專利名稱：判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)與方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)與方法，特別涉及一種具有自學(xué)(Self-learning)機(jī)制的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)與方法。
背景技術(shù)：
當(dāng)半導(dǎo)體機(jī)臺有異常狀況發(fā)生時，半導(dǎo)體機(jī)臺會觸發(fā)(Trigger)一個異常狀態(tài)，此異常狀態(tài)可為當(dāng)機(jī)事件(Down Event)，或一個重大警報(Critical Alarm)事件。設(shè)備工程師在獲悉半導(dǎo)體機(jī)臺發(fā)生異常狀態(tài)之后，首先必須至計算機(jī)整合制造(Computer Integrated Manufacture；CIM)系統(tǒng)的警報子系統(tǒng)中，找出所有相關(guān)的警報；或至制造執(zhí)行子系統(tǒng)(Manufacture Execution System；MES)，找出當(dāng)機(jī)事件的數(shù)據(jù)。接著，到計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的其它子系統(tǒng)中，例如統(tǒng)計制程管制(Statistical Process Control；SPC)子系統(tǒng)、實(shí)時監(jiān)視(Real-Time Monitoring；RTM)子系統(tǒng)、預(yù)防維修子系統(tǒng)(PreventiveMaintenance System；PMS)、異常處理記錄子系統(tǒng)和微粒圖(Particle Map)子系統(tǒng)等，逐一找出相關(guān)數(shù)據(jù)。然后，依照某些診斷規(guī)則檢查每一個子系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)，并將檢查結(jié)果對應(yīng)關(guān)聯(lián)至多個異常根本原因(Root-Causes)，這些異常根本原因由半導(dǎo)體機(jī)臺制造商所提供，例如機(jī)構(gòu)原因、微粒原因、制程原因和設(shè)備原因等，以供設(shè)備工程師解決障礙(Trouble-shooting)和恢復(fù)機(jī)臺運(yùn)轉(zhuǎn)。每一個異常根本原因通常具有多個子原因(Sub-causes)，例如制程原因具有壓力、溫度、制程時間和排氣等子原因。由于計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的子系統(tǒng)數(shù)目相當(dāng)多，其中的數(shù)據(jù)與參數(shù)繁多，對應(yīng)關(guān)聯(lián)至異常根本原因與其子原因的關(guān)系更是錯綜復(fù)雜，故必須遵循適當(dāng)?shù)脑\斷規(guī)則來尋找造成當(dāng)機(jī)事件或重大警報事件的原因，才可能找到造成機(jī)臺異常的原因。
一般而言，半導(dǎo)體機(jī)臺制造商或計算機(jī)整合制造系統(tǒng)會提供若干標(biāo)準(zhǔn)的診斷規(guī)則，以供設(shè)備工程師參考使用。然而，對新進(jìn)工程師而言，學(xué)習(xí)如何使用這些診斷規(guī)則來解決障礙和恢復(fù)機(jī)臺運(yùn)轉(zhuǎn)，往往需要相當(dāng)長的學(xué)習(xí)時間。而且，標(biāo)準(zhǔn)診斷規(guī)則的效率并不明顯，工程師往往須先加以整合，再配合本身的經(jīng)驗，方能順利地找出造成異常的正確原因。加上，標(biāo)準(zhǔn)診斷規(guī)則常無法順利地幫助工程師解決某些特殊情況，故新進(jìn)工程師常需求助于經(jīng)驗豐富的資深工程師。當(dāng)資深工程師使用由其經(jīng)驗而得之的獨(dú)特的診斷規(guī)則來解決問題后，由于缺乏整合機(jī)制，此寶貴的專家知識無法被保存，使得下次遇到同樣的問題時，必須再次詢問此資深工程師。若此資深工程師因調(diào)換部門或離職，則此寶貴的專家知識將流失。另一方面，診斷結(jié)果通常為許多造成異常的原因，工程師必須自其中找出造成異常的正確原因。由于缺乏辨識各診斷結(jié)果的重要程度的機(jī)制，工程師必須依靠其經(jīng)驗來找出哪個是最可能的原因，于是經(jīng)驗多的工程師便可較容易地找出正確原因，而經(jīng)驗少的工程師就必須花費(fèi)許多時間一一檢驗診斷結(jié)果，方可能找出正確原因。綜上所述，公知的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的方法耗費(fèi)了許多人力物力，還可能會流失寶貴的專家知識，造成難以彌補(bǔ)的損失。
因此，非常需要發(fā)展出一種判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)與方法，借以克服前述的學(xué)習(xí)時間過長；缺乏有效的異常診斷程序；無法保存與分享工程師的專家經(jīng)驗與知識；以及無法有效地分辨各診斷結(jié)果的重要程度等缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是在提供一種判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)與方法，借以提供系統(tǒng)化的診斷程序，來整合計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的子系統(tǒng)的數(shù)據(jù)，使其對應(yīng)關(guān)聯(lián)至異常根本原因，因而縮短工程師的學(xué)習(xí)時間。
本發(fā)明的又一目的就是在提供一種判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)與方法，借以有效地保存并分享專家經(jīng)驗與知識。
本發(fā)明的再一目的就是在提供一種判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)與方法，借以標(biāo)示各診斷結(jié)果的重要程度，來讓工程師順利地辨識哪些是最可能造成異常的原因。
本發(fā)明可通過如下措施實(shí)現(xiàn)
一種判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)，用以處理一半導(dǎo)體機(jī)臺所觸發(fā)的一異常狀態(tài)，該判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)至少包括一異常原因推理引擎，其中該異常原因推理引擎至少包括一異常原因診斷組件，其中該異常原因診斷組件具有多個診斷規(guī)則，用以提供給使用者多個診斷結(jié)果，一部分的這些診斷規(guī)則是用來逐一檢查一計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的多個子系統(tǒng)的數(shù)據(jù)，并對應(yīng)關(guān)聯(lián)至多個異常根本原因；以及一自學(xué)機(jī)制組件，其中該自學(xué)機(jī)制組件將該使用者針對該些診斷結(jié)果所產(chǎn)生的多個判定意見，整合成另一部分的該些診斷規(guī)則，該自學(xué)機(jī)制組件還提供給每一該些診斷結(jié)果一參考比重值，借以讓該使用者認(rèn)知每一該些診斷結(jié)果的重要程度。
還至少包括一結(jié)果數(shù)據(jù)庫，用來儲存該些診斷結(jié)果和每一該些診斷結(jié)果的該參考比重值；以及一異常事件數(shù)據(jù)庫，用來儲存該些判定意見。
該使用者是使用一障礙診斷與處理裝置，針對該些診斷結(jié)果來產(chǎn)生該些判定意見，該障礙診斷與處理裝置具有一機(jī)臺當(dāng)機(jī)狀態(tài)、一重大警報狀態(tài)和一障礙處理交接記錄；該使用者是使用一異常分析裝置，來分析該半導(dǎo)體機(jī)臺的一重大警報歷史記錄、一機(jī)臺當(dāng)機(jī)歷史記錄和一障礙處理歷史記錄。
該異常狀態(tài)是選自于由當(dāng)機(jī)事件以及重大警報事件所組成的一族群。
該計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的該些子系統(tǒng)至少包括一警報子系統(tǒng)，其中該重大警報事件是通過該警報子系統(tǒng)進(jìn)入該異常原因推理引擎；一制造執(zhí)行子系統(tǒng)，其中該當(dāng)機(jī)事件是通過該制造執(zhí)行子系統(tǒng)進(jìn)入該異常原因推理引擎；一統(tǒng)計制程管制子系統(tǒng)；一實(shí)時監(jiān)視子系統(tǒng)；一預(yù)防維修子系統(tǒng)；一異常處理記錄子系統(tǒng)；以及一微粒圖子系統(tǒng)。
一種判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的方法，通過一異常原因推理引擎，來處理一半導(dǎo)體機(jī)臺所觸發(fā)的一異常狀態(tài)，該判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的方法至少包括提供多個診斷規(guī)則，其中部分的該些診斷規(guī)則是用來逐一檢查一計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的多個子系統(tǒng)的數(shù)據(jù)，并對應(yīng)關(guān)聯(lián)至多個異常根本原因；檢查該異常狀態(tài)是否已存在于該些診斷規(guī)則中，并產(chǎn)生一第一檢查結(jié)果；若該第一檢查結(jié)果為“是”，則根據(jù)該些診斷規(guī)則產(chǎn)生多個診斷結(jié)果和每一該些診斷結(jié)果的一參考比重值；若該第一檢查結(jié)果為“否”，則根據(jù)該些異常根本原因中的最相似者產(chǎn)生該些診斷結(jié)果和每一該些診斷結(jié)果的該參考比重值；將該些診斷結(jié)果和每一該些診斷結(jié)果的該參考比重值傳送至一使用者，其中該參考比重值是用來讓該使用者認(rèn)知每一該些診斷結(jié)果的重要程度；該使用者檢查該些診斷結(jié)果，并產(chǎn)生多個判定意見；檢查每一該些診斷結(jié)果是否與每一該些判定意見相同，并產(chǎn)生一第二檢查結(jié)果；若該第二檢查結(jié)果為“是”，則增加每一該些診斷結(jié)果的該參考比重值；以及若該第二檢查結(jié)果為“否”，則將每一該些判定意見加入該些診斷規(guī)則中，并給予一起始比重值。
該異常原因推理引擎至少包括一異常原因診斷組件，其中該異常原因診斷組件具有該些診斷規(guī)則；以及一自學(xué)機(jī)制組件，其中該自學(xué)機(jī)制組件將該些判定意見加入該些診斷規(guī)則中，并提供每一該些診斷結(jié)果的該參考比重值。
還至少包括儲存該些診斷結(jié)果和每一該些診斷結(jié)果的該參考比重值至一結(jié)果數(shù)據(jù)庫；以及儲存該些判定意見至一異常事件數(shù)據(jù)庫。
該異常狀態(tài)選自于由當(dāng)機(jī)事件以及重大警報事件所組成的一族群。
該計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的該些子系統(tǒng)至少包括一警報子系統(tǒng)，其中該重大警報事件是通過該警報子系統(tǒng)進(jìn)入該異常原因推理引擎；一制造執(zhí)行子系統(tǒng)，其中該當(dāng)機(jī)事件是通過該制造執(zhí)行子系統(tǒng)進(jìn)入該異常原因推理引擎；一統(tǒng)計制程管制子系統(tǒng)；一實(shí)時監(jiān)視子系統(tǒng)；一預(yù)防維修子系統(tǒng)；一異常處理記錄子系統(tǒng)；以及一微粒圖子系統(tǒng)。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于本發(fā)明提供一種判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)與方法，借以提供系統(tǒng)化的診斷程序，來整合計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的子系統(tǒng)的數(shù)據(jù)，使其對應(yīng)關(guān)聯(lián)至異常根本原因，從而可縮短工程師的學(xué)習(xí)時間，提供有效的異常診斷程序；檢查每一個診斷結(jié)果是否與每一個工程師所給的判定意見相同，如不相同，則將判定意見加入診斷規(guī)則中，并給此判定意見一起始比重值，從而保存與分享工程師的專家經(jīng)驗與知識；通過給與每一個診斷結(jié)果一個參考比重值，并根據(jù)診斷結(jié)果被使用者參考使用的次數(shù)，來增加其參考比重值，以有效地分辨各診斷結(jié)果的重要程度。


圖1為繪示本發(fā)明的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)的示意圖；圖2為繪示本發(fā)明的較佳實(shí)施例的異常原因診斷組件的功能示意圖；圖3為繪示本發(fā)明的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的方法的流程示意圖。
其中，附圖標(biāo)記說明如下100計算機(jī)整合制造系統(tǒng)102警報子系統(tǒng)104制造執(zhí)行子系統(tǒng)106統(tǒng)計制程管制子系統(tǒng)108實(shí)時監(jiān)視子系統(tǒng)110預(yù)防維修子系統(tǒng)112異常處理記錄子系統(tǒng)114微粒圖子系統(tǒng)200異常原因推理引擎
210異常原因診斷組件212診斷規(guī)則214異常根本原因216參考比重值218診斷結(jié)果220自學(xué)機(jī)制組件300障礙診斷與處理裝置310機(jī)臺當(dāng)機(jī)狀態(tài)318判定意見320重大警報狀態(tài)330障礙處理交接記錄400異常分析裝置410重大警報歷史記錄420機(jī)臺當(dāng)機(jī)歷史記錄430障礙處理歷史記錄520異常事件數(shù)據(jù)庫530半導(dǎo)體機(jī)臺560結(jié)果數(shù)據(jù)庫610觸發(fā)重大警報事件620觸發(fā)當(dāng)機(jī)事件700提供診斷規(guī)則710觸發(fā)異常狀態(tài)712檢查此異常狀態(tài)是否已存在于診斷規(guī)則中？714根據(jù)診斷規(guī)則產(chǎn)生診斷結(jié)果和其參考比重值716根據(jù)異常根本原因中之最相似者產(chǎn)生診斷結(jié)果和其參考比重值718傳送至使用者720使用者檢查診斷結(jié)果并產(chǎn)生判定意見722檢查每一診斷結(jié)果是否與每一判定意見相同？724增加診斷結(jié)果的參考比重值726將判定意見加入診斷規(guī)則中并給予起始比重值
728儲存至異常事件數(shù)據(jù)庫730儲存至結(jié)果數(shù)據(jù)庫750結(jié)束執(zhí)行具體實(shí)施方式
本發(fā)明的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)與方法是使用診斷規(guī)則，以針對半導(dǎo)體機(jī)臺的異常狀態(tài)產(chǎn)生診斷結(jié)果。本發(fā)明還使用自學(xué)機(jī)制，以將使用者的專家知識，自動整合成診斷規(guī)則，并提供每一個診斷結(jié)果一個參考比重值。
請參照圖1，其繪示本發(fā)明的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)的示意圖。此判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)主要構(gòu)件是異常原因推理引擎200，其中異常原因推理引擎200至少包括異常原因診斷組件210和自學(xué)機(jī)制組件220。首先，將計算機(jī)整合制造系統(tǒng)100中的多個子系統(tǒng)連結(jié)至異常原因推理引擎200，其中計算機(jī)整合制造系統(tǒng)100至少包括警報子系統(tǒng)102、制造執(zhí)行子系統(tǒng)104、統(tǒng)計制程管制子系統(tǒng)106、實(shí)時監(jiān)視子系統(tǒng)108、預(yù)防維修子系統(tǒng)110、異常處理記錄子系統(tǒng)112以及微粒圖子系統(tǒng)114。當(dāng)半導(dǎo)體機(jī)臺530發(fā)生異常而觸發(fā)重大警報事件(步驟610)或觸發(fā)當(dāng)機(jī)事件(步驟620)，其中重大警報事件是通過警報子系統(tǒng)102進(jìn)入異常原因推理引擎200；當(dāng)機(jī)事件是通過制造執(zhí)行子系統(tǒng)104進(jìn)入異常原因推理引擎200。
計算機(jī)整合制造系統(tǒng)100的各子系統(tǒng)的數(shù)據(jù)輸入至異常原因推理引擎200，以供異常原因診斷組件210建立多個診斷規(guī)則(未繪示)，這些診斷規(guī)則是用來提供使用者多個診斷結(jié)果218。自學(xué)機(jī)制組件220還提供每一個診斷結(jié)果218一個參考比重值216，參考比重值216是用來表示診斷結(jié)果218的重要程度，以供使用者參考，其中參考比重值216為使用者所賦予的加權(quán)指數(shù)，而診斷結(jié)果218和診斷結(jié)果218的參考比重值216是儲存至結(jié)果數(shù)據(jù)庫560。使用者在收到診斷結(jié)果218后，會使用具有圖形用戶界面(Graphic UserInterface；GUI；未繪示)的障礙診斷與處理裝置300，針對診斷結(jié)果218來產(chǎn)生多個判定意見318，并將判定意見318回饋至異常原因推理引擎200，其中判定意見是儲存至異常事件數(shù)據(jù)庫520。然后，自學(xué)機(jī)制組件220比較每一個診斷結(jié)果218與判定意見318，若二者相同，即代表使用者同意診斷結(jié)果218為造成異常的原因，因而增加其參考比重值216。當(dāng)越多使用者同意此診斷結(jié)果218，則其參考比重值216越高，使用者便可據(jù)此得知此診斷結(jié)果218的重要性。于是，使用者在尋找造成異常的正確原因時，便會優(yōu)先考慮參考比重值216越高的診斷結(jié)果218，因而避免浪費(fèi)時間。相反地，若診斷結(jié)果218與判定意見318不同，即代表使用者不同意診斷結(jié)果218為造成異常的原因，因而自行建立新的異常原因(即判定意見318)，此時異常原因推理引擎200會將判定意見318整合至診斷規(guī)則中，并給予一起始比重值。于是，當(dāng)下回半導(dǎo)體機(jī)臺530發(fā)生同樣的異常時，異常原因推理引擎200便可以提供此新的異常原因。另外，使用者也可使用具有圖形用戶界面的異常分析裝置400，來分析該半導(dǎo)體機(jī)臺的異常歷史記錄。
請參照圖2，其繪示本發(fā)明的較佳實(shí)施例的異常原因診斷組件的功能示意圖。異常原因診斷組件210的主要功能為建立診斷規(guī)則212，其中如前所述，部分的診斷規(guī)則212是使用者自行建立的異常原因(即判定意見)。而另一部分診斷規(guī)則212則是用來逐一檢查計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的子系統(tǒng)的數(shù)據(jù)，并對應(yīng)關(guān)聯(lián)至多個異常根本原因214，如第2圖所示，異常根本原因214包括有機(jī)構(gòu)原因、微粒原因、制程原因和設(shè)備原因等，而每一個異常根本原因214還具有多個子原因(未繪示)，例如制程原因具有壓力、溫度、制程時間和排氣等。診斷規(guī)則212可由機(jī)臺制造商提供，或由訪談(Interview)工程師而得。舉例而言，當(dāng)機(jī)臺發(fā)生異常時，診斷規(guī)則212先檢查實(shí)時監(jiān)視子系統(tǒng)108的數(shù)據(jù)庫中的參數(shù)是否超過界限(Out Of Control；OOC)，如結(jié)果為“是”，則至異常根本原因214的制程原因中檢驗其子原因(如壓力、溫度、制程時間和排氣等)。
另外，障礙診斷與處理裝置300具有機(jī)臺當(dāng)機(jī)狀態(tài)310、重大警報狀態(tài)320和障礙處理交接記錄330，其中診斷結(jié)果218輸入至機(jī)臺當(dāng)機(jī)狀態(tài)310，警報子系統(tǒng)102將重大警報數(shù)據(jù)輸入至重大警報狀態(tài)320，而制造執(zhí)行子系統(tǒng)104和異常處理記錄子系統(tǒng)112將當(dāng)機(jī)數(shù)據(jù)與異常處理記錄輸入至障礙處理交接記錄330。異常分析裝置400具有重大警報歷史記錄410、機(jī)臺當(dāng)機(jī)歷史記錄420和障礙處理歷史記錄430，其中警報子系統(tǒng)102將重大警報數(shù)據(jù)輸入至重大警報歷史記錄410，制造執(zhí)行子系統(tǒng)104將當(dāng)機(jī)數(shù)據(jù)輸入至機(jī)臺當(dāng)機(jī)歷史記錄420，而異常處理記錄子系統(tǒng)112將異常處理記錄輸入至障礙處理歷史記錄430。
本發(fā)明的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的方法的流程說明如下請參照圖3，其為繪示本發(fā)明的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的方法的流程示意圖。首先，進(jìn)行步驟700以提供多個診斷規(guī)則，如上所述，部分的診斷規(guī)則是用來逐一檢查計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的多個子系統(tǒng)的數(shù)據(jù)，并對應(yīng)關(guān)聯(lián)至多個異常根本原因，而另一部分的診斷規(guī)則是由使用者的判定意見而得。當(dāng)機(jī)臺發(fā)生異常而觸發(fā)異常狀態(tài)時(步驟710)，此異常狀態(tài)可為當(dāng)機(jī)事件、重大警報事件、或二者皆是，進(jìn)行步驟712，以檢查此異常狀態(tài)是否已存在于診斷規(guī)則中？若步驟712的檢查結(jié)果為“是”，則根據(jù)診斷規(guī)則產(chǎn)生多個診斷結(jié)果和每一個診斷結(jié)果的參考比重值(步驟714)；若步驟712的檢查結(jié)果為“否”，則根據(jù)異常根本原因中的最相似者產(chǎn)生診斷結(jié)果和每一個診斷結(jié)果的參考比重值(步驟716)。由于此時無法憑借診斷規(guī)則，在異常根本原因中找出造成機(jī)臺的異常狀態(tài)的原因，故僅能以異常根本原因中的最相似者作為造成異常狀態(tài)的最可能原因，來提供診斷結(jié)果。
接著，進(jìn)行步驟718，以將診斷結(jié)果和每一個診斷結(jié)果的參考比重值傳送至使用者，其中此參考比重值是用來讓使用者認(rèn)知每一個診斷結(jié)果的重要程度。然后使用者檢查診斷結(jié)果，并產(chǎn)生多個判定意見(步驟720)。所謂判定意見即是針對診斷結(jié)果而制作，當(dāng)使用者判定診斷結(jié)果為可接受時，即以診斷結(jié)果為判定意見；而若使用者判定診斷結(jié)果為不可接受時，則使用者自行舉出其中原因為判定意見。接著，進(jìn)行步驟722，以檢查每一個診斷結(jié)果是否與每一個判定意見相同？若步驟722的檢查結(jié)果為“是”，則增加每一個診斷結(jié)果的參考比重值。本發(fā)明的主要特征之一為給與每一個診斷結(jié)果一個參考比重值，并根據(jù)診斷結(jié)果被使用者參考使用的次數(shù)，來增加其參考比重值。若步驟722的檢查結(jié)果為“否”，則將判定意見加入診斷規(guī)則中，并給此判定意見一起始比重值。然后，結(jié)束執(zhí)行(步驟750)。
另外，完成步驟714后，可進(jìn)行步驟730，以儲存診斷結(jié)果和每一個診斷結(jié)果參考比重值至結(jié)果數(shù)據(jù)庫。完成步驟720后，可進(jìn)行步驟728，以儲存判定意見至異常事件數(shù)據(jù)庫。
由上述本發(fā)明較佳實(shí)施例可知，應(yīng)用本發(fā)明的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)與方法的優(yōu)點(diǎn)為大幅地縮短學(xué)習(xí)時間；提供有效的異常診斷程序，整合計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的子系統(tǒng)的數(shù)據(jù)，使其對應(yīng)關(guān)聯(lián)至異常根本原因；自動保存與分享工程師的專家經(jīng)驗與知識；以及有效地分辨各診斷結(jié)果的重要程度。因而大幅地節(jié)省人力物力，更能避免寶貴的專家知識的流失。
雖然本發(fā)明已以一較佳實(shí)施例揭示如上，但其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉此項技術(shù)的人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)然可作各種的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)以后附的權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)，用以處理一半導(dǎo)體機(jī)臺所觸發(fā)的一異常狀態(tài)，其特征在于該判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)至少包括一異常原因推理引擎，其中該異常原因推理引擎至少包括一異常原因診斷組件，其中該異常原因診斷組件具有多個診斷規(guī)則，用以提供給使用者多個診斷結(jié)果，一部分的這些診斷規(guī)則是用來逐一檢查一計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的多個子系統(tǒng)的數(shù)據(jù)，并對應(yīng)關(guān)聯(lián)至多個異常根本原因；以及一自學(xué)機(jī)制組件，其中該自學(xué)機(jī)制組件將該使用者針對該些診斷結(jié)果所產(chǎn)生的多個判定意見，整合成另一部分的該些診斷規(guī)則，該自學(xué)機(jī)制組件還提供給每一該些診斷結(jié)果一參考比重值，借以讓該使用者認(rèn)知每一該些診斷結(jié)果的重要程度。
2.如權(quán)利要求1所述的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)，其特征在于還至少包括一結(jié)果數(shù)據(jù)庫，用來儲存該些診斷結(jié)果和每一該些診斷結(jié)果的該參考比重值；以及一異常事件數(shù)據(jù)庫，用來儲存該些判定意見。
3.如權(quán)利要求1所述的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)，其特征在于該使用者是使用一障礙診斷與處理裝置，針對該些診斷結(jié)果來產(chǎn)生該些判定意見，該障礙診斷與處理裝置具有一機(jī)臺當(dāng)機(jī)狀態(tài)、一重大警報狀態(tài)和一障礙處理交接記錄；該使用者是使用一異常分析裝置，來分析該半導(dǎo)體機(jī)臺的一重大警報歷史記錄、一機(jī)臺當(dāng)機(jī)歷史記錄和一障礙處理歷史記錄。
4.如權(quán)利要求1所述的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)，其特征在于該異常狀態(tài)是選自于由當(dāng)機(jī)事件以及重大警報事件所組成的一族群。
5.如權(quán)利要求4所述的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)，其特征在于該計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的該些子系統(tǒng)至少包括一警報子系統(tǒng)，其中該重大警報事件是通過該警報子系統(tǒng)進(jìn)入該異常原因推理引擎；一制造執(zhí)行子系統(tǒng)，其中該當(dāng)機(jī)事件是通過該制造執(zhí)行子系統(tǒng)進(jìn)入該異常原因推理引擎；一統(tǒng)計制程管制子系統(tǒng)；一實(shí)時監(jiān)視子系統(tǒng)；一預(yù)防維修子系統(tǒng)；一異常處理記錄子系統(tǒng)；以及一微粒圖子系統(tǒng)。
6.一種判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的方法，通過一異常原因推理引擎，來處理一半導(dǎo)體機(jī)臺所觸發(fā)的一異常狀態(tài)，其特征在于該判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的方法至少包括提供多個診斷規(guī)則，其中部分的該些診斷規(guī)則是用來逐一檢查一計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的多個子系統(tǒng)的數(shù)據(jù)，并對應(yīng)關(guān)聯(lián)至多個異常根本原因；檢查該異常狀態(tài)是否已存在于該些診斷規(guī)則中，并產(chǎn)生一第一檢查結(jié)果；若該第一檢查結(jié)果為“是”，則根據(jù)該些診斷規(guī)則產(chǎn)生多個診斷結(jié)果和每一該些診斷結(jié)果的一參考比重值；若該第一檢查結(jié)果為“否”，則根據(jù)該些異常根本原因中的最相似者產(chǎn)生該些診斷結(jié)果和每一該些診斷結(jié)果的該參考比重值；將該些診斷結(jié)果和每一該些診斷結(jié)果的該參考比重值傳送至一使用者，其中該參考比重值是用來讓該使用者認(rèn)知每一該些診斷結(jié)果的重要程度；該使用者檢查該些診斷結(jié)果，并產(chǎn)生多個判定意見；檢查每一該些診斷結(jié)果是否與每一該些判定意見相同，并產(chǎn)生一第二檢查結(jié)果；若該第二檢查結(jié)果為“是”，則增加每一該些診斷結(jié)果的該參考比重值；以及若該第二檢查結(jié)果為“否”，則將每一該些判定意見加入該些診斷規(guī)則中，并給予一起始比重值。
7.如權(quán)利要求6所述的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的方法，其特征在于該異常原因推理引擎至少包括一異常原因診斷組件，其中該異常原因診斷組件具有該些診斷規(guī)則；以及一自學(xué)機(jī)制組件，其中該自學(xué)機(jī)制組件將該些判定意見加入該些診斷規(guī)則中，并提供每一該些診斷結(jié)果的該參考比重值。
8.如權(quán)利要求6所述的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的方法，其特征在于還至少包括儲存該些診斷結(jié)果和每一該些診斷結(jié)果的該參考比重值至一結(jié)果數(shù)據(jù)庫；以及儲存該些判定意見至一異常事件數(shù)據(jù)庫。
9.如權(quán)利要求6所述的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的方法，其特征在于該異常狀態(tài)選自于由當(dāng)機(jī)事件以及重大警報事件所組成的一族群。
10.如權(quán)利要求9所述的判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的方法，其特征在于該計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的該些子系統(tǒng)至少包括一警報子系統(tǒng)，其中該重大警報事件是通過該警報子系統(tǒng)進(jìn)入該異常原因推理引擎；一制造執(zhí)行子系統(tǒng)，其中該當(dāng)機(jī)事件是通過該制造執(zhí)行子系統(tǒng)進(jìn)入該異常原因推理引擎；一統(tǒng)計制程管制子系統(tǒng)；一實(shí)時監(jiān)視子系統(tǒng)；一預(yù)防維修子系統(tǒng)；一異常處理記錄子系統(tǒng)；以及一微粒圖子系統(tǒng)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種判斷造成半導(dǎo)體機(jī)臺異常原因的系統(tǒng)與方法；本發(fā)明使用診斷規(guī)則，來逐一檢查計算機(jī)整合制造系統(tǒng)的子系統(tǒng)的數(shù)據(jù)，并對應(yīng)關(guān)聯(lián)至異常根本原因，以針對半導(dǎo)體機(jī)臺的異常狀態(tài)產(chǎn)生診斷結(jié)果；本發(fā)明還具有自學(xué)機(jī)制，借此將使用者針對診斷結(jié)果所產(chǎn)生的判定意見，自動整合成診斷規(guī)則，并提供每一個診斷結(jié)果一個參考比重值，讓使用者得以認(rèn)知每一個診斷結(jié)果的重要程度。
文檔編號H01L21/00GK1542902SQ0312432
公開日2004年11月3日 申請日期2003年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2003年4月29日
發(fā)明者盧景山, 陳世融 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司