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長形條粘接裝置的制作方法

文檔序號:6771150閱讀:127來源:國知局
專利名稱:長形條粘接裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種用于磁盤驅(qū)動器的磁頭的制造設(shè)備,尤其涉及ー種將磁頭長形條粘接在ー支撐裝置上的粘接裝置,從而有利于進行后續(xù)的研磨エ序。
背景技術(shù)
具有旋轉(zhuǎn)磁盤的硬盤驅(qū)動器通常被用作儲存磁盤表面上媒介的數(shù)據(jù),往往,在硬盤驅(qū)動器中的磁性記錄頭在旋轉(zhuǎn)磁盤上用作記錄信息。目前,磁頭的加工過程是這樣的(I)將一片晶圓切割成若干長形條;(2)將長形條粘接在ー支撐裝置上;(3)對該長形條進行表面處理(如研磨)及形狀處理(如形成表面拱起);(4)使用環(huán)氧膠將該長形條粘接在一起并放置在治具上進行圖案形成工藝;(5)使用溶劑,例如N-甲基吡咯烷酮(NMP)溶解該長形條及治具表面上的環(huán)氧膠,從而使該長形 條脫膠;(6)將脫膠后的長形條切割成單個磁頭體并經(jīng)過表面加工而最終形成磁頭。下面就長形條須粘接在支撐裝置上的原因及如何粘接進行詳細解釋。首先,如圖Ia所示,通過將晶圓100切成方形塊102,繼而將方形塊102切割成條形,從而得到長形條101。當長形條101從方形塊102切割下來后,由于內(nèi)部應カ的作用,其不可避免地會出現(xiàn)彎曲,如圖Ib所示。為眾所知,該彎曲的長形條101會使得研磨エ序變得困難,而且,長形條101的每部分的研磨量不同,這將影響長形條101制成磁頭或的磁阻高度,最終影響磁頭的性能。因此,上述將長形條101粘接在支撐裝置上的步驟(2)對后續(xù)的研磨エ序十分重要。圖2展示了具有支撐裝置200的長形條粘接裝置2。該支撐裝置200包括基座201以及形成于基座201上的支撐臺階202。支撐臺階202具有支撐表面203,在該支撐表面203上涂有膠水層210,從而將長形條101粘接在支撐表面203上。然而,由于膠水的凝固力很強,因此在膠水凝固的瞬間,長形條101會進ー步產(chǎn)生內(nèi)應力,這將使得長形條101的形狀變化更加復雜,甚至會使長形條101發(fā)生形變損壞。為解決上述問題,另ー長形條粘接裝置2’被用于使彎曲的長形條變平。如圖3所示,相比前述的裝置2,該長形條粘接裝置2’增設(shè)了一加壓塊220,以對長形條101施力。該加壓塊220質(zhì)地堅硬,且具有一個平坦的接觸面221,因此在對長形條101施加壓カ時可將其壓平。然而,一方面,該接觸面221很堅硬,而且膠水的凝固カ很強;另一方面,接觸面 221和支撐面203很難控制,因此,欲將長形條101的彎曲度控制在O. 15um之內(nèi)顯得很困難。亦即,利用上述方法得到的長形條101的彎曲度很不理想。因此,如何將長形條壓平從而在后續(xù)的研磨エ序中,獲得ー個良好的磁頭性能仍然是當前的ー個重要課題。因此,亟待ー種改進的長形條粘接裝置以克服上述缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種長形條粘接裝置,其可改善長形條的彎曲度,從而有利于后續(xù)的研磨エ序,進而提聞由長形條制成的磁頭的性能,最終提聞磁頭的讀與性能。為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供了一種長形條粘接裝置,包括用于支撐長形條的支撐裝置以及用于向所述長形條施カ的加壓件。其中,所述支撐裝置包括支撐面,所述支撐面上涂有蠟層,所述長形條放置于所述蠟層之上,所述加壓件包括平坦的底面,所述底面上連接有柔性件,所述加壓件向所述長形條施壓從而使其平整。較佳地,所述蠟層的材料為聚こ烯蠟。較佳地,所述臘層的厚度范圍為O. 5mm 1.0mm。較佳地,所述柔性件為橡膠。較佳地,所述橡膠的硬度范圍為70HA 80HA。較佳地,所述加壓件的所述底面的長度大于所述長形條的長度。較佳地,所述柔性件的長度至少與所述底面的長度相等。
較佳地,還包括一抗靜電保護膜,所述抗靜電保護膜包覆于所述加壓件和所述柔性件之外。較佳地,還包括一金屬件,所述金屬件與所述加壓件相連,用以增加所述加壓件的壓力。較佳地,還包括一控制裝置,所述控制裝置用于控制所述加壓件向所述長形條加壓時的移動速度。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明提供了ー個涂有蠟層的支撐裝置,該蠟層的質(zhì)地較膠水柔軟,而且冷卻速度慢。因此,當長形條接觸到蠟層時,更少的內(nèi)應カ在長形條上產(chǎn)生。再且,由于加壓件的平坦的底面上設(shè)有柔性件,該柔性件同樣具有較軟的質(zhì)地,因此,受壓的長形條不會被損壞,而且能夠被均勻地壓平,而不會產(chǎn)生劇烈的彎曲和形變。因此,彎曲度改善了的長形條有利于后續(xù)的研磨エ序。尤其是,本發(fā)明使得研磨エ序更加容易,研磨質(zhì)量更加好,從而改善由長形條制成的磁頭的質(zhì)量,最終改善磁頭的讀寫性能。通過以下的描述并結(jié)合附圖,本發(fā)明將變得更加清晰,這些附圖用于解釋本發(fā)明的實施例。


圖Ia為傳統(tǒng)上如何將晶圓切割成長形條的簡化示意圖。圖Ib為長形條在切割后的彎曲狀態(tài)。圖2為傳統(tǒng)的長形條粘接裝置。圖3為另ー傳統(tǒng)的長形條粘接裝置。圖4a為本發(fā)明的長形條粘接裝置的一個實施例的示意圖。圖4b為當加壓件沿箭頭39落下后的長形條粘接裝置的示意圖。圖5為圖4a中長形條粘接裝置的加壓件的示意圖。圖6展示了本發(fā)明的加壓件的另ー實施例。圖7展示了本發(fā)明的加壓件的再ー實施例。圖8展示了本發(fā)明將長形條粘接在支撐裝置的方法。
具體實施例方式下面將參考附圖闡述本發(fā)明幾個不同的最佳實施例,其中不同圖中相同的標號代表相同的部件。如上所述,本發(fā)明的實質(zhì)在于ー種長形條粘接裝置,其可改善長形條的彎曲度,從而有利于后續(xù)的研磨エ序,進而提高由長形條制成的磁頭的性能,最終提高磁頭的讀與性能。參考圖4a、4b,依照本發(fā)明,長形條粘接裝置3包括支撐裝置31和加壓件33。具體地,該支撐裝置31包括基座311及連接于其上用于支撐長形條301的支撐臺階313。在本發(fā)明的構(gòu)思之下,該支撐臺階313具有一支撐面315,當粘接時在其上涂有蠟層317。作為ー個優(yōu)選實施例,該蠟層317由聚こ烯蠟制成,其型號為WAX325MP。該聚こ烯蠟的熔點范圍為95°C 115°C,例如106°C,軟化點范圍為100°C 115°C,例如109°C,熔融黏度范圍為200 215,例如205,工作溫度在110°C 120°C之間。較佳地,涂在支撐面315上的蠟層317厚度范圍為O. 5mm I. 0mm。該蠟層317的設(shè)置能改善長形條301的彎曲度而不受損壞。如圖4b及圖5所示,本實施例的加壓件33為ー立方體,其具有一平坦的底面331,在底面331之下設(shè)有柔性件35。其中,該柔性件35的長度至少與底面331的長度相同,而底面331的長度則大于長形條331的長度,從而使得長形條301能夠充分受壓。較佳地,該柔性件35由橡膠支撐,其硬度在70HA 80HA之間,硬度不高,具有一定柔性。因此,當具 有柔性件35的加壓件33壓在長形條301吋,長形條301在瞬間粘接時不會產(chǎn)生劇烈的形變。為防止在熱環(huán)境下柔性件35會粘住長形條301,如圖6所示,在加壓件33和柔性件35上包覆有一層抗靜電保護膜37。此外,該抗靜電保護膜37可防止由長形條301制成的磁頭被靜電擊穿。如圖7所示,該長形條粘接裝置3還包括與加壓件33相連的金屬件21,從而增加加壓件33的壓カ。具體地,在加壓件33上形成兩個螺孔333,利用螺釘335將金屬件21連接在加壓件33上。較佳地,該金屬塊的重量在4. 5kg 5. kg之間,從而使加壓件33向下移動。該長形條粘接裝置3還包括ー控制裝置(圖未示),該控制裝置用于控制加壓件33在按壓長形條301之前的下落速度。具體地,當加壓件33和金屬件21沿著箭頭39下落時,該控制裝置提供一個小于該加壓件33及金屬件21總重量的向上的力,在柔性件35接觸到該長形條301后停止施力,并在蠟層317冷卻10 15秒后,提供一個大于該加壓件33及金屬件21總重量的向上的力,從而使其離開長形條301。在本發(fā)明中,控制裝置的力可由電カ系統(tǒng)、氣壓系統(tǒng)或液壓系統(tǒng)供給。上述向上的力可減緩加壓件33的下落速度,從而防止過快的速度而使長形條發(fā)生形變及損壞。相較現(xiàn)有技木,本發(fā)明提供了ー個涂有蠟層的支撐裝置,該蠟層的質(zhì)地較膠水柔軟,而且冷卻速度較慢。因此,當長形條接觸到蠟層時,更少的內(nèi)應カ在長形條上產(chǎn)生。再且,由于加壓件的平坦的底面上設(shè)有柔性件,該柔性件同樣具有較軟的質(zhì)地,因此,受壓的長形條不會被損壞,而且能夠被均勻地壓平,而不會產(chǎn)生劇烈的彎曲和形變。因此,彎曲度改善了的長形條有利于后續(xù)的研磨エ序。尤其是,本發(fā)明使得研磨エ序更加容易,研磨質(zhì)量更加好,從而改善由長形條制成的磁頭的質(zhì)量,最終改善磁頭的讀寫性能。結(jié)合圖8,現(xiàn)對如何將長形條粘接在支撐裝置上的方法進行描述。步驟(801),在一加壓件的平坦的底面上連接柔性件;步驟(802),在ー支撐裝置的支撐面上涂上蠟層;
步驟(803),將長形條放置于該涂有蠟層的支撐面上;步驟(804),控制該加壓件向下移動,從而向該長形條施壓并將其壓平。具體地,在步驟(801)中,將柔性件的長度設(shè)置為至少與加壓件的底面長度一致,而該加壓件的底面的長度則大于長形條的長度,從而使整個長形條能充分受壓。較佳地,該柔性件為橡膠,其具有范圍為70HA 80HA的硬度,因此具有一定的柔韌性。因此,當具有柔性件的加壓件向長形條加壓時,在瞬間粘接時長形條產(chǎn)生較小的形變。較佳地,在步驟(802)中,將蠟層涂至厚度在O. 5mm I. Omm的范圍之內(nèi)。較佳地,該蠟層由聚こ烯蠟制成,其型號為WAX325MP。該聚こ烯蠟的熔點范圍為95°C 115°C,例如106°C,軟化點范圍為100。。 115°C,例如109°C,熔融黏度范圍為200 215,例如205,エ作溫度在110°C 120°C之間。較佳地,涂在支撐面315上的蠟層317厚度范圍為O. 5mm I. 0mm。該蠟層317的設(shè)置能改善長形條301的彎曲度而不受損壞。
尤其地,在步驟(804)中,當加壓件下落時,提供一個小于該加壓件重量的向上的力,在柔性件接觸到該長形條后停止施力,并在蠟層冷卻10 15秒后,提供ー個大于該加壓件重量的向上的力,從而使其離開長形條。在本發(fā)明中,控制裝置的力可由電カ系統(tǒng)、氣壓系統(tǒng)或液壓系統(tǒng)供給。上述向上的力可減緩加壓件的下落速度,從而防止過快的速度而使長形條發(fā)生形變及損壞。采用本發(fā)明的方法同樣可改善長形條的彎曲度,從而有利于后續(xù)的研磨エ序。尤其是,本發(fā)明使得研磨エ序更加容易,研磨質(zhì)量更加好,從而改善由長形條制成的磁頭的質(zhì)量,最終改善磁頭的讀寫性能。以上所揭露的僅為本發(fā)明的較佳實施例而已,當然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利 范圍,因此依本發(fā)明申請專利范圍所作的等同變化,仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
1.一種長形條粘接裝置,包括用于支撐長形條的支撐裝置以及用于向所述長形條施力的加壓件;其特征在于所述支撐裝置包括支撐面,所述支撐面上涂有蠟層,所述長形條放置于所述蠟層之上,所述加壓件包括平坦的底面,所述底面上連接有柔性件,所述加壓件向所述長形條施壓從而使其平整。
2.如權(quán)利要求I所述的長形條粘接裝置,其特征在于所述蠟層的材料為聚乙烯蠟。
3.如權(quán)利要求I所述的長形條粘接裝置,其特征在于所述蠟層的厚度范圍為0.5mm I. Omm0
4.如權(quán)利要求I所述的長形條粘接裝置,其特征在于所述柔性件為橡膠。
5.如權(quán)利要求4所述的長形條粘接裝置,其特征在于所述橡膠的硬度范圍為70HA 80HA。
6.如權(quán)利要求I所述的長形條粘接裝置,其特征在于所述加壓件的所述底面的長度大于所述長形條的長度。
7.如權(quán)利要求6所述的長形條粘接裝置,其特征在于所述柔性件的長度至少與所述底面的長度相等。
8.如權(quán)利要求I所述的長形條粘接裝置,其特征在于還包括一抗靜電保護膜,所述抗靜電保護膜包覆于所述加壓件和所述柔性件之外。
9.如權(quán)利要求I所述的長形條粘接裝置,其特征在于還包括一金屬件,所述金屬件與所述加壓件相連,用以增加所述加壓件對所述長形條的壓力。
10.如權(quán)利要求I所述的長形條粘接裝置,其特征在于還包括一控制裝置,所述控制裝置用于控制所述加壓件向所述長形條加壓時的移動速度。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種長形條粘接裝置,其包括用于支撐長形條的支撐裝置以及用于向所述長形條施力的加壓件。其中,所述支撐裝置包括支撐面,所述支撐面上涂有蠟層,所述長形條放置于所述蠟層之上,所述加壓件包括平坦的底面,所述底面上連接有柔性件,所述加壓件向所述長形條施壓從而使其平整。采用本發(fā)明的裝置,可改善長形條的彎曲度,從而有利于后續(xù)的研磨工序,進而提高由長形條制成的磁頭的性能,最終提高磁頭的讀寫性能。
文檔編號G11B5/84GK102682791SQ20111006455
公開日2012年9月19日 申請日期2011年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月17日
發(fā)明者李寧 申請人:東莞新科技術(shù)研究開發(fā)有限公司
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