專利名稱：晶體硅太陽(yáng)能電池的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電池的改善方法，尤其是一種太陽(yáng)能電池的改善方法。
背景技術(shù)：
多晶硅電池的規(guī)模化生產(chǎn)中廣泛使用了絲網(wǎng)印刷工藝，該工藝可用于擴(kuò)散 源的印刷、正面金屬電極、背接觸電極，減反射膜層等，隨著絲網(wǎng)材料的改善 和工藝水平的提高，絲網(wǎng)印刷工藝在太陽(yáng)電池的生產(chǎn)中將會(huì)得到更加普遍的應(yīng) 用，但其形成的發(fā)射區(qū)通常表面濃度比較高，則表面光生載流子復(fù)合較大。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種太陽(yáng)能電池的改善方法。 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采取以下措施來(lái)實(shí)現(xiàn)
一種太陽(yáng)能電池的改善方法，包括基層，離子，其特征在于將腐蝕工序和 鍍層工序集中在同一臺(tái)流程中，先用大反應(yīng)功率腐蝕掉金屬電極間的重?fù)诫s層， 再用小功率沉積一層氮化硅薄膜，該膜層發(fā)揮減反射和電池表面鈍化的雙重作 用的方法。
本發(fā)明相對(duì)于已有技術(shù)具有如下效果在同樣面積上，應(yīng)用兩步擴(kuò)散法， 未作機(jī)械絨面的情況下轉(zhuǎn)換效率達(dá)到16%。
具體實(shí)施例方式
1、發(fā)射區(qū)的形成
利用絲網(wǎng)印刷形成PN結(jié)，在多晶硅的正面印刷含磷的漿料、在反面印刷含
鋁的金屬漿料，印刷完成后，擴(kuò)散可在網(wǎng)帶爐中完成(通常溫度在900度)， 這樣，印刷、烘干、擴(kuò)散可形成連續(xù)性生產(chǎn)。
2、 選擇發(fā)射區(qū)工藝
在多晶硅電池的擴(kuò)散工藝中，選擇發(fā)射區(qū)技術(shù)分為局部腐蝕或兩步擴(kuò)散法， 局部腐蝕為用干法(例如反應(yīng)離子腐蝕)或化學(xué)腐蝕的方法，將金屬電極之間 區(qū)域的重?cái)U(kuò)散層腐蝕掉。
3、 背表面場(chǎng)的形成
背PN結(jié)由絲網(wǎng)印刷A漿料并在網(wǎng)帶爐中熱退火后形成，該工藝在形成背表 面結(jié)的同時(shí)，對(duì)多晶硅中的雜質(zhì)具有良好的吸除作用，鋁吸雜過(guò)程一般在高溫 區(qū)段完成，測(cè)量結(jié)果表明吸雜作用可使前道高溫過(guò)程所造成的多晶硅少子壽命 的下降得到恢復(fù)，良好的背表面場(chǎng)可明顯地提高電池的開(kāi)路電壓。
4、 絲網(wǎng)印刷金屬電極
在工藝中，正面的印刷材料普遍選用含銀的漿料，因?yàn)殂y具有良好的導(dǎo)電 性、可焊性和在硅中的低擴(kuò)散性能，經(jīng)絲網(wǎng)印刷、退火所形成的金屬層的導(dǎo)電 性能取決于漿料的化學(xué)成份、玻璃體的含量、絲網(wǎng)的粗糟度、燒結(jié)條件和絲網(wǎng) 版的厚度。
實(shí)際中，本發(fā)明用于擴(kuò)散源的印刷、正面金屬電極、背接觸電極，減反射 膜層等。
權(quán)利要求
1.一種太陽(yáng)能電池的改善方法，包括基層，離子，其特征在于將腐蝕工序和鍍層工序集中在同一臺(tái)流程中，先用大反應(yīng)功率腐蝕掉金屬電極間的重?fù)诫s層，再用小功率沉積一層氮化硅薄膜，該膜層發(fā)揮減反射和電池表面鈍化的雙重作用的方法。
2. 如權(quán)利要求1所述，其特征在于利用絲網(wǎng)印刷形成PN結(jié)，在多晶硅 的正面印刷含磷的漿料、在反面印刷含鋁的金屬漿料，印刷完成后， 擴(kuò)散可在網(wǎng)帶爐中完成(通常溫度在900度)，這樣，印刷、烘干、 擴(kuò)散可形成連續(xù)性生產(chǎn)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種太陽(yáng)能電池的改善方法，包括基層，離子，將腐蝕工序和鍍層工序集中在同一臺(tái)流程中，先用大反應(yīng)功率腐蝕掉金屬電極間的重?fù)诫s層，再用小功率沉積一層氮化硅薄膜，該膜層發(fā)揮減反射和電池表面鈍化的雙重作用的方法，這樣在同樣面積上，應(yīng)用兩部擴(kuò)散法，未作機(jī)械絨面的情況下轉(zhuǎn)換效率達(dá)到16％，用于擴(kuò)散源的印刷、正面金屬電極、背接觸電極，減反射膜層等。
文檔編號(hào)H01L31/18GK101197400SQ200710192310
公開(kāi)日2008年6月11日 申請(qǐng)日期2007年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月24日
發(fā)明者葉海英, 璐 韓, 韓國(guó)慶 申請(qǐng)人:常州市綠空能源設(shè)備有限公司