技術編號：3310786
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種雙自由度平面拋光裝置，適用于光學元件、非晶薄膜襯底等工件表面的研磨與拋光加工，它包括底盤和工件移動機構，底盤為方形研磨盤，方形研磨盤的盤面粒度沿著長邊方向從左至又依次遞增；工件移動機構包括真空吸盤、工件轉動軸、氣缸、滑臺、水平云臺、控制滑臺水平方向左右移動的第一滾軸絲杠和第一直線導軌、控制水平云臺前后移動的第二滾軸絲杠和第二直線導軌；第一滾軸絲杠和第一直線導軌的兩端固定在水平云臺上，本發(fā)明結構簡單緊湊，成本較低，自動化程度高，通過方形研磨盤的...
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