專利名稱：固體波導(dǎo)激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是一種固體波導(dǎo)激光器，主要涉及到用固體波導(dǎo)形成高功率、高效率、高亮度的激光器。
背景技術(shù)：
形成高功率高亮度的固體激光，是人們長期努力的重要目標，但是一直不很成功。采用摻釹釔鋁石榴石晶體(Nd:YAG)棒狀介質(zhì)，用半導(dǎo)體激光光泵已能產(chǎn)生數(shù)千瓦激光，而且電效率接近20％(參見在先技術(shù)[1]RIPE 5thProceeding(2001))但是由于熱變形和雙折射，光束質(zhì)量很差。將激光介質(zhì)改為板狀，并使光束在板內(nèi)數(shù)次全反射行進，希望克服熱變形的影響(參見在先技術(shù)[2]IEEE J.Quant.Electron。QE-20(1984)289)；或用很薄的片，使光泵和激光都近于垂直表面行進(參見在先技術(shù)[3]Adv.Solid State Lases，OSA，1996P.11)，都未能得到滿意的結(jié)果。最近，采用Nd:YAG薄片作為波導(dǎo)，并在垂直波導(dǎo)的方向用不穩(wěn)腔時，波導(dǎo)YAG激光可以輸出150W，并且光束質(zhì)量M2近于1(參見在先技術(shù)[4]Opt.Express 10(2002)297；在先技術(shù)[5]Opt.Lett27(2002)524；在先技術(shù)[6]Opt.Comm，191(2001)125)。但是由于激光諧振腔結(jié)構(gòu)不很好，并因寄生振蕩及照明效率不高，器件光效率僅為35％(電效率達10％)，激光質(zhì)量也仍有問題，而且由于采用YAG為介質(zhì)，尺寸受限，功率也不易提高。
上述在先技術(shù)[6]中，如圖1，表示采用Nd:YAG作為波導(dǎo)激光介質(zhì)的波導(dǎo)激光簡圖。Nd:YAG波導(dǎo)介質(zhì)1長60mm、寬11mm、厚0.2mm，由于摻雜與不摻雜的YAG折射率差約0.0011，故波導(dǎo)的數(shù)值孔徑NA＝0.06。因為0.2×0.06＞＞λ(波長)，所以是多模波導(dǎo)，實驗表明激光在這一方向(Y方向)的質(zhì)量因子M2＝6，當(dāng)前腔鏡3遠離波導(dǎo)介質(zhì)1，使高階模耗損加大(d2＝2.5mm)，可使M2＝4.3，但由于基模也因此而損耗加大，效率下降。
圖1-2表示它采用的激光諧振腔為不穩(wěn)腔結(jié)構(gòu)，它由后腔鏡2是半徑500mm的凹面反射鏡和前腔鏡3是半徑415mm的凸面反射鏡組成，倍率為1.2X?？墒惯@個方向(X方向)M2＝1.5。上述M2值都是指低功率情況下的值，當(dāng)功率加大時，由于波導(dǎo)介質(zhì)不均勻，M2大得多。
上述的在先技術(shù)采用的激光諧振腔結(jié)構(gòu)和參數(shù)，對于模式的選擇區(qū)分能力較差，尤其是在波導(dǎo)方向上更不好。
在先技術(shù)[7](Opt.Lett./vol.21，No.8/April 15，1996)采用半導(dǎo)體激光二維列陣9通過帶縫反射鏡10泵浦置放在光泵腔體11內(nèi)的波導(dǎo)層102。如圖7所示。其中光泵腔體11是反射率不高的金屬構(gòu)成，帶縫反射鏡10的縫也比較寬，所以泵浦效率不高。

發(fā)明內(nèi)容
1.發(fā)明內(nèi)容概要為了克服上述在先技術(shù)中的種種問題，本發(fā)明采用能夠更好地限制振蕩模產(chǎn)生的激光諧振腔結(jié)構(gòu)；采取將波導(dǎo)介質(zhì)非通激光表面磨成毛面，或表面做成斜面，或在非通激光表面上置有吸收介質(zhì)，破壞寄生振蕩，以提高效率；采用能夠構(gòu)成大面積波導(dǎo)介質(zhì)的材料，如摻鐿(Yb)玻璃(簡稱Yb玻璃)，或摻釹(Nd)玻璃(簡稱Nd玻璃)、或者固體激光染料，或者摻釹或摻鐿的晶體，做得大面積波導(dǎo)，從而獲得大功率；改進泵浦光的照明方式，以提高光泵效率，從而得到高效率、高亮度、高功率的波導(dǎo)激光器。
2.發(fā)明內(nèi)容具體描述本發(fā)明固體波導(dǎo)激光器的結(jié)構(gòu)如圖3所示。包括由波導(dǎo)層(芯層)102和覆蓋波導(dǎo)層102上的包層101構(gòu)成的波導(dǎo)介質(zhì)1，以及置于波導(dǎo)介質(zhì)1兩通激光面A、A′前的前腔鏡3和后腔鏡2構(gòu)成的激光諧振腔4。其中波導(dǎo)層102的折射率大于包層101的折射率。在后腔鏡2與波導(dǎo)介質(zhì)1的通激光面A之間置有狹縫光闌5。后腔鏡2的圓心O′與波導(dǎo)介質(zhì)1通激光面A的中心點O′接近重合。狹縫光闌5的狹縫中心O1在后腔鏡2的中心軸線OO′上。
所說的波導(dǎo)介質(zhì)1是平板形，稱為固體平板波導(dǎo)激光器，如圖1、3所示。或是圓柱形，稱為固體柱形波導(dǎo)激光器。
所說的波導(dǎo)介質(zhì)1的非通激光表面B、B′、C、C′被磨成毛面，或者波導(dǎo)介質(zhì)1表面A、A′、B、B′、C、C′被磨成斜面，或者在波導(dǎo)介質(zhì)1的非通激光表面B、B′、C、C′上置有吸收介質(zhì)。吸收介質(zhì)的折射率大于波導(dǎo)介質(zhì)1的折射率。
所說的構(gòu)成激光諧振腔4的后腔鏡2是凹柱面反射鏡，或者是凹球反射鏡。
所說的激光諧振腔4是不穩(wěn)定激光諧振腔，或者是穩(wěn)定的激光諧振腔。
所說的激光諧振腔4的前腔鏡3是凸球面反射鏡。Z軸是激光諧振腔的光軸，當(dāng)前腔鏡3的邊在一個方向上(圖3中的X方向上，XZ面即波導(dǎo)所在平面)比波導(dǎo)介質(zhì)1小。兩者的空隙作為激光諧振腔(不穩(wěn)腔)的輸出。后腔鏡2是凹柱面反射鏡，后腔鏡2與XZ面的交線是直線，如圖3-2所示。后腔鏡2與前腔鏡3一起在XZ平面內(nèi)形成不穩(wěn)定激光諧振腔(簡稱為不穩(wěn)腔)。不穩(wěn)腔的倍率由前腔鏡3的半徑和兩腔鏡3、2之間的距離決定。后腔鏡2在YZ平面內(nèi)是半徑r＝d1的圓，d1是后腔鏡2到波導(dǎo)介質(zhì)1的間距。亦即后腔鏡2的圓心O′與波導(dǎo)介質(zhì)1通激光面A的中心點O′重合，使由波導(dǎo)層102發(fā)出的光束經(jīng)后腔鏡2反射后，仍進入波導(dǎo)層102。對于波導(dǎo)層102的基模而言，出射光束的發(fā)散角很小(由波導(dǎo)層102厚度所決定的衍射限，當(dāng)厚0.2mm，波長λ＝0.001mm時，為005)，比波導(dǎo)的有效數(shù)值孔徑NA小得多。所以當(dāng)采用狹縫光闌5置放在后腔鏡2前時，高階模相應(yīng)的發(fā)散角較大的光束可被狹縫光闌5擋去(如圖3-1所示)，而基模的反饋則不受阻礙。當(dāng)前腔鏡3離波導(dǎo)介質(zhì)1的間距d2很小時，波導(dǎo)介質(zhì)1內(nèi)波導(dǎo)基模反饋耦合損耗可以很小，從而在YZ面內(nèi)組成近單模的低損耗腔。
上述模式限制方式也適用于包層光泵光纖激光器，如上述的波導(dǎo)介質(zhì)為圓柱形。使光纖芯部可以用較大的直徑，光纖芯不必須是單模光纖，仍然可以得到單模激光。這樣一來有利用于獲得高功率單模激光，也有利于提高光纖激光功率閾值。為此，采用激光諧振腔的后腔鏡為球面反射鏡，其球心與作為波導(dǎo)介質(zhì)的光纖端面中心點重合。(光纖芯即柱形波導(dǎo)介質(zhì)，纖芯的中心即波導(dǎo)中心)，其形狀在YZ坐標面上與圖3-1相似。
在上述XZ面內(nèi)的不穩(wěn)腔對基模的選擇性隨倍率而提高。只要適當(dāng)選擇前腔鏡3的半徑就能達到高倍率。但是，在先技術(shù)中，由于不能克服寄生振蕩，輸出率不宜超過20％，從而倍率過低。
上述在先技術(shù)[5]中，已經(jīng)指出了一類寄生振蕩的存在，如圖2所示。其中θ角在一定范圍內(nèi)的光路在四面邊界上都全反射，從而可能形成寄生振蕩。實際上，當(dāng)波導(dǎo)內(nèi)波導(dǎo)介質(zhì)具有一定增益系數(shù)時，這種光路的增益長度很短，回路總增益不會很大。在雙包層光纖激光中也有類似光路，似未引起寄生振蕩。另一種在波導(dǎo)平面內(nèi)的光路，即圖3-2中波導(dǎo)層102內(nèi)的全反射光路可能更為重要，如圖4-1，此光路不僅在四周全反射，而且增益長度比圖2中的光路長得多，產(chǎn)生寄生振蕩的可能性大得多。圖4-2是另一類在腔板上反射的寄生光路。
消除上述寄生振蕩可以采用多種方式如上述(1)除激光通過的表面外，即除通激光面A、A′外，在所有的非通激光面B、B′、C、C′上都磨成毛面，不拋光。(2)將A、A′、B、B′、C、C′面的表面做成斜面，使反射光路離開波導(dǎo)所在平面。(3)在非通激光的表面上涂敷燒結(jié)上吸收介質(zhì)，而且此吸收介質(zhì)的折射率大于波導(dǎo)介質(zhì)包層101的折射率。
在上述圖1-1中，面A、A′(長方向)是激光振蕩通過的方向，即通激光面只可采用上述方式(2)；面B、B′(寬度方向)若不用于成象方式光泵時，方式(1)(2)(3)都可用；面C、C′很大，不宜用方式(2)，若用于大面光泵時可用方式(1)。例如具體實施方式
中，當(dāng)用大面C、C′光泵波導(dǎo)時，為消除寄生振蕩可磨毛C、C′面并在邊面B、B′上涂吸收介質(zhì)，并將面A、A′磨斜，使其不與波導(dǎo)垂直，如圖5所示。
所說的構(gòu)成波導(dǎo)介質(zhì)1的材料是摻釹(Nd)、或摻鐿(Yb)的玻璃，或者是固體激光染料、或者是摻釹、或摻鐿的釔鋁石榴石(YAG)晶體或其它晶體。當(dāng)采用摻釹、或摻鐿的玻璃時，可能獲得很大尺寸的波導(dǎo)介質(zhì)1。例如波導(dǎo)介質(zhì)1的尺寸可以大到1000mm×100mm×0.2mm，這是有利于得到萬瓦級的高亮度激光。同時，采用Nd或Yb玻璃的波導(dǎo)介質(zhì)的波導(dǎo)層102與包層101之間的折射率之差，可以準確控制，能夠使數(shù)值孔徑變小，從而減少波導(dǎo)內(nèi)模數(shù)，提高亮度。
所說的固體激光染料可以是用溶膠——凝膠法形成的固體染料(中國專利98110969.1)，采用這種固體染料可形成可調(diào)諧激光，由于溶膠——凝膠法易于制成薄膜，易于直接形成激光波導(dǎo)。用溶膠＿凝膠法也可以形成摻Nd或Yb的玻璃，這種方法有利于減少波導(dǎo)內(nèi)模數(shù)。
對于上述的波導(dǎo)層102進行光泵，可以采用多種方式。可以采用N≥1個半導(dǎo)體激光列陣(通常簡稱為LDA)7發(fā)射的光束由相對應(yīng)的N≥1個柱透鏡6成象在波導(dǎo)層102的非通激光的端面B或B′上。如圖6所示的結(jié)構(gòu)。由于作為泵浦源的半導(dǎo)體激光列陣的發(fā)光體在快軸方向尺寸約為1μm，光束數(shù)值孔徑NA＝0.5，近衍射極限；而波導(dǎo)一般為多模，例如厚200μm，NA為0.06；柱透鏡6將半導(dǎo)體激光列陣7放大100×?xí)r，象尺寸為100μm，而數(shù)值孔徑僅為0.005。所以，可以組合多個半導(dǎo)體激光列陣7的象進入波導(dǎo)層102。顯然，這種結(jié)構(gòu)有利于光泵達到高功率密度，有利于用波導(dǎo)得到上轉(zhuǎn)換激光(如對Tm，Pr，Er和Nd離子摻雜的晶體或玻璃)和三能級體系(如Er)激光。由于光泵直接進入波導(dǎo)層后不再逸出，上述的光泵方式易于達到高效率。
光泵也可以由C、C′面(大面)進入，此時容許的光束面積和立體角可以非常大，有利于高功率光泵。如圖7所示。如上述在先技術(shù)[7]，由泵浦源半導(dǎo)體激光二維列陣9發(fā)射光束透過帶縫反射鏡10，由置于光泵腔體11內(nèi)的波導(dǎo)層102的大面C或C′進入波導(dǎo)層102，如圖7-1所示，穿過波導(dǎo)層102的光束再由光泵腔體11反射到波導(dǎo)層102上，如圖7-2所示。由于波導(dǎo)層102很薄，吸收率非常小，光泵必須多次通過波導(dǎo)層102，而且多次反射在光泵腔體11和帶縫反射鏡10之間，因此兩者之間必須盡可能封閉(盡量小逸出)，而且低吸收。本發(fā)明中，光泵腔體11與帶縫反射鏡10組成封閉腔，而且是由吸收系數(shù)小的散射體構(gòu)成。如MgO2。在先技術(shù)[7]中，采用的是金屬(金)光泵腔體10及帶縫金屬反射鏡，由于金屬反射率較低，帶縫反射鏡的縫也太寬，造成光泵效率不高。采用光學(xué)系統(tǒng)耦合，如上述的柱透鏡成象系統(tǒng)，或用玻璃作為平板波導(dǎo)介質(zhì)，都可以使帶縫反射鏡的透光縫的寬度顯著變小，從而提高光泵效率。
與在先技術(shù)相比，本發(fā)明由于采用上述能夠有效地限制振蕩模的激光諧振腔結(jié)構(gòu)，對于波導(dǎo)介質(zhì)1表面或非通激光面B、B′、C、C′表面上，采用上述措施，有利地破壞了寄生振蕩的產(chǎn)生。波導(dǎo)介質(zhì)1采用能夠做成大尺寸波導(dǎo)的Nd玻璃、或Yb玻璃，以及采用上述有效地照明方式，所以，本發(fā)明能夠獲得比在先技術(shù)更高的亮度、更高的功率，更高的效率。


圖1為在先技術(shù)[6]中波導(dǎo)激光器激光諧振腔的結(jié)構(gòu)示意圖。其中圖1-1為波導(dǎo)介質(zhì)1的結(jié)構(gòu)尺寸示意圖。圖1-2為波導(dǎo)激光器在YZ坐標面上的結(jié)構(gòu)示意圖。圖1-3為波導(dǎo)激光器在XZ坐標面上的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為在先技術(shù)[5]中，外帶水冷的波導(dǎo)介質(zhì)內(nèi)全反射光路示意圖。
圖3為本發(fā)明的波導(dǎo)激光器的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，圖3-1為本發(fā)明波導(dǎo)激光器在YZ坐標面上的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3-2為本發(fā)明波導(dǎo)激光器在XZ坐標面上的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4為波導(dǎo)介質(zhì)內(nèi)全反射的光路示意圖。其中圖4-1為圖3-2中波導(dǎo)層內(nèi)的全反射光路示意圖。圖4-2為另一類在波導(dǎo)層內(nèi)的寄生光路示意圖。
圖5為本發(fā)明將波導(dǎo)介質(zhì)兩通激光面A、A′磨成斜面的波導(dǎo)激光器結(jié)構(gòu)示意圖。其中，圖5-1為將波導(dǎo)介質(zhì)兩通激光面A、A′磨成一種斜面的波導(dǎo)激光器結(jié)構(gòu)示意圖。圖5-2為將波導(dǎo)介質(zhì)兩通激光面A、A′磨成另一種斜面的波導(dǎo)激光結(jié)構(gòu)示意圖。
圖6為本發(fā)明采用柱透鏡6成象泵浦的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖7為在先技術(shù)[7]泵浦結(jié)構(gòu)示意圖，其中圖7-1為光泵腔體內(nèi)元件的分解示意圖。圖7-2為泵浦光束反射光路的示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和具體實施進一步描述本發(fā)明的內(nèi)容。
如圖3所示的本發(fā)明波導(dǎo)激光器的結(jié)構(gòu)。其波導(dǎo)介質(zhì)1為平板形，稱為固體平面波導(dǎo)激光器。激光諧振腔4為不穩(wěn)定激光諧振腔。激光諧振腔4在坐標YZ平面內(nèi)如圖3-1所示。后腔鏡2是凹柱面反射鏡，凹柱面的半徑r＝d1，d1是凹柱面反射鏡反射面的中心點O至波導(dǎo)介質(zhì)1通激光面A中心點O′的距離，即凹柱面的圓心O′與波導(dǎo)介質(zhì)1通激光面(激光束出射面)的中心點O′重合。使由波導(dǎo)層102發(fā)射的光束經(jīng)凹柱面反射鏡反射后，再回到波導(dǎo)層102中。在后腔鏡2與波導(dǎo)介質(zhì)1之間置有狹縫光闌5，狹縫光闌5中的狹縫使得基模能夠通過。而相對于發(fā)散角較大的高階模光束將被狹縫光闌5擋掉。由前腔鏡3到波導(dǎo)介質(zhì)1通激光面A′的距離d2取值很小時，波導(dǎo)介質(zhì)內(nèi)波導(dǎo)基模反饋耦合損耗也很小，因此，在YZ面內(nèi)構(gòu)成近單模的低損耗激光諧振腔。
激光諧振腔在XZ坐標面上，凹柱面反射鏡的后腔鏡2反射面投影是直線，如圖3-2所示。后腔鏡2與前腔鏡3構(gòu)成在XZ坐標平面內(nèi)的不穩(wěn)定激光諧振腔。不穩(wěn)腔對基模的選擇性隨其倍率而提高，選擇適宜的前腔鏡3的半徑，能夠獲得高倍率及高選擇性。
為了消除寄生振蕩，可將大面C、C′表面磨成毛面，在B、B′面的表面上涂敷折射率大于波導(dǎo)層102折射率的吸收介質(zhì)或者磨斜。兩通激光面A、A′面磨成斜面，如圖5-1所示的一種斜面的形式，圖5-2為另一種斜面的形式。使反射光路離開波導(dǎo)所在的平面。
波導(dǎo)介質(zhì)1的材料采用摻Nd或摻Y(jié)b的玻璃，波導(dǎo)介質(zhì)1的尺寸能夠達到1000mm×100mm×0.2mm。波導(dǎo)層102的折射率大于包層101的折射率。
對于波導(dǎo)介質(zhì)為光纖，為圓柱形，稱為固體柱形波導(dǎo)激光器。激光諧振腔可以是穩(wěn)定的激光諧振腔。后腔鏡是凹球面反射鏡。凹球面的半徑r＝d1，d1是凹球面反射鏡反射面的中心點至光纖芯的中心點。即凹球面反射鏡的圓心與光纖芯的圓心重合。
對波導(dǎo)層102進行光泵，采用柱透鏡成象的方式，如圖6所示的結(jié)構(gòu)。其中半導(dǎo)體激光列陣7的數(shù)量N＝2，如圖7中所示的701、702，相對應(yīng)的柱透鏡6的數(shù)量N＝2，如圖7中的601、602。為了成象集中對準波導(dǎo)層102的側(cè)面B′，光路中采用了全反射鏡8。
對波導(dǎo)層102進行光泵還可采用如圖7所示的結(jié)構(gòu)，其中光泵腔體11與帶縫反射鏡10組成封閉腔，采用散射體為純氧化鎂做成光泵腔體11和帶縫反射鏡腔10，吸收可以小于0.01％。
權(quán)利要求
1.一種固體波導(dǎo)激光器，包括由波導(dǎo)層(102)及覆蓋波導(dǎo)層(102)上的包層(101)構(gòu)成的波導(dǎo)介質(zhì)(1)，在波導(dǎo)介質(zhì)(1)兩激通光面(A、A′)前置有前腔鏡(3)和后腔鏡(2)構(gòu)成激光諧振腔(4)，其特征在于后腔鏡(2)的圓心(O′)與波導(dǎo)介質(zhì)(1)通激光面(A′)的中心點(O1)重合，在后腔鏡(2)與波導(dǎo)介質(zhì)(1)之間置有狹縫光闌(5)，狹縫光闌(5)的狹縫中心(O1)在后腔鏡(2)的中心軸線(OO′)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體波導(dǎo)激光器，其特征在于所說的波導(dǎo)介質(zhì)(1)是平板形，或是圓柱形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體波導(dǎo)激光器，其特征在于所說的激光諧振腔(4)的后腔鏡(2)是凹柱面反射鏡、或者是凹球面反射鏡。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的固體波導(dǎo)激光器，其特征在于所說的由前腔鏡(3)和后腔鏡(2)構(gòu)成的激光諧振腔(4)是不穩(wěn)定激光諧振腔，或是穩(wěn)定的激光諧振腔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的固體波導(dǎo)激光器，其特征在于所說的波導(dǎo)介質(zhì)(1)的非通激光表面(B、B′、C、C′)磨成毛面，或者將波導(dǎo)介質(zhì)(1)的表面(A、A′、B、B′、C、C′)做成斜面，或者在非通激光表面(B、B′、C、C′)上置有折射率大于波導(dǎo)介質(zhì)(1)折射率的吸收介質(zhì)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的固體波導(dǎo)激光器，其特征在于構(gòu)成波導(dǎo)介質(zhì)(1)的材料是摻釹或摻鐿的玻璃，或者是固體激光染料，或者是摻釹或摻鐿的晶體。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體波導(dǎo)激光器，其特征在于對于波導(dǎo)層(102)的光泵是有N≥1個半導(dǎo)體激光列陣(7)發(fā)射的光由相對應(yīng)的N≥1個柱透鏡(6)成象在波導(dǎo)層(102)的非通激光的端面(B、B′)上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體波導(dǎo)激光器，其特征在于由作為泵浦源的半導(dǎo)體激光列陣(9)發(fā)射的光束透過帶縫反射鏡(10)由置于光泵腔體(11)內(nèi)的波導(dǎo)層(102)的大面(C、C′)進入波導(dǎo)層(102)，其中光泵腔體(11)與帶縫反射鏡(10)組成封閉腔，是由吸收系數(shù)小的散射體構(gòu)成。
全文摘要
一種固體波導(dǎo)激光器，采用能夠有效地限制振蕩模的激光諧振腔結(jié)構(gòu)；將波導(dǎo)介質(zhì)的非通激光表面磨成毛面，或表面制成斜面，或在非通激光表面上置放吸收介質(zhì)，破壞寄生振蕩，以提高效率。采用能夠構(gòu)成大尺寸波導(dǎo)介質(zhì)的材料摻稀土元素的玻璃或晶體，或固體激光染料。改進了泵浦光的照明方式，以提高光泵效率。與在先技術(shù)相比，本發(fā)明的波導(dǎo)激光器能夠獲得高亮度、高功率、高效率。
文檔編號H01S3/05GK1471205SQ0213622
公開日2004年1月28日 申請日期2002年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2002年7月26日
發(fā)明者王之江, 姜中宏 申請人:中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所