專利名稱：氣體激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及量子電子學(xué)領(lǐng)域，且可用于制作激活介質(zhì)高頻激勵的氣體激光器。
而且，激光輻射傳播過程的特性取決于放電間隙結(jié)構(gòu)，正如1984年的激光工程與應(yīng)用會議摘要(Digest of Conference in LaserEngineering and Application)中的論文Tu B4、由R.Hertzberg等人撰寫的“射頻激勵的帶狀CO和CO2激光器”中所述的那樣，由于放電間隙足夠?qū)挻蠖沟霉饪梢栽诖怪庇诳v向光軸的方向上自由傳播。
如1988年J.TuLip的美國專利4719635和1990年L.Opower的美國專利4939738中所述的那樣，縫隙二氧化碳激光器中公知含有一對長條形冷卻金屬電極，它們的處位使其形成一個其中充滿激勵介質(zhì)的放電間隙，并且該諧振腔的腔鏡設(shè)在上述放電間隙電極端部附近。
在所述的縫隙放電間隙中激勵出橫向高頻放電。同時，縫隙放電間隙也是光導(dǎo)，其中的輻射沿著電極傳播，就像在波導(dǎo)和橫向上自由傳播一樣。這種波導(dǎo)與光導(dǎo)輻射傳播的結(jié)合使其能獲得高強度的激勵介質(zhì)泵浦能量值，而且也因此獲得很高的輻射產(chǎn)生功率。
在已知的縫隙激光器中，在非波導(dǎo)方向上采用非穩(wěn)諧振腔結(jié)構(gòu)，它能改善非波導(dǎo)方向上對產(chǎn)生的輻射所進行主模選擇。這種諧振腔型公知為一種不穩(wěn)定正枝諧振腔，它所采用的是一個凸面鏡和一個凹面鏡。
采用其焦點在諧振腔內(nèi)的兩個凹面鏡將形成一個具有不穩(wěn)定負枝非穩(wěn)諧振腔的激光裝置，如J.Nishimae等人的1991年美國專利5048048、1992年美國專利5123028和1994年美國專利5238797以及A.I.Dutov等人的1997年俄國(RU)專利2124790中所述的那樣，它也在波導(dǎo)方向上進行主模選擇，但由于它對不同軸度反應(yīng)不靈敏，所以不同于不穩(wěn)定正枝諧振腔。
同時，盡管波導(dǎo)方向上的低階模理論上應(yīng)產(chǎn)生于其間隙高度為0.15-0.3cm的縫隙激光器的光波導(dǎo)中，但是由于激勵介質(zhì)非均勻性以及在該激勵介質(zhì)上折射的存在，使得在介質(zhì)中也產(chǎn)生高階模，這將導(dǎo)致束發(fā)散的劇烈增長。
在放電間隙電極端部和反射鏡表面由于波的相互作用會產(chǎn)生與模成分畸變的同種效果。在含有短的激勵介質(zhì)長度和足夠大曲率的凹面鏡的緊湊型激光器中，其主模在這種反射鏡的反射作用下被大大削減，而且該激光器的輻射能量被泵浦到高階模，其模結(jié)構(gòu)畸變度正比于放電間隙的平方高度。作為凹面諧振腔鏡的表面曲率函數(shù)，主模與次階模間能量分布的計算結(jié)果表明第三階和第五階模所聚集的能量可達主模能量的相當(dāng)大比例；而且，與高階模濾波相應(yīng)，該比值表征了放電縫隙的選擇特性，它將隨著放電間隙高度的減小而顯著降低。
我們還知道如果放電間隙高度為0.4cm，更多的共焦非穩(wěn)諧振腔不能足夠可靠地選擇主模，如1995年的Proc.SPIE第2713卷第51-57頁由A.L.Dutov等人所述。
我們知道，其主模選擇性增強的非波導(dǎo)型諧振腔包括一對傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的反射鏡和兩個形成放電間隙的平面平行電極，該電極具有特殊的形狀，它具有很小的彎曲(0.5-1.5mrad)，且在電極表面中部有一個臺階，這使其能進行主模(低階模)選擇，如1998年在Santa Fe出版的Proc.SPIE第3343卷第55頁由P.Vitruk等人所撰寫的“Int.Symp.on High-power Laser Ab1ation”一文中所述。
我們已知，由于采用能產(chǎn)生一維周期性損耗的空間損耗調(diào)制器且對沿該激光器主光軸平行方向傳播的激光輻射進行相位調(diào)制，所以，具有穩(wěn)定諧振腔的縫隙型氣體激光器可以實施單一高階模的諧振腔內(nèi)選擇方法，如1993年D.R.Hall等人的WO 93/01635“板條形激光諧振器”中所述。
以上所述的調(diào)制器含有電極，在其上位于諧振腔腔鏡附近或沿該縫隙波導(dǎo)表面且平行于主光軸形成具有周期性結(jié)構(gòu)的槽或上升截面，所述的周期取決于諧振長度，且要考慮反射相干條件(Talbot條件)進行選擇。
而且，為了提高反射器系數(shù)，縫隙波導(dǎo)的電極表面施有高反涂層?？臻g損耗調(diào)制器還可由電極截面上具有不同反射系數(shù)的濺射材料生成，其根據(jù)預(yù)設(shè)的空間周期來選擇。
不需激勵介質(zhì)泵浦的已知氣體激光器(分裂型激光器(unsoldered1asers))的一個缺點在于它使用期有限，這取決于電極和諧振腔腔鏡的表面質(zhì)量，還取決于運行過程中激勵介質(zhì)是否清潔以及其組分和性能能否保持。
由于放電過程中分子的分解、激光器表面的吸附、吸附在表面上的或溶解在預(yù)定介質(zhì)中外來氣體的離析進入運行腔體，改變了氣體介質(zhì)的組成，使得該氣體介質(zhì)的質(zhì)量變劣，從而引起激光器使用期限受限。
利用放電等離子體粒子與表面間的相互作用特性以及該表面本身的性質(zhì)，例如通過在激光器元件內(nèi)表面上涂覆氧化金或氧化銀催化劑膜來還原二氧化碳分子，以減少激勵介質(zhì)的分解程度的技術(shù)是公知的，如1988年J.A.Macken的美國專利4765000和1988年J.A.Macken的美國專利4757512中所述。
鋁膜具有類似的特性，如1990年P(guān)roc.SPIE第1276卷上W.Haas、T.Kihimoto所撰寫的“二氧化碳激光器及其應(yīng)用”中所述。
影響因放電而產(chǎn)生的激勵粒子與諧振器元件(反射鏡)間相互作用過程的強度以及電極表面反射性能的類似涂層可以以片段形式置于附加電極表面或反射鏡前的屏上，所述電極附加表面上的涂層不參與放電過程，如P.Gardner等人的PCT WO 93/17474中所述。
一種已知的縫隙型氣體激光器已被選作在此所提交的發(fā)明的最接近相關(guān)技術(shù)，這種縫隙型氣體激光器用空間損耗調(diào)制器進行內(nèi)腔選模。
本發(fā)明的任務(wù)在于改善激光器運行特性，特別是提高對低階模(主模)的選擇性，減少激光束的發(fā)散，并增加分裂型激光器的使用壽命。


圖1以示意的方式表示根據(jù)本發(fā)明所構(gòu)成的縫隙激光器的縱向截面圖。
圖2中示意了凹面諧振腔鏡表面上主模(i＝1，i為模數(shù))與次階波導(dǎo)模(i＝3，5，7)間輻射能量Ei分布對反射鏡的曲率1/R的計算關(guān)系曲線圖，其中R為反射鏡半徑，放電間隙高度為h＝0.4cm。
圖3與圖2所示的關(guān)系曲線圖相同，它由放電間隙高度等于h＝0.2cm計算而得。
圖4示意了所算出的多個波導(dǎo)模式(i＝3，5，7)中輻射能量Ei的損失(以相對于初始數(shù)值的百分數(shù)計算)與自由光傳播距離X之間的關(guān)系曲線。
圖5示意了所算出的兩種情況下放電間隙的橫向截面中(近場)輻射強度1分布(模結(jié)構(gòu))與高度Y之間的曲線——一種是不采用空間濾波器系統(tǒng)(曲線1)，另一種是采用類似系統(tǒng)(曲線2)，它用作具有不穩(wěn)定負枝非穩(wěn)諧振腔的縫隙激光器的典型例子，其中電極長度為60cm，氣體放電縫隙高度為0.2cm，反射鏡與電極端部的間距為0.4cm，諧振器放大系數(shù)為1.17。
圖6示意了所算出的遠場中激光輻射功率W的角分布曲線，這些曲線與圖5中所示的不采用和采用空間濾波系統(tǒng)(分別為曲線1和曲線2)的情況下輻射強度分布I(X)的計算曲線相應(yīng)。
縫隙型氣體激光器(圖1)是一個盛有激勵介質(zhì)的防滲漏殼體(1)和一個用于激光輻射輸出的窗(2)。殼體(1)中容納一個由反射鏡(3)和(4)構(gòu)成的諧振腔，在這兩個反射鏡之間放置兩個平置反向的長條形電極(6)和(7)，形成一個縫隙放電間隙(5)，電極連著高頻發(fā)生器(8)。
在放電間隙(5)側(cè)的電極(6)和(7)表面上以溝槽(9)的形式形成凹槽，它們垂直于該放電間隙(5)的光軸(激光光軸)。溝槽(9)沿著縫隙放電間隙(5)間隔開，以便形成一個空間結(jié)構(gòu)，充當(dāng)用于激光輻射選模的空間濾波系統(tǒng)。而且，激光輻射的空間濾波效率取決于溝槽(9)的寬度和深度以及它們的間距。
在所述的氣體激光器中，已經(jīng)對電極(6)和(7)表面進行了光學(xué)特性處理，以減少輻射損耗。光在溝槽(9)內(nèi)像在自由空間傳播一樣，所選擇的溝槽(9)的型面使得返回該放電間隙(5)中的光量最小，在放電間隙(5)中的光輻射傳播就像在波導(dǎo)中傳播一樣。放電間隙(5)的波導(dǎo)中所產(chǎn)生的模進入自由空間，在溝槽(9)的入口處衍射而受到衍射損失，由于高階模所損失的能量比主模更多，所以，對光模放大越多，模數(shù)越高。
基于上述事實，在以預(yù)設(shè)指令排布溝槽(9)使其實現(xiàn)激光輻射模式的空間過濾的情況下，波導(dǎo)和在內(nèi)電極空間-放電間隙(5)中光的自由傳導(dǎo)方式的多次重復(fù)使其能實現(xiàn)激光輻射主模的選擇。
應(yīng)當(dāng)優(yōu)化由一系列溝槽(9)所形成的空間濾波系統(tǒng)，以使其提供高組分的輻射主模，且在諧振腔中的傳播過程中輻射能量損耗低，這將使激光束發(fā)散度最小。這可以通過考慮放電間隙的具體參數(shù)值(長度和高度)而設(shè)置溝槽(9)的設(shè)計數(shù)量、它們的排布方式和它們的幾何參數(shù)來實現(xiàn)。
在確定激光輻射模式的空間濾波系統(tǒng)參數(shù)時，需要考慮以下因數(shù)。在具有不穩(wěn)定負枝非穩(wěn)諧振腔的緊湊型縫隙激光器中，其激勵介質(zhì)長度短，輻射模式成分很大程度上還依賴于諧振腔鏡的曲率和放電間隙高度，根據(jù)預(yù)定的諧振器長度選擇上述的腔鏡曲率且該曲率較大。在諧振腔鏡曲率很高的情形下，主模將隨著曲率的增加而被大大衰減，從而這種模式的相當(dāng)一部分能量(達35％)轉(zhuǎn)換成高階發(fā)生?！谌⒌谖?、第七(圖2)。
由于選擇適當(dāng)?shù)姆烹婇g隙高度，使得反射鏡曲率對激光輻射模組分的影響的一般趨勢為減弱。對比圖2和圖3可知，對于具有半徑R＝1m的諧振腔鏡，當(dāng)縫隙高度從0.4cm(圖2)減到0.2cm(圖3)時，主模的能量損失被大大降低，且約有1％的主模能量轉(zhuǎn)換成高階發(fā)生模。
當(dāng)設(shè)有以形成光自由傳播條件的溝槽(9)時，如圖4所示，主模將在該自由傳播路徑中損失約0.01％的能量(曲線1)，且第三階和第五階模(分別由曲線3和5表示)的衰減更為突出——其比主模約高一個量級。這些計算是基于具有以下特性的、含有不穩(wěn)定負枝非穩(wěn)諧振腔的縫隙激光器的典型實例而得出的·電極(6)和(7)的長度為60cm；·放電間隙(5)縫的高度為0.2cm；·諧振腔鏡(3)、(4)與電極(6)、(7)端部的間距為0.4cm；·諧振腔的放大系數(shù)為1.17；·空間濾波系統(tǒng)含有10個溝槽(9)，它們垂直于該激光器的光軸；·溝槽(9)的寬度和深度為0.2cm。
對于上述典型實例，圖5中示意了在不采用空間濾波器(曲線1)和采用空間濾波系統(tǒng)(曲線2)的情況下放電間隙(5)的縫的橫向截面中(近場)輻射強度分布I(x)的計算結(jié)果，其中所采用的空間濾波系統(tǒng)由在電極(6)和(7)上研磨出的10個溝槽(9)構(gòu)成，上述的結(jié)果表明在不考慮高階模能量的情況下，以相對于總能量的百分比所表示的輻射模的能量組成Ei可以由下表(表1)表示出，其中Ei(選擇)，Ei(無選擇)分別表示對主模是否進行選擇的Ei目標值表1模數(shù)，i Ei(選擇)，％ Ei(無選擇)，％1(主模) 99.365.73 0.2 2.35 0.2 27.77 - 0.9對于較少數(shù)量的溝槽所形成的激光輻射模的空間濾波系統(tǒng)而進行的模式選擇也可以得到相似的結(jié)果。
表2中給出了通過由10個和5個以及沒有溝槽所組成的系統(tǒng)進行模式選擇而得出的對比數(shù)值，它們以由10個溝槽所組成的系統(tǒng)中輻射的主模能量為1的形式來表示所計算出的主模和第三階模的能量值。
表2選擇類型第I模式的能量，相對單位I＝1 I＝3 i＝5I＝7(主模)不進行模式選 0.80 0.22 0.040.01擇進行模式選擇 0.93 0.08 0.030.065個溝槽進行模式選擇 10.08 0.040.0210個溝槽由此可見，由5個溝槽構(gòu)成的空間濾波系統(tǒng)也表現(xiàn)出對激光輻射主模進行令人滿意的選擇和對高階模進行過濾的可能性。
根據(jù)上面的評判，由它們所形成的空間系統(tǒng)中的溝槽(9)可以相應(yīng)于0.05-0.2的電極長度而間隔設(shè)置，并保持經(jīng)主模選擇后所顯現(xiàn)出的特性。
在確定激光輻射特性中一個最重要的因數(shù)之一在于激光束的發(fā)散性，這可能是因輻射中的模組分和裝置偏離即諧振腔鏡相對于激光光軸的偏離所致。
圖6中示意了激光輻射的遠場能量W的角度分布與近場中模強度分布(圖5)相對應(yīng)的計算結(jié)果。所給的曲線(圖5)表明在不進行主模選擇的情況下(曲線1)，激光輻射的角度分布有一個較長的“尾”；另外，(圖6，曲線1)超過30％的輻射能量集中在較大的角度范圍內(nèi)(大于20mrad)，且沒有變成有用的激光輻射。在進行模式選擇的情況中，小角度范圍內(nèi)的輻射能量明顯大得多(圖6，曲線2)。
所以，利用縫隙激光器諧振腔內(nèi)的電極表面上制作的、以溝槽形式出現(xiàn)的空間濾波系統(tǒng)可以顯著地改善模成分并減少激光束的發(fā)散。能使光自由傳播的溝槽的幾何參數(shù)，即它們的寬度和深度選在0.1-0.5cm范圍內(nèi)，如果這些參數(shù)超出了特定的限制，則將會降低對激光輻射模式的空間濾波有效率。
通過在與激勵介質(zhì)相接觸的所有激光器元件表面上設(shè)涂層(圖1中未示出)就可以減小本發(fā)明的縫隙激光器中激光激勵介質(zhì)的分解速率，其中所述的涂層由厚度為(1-5)μm的純鋁膜Al制成，上述的激光器元件表面不包括諧振腔鏡和輸出窗的工作表面，因為通常它們都具有特殊的多層干涉涂層。
此外，已經(jīng)選擇這樣的膜作為純鋁膜，它是通過在其蒸汽壓等于1-10Pa的被蒸發(fā)的液氦He流中的純鋁熱蒸發(fā)而沉積到表面上所得到的，對該表面的濺射溫度為300-450℃，膜的沉積速率為每秒1-10個單層。
這樣所獲得的膜具有至少99.99％的純度，其厚度為1-5μm，Al的平均晶粒尺寸不小于1μm。
上述氣體流中的濺射過程(擴散濺射)具有以下所述的對激光器后續(xù)過程非常重要的特性1、氦He流為濺射腔體提供連續(xù)“沖洗”，由此可大大減少雜質(zhì)流附著到被濺射表面上，所說的雜質(zhì)是由濺射腔的結(jié)構(gòu)元件所放出的氣體和從排氣泵排出的反向氣流而引起的。
2、蒸發(fā)的液氦He流中的濺射過程的特征在于特別的純凈條件，作為其中微量雜質(zhì)中主要成分的氫H的濃度不超過10-10％，且微量雜質(zhì)的分壓等于10-10Pa，而在通常的真空膜濺射過程中剩余氣體的壓力也等于10-10Pa。由于它具有很高的流動性和化學(xué)惰性，氦原子很容易從膜上擴散出去，且不會抑制所濺射的鋁的晶體生長。
3、在濺射過程中氦(He)原子的一般自由程約等于1cm，所以在擴散云中被濺射的金屬原子會受到多次散射、損失能量，改變運動方向，從而在具有最復(fù)雜形狀的部件上形成均勻的表面涂層。為獲得其晶體尺寸大于1μm的膜，在進行涂覆時，其濺射表面的溫度應(yīng)低于所濺射金屬的熔融溫度。
4、由于發(fā)生多次散射，金屬原子沉積到具有由所述氣體熱能所決定能量的表面上。而且，可獲得與表面有限的、輕微的相互作用，因而金屬原子不會穿過表面晶格，且有機會以最小的勢能占據(jù)晶格中的理想位置，這決定了以缺陷數(shù)量最少和生成稠密連晶邊緣而生成大晶體的可能性。
所生成的晶體具有約1-3μm的平均尺寸；而且涂層相對于用于激光器結(jié)構(gòu)的各種材料(銅、鋼、鈦、鋁合金、銅合金等)來說具有很高的粘性。所作的測試表明通過擴散濺射技術(shù)由純鋁而得的涂層對于水、氧、二氧化碳、氧化氮、氫氧化物等蒸汽具有吸附-解吸性能，但與激光器結(jié)構(gòu)中所用的鋼、銅、鋁、鈦和其他材料相比，要小3-4個量級。由鋁所制的涂層為溶于金屬中的氣體尤其是氫放射到激光器激勵介質(zhì)的過程形成了一個勢壘，在給激光器通過氣體混合進行充氣時以及在分裂型激光器運行過程中，它能使激勵氣體介質(zhì)達到特定的純度。而且，由于鋁具有很好的催化特性，所以該涂層能使二氧化碳CO2分子在幾乎所有激光器內(nèi)部元件的組合表面上更為有效地還原。
在位于放電間隙(5)和電極(6)、(7)上形成的溝槽(9)側(cè)的電極(6)和(7)的內(nèi)表面上形成涂層特別地重要。因為在放電區(qū)域中被激活的分子和它們的分解物的濃度最大，而且由于晶體在放電區(qū)域的表面有效催化復(fù)合的事實，使得催化表面積直接在放電區(qū)域中明顯增加。
與通過公知的真空濺射方法在5×10-4Pa壓力下所制得的膜相比，由涂層擴散濺射而得的晶體的改進結(jié)構(gòu)幾乎使其在紅外區(qū)域?qū)馍⑸?、反射時增加了三倍的反射能力。在鋁膜表面形成的、厚度約1-3nm的化學(xué)惰性氧化鋁稠密層提供了長期運行時涂層的保護特性，尤其是它的反射性能，并避免了電極氧化。
上述特性使得氣體介質(zhì)性質(zhì)直接在放電區(qū)域中被穩(wěn)定，并提高了分裂型激光器激勵介質(zhì)的使用壽命。
本發(fā)明的實施例為進行實驗測試本發(fā)明，使用了兩個氣體縫隙激光器，其中一個具有傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)，不可能進行諧振腔內(nèi)模式選擇，而另一個激光器含有一個用于進行激光輻射模式選擇的諧振腔內(nèi)空間濾波系統(tǒng)。
這種空間濾波系統(tǒng)由10個等間隔的溝槽形成，每個溝槽的寬度和深度等于0.2cm。
所述的溝槽(9)已在電極(6)和(7)表面刻制而成，其長度等于60cm，它們位于放電間隙(5)側(cè)，并垂直于激光器光軸。
放電間隙(5)的縫高等于2cm。作為有效選擇激光輻射主模的一個特性，已經(jīng)選好了激光束的發(fā)散度，這種特性的實驗檢測誤差沒有超過10％。
這兩個激光器所傳導(dǎo)的全部輻射能量的檢測結(jié)果表明在總能量水平的0.86處，具有空間濾波系統(tǒng)的激光輻射的發(fā)散度約為20％，小于對比裝置中的發(fā)散度，這證明了所作改進的有效性。
工業(yè)應(yīng)用性氣體縫隙激光器中的改進與引入一個激光輻射空間濾波系統(tǒng)和在激光器表面的工作區(qū)設(shè)純鋁制得的高反涂層相關(guān)，由于進行了激光輻射主模的選擇和對高階模的衰減，使得激光輻射輸出束的性能得到了改善，并使得激光器中的氣體介質(zhì)保持高純度和高質(zhì)量，兩方面的共同作用保證了激光發(fā)射束的小發(fā)散角和該裝置的長使用壽命。
權(quán)利要求
1.一種高頻縫隙型氣體激光器，它包括一個盛裝氣體激勵介質(zhì)的防滲漏殼體(1)和用于激光輻射輸出的窗(2)，一個諧振腔設(shè)于該殼體內(nèi)且具有反射鏡(3)、(4)，在所述的反射鏡(3)、(4)間相對放置長條形電極(6)和(7)，它們形成一個縫狀放電間隙(5)，所述的電極(6)和(7)與一個高頻發(fā)生器(8)相連并具有涂層，其上形成多個放電凹槽；所述的激光器的特征在于所述的凹槽是以溝槽(9)的形式制成的，它們垂直于該激光器的縱向光軸，且相互間隔而形成一個用于進行激光輻射模式選擇的空間濾波系統(tǒng)；而且，上述溝槽的幾何參數(shù)以及它們的間距能滿足低階輻射模優(yōu)選產(chǎn)生的條件。
2.一種如權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于所述的溝槽(9)所具有的寬度和深度在0.1-0.5cm范圍內(nèi)，且相互的間距為所述電極長度的0.05-0.20。
3.一種如權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于所述的涂層是純鋁Al膜制得，其厚度為1-5μm，并且，除了諧振腔鏡(3)和(4)的工作表面以及用于激光輻射輸出的窗(2)以外，在與所述激勵介質(zhì)相接觸的所有激光器元件表面上都設(shè)有這種涂層。
4.一種如權(quán)利要求3所述的激光器，其特征在于對于鋁膜，采用的是這樣一種膜，它是通過在蒸汽壓等于1-10Pa的被蒸發(fā)的液氦He流中的純鋁熱蒸發(fā)而沉積到濺射表面上所得到的，濺射表面的溫度為300-450℃，鋁膜沉積到上述表面的速率為每秒1-10個單層。
全文摘要
一種具有不穩(wěn)定負枝非穩(wěn)諧振腔的高頻泵浦縫隙型氣體激光器，包括兩個金屬電極(6)和(7)，它們形成一個放電間隙(5)，在該放電間隙側(cè)的電極(6)和(7)的表面以溝槽(9)的形式制成凹槽，上述的溝槽垂直于該激光器的光軸。在該諧振腔中，具有上述結(jié)構(gòu)的電極形成一個波導(dǎo)，其間輻射沿著該激光器光軸傳播，而且輻射是沿著垂直于激光光軸的方向自由傳播。另外，溝槽(9)形成了一個用于進行激光輻射主模選擇的空間濾波系統(tǒng)，這也減小了激光束的發(fā)散度。在除了諧振腔鏡和輸出窗的所有激光器工作元件上，設(shè)有由預(yù)定的濺射方法而獲得的、厚度為1－5μm的涂層，它是一種純鋁膜，這影響了激光器中氣體介質(zhì)的組成，從而延長了該裝置的使用壽命。
文檔編號H01S3/038GK1437783SQ00819245
公開日2003年8月20日 申請日期2000年11月20日 優(yōu)先權(quán)日1999年12月29日
發(fā)明者A·I·杜托夫, V·A·埃洛克辛, A·A·庫勒索夫, V·I·尼科萊夫, N·A·諾沃塞洛夫, S·V·普羅托波波夫, V·E·塞梅諾夫, A·A·索科洛夫 申請人:瓦·儀器有限責(zé)任公司