專利名稱：超聲波電機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種利用振子的超聲波電機(jī)，該振子激勵(lì)起由彎曲駐波振動(dòng)與縱向振動(dòng)的合成而形成的橢圓運(yùn)動(dòng)。
背景技術(shù)：
以往，有關(guān)利用振子的超聲波電機(jī)，在涉及利用振子的振動(dòng)波電機(jī)的專利文獻(xiàn)1(第2871768號(hào)專利公報(bào))或?qū)＠墨I(xiàn)2(平8-182365號(hào)專利公開公報(bào))中所記載的超聲波電機(jī)是線性超聲波電機(jī)，該線性超聲波電機(jī)把由壓電元件所構(gòu)成的振子壓接在彈性件上，使得被驅(qū)動(dòng)體進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，該振子激勵(lì)起彎曲駐波振動(dòng)與縱向振動(dòng)的合成橢圓運(yùn)動(dòng)。在這種線性超聲波電機(jī)中，存在如下問(wèn)題，即，難以確保保持轉(zhuǎn)矩，以及難以提高停止位置的分辨率等。
因此，作為驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)體的超聲波電機(jī)，在專利文獻(xiàn)3(第3401097號(hào)專利公報(bào))中提出來(lái)的超聲波驅(qū)動(dòng)器(actuator)是圓環(huán)型的，它由下列部件構(gòu)成超聲波驅(qū)動(dòng)器主體，其由層疊壓電體、彈性體、滑動(dòng)部件構(gòu)成的一組振子；框架，夾持著上述驅(qū)動(dòng)器并支承后述轉(zhuǎn)子；以及具有軸部的上述轉(zhuǎn)子。在這種超聲波驅(qū)動(dòng)器中，使上述超聲波驅(qū)動(dòng)器主體產(chǎn)生橢圓振動(dòng)，并通過(guò)滑動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)上述轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)。
在上述專利文獻(xiàn)3中所記載的圓環(huán)型超聲波驅(qū)動(dòng)器中，由于在上述轉(zhuǎn)子上設(shè)有中心軸，所以應(yīng)用于如鏡頭筒等在中心部分需要很大空間的裝置中是很困難的。此外，因?yàn)樯鲜隹蚣苓€起到施力彈簧的作用，所以很難確?？蚣艿膭傂?，很難穩(wěn)定地壓住振子、轉(zhuǎn)子。振子的中性軸周圍的位置沒(méi)有限制，從這一點(diǎn)來(lái)看，要穩(wěn)定地壓住振子、轉(zhuǎn)子也是很困難的。此外，在所使用的振子為一個(gè)的情況下，作用力直接作用在轉(zhuǎn)子軸上，摩擦損失有可能會(huì)變大。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是為了解決上述問(wèn)題而提出來(lái)的，其目的是提供一種摩擦損失少、電機(jī)的效率高，而且作為圓環(huán)形狀的驅(qū)動(dòng)源具有良好的結(jié)構(gòu)的超聲波電機(jī)。
本發(fā)明第一方面所述的超聲波電機(jī)具有下列部件至少一個(gè)振子，其激勵(lì)起由彎曲駐波振動(dòng)與縱向振動(dòng)的合成而形成的橢圓運(yùn)動(dòng)；旋轉(zhuǎn)體，受到上述振子的橢圓振動(dòng)的作用，能相對(duì)于上述振子繞著旋轉(zhuǎn)中心軸線旋轉(zhuǎn)，上述振子配置在旋轉(zhuǎn)體的圓周上的規(guī)定部位；支承部件，限制上述振子沿著上述旋轉(zhuǎn)中心軸線方向和向圓周方向的移動(dòng)，同時(shí)又能支承上述振子使其朝向上述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)中心軸線自由移動(dòng)；施力部件，設(shè)置在上述支承部件上，并對(duì)上述振子施加朝向上述旋轉(zhuǎn)體的上述旋轉(zhuǎn)中心軸線的作用力，以使朝向上述旋轉(zhuǎn)中心軸線自由移動(dòng)的上述振子處于始終與上述旋轉(zhuǎn)體的外圓周接觸的狀態(tài)。
本發(fā)明第二方面所述的超聲波電機(jī)，在第一方面所述的超聲波電機(jī)中，具有壓緊部件，其與上述支承部件一起在軸向上夾持上述旋轉(zhuǎn)體，以限制上述旋轉(zhuǎn)體的軸向位置。
本發(fā)明第三方面所述的超聲波電機(jī)，在第一方面所述的超聲波電機(jī)中，上述振子與上述旋轉(zhuǎn)體接觸的部分形成為，將上述旋轉(zhuǎn)體的軸向位置限制在規(guī)定位置上。
本發(fā)明第四方面所述的超聲波電機(jī)，在第三方面所述的超聲波電機(jī)中，上述振子與上述旋轉(zhuǎn)體接觸部分的前端形成楔形或者圓弧形，另外，在上述旋轉(zhuǎn)體上形成有，與上述振子的接觸部分前端大致嵌合的凹形部分。
本發(fā)明第五方面所述的超聲波電機(jī)，在第一方面所述的超聲波電機(jī)中，具有多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)體，多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)體沿著圓周布置，而且在朝向上述旋轉(zhuǎn)中心軸線的徑向上的上述支承部件和上述旋轉(zhuǎn)體之間與雙方接觸，還減小上述旋轉(zhuǎn)體的轉(zhuǎn)動(dòng)摩擦力。
本發(fā)明第六方面所述的超聲波電機(jī)，在第一方面所述的超聲波電機(jī)中，上述振子被支承為，能繞著大致平行于上述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)中心軸線方向的軸線進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。
本發(fā)明第七方面所述的超聲波電機(jī)，在第一方面所述的超聲波電機(jī)中，上述旋轉(zhuǎn)體相對(duì)于上述支承部件產(chǎn)生向著中心軸方向的向心力，而且，沿著中心軸線方向的位置受到限制。
本發(fā)明第八方面所述的超聲波電機(jī)，在第七方面所述的超聲波電機(jī)中，具有多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)體，多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)體沿著圓周布置，而且在朝向上述旋轉(zhuǎn)中心軸的徑向上的上述支承部件和上述旋轉(zhuǎn)體之間與雙方接觸。
本發(fā)明第九方面所述的超聲波電機(jī)具有下列部件至少一個(gè)振子，其激勵(lì)起由彎曲駐波振動(dòng)與縱向振動(dòng)的合成而形成的橢圓運(yùn)動(dòng)；旋轉(zhuǎn)體，受到上述振子的橢圓振動(dòng)的作用，并且能相對(duì)于上述振子繞著旋轉(zhuǎn)中心軸線旋轉(zhuǎn)，上述振子布置在旋轉(zhuǎn)體的圓周上的規(guī)定部位；振子保持器，在因合成而構(gòu)成的橢圓振動(dòng)的中性點(diǎn)，即波節(jié)部分支承上述振子，使上述振子能繞著大致垂直和平行于上述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)中心軸線方向的軸線自由轉(zhuǎn)動(dòng)；支承部件，支承并限制上述振子保持器的位置，使上述振子保持器能朝向上述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)中心軸線方向移動(dòng)；施力部件，設(shè)置在上述支承部件上，并對(duì)上述振子保持器施加朝向上述旋轉(zhuǎn)體的上述旋轉(zhuǎn)中心軸線方向的作用力，以使能夠向上述旋轉(zhuǎn)中心軸線自由移動(dòng)的上述振子處于始終與上述旋轉(zhuǎn)體的外圓周接觸的狀態(tài)。
本發(fā)明第十方面所述的超聲波電機(jī)，在第九方面所述的超聲波電機(jī)中，上述振子被支承為，只能繞著橢圓振動(dòng)的中性點(diǎn)，即波節(jié)部分的上述軸線自由轉(zhuǎn)動(dòng)。
本發(fā)明第十一方面所述的超聲波電機(jī)，在第九方面所述的超聲波電機(jī)中，具有彈性件，該彈性件被夾持在朝向上述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)中心軸線的方向上的上述振子保持器與上述振子之間的間隙中，以限制上述振子繞著軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)，而不妨礙振子進(jìn)行經(jīng)過(guò)合成而構(gòu)成的橢圓振動(dòng)。
本發(fā)明第十二方面所述的超聲波電機(jī)，在第一方面或第九方面所述的超聲波電機(jī)中，上述振子在上述旋轉(zhuǎn)體的圓周方向上以大致相等的間隔配置了多個(gè)。
按照本發(fā)明，能提供一種摩擦損失小、電機(jī)效率高，并作為圓環(huán)形驅(qū)動(dòng)源具有良好的結(jié)構(gòu)的超聲波電機(jī)。


圖1是包含組裝有本發(fā)明的第一實(shí)施例的超聲波電機(jī)的鏡頭筒的光軸的縱斷面圖；圖2是組裝在圖1中的鏡頭筒中的超聲波電機(jī)的分解立體圖；圖3是沿圖1中的A-A線的斷面圖；圖4是圖3中的G部的放大圖；圖5是圖3或圖4中的B-B部分的放大斷面圖；圖6是圖3中的C-C部分的放大斷面圖；圖7是圖2的超聲波電機(jī)中的磁性傳感器部分周圍的放大斷面圖；圖8是表示圖2的超聲波電機(jī)的振子和振子保持器的外觀的立體圖；圖9是圖2中的超聲波電機(jī)的振子和振子保持器的分解立體圖；圖10是從支承軸方向看，把撓性印刷電路板緊固在圖2的超聲波電機(jī)的振子上的狀態(tài)的圖；圖11是沿圖10中的箭頭D方向的向視圖；圖12是從支承軸方向看，把撓性印刷電路板從振子上拆卸下來(lái)的狀態(tài)的圖；圖13是沿圖12中的箭頭E方向的向視圖；圖14是沿圖13中的箭頭F方向的向視圖；圖15是構(gòu)成圖12中的振子的壓電元件部分和絕緣板在燒結(jié)處理之前的分解立體圖；圖16是將圖12中的振子的彎曲駐波振動(dòng)與縱向振動(dòng)的合成振動(dòng)狀態(tài)放大后表示的圖，表示振子從圖16(A)的彎曲狀態(tài)依次變形到圖16(B)的伸張狀態(tài)、圖16(C)的彎曲狀態(tài)、圖16(D)的收縮狀態(tài)的情況；圖17是圖2的第一實(shí)施方式的超聲波電機(jī)的定子·轉(zhuǎn)子徑向支承機(jī)構(gòu)的變形例中的、該徑向支承機(jī)構(gòu)部分的放大斷面圖；
圖18是本發(fā)明的第二實(shí)施方式的超聲波電機(jī)中的振子周圍的放大斷面圖；圖19是圖18的第二實(shí)施方式的超聲波電機(jī)的轉(zhuǎn)子位置限制機(jī)構(gòu)的變形例中的、振子周圍的放大斷面圖。
符號(hào)說(shuō)明15、15’定子(支承部件)；16、16’轉(zhuǎn)子(旋轉(zhuǎn)體)；21滾珠(轉(zhuǎn)動(dòng)體)；24施力用板簧(施力部件)；40、40A，40A’超聲波電機(jī)；41、41’振子；O光軸(旋轉(zhuǎn)中心軸)。
具體實(shí)施例方式
下面，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。
圖1是包含組裝有本發(fā)明的第一實(shí)施方式的超聲波電機(jī)的鏡頭筒的光軸的縱斷面圖；圖2是上述超聲波電機(jī)的分解立體圖；圖3是沿圖1中的A-A線的斷面圖；圖4是圖3中的G部的放大圖，表示上述超聲波電機(jī)的振子安裝狀態(tài)；圖5是圖3或圖4中的B-B部分的放大斷面圖，表示振子周圍；圖6是圖3中的C-C部分的放大斷面圖，表示球軸承周圍；圖7是表示上述鏡頭筒的磁性傳感器部分周圍的放大斷面圖；圖8是表示上述超聲波電機(jī)的振子和振子保持器的外觀的立體圖；圖9是上述振子和振子保持器的分解立體圖。
另外，在下文的說(shuō)明中，以第一組～第四組透鏡所構(gòu)成的攝影鏡頭光軸為光軸O，以與光軸O平行的方向?yàn)閆方向，以被攝物體的一側(cè)為+，以成像一側(cè)為-。以相對(duì)于光軸O的徑向?yàn)镽方向，以光軸O的圓周方向的切線方向?yàn)門方向。另外，光軸O與后述的定子、轉(zhuǎn)子等的旋轉(zhuǎn)軸心大致一致。
如圖1所示，本實(shí)施方式的鏡頭筒1具有下列部件固定框架2；支承于固定框架2的外圓周部上的凸輪環(huán)3；嵌入凸輪環(huán)3的外圓周的變焦環(huán)4；保持第一組透鏡35的第一組透鏡框架5；在第一組透鏡框架5的后方，保持第二組透鏡36的第二組透鏡框架6；在第二組透鏡框架6的后方，保持第三組透鏡37的第三組透鏡框架7；在第三組透鏡框架7的后方，保持作為聚焦透鏡的第四組透鏡38的第四組透鏡框架8；以及作為驅(qū)動(dòng)源的超聲波電機(jī)部(超聲波電機(jī))40。
固定框架2是環(huán)狀框架部件，在其環(huán)狀部分上具有圓周導(dǎo)向槽2c、沿著Z方向的直進(jìn)導(dǎo)向槽2a、以及相對(duì)于Z方向斜行的凸輪槽2b，另外，在后端部上還設(shè)有定子緊固嵌合用的外圓周部2d、和聚焦驅(qū)動(dòng)臂貫穿用缺口2f。此外，固定框架2在后端面部分與端板31和安裝架33通過(guò)螺釘55而成為一體化。外框架32緊固在端板31上。
凸輪環(huán)3是環(huán)狀框架部件，能自由轉(zhuǎn)動(dòng)地嵌入固定框架2的外圓周，而其內(nèi)圓周側(cè)的凸出部3c則嵌入并支承在固定框架2的圓周導(dǎo)向槽2c中，使得凸輪環(huán)3在相對(duì)于固定框架2在Z方向受到限制的狀態(tài)下，能夠自由轉(zhuǎn)動(dòng)。在圓環(huán)部分上設(shè)有相對(duì)于Z方向斜行的兩個(gè)凸輪槽3a、3b。
變焦環(huán)4是環(huán)狀框架部件，它嵌入凸輪環(huán)3的外圓周，在Z方向和旋轉(zhuǎn)方向上都與凸輪環(huán)3成為一體化。在變焦環(huán)4的外圓周部緊固著操作用橡膠環(huán)4a。
第一組透鏡框架5緊固并支承在固定框架2的前端部上。
第二、第三組透鏡框架6、7嵌入并支承在固定框架2的內(nèi)圓周上，在其外圓周上分別緊固著凸輪從動(dòng)件11、12。凸輪從動(dòng)件11、12以直進(jìn)導(dǎo)向狀態(tài)貫穿固定框架2的直進(jìn)導(dǎo)向槽2a，并能自由滑動(dòng)地嵌入凸輪環(huán)3的凸輪槽3a、3b中。因此，當(dāng)通過(guò)變焦環(huán)4的變焦轉(zhuǎn)動(dòng)操作驅(qū)動(dòng)凸輪環(huán)3轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，便借助于凸輪槽3a、3b并通過(guò)凸輪從動(dòng)件11、12在Z方向上驅(qū)動(dòng)第二、第三組透鏡框架6、7，使其移動(dòng)到光軸O方向的各個(gè)變焦位置上。
第四組透鏡框架8嵌入并支承在固定框架2的內(nèi)圓周上，在其外圓周上緊固著凸輪從動(dòng)件13。凸輪從動(dòng)件13嵌入固定框架2的凸輪槽2b中，并能自由滑動(dòng)。在這個(gè)第四組透鏡框架8上，設(shè)有沿著Z方向的導(dǎo)向槽8a，緊固在超聲波電機(jī)部40側(cè)的轉(zhuǎn)子16上的聚焦驅(qū)動(dòng)臂9的前端部自由滑動(dòng)地嵌入導(dǎo)向槽8a中。如下文所述，在聚焦驅(qū)動(dòng)時(shí)，當(dāng)超聲波電機(jī)部40的轉(zhuǎn)子16被驅(qū)動(dòng)而進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，便通過(guò)聚焦驅(qū)動(dòng)臂9驅(qū)動(dòng)第四組透鏡框架8，使其相對(duì)于固定框架2轉(zhuǎn)動(dòng)。因這種轉(zhuǎn)動(dòng)，凸輪從動(dòng)件13在凸輪槽2b上滑動(dòng)，所以第四組透鏡框架8就一邊旋轉(zhuǎn)，一邊向Z方向(光軸O方向)的聚焦位置移動(dòng)。
超聲波電機(jī)部40是驅(qū)動(dòng)第四組透鏡框架8進(jìn)退的聚焦驅(qū)動(dòng)用驅(qū)動(dòng)器，如圖1、2所示，它具有下列部件作為支承部件的定子15；在外圓周上緊固有耐磨環(huán)17并作為旋轉(zhuǎn)體的轉(zhuǎn)子16；轉(zhuǎn)子壓板18；三組振子41，其激勵(lì)起由彎曲駐波振動(dòng)與縱向振動(dòng)的合成而形成的橢圓運(yùn)動(dòng)，成為本電機(jī)部的驅(qū)動(dòng)源；作為定子·轉(zhuǎn)子徑向支承機(jī)構(gòu)用的轉(zhuǎn)動(dòng)體的六個(gè)軸承用滾珠21；作為施力部件的施力用板簧24；由傳感器支承板27、磁性傳感器28構(gòu)成的磁性傳感器部分等。
如圖2所示，轉(zhuǎn)子16是環(huán)狀部件，在其外圓周面上嵌入并粘接著由耐磨性能很好的材料，例如由陶瓷等形成的耐磨環(huán)17，此外，在-Z側(cè)端面上粘貼著由聚酯薄膜保護(hù)的磁性傳感器用的磁帶19。另外，轉(zhuǎn)子16的內(nèi)圓周以有間隙的狀態(tài)插入固定框架2的外圓周部2d中。
如圖2所示，定子15是圓環(huán)狀部件，在其上設(shè)有下列部件內(nèi)圓周一側(cè)的凸緣部15a；在三等分圓周的三個(gè)部位上的振子安裝用的貫通孔部15b；在+Z端面?zhèn)葍?nèi)圓周部上的各貫通孔部15b的兩側(cè)位置上的各兩個(gè)滾珠插入缺口15c；以及傳感器支承板安裝凹部15f。定子15是通過(guò)將凸緣部15a從轉(zhuǎn)子16的后方側(cè)嵌入固定框架2的后端外圓周部2d中而被固定的。
滾珠21是構(gòu)成定子·轉(zhuǎn)子徑向支承機(jī)構(gòu)的部件，定子·轉(zhuǎn)子徑向支承機(jī)構(gòu)用于減輕定子與轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)摩擦。滾珠21嵌入圖3所示的定子15的滾珠插入缺口15c中。上述滾珠的外徑向定子15的內(nèi)圓周側(cè)僅凸出一點(diǎn)，在使定子15嵌入轉(zhuǎn)子16的外圓周部的狀態(tài)下，轉(zhuǎn)子16與定子15中間隔著滾珠21可以相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，實(shí)際上，如下文所述，在轉(zhuǎn)子16的外圓周上粘接并固定著耐磨環(huán)17，滾珠21與耐磨環(huán)17接觸。另外，也可以使用滾柱(roller)狀轉(zhuǎn)動(dòng)體來(lái)代替滾珠21。
具有上述磁性傳感器部分，即磁性傳感器28的傳感器支承板27，通過(guò)螺釘54緊固在定子15的凹部15f上。在上述安裝狀態(tài)下，磁性傳感器28與轉(zhuǎn)子一側(cè)的磁帶19滑動(dòng)接觸并檢測(cè)轉(zhuǎn)子16的旋轉(zhuǎn)量(圖7)。
轉(zhuǎn)子壓板18呈環(huán)形還具有螺釘通孔18a，并通過(guò)螺釘51緊固在定子15的+Z側(cè)端面上。
如圖4、圖8、9等所示，三組振子41具有下列部件層疊壓電體42；驅(qū)動(dòng)件44；作為中性軸的支承軸46；保持層疊壓電體42的振子保持器23；夾持在層疊壓電體42與振子保持器23之間，而且在厚度方向上能夠產(chǎn)生彈性變形的彈性體，即彈性板22等。
支承軸46向?qū)盈B方向(安裝狀態(tài)下的Z方向)貫穿層疊壓電體42的振動(dòng)波節(jié)(中性位置)，并粘接固定在其上，軸兩端則從層疊壓電體42凸出來(lái)。
驅(qū)動(dòng)件44由一對(duì)凸起構(gòu)成，該一對(duì)凸起固定在與支承軸46正交方向的層疊壓電體42長(zhǎng)度方向(安裝狀態(tài)下的T方向)上的一側(cè)端面上，該驅(qū)動(dòng)件44配置在長(zhǎng)度方向的端部位置上。
如圖8、9所示，振子保持器23具有Z方向的兩個(gè)折彎部23a、和T方向的兩個(gè)折彎部23b。此外，在兩面的折彎部23a上具有軸支承缺口23c，該軸支承缺口23c以支承軸46能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式嵌入支承軸46的帶臺(tái)階部46a。由于振子保持器23的折彎部23a、23b嵌合于用來(lái)安裝定子15的振子的R方向上的貫通孔部15b，所以振子保持器23被支承為R方向上能夠滑動(dòng)，而不會(huì)向T方向和Z方向上松動(dòng)。
彈性板22是在厚度方向能夠產(chǎn)生壓縮彈性變形的板狀部件，它插入層疊壓電體42與振子保持器23之間，防止振子41繞著支承軸46傾斜，但不妨礙振子41的振動(dòng)。
如圖4、5所示，三組振子41安裝在定子15上，而且三組振子41以安裝在振子保持器23上的狀態(tài)分別從外圓周一側(cè)插入定子15的振子安裝用貫通孔部15b中，并且用施力用板簧24按壓振子保持器23的外表面。上述三組振子41配置在相對(duì)于定子15的軸心以120°的角度對(duì)定子15的圓周進(jìn)行三等分的位置上(圖3)。
安裝在上述定子上的振子41通過(guò)振子保持器23保持在定子15上，而不會(huì)向Z方向、T方向松動(dòng)。雖然振子41由振子保持器23能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地支承在支承軸的周圍，但是振子41的上面部分是隔著彈性板22由施力用板簧24的兩個(gè)壓緊部24a從該保持器23的外側(cè)壓緊。其作用力FO通過(guò)支承軸46傳遞給振子41。振子41的驅(qū)動(dòng)件44抵接在轉(zhuǎn)子16的耐磨環(huán)17上，并由彈性板22限制其傾斜，從而驅(qū)動(dòng)件44不傾斜而保持穩(wěn)定狀態(tài)。這樣，轉(zhuǎn)子16就相對(duì)于定子15產(chǎn)生了向光軸O方向的向心力。
另外，如上所述，振子41的支承軸46是沿著Z方向被支承的，兩個(gè)驅(qū)動(dòng)件44是沿著T方向布置的。而且，驅(qū)動(dòng)件44從定子15的內(nèi)圓周面向內(nèi)側(cè)凸出一點(diǎn)。該微小凸出量與每個(gè)滾珠21的微小凸出量大致相同。
另外，關(guān)于上述振子41的更詳細(xì)的結(jié)構(gòu)和作用，將在后面說(shuō)明。
在聚焦驅(qū)動(dòng)臂9被緊固的狀態(tài)下，轉(zhuǎn)子16以有間隙的狀態(tài)插入固定框架2的后方外圓周部2d。而且，如上所述，組裝了振子41、振子保持器23、施力用板簧24、滾珠21等的定子15，從一Z側(cè)嵌入并緊固在轉(zhuǎn)子16后方的固定框架2的外圓周部2d。定子15與轉(zhuǎn)子16嵌合并通過(guò)滾珠21在徑向沒(méi)有間隙地自由轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，用貫穿螺釘通孔18a的螺釘51把轉(zhuǎn)子壓板18緊固在定子15的+Z側(cè)端面上，以限制轉(zhuǎn)子16和滾珠21在Z方向上的位置(見(jiàn)圖5、6)。聚焦驅(qū)動(dòng)臂9用螺釘53緊固在轉(zhuǎn)子16的+Z側(cè)端面上，其前端嵌入第四組透鏡框架8的導(dǎo)向槽8a中并能自由滑動(dòng)。
如上所述，在組裝在鏡頭筒1上的超聲波電機(jī)部40中，定子15緊固在固定框架2上。而轉(zhuǎn)子16在定子15的內(nèi)圓周部限制其Z方向的狀態(tài)下，能自由轉(zhuǎn)動(dòng)地支承在固定框架2上，并通過(guò)軸承用滾珠21能夠自由轉(zhuǎn)動(dòng)地支承在定子15上。安裝在定子15上的振子41的驅(qū)動(dòng)件44受到施力用板簧24的作用力FO而抵接在轉(zhuǎn)子16一側(cè)的耐磨環(huán)17上。當(dāng)振子41被驅(qū)動(dòng)，而驅(qū)動(dòng)件44進(jìn)行橢圓振動(dòng)時(shí)，轉(zhuǎn)子16被驅(qū)動(dòng)并隔著抵接在驅(qū)動(dòng)件44上的耐磨環(huán)17相對(duì)于定子15進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。由于這種轉(zhuǎn)動(dòng)，第四組透鏡框架8便被進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，并借助于固定框架2的凸輪槽2b而沿著光軸O的方向進(jìn)退。
在這里，參照?qǐng)D10～16說(shuō)明振子41的結(jié)構(gòu)和作用。圖10是從支承軸方向看到的把撓性印刷電路板48緊固在上述振子上的狀態(tài)的圖；圖11是沿圖10中的箭頭D方向的向視圖；圖12是從支承軸方向看到的把撓性印刷電路板48從圖10中的振子拆卸下來(lái)的狀態(tài)的圖；圖13是沿圖12中的箭頭E方向的向視圖；圖14是沿圖12中的箭頭F方向的向視圖；圖15是構(gòu)成上述振子的壓電元件部和絕緣板在燒結(jié)處理之前的分解立體圖；圖16是將上述振子的彎曲駐波振動(dòng)與縱向振動(dòng)的合成振動(dòng)狀態(tài)放大表示的圖，表示振子從圖16(A)的彎曲狀態(tài)依次變形到圖16(B)的伸長(zhǎng)狀態(tài)、圖16(C)的彎曲狀態(tài)、圖16(D)的收縮狀態(tài)的情況。
如圖12、15等所示，構(gòu)成上述超聲波電機(jī)部40的振子41具有下列部件層疊壓電體42，由多個(gè)兩種類型的壓電薄片42X、42Y和兩個(gè)絕緣板43A、43B構(gòu)成；由導(dǎo)電性銀膏構(gòu)成的電極47a、47b、47c、47d、47a’、47b’；一根支承軸46；以及一對(duì)驅(qū)動(dòng)件44。
兩種壓電薄片42X、42Y分別由厚度為100μm左右的矩形壓電元件構(gòu)成。在壓電薄片42X上，在分割成絕緣的四個(gè)區(qū)域中，配置著第一內(nèi)部電極42Xa、42Xc、42Xc’、42Xa’，所述第一內(nèi)部電極42Xa、42Xc、42Xc’、42Xa’的前面涂敷著厚度為10μm左右的銀—鈀合金。上述各內(nèi)部電極的上側(cè)端部一直延伸到壓電元件長(zhǎng)度方向(T方向)的端面位置(見(jiàn)圖15)。
另一方面，在壓電元件42Y上，在分割成絕緣的四個(gè)區(qū)域中，配置了第二內(nèi)部電極42Yb、42Yd、42Yd’、42Yb’，所述第二內(nèi)部電極42Yb、42Yd、42Yd’、42Yb’的前面涂敷著厚度為10μm左右的銀—鈀合金。上述內(nèi)部電極的下側(cè)端部一直延伸到壓電元件長(zhǎng)度方向(T方向)的端面位置(見(jiàn)圖15)。
彼此相鄰的上述壓電薄片42X、42Y的第一內(nèi)部電極42Xa、42Xc、42Xc’、42Xa’和第二內(nèi)部電極42Yb、42Yd、42Yd’、42Yb’的形狀相同，但電極端部做成上下相反，在層疊起來(lái)時(shí)，矩形電極面布置在互相重疊的位置上。這樣進(jìn)行配置內(nèi)部電極的兩種類型的壓電薄片42X、42Y交替地層疊40層左右。
如圖15所示，在層疊后的壓電元件的左側(cè)端面上，形成了內(nèi)部電極露出部(圖中未表示)，內(nèi)部電極露出部使第一內(nèi)部電極42Xa、42Xc和第二內(nèi)部電極42Yb、42Yd的端部以層疊狀態(tài)露出。在層疊后的壓電元件的右側(cè)端面上，形成了內(nèi)部電極露出部(圖中未表示)，內(nèi)部電極露出部使第一內(nèi)部電極42Xc’、42Xa’和第二內(nèi)部電極42Yd’、42Yb’的端部以層疊狀態(tài)露出。另外，在上述內(nèi)部電極露出部上，在兩個(gè)側(cè)面部分，分別形成了由導(dǎo)電性銀膏構(gòu)成的各四個(gè)獨(dú)立的外部電極，該外部電極與該內(nèi)部電極導(dǎo)通(圖13)。
在上述層疊起來(lái)的壓電元件的前后面，配置有與壓電薄片42X、42Y有相同矩形形狀的絕緣板43A、43B，由此形成了層疊壓電體42。在前面一側(cè)的絕緣板43A的表面上，形成了圖12中所示的由導(dǎo)電性銀膏構(gòu)成的電極47a、47b、47c、47d、47a’、47b’。
上述絕緣板43A上的電極47a、47b、47c、47d、47a’、47b’分別與露出于每一片上述各層疊的壓電薄片兩側(cè)的、層疊狀態(tài)下的兩側(cè)面內(nèi)部電極電氣連接。即，第一內(nèi)部電極42Xa電連接在電極47a上。第二內(nèi)部電極42Xb電氣連接在電極47b上。第一內(nèi)部電極42Xc和第一內(nèi)部電極42Xc’電氣連接在電極47c上。第二內(nèi)部電極42Yd和第二內(nèi)部電極42Yd’電氣連接在電極47d上。第一內(nèi)部電極42Xa’電氣連接在電極47a’上。第二內(nèi)部電極42Yb’電氣連接在電極47b’上。
對(duì)層疊壓電體42進(jìn)行燒結(jié)處理，并利用上述各電極進(jìn)行極化，由此成為振子41，在該層疊壓電體42中，把絕緣板43A、43B重疊在以上述電極連接狀態(tài)層疊的壓電薄片42X、42Y上。
在振子41的R方向(與層疊方向正交的方向)的端面部分上，在T方向的端部位置粘接緊固著一對(duì)驅(qū)動(dòng)件44。另外，該驅(qū)動(dòng)件44是將鋁氧粉分散在高分子材料中而形成的。
還有，在振子41的大致中央部分，即，在振子的振動(dòng)中性點(diǎn)，即成為波節(jié)的位置上，沿著層疊方向(Z方向)貫穿有通孔，在該通孔中粘接固定有用不銹鋼等材料制成并沿著Z方向貫穿的支承軸46(圖13)。
在設(shè)置于振子41的絕緣板43A上的每一個(gè)電極47a、47b、47c、47d、47a’、47b’上，以與各電極電連接的狀態(tài)安裝著具有接線圖的連接基板48。施加驅(qū)動(dòng)電壓用的導(dǎo)線49便連接在上述接線圖上(圖10)。導(dǎo)線49通過(guò)印刷電路板50連接在振子驅(qū)動(dòng)電路上。
另外，上述振子驅(qū)動(dòng)電路具有振蕩電路部、移相電路部、驅(qū)動(dòng)電路部等等，并通過(guò)驅(qū)動(dòng)電路部將相位受到控制的驅(qū)動(dòng)電壓施加在振子41上。
經(jīng)過(guò)導(dǎo)線49施加了驅(qū)動(dòng)電壓的振子41便產(chǎn)生如圖16(A)、(B)、(C)、(D)所示的將彎曲駐波振動(dòng)與縱向振動(dòng)合成后的振動(dòng)，在驅(qū)動(dòng)件44的前端，產(chǎn)生相位錯(cuò)移的橢圓振動(dòng)(如圖10中所示的軌跡E1、E2的橢圓振動(dòng))。由于驅(qū)動(dòng)件44的前端按壓被驅(qū)動(dòng)體，即轉(zhuǎn)子16的耐磨環(huán)17，所以轉(zhuǎn)子16通過(guò)驅(qū)動(dòng)件44被驅(qū)動(dòng)而朝著橢圓振動(dòng)的旋轉(zhuǎn)方向作相對(duì)旋轉(zhuǎn)。
在具有上述結(jié)構(gòu)的本實(shí)施方式的鏡頭筒1中，在進(jìn)行聚焦驅(qū)動(dòng)的情況下，當(dāng)振子41由振子驅(qū)動(dòng)電路來(lái)驅(qū)動(dòng)，而驅(qū)動(dòng)件44被驅(qū)動(dòng)而沿著橢圓軌跡振動(dòng)時(shí)，轉(zhuǎn)子16便被驅(qū)動(dòng)而相對(duì)于定子15和固定框架2向任一方向轉(zhuǎn)動(dòng)。由于上述轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)，第四組透鏡框架8便通過(guò)聚焦驅(qū)動(dòng)臂9驅(qū)動(dòng)而進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)并沿著固定框架2的凸輪槽2b移動(dòng)到聚焦位置上。
按照組裝在上述實(shí)施方式的鏡頭筒1中的超聲波電機(jī)40，具有適合于作為摩擦損失少、電機(jī)效率高的旋轉(zhuǎn)體的驅(qū)動(dòng)源的結(jié)構(gòu)。即，如上所述，把三個(gè)振子41配置在定子15圓周方向上的三等分位置上，而從三個(gè)方向朝向光軸O的施力板簧24的作用力FO作用在各振子41上。因此，各振子41的驅(qū)動(dòng)件44均等地抵接在轉(zhuǎn)子16上，所以轉(zhuǎn)子16不會(huì)受到不平衡的力，并且，在不易產(chǎn)生因上述作用力FO所造成的摩擦損失的狀態(tài)下，該轉(zhuǎn)子16被驅(qū)動(dòng)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
此外，保持在振子保持器23上的振子41，毫不松動(dòng)地嵌入用于安裝定子15的振子的貫通孔部15b中。因此，由于振子41以不松動(dòng)的狀態(tài)被保持在Z方向和T方向上，而且被支承為僅在配置驅(qū)動(dòng)件44的R方向上可移動(dòng)，所以能以很高的精度驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子16轉(zhuǎn)動(dòng)。還有，因?yàn)樵谡褡?1與振子保持器23之間安裝有彈性板22，所以限制了振子41相對(duì)于轉(zhuǎn)子16的圓周面的傾斜，驅(qū)動(dòng)動(dòng)作很穩(wěn)定。
另外，在上述實(shí)施方式中，采用了把三個(gè)振子41配置在定子15的圓周方向的三等分位置上的結(jié)構(gòu)，但，并不是只限于這一種結(jié)構(gòu)，也可以把三個(gè)以上的振子配置在圓周方向上等分的位置上。還有，也可以采用這樣的結(jié)構(gòu)，即，在多個(gè)等分的位置的至少一個(gè)位置上配置振子，而在其他部位上配置由滾柱(roller)或滾珠等構(gòu)成的中間(介在)部件。此外，也可以用滾柱來(lái)代替在上述定子·轉(zhuǎn)子徑向支承機(jī)構(gòu)中所使用的作為轉(zhuǎn)動(dòng)體的滾珠21。
下面，參照?qǐng)D17中的徑向支承機(jī)構(gòu)部分的放大斷面圖，說(shuō)明上述實(shí)施方式中的超聲波電機(jī)40的定子·轉(zhuǎn)子徑向支承機(jī)構(gòu)的變形例。
本變形例，只有滾珠的支承結(jié)構(gòu)與上述實(shí)施方式不同，上述滾株配置在定子·轉(zhuǎn)子徑向支承機(jī)構(gòu)中的定子與轉(zhuǎn)子之間的嵌合部上。即，如圖17所示，在定子15’的前面，可以安裝環(huán)狀的壓板18’，在定子15’與壓板18’的接合部，沿著圓周方向設(shè)有剪切面15g、18g。此外，在轉(zhuǎn)子16’一側(cè)，沿著圓周方向配置了與上述接合部相對(duì)的V形凹槽部16g。在滾動(dòng)體，即軸承用滾珠21插入轉(zhuǎn)子16’的V形凹槽16g中的狀態(tài)下，將轉(zhuǎn)子16’插入定子15’的內(nèi)圓周部分。并且，用螺釘51把壓板18’緊固在定子15’的前面，則滾珠21處于由V形凹槽16g和剪切面15g、18g支承的狀態(tài)。另外，在圓周方向上配置了多個(gè)滾珠21，并用圖中未表示的保持架來(lái)保持它。
在上述組裝狀態(tài)下，轉(zhuǎn)子16’被支承為在夾持滾珠21而使其能夠滾動(dòng)的狀態(tài)下相對(duì)于定子15’能夠轉(zhuǎn)動(dòng)，并且，由滾珠21限制了轉(zhuǎn)子16’相對(duì)于定子15’的在Z方向的位置。因此，就不需要用另外的部件來(lái)限制轉(zhuǎn)子16’在Z方向上的位置，在轉(zhuǎn)子16’的兩個(gè)端部上就能夠設(shè)置間隙。
按照本變形例，定子15’和轉(zhuǎn)子16’在旋轉(zhuǎn)負(fù)載較小的狀態(tài)下能夠進(jìn)行相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，而且，通過(guò)滾珠21進(jìn)行轉(zhuǎn)子16’在Z方向(軸向)上的定位，所以不需要在外側(cè)對(duì)轉(zhuǎn)子16’在Z方向上的位置進(jìn)行限制，從而能提供減小摩擦損失、更換效率高，且能以很高的精度驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)的超聲波電機(jī)。
下面，參照?qǐng)D18中的振子周圍的放大斷面圖，說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施方式的超聲波電機(jī)。
本實(shí)施方式的超聲波電機(jī)40A與上述第一實(shí)施方式的用于鏡頭筒1中的超聲波電機(jī)40相比，主要是轉(zhuǎn)子的位置控制結(jié)構(gòu)不同。即，振子的驅(qū)動(dòng)件所抵接的轉(zhuǎn)子16一側(cè)的耐磨環(huán)的斷面形狀不同，而其它結(jié)構(gòu)大致相同。
如圖18所示，在超聲波電機(jī)40A中，在緊固在轉(zhuǎn)子16外圓周部上的耐磨環(huán)17A的外圓周面上，設(shè)有嵌入驅(qū)動(dòng)件44的圓周方向的凹部(槽部)17Aa。上述凹部17Aa在Z方向上的寬度做成嵌入驅(qū)動(dòng)件44后不松動(dòng)的寬度。因此，轉(zhuǎn)子16在Z方向上的位置由振子41的驅(qū)動(dòng)件44控制。這樣，不需要用其它的部件來(lái)限制轉(zhuǎn)子16在Z方向上的位置，就能在轉(zhuǎn)子16的Z方向的兩個(gè)端部上設(shè)置間隙。另外，驅(qū)動(dòng)件44的前端部也可以具有沿著凹部17Aa的圓周方向上的圓弧形狀。
按照本實(shí)施方式的超聲波電機(jī)40A，不需要在轉(zhuǎn)子外部設(shè)置Z方向的位置控制部，在簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)的同時(shí)，由轉(zhuǎn)子側(cè)面部分上的Z方向位置控制部所造成的摩擦損失也沒(méi)有了，從而能提供效率很高的超聲波電機(jī)。
接著，參照?qǐng)D19的振子周圍的放大斷面圖，說(shuō)明上述第二實(shí)施方式的超聲波電機(jī)的轉(zhuǎn)子位置限制機(jī)構(gòu)的變形例。
本實(shí)施例的超聲波電機(jī)40A’與上述第二實(shí)施例的超聲波電機(jī)40A相比，不同之處在于，設(shè)在振子上的驅(qū)動(dòng)件的前端形狀、以及上述驅(qū)動(dòng)件所嵌入并抵接的耐磨環(huán)17A’的形狀。
如圖19所示，在本變形例的超聲波電機(jī)40A’中，振子41’的驅(qū)動(dòng)件44’具有楔狀的前端。在緊固在轉(zhuǎn)子16的外圓周部上的耐磨環(huán)17A’的與驅(qū)動(dòng)件44’抵接的部分上，設(shè)有與上述楔狀前端配合的圓周傾斜槽17Aa’。驅(qū)動(dòng)件44’的楔狀前端不會(huì)松動(dòng)地嵌入耐磨環(huán)17A’的圓周傾斜槽17Aa’中，并以規(guī)定的作用力抵接在其上。在振子41’被驅(qū)動(dòng)的情況下，因驅(qū)動(dòng)件44’的橢圓振動(dòng)所產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力，通過(guò)圓周傾斜槽17Aa’傳遞給轉(zhuǎn)子16一側(cè)。
按照本變形例的超聲波電機(jī)40A’，能達(dá)到與上述第二實(shí)施方式的情況同樣的效果。
按照本發(fā)明的超聲波電機(jī)可用作摩擦損失小，且電機(jī)效率高的旋轉(zhuǎn)體的驅(qū)動(dòng)源。
權(quán)利要求
1.一種超聲波電機(jī)，其特征在于，它具有下列部件至少一個(gè)振子，其激勵(lì)起由彎曲駐波振動(dòng)與縱向振動(dòng)的合成而形成的橢圓運(yùn)動(dòng)；旋轉(zhuǎn)體，受到配置于圓周上的規(guī)定部位的上述振子的橢圓振動(dòng)的作用，而能相對(duì)于上述振子繞著旋轉(zhuǎn)中心軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；支承部件，限制上述振子沿著上述旋轉(zhuǎn)中心軸線方向和向圓周方向的移動(dòng)，同時(shí)又能支承上述振子，使其朝向上述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)中心軸線自由移動(dòng)；施力部件，設(shè)置在上述支承部件上，對(duì)上述振子施加朝向上述旋轉(zhuǎn)體的上述旋轉(zhuǎn)中心軸線方向的作用力，以使朝向上述旋轉(zhuǎn)中心軸線能夠自由移動(dòng)的上述振子處于始終與上述旋轉(zhuǎn)體的外圓周接觸的狀態(tài)。
2.如權(quán)利要求1所述的超聲波電機(jī)，其特征在于，具有壓緊部件，其與上述支承部件一起在軸向上夾持上述旋轉(zhuǎn)體，以限制上述旋轉(zhuǎn)體的軸向位置。
3.如權(quán)利要求1所述的超聲波電機(jī)，其特征在于，上述振子與上述旋轉(zhuǎn)體的接觸部分形成為，將上述旋轉(zhuǎn)體的軸向位置限制在規(guī)定位置上。
4.如權(quán)利要求3所述的超聲波電機(jī)，其特征在于，上述振子與上述旋轉(zhuǎn)體的接觸部的前端形成楔形或者圓弧形，另外，上述旋轉(zhuǎn)體形成有與上述振子的接觸部前端大致嵌合的凹形部分。
5.如權(quán)利要求1所述的超聲波電機(jī)，其特征在于，具有多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)體，上述轉(zhuǎn)動(dòng)體沿著圓周配置，并且在朝向上述旋轉(zhuǎn)中心軸線的徑向上的上述支承部件和上述旋轉(zhuǎn)體之間與雙方接觸，而且上述轉(zhuǎn)動(dòng)體減小上述旋轉(zhuǎn)體的轉(zhuǎn)動(dòng)摩擦力。
6.如權(quán)利要求1所述的超聲波電機(jī)，其特征在于，上述振子被支承為能繞著大致平行于上述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)中心軸線方向的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。
7.如權(quán)利要求1所述的超聲波電機(jī)，其特征在于，上述旋轉(zhuǎn)體相對(duì)于上述支承部件產(chǎn)生朝向中心軸線方向的向心力，而且，朝向中心軸線方向的位置受到限制。
8.如權(quán)利要求7所述的超聲波電機(jī)，其特征在于，具有多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)體，上述轉(zhuǎn)動(dòng)體沿著圓周布置，并且在朝向上述旋轉(zhuǎn)中心軸的徑向上的上述支承部件和上述旋轉(zhuǎn)體之間與雙方接觸。
9.一種超聲波電機(jī)，其特征在于，具有下列部件至少一個(gè)振子，其激勵(lì)起由彎曲駐波振動(dòng)與縱向振動(dòng)的合成而形成的橢圓運(yùn)動(dòng)；旋轉(zhuǎn)體，受到配置于圓周上的規(guī)定部位的上述振子的橢圓振動(dòng)的作用，能相對(duì)于上述振子繞著旋轉(zhuǎn)中心軸線旋轉(zhuǎn)；振子保持器，在合成而構(gòu)成的橢圓振動(dòng)的中性點(diǎn)，即波節(jié)部分支承上述振子，使上述振子能繞著大致垂直和平行于上述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)中心軸線方向的軸線自由轉(zhuǎn)動(dòng)；支承部件，支承并限制上述振子保持器的位置，使其能向上述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)中心軸線方向移動(dòng)；施力部件，設(shè)置在上述支承部件上并對(duì)上述振子施加朝向上述旋轉(zhuǎn)體的上述旋轉(zhuǎn)中心軸線方向的作用力，以使朝向上述旋轉(zhuǎn)中心軸線自由移動(dòng)的上述振子處于始終與上述旋轉(zhuǎn)體的外圓周接觸的狀態(tài)。
10.如權(quán)利要求9所述的超聲波電機(jī)，其特征在于，上述振子被支承為只能繞著橢圓振動(dòng)的中性點(diǎn)，即波節(jié)部分的上述軸線自由轉(zhuǎn)動(dòng)。
11.如權(quán)利要求9所述的超聲波電機(jī)，其特征在于，具有彈性體，其被夾持在向著上述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)中心軸線方向的上述振子保持器與上述振子之間的間隙中，以限制上述振子繞著軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)，而不影響因合成而構(gòu)成的橢圓振動(dòng)。
12.如權(quán)利要求1或9所述的超聲波電機(jī)，其特征在于，上述振子在上述旋轉(zhuǎn)體的圓周方向上以大致相等的間隔配置了多個(gè)。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種摩擦損失小且電機(jī)效率高的旋轉(zhuǎn)體的驅(qū)動(dòng)源，即超聲波電機(jī)。本發(fā)明的超聲波電機(jī)(40)具有下列部件環(huán)狀的定子(15)；轉(zhuǎn)子(16)；具有長(zhǎng)方體的層疊壓電體、支承軸、驅(qū)動(dòng)件的三組振子(41)；隔著彈性板(22)保持振子(41)的保持器(23)；對(duì)該保持器施力的施力板簧(24)，在用施力板簧(24)對(duì)保持器的背面部施力的狀態(tài)下，具有振子(41)的保持器(23)插入配置在振子安裝孔(15b)中，該振子安裝孔(15b)配置在定子(15)的外圓周的三等分位置上。振子(41)的驅(qū)動(dòng)件借助于施力板簧(24)的作用力抵接在耐磨環(huán)(17)上，該耐磨環(huán)(17)緊固于定子(15)的內(nèi)圓周一側(cè)的轉(zhuǎn)子外圓周上。當(dāng)振子(41)被驅(qū)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)件(44)激勵(lì)起由彎曲駐波振動(dòng)與縱向振動(dòng)的合成而形成的橢圓運(yùn)動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子(16)就被驅(qū)動(dòng)而相對(duì)于定子(15)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。
文檔編號(hào)H01L41/08GK1697298SQ20051006909
公開日2005年11月16日 申請(qǐng)日期2005年5月10日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月13日
發(fā)明者岸政典 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社