專(zhuān)利名稱(chēng)：Co的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及激光腔鏡波長(zhǎng)選擇裝置。
背景技術(shù)：
TEA CO2激光器屬于橫向激勵(lì)脈沖氣體激光器，具有激光峰值功率高、波長(zhǎng)范圍寬、可以高重復(fù)頻率工作等特點(diǎn)，在工業(yè)、醫(yī)療、軍用等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
CO2激光器一般工作在10.6μm波長(zhǎng)，這是由其光譜強(qiáng)度決定的。利用波長(zhǎng)選支技術(shù)，可獲得其它波長(zhǎng)上的激光輸出，拓展其應(yīng)用范圍。采用通常的光柵選支方法，可實(shí)現(xiàn)CO2激光器在9-11μm波長(zhǎng)范圍的激光輸出及調(diào)諧，這在激光雷達(dá)等類(lèi)應(yīng)用中是需要的，但在激光醫(yī)療和工業(yè)加工激光器的應(yīng)用中并不可取，主要是基于器件結(jié)構(gòu)性能方面的考慮，包括光柵選支TEA CO2激光器采用外腔式腔型結(jié)構(gòu)，長(zhǎng)度和體積尺寸增加，不利于器件的實(shí)用化與小型化。
外腔型結(jié)構(gòu)的光路插入損耗增加，影響到激光輸出功率及效率。
光柵選支結(jié)構(gòu)需要一套附加的精密光機(jī)電配置系統(tǒng)，用于精調(diào)光柵轉(zhuǎn)角，不僅制作成本增加，而且給安裝使用維護(hù)帶來(lái)很大的不便。
光柵調(diào)整機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定性能要求嚴(yán)格，可直接影響到激光輸出功率及波長(zhǎng)穩(wěn)定性。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足之處，提供一種腔體結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用、激光工作性能得到改善、便于使用維護(hù)的CO2激光腔鏡波長(zhǎng)選擇裝置。
本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是由全反射腔鏡、氣體放電腔體和輸出腔鏡構(gòu)成波長(zhǎng)自選的封離式激光諧振腔，所述輸出腔鏡和全反射腔鏡分別位于氣體放電腔體的前后兩端，所述全反射腔鏡朝向氣體放電腔體內(nèi)側(cè)的表面為鍍金膜面，所述輸出腔鏡朝向氣體放電腔體內(nèi)側(cè)的表面為具有波長(zhǎng)透反特性差別的透反介質(zhì)膜面，朝向腔體外側(cè)的另一表面為增透膜面。
本實(shí)用新型根據(jù)TEA CO2激光工作氣體的光譜強(qiáng)度分布，將激光諧振腔輸出腔鏡設(shè)計(jì)成具有不同波長(zhǎng)透反特性差別的腔鏡膜片，有效增大10.6μm和10.3μm波段光的透射損耗，抑制其振蕩，使得所需波長(zhǎng)激光達(dá)到優(yōu)先振蕩輸出。
與已有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果體現(xiàn)在本實(shí)用新型腔鏡波長(zhǎng)自選的結(jié)構(gòu)形式不需要在光路系統(tǒng)中另加選擇元件，可以形成封離式腔型結(jié)構(gòu)，使得激光器的腔體結(jié)構(gòu)更為緊湊實(shí)用，不僅激光工作性能得到改善，而且便于維護(hù)。
圖面說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實(shí)用新型全反射腔鏡結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為本實(shí)用新型輸出腔鏡結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中標(biāo)號(hào)1-全反射腔鏡、2-調(diào)整架、3-波紋管、4-腔體后端板、5-氣體放電腔體、6-腔體前端板、7-O型橡膠圈、8-輸出腔鏡、9-主電極、10-預(yù)電離針電極、11-鍍金膜面、12-透反介質(zhì)膜面、13-增透膜面。
具體實(shí)施方式
參見(jiàn)附圖1，本實(shí)施例由全反射腔鏡1、氣體放電腔體5和輸出腔鏡8構(gòu)成波長(zhǎng)自選的封離式激光諧振腔，其中，輸出腔鏡8和全反射腔鏡1分別位于氣體放電腔體5的前后兩端。
具體實(shí)施中，后端波紋管3的一端與氣體放電腔體5的腔體后端板4密封連接，另一端與全反射腔鏡1的調(diào)整架2上的偏轉(zhuǎn)板連接，在端口上密封安裝全反射腔鏡1；前端波紋管3的一端與氣體放電腔體5的前端板6密封連接，另一端與輸出腔鏡8的調(diào)整架2上偏轉(zhuǎn)板連接，在端口上密封安裝輸出腔鏡8，相關(guān)連接處采用O型橡膠圈7進(jìn)行密封。所采用的調(diào)整架2可在兩維方向精調(diào)轉(zhuǎn)角。據(jù)此，全反射腔鏡1和輸出腔鏡8可利用各自的調(diào)整架2和準(zhǔn)直光源進(jìn)行相互平行調(diào)節(jié)。
具體實(shí)施中，氣體放電腔體5的腔壁為絕緣材料制成，在腔體內(nèi)依常規(guī)形式分別設(shè)置一對(duì)張氏面型主電極9和預(yù)電離針電極10，氣體放電腔體5與外部激勵(lì)電源、儲(chǔ)氣配氣及氣體流動(dòng)、冷卻系統(tǒng)相接，氣體放電腔體5內(nèi)充入CO2-N2-He高純工作氣體。
本實(shí)施例中，全反射腔鏡1朝向氣體放電腔體5內(nèi)側(cè)的表面為鍍金膜面11，輸出腔鏡8朝向氣體放電腔體5內(nèi)側(cè)的表面為具有不同波長(zhǎng)透反特性差別的透反介質(zhì)膜面12，輸出腔鏡8的另一表面為增透膜面13，以此構(gòu)成腔鏡波長(zhǎng)自選擇的封離式腔型結(jié)構(gòu)。
具體工作方式為高壓直流電源施加電壓至預(yù)電離電容和儲(chǔ)能電容上，在開(kāi)關(guān)電路觸發(fā)導(dǎo)通狀態(tài)下，加在電容上的高壓迅速通過(guò)相關(guān)電極進(jìn)行放電，激發(fā)氣體放電腔體5內(nèi)的工作氣體，通過(guò)諧振腔鏡的光反饋放大，形成脈沖激光輸出。
本實(shí)施例中，具體選定輸出腔鏡8上透反介質(zhì)膜面12的特性參數(shù)為對(duì)10.6μm和10.3μm波長(zhǎng)高透、透過(guò)率為80-90％；對(duì)9.6μm和9.3μm波長(zhǎng)部分反射、反射率為50-60％。
從而獲得9.6μm和9.3μm波長(zhǎng)的激光輸出。
該激光器具有較大的激光輸出能量與脈沖重復(fù)頻率，可在牙科硬組織激光治療、印刷電路板及多種塑料的激光打孔打標(biāo)等領(lǐng)域獲得新的應(yīng)用。
權(quán)利要求1.CO2激光腔鏡波長(zhǎng)選擇裝置，其特征是由全反射腔鏡(1)、氣體放電腔體(5)和輸出腔鏡(8)構(gòu)成波長(zhǎng)自選的封離式激光諧振腔，所述輸出腔鏡(8)和全反射腔鏡(1)分別位于氣體放電腔體(5)的前后兩端，所述全反射腔鏡(1)朝向氣體放電腔體(5)內(nèi)側(cè)的表面為鍍金膜面(11)，所述輸出腔鏡(8)朝向氣體放電腔體(5)內(nèi)側(cè)的表面為具有波長(zhǎng)透反特性差別的透反介質(zhì)膜面(12)，朝向腔體外側(cè)的另一表面為增透膜面(13)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CO2激光腔鏡波長(zhǎng)選擇裝置，其特征是所述輸出腔鏡(8)上的透反介質(zhì)膜面(12)為10.6μm和10.3μm波長(zhǎng)高透、9.6μm和9.3μm波長(zhǎng)部分反射的光學(xué)介質(zhì)膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的CO2激光腔鏡波長(zhǎng)選擇裝置，其特征是所述輸出腔鏡(8)上的透反介質(zhì)膜面(12)對(duì)于10.6μm和10.3μm波長(zhǎng)的透過(guò)率為80-90％，對(duì)于9.6μm和9.3μm波長(zhǎng)的反射率為50-60％。
專(zhuān)利摘要CO
文檔編號(hào)H01S3/08GK2713699SQ200420062409
公開(kāi)日2005年7月27日 申請(qǐng)日期2004年7月2日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月2日
發(fā)明者崔益本, 檀亮, 賀龍海 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所