專(zhuān)利名稱(chēng)：圓盤(pán)狀基板的制造方法以及圓盤(pán)狀基板的收納用工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如磁記錄介質(zhì)用玻璃基板等圓盤(pán)狀基板的制造方法等。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，隨著作為記錄介質(zhì)的需要的提高，磁盤(pán)等信息記錄介質(zhì)的制造也活躍起 來(lái)。此處，作為用作磁盤(pán)用基板的圓盤(pán)狀基板，廣泛使用鋁基板和玻璃基板。該鋁基板在加 工性高且價(jià)格低廉這點(diǎn)上有特長(zhǎng)，另一方面，玻璃基板在強(qiáng)度、表面的平滑性、平坦性?xún)?yōu)異 這點(diǎn)上有特長(zhǎng)。特別是最近，盤(pán)式基板的小型化和高密度化的要求顯著提高，從而基板的表 面的粗糙度 小且能夠?qū)崿F(xiàn)高密度化的玻璃基板的關(guān)注度變高。專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了如下的盤(pán)盒(disc case)，所述盤(pán)盒具備盒主體部，該盒主 體部具有對(duì)盤(pán)進(jìn)行收納保持的多個(gè)槽部；以及引導(dǎo)部件，該引導(dǎo)部件能夠相對(duì)于盒主體部 進(jìn)行裝卸，并具有多個(gè)引導(dǎo)板，并且引導(dǎo)板彼此之間與盒主體部的槽部對(duì)應(yīng)，各引導(dǎo)板上具 有保護(hù)材料，該保護(hù)材料相對(duì)于盤(pán)的磨光性與對(duì)該盤(pán)在收納于該盤(pán)盒后實(shí)施的磨光處理同 等、或者在該磨光處理以下。并且，專(zhuān)利文獻(xiàn)2中公開(kāi)了一種磁盤(pán)用玻璃盤(pán)的收納用工具，該收納用工具是在 將玻璃盤(pán)1從上方插入設(shè)于側(cè)壁的多個(gè)肋的間隙中、從而以豎立狀態(tài)排列收納多片玻璃盤(pán) 的盤(pán)盒中使用的工具，該收納用工具的特征在于，具備載置于盤(pán)盒上的主體和設(shè)于主體的 多個(gè)引導(dǎo)部，引導(dǎo)部能夠?qū)Σ迦氩ＡПP(pán)時(shí)的位置和傾斜進(jìn)行引導(dǎo)，引導(dǎo)部的間隔是肋的間 隔的整數(shù)倍，并且主體能夠相對(duì)于盤(pán)盒在玻璃盤(pán)的排列方向上相對(duì)移動(dòng)。[專(zhuān)利文獻(xiàn)1]日本特開(kāi)2007-95200號(hào)公報(bào)[專(zhuān)利文獻(xiàn)2]日本特開(kāi)2007-261594號(hào)公報(bào)然而，在引導(dǎo)板上具有保護(hù)材料的盤(pán)盒中，需要將盤(pán)插入形成于引導(dǎo)板彼此之間 的狹縫狀的間隙。為了使盤(pán)彼此不會(huì)接觸從而防止盤(pán)的損傷，該間隙整體制作得狹窄。因 此存在難以插入盤(pán)的問(wèn)題。并且，對(duì)于具備載置于盤(pán)盒上的主體和設(shè)于主體的多個(gè)引導(dǎo)部的磁盤(pán)用玻璃盤(pán)的 收納用工具，其引導(dǎo)部由設(shè)于框體的對(duì)置的兩邊的內(nèi)側(cè)的一對(duì)切口部構(gòu)成。當(dāng)將磁盤(pán)用玻 璃盤(pán)收納于盤(pán)盒時(shí)，需要通過(guò)該切口部插入磁盤(pán)，但是存在難以判別插入哪個(gè)切口部才能 正確地收納的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是為了解決上述技術(shù)課題而完成的，其目的在于，提供一種圓盤(pán)狀基板 的收納用工具，當(dāng)將圓盤(pán)狀基板收納于圓盤(pán)狀基板盒時(shí)，圓盤(pán)狀基板彼此難以接觸，能夠抑 制圓盤(pán)狀基板的損傷，并且容易將圓盤(pán)狀基板收納于圓盤(pán)狀基板盒。為了達(dá)成上述目的，在本發(fā)明的圓盤(pán)狀基板的制造方法中，其中，將插入輔助部件 安裝于圓盤(pán)狀基板盒的開(kāi)口部，借助插入輔助部件通過(guò)手動(dòng)作業(yè)將圓盤(pán)狀基板收納于圓盤(pán) 狀基板盒，在收納之后拆卸插入輔助部件，使用圓盤(pán)狀基板盒使圓盤(pán)狀基板移動(dòng)，從而制造圓盤(pán)狀基板，所述圓盤(pán)狀基板盒形成有多個(gè)圓盤(pán)狀基板的保持引導(dǎo)部，從而在制造工序中 能夠隔開(kāi)間隔地收納配置多片圓盤(pán)狀基板，所述插入輔助部件形成有多個(gè)圓盤(pán)狀基板的插 入引導(dǎo)部，所述圓盤(pán)狀基板的制造方法的特征在于，插入輔助部件的插入引導(dǎo)部的開(kāi)口寬 度從兩端部朝向中央部變大，由此，圓盤(pán)狀基板的邊緣部由插入引導(dǎo)部引導(dǎo)，插入作業(yè)變得 容易，并且能夠以不會(huì)對(duì)圓盤(pán)狀基板的表面(兩面)造成損傷的方式配置于保持引導(dǎo)部。此處，優(yōu)選當(dāng)圓盤(pán)狀基板被收納配置于圓盤(pán)狀基板盒的保持引導(dǎo)部時(shí)，圓盤(pán)狀基 板的邊緣部的一部分穿過(guò)插入引導(dǎo)部而能夠進(jìn)行目視確認(rèn)，有時(shí)，優(yōu)選能夠在水中將圓盤(pán) 狀基板收納于圓盤(pán)狀基板盒。并且，對(duì)于本發(fā)明的圓盤(pán)狀基板的收納用工具，該收納用工具用于安裝在圓盤(pán)狀 基板盒的開(kāi)口部并通過(guò)手動(dòng)作業(yè)將圓盤(pán)狀基板收納于圓盤(pán)狀基板盒，所述圓盤(pán)狀基板盒形 成有多個(gè)圓盤(pán)狀基板的保持引導(dǎo)部，從而在制造工序中能夠隔開(kāi)間隔地收納配置多片圓盤(pán) 狀基板，所述圓盤(pán)狀基板的收納用工具的特征在于，圓盤(pán)狀基板的收納用工具具有多個(gè)開(kāi) 口寬度從兩端部朝向中央部變大 的孔部，該孔部形成為圓盤(pán)狀基板的邊緣部由孔部的兩 端部引導(dǎo)并配置于保持引導(dǎo)部。此處，優(yōu)選圓盤(pán)狀基板的收納用工具在安裝于圓盤(pán)狀基板盒的開(kāi)口部之后還能夠 卸下，并且，更加優(yōu)選孔部形成為大致橢圓形狀。根據(jù)以上述方式構(gòu)成的本發(fā)明，與未采用上述結(jié)構(gòu)的情況相比，能夠提供成品率 高的圓盤(pán)狀基板的制造方法等。


圖1-1 (a) (d)是示出應(yīng)用本實(shí)施方式的圓盤(pán)狀基板(盤(pán)式基板)的制造工序 的圖。圖1-2 (e) (h)是示出應(yīng)用本實(shí)施方式的圓盤(pán)狀基板(盤(pán)式基板)的制造工序 的圖。圖2是說(shuō)明研磨機(jī)的構(gòu)造的圖。圖3是進(jìn)一步對(duì)托架進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明的圖。圖4是示出在內(nèi)周磨光工序中使用的刷的一例的圖。圖5是對(duì)工件盒(work case)和將工件收納于工件盒時(shí)使用的收納器具進(jìn)行說(shuō)明 的圖。圖6是進(jìn)一步對(duì)應(yīng)用本實(shí)施方式的收納用工具進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明的圖。標(biāo)號(hào)說(shuō)明10 工件；11 表面；12 開(kāi)孔；13 外周；30 托架；40 研磨機(jī)；50 拋光機(jī)；100
工件盒；106 保持引導(dǎo)部；108 開(kāi)口部；200 收納用工具；202 孔部；202a 兩端部；202b
中央部。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖1-1 (a) (d)、圖1-2 (e) (h)是示出應(yīng)用本實(shí)施方式的圓盤(pán)狀基板(盤(pán)式基 板)的制造工序的圖。
( 一次研磨(lap)工序)圖l-l(a)示出一次研磨工序。在該工序中，首先，利用研磨機(jī)(lapping machine)40進(jìn)行第一次研磨，平滑地磨削作為圓盤(pán)狀基板的工件10的表面11。此處，圖2是對(duì)研磨機(jī)40的構(gòu)造進(jìn)行說(shuō)明的圖。 圖2所示的研磨機(jī)40具備下盤(pán)21a和上盤(pán)21b，該下盤(pán)21a用于載置工件10，該 上盤(pán)21b從上部按壓工件10并對(duì)工件10施加用于進(jìn)行研磨所需的壓力。此處，在下盤(pán)21a的外周部設(shè)有齒部42，并且，在下盤(pán)21a的中央部設(shè)有太陽(yáng)齒輪 44。進(jìn)一步，在下盤(pán)21a設(shè)置有圓盤(pán)狀的托架30，該托架30在進(jìn)行研磨時(shí)對(duì)工件10進(jìn)行定 位。在圖2所示的研磨機(jī)40中設(shè)置有5個(gè)托架30。在該托架30的外周部具備齒部 32，該齒部32與下盤(pán)21a的齒部42和太陽(yáng)齒輪44這兩者嚙合。并且，在下盤(pán)21a和上盤(pán) 21b的中心部分別設(shè)有用于使下盤(pán)21a和上盤(pán)21b旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸46a、46b。在該一次研磨工序中，首先利用托架30將工件10載置于研磨機(jī)40的下盤(pán)21a。圖3是進(jìn)一步對(duì)托架30進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明的圖。在圖3所示的托架30中，如上所述， 在外周部具備齒部32。并且，在托架30中開(kāi)有多個(gè)圓形形狀的孔部34，當(dāng)進(jìn)行研磨時(shí)，工 件10載置在孔部34的內(nèi)部。該孔部34的直徑比工件10的直徑稍大。這樣，能夠抑制進(jìn) 行研磨時(shí)對(duì)工件10的外周端的一部分施加過(guò)多的應(yīng)力的情況，因此工件10的外周端難以 損傷。在本實(shí)施方式中，孔部34的直徑比工件10的直徑大例如大約1mm。并且，孔部34大 體上等間隔地排列，在本實(shí)施方式的情況下，孔部34例如開(kāi)有35個(gè)。作為托架30的材料例如可以使用通過(guò)混入芳香族聚酰胺纖維或玻璃纖維而強(qiáng)化 了的環(huán)氧樹(shù)脂。并且，托架30的厚度制作得比本工序中的工件10的精加工厚度薄，以免在 本工序中當(dāng)進(jìn)行研磨時(shí)該托架30與上盤(pán)21b接觸而阻礙研磨。例如，當(dāng)設(shè)工件10的精加 工厚度為Imm時(shí)，托架30的厚度比工件10的精加工厚度薄0. 2mm 0. 6mm。在將工件10載置于托架30的孔部34之后，使上盤(pán)21b移動(dòng)直至該上盤(pán)21b與工 件10接觸，并使研磨機(jī)40工作。使用圖2對(duì)此時(shí)的研磨機(jī)40的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。當(dāng)研磨機(jī)40工作時(shí)，使圖中上方 的旋轉(zhuǎn)軸46b朝一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)，并使上盤(pán)21b朝同樣的一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)。并且，使圖中下方的 旋轉(zhuǎn)軸46a朝與旋轉(zhuǎn)軸46b的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向旋轉(zhuǎn)，并使下盤(pán)21a朝與旋轉(zhuǎn)軸46a的 旋轉(zhuǎn)方向同樣的方向旋轉(zhuǎn)。由此，下盤(pán)21a的齒部42也朝與旋轉(zhuǎn)軸46a的旋轉(zhuǎn)方向同樣的 方向旋轉(zhuǎn)。并且，中央部的太陽(yáng)齒輪44也朝與旋轉(zhuǎn)軸46a的旋轉(zhuǎn)方向同樣的方向旋轉(zhuǎn)。通過(guò)使上盤(pán)21b、下盤(pán)21a以及太陽(yáng)齒輪44以上述方式旋轉(zhuǎn)，從而與它們的齒輪嚙 合的托架30進(jìn)行組合了自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和公轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的所謂的行星運(yùn)動(dòng)。同樣，嵌入于托架30的 工件10也進(jìn)行行星運(yùn)動(dòng)。這樣，能夠更高精度、并且迅速地進(jìn)行工件10的研磨。在本實(shí)施方式中，研磨可以使用磨削劑進(jìn)行。作為磨削劑并無(wú)特殊限定，例如可以 將由氧化鋁或金剛石構(gòu)成的磨削劑漿液(slurry)化進(jìn)行使用。并且，上盤(pán)21b和下盤(pán)21a 也可以使用分散含有這些磨削劑的磨石。(內(nèi)外周磨削工序)圖1-1 (b)示出內(nèi)外周磨削工序。在該工序中，進(jìn)行作為工件10的開(kāi)孔12的內(nèi)周 面以及工件10的外周13的外周面的粗加工的磨削。并且，在本實(shí)施方式中，同時(shí)進(jìn)行內(nèi)周面和外周面的磨削。具體地說(shuō)，利用內(nèi)周磨石22對(duì)設(shè)于工件10的中心的開(kāi)孔12進(jìn)行磨削， 利用外周磨石23對(duì)工件10的外周13進(jìn)行磨削。此時(shí)，利用內(nèi)周磨石22和外周磨石23夾 著工件10的內(nèi)周面和外周面同時(shí)進(jìn)行加工。由此，能夠容易確保工件10的內(nèi)徑和外徑的 同軸度。在本實(shí)施方式中，內(nèi)周磨石22和外周磨石23具有波形狀的表面。因此，不僅能夠 對(duì)工件10的開(kāi)孔12的內(nèi)周面和外周13的外周面進(jìn)行磨削，而且能夠一并對(duì)開(kāi)口 12和外 周13的邊緣部進(jìn)行倒角。(內(nèi)周磨光工序)圖l-l(c)示出內(nèi)周磨光工序。在該工序中，進(jìn)行使在圖1-1 (b)所示的內(nèi)外周磨 削工序中進(jìn)行了作為粗加工的磨削后的工件10的開(kāi)孔12的內(nèi)周面更平滑的磨光。 具體地說(shuō)，首先層疊工件10，并將其放置于未圖示的保持器中。然后，將刷24插入 放置于該保持器中的工件10的開(kāi)口 12的中心。進(jìn)而，使磨光液流入工件10的開(kāi)孔12，并 使刷24高速旋轉(zhuǎn)，由此對(duì)工件10的內(nèi)周面進(jìn)行磨光。在本實(shí)施方式中，由于在磨光時(shí)使用 刷24，因此能夠?qū)ぜ?0的內(nèi)周面進(jìn)行磨光，并且還能夠?qū)υ谏鲜鰞?nèi)外周磨削工序中進(jìn)行 了加工的開(kāi)孔12的邊緣部的倒角部分同樣地進(jìn)行磨光。另外，作為磨光液例如可以使用將 氧化鈰磨粒分散于水中從而漿液化而成的磨光液。圖4是示出在內(nèi)周磨光工序中使用的刷24的一例的圖。該刷24具備刷部61和軸 62，刷部61的毛尖排列成螺旋狀，軸62連續(xù)地形成于該刷部61的兩端部，從而形成一端和 另一端。在對(duì)工件10的開(kāi)孔12為例如0. 85英寸等小徑盤(pán)的內(nèi)周面進(jìn)行磨光的情況下，需 要使刷24的芯較細(xì)。因此，在本實(shí)施方式中，例如能夠通過(guò)將刷的毛(材質(zhì)例如尼龍(杜 邦公司的商品名))夾在多根金屬絲(材質(zhì)例如軟鋼線(xiàn)材(SWRM)、硬鋼線(xiàn)材(SWRH)、不銹 鋼線(xiàn)材(SUSW)、黃銅線(xiàn)(BSW)等，能夠根據(jù)加工性、剛性等適當(dāng)選定)之間，并扭轉(zhuǎn)該夾有 毛的金屬絲來(lái)形成刷部61。此處，通過(guò)扭轉(zhuǎn)該金屬絲來(lái)形成刷部61，從而能夠使形成于刷 部61的刷的毛尖形成螺旋狀，能夠使磨光液在該刷所插入的工件10的開(kāi)孔12中沿軸向流 動(dòng)。因此能夠良好地輸送磨光液。( 二次研磨工序)圖1-1 (d)示出二次研磨工序。在該工序中，通過(guò)再次對(duì)在圖1-1 (a)所示的一次 研磨工序中進(jìn)行了研磨后的工件10的表面11進(jìn)行研磨從而將該表面11研磨得更加平滑。在二次研磨工序中，作為進(jìn)行研磨的裝置可以使用圖1-1 (a)所示的研磨機(jī)40。并 且，研磨的方法、條件等能夠以與圖1-1 (a)中說(shuō)明了的情況同樣的情況進(jìn)行。(外周磨光工序)圖l-2(e)示出外周磨光工序。在該工序中，進(jìn)行使在圖1-1 (b)所示的內(nèi)外周磨 削工序中進(jìn)行了作為粗加工的磨削后的工件10的外周13的外周面更平滑的磨光。具體地說(shuō)，首先使工具25穿過(guò)工件10的開(kāi)口 12的部分以層疊工件10，從而將工 件10放置于工具25。進(jìn)而，一邊使磨光液流入工件10的外周13的部位，一邊使刷26與層 疊的工件10接觸并高速旋轉(zhuǎn)。由此，能夠?qū)ぜ?0的外周面進(jìn)行磨光。在本實(shí)施方式中， 由于在磨光時(shí)使用刷26，因此能夠?qū)ぜ?0的外周面進(jìn)行磨光，并且還能夠?qū)υ谏鲜鰞?nèi)外 周磨削工序中進(jìn)行了加工的外周13的邊緣部的倒角部分同樣地進(jìn)行磨光。另外，作為磨光 液，與內(nèi)周磨光工序的情況同樣，例如可以使用將氧化鈰磨粒分散于水中從而漿液化而成的磨光液。(一次拋光工序)圖1-2 (f)示出一次拋光工序。在該工序中，使用拋光機(jī)(poliShingmaChine)50 對(duì)在圖1-1 (d)所示的二次研磨工序中進(jìn)行了研磨的工件10的表面11進(jìn)行拋光，由此進(jìn)一 步進(jìn)行磨光從而提高平滑度。該拋光機(jī)50具有與上述的研磨機(jī)40大體上相同的結(jié)構(gòu)，但 是，如下面所述，磨光中使用的材料等有一部分不同。在本實(shí)施方式中，當(dāng)進(jìn)行拋光時(shí)例如使用由聚氨酯形成的硬質(zhì)磨光布，并且，作為 磨光材料可以使用將氧化鈰磨粒分散于水中從而漿液化而成的磨光材料。( 二次拋光工序) 圖l-2(g)示出二次拋光工序。在該工序中，對(duì)在圖l_2(f)所示的一次拋光工序 中進(jìn)行了拋光后的工件10的表面11進(jìn)行精密拋光，由此進(jìn)一步進(jìn)行磨光，從而對(duì)表面11 進(jìn)行最終的精加工。在本實(shí)施方式中，當(dāng)進(jìn)行該拋光時(shí)例如使用絨面革(suede)狀的軟質(zhì)磨光布，并 且，作為磨光材料可以使用將氧化鈰磨粒或者硅膠(colloidalsilica)分散于水等溶劑中 從而漿液化而成的磨光材料。(最終清洗·檢查工序)圖l-2(h)示出最終清洗 檢查工序。在最終清洗中，除去在上述的一系列的工序 中使用的磨光劑等污垢。在清洗中可以使用同時(shí)利用超聲波的基于清洗劑(藥品)進(jìn)行的 化學(xué)清洗等方法。并且，在檢查工序中，通過(guò)例如使用激光的光學(xué)式檢查器來(lái)檢查工件10的表面有 無(wú)損傷或變形等。此處，在以上說(shuō)明了的工序中，當(dāng)使工件10從前一工序朝后一工序移動(dòng)時(shí)，有時(shí) 使用作為圓盤(pán)狀基板盒的工件盒。例如，在利用一次研磨工序?qū)ぜ?0的表面11進(jìn)行磨 光之后，當(dāng)向內(nèi)外周磨削工序轉(zhuǎn)移時(shí)，需要將工件10從托架30 (參照?qǐng)D1-1)取出，暫時(shí)收 納于工件盒中，并使其移動(dòng)至進(jìn)行內(nèi)外周磨削的磨削機(jī)。此處，圖5是對(duì)工件盒和將工件收納于工件盒時(shí)使用的收納器具進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖5所示的收納器具由工件盒100和工件10的收納用工具200構(gòu)成，工件盒100 用于收納配置工件10，收納用工具200是將工件10收納于工件盒100時(shí)使用的插入輔助部 件。此處，在設(shè)圖5中的插入工件10的方向?yàn)橄路较虻那闆r下，工件盒100在對(duì)置的 側(cè)壁102內(nèi)側(cè)大致等間隔地沿上下方向形成有多個(gè)凸部104。進(jìn)而，利用凸部104形成用 于在制造工序中隔開(kāi)間隔收納配置多片工件10的保持引導(dǎo)部106。并且，工件盒100在上 部具有開(kāi)口部108，并具備切口部110和把手部112，該切口部110用于在拆卸收納用工具 200時(shí)進(jìn)行操作，把手部110安裝于切口部110的邊緣部分，用于供作業(yè)者把持工件盒100。并且，收納用工具200形成為長(zhǎng)方形的板形狀，且具備多個(gè)孔部202和卡合部204， 該卡合部204用于在將收納用工具200安裝于工件盒100時(shí)規(guī)定該收納用工具200的位置。收納用工具200制作成能夠通過(guò)嵌入工件盒100的開(kāi)口部108中進(jìn)行安裝。實(shí)際 安裝時(shí)，收納用工具200的卡合部204進(jìn)入工件盒100的開(kāi)口部108的兩端部的內(nèi)側(cè)。由 此，能夠規(guī)定收納用工具200的位置來(lái)進(jìn)行安裝。并且，收納用工具200能夠容易地拆卸。實(shí)際拆卸時(shí)，作業(yè)者將手伸入工件盒100的切口部110，抓住收納用工具200并朝上部拉起。 由此，卡合部204從工件盒100脫出，從而能夠拆卸收納用工具200。工件盒100和收納用工具200的材質(zhì)并無(wú)特殊限定，但是，從更難以對(duì)工件100造 成損傷的觀點(diǎn)出發(fā)，例如優(yōu)選利用樹(shù)脂等制造。圖6是進(jìn)一步對(duì)應(yīng)用本實(shí)施方式的收納用工具進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明的圖。圖6所示的收納用工具200是從將工件10插入工件盒100的方向觀察的圖。如 上所述，在收納用工具200中形成有多個(gè)孔部202。進(jìn)而，該孔部202的開(kāi)口寬度從兩端部 202a朝向中央部202b變大。該孔部202制作成當(dāng)將收納用工具200安裝于工件盒100時(shí)，孔部202的上下方 向的位置與保持引導(dǎo)部106的位置對(duì)齊?？撞?02的形狀只要是開(kāi)口寬度從兩端部202a朝 向中央部202b變大的形狀即可，并無(wú)特殊限定，能夠采用紡錘形形狀、菱形 形狀等。但是， 從插入工件10時(shí)難以對(duì)表面11 (參照?qǐng)D1-1)造成損傷的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為沒(méi)有角部的大 致橢圓形狀。下面，使用圖5和圖6對(duì)使用收納用工具200將工件10收納配置于工件盒100的 步驟進(jìn)行說(shuō)明。首先，以上述方式將收納用工具200安裝于工件盒100。然后，借助收納用工具200 通過(guò)手動(dòng)作業(yè)將工件10收納于工件盒100。此時(shí)，形成于收納用工具200的孔部202承擔(dān)作為插入引導(dǎo)部的作用。S卩，工件 10在邊緣部由孔部202的兩端部202a引導(dǎo)的同時(shí)被插入孔部202中。進(jìn)而，如上所述，由 于孔部202的位置與保持引導(dǎo)部106的位置在上下方向一致，因此，通過(guò)孔部202后的工件 10直接被收納配置于工件盒100的保持引導(dǎo)部106。此時(shí)，由于工件10的邊緣部在由孔部 202的兩端部202a引導(dǎo)的同時(shí)插入孔部202中，因此插入作業(yè)變得容易。進(jìn)而，能夠?qū)⒐ぜ?10收納配置于保持引導(dǎo)部106，而難以對(duì)圓盤(pán)狀基板的表面(兩面)造成損傷，并且不會(huì)與 先前插入的工件10接觸。并且，由于孔部202形成為開(kāi)口寬度從兩端部202a朝向中央部 202b變大，因此，作業(yè)者只要將工件10插入該具有大的開(kāi)口寬度的中央部202b即可，作業(yè) 者所進(jìn)行的插入工件10的插入作業(yè)變得更加容易。此處，優(yōu)選當(dāng)工件10被收納配置于工件盒100的保持引導(dǎo)部106時(shí)，工件10的邊 緣部的一部分穿過(guò)孔部202而能夠進(jìn)行目視確認(rèn)。例如，考慮以下述方式制作工件盒100 在將工件10收納配置于保持引導(dǎo)部106的狀態(tài)下，工件10的上端的邊緣部并未完全通過(guò) 孔部202，而是位于孔部202的部位。這樣，通過(guò)使工件10的邊緣部的一部分穿過(guò)孔部202而能夠進(jìn)行目視確認(rèn)，由此， 作業(yè)者能夠容易地判斷到工件盒100的哪個(gè)部位為止收納有工件10。因此，容易防止發(fā)生 下述錯(cuò)誤將多片工件10收納于同一保持引導(dǎo)部106、或者漏過(guò)一個(gè)保持引導(dǎo)部106而插 入工件10。并且，對(duì)于該一系列的作業(yè)，根據(jù)工序的不同，有時(shí)可以在水中將工件10收納于 工件盒100。在該情況下，能夠通過(guò)由水產(chǎn)生的緩沖作用進(jìn)一步抑制工件10的損傷。在將預(yù)定片數(shù)的工件10收納于工件盒100之后，作業(yè)者以上述方式拆卸收納用工 具200，把持把手部112將收納用工具200抬起，能夠集中高效地移動(dòng)工件10。此時(shí)，優(yōu)選 預(yù)先將工件盒100制作成能夠裝載多個(gè)。由此，能夠更加高效地移動(dòng)工件10。
權(quán)利要求
一種圓盤(pán)狀基板的制造方法，其中，將插入輔助部件安裝于圓盤(pán)狀基板盒的開(kāi)口部，借助該插入輔助部件通過(guò)手動(dòng)作業(yè)將圓盤(pán)狀基板收納于該圓盤(pán)狀基板盒，在收納之后拆卸該插入輔助部件，使用該圓盤(pán)狀基板盒使圓盤(pán)狀基板移動(dòng)從而制造圓盤(pán)狀基板，所述圓盤(pán)狀基板盒形成有多個(gè)圓盤(pán)狀基板的保持引導(dǎo)部，從而在制造工序中能夠隔開(kāi)間隔地收納配置多片圓盤(pán)狀基板，所述插入輔助部件形成有多個(gè)該圓盤(pán)狀基板的插入引導(dǎo)部，所述圓盤(pán)狀基板的制造方法的特征在于，所述插入輔助部件的所述插入引導(dǎo)部的開(kāi)口寬度從兩端部朝向中央部變大，由此，所述圓盤(pán)狀基板的邊緣部由該插入引導(dǎo)部引導(dǎo)并配置于所述保持引導(dǎo)部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圓盤(pán)狀基板的制造方法，其特征在于，當(dāng)所述圓盤(pán)狀基板被收納配置于所述圓盤(pán)狀基板盒的所述保持引導(dǎo)部時(shí)，該圓盤(pán)狀基 板的邊緣部的一部分穿過(guò)所述插入引導(dǎo)部而能夠進(jìn)行目視確認(rèn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的圓盤(pán)狀基板的制造方法，其特征在于，能夠在水中將所述圓盤(pán)狀基板收納于所述圓盤(pán)狀基板盒。
4.一種圓盤(pán)狀基板的收納用工具，該收納用工具用于安裝在圓盤(pán)狀基板盒的開(kāi)口部并 通過(guò)手動(dòng)作業(yè)將圓盤(pán)狀基板收納于該圓盤(pán)狀基板盒，所述圓盤(pán)狀基板盒形成有多個(gè)圓盤(pán)狀 基板的保持引導(dǎo)部，從而在制造工序中能夠隔開(kāi)間隔地收納配置多片圓盤(pán)狀基板，所述圓 盤(pán)狀基板的收納用工具的特征在于，所述圓盤(pán)狀基板的收納用工具具有多個(gè)孔部，所述孔部的開(kāi)口寬度從兩端部朝向中央 部變大，所述孔部形成為所述圓盤(pán)狀基板的邊緣部由該孔部的兩端部引導(dǎo)并配置于所述保持 引導(dǎo)部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圓盤(pán)狀基板的收納用工具，其特征在于，所述圓盤(pán)狀基板的收納用工具在安裝于所述圓盤(pán)狀基板盒的所述開(kāi)口部之后還能夠 卸下。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的圓盤(pán)狀基板的收納用工具，其特征在于，所述孔部形成為大致橢圓形狀。
全文摘要
本發(fā)明提供圓盤(pán)狀基板的制造方法等，當(dāng)將工件收納于工件盒時(shí)，工件彼此難以接觸，能夠抑制工件的損傷，并且容易將工件收納于工件盒。一種圓盤(pán)狀基板的制造方法，將收納用工具安裝于工件盒的開(kāi)口部，借助收納用工具通過(guò)手動(dòng)作業(yè)將工件收納于工件盒，在收納之后拆卸該收納用工具，使用工件盒使工件移動(dòng)從而制造工件，工件盒形成有多個(gè)工件的保持引導(dǎo)部，從而在制造工序中能夠隔開(kāi)間隔地收納配置多片工件，收納用工具形成有多個(gè)工件的插入引導(dǎo)部，該圓盤(pán)狀基板的制造方法的特征在于，收納用工具的插入引導(dǎo)部是開(kāi)口寬度從兩端部朝向中央部變大的孔部，工件的邊緣部由插入引導(dǎo)部引導(dǎo)并配置于保持引導(dǎo)部。
文檔編號(hào)G11B5/84GK101847418SQ20101014527
公開(kāi)日2010年9月29日 申請(qǐng)日期2010年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月24日
發(fā)明者森田不二夫 申請(qǐng)人:昭和電工株式會(huì)社;西鐵城精密株式會(huì)社