單元模塊之間的間隔被依次交替地調(diào)節(jié)到第二行間隔和第三行間隔；在第三模式，所述拾取單元模塊之間的間隔被依次交替地調(diào)節(jié)到第三行間隔和第二行間隔。
2、 如權(quán)利要求1所述的拾取放置設(shè)備，其中，間隔調(diào)節(jié)設(shè)備包括 凸輪構(gòu)件，用于調(diào)節(jié)所述拾取單元模塊之間的間隔；驅(qū)動(dòng)源，用于為凸輪構(gòu)件提供驅(qū)動(dòng)力。
3、 如權(quán)利要求2所迷的拾取放置設(shè)備，其中，凸輪構(gòu)件具有分別可滑動(dòng) 地結(jié)合到所述拾取單元模塊的引導(dǎo)突起的多個(gè)引導(dǎo)凹槽，并允許所述引導(dǎo)突 起沿著所述引導(dǎo)凹槽調(diào)節(jié)所述引導(dǎo)突起的間隔，使得所述拾取單元模塊之間 的間隔;故改變。
4、 如權(quán)利要求3所述的拾取放置設(shè)備，其中 凸輪構(gòu)件的形狀呈板狀；驅(qū)動(dòng)源提供用于移動(dòng)凸輪構(gòu)件的驅(qū)動(dòng)力。
5、 一種拾取放置設(shè)備，包括多個(gè)拾取單元模塊，所述多個(gè)拾取單元模塊的每個(gè)包括橫向?qū)R的多個(gè) 拾取單元，其中，所述拾取單元模塊被布置成列；縱向間隔調(diào)節(jié)設(shè)備，用于調(diào)節(jié)所述拾取單元模塊之間的縱向間隔， 其中，縱向間隔調(diào)節(jié)設(shè)備具有至少三種間隔調(diào)節(jié)模式。
6、 如權(quán)利要求5所述的拾取放置設(shè)備，還包括用于調(diào)節(jié)所述拾取單元之 間的橫向間隔的橫向間隔調(diào)節(jié)設(shè)備。
7、 如權(quán)利要求5所述的拾取放置設(shè)備，其中，間隔調(diào)節(jié)設(shè)備包括 凸輪構(gòu)件，用于調(diào)節(jié)所述拾取單元模塊之間的間隔；驅(qū)動(dòng)源，用于為凸輪構(gòu)件提供驅(qū)動(dòng)源。
全文摘要
公開了一種拾取放置設(shè)備，該拾取放置設(shè)備在第一裝載元件和第二裝載元件之間傳遞并裝載半導(dǎo)體器件。在第一裝載元件上，半導(dǎo)體器件可按照第一行間隔裝載和布置，在第二裝載元件上，半導(dǎo)體器件可按照第二行間隔和第三行間隔被交替地布置。所述拾取放置設(shè)備包括多個(gè)拾取單元模塊，所述多個(gè)拾取單元模塊的每個(gè)具有至少一個(gè)或更多的拾取單元；間隔調(diào)節(jié)設(shè)備，用于在第一模式至第三模式調(diào)節(jié)所述拾取單元模塊之間的間隔。第一行間隔的值至第三行間隔的值彼此互不相同。在第一模式，所述拾取單元模塊之間的間隔都被調(diào)節(jié)為與第一行間隔相同。在第二模式，所述拾取單元模塊之間的間隔被依次交替地調(diào)節(jié)到第二行間隔和第三行間隔。在第三模式，所述拾取單元模塊之間的間隔被依次交替地調(diào)節(jié)到第三行間隔和第二行間隔。因此，拾取放置設(shè)備能夠穩(wěn)定地從一個(gè)元件上將半導(dǎo)體器件傳遞到另一元件上，在所述的一個(gè)元件上，半導(dǎo)體器件以彼此之間相同或者不同的間隔被裝載，在所述另一個(gè)元件上，半導(dǎo)體器件可按照彼此之間不同或者相同的間隔被裝載或者布置。
文檔編號(hào)H01L21/50GK101484987SQ200780024959
公開日2009年7月15日 申請(qǐng)日期2007年6月26日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月1日
發(fā)明者全寅九, 呂東鉉, 沈裁均, 羅閏成 申請(qǐng)人:泰克元有限公司