專利名稱：支撐架及應(yīng)用此支撐架的傳送機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種支撐架(Holder)及應(yīng)用此支撐架的傳送機(jī)構(gòu)，特別是涉及一種適于支撐一基板的支撐架及應(yīng)用此支撐架的傳送機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
針對(duì)多媒體社會(huì)的急速進(jìn)步，多半受惠于半導(dǎo)體元件(Semiconductordevice)或人機(jī)顯示裝置的飛躍性進(jìn)步。就人機(jī)顯示裝置而言，具有高畫(huà)質(zhì)、空間利用率佳、低消耗功率、無(wú)輻射等優(yōu)越特性的平面顯示器已逐漸成為市場(chǎng)的主流。
在大部分平面顯示器的制作過(guò)程中，皆會(huì)在一基板上進(jìn)行例如薄膜沉積(Thin film deposition)、微影(photolithography)與蝕刻(Etching)等各種制程。以微影制程為例，其主要包括光阻涂布(Photoresist coating)、曝光(Exposure)、顯影(Development)與光阻去除(Photoresist stripping)等制程。為進(jìn)行上述各類制程，在目前先進(jìn)的自動(dòng)化平面顯示器生產(chǎn)工廠中，大都同時(shí)配置有各式制程設(shè)備。
以微影制程設(shè)備為例，其是將基板置放于一支撐架上，再由一機(jī)械手臂(Robot)將支撐架連同基板移入微影制程設(shè)備的工作腔體(Operatingchamber)中，并將基板置放于一基板置放座上的夾持件(Chuck)后移出支撐架。
請(qǐng)參閱圖1和圖2所示，圖1是現(xiàn)有習(xí)知制程設(shè)備的支撐架進(jìn)出工作腔體的作動(dòng)示意圖，而圖2是圖1的支撐架將基板置放于工作腔體內(nèi)時(shí)的上視圖。支撐架100是由一支撐件110與多個(gè)定位塊130所構(gòu)成。支撐件110具有一支撐面112，定位塊130是配設(shè)于支撐件11O的支撐面112的四個(gè)角落處。當(dāng)一基板50置放于支撐件110的支撐面112上時(shí)，基板5O即會(huì)受到定位塊130的限制而不會(huì)產(chǎn)生水平移動(dòng)。
接著，支撐架100是沿方向D1將基板50送入工作腔體中。工作腔體內(nèi)的一基板置放座60的中央配設(shè)有一夾持件62。當(dāng)支撐架100沿方向D1進(jìn)入工作腔體時(shí)，支撐架100的高度是高于夾持件62的頂面以避免基板5O碰撞到夾持件62。當(dāng)支撐架100到達(dá)定位后即沿方向D2下降，而將基板5O留在夾持件62上。
請(qǐng)參閱圖3所示，是圖2沿I-I′線的剖面圖。請(qǐng)同時(shí)參閱圖1～3，由于基板50厚度極小，所以當(dāng)基板50僅在其中央部份由夾持件62支撐時(shí)，基板50的周緣就會(huì)受到重力影響而下垂。之后，支撐架100即沿方向D3離開(kāi)工作腔體。但是，由于基板50的周緣受到重力影響而下垂，所以當(dāng)支撐架100沿方向D3離開(kāi)工作腔體時(shí)，支撐架100上的定位塊130就常會(huì)卡住基板50的周緣，而使基板50產(chǎn)生偏移或被帶出工作腔體。
承上所述，由于現(xiàn)有習(xí)知的支撐架其設(shè)計(jì)上容易造成基板的偏移或?qū)⒒鍘С龉ぷ髑惑w，不僅容易造成基板的損壞而增加成本，更需要額外的步驟來(lái)將基板重新置放于工作腔體中而耗費(fèi)冗長(zhǎng)的工時(shí)。所以，如何解決上述現(xiàn)有習(xí)知支撐架所存在的缺點(diǎn)，以提高平面顯示器的產(chǎn)能并降低成本，就成為亟待解決的課題。
由此可見(jiàn)，上述現(xiàn)有的支撐架仍存在有諸多的缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決現(xiàn)有的支撐架的缺陷，相關(guān)廠商莫不費(fèi)盡心思來(lái)謀求解決之道，但長(zhǎng)久以來(lái)一直未見(jiàn)適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完成，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問(wèn)題。
有鑒于上述現(xiàn)有的支撐架存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造多年豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及專業(yè)知識(shí)，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的支撐架及應(yīng)用此支撐架的傳送機(jī)構(gòu)，能夠改進(jìn)現(xiàn)有的支撐架，使其更具有實(shí)用性。經(jīng)過(guò)不斷的研究、設(shè)計(jì)，并經(jīng)反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用價(jià)值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的支撐架存在的缺陷，而提供一種新型結(jié)構(gòu)的支撐架及應(yīng)用此支撐架的傳送機(jī)構(gòu)，所要解決的技術(shù)問(wèn)題是使其適于確保即使基板發(fā)生彎曲時(shí)，基板仍可輕易脫離支撐架而不會(huì)受到干擾，從而更加適于實(shí)用。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種支撐架，適于支撐一基板，該支撐架包括一主支撐件，具有一主支撐面；一次支撐件，樞設(shè)于該主支撐件上，該次支撐件具有一次支撐面，而該次支撐件是區(qū)分為一第一部分與一第二部分，其分別位于該次支撐件與該主支撐件的樞設(shè)處的兩側(cè)，該次支撐件適于在一第一位置及一第二位置間運(yùn)動(dòng)，其中該第二部分在該第一位置時(shí)是高于該主支撐面；以及多數(shù)個(gè)定位塊，分別配設(shè)于該主支撐件的該主支撐面上與該次支撐件的該第一部分的該次支撐面上。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
前述的支撐架，其中所述的次支撐件的樞轉(zhuǎn)角度是小于90度。
前述的支撐架，其中所述的主支撐件更具有一底面與一承靠面，該底面是對(duì)應(yīng)于該主支撐面，該承靠面是位于該次支撐件的樞設(shè)處與該底面之間，而該底面與該承靠面的夾角是小于90度。
前述的支撐架，其更包括一恢復(fù)元件，該恢復(fù)元件是配設(shè)于該主支撐件與該次支撐件之間。
前述的支撐架，其中所述的恢復(fù)元件包括壓縮式彈簧(Compressionspring)，且該恢復(fù)元件的一端是連接于該主支撐件上。
前述的支撐架，其中所述的恢復(fù)元件包括壓縮式彈簧，且該恢復(fù)元件的一端是連接于該次支撐件上。
前述的支撐架，其中所述的恢復(fù)元件包括扭轉(zhuǎn)式彈簧(Torsionspring)，且該些恢復(fù)元件是配設(shè)于該次支撐件的樞設(shè)處。
前述的支撐架，其中所述的恢復(fù)元件的兩端分別連接至該次支撐件與該主支撐件。
前述的支撐架，其中所述的定位塊分別具有一導(dǎo)引面，用以導(dǎo)引該基板至該些定位塊之間。
前述的支撐架，其中所述的次支撐件在受該基板的施力而樞轉(zhuǎn)后，該次支撐面是與該主支撐面共面。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還采用以下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。依據(jù)本發(fā)明提出的一種傳送機(jī)構(gòu)，適于傳送一基板，該傳送機(jī)構(gòu)包括一基板置放座；一夾持件，配設(shè)于該基板置放座上，用以在該基板的中央提供支撐；一支撐架，用以支撐該基板并移動(dòng)該基板使其置放于該夾持件上，該支撐架包括一主支撐件，具有一主支撐面；一次支撐件，樞設(shè)于該主支撐件上，該次支撐件具有一次支撐面，而該次支撐件是區(qū)分為一第一部分與一第二部分，其分別位于該次支撐件與該主支撐件的樞設(shè)處的兩側(cè)，該次支撐件適于在一第一位置及一第二位置間運(yùn)動(dòng)，其中該第二部分在該第一位置時(shí)是高于該主支撐面；以及多數(shù)個(gè)定位塊，分別配設(shè)于該主支撐件的該主支撐面上與該次支撐件的該第一部分的該次支撐面上。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
前述的傳送機(jī)構(gòu)，其中所述的次支撐件的樞轉(zhuǎn)角度是小于90度。
前述的傳送機(jī)構(gòu)，其中所述的主支撐件更具有一底面與一承靠面，該底面是對(duì)應(yīng)于該主支撐面，該承靠面是位于該次支撐件的樞設(shè)處與該底面之間，而該底面與該承靠面的夾角是小于90度。
前述的傳送機(jī)構(gòu)，其中所述的支撐架更包括一恢復(fù)元件，該恢復(fù)元件是配設(shè)于該主支撐件與該次支撐件之間。
前述的傳送機(jī)構(gòu)，其中所述的恢復(fù)元件包括壓縮式彈簧，且該恢復(fù)元件的一端是連接于該主支撐件上。
前述的傳送機(jī)構(gòu)，其中所述的恢復(fù)元件包括壓縮式彈簧，且該恢復(fù)元件的一端是連接于該次支撐件上。
前述的傳送機(jī)構(gòu)，其中所述的恢復(fù)元件包括扭轉(zhuǎn)式彈簧，且該恢復(fù)元件是配設(shè)于該次支撐件的樞設(shè)處。
前述的傳送機(jī)構(gòu)，其中所述的恢復(fù)元件的兩端分別連接至該次支撐件與該主支撐件。
前述的傳送機(jī)構(gòu)，其中所述的定位塊分別具有一導(dǎo)引面，用以導(dǎo)引該基板至該些定位塊之間。
前述的傳送機(jī)構(gòu)，其中所述的次支撐件在受該基板的施力而樞轉(zhuǎn)后，該次支撐面是與該主支撐面共面。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。由以上技術(shù)方案可知，為了達(dá)到前述發(fā)明目的，本發(fā)明的主要技術(shù)內(nèi)容如下本發(fā)明提出一種支撐架，適于支撐一基板。此支撐架主要是由一主支撐件、一次支撐件及多個(gè)定位塊所構(gòu)成。
主支撐件具有一主支撐面。次支撐件是樞設(shè)于主支撐件上。次支撐件具有一次支撐面。次支撐件是區(qū)分為一第一部份與一第二部份，其分別位于次支撐件與主支撐件的樞設(shè)處的兩側(cè)。次支撐件適于在一第一位置及一第二位置間運(yùn)動(dòng)。其中，第二部份在第一位置時(shí)是高于主支撐面。多個(gè)定位塊是分別配設(shè)于主支撐件的主支撐面上與次支撐件的第一部分的次支撐面上。
在本實(shí)施例中，次支撐件的樞轉(zhuǎn)角度例如是小于90度。主支撐件例如更具有一底面與一承靠面。底面是對(duì)應(yīng)于主支撐面，承靠面是位于次支撐件的樞設(shè)處與底面之間，而底面與承靠面的夾角是小于90度。支撐架例如更包括一恢復(fù)元件，其配設(shè)于主支撐件與次支撐件之間。恢復(fù)元件例如是壓縮式彈簧(Compression spring)，且恢復(fù)元件的一端是連接于主支撐件上或是次支撐件上?；蛘撸謴?fù)元件例如是扭轉(zhuǎn)式彈簧(Torsion spring)，且恢復(fù)元件是配設(shè)于次支撐件的樞設(shè)處。恢復(fù)元件的兩端例如分別連接至次支撐件與主支撐件，用以限制次支撐件的樞轉(zhuǎn)角度以使其小于90度。每個(gè)定位塊例如分別具有一導(dǎo)引面，用以導(dǎo)引基板至定位塊之間。次支撐件在受基板的施力而樞轉(zhuǎn)后，次支撐面例如是與主支撐面共面。
基于上述目的，本發(fā)明更提出一種傳送機(jī)構(gòu)，適于傳送一基板。此傳送機(jī)構(gòu)主要是由一基板置放座、一夾持件及前一實(shí)施例的支撐架所構(gòu)成。夾持件是配設(shè)于基板置放座上，用以在基板的中央提供支撐。支撐架是用以支撐基板并移動(dòng)基板使其置放于夾持件上，而支撐架的細(xì)部結(jié)構(gòu)是與前一綜上所述，由于基板離開(kāi)支撐架后，次支撐件即會(huì)樞轉(zhuǎn)而使定位塊低于主支撐面，所以本發(fā)明的支撐架可確保支撐架在離開(kāi)工作腔體時(shí)，基板不會(huì)被支撐架碰觸到而產(chǎn)生位移。
借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明至少具有下列優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明支撐架及應(yīng)用此支撐架的傳送機(jī)構(gòu)，是將主支撐件與次支撐件采分離式樞轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)，因此可確保支撐架在離開(kāi)工作腔體時(shí)，次支撐架上的定位塊不會(huì)碰觸到基板，不會(huì)造成基板的偏移或?qū)⒒鍘С龉ぷ髑惑w，減少因基板移位而需停工的機(jī)會(huì)，進(jìn)而提高平面顯示器的產(chǎn)能且降低生產(chǎn)成本，確實(shí)具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。
綜上所述，本發(fā)明特殊結(jié)構(gòu)的支撐架及應(yīng)用此支撐架的傳送機(jī)構(gòu)，適于確保即使基板發(fā)生彎曲時(shí)，基板仍可輕易脫離支撐架而不會(huì)受到干擾。其具有上述諸多的優(yōu)點(diǎn)及實(shí)用價(jià)值，并在同類產(chǎn)品中未見(jiàn)有類似結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)公開(kāi)發(fā)表或使用而確屬創(chuàng)新，其不論在產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)或功能上皆有較大改進(jìn)，在技術(shù)上有較大的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實(shí)用的效果，且較現(xiàn)有的支撐架具有增進(jìn)的多項(xiàng)功效，從而更加適于實(shí)用，而具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價(jià)值，誠(chéng)為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。
上述說(shuō)明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。


圖1是現(xiàn)有習(xí)知制程設(shè)備的支撐架進(jìn)出工作腔體的作動(dòng)示意圖。
圖2是圖1的支撐架將基板置放于工作腔體內(nèi)時(shí)的上視圖。
圖3是圖2中沿I-I′線的剖面圖。
圖4是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的支撐架的上視圖。
圖5是圖4中區(qū)域A的放大圖。
圖6A是圖5中沿II-II′線的剖面圖。
圖6B是將圖6A的基板自支撐架上移開(kāi)后的剖面圖。
圖7是采用扭轉(zhuǎn)式彈簧的支撐架的局部剖面圖。
圖8是本發(fā)明的傳送機(jī)構(gòu)的示意圖。
50基板 60基板置放座62夾持件 100支撐架110支撐件112支撐面130定位塊200支撐架210主支撐件 212主支撐面214承靠面216底面220次支撐件 220a第一部份220b第二部份 222次支撐面224樞設(shè)軸230定位塊
232導(dǎo)引面 240、240a恢復(fù)元件300傳送機(jī)構(gòu)310基板置放座320夾持件 A 區(qū)域D1、D2、D3、D4方向具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的支撐架及應(yīng)用此支撐架的傳送機(jī)構(gòu)其具體結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說(shuō)明如后。
請(qǐng)參閱圖4與圖5所示，圖4是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的支撐架的上視圖，而圖5是圖4的區(qū)域A的放大圖。支撐架200是適于支撐一基板50。支撐架200主要是由一主支撐件210、至少一個(gè)次支撐件220(在此以兩個(gè)為例)以及多個(gè)定位塊230所構(gòu)成。
主支撐件210具有一主支撐面212。次支撐件220以一樞設(shè)軸224而樞設(shè)于主支撐件210的邊緣處。每個(gè)次支撐件220皆具有一次支撐面222。每個(gè)次支撐件220是區(qū)分為一第一部份220a與一第二部份220b，且第一部分220a與第二部分220b是分別位于每個(gè)次支撐件220與主支撐件210的樞設(shè)處的兩側(cè)。次支撐件220適于在一第一位置(如圖6A所示)及一第二位置(如圖6B所示)間運(yùn)動(dòng)。其中，第二部份220b在第二位置時(shí)是高于主支撐面212且至少有部份區(qū)域是位于基板50的置放處，而次支撐件220適于在其第二部份220b受到基板50的作用時(shí)進(jìn)行樞轉(zhuǎn)。多個(gè)定位塊230是分別配設(shè)于主支撐件210的主支撐面212上，以及次支撐件220的第一部份220a的次支撐面222上。定位塊230的配設(shè)位置是對(duì)應(yīng)于基板50的邊緣，因此當(dāng)基板50置于支撐件200上時(shí)，基板50就會(huì)被限制于各個(gè)定位塊230之間，而不會(huì)超出支撐件200的范圍。
請(qǐng)參閱圖6A所示，是圖5中沿II-II′線的剖面圖。當(dāng)基板50置放于支撐架200上時(shí)，基板50會(huì)壓住次支撐件220的第二部份220b，使得次支撐件220以樞設(shè)軸224為轉(zhuǎn)軸而進(jìn)行樞轉(zhuǎn)。此時(shí)，配設(shè)于次支撐面222上的定位塊230就可以阻擋基板50，以避免其發(fā)生位移而達(dá)到定位的功能。同時(shí)，次支撐面222例如是與主支撐面212共面請(qǐng)參閱圖6B所示，是圖6A的基板自支撐架上移開(kāi)后的剖面圖。當(dāng)支撐架200上未置放基板50時(shí)，次支撐件220就會(huì)因重力的關(guān)系而旋轉(zhuǎn)，使得配設(shè)于次支撐面222的第一部份220a上的定位塊230低于主支撐面212，而次支撐面222的第二部份220b則會(huì)高于主支撐面212。
請(qǐng)參閱圖6B與圖7所示，圖7是采用扭轉(zhuǎn)式彈簧的支撐架的局部剖面圖。該支撐架200例如更包括至少一個(gè)恢復(fù)元件240、240a，該恢復(fù)元件240、240a是配設(shè)于主支撐件210與次支撐件220之間。恢復(fù)元件240、240a例如是用以確保當(dāng)基板50離開(kāi)支撐架200后，次支撐件220會(huì)旋轉(zhuǎn)以使定位塊230低于主支撐面212?；謴?fù)元件240例如是壓縮式彈簧，其一端例如是連接于主支撐件上210(如圖6B中恢復(fù)元件240的實(shí)線部份所示)，或是連接于次支撐件220上?；蛘撸謴?fù)元件240a例如是扭轉(zhuǎn)式彈簧，其配設(shè)位置例如是于樞設(shè)軸224上(如圖7所示)。當(dāng)然，恢復(fù)元件240、240a并非本發(fā)明的支撐件200的必要構(gòu)件。
請(qǐng)參閱圖6B所示，在本實(shí)施例中次支撐件220的樞轉(zhuǎn)角度例如是小于90度，如此則可確?；?0置放于支撐架200后，次支撐件220的第二部份220b受到基板施力，并使次支撐件220以方向D4進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。欲使次支撐件220的樞轉(zhuǎn)角度小于90度的手段，例如包括設(shè)計(jì)主支撐件210使其具有一承靠面214，承靠面214是位于次支撐件220的樞設(shè)軸224與主支撐件210的一底面216之間，而底面216與承靠面214的夾角是小于90度。如此，即可利用承靠面214而限制次支撐件220，使其樞轉(zhuǎn)角度小于90度?；蛘撸嗫蓪⒒謴?fù)元件240的兩端分別連接至次支撐件220與主支撐件210(如圖6B中恢復(fù)元件240的實(shí)線加虛線部份所示)，以藉由恢復(fù)元件240的長(zhǎng)度而限制次支撐件220的樞轉(zhuǎn)角度。當(dāng)然，圖7的恢復(fù)元件240a亦可用于限制次支撐件220的樞轉(zhuǎn)角度。
此外，每個(gè)定位塊230例如分別具有一導(dǎo)引面232，用以導(dǎo)引基板50使其更容易定位于至各個(gè)定位塊230之間。定位塊230的硬度例如是小于基板50的硬度，而次支撐件220的硬度例如亦小于基板50的硬度，以避免刮傷基板50。另外，定位塊230的高度例如是大于基板50的厚度，以發(fā)揮最大的定位效果。
請(qǐng)參閱圖6A、6B與圖8所示，圖8是本發(fā)明的傳送機(jī)構(gòu)的示意圖。傳送機(jī)構(gòu)300是由一基板置放座310、一夾持件320及前一實(shí)施例的支撐架200所構(gòu)成。夾持件320是配設(shè)于基板置放座310上，而夾持件320例如是真空吸附式夾持件。支撐架200是用以支撐基板50，并移動(dòng)基板50使其置放于夾持件320上。
當(dāng)支撐架200移動(dòng)基板50，使其位于夾持件320上方的定位，支撐架200即會(huì)下降以將基板50交由基板置放座310上的夾持件320支撐。此時(shí)，由于基板50厚度極小而夾持件320僅在其中央部份提供支撐，所以基板50就容易發(fā)生彎曲而使其周緣下垂。但是，支撐架200在將基板50交由夾持件320支撐后，次支撐件220即會(huì)樞轉(zhuǎn)而使定位塊230例如低于主支撐面212。所以，當(dāng)支撐架200在接著離開(kāi)基板置放座310時(shí)，即使基板50的周緣下垂，定位塊230仍不會(huì)碰觸到基板50而使其產(chǎn)生位移。
而且，當(dāng)基板50置放于支撐架200上時(shí)，次支撐件220即會(huì)受到基板50的施力而樞轉(zhuǎn)，使得定位塊230高于主支撐面212，而次支撐面222例如與主支撐面212共面，以發(fā)揮定位塊230對(duì)基板50的定位功能。
綜上所述，本發(fā)明的支撐架及應(yīng)用此支撐架的傳送機(jī)構(gòu)中，是將主支撐件與次支撐件采分離式樞轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)，因此可確保支撐架在離開(kāi)工作腔體時(shí)，次支撐架上的定位塊不會(huì)碰觸到基板，以減少因基板移位而需停工的機(jī)會(huì)，進(jìn)而提高平面顯示器的產(chǎn)能且降低生產(chǎn)成本。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種支撐架，適于支撐一基板，其特征在于該支撐架包括一主支撐件，其具有一主支撐面；一次支撐件，樞設(shè)于該主支撐件上，該次支撐件具有一次支撐面，而該次支撐件是區(qū)分為一第一部分與一第二部分，其分別位于該次支撐件與該主支撐件的樞設(shè)處的兩側(cè)，該次支撐件適于在一第一位置及一第二位置間運(yùn)動(dòng)，其中該第二部分在該第一位置時(shí)是高于該主支撐面；以及多數(shù)個(gè)定位塊，分別配設(shè)于該主支撐件的該主支撐面上與該次支撐件的該第一部分的該次支撐面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的支撐架，其特征在于其中所述的次支撐件的樞轉(zhuǎn)角度是小于90度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的支撐架，其特征在于其中所述的主支撐件更具有一底面與一承靠面，該底面是對(duì)應(yīng)于該主支撐面，該承靠面是位于該次支撐件的樞設(shè)處與該底面之間，而該底面與該承靠面的夾角是小于90度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的支撐架，其特征在于其更包括一恢復(fù)元件，該恢復(fù)元件是配設(shè)于該主支撐件與該次支撐件之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的支撐架，其特征在于其中所述的恢復(fù)元件包括壓縮式彈簧(Compression spring)，且該恢復(fù)元件的一端是連接于該主支撐件上。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的支撐架，其特征在于其中所述的恢復(fù)元件包括壓縮式彈簧，且該恢復(fù)元件的一端是連接于該次支撐件上。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的支撐架，其特征在于其中所述的恢復(fù)元件包括扭轉(zhuǎn)式彈簧(Torsion spring)，且該些恢復(fù)元件是配設(shè)于該次支撐件的樞設(shè)處。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的支撐架，其特征在于其中所述的恢復(fù)元件的兩端分別連接至該次支撐件與該主支撐件。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的支撐架，其特征在于其中所述的定位塊分別具有一導(dǎo)引面，用以導(dǎo)引該基板至該些定位塊之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的支撐架，其特征在于其中所述的次支撐件在受該基板的施力而樞轉(zhuǎn)后，該次支撐面是與該主支撐面共面。
11.一種傳送機(jī)構(gòu)，適于傳送一基板，其特征在于該傳送機(jī)構(gòu)包括一基板置放座；一夾持件，配設(shè)于該基板置放座上，用以在該基板的中央提供支撐；一支撐架，用以支撐該基板并移動(dòng)該基板使其置放于該夾持件上，該支撐架包括一主支撐件，具有一主支撐面；一次支撐件，樞設(shè)于該主支撐件上，該次支撐件具有一次支撐面，而該次支撐件是區(qū)分為一第一部分與一第二部分，其分別位于該次支撐件與該主支撐件的樞設(shè)處的兩側(cè)，該次支撐件適于在一第一位置及一第二位置間運(yùn)動(dòng)，其中該第二部分在該第一位置時(shí)是高于該主支撐面；以及多數(shù)個(gè)定位塊，分別配設(shè)于該主支撐件的該主支撐面上與該次支撐件的該第一部分的該次支撐面上。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的傳送機(jī)構(gòu)，其特征在于其中所述的次支撐件的樞轉(zhuǎn)角度是小于90度。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的傳送機(jī)構(gòu)，其特征在于其中所述的主支撐件更具有一底面與一承靠面，該底面是對(duì)應(yīng)于該主支撐面，該承靠面是位于該次支撐件的樞設(shè)處與該底面之間，而該底面與該承靠面的夾角是小于90度。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的傳送機(jī)構(gòu)，其特征在于其中所述的支撐架更包括一恢復(fù)元件，該恢復(fù)元件是配設(shè)于該主支撐件與該次支撐件之間。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的傳送機(jī)構(gòu)，其特征在于其中所述的恢復(fù)元件包括壓縮式彈簧，且該恢復(fù)元件的一端是連接于該主支撐件上。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的傳送機(jī)構(gòu)，其特征在于其中所述的恢復(fù)元件包括壓縮式彈簧，且該恢復(fù)元件的一端是連接于該次支撐件上。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的傳送機(jī)構(gòu)，其特征在于其中所述的恢復(fù)元件包括扭轉(zhuǎn)式彈簧，且該恢復(fù)元件是配設(shè)于該次支撐件的樞設(shè)處。
18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的傳送機(jī)構(gòu)，其特征在于其中所述的恢復(fù)元件的兩端分別連接至該次支撐件與該主支撐件。
19.根據(jù)權(quán)利要求11所述的傳送機(jī)構(gòu)，其特征在于其中所述的定位塊分別具有一導(dǎo)引面，用以導(dǎo)引該基板至該些定位塊之間。
20.根據(jù)權(quán)利要求11所述的傳送機(jī)構(gòu)，其特征在于其中所述的次支撐件在受該基板的施力而樞轉(zhuǎn)后，該次支撐面是與該主支撐面共面。
全文摘要
本發(fā)明是關(guān)于一種支撐架及應(yīng)用此支撐架的傳送機(jī)構(gòu)，該支撐架適于支撐一基板。該支撐架主要由一主支撐件、一次支撐件及多個(gè)定位塊所構(gòu)成。主支撐件具有一主支撐面，次支撐件是樞設(shè)于主支撐件上且具有一次支撐面。次支撐件區(qū)分為一第一部分與一第二部分，分別位于次支撐件與主支撐件的樞設(shè)處兩側(cè)，次支撐件適于在一第一位置及一第二位置間運(yùn)動(dòng)。其中，第二部分在第一位置時(shí)是高于主支撐面。定位塊分別配設(shè)于主支撐件的主支撐面上，以及次支撐件的第一部分的次支撐面上。本發(fā)明可確保支撐架離開(kāi)工作腔體時(shí)，次支撐架上的定位塊不會(huì)碰到基板，不會(huì)造成基板偏移或帶出工作腔體，減少因基板移位而需停工的機(jī)會(huì)，進(jìn)而可提高平面顯示器的產(chǎn)能且降低生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)H01L21/67GK1564316SQ20041000796
公開(kāi)日2005年1月12日 申請(qǐng)日期2004年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月23日
發(fā)明者徐順龍, 楓政國(guó), 沈秋威, 曾煥均 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司