專(zhuān)利名稱(chēng)：用于管理具有信息存儲(chǔ)元件的材料存儲(chǔ)容器的系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明在各種方面涉及采用信息存儲(chǔ)器的系統(tǒng)和方法，尤其是 用來(lái)管理和利用材料存儲(chǔ)和分發(fā)容器(dispensing vessel)及其所容 之物的電子信息存儲(chǔ)器(例如，射頻識(shí)別)。另外，本發(fā)明在各種方 面涉及實(shí)現(xiàn)并利用這種系統(tǒng)來(lái)對(duì)處理工具利用乂人這種容器分發(fā)的材 料的操作參數(shù)進(jìn)行設(shè)置或調(diào)整。
背景技術(shù)：
材料存儲(chǔ)器和分發(fā)容器廣泛用于各種工業(yè)處理和商業(yè)及個(gè)人應(yīng) 用中。各種類(lèi)型的液體和氣體可以;改置在用于運(yùn)輸和最終分發(fā)的容 器(諸如塑化筒)中。所期望的應(yīng)用材料存儲(chǔ)和分發(fā)容器的一個(gè)工 業(yè)領(lǐng)域是半導(dǎo)體器件加工。
在半導(dǎo)體器件加工中，各種類(lèi)型和用途的材料被沉積在典型包 括單晶材料(諸如二氧化硅)的半導(dǎo)體襯底上。所沉積的材料可以
14包括用于在半導(dǎo)體襯底的溝槽(trench )內(nèi)形成金屬線或其他電路特 征的銅、鋁及其他金屬。貫穿該加工處理，其他電i 各特;f正部件和金 屬層可以形成在半導(dǎo)體襯底上。
為了形成如上所述的溝槽，先將光刻膠材料沉積在半導(dǎo)體襯底 之上。將光刻膠材料運(yùn)輸和輸送到半導(dǎo)體襯底的方式對(duì)于該加工處 理來(lái)i兌可以是關(guān)4建的。例如，就所毀壞的高4介值半導(dǎo)體襯底、所浪 費(fèi)的高純材料、及糾正這種錯(cuò)誤所需的制造處理中斷來(lái)說(shuō)，應(yīng)用錯(cuò) 誤類(lèi)型的光刻膠的代價(jià)會(huì)極其大。盡管如此，但由于典型的供應(yīng)鏈 涉及多方，各方均具有不能彼此通信的獨(dú)立的材料跟蹤平臺(tái)，所以 通常仍利用具有固有低效率和高錯(cuò)誤風(fēng)險(xiǎn)的手動(dòng)系統(tǒng)來(lái)管理光刻膠 材料供應(yīng)鏈。
典型地，以液體形式將上述的光刻力交材沖牛運(yùn)輸和輸送到半導(dǎo)體 坤于底表面。通常4吏用S走涂處理(spin-on process )來(lái)^^爭(zhēng)半導(dǎo)體4于底 表面施加并展開(kāi)光刻膠薄涂層。將旋涂處理的參數(shù)選擇為確保橫跨 該半導(dǎo)體襯底表面分布極度均勻的、薄的光刻膠。典型地，材料應(yīng) 用步驟后面跟隨著加熱該半導(dǎo)體襯底以4吏光刻膠層固化的步驟。
可以對(duì)上述的固體光刻月交層加工圖案以允i午通過(guò)傳統(tǒng)蝕刻4支術(shù) 來(lái)形成其下的溝槽。然而，正確的溝槽形成及其均勻性部分地依賴 于限定這些溝槽的薄光刻月交層的均勻性。實(shí)際上，對(duì)于加工可靠的 半導(dǎo)體器件來(lái)i兌，將光刻"交材并+正確地傳，#并輸送到半導(dǎo)體襯底是 關(guān)鍵的。事實(shí)上，隨著半導(dǎo)體晶片設(shè)計(jì)和處理技術(shù)的進(jìn)步，諸如金 屬線的器件特征部件變得越來(lái)越小，器件特征部件上的光刻膠不均 勻性的不利效果^皮》文大了 。
獲得均勻的薄光刻月交層可以需要應(yīng)用旋涂或采用基于光刻力交材 料的特定物理和功能的特性的參數(shù)的其他處理。不幸的是，光刻膠 材料類(lèi)型的特性每一批次(或者作為這些材料從發(fā)源點(diǎn)到使用點(diǎn)的運(yùn)豐lr和存々者而導(dǎo)致的固有的環(huán)境和時(shí)間因素的結(jié)果)都會(huì)有所不同。 例如，光刻月交粘性每一批次或每一容器都會(huì)有所不同，并且光刻月交 性質(zhì)會(huì)隨著環(huán)境狀況(例如，溫度)和/或年限而劣化?？紤]到不同 批次和/或容器或光刻月交之間的變化，可能才及其難以建立用于在半導(dǎo) 體襯底上形成充分均勻的光刻月交層的預(yù)定固定參lt。因此，將光刻 膠材料正確地運(yùn)輸并施加到半導(dǎo)體襯底包括這樣的4兆戰(zhàn)，該挑戰(zhàn)不 僅涉及提供正確類(lèi)型的光刻膠材料還涉及采用適用于所提供的特定 光刻膠材料的精確特性的應(yīng)用參數(shù)。在最終在生產(chǎn)設(shè)施中使用之前， 采樣并個(gè)別測(cè)試每個(gè)容器所容之物是不切實(shí)際的，尤其在旨在高吞 吐量操作的高成本生產(chǎn)線中。而且，由于光刻膠的有限的保存期限、 有限的存儲(chǔ)能力、以及執(zhí)行材料分析典型所需的時(shí)間，對(duì)于材料(例 如，化學(xué))供應(yīng)商來(lái)說(shuō)，在客戶出貨之前存儲(chǔ)材料所有批次同時(shí)等 待材料分析結(jié)果是低效率的。
盡管以上在本文中描述了與使用光刻膠材料相關(guān)聯(lián)的挑戰(zhàn)，但 是還存在與半導(dǎo)體加工中以及各種其他工業(yè)處理中所^使用的許多種 類(lèi)的材料有關(guān)的類(lèi)似或相似的困難。因此，本發(fā)明不局限于應(yīng)用于 光刻膠或半導(dǎo)體材料。與處理各種類(lèi)型的材料相關(guān)聯(lián)的限制包括對(duì) 具有不同所容之物的大量容器進(jìn)行管理的相關(guān)困難。例如，在利用
存卡者在類(lèi)似類(lèi)型的容器中的各種材沖+反應(yīng)物或前體(precursor)材 料的制造處理中，可能難以執(zhí)行以下任務(wù)中的任一個(gè)確保在每個(gè) 實(shí)例中使用適合于特定容器中放置的特定材料的處理參數(shù)；防止供 應(yīng)鏈中斷；防止材料庫(kù)存過(guò)剩；利用最先接收到的材料同時(shí)避免使 用劣化或過(guò)度陳舊("過(guò)期")的材料；對(duì)已投放給客戶的容納材料 的容器進(jìn)行跟蹤用于潛在的安全或質(zhì)量回收；符合少見(jiàn)定的存儲(chǔ)和/ 或排放限制，并符合規(guī)定的排放限制。跟蹤容器移動(dòng)不僅到材料進(jìn) 入(接收)區(qū)域，還在材料最終使用處理設(shè)施的各種功能區(qū)域中， 將是尤其期望的，以有助于識(shí)別和取回#:確定為乂人受污染的生產(chǎn)批 量或批次發(fā)出的材料，和/或有助于供應(yīng)鏈管理。將期望提供一種解
16決這些和其他所關(guān)心問(wèn)題的系統(tǒng)和方法。傳統(tǒng)的材沖牛管理工具(例 如，條形碼系統(tǒng))不是非常適于解決這樣的所關(guān)心問(wèn)題，這是由于 它們?nèi)狈?dòng)態(tài)更新能力、需要視線掃描、依賴于其他手動(dòng)動(dòng)作、并 通常局限于提供容器識(shí)別信息。
為了改善材料處理和利用功能，提高處理性能和分析，并降低 材料存儲(chǔ)容器錯(cuò)接錯(cuò)誤，將期望將信息自動(dòng)從材料存儲(chǔ)容器提供給 材料消費(fèi)處理工具。優(yōu)選地，這種自動(dòng)化將不4又解決通信石更件和相 關(guān)接口，還解決了通信模式和協(xié)議、以及數(shù)據(jù)格式和特定數(shù)據(jù)內(nèi)容。
在敏感的和化學(xué)材料密集的處理(諸如半導(dǎo)體制造)中，將期 望使加工出的產(chǎn)品與其加工中所使用的材料的相關(guān)信息相關(guān)聯(lián)。對(duì) 于處理優(yōu)化和正在進(jìn)4于的質(zhì)量4呆i正和質(zhì)量控制而言，這種關(guān)聯(lián)是非 常有用的。例如，歸因于特定源材料的產(chǎn)品缺陷或性能問(wèn)題(不管 是否在材料規(guī)格內(nèi))可能直到對(duì)所加工出的產(chǎn)品進(jìn)行嚴(yán)格測(cè)試時(shí)才 被;險(xiǎn)測(cè)出來(lái)。使器件性能和源材料相關(guān)聯(lián)的能力將利于處理優(yōu)化和 材泮+^見(jiàn)才各改進(jìn)而不必要求所有產(chǎn)品的全部質(zhì)量〗呆i正測(cè)試。然而，至 今為止，因?yàn)楫a(chǎn)品信息未被統(tǒng)一和可靠地關(guān)聯(lián)到與產(chǎn)品制造中所使 用的材料相關(guān)的信息，所以這種益處還未被意識(shí)到。
前述背景討論論證了改進(jìn)材料管理系統(tǒng)和方法的必要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明在各種方面涉及用來(lái)管理和利用材料存儲(chǔ)和分發(fā)容器及 其所容之物的采用信息存儲(chǔ)器(例如，電子信息存儲(chǔ)器)的系統(tǒng)和 方法。
在第一單獨(dú)方面，本發(fā)明涉及一種方法，該方法包4舌以下步驟 將表示供應(yīng)商特有使用參數(shù)和處理工具操作指令中的任一項(xiàng)的信息 從與容納材料的材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)的信息存儲(chǔ)裝置傳達(dá)到與處理工具相關(guān)聯(lián)的控制裝置；以及采用所傳達(dá)的信息對(duì)處理工具的操作 參凄t進(jìn)行i史置或調(diào)整。
在第二單獨(dú)方面，本發(fā)明涉及一種方法，該方法包括以下步驟 接收來(lái)自與材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)的信息存儲(chǔ)裝置的表示材料特有使 用參數(shù)和處理工具操作指令中的任一項(xiàng)的信息；以及采用所接收到 的信息對(duì)處理工具的操作參數(shù)進(jìn)行設(shè)置或調(diào)整。
在第三單獨(dú)方面，本發(fā)明涉及一種方法，該方法包括在將具 有相關(guān)聯(lián)信息存儲(chǔ)裝置的容納材料的材料存儲(chǔ)容器運(yùn)送到材料最終 使用處理設(shè)施期間或之后，將以下各項(xiàng)中的任一項(xiàng)記錄到信息存儲(chǔ) 裝置(i)表示批次特有材料性質(zhì)的信息，(ii)表示容器特有材料 性質(zhì)的信息，以及(iii)批次特有材料性質(zhì)信息或容器特有材料性 質(zhì)信息的記錄的標(biāo)識(shí)符。
在第四單獨(dú)方面，本發(fā)明涉及一種方法，該方法采用了多個(gè)無(wú) 線信息讀取裝置，多個(gè)無(wú)線信息讀取裝置用于對(duì)具有相關(guān)聯(lián)電子信 息的多個(gè)材料存儲(chǔ)容器進(jìn)行管理，該方法包括以下步驟在材料最 終使用處理設(shè)施的材料進(jìn)入功能區(qū)域中檢測(cè)第 一材料存儲(chǔ)容器的入 口 ；自動(dòng)傳送到與第一材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)的且表示批次特有材料 性質(zhì)、容器特有材料性質(zhì)、處理工具操作指令、及材料特有的使用 參數(shù)中的任意信息的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存庫(kù)(repository)信息；監(jiān)測(cè)第一材料 存儲(chǔ)容器在材料最終使用處理設(shè)施中的多個(gè)功能區(qū)域中的位置和移 動(dòng)中的任意一種；以及自動(dòng)傳送到表示容器位置和容器移動(dòng)中的任 意 一種的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存庫(kù)信息。
在第五單獨(dú)方面，本發(fā)明涉及一種方法，該方法包4舌以下步艱《 [I]將來(lái)自與容納材料的材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)的信息存儲(chǔ)裝置的表 示以下信息中的任意信息的信息接收到與處理工具相關(guān)聯(lián)的控制裝 置(a)材料的身份，(b)材料的成分，(c)材料的來(lái)源，(d)材料的質(zhì)量，(e)材料的批次，(f)材料的批次特有性質(zhì)，(g)材料 的容器特有性質(zhì)，以及(h)容器身份；[II]采用從材料存儲(chǔ)容器接 收到的材^)"利用處理工具加工或處理產(chǎn)品；以及[III]與表示以下信 息中的任意信息的產(chǎn)品信息相關(guān)聯(lián)地存儲(chǔ)所接收到的信息(i)產(chǎn) 品標(biāo)識(shí)，(ii)產(chǎn)品糸匕次標(biāo)識(shí)，以及(iii)產(chǎn)品加工或處理的日期或 時(shí)間。
本發(fā)明的另一個(gè)單獨(dú)的方面涉及一種系統(tǒng)，該系統(tǒng)包4舌自動(dòng) 系統(tǒng)，用于實(shí)施前述方法。在本發(fā)明的另一個(gè)單獨(dú)的方面，為了其 他優(yōu)點(diǎn)可以組合前述方面的任意方面。
基于對(duì)隨后的公開(kāi)文件和所附權(quán)利要求書(shū)的審閱，本發(fā)明的這 些及其^f也方面和Y尤點(diǎn)^1尋變得顯而易見(jiàn)。


為了更加透徹地理解本發(fā)明及其優(yōu)點(diǎn)，現(xiàn)在將參考結(jié)合附圖所 進(jìn)行的以下描述，其中
圖1是具有電子信息存儲(chǔ)元件(放置在材料存儲(chǔ)容器的蓋子中) 的材料存儲(chǔ)容器的透視組件視圖，該容器具有相關(guān)聯(lián)的探針連接器， 探針連接器帶有連接器頭部和從連接器頭部延伸出來(lái)的探針。
圖2A是材料存儲(chǔ)容器的蓋子的透視組件視圖，該蓋子具有機(jī) 械鍵合上邊緣，機(jī)械鍵上邊緣具有電子信息存儲(chǔ)元件。
圖2A是流體存儲(chǔ)和分發(fā)容器的蓋子的鍵環(huán)部的透視組件視圖， 該鍵環(huán)部適于容納電子信息存儲(chǔ)元件(例如，RFID標(biāo)簽)并具有機(jī) 械鍵探針連接器接口。
19圖2B是圖2A的鍵環(huán)部和帶有相關(guān)聯(lián)保持部件的電子信息存儲(chǔ) 元件的正^見(jiàn)且部分截去的組件—見(jiàn)圖。
圖3是用于具有至少一個(gè)相關(guān)聯(lián)電子信息存儲(chǔ)元件的材料存儲(chǔ) 容器的填充系統(tǒng)的示意圖。
圖4是材料存儲(chǔ)容器監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的示意圖。
圖5是示出材料傳送所沿的方向和材料最終使用處理設(shè)施之內(nèi) 和外部設(shè)施中的多種元件的互聯(lián)的材料管理系統(tǒng)的示意圖。
圖6是示出第 一材料存儲(chǔ)容器管理方法的多個(gè)步驟的邏輯圖。
圖7是示出第二材料存儲(chǔ)容器管理方法的多個(gè)步驟的邏輯圖。
圖8是示出第三材料存儲(chǔ)容器管理方法的多個(gè)步驟的邏輯圖。
具體實(shí)施例方式
以下的美國(guó)專(zhuān)利和專(zhuān)利申請(qǐng)的公開(kāi)文件為本發(fā)明提供了上下 文，通過(guò)參考的方式將這些專(zhuān)利和專(zhuān)利申請(qǐng)的公開(kāi)文件整體結(jié)合到 本文中以Kevin T. O，Dougherty、 Robert E. Andrews 、 Tripunithura V. Jayaraman、 Joseph R Menning、及Chris A. Baye曙Wallance的名義 為"SECURE READER SYSTEM"在2005年7月13日j是交的第 10/742,125號(hào)美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)(并作為第2004/0172160號(hào)美國(guó)專(zhuān)利申 {青7>開(kāi)在2004年9月2日7>開(kāi))；以Kevin T. O，Dougherty和Robert E. Andrews的名義為"LIQUID HANDLING SYSTEM WITH ELECTRONIC INFORMATION STORAGE"在2002年5月3日4是 交的第10/139,104號(hào)美國(guó)專(zhuān)利申i青；以James V. McManus、 Jerrold D. Sameth、及Frank Dimeo， Jr.的名義為"MATERIAL CONTAINMENT SYSTEM"在2005年8月22日^是交的第60/710,216號(hào)美國(guó)專(zhuān)利申;以John Kinger、 Dennis Brestovansky 、 Kevin O，Dougherty、 Glenn M. Tom、 Kirk Mikkelsen、 Matthew Smith 、 DonWare、 GregNelson、 BobHaapala、 Russ Oberg、 Tim Hoyt、 Jason Gerold、 Kevin Nesdahl 、 及 John Jancsek 的名義為 "MATERIAL STORAGE AND DISPENSING SYSTEMS AND PROCESSORS"在2005年6月6日 提交的第60/687,896號(hào)美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)；以及以Jame V. Mcmanus、 Michael Wodjenski、及Edward E. Jones的名義為"MATERIAL STORAGE AND DISPENSING SYSTEM FEATURING EX畫(huà)SITUSTRAIN GAUGE PRESSURE MONITORING ASSEMBLY，，在2002年12月17日4更予的第6,494,343號(hào)美國(guó)專(zhuān)利。
本發(fā)明涉及采用與材料存儲(chǔ)和分發(fā)容器相關(guān)聯(lián)的信息存儲(chǔ)器 (優(yōu)選地，電子信息存儲(chǔ)器)元件的系統(tǒng)和方法，其中，操縱和使 用所存儲(chǔ)的信息以管理并促進(jìn)材料存儲(chǔ)容器及其所容之物的有效利 用。
材料存儲(chǔ)分分發(fā)容器及其所容之物的上下文中的術(shù)語(yǔ)"材料" 廣泛地指代任意固體(例如，粉末或顆粒狀形式的)、液體、氣體、 乳漿(plasma)、溶液、混合物、泥漿(slurry )、或懸浮液，并且可 以指代對(duì)于制造和實(shí)驗(yàn)處理來(lái)說(shuō)關(guān)鍵的任意材料，包括但不限于半 導(dǎo)體、醫(yī)療、配藥學(xué)、生物學(xué)、原子能、及納米技術(shù)領(lǐng)域中所使用 的前體(precursor)和誶毛才才(consumable )。
本文中的術(shù)語(yǔ)"流體"指代任意的液體、氣體、乳漿、溶液、 混合物、泥漿、或懸浮液。因此，"流體，，可以包括重要的固體內(nèi)容， 從而固體可以進(jìn)一步設(shè)置在材料存儲(chǔ)容器中以用作吸收媒體。在優(yōu) 選實(shí)施例中，材料存儲(chǔ)容器包含基本純的流體。
本發(fā)明所企圖給出的容器包括各種各樣的材料存儲(chǔ)和分發(fā)設(shè) 備。除非在本文中有限制或另有說(shuō)明，否則在本文所描述的一般容
21器中可以使用適合的任意材料容器。這種容器可以包括諸如以下美
國(guó)專(zhuān)利中的任意專(zhuān)利中所描述的那些容器的大氣容器(atmospheric vessel )、 超大氣壓容器(superatmospheric vessel )、 或低氣壓容器 (subatmospheric vessel): 5，518，528 , 5,704,965， 5,704,967, 5,935,305， 6,406,519， 6,204,180， 5,837,027, 6,743,278, 6,089,027, 6,101,816， 6,343476， 6,660,063, 6,592,653, 6,132,492, 5,851,270, 5，916，245， 5,761,910， 6,083,298, 6,592,653，及5,707,424,通過(guò)參 考的方式將各個(gè)專(zhuān)利的全部?jī)?nèi)容結(jié)合在本文中。
本文中所描述的材料存儲(chǔ)容器還包括具有可移動(dòng)襯里，使得外 部容器用作可選擇地加壓的第二層包裝以利于對(duì)存儲(chǔ)進(jìn)行控制和可 控地分發(fā)所容之物。這種容器在以Richard Wertenberger的名義的在 2004年3月2日授權(quán)的第6，698，619號(hào)美國(guó)專(zhuān)利^^皮露，通過(guò)參考 的方式將其公開(kāi)內(nèi)容結(jié)合到本文中。
在圖1中示出了材料存儲(chǔ)和分發(fā)組件的一個(gè)實(shí)例。概括地，該 組件包括材料存儲(chǔ)容器10、蓋子20、及具有分發(fā)探針的探針連接器 40。該材料存儲(chǔ)容器10包括限定孔的頸部11。蓋子20可以通過(guò)諸 如螺紋接合、卡扣裝接、真空密封、溶劑焊接、及其他傳統(tǒng)方法附 到容器10上。如所示，蓋子20包括電子信息存儲(chǔ)元件25。這種元 件的 一個(gè)實(shí)例是RFID標(biāo)簽(優(yōu)選地包括可寫(xiě)的RFID標(biāo)簽)，該RFID 標(biāo)簽具有用于存儲(chǔ)所期望的任意信息的被動(dòng)RF應(yīng)答器、天線、及 可編程存〗諸器(例如，可"l察可編程只讀存々者器(EEPROM)、可編 程只讀存儲(chǔ)器(PROM)、閃存、或非易失性隨機(jī)存取存儲(chǔ)器 (RAM))。優(yōu)選地，這種存儲(chǔ)器是動(dòng)態(tài)可更新的，以允許在被配置 用于材料存儲(chǔ)容器時(shí)允許將信息寫(xiě)到其上。還可以使用磁性存儲(chǔ)元 件。所存儲(chǔ)的信息可以(例如)表示以下各項(xiàng)中的任任一項(xiàng)批次 特有和/或容器特有材料性質(zhì)、容器特有當(dāng)前和/或歷史環(huán)境狀況、及 諸如用于處理工具的設(shè)置或指令的材料特有使用參數(shù)。存儲(chǔ)器中可 以存儲(chǔ)的更具體的信息實(shí)例包括但不限于表示以下各項(xiàng)的信息材料成分、材料濃度、材料粘性、材料壓力、材料溫度、材料體積、 材料質(zhì)量、批次標(biāo)識(shí)、加工商標(biāo)識(shí)、填充日期、材料有效期、供應(yīng) 商特有標(biāo)識(shí)符、客戶特有標(biāo)識(shí)符、分析i正書(shū)(例如，體現(xiàn)4比次特有 或容器特有材料性質(zhì)信息)、分析或類(lèi)似記錄的整數(shù)的標(biāo)識(shí)符、及其 他類(lèi)似有用的信息。
設(shè)想了各種類(lèi)型的電子信息存儲(chǔ)元件25,包括短范圍RFID標(biāo) 簽和長(zhǎng)范圍RFID標(biāo)簽、EEPROM、及類(lèi)似存儲(chǔ)裝置?？梢砸噪娮?產(chǎn)品代碼(EPC)凄t據(jù)才各式來(lái)存儲(chǔ)至少特定的信息。在一個(gè)實(shí)施例 中，唯一標(biāo)識(shí)符被存儲(chǔ)在與特定容器相關(guān)聯(lián)的電子信息存儲(chǔ)元件中， 其中，其他的容器特有信息或材料特有信息遠(yuǎn)程存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)存儲(chǔ)庫(kù)
(例如，動(dòng)態(tài)it據(jù)庫(kù))中，利用p眷一標(biāo)識(shí)符可以詢問(wèn)該存卡者庫(kù)以獲
取所期望的容器相關(guān)信息。在其他實(shí)施例中，用于特定容器的電子 信息存儲(chǔ)元件包括有限大小的本地存儲(chǔ)器，并且還包括通向外部數(shù) 據(jù)存儲(chǔ)庫(kù)的鏈路(優(yōu)選地，雙向鏈路，允許與電子信息存儲(chǔ)裝置有 關(guān)的讀/寫(xiě)能力)，該外部數(shù)據(jù)存儲(chǔ)庫(kù)具有相當(dāng)大的存儲(chǔ)器用于存儲(chǔ) 與容器和/或其材料內(nèi)容相關(guān)的歷史信息和其他信息。電子信息存儲(chǔ) 元件可以包括所存儲(chǔ)的一個(gè)以上的標(biāo)識(shí)符，標(biāo)識(shí)符使得能夠訪問(wèn)存 儲(chǔ)在該數(shù)據(jù)存儲(chǔ)庫(kù)中的相應(yīng)記錄，諸如收錄在分析證書(shū)中的批次特 有材料性質(zhì)信息或容器特有材料性質(zhì)信息的記錄。各種類(lèi)型的多個(gè) 電子信息存儲(chǔ)元件25可以」接照期望或針對(duì)特定最終用戶應(yīng)用的來(lái) 進(jìn)行組合。
電子信息存儲(chǔ)元件25還可以包括處理器，該處理器可以是通用 集成電路或特定用途集成電路，優(yōu)選地包括相關(guān)聯(lián)的A/D轉(zhuǎn)換器以 接收諸如來(lái)自傳感器的數(shù)據(jù)信號(hào)。該處理器優(yōu)選地適于執(zhí)行運(yùn)算或 其他傳統(tǒng)處理，喿作。
在一個(gè)實(shí)施例中，諸如傳統(tǒng)的條形碼的非電子信息存儲(chǔ)元件可 以與材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)。在另一實(shí)施例中，可以組合使用電子信
23息存儲(chǔ)器或非電子信息存儲(chǔ)器。例如，特定信息可以以只讀格式存 儲(chǔ)在非電子介質(zhì)中并與 一個(gè)材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)，并且這種容器還 可以包括至少 一個(gè)電子信息存^f諸元件作為進(jìn)一 步的信息存儲(chǔ)元件， 優(yōu)選地提供讀能力和寫(xiě)能力。在一個(gè)實(shí)施例中，非電子信息存儲(chǔ)元 件包括這樣的信息，該信息對(duì)于與同 一容器相關(guān)聯(lián)的電子信息存儲(chǔ) 元件中所存儲(chǔ)的至少特定信息來(lái)說(shuō)是冗余的，其中，該非電子信息 存儲(chǔ)元件用作第二個(gè)數(shù)據(jù)源或備份數(shù)據(jù)源，例如，在電子信息存儲(chǔ) 元件發(fā)生故障或以其他方式折衷的情況下用來(lái)提高可靠性。
如所示，容器10和蓋子20適于與具有分發(fā)探針43的探針連 接器40緊密配合以形成存儲(chǔ)和分發(fā)組件15。除了之前提到的電子 信息存儲(chǔ)元件25之外，蓋子20還包括用于容納分發(fā)探針43的探針 孔22。該連接器40包括天線45 (例如，射頻(RF)天線)、才莫塊 化天線線48、適配器管46、及探針43。在優(yōu)選實(shí)施例中，蓋子20 螺紋式連接到容器10的頸部。在容器10和蓋子20被運(yùn)送到所期望 位置之后，使膜23暴露。連接器40配置為與蓋子20互相連接。
為了組裝組件15,探針連接器40與連接到容器10的蓋子20 互相連接。通過(guò)有傷紋的可刮傷的膜23并通過(guò)探針孔22插入探針 尖端42以伸到容器10的內(nèi)部體積。然后，施加到連接器40上的持 續(xù)壓力允許連接器40移動(dòng)到緊鄰于蓋子20。然后，探針43與容器 IO的內(nèi)部進(jìn)行通信。這樣，連接器40被安裝到容器IO上。適配器 管46^是供了/人容器IO到外部泵(未示出)的液體通道。以這種方 式，可以經(jīng)由探針43、適配器管46、及泵將材料從容器10中提取 出來(lái)以供應(yīng)到加工處理工具(諸如，半導(dǎo)體晶片處理工具)。盡管為 了簡(jiǎn)明只示出了 一個(gè)容器10,其實(shí)典型的材料處理系統(tǒng)可以包括多 個(gè)容器IO和附屬部件。
優(yōu)選地使用從第一電子信息存儲(chǔ)裝置25接收到的信息經(jīng)由外 部的控制器(未示出)來(lái)啟動(dòng)、控制、或以其他方式管制來(lái)自容器IO的材料分發(fā)。例如，控制單元可以對(duì)從第一電子信息存儲(chǔ)裝置25 接收到的信息與關(guān)于將要執(zhí)行的處理的信息(例如，所需材料的身 份和量)進(jìn)行比較；并從而啟動(dòng)材料傳送。如果容器10包含不期望 的或意外的材津+，那么可以防止材并牛傳送。在這點(diǎn)上，這種電子信 息存儲(chǔ)裝置25可以用于基于信息的錯(cuò)接防止和/或禁止進(jìn)一步傳送 已過(guò)期或劣化(諸如由于環(huán)境暴光)的材料。相反，如果容器10 包4舌處理所需的材并牛，則可以啟動(dòng)流，其中，利用乂人第一電子信息 存儲(chǔ)裝置25接收到的信息可以控制流的輪廓。
如所示，蓋子20和連接器40之間的近距離近程與第一電子信 息存儲(chǔ)裝置25的短信號(hào)接收范圍和弱信號(hào)強(qiáng)度相兼容。這是提供積 極的封裝到連接器/探針信號(hào)關(guān)聯(lián)和事件管理所期望的，例如，在涉 及彼此相鄰放置許多個(gè)容器10的應(yīng)用中用來(lái)防止串?dāng)_?？梢蕴峁┚?有較大信號(hào)接收范圍的電子信息存儲(chǔ)裝置以補(bǔ)充或代替這種短范圍 的裝置。長(zhǎng)范圍的電子信息存儲(chǔ)裝置可以通過(guò)允許利用小數(shù)量的、 和/或空間上更遠(yuǎn)的天線或讀取裝置來(lái)感應(yīng)到多個(gè)容器以簡(jiǎn)化整體 的封裝管理。在一個(gè)實(shí)施例中，材料存儲(chǔ)器既包括短范圍電子信息
存儲(chǔ)裝置又包括長(zhǎng)范圍電子信息存儲(chǔ)裝置，其中，前者(短范圍) 電子信息存儲(chǔ)裝置對(duì)于防止錯(cuò)接是有用的并且提供積極的容器到工 具的分發(fā)服務(wù)關(guān)聯(lián)，而后者(長(zhǎng)范圍)信息存儲(chǔ)裝置對(duì)其他容器管 理任務(wù)是有用的，包括與外部讀取裝置交互、存儲(chǔ)并傳送傳感器(例 如，環(huán)境的)數(shù)據(jù)、存儲(chǔ)并傳送分析(材料特有)數(shù)據(jù)的證書(shū)等。
在一個(gè)實(shí)施例中，蓋子和連接器包括適于防止錯(cuò)接的機(jī)械鍵代 碼元件，諸如標(biāo)題為 "Liquid chemical dispensing system with a key code ring for connecting the proper chemical to the proper attachment" 的美國(guó)專(zhuān)利中所描述的，通過(guò)參考的方式將其結(jié)合到本文中。例如， 蓋子20可以包括4定代碼環(huán)部(例如，包括至少一個(gè)凸起、凹槽、槽 口、槽等)，以及連接器20可以包括鍵圖案(例如，至少一個(gè)凸起、
凹槽、槽口、槽等)，^t圖案配置為與蓋子20的^r定代碼環(huán)部緊密配合。存儲(chǔ)在容納器中的每種不同材料均可以分配給具有特定鍵代碼
配置的蓋子20,其中，不同材料具有不兼容的鍵代碼。當(dāng)企圖將用 于不同材料的蓋子和鍵的連接器耦合在一起時(shí)，通過(guò)不兼容的鍵圖 案來(lái)防止部件之間的正確座位；只有蓋子和4建的連4妄器;f皮此對(duì)應(yīng)才 可以正確連接。這種配置用來(lái)防止具有材料的容納器與不兼容的特 定處理工具之間的錯(cuò)連接。盡管這種機(jī)械鍵是已知的，并且通過(guò)取 回并操縱來(lái)自如本文中所描述的安裝在容器上的信息存儲(chǔ)元件的的 信息可以利于錯(cuò)接防止功能性，但是在特定的環(huán)境中，期望提供機(jī) 才戒和電子镅、接防止利用性，具有一起配置或可選地配置這種錯(cuò)-4妄防 止4支術(shù)的選項(xiàng)。
參照?qǐng)D2A-2B,用于材料存儲(chǔ)和分發(fā)組件的雙互鎖設(shè)計(jì)4是供了 兩個(gè)獨(dú)立的錯(cuò)接手段，即，電子信息存儲(chǔ)元件和機(jī)械鍵的探針接口 ， 取決于最終用戶的偏愛(ài)可以單獨(dú)采用或一起采用。結(jié)合上文中連同 圖1描述的組件15來(lái)理解圖2A-2B的描述，但其中圖1中示出的 蓋子20的部分用圖2A-2B中示出的4建環(huán)部分320A替代。
^fe環(huán)部分350A適于在凹槽350中容納RFID標(biāo)簽325，其中凹 槽具有漏斗式上方部分350A。具體地，環(huán)形墊圈隔離環(huán)(annular washerretainer)351先插入凹槽350，隨后是絕緣墊圈352，再然后 是RFID才示簽325,最后去于頂?shù)氖巧戏侥坎攀旧w子(upper target cap ) 355。通過(guò)壓配合、通過(guò)粘合、或通過(guò)任意其他適當(dāng)方式，這些部件 351、 352、 325、 355可以4呆持在凹才曹350中。
該4建環(huán)部分320A還包括才幾械鍵探針接口 360(包括沿著上方邊 界限定的凹陷360A-360D )。配合探針連接器40包括相應(yīng)的配合結(jié) 構(gòu)(未示出)，該配合結(jié)構(gòu)適于與機(jī)械鍵探針接口 360緊密配合。例 如，接口 360可以包括探針接口凹槽(360A-360D)和/或探針接口 凸起，并且蓋子接口結(jié)構(gòu)可以包括相應(yīng)大小、形狀、及位置的蓋子
26接口凸起和/或蓋子接口凹槽，使得如果這種部件適當(dāng)彼此鍵合則蓋
子20的探針連接器40和鍵環(huán)部分320A可以只彼此耦合。
在優(yōu)選實(shí)施例中，機(jī)械鍵探針接口 360具有相應(yīng)的字母數(shù)字鍵 代碼，并且蓋子20包括表示字母數(shù)字鍵代碼的可視指示符365。如 圖2A所示，數(shù)字"3-12"和"14-23"設(shè)置在鍵環(huán)部分320上作為 鍵代碼的可視指示符365。該可視指示允許用戶可視地確定鍵代碼， 例如，通過(guò)記錄與可3見(jiàn)指示符365有關(guān)的任意揮:針接口凹槽 (360A-360D )和/或揮:針4妻口凸起的位置。在圖2A所示的實(shí)例中， 鍵代碼是"4-10-16-22"，它們是在位置上最接近沿著鍵環(huán)部分320A 的外圍的凹槽360A-360D的凄史字。
在一個(gè)液體存^f諸容器中既出現(xiàn)才幾4成4建4笨4H妄口 360又出現(xiàn) RFID標(biāo)簽325使得能夠進(jìn)行冗余錯(cuò)接防止，其中， 一種手段是機(jī)械 的，而另一種手段是涉及RFID標(biāo)簽的電子的。特定最終用戶可以 采用兩種手段，或者其他最終用戶可以只利用一種錯(cuò)接手段。這種 靈活性利于制造商降低要生產(chǎn)和存儲(chǔ)的部件數(shù)目，并最終用戶提供 在最終用戶的選項(xiàng)上可采用的可替換的或聯(lián)合的錯(cuò)接防止手段。對(duì) 于最終用戶設(shè)施從一種錯(cuò)接防止系統(tǒng)類(lèi)型到另 一種錯(cuò)接防止系統(tǒng)類(lèi) 型的轉(zhuǎn)變，這種靈活性尤其有用，這是由于一組流體存儲(chǔ)容器可以 與新的流體管理裝置和傳統(tǒng)的流體管理裝置互換使用。此外，在材 泮牛最終用戶i殳施處測(cè)試新系統(tǒng)期間可以采用這種鋪、接防止系統(tǒng)。
參照?qǐng)D1,電子信息存儲(chǔ)元件可以附屬于材料存儲(chǔ)容器，或者 以各種方式和配置另外與材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)。盡管上文中首先優(yōu) 選地描述了短范圍的電子信息存儲(chǔ)元件25，但是容器10還可以包 括沿其外表面布置的第二優(yōu)選的長(zhǎng)范圍電子信息存儲(chǔ)元件50 。第二 電子信息存儲(chǔ)元件50可以包括鑲嵌RFID標(biāo)簽。這種電子信息存儲(chǔ) 元件50可以與容器主體(例如，通過(guò)澆鑄)整體形成，附加于容器 主體外部，附加于容器的蓋子或與容器的蓋子一起形成，或以任意
27其他方便的配置來(lái)提供。優(yōu)選地沿著外表面設(shè)置長(zhǎng)范圍電子信息存 儲(chǔ)元件以使通過(guò)介于其間的材料的信號(hào)衰減最小化(例如，容納器 壁)。
不管這種傳感器是隨著容器一起運(yùn)輸?shù)?例如，附加的)還是 以靜止方式配置在這些容器在給定期間共享的環(huán)境中，均可以結(jié)合 具有電子信息存儲(chǔ)元件的材料存儲(chǔ)容器一起使用各種傳感器和附屬 部件。在優(yōu)選實(shí)施例中，可以整體使用或以其他方式與電子信息存
4諸元件50可通信耦合地-使用一個(gè)以上的傳感器，并且可以沿著容器 10的外表面布置這些傳感器。這些傳感器所產(chǎn)生的信號(hào)優(yōu)選地傳送 到與材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)的電子信息存儲(chǔ)裝置(例如，第二電子信 息存儲(chǔ)裝置50)，但是還可以直接傳送到或中繼到外部信號(hào)接收裝
最終4吏用設(shè)施之間所經(jīng)歷的環(huán)境狀況，或者甚至材料最終4吏用"i殳施 內(nèi)的環(huán)境4犬況，以評(píng)定所評(píng)i侖的4爭(zhēng)定才才一+是否在其計(jì)劃4吏用之前劣 化。如果材料違反了一些環(huán)境限制，諸如使用年限、溫度、撞擊等， 則可以防止流體傳送到處理工具，或者如果在4吏用中才全測(cè)到違反了 一些環(huán)境限制，則可以停止進(jìn)一步的材料傳送。
期望的傳感器類(lèi)型包括溫度、壓力、張力(例如，以產(chǎn)生對(duì) 壓力敏感的信號(hào))、化學(xué)(例如，所匹配的適于特定容器內(nèi)的材料內(nèi) 容的用來(lái)檢測(cè)泄漏的胺傳感器、氧傳感器、及其他化學(xué)傳感器)、潮 濕、加速、材料水平(例如，通過(guò)光學(xué)手^a或聲學(xué)手,史)。利用電子 信息存儲(chǔ)元件25、 50通常就是這樣，傳感器可以是無(wú)動(dòng)力，自動(dòng)力 的(例如，利用電池、電容器、光電電池、或其他電荷發(fā)生元件或 存儲(chǔ)元件)，或遠(yuǎn)程動(dòng)力的(例如，通過(guò)整合輸入的高頻RF信號(hào)以 產(chǎn)生可利用的電荷)。遠(yuǎn)禾呈動(dòng)力的裝置可以利用ISO 14444 (-A， -B, -C )或ISO 15693通信。各種傳感器可以按照期望彼此結(jié)合和/或與 電子信息存儲(chǔ)元件(多個(gè)元件)結(jié)合?？梢允褂脗鹘y(tǒng)尺度的傳感器 或MEMS^f專(zhuān)感器。盡管無(wú)需與被傳感的材料直接接觸的傳感器是優(yōu)選的，其實(shí)可 以使用各種類(lèi)型的壓力傳感器。在一個(gè)實(shí)施例中，對(duì)張力敏感的傳 感器被布置在容器的外表面并適于在容器響應(yīng)于容器壁的壓力差的
號(hào)，_潛如在第6,494,343號(hào)美國(guó)專(zhuān)利中所描述的。壓力4言號(hào)可以用于 感應(yīng)泄漏的容器或空的容器(例如，通過(guò)下降的壓力或較低的壓力 來(lái)表征)，或者感應(yīng)危險(xiǎn)的過(guò)壓狀況?？梢詫?duì)來(lái)自壓力傳感器的輸出 信號(hào)與預(yù)i殳閾值或用戶定義的閾值進(jìn)行比專(zhuān)交，其中優(yōu)選地在一個(gè)實(shí) 施例中在電子信息存儲(chǔ)元件的存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)高壓力狀態(tài)信號(hào)或低壓 力狀態(tài)信號(hào)。
可以提供各種類(lèi)型的壓力傳感器，以感應(yīng)容器內(nèi)的材料溫度、 容器表面溫度、或者容器所處的環(huán)境溫度。還可以4吏用溫度傳感器 來(lái)補(bǔ)償用于溫度的表示壓力的信號(hào)。適合的溫度傳感器類(lèi)型的實(shí)例 包括熱電偶、熱每文電阻、及電阻溫度裝置?？稍诙喾N場(chǎng)景中4吏用溫 度信號(hào)。盡管經(jīng)受冷藏的特定材料在被分發(fā)到處理工具之前需要返
回到精確控制的較高溫度范圍，但是高溫度會(huì)使敏感材料劣化，諸 如光刻月交。可以對(duì)來(lái)自溫度傳感器的輸出信號(hào)與預(yù)_沒(méi)閾值或用戶定 義的閾值進(jìn)行比較，其中優(yōu)選地在一個(gè)實(shí)施例中在電子信息存儲(chǔ)元 件的存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)高溫度狀態(tài)信號(hào)或低溫度狀態(tài)信號(hào)。
可以^是供一個(gè)以上對(duì)加速度壽丈感的傳感器用來(lái)測(cè)量材并+存儲(chǔ)容 器所經(jīng)理的撞擊或加速度。由于種種元件監(jiān)測(cè)材料存儲(chǔ)容器的撞擊 或加速度會(huì)是有用的，諸如用來(lái)識(shí)別潛在的破壞性碰撞或撞擊到容 器和/或4企測(cè)有可能改變?nèi)萜魉葜锏臓顟B(tài)的狀況。例如，如果容 器容有泥漿、具有懸浮固體的懸浮液、或包含表面活性劑的材料， 則碰撞撞擊或其他高加速度事件會(huì)導(dǎo)致不期望的潑濺、分離、泡沫， 或?qū)е缕渌黄谕牟痪鶆驙顩r?？梢?是供多個(gè)傳感器用來(lái)測(cè)量互 補(bǔ)方向的撞擊或加速度和/或用來(lái)在單個(gè)撞擊或加速度傳感器失靈 的情況下提供冗余的撞擊或加速度測(cè)量。加速度傳感器的一個(gè)實(shí)例包括Analog Device公司(諾伍德，MA )生產(chǎn)的型號(hào)ADXL320以 及名為 "Encapsulation of MEMS devices using pillar-supported caps" 的第2003-0153116號(hào)美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)中披露的設(shè)軒(通過(guò)參考的 方式將其結(jié)合到本文中)?？梢詫?duì)來(lái)自加速度傳感器的輸出信號(hào)和預(yù) 設(shè)閾值或用戶定義的閾值進(jìn)行比較，其中優(yōu)選地在一個(gè)實(shí)施例中在 電子信息存儲(chǔ)元件的存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)高加速度狀態(tài)信號(hào)。
可以|是供各種類(lèi)型的材沖+ (化學(xué))傳感器，以識(shí)別一種以上特 定材^牛(例如，以液體或以氣體形式)在容器外部的出現(xiàn)，并將一 種以上的輸出信號(hào)傳達(dá)到電子信息存儲(chǔ)裝置和/或遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)器?？梢?對(duì)來(lái)自材料傳感器的輸出信號(hào)和預(yù)設(shè)閾值或用戶定義的閾值進(jìn)行比 較以啟動(dòng)警報(bào)或響應(yīng)動(dòng)作。假設(shè)存在恰當(dāng)?shù)奶幚砥鞑⒋嬖陬A(yù)置或用 戶限定的閾值駐留在存4諸器中，則可以在具有構(gòu)成整體所必須的處 理器的電子信息存儲(chǔ)元件內(nèi)部本地沖丸行這種比4交；或者可替換地， 可以通過(guò)周期性或在要求時(shí)將表示傳感器信號(hào)的信息傳達(dá)到工業(yè)控 制器或計(jì)算才幾(例如圖5所示的控制元件236)的處理器而在外部 執(zhí)行這種比較?；瘜W(xué)檢測(cè)的使用會(huì)是有用的，例如，以識(shí)別從存儲(chǔ) 容器或其他來(lái)源散發(fā)出的泄漏。要感應(yīng)的特定類(lèi)型的材料包括氧氣、 胺、及可能出現(xiàn)在存儲(chǔ)容器中的其他類(lèi)型的材料。有用的材料傳感 器172的一個(gè)實(shí)例包4舌在卡爾^f魯厄(Karlsruhe)研究中心或 Forschungszentrum卡爾斯魯厄股份有限公司(卡爾斯魯厄，德國(guó)) 處開(kāi)發(fā)的KAMINA傾釗-樣i陣列芯片(gradient micro array chip )。有 用的材料傳感器172的其他實(shí)例包括標(biāo)題為"Nickel-Coated Free-Standing Silicon Carbide Structure for Sensing Fluoro or Halogen Species in Semiconductor Processing Systems, and Processes of Making and Using Same"第2004/0163444號(hào)美國(guó)專(zhuān)利申誚^>開(kāi)中么、 開(kāi)的氟代-和卣素-傳感傳感器，通過(guò)參考的方式將其內(nèi)容結(jié)合于此。
可以提供各種類(lèi)型的傳感器以識(shí)別容器內(nèi)的材料等級(jí)和/或檢 -瞼材泮+類(lèi)型。例如，可以4吏用光學(xué)和/或聲學(xué)收發(fā)才幾或傳感器。相比
30于氣體，聲學(xué)測(cè)量可能更適合于液體々某體。在一個(gè)實(shí)施例中，聲學(xué) 收發(fā)機(jī)的發(fā)射機(jī)部分將初始的聲學(xué)信號(hào)發(fā)送給容器壁的外壁，而其 接收才幾部分才企測(cè)所傳送信號(hào)的肆毛散。聲學(xué)能量的一部分在容器中以 及在其所容納的材料中耗散掉，其中，在材料中耗散的聲學(xué)能量的 總量依賴于所存在材料的量和/或類(lèi)型。不同的材料類(lèi)型可以提供不 同的聲學(xué)耗散特性，諸如可以與材料密度中的差異有關(guān)?？梢葬槍?duì) 容納不同等級(jí)的材料和/或各種類(lèi)型的材料的各種容器類(lèi)型生成聲 學(xué)耗散經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)并將該數(shù)據(jù)存儲(chǔ)為存儲(chǔ)器(諸如電子信息存儲(chǔ)裝置 的存儲(chǔ)器)中的查找表。此后，可以將收發(fā)機(jī)接收到的聲學(xué)信號(hào)傳 送到處理器(例如，在電子信息存儲(chǔ)裝置內(nèi)的)并將該聲學(xué)信號(hào)與 存儲(chǔ)的耗散信號(hào)進(jìn)行比較以識(shí)別容器中存在的材料等級(jí)和材料類(lèi) 型。在另一實(shí)施例中，可以在將特定材料填充到容器期間一次以上 地生成特定容器的所容之物的聲學(xué)信號(hào)，并將該聲學(xué)信號(hào)存儲(chǔ)在電 子信息存儲(chǔ)裝置中用于關(guān)聯(lián)到該特定容器和材料。
在一個(gè)實(shí)施例中，優(yōu)選地，傳感器至少間歇地與電子信息存儲(chǔ) 裝置(其與材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián))進(jìn)行通信，或與可能諸如位于遠(yuǎn)
處的另 一凝:據(jù)4諸存庫(kù)進(jìn)4亍通信?？梢砸圆煌l率或適合于傳感參數(shù) 的采樣率、可用功率、或任意其他考慮來(lái)進(jìn)行這種通信。信號(hào)采樣
率可以是響應(yīng)于觸發(fā)或閾〗直事件而動(dòng)態(tài)變^f匕的。例如，如果最初以 每小時(shí)兩次的速率對(duì)壓力或張力進(jìn)行采樣，則在本質(zhì)上高于或低于 累積平均讀數(shù)或其他閾值的讀凄t會(huì)觸發(fā)更頻繁的信號(hào)采樣或向電子 信息存儲(chǔ)裝置的存儲(chǔ)器或數(shù)據(jù)儲(chǔ)存器的數(shù)據(jù)傳送。
圖3是出了諸如容器10的材料存儲(chǔ)容器的填充系統(tǒng)100。可以 由材料供應(yīng)商來(lái)使用這種系統(tǒng)100。容器100可以包括第一電子信 息存儲(chǔ)元件25和第二電子信息存儲(chǔ)元件50,優(yōu)選地包括上文描述 的任意的一個(gè)或多個(gè)傳感器。經(jīng)由材料提供站102將材料^是供給容 器10。在填充步驟期間或之后，可以使用編程界面104 (例如，基 于RFID的)來(lái)將信息寫(xiě)到電子信息存儲(chǔ)元件25和/或50中。這種
31信息可以限制到唯一標(biāo)識(shí)符(諸如，以電子產(chǎn)品代碼格式編碼的)，或者可以包括上文描述的各種類(lèi)型信息(諸如，材料類(lèi)型、材料等級(jí)、材料批次標(biāo)識(shí)、批次特有材料性質(zhì)或容納器特有材料性質(zhì)、材料特有處理工具使用參數(shù)、處理工具操作指令等等)中的任一種。
優(yōu)選地，由共用控制器106來(lái)控制材料供應(yīng)站102和編程界面104,該控制器優(yōu)選地訪問(wèn)信息存儲(chǔ)器并可以與各種傳統(tǒng)存儲(chǔ)器和通信裝置中的任一種進(jìn)行聯(lián)網(wǎng)。
圖4示出了用于監(jiān)測(cè)一個(gè)以上容器10A-10C的材料存儲(chǔ)容器監(jiān)測(cè)系統(tǒng)120。每個(gè)容器可以包括第一電子信息存儲(chǔ)元件25A-25C和第二電子信息存儲(chǔ)元件和/或傳感器50A-50C。容器10A-10C放置在普通房間、隔間、或其4也圍墻123內(nèi)。可以提供周?chē)膫鞲衅?15來(lái)監(jiān)測(cè)圍墻123內(nèi)的狀況。諸如RFID讀取/寫(xiě)入裝置的至少一個(gè)電子信息讀取和/或?qū)懭胙b置122被放置在圍墻123內(nèi)放置的容器10A-10C的信號(hào)發(fā)送和接收范圍中?？梢赃M(jìn)一步將第二天線121放置在容器10A-10C的信號(hào)發(fā)送和/或接收范圍中。在一個(gè)實(shí)施例中，在一個(gè)以上容器10A-10C上^是供第二天線以允許在容器之間進(jìn)4亍"雛菊花環(huán)，，或類(lèi)似的通信以擴(kuò)展與讀取裝置122有關(guān)的信號(hào)發(fā)送/接收范圍。例如，可以使用第二天線121來(lái)擴(kuò)展電子信息讀取裝置122的范圍和/或發(fā)送有用的高頻RF信號(hào)以為電子信息存儲(chǔ)元件(多個(gè))和/或傳感器(多個(gè))25A-25C 50A-50C供電。電子信息讀取裝置122 (其可以固定也可以手持)優(yōu)選地與通信網(wǎng)絡(luò)125 (該網(wǎng)絡(luò)包括對(duì)互聯(lián)網(wǎng)絡(luò)的訪問(wèn))進(jìn)行通信。凄t據(jù)存儲(chǔ)/;險(xiǎn)索元件或凄t據(jù)儲(chǔ)存器126可以經(jīng)由該網(wǎng)絡(luò)連接到讀取裝置122，并且監(jiān)測(cè)終端128可以允許對(duì)從材料存儲(chǔ)容器10A-10C獲得的信息進(jìn)行遠(yuǎn)程訪問(wèn)。在擴(kuò)大的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，可以提供多個(gè)圍墻123、多個(gè)讀取裝置122、及多個(gè)第二天線121。例如，可以在材料供應(yīng)商的設(shè)施(例如，以在填充系統(tǒng)100中跟蹤容器10A-10C跟隨編程)處，在適于容納多個(gè)容器10A-10C的傳送容納器中、在材沖牛處理最終4吏用處理i殳施中，和/或后期處理(例如，回收或廢物處理)i殳施中，安裝這種監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
120。通過(guò)使用與材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)的長(zhǎng)范圍通信和電子信息存儲(chǔ)元件(諸如，長(zhǎng)范圍RFID標(biāo)簽)可以容易地有助于這種持續(xù)的跟蹤。
圖5示出了材料管理系統(tǒng)200，示出了材料處理最終使用(生產(chǎn))i殳施230內(nèi)的以及外部i殳施210、 220、 290中的各種元件的互聯(lián)，并示出了系統(tǒng)200中的材料傳送方向。系統(tǒng)200包括多個(gè)材料存儲(chǔ)容器201A-201Q，其中每個(gè)容器201A-201Q具有至少一個(gè)相關(guān)聯(lián)電子信息存儲(chǔ)元件(例如，安裝在蓋子上的短范圍RFID標(biāo)簽和安裝在容器壁上的長(zhǎng)范圍RFID鑲嵌標(biāo)簽)，其中，至少一個(gè)電子信息存儲(chǔ)元件優(yōu)選地是動(dòng)態(tài)可更新的以周期性接收并存儲(chǔ)信息。在生產(chǎn)設(shè)施230內(nèi)，網(wǎng)絡(luò)232和多個(gè)數(shù)據(jù)通信元件245、 255、 265、 275、285允許彼此進(jìn)行通信并允許與各種各自采用了硬件和軟件的網(wǎng)絡(luò)裝置(諸如中央控制器236、監(jiān)測(cè)元件235、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)/檢索元件234、可選遠(yuǎn)程訪問(wèn)裝置206、及用戶界面238 )進(jìn)行通信?？梢园凑毡憷蚱谕麃?lái)采用額外的^:件平臺(tái)和/或才莫塊(例如，商業(yè)處理自動(dòng)^d牛、加工執(zhí)行系統(tǒng)、企業(yè)資源計(jì)劃系統(tǒng)等)以完成各種材料管理、處理管理、處理優(yōu)化、報(bào)告、及監(jiān)測(cè)功能中的任一種。還可以提供一個(gè)以上防火墻233A、 233B以允許安全外部通信。
開(kāi)始于圖5中的左上方，經(jīng)由i丈置在供應(yīng)商^殳施210中的填充站213將材料提供給容器(例如，容器201A、 201B)。在供應(yīng)商設(shè)施216中^是供一個(gè)以上傳感器元件216以傳感環(huán)境狀況。還才是供了適于對(duì)材料進(jìn)行分析并生成批次特有材料性質(zhì)信息和容器特有材料性質(zhì)信息中任一種的分析元件或站217。這種信息可以包括(例如)諸如材料身份、材料密度、材料粘性、及分子量的參數(shù)。為了使容器運(yùn)送之前等待生成分析結(jié)果的時(shí)間最小化，可以在容器已離開(kāi)供應(yīng)商設(shè)施210之后執(zhí)行來(lái)自多個(gè)批次或多個(gè)單獨(dú)容器的材料采樣分析，其中稍后經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)202傳送(例如，在傳送時(shí)或在材料最終使
33用i殳施230內(nèi))結(jié)果，諸如以將這種信息記錄在跟隨運(yùn)送的與容器相關(guān)聯(lián)的電子信息存儲(chǔ)裝置。適于將信息寫(xiě)入到各容器201A、 201B中的電子信息存儲(chǔ)元件的電子信息(例如，RFID )通信站219優(yōu)選地與填充站213、分析元件217、及傳感元件216中的每一個(gè)進(jìn)4亍通信。盡管本文中使用了術(shù)語(yǔ)"站"，但是如果適用的話，則任意的電子信息通信站可以是^f更攜的和/或手持的。以這種方式，可以沿著容器(例如容器201B)退出供應(yīng)商設(shè)施210的日期和/或時(shí)間戳，將來(lái)自填充站213、分析元件217、及傳感元件216中任一個(gè)的信息傳送到并存儲(chǔ)在容器電子信息存儲(chǔ)元件中。由于需要相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)候來(lái)獲得分析結(jié)果，為了防止過(guò)度的傳送延遲，可以將材料存儲(chǔ)容器運(yùn)送出供應(yīng)商設(shè)施而沒(méi)有分析信息，但是帶有存儲(chǔ)在相關(guān)聯(lián)電子信息存儲(chǔ)元件中的足夠的信息以允許當(dāng)這種容器出現(xiàn)在分發(fā)設(shè)施220或最終使用(生產(chǎn))設(shè)施230中時(shí)將分析結(jié)果傳送到這種容器并由這種容器接收到。優(yōu)選地，數(shù)據(jù)通信站215設(shè)置為供應(yīng)商設(shè)施213中以允許這種數(shù)據(jù)被傳送到供應(yīng)商設(shè)施210或接收來(lái)自該供應(yīng)商設(shè)施的數(shù)據(jù)。經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)202通過(guò)數(shù)據(jù)通信站215還可以有利于與外部代理或?qū)徲?jì)員204進(jìn)4亍通信或向外部4戈理或?qū)徲?jì)員才艮告。在一個(gè)優(yōu)選應(yīng)用中，最鄉(xiāng)冬^吏用(例如，生產(chǎn)處理)i殳施230經(jīng)由一個(gè)以上網(wǎng)全各(例如，網(wǎng)絡(luò)202)與供應(yīng)商設(shè)施210建立通信以獲得和/或檢驗(yàn)由最終使用設(shè)施230接收到的特定材料存儲(chǔ)容器相關(guān)的信息。
可以將材料存儲(chǔ)容器(例如，容器201C、 201D)從供應(yīng)商設(shè)施210運(yùn)輸?shù)椒职l(fā)或倉(cāng)庫(kù)設(shè)施220。第一電子信息通信站221與每個(gè)進(jìn)來(lái)的容器(例如，容器201C、 201D)進(jìn)行通信以在容器進(jìn)入到分發(fā)設(shè)施220時(shí)從容器檢索信息和/或?qū)⑿畔?xiě)入到容器中。這種通信能力是有用的，例如，以自動(dòng)記錄容器到分發(fā)設(shè)施220中的移動(dòng)，具有電子時(shí)間和/或時(shí)間戳。通過(guò)將信息寫(xiě)入到與容器相關(guān)聯(lián)的電子信息存儲(chǔ)元件，容器保留了其自己的運(yùn)送記錄。在分發(fā)設(shè)施220中提供傳感器元件226以傳感其中的環(huán)境狀況，優(yōu)選地提供第二電子信息通信站229以允許與離開(kāi)分發(fā)i殳施220的外發(fā)容器進(jìn)行通信。 如果適當(dāng)或期望，可以將第一和第二電子信息通信站221、 229集成 到 一個(gè)站中。還l是供教:據(jù)通信站225以經(jīng)由通信網(wǎng)絡(luò)232在容納(或 材料進(jìn)入)區(qū)240和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)/檢索裝置234之間傳達(dá)信息。系統(tǒng)中
的各種^更件裝置^皮理解為利用適合的沖幾器可讀專(zhuān)欠件進(jìn)行4乘作。
將材料存儲(chǔ)容器從分發(fā)設(shè)施220運(yùn)送到材料最終使用設(shè)施230, 并且材并+存儲(chǔ)容器典型地凈皮容納在容納區(qū)240中。容納區(qū)240優(yōu)選 地包4舌第一和第二電子信息通信站241、 240，這兩個(gè)通信站適于與 電子信息存儲(chǔ)元件(與各材料存儲(chǔ)容器(例如，容器201E、 201F) 相關(guān)聯(lián)的)、環(huán)境傳感元件246進(jìn)行通信、以及優(yōu)選地與數(shù)據(jù)通信元 件245進(jìn)行通信。優(yōu)選地利用第一和第二電子信息通信站241、 240 通過(guò)將這種信息存儲(chǔ)到與容器相關(guān)聯(lián)的電子信息存儲(chǔ)元件、以及可 選地將實(shí)質(zhì)上相同的信息存儲(chǔ)到數(shù)據(jù)存儲(chǔ)/檢索裝置234 (其利用數(shù) 據(jù)通信元件245和通信網(wǎng)絡(luò)232 (優(yōu)選地位于最終使用設(shè)施230內(nèi) 部)與容納區(qū)240進(jìn)行通信)來(lái)執(zhí)行容器進(jìn)入和外出電子時(shí)間戳。 可以通過(guò)(內(nèi)部)網(wǎng)絡(luò)232、防火墻233A或233B、及外部網(wǎng)絡(luò)202 可以4是供容納區(qū)240和供應(yīng)商設(shè)施210之間的通信，諸如以將從供 應(yīng)商那傳達(dá)來(lái)材料分析數(shù)據(jù)和/或證書(shū)記錄存儲(chǔ)到適當(dāng)材料存儲(chǔ)容 器的電子信息存儲(chǔ)元件，并且這種信息將同時(shí)存儲(chǔ)到數(shù)據(jù)存儲(chǔ)/檢索 元件234?？梢詫?duì)容納到容納區(qū)240中的材料存儲(chǔ)容器(或者就此 而言可以對(duì)運(yùn)輸?shù)阶罱K4吏用i殳施230內(nèi)的任意區(qū)的材坤+存^f諸容器) 執(zhí)行各種數(shù)據(jù)確認(rèn)檢查中的任一種。經(jīng)由數(shù)據(jù)通信元件245和網(wǎng)絡(luò) 232將來(lái)自每個(gè)容器電子信息存儲(chǔ)元件的數(shù)據(jù)傳達(dá)到數(shù)據(jù)存儲(chǔ)/檢索 元件234。為了連續(xù)或當(dāng)容器退出容納區(qū)240時(shí)，可以將表示冷的 存^f渚區(qū)中的當(dāng)前和/或歷史的環(huán)境狀況的信息寫(xiě)入到每個(gè)容器的電 子信息存儲(chǔ)元件中。
可以將用戶限定的用于接受或移動(dòng)材料的各種規(guī)則應(yīng)用到其中 放置的容器和材料上，典型地涉及將從分析服務(wù)傳送到最終使用設(shè)
35施的分析結(jié)果(例如，包括批次特有材料性質(zhì)信息和容納器特有材 料性質(zhì)信息)的證書(shū)。優(yōu)選地容器一旦進(jìn)入材料最終使用設(shè)施，則 分析證書(shū)、允許訪問(wèn)分析證書(shū)的唯一標(biāo)識(shí)符、接受或可接受性確定 的結(jié)果等等可以被傳達(dá)并存儲(chǔ)到與容納材料的容器相關(guān)聯(lián)的信息存 儲(chǔ)元件，就像存儲(chǔ)在容器相關(guān)聯(lián)信息存儲(chǔ)元件中的信息可以被傳達(dá) 到處理工具控制元件。此外， 一旦到達(dá)特定事件，諸如由材料最終 使用設(shè)施的操作者接受容器或材料，則可以將表示化學(xué)使用模板或 其他處理工作操作指令的信息存儲(chǔ)到信息存儲(chǔ)裝置或?qū)⒃撔畔⑹鼓?為可訪問(wèn)形式。期望有前面信息傳輸步驟的自動(dòng)化以消除容器傳輸 的延遲，這是因?yàn)槿菁{在這種容器中的材料可能對(duì)環(huán)境因素(諸如， 溫度、壓力、震動(dòng)、輻射、曝光等等)非常敏感。
可以將材料存儲(chǔ)容器從容納區(qū)240運(yùn)輸?shù)嚼浯鎯?chǔ)區(qū)250。對(duì)于
存期。冷存儲(chǔ)區(qū)250優(yōu)選地包括適于與電子信息存^f諸元件(與各材 料存儲(chǔ)容器(例如，容器201G、 201H)相關(guān)聯(lián)的)、環(huán)境傳感器元 件256、及數(shù)據(jù)通信站255進(jìn)行通信的第一和第二電子信息通信站 251、 250。為了本質(zhì)的連續(xù)或當(dāng)容器退出冷存儲(chǔ)區(qū)250時(shí)，可以將 表示容納區(qū)中的當(dāng)前和/或歷史的(例如，跨度容器出現(xiàn)在冷存儲(chǔ)區(qū) 250中的持續(xù)時(shí)間的)環(huán)境狀況的信息寫(xiě)入到各容器的電子信息存 儲(chǔ)元件。
可以將材料存儲(chǔ)容器從冷存儲(chǔ)區(qū)250運(yùn)輸?shù)浇鈨龌蝾A(yù)加工材料 (化學(xué))分段區(qū)260。分段區(qū)260優(yōu)選地包括適于與電子信息存儲(chǔ) 元件(與各材料存儲(chǔ)容器(例如，容器2011、 201J)相關(guān)聯(lián)的)、 環(huán)境傳感器元件266、及數(shù)據(jù)通信站265進(jìn)行通信的第一和第二電 子信息通信站261、 260。為了本質(zhì)的連續(xù)或當(dāng)容器退出分段區(qū)260 時(shí)，可以將表示容納區(qū)中的當(dāng)前和/或歷史的(例如，跨度容器出現(xiàn) 在分段區(qū)260中的持續(xù)時(shí)間的)環(huán)境狀況的信息寫(xiě)入到各容器的至 少一個(gè)電子信息存儲(chǔ)元件(例如，長(zhǎng)范圍RFID鑲嵌標(biāo)簽)。如果之
36前未存儲(chǔ)在與材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)的電子信息存儲(chǔ)元件中(例如，
在供應(yīng)商i殳施210處或在4壬意其他地點(diǎn)處在容器供應(yīng)鏈中填充時(shí))， 可以在分段區(qū)260中將處理工具操作參數(shù)、設(shè)置、或操作指令、或 其他影響處理工具材料使用的信息存儲(chǔ)到材料存儲(chǔ)容器的電子信息 存4諸元件。
可以將材料存儲(chǔ)容器從分段區(qū)260運(yùn)輸?shù)缴a(chǎn)處理或加工區(qū) 270。加工區(qū)270優(yōu)選》也包才舌適于在容器一旦進(jìn)入或離開(kāi)加工區(qū)270 時(shí)則與電子信息存儲(chǔ)元件(與各材料存儲(chǔ)容器(例如，與容器201K、 201N)相關(guān)聯(lián))進(jìn)4亍通信的第一和第二電子信息通信站271、 279。 加工區(qū)270還包4舌至少一個(gè)處理工具272A、 272B。這種工具的實(shí) 例包括用于施加光刻"交的涂層才幾跟蹤處理工具以及其他半導(dǎo)體晶片 加工處理工具；然而，也可以采用適于醫(yī)療、制藥、生物、原子核、 和/或納米4支術(shù)的處理工具。各個(gè)處理工具272A、 272B具有相關(guān)聯(lián) 材料(例如化學(xué)的)的圍墻或抽屜(drawer) 273A、 273B，用于包 圍對(duì)處理工具272A、 272B的分發(fā)關(guān)系而連接的材料存儲(chǔ)容器(例 如，容器201L、 201M)。每個(gè)抽屜優(yōu)選地包含多個(gè)材料存儲(chǔ)容器以 允許處理工具272A、 272B的不間斷才喿作的4交大時(shí),殳，并且每個(gè)材 料存儲(chǔ)容器的電子信息存儲(chǔ)元件(例如，短范圍RFID標(biāo)簽)優(yōu)選 地經(jīng)由適當(dāng)通信硬件與相關(guān)聯(lián)本地控制元件278A、 278B進(jìn)行傳感 通信。這種通信硬件可以包括RFID閱讀器(或讀取/寫(xiě)入裝置)， 其中，RFID讀取器固定到探針連接器，探針連接器適于與安裝在容 器蓋子中的短范圍RFID標(biāo)簽最接近配合(例如，如圖2A-2B所示)。 這種類(lèi)型的探針連4妄器可以與可操作i也耦合到處理工具的控制元件 (例如，工業(yè)控制器或計(jì)算機(jī))進(jìn)行有線通信。
可以為各處理工具272A、272B才是供本地控制元件276A、276B, 其中，各本地控制元件276A、 276B優(yōu)選地與中央控制器236、監(jiān) 測(cè)元件235、凄t據(jù)存4諸/才企索元件234、可選遠(yuǎn)禾呈訪問(wèn)裝置206、及用 戶界面238進(jìn)行通信，全部經(jīng)由優(yōu)選的最終使用設(shè)施230本地的通信網(wǎng)《各232和凄t據(jù)通信站275。各處理工具控制元件272A、 272B
當(dāng)前和/或歷史環(huán)境狀況、及材料特有使用參數(shù)中的任一個(gè)改為輸入 變量以考察這些輸入變量對(duì)處理性能、工具性能、產(chǎn)品性能、及產(chǎn) 品生產(chǎn)量中任一個(gè)的效果。各處理工具272A、 272B還包括傳感器 元件276A、 276B (例如，溫度傳感器元件)以監(jiān)測(cè)材^+存儲(chǔ)容器 所經(jīng)歷的環(huán)境狀況，其中，這種狀況可以報(bào)告給本地和/或中央控制 元件(多個(gè))276A、 276B、 232,并且優(yōu)選地存^f渚到材一牛容器的電 子信息存儲(chǔ)元件。在材料存儲(chǔ)容器(例如，容器201L、 201M)耗 盡時(shí)，其他容器(例如，容器201K)被提供給抽屜273A、 273B以 繼續(xù)處理工具272A、 272B的才乘4乍。
可以在消耗或排放材料的任意地點(diǎn)處執(zhí)行材料存儲(chǔ)容器內(nèi)所容 納材料的期望的質(zhì)量、等級(jí)、或容積感應(yīng)，以提供對(duì)剩余材料的表 示、和/或跟蹤材料消耗。期望將這種信息經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)232沿著容器位 置和材津+狀況(例如，環(huán)境狀況，如用于確定特定材沖牛是否仍然適 于它們企圖的用途)傳達(dá)到控制器236 (或期望的其他元件)，用于 跟蹤材料最終使用設(shè)施230內(nèi)的材料存貨。如果任意特定材料的存 貨變得耗盡而低于預(yù)定或用戶確定的閾值，可以自動(dòng)生成額外材料 的訂單并經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)鏈3各202將訂單發(fā)送到外部的供應(yīng)商210。在確 定和預(yù)計(jì)未來(lái)材料需求方面，包括材料可接受性、容器位置、材料 質(zhì)量/容積/等級(jí)、材料消耗、及容器/材料環(huán)境狀況的信息的整體一 道提供了空前的效率。滿足這種需要的自動(dòng)材料訂單使缺少正確或 可接受的材料而打斷實(shí)驗(yàn)或工業(yè)處理的可能性最小化。
隨著在加工區(qū)270中來(lái)自材津牛存儲(chǔ)容器(例如，諸如容器201N ) 的材料的耗盡，優(yōu)選地將表示空的或耗盡狀況的信號(hào)記錄到與各材 料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)的信息存儲(chǔ)元件(例如，以防止隨后的空容器向 處理工具的i吳連4妄)，并且?guī)烀M的容器(例如，容器2010、 201P) 被運(yùn)輸?shù)竭\(yùn)送或廢棄管理(材料離開(kāi))區(qū)280。耗盡的容器可以返回到供應(yīng)商，用于再次填充或循環(huán)利用，或者^(guò)是供給廢棄力l務(wù)供應(yīng)
商用于廢棄處理。運(yùn)送/廢棄管理區(qū)280優(yōu)選地包括適于與電子信息 存儲(chǔ)元件(與各材料存儲(chǔ)容器(例如，容器2010、 201P)相關(guān)聯(lián)) 和凄t據(jù)通信站285進(jìn)4亍通信的第 一和第二電子信息通信站281 、 280。 以這種方式，可以自動(dòng)跟蹤、記錄、和/或監(jiān)測(cè)容器進(jìn)入/離開(kāi)運(yùn)送/ 廢棄管理區(qū)。優(yōu)選地提供數(shù)據(jù)通信站275以允許運(yùn)送/廢棄管理區(qū)與 連4妻到內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)232和/或外部i殳置或?qū)嶓w(諸如，銷(xiāo)毀/循環(huán)i殳施 290、供應(yīng)商設(shè)施210、及跟蹤代理和審計(jì)員204)的其他裝置之間 的通信。
可以將一毛盡的容器從運(yùn)送或廢棄管理區(qū)280運(yùn)輸?shù)絻?yōu)選地具有 允許與外部設(shè)施或?qū)嶓w進(jìn)行通信的電子信息通信站291和數(shù)據(jù)通信 元件295的銷(xiāo)毀或循環(huán)設(shè)施290?？商鎿Q地，在適當(dāng)?shù)那闆r下可以 改制或修理材料存儲(chǔ)容器(例如，容器201Q)。
鑒于以上，通過(guò)直接將材料特有性質(zhì)數(shù)據(jù)自動(dòng)發(fā)送到處理工具 4吏用位置，系統(tǒng)200允許高度自動(dòng)的"/人生到死"跟蹤和管理材泮牛 存儲(chǔ)容器及其所容之物，因此提供了本質(zhì)的好處，諸如排除了使 用不正確或非法材料所導(dǎo)致的晶片廢棄、晶片重做、及處理當(dāng)機(jī)時(shí) 間，提高的且新的對(duì)工具和處理性能的數(shù)據(jù)分析能力，以及提高的 處理控制和伊0化。系統(tǒng)200的其他特4正和優(yōu)點(diǎn)是以下所述的優(yōu)點(diǎn)。
可以在提供、使用、和/或銷(xiāo)毀鏈期間的多個(gè)地點(diǎn)中的任一個(gè)處， 將關(guān)于每個(gè)材料存儲(chǔ)容器及其所容之物的唯一信息自動(dòng)添加到動(dòng)態(tài) 可更新的電子信息存儲(chǔ)元件，從而在該鏈中的每個(gè)地點(diǎn)處l是供可存 取的電子記錄而不需要生成和處理單獨(dú)的(例如，紙面的)記錄。 這大大降低了材料跟蹤和管理過(guò)程中的人工勞力和出錯(cuò)可能性。
可以立即/人供應(yīng)商i殳施210運(yùn)送材并+存4諸容器而無(wú)需等待材料 內(nèi)容的分析結(jié)果，這是因?yàn)檫@些結(jié)果可以被傳送到分發(fā)設(shè)施220和
39最終使用設(shè)施230中的任一個(gè)并然后被"合并"到與該材料存儲(chǔ)容 器相關(guān)聯(lián)的動(dòng)態(tài)可更新的電子信息存儲(chǔ)元件中。這降低了材料運(yùn)送 延遲并降低了供應(yīng)鏈中斷的可能性。
系統(tǒng)200允許最終用戶容易地確定、改變、及運(yùn)用用于4妾受、 移動(dòng)、及適當(dāng)使用每個(gè)材料存儲(chǔ)容器及其所容之物的規(guī)則。
系統(tǒng)200向最終用戶提供了這樣的能力向材料供應(yīng)商提供位 于最終使用設(shè)施230內(nèi)的每個(gè)供應(yīng)商容器的位置的詳細(xì)存貨報(bào)告。 可以由系統(tǒng)200生成允許將存貨再供給要求自動(dòng)傳達(dá)給其上游存貨 庫(kù)存點(diǎn)的自動(dòng)存貨"參數(shù)選用表"。
系統(tǒng)200使能了最終使用設(shè)施230和材料供應(yīng)商之間的數(shù)據(jù)傳 輸能力。如果期望，則可以在材料供應(yīng)商和可與電子信息存4諸元件 (與特定材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián))關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存庫(kù)之間建立通信。 這種通信允許交換容器特有信息、材料特有信息、及批次特有信息 中的任一種。
關(guān)于材料特性、容器信息、當(dāng)前及歷史環(huán)境狀況、以及材料使 用信息中的任一種的信息被存儲(chǔ)在與材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)的電子信 息存儲(chǔ)元件上，并與外部軟件和數(shù)據(jù)系統(tǒng)共享該信息。可以通過(guò)各 種類(lèi)型的用戶界面將這種信息(期望包括其他處理信息)顯示給用 戶，各種類(lèi)型的用戶界面包4舌;汰置在處理工具處或處理工具上的本 地顯示器(例如，觸摸控制顯示器)、從處理工具處移開(kāi)但位于諸如 處理工具的處理設(shè)施殼內(nèi)的本地遠(yuǎn)程顯示器(例如，用戶界面238)、 或離處理工具較遠(yuǎn)的真正的遠(yuǎn)程顯示器。例如，對(duì)于包括跟蹤處理 工具的處理工具272A來(lái)收，這種顯示器可以包4舌哪種材并+-故連才妄 到哦啊了特定分發(fā)噴嘴的表示，并提供關(guān)于每種材料的詳細(xì)信息。 可以由處理工具272A和/或4壬意相關(guān)聯(lián)的或集成的控制元件278A、 236或監(jiān)測(cè)元件235來(lái)使用這種關(guān)于材料特性、容器信息、當(dāng)前及歷史環(huán)境狀況、以材料使用中的任一種的信息以允許靈活且全面的 工具和生產(chǎn)報(bào)告。
在一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例中，以通信格式(諸如，半導(dǎo)體儀器通信
標(biāo)準(zhǔn)("SECS")或SECS-GEN)將電子信息存儲(chǔ)裝置或與材料存儲(chǔ) 容器(例如，容器201M)相關(guān)聯(lián)的元件之間傳輸?shù)臄?shù)據(jù)提供給外 部裝置，諸如處理工具控制器(例如，控制器278A)。例如，如應(yīng) 用到具有多個(gè)噴嘴的涂布機(jī)跟蹤處理工具，可以為與 一個(gè)材料存儲(chǔ) 容器相關(guān)聯(lián)的電子信息存儲(chǔ)元件分配數(shù)據(jù)文件(如果需要或適當(dāng)?shù)?話還有其他字,殳標(biāo)識(shí))，該凄t據(jù)文件i唯一映射到工具的特定噴嘴。這 種文件可以包括具有多個(gè)字段的用逗號(hào)分隔開(kāi)的數(shù)據(jù)，諸如在以下 屬性列表和實(shí)例數(shù)據(jù)文件中提供的。
CoatModuleName, CoatmoduleNumber， ResistNozzleNumber, BottleNumber COT, 10123, 1, 1 COT, 10124， 1, 1 COT, 10125, 1, 1 COT, 10126， 1, 1 BCT， 10123, 2， 1 BCT, 10124, 2, 1 BCT, 10125， 2, 1 BCT, 10126, 2, 1
系統(tǒng)200使能了多種材料管理方法。例如，參照?qǐng)D5,材料管 理方法400旨在將信息存儲(chǔ)在電子信息存儲(chǔ)裝置中并利用所存儲(chǔ)的
41信息來(lái)設(shè)置或調(diào)整處理工具的操作參數(shù)。開(kāi)始于圖6的最上方，第 一方法步驟402包括向具有相關(guān)聯(lián)電子信息存儲(chǔ)裝置的容器填充材 料。第二方法步驟404包括將表示以下信息中的任一種的信息存儲(chǔ) 在與該容器相關(guān)聯(lián)的電子信息存儲(chǔ)裝置中(a)批次特有材料性質(zhì)， (b)容器特有材料性質(zhì)，(c)容器特有當(dāng)前和環(huán)境狀況，(d)容器 特有歷史和環(huán)境狀況，以及(e )材料特有使用參數(shù)(或處理工具操 作參數(shù))。可以利用如上文中描述的填充系統(tǒng)100來(lái)4丸行步驟402、 404。
可以在第三步驟408中分析代表材料存儲(chǔ)容器的所容之物的材 料采樣?？梢栽诓襟E406中將容納材料的存儲(chǔ)容器運(yùn)送到材料處理 最終4吏用設(shè)施期間或之后沖丸4亍這種分析。在步驟405中，可以在運(yùn) 輸期間通過(guò)各種傳感器中的任一種監(jiān)測(cè)容器和/或材料的環(huán)境狀況。 在材料分析之后，可以在步驟410中使材料存儲(chǔ)容器可獲得分析結(jié) 果。附加，或可替換地，可以在步驟410中使材^牛存+者容器可獲得 諸如材料特有使用參數(shù)或其他處理工具操作參數(shù)的處理信息。在步 驟409中，可以自動(dòng)地或響應(yīng)于網(wǎng)絡(luò)詢問(wèn)請(qǐng)求來(lái)才是供這種信息。一 旦在步驟412中在最終使用設(shè)施處接收到容器，或作為單獨(dú)的通信 步驟418的一部分(其中，將信息從材料存儲(chǔ)容器和/或數(shù)據(jù)儲(chǔ)存器 傳達(dá)到處理工具控制裝置)，在可以-使該信息與運(yùn)送步艱《406期間的 適當(dāng)材料存儲(chǔ)容器相配合。如果在步驟414中在最終使用設(shè)施內(nèi)移 動(dòng)容納材料的容器，則可以在步驟415中監(jiān)測(cè)該容器所經(jīng)歷的環(huán)境 狀況。
在步驟418中將信息從電子信息存儲(chǔ)裝置(與材料存儲(chǔ)容器相 關(guān)聯(lián))傳達(dá)到處理工具控制裝置允許在步驟420中對(duì)處理工具的操 作參^:進(jìn)4亍自動(dòng)設(shè)置或調(diào)整。之后，在步驟422中，利用處理工具 才丸4亍處理和/或加工產(chǎn)品物品。這種產(chǎn)品物品無(wú)需具體化一個(gè)完成的 消費(fèi)貨物；相反，其可以包括任意適合的經(jīng)處理的材料，并具體化 用于后續(xù)步驟的前體材料。優(yōu)選的產(chǎn)品物品包括半導(dǎo)體材料，諸如半導(dǎo)體坤于底、晶片、或晶4走；可替換地，產(chǎn)品物品可以包括醫(yī)學(xué)、 制藥、生物學(xué)、原子核物品。在處理或加工步驟422之后，在步驟 424中對(duì)產(chǎn)品物品的屬性進(jìn)行分析。這種分析可以包括傳統(tǒng)的各種 性能測(cè)試或質(zhì)量保證/質(zhì)量控制測(cè)試中的任一種。響應(yīng)于分析步驟 424，可以在步驟420中進(jìn)一步對(duì)處理工具的操作參數(shù)進(jìn)行調(diào)整。最 終的方法400 4艮好地適合于處理優(yōu)化，并消除了具有其維護(hù)4喿作失 誤可能性的手動(dòng)輸入材料特有處理參數(shù)的需要。
圖7中示出個(gè)另一種材料管理方法的各種步驟。在第一方法步 驟432中，用材料填充材料存儲(chǔ)容器并將與其相關(guān)的信息(例如， 唯一標(biāo)識(shí)符、材料量、預(yù)計(jì)的接收者標(biāo)識(shí)等等)存儲(chǔ)在相關(guān)聯(lián)的信 息存儲(chǔ)裝置中。在隨后的步驟436中，將容納材料的容器運(yùn)送到最 終使用處理設(shè)施。在運(yùn)送步驟期間或之后，在步驟438中對(duì)代表材 料存儲(chǔ)容器的內(nèi)容的材料采樣進(jìn)行分析(例如，在材料供應(yīng)商設(shè)施 或遠(yuǎn)程測(cè)試_沒(méi)施處)，以確定各種材料性質(zhì)中的4壬一種。在完成分析 步驟438之前在步驟436中運(yùn)送容器避免了運(yùn)送延遲并是材料保存 期間最大化。
可以在步驟440中是適當(dāng)?shù)牟牧洗?諸容器可獲得分析步驟438 生成的信息。例如，可以在運(yùn)送步驟436期間將分析結(jié)果傳送到適 當(dāng)?shù)娜萜骰蚺c適當(dāng)?shù)娜萜髌ヅ??？商鎿Q地，可以在最終^f吏用設(shè)施容 納區(qū)處容納時(shí)，或者當(dāng)容器被放置在這種最終使用設(shè)施內(nèi)的適當(dāng)分 段區(qū)中時(shí)，使分析結(jié)果與適當(dāng)?shù)娜萜髌ヅ?。在步驟444中，可以將 該分析信息存儲(chǔ)在與適當(dāng)容器相關(guān)聯(lián)的電子信息存儲(chǔ)裝置中，或者 將該分析信息傳達(dá)到離該容器較遠(yuǎn)的聯(lián)網(wǎng)的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存器(例如，并 經(jīng)由唯一標(biāo)識(shí)符(例如，電子產(chǎn)品代碼)關(guān)聯(lián)到該容器)。在其他實(shí) 施例中，可以既提供材料信息的本地存儲(chǔ)器又提供材料信息的遠(yuǎn)程 存儲(chǔ)器(相對(duì)于容器來(lái)說(shuō)的)。利用這種信息，可以執(zhí)行合格性步驟， 其中，進(jìn)行針對(duì)以下各項(xiàng)中的任一項(xiàng)的預(yù)定的或用戶限定的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn) 行比較(a)最終使用處理設(shè)施對(duì)容器的接受；(b)容器向預(yù)定位置的移動(dòng)(例如，在最終使用設(shè)施內(nèi))；以及(c)容器機(jī)器材料內(nèi) 容的被選擇使用。然后，在步驟448中，將所存儲(chǔ)的信息傳達(dá)到處 理控制裝置，并在步驟450中，對(duì)處理工具的操作參數(shù)進(jìn)行設(shè)置或 調(diào)整。之后，可以加工并分析產(chǎn)品，其中，結(jié)果用于進(jìn)一步對(duì)處理 優(yōu)化的纟喿作參lt進(jìn)4于調(diào)整，如之前所討_論的。
利用前述方法可以使用其他信息傳輸和檢驗(yàn)步驟。在一個(gè)實(shí)施 例中，經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)將包括批次特有或材料特有材料性質(zhì)信息的記錄從 分析服務(wù)提供商傳送到可經(jīng)由材料最終設(shè)施訪問(wèn)的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存庫(kù)，并 傳達(dá)允許對(duì)這種記錄進(jìn)4亍訪問(wèn)的標(biāo)識(shí)符或?qū)?biāo)識(shí)符另外存4諸到與容 納這種材料的容器相關(guān)聯(lián)的電子信息存儲(chǔ)元件。這種標(biāo)識(shí)符可以用 于訪問(wèn)所存儲(chǔ)的材料性質(zhì)信息記錄，并允許在將材料從容器分發(fā)到 處理工具之前^r一驗(yàn)這種信息的可4妄受性(例如，通過(guò)與處理工具相 關(guān)聯(lián)的控制裝置)。在另一實(shí)施例中，檢驗(yàn)從這種分析獲得的材料性 質(zhì)信息可接受性，并且表示這種可接受性檢驗(yàn)的信息被記錄到與容 納材料的容器相關(guān)聯(lián)的信息存儲(chǔ)裝置。
圖8中示出了又一材料管理方法460的步驟。開(kāi)始于右上方，
第一步驟461包括提供材料規(guī)格。第二步驟460包括向具有相關(guān)聯(lián)
電子信息存儲(chǔ)裝置的材料存儲(chǔ)容器提供材料。在步驟464中，將表 示以下各項(xiàng)中的任一項(xiàng)的信息存儲(chǔ)在電子信息存儲(chǔ)裝置(或可替換
地，存儲(chǔ)在鏈接到容器上的標(biāo)識(shí)符的遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)儲(chǔ)存器中)中(a) 材料身份；(b)材料成分；(c)材料來(lái)源；(d)材料量；(e)材料 批次；(f)批次特有材料性質(zhì)；(g)任意的容器特有材料性質(zhì)；以 及(h)容器身份?？梢栽诓襟E475中監(jiān)測(cè)表示容器和/或其材料內(nèi) 容所經(jīng)歷的環(huán)境狀況的信息，并在步驟476中，存儲(chǔ)這種信息(例 如，在電子信息存儲(chǔ)裝置或中央數(shù)據(jù)儲(chǔ)存庫(kù)中)?？梢栽诓襟E478 中將前述信息中的任一種提供給與處理工具相關(guān)聯(lián)的控制裝置，并 將前述信息中的任一種用于在步驟480中對(duì)處理工具的處理參數(shù)進(jìn) 行設(shè)置或調(diào)整。在步驟482中加工采用了從材料存儲(chǔ)容器接收到的
44材料的產(chǎn)品。之后，(例如，在可搜索的數(shù)據(jù)庫(kù)中)與表示以下各項(xiàng) 中任一項(xiàng)的產(chǎn)品信息關(guān)聯(lián)地存儲(chǔ)材料和/或容器特有信息(可選地包
括環(huán)境狀況信息)(a)產(chǎn)品t喉一標(biāo)識(shí)；(b)產(chǎn)品4比次信息；和/或 (c)產(chǎn)品加工日期/時(shí)間。這種存4渚是加工出的產(chǎn)品與加工該產(chǎn)品 所使用的材料相關(guān)聯(lián)。在步驟484中對(duì)產(chǎn)品的一種以上屬性進(jìn)行分 析，其中結(jié)果用于在步驟480中對(duì)處理工具的參數(shù)進(jìn)行壽文感地調(diào)整。 可以就在產(chǎn)品生產(chǎn)之后(或在一些情況下在產(chǎn)品生產(chǎn)之前)執(zhí)行產(chǎn) 品分析。使裝置性能與源材料相關(guān)聯(lián)的能力有助于處理優(yōu)化并有助 于快速回收后來(lái)確定為失效的產(chǎn)品或產(chǎn)品批次，全部都不需要全體 的產(chǎn)品^f呆i正測(cè)試。響應(yīng)于產(chǎn)品分析步-驟484，還可以4姿照期望來(lái)調(diào) 整材料規(guī)格461以改善產(chǎn)品處理。
由于種種原因可以在步驟485中對(duì)鏈接的完成產(chǎn)品/材料數(shù)據(jù) 庫(kù)執(zhí)行隨后的數(shù)據(jù)庫(kù)搜索，并在步驟486中生成報(bào)告。產(chǎn)品中具體 化的材料使用的自動(dòng)計(jì)算消除了數(shù)據(jù)輸入錯(cuò)誤，允許在產(chǎn)品產(chǎn)出以 及對(duì)循環(huán)4吏用或銷(xiāo)毀組織、政府才幾構(gòu)、和/或貿(mào)易組織的流線型才艮告 上對(duì)單獨(dú)的供應(yīng)商提供的材料和材料規(guī)格的影響進(jìn)行嚴(yán)格分析。
盡管在本文中參照本發(fā)明的特定方面、特4正、及示例性實(shí)施例 描述了本發(fā)明，^f旦是應(yīng)當(dāng)理解本發(fā)明的用處不局限于此，而是可以 基于本文的公開(kāi)內(nèi)容擴(kuò)展到并包含許多其他的變化、改變、和可替 換的實(shí)施例，這對(duì)本領(lǐng)域4支術(shù)人員是有暗示的。因此，本發(fā)明如下 文中所聲稱(chēng)的，旨在廣泛地理解和解釋為包括了本發(fā)明精神和范圍 之內(nèi)的所有這些變化、改變、改進(jìn)和可##換實(shí)施例。
4權(quán)利要求
1. 一種方法，包括將表示材料特有使用參數(shù)和處理工具操作指令中的任一項(xiàng)的信息從與容納材料的材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)的信息存儲(chǔ)裝置傳達(dá)到與處理工具相關(guān)聯(lián)的控制裝置；以及采用所傳達(dá)的信息對(duì)所述處理工具的操作參數(shù)進(jìn)行設(shè)置或調(diào)整。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述信息存儲(chǔ)裝置包括電 子信息存儲(chǔ)裝置。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述電子信息存儲(chǔ)裝置包 括以下各項(xiàng)中的任一項(xiàng)至少一個(gè)射頻識(shí)別標(biāo)簽；至少一個(gè) EEPROM;以及至少一個(gè)閃存元件。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述電子信息存儲(chǔ)裝置包 括動(dòng)態(tài)可更新的存儲(chǔ)器，所述方法進(jìn)一步包括在將所述材料 存儲(chǔ)容器運(yùn)送到最終用戶處理設(shè)施之后，將信息記錄到所述存 儲(chǔ)器，所述最終用戶處理設(shè)施中具有適于接收來(lái)自所述材料存 儲(chǔ)容器的材料的處理工具。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所傳達(dá)的信息表示材料特 有使用參數(shù)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所傳達(dá)的信息表示處理工 具操作指令。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所傳達(dá)的信息進(jìn)一步包括 以下各項(xiàng)中的^f壬一項(xiàng)至少一個(gè)供應(yīng)商凈爭(zhēng)有標(biāo)識(shí)符和至少一個(gè)客戶特有標(biāo)識(shí)符。
8. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述處理工具包括多個(gè)流 體噴嘴，并且表示材料特有使用參數(shù)的信息包括表示所述材料 存儲(chǔ)容器與多個(gè)流體噴嘴中的一個(gè)特定噴嘴的對(duì)應(yīng)性的處理 工具映射信息。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，按照根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備通信 標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議的格式來(lái)提供所述映射信息。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括料性質(zhì)的信息；以及將以下各項(xiàng)中的任一項(xiàng)記錄到所述信息存儲(chǔ)裝置(i)所 述批次特有或容器特有材料性質(zhì)信息；以及(ii)表示所述批 次特有或容器特有材料性質(zhì)信息的記錄的標(biāo)識(shí)符。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，所述的記錄包括記錄所 述批次特有或容器特有材料性質(zhì)信息的記錄的標(biāo)識(shí)符，其中， 所述批次特有或容器特有材料性質(zhì)信息的記錄被存儲(chǔ)在所述 信息存儲(chǔ)裝置外部的且可利用所述標(biāo)識(shí)符進(jìn)行訪問(wèn)的數(shù)據(jù)儲(chǔ) 存庫(kù)中。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述處理工具適于執(zhí)行半 導(dǎo)體加工處理。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中，所述材料包括光刻膠。
14. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括利用所述處理工具加工或處理所述產(chǎn)品物品； 分析所述產(chǎn)品物品的屬性；響應(yīng)于分析步驟，對(duì)所述處理工具的纟乘作參數(shù)進(jìn)行調(diào)整。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中，所述產(chǎn)品物品包括半導(dǎo) 體的、醫(yī)療的、制藥的、生物的、關(guān)于原子核的、及納米技術(shù) 的物品中的4壬一項(xiàng)。
16. —種適于實(shí)現(xiàn)4又利要求1至15中任一項(xiàng)所述的方法的自動(dòng)系統(tǒng)。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，包括材料存儲(chǔ)容器，所述材料 存儲(chǔ)容器具有至少一個(gè)電子信息存儲(chǔ)裝置。
18. —種方法，包括接收來(lái)自與材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)的信息存儲(chǔ)裝置的表示 材料特有使用參數(shù)和處理工具操作指令中任一項(xiàng)的信息；以及釆用所接收到的信息來(lái)對(duì)處理工具的才喿作參數(shù)進(jìn)行i殳置 或調(diào)整。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中，所述信息存儲(chǔ)裝置包括 電子信息存儲(chǔ)裝置。
20. 才艮據(jù)4又利要求18所述的方法，進(jìn)一步包括以下步驟利用所述處理工具來(lái)乂于工業(yè)物品進(jìn)4亍處理或加工以出產(chǎn) 經(jīng)處J里或經(jīng)力。工的4勿品；對(duì)所述經(jīng)處理或經(jīng)加工的物品的屬性進(jìn)4于分才斤；響應(yīng)于分析步艱《，對(duì)所述處理工具的操作參^t進(jìn)^f于調(diào)整。
21. —種適于扭^^又利要求18至21中4壬一項(xiàng)所述的方法的自動(dòng)系統(tǒng)。
22. —種方法，包4舌在將具有相關(guān)聯(lián)的信息存儲(chǔ)裝置的容納材料的材料存儲(chǔ) 容器運(yùn)送到材料最終使用處理設(shè)施期間或之后，將以下各項(xiàng)中 的任一項(xiàng)記錄到所述信息存儲(chǔ)裝置(i)表示批次特有材料性 質(zhì)的信息，(ii)表示容器特有材料性質(zhì)的信息；以及(iii)批 次特有或容器特有材料性質(zhì)信息的記錄的標(biāo)識(shí)符。
23. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，進(jìn)一步包括經(jīng)由通信網(wǎng)絡(luò)來(lái)傳 達(dá)表示以下各項(xiàng)中任一項(xiàng)的信息以使得能夠?qū)⑺鲂畔⒂涗?到所述信息存儲(chǔ)裝置(i)批次特有材料性質(zhì)，(ii)容器特有 材料性質(zhì)，以及(iii)批次特有或容器特有材料性質(zhì)的記錄的 標(biāo)識(shí)符。
24. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中，所述記錄包括將所述批 次特有或容器特有材料性質(zhì)信息的記錄的標(biāo)識(shí)符記錄到所述 信息存儲(chǔ)裝置，其中，所述批次特有或容器特有材料性質(zhì)信息 的記錄存儲(chǔ)在所述信息存儲(chǔ)裝置外部的且可利用所述標(biāo)識(shí)符 進(jìn)行訪問(wèn)的數(shù)據(jù)4諸存庫(kù)中。
25. 根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，進(jìn)一步包括利用所述標(biāo)識(shí)符 來(lái)訪問(wèn)所存4諸的批次特有或容器特有材料性質(zhì)信息的記錄；以前利用與所述處理工具相關(guān)聯(lián)的控制裝置來(lái)才^驗(yàn)所述信息的 可接受性。
26. 4艮據(jù)權(quán)利要求25所述的方法，進(jìn)一步包括將表示材料特有 使用參數(shù)和處理工具操作指令中的任 一 項(xiàng)的信息從所述信息 存儲(chǔ)裝置傳達(dá)到所述處理工具。
27. 根據(jù)權(quán)利要求22至25中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述批次 特有或容器特有材料性質(zhì)信息的記錄包括所述材料的分析證 書(shū)。
28. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，進(jìn)一步包括驗(yàn)證(i)所述批 次特有材料性質(zhì)信息以及(ii)所述容器特有材料性質(zhì)信息中的任一項(xiàng)的可接受性；以及將表示所述可接受性驗(yàn)證的信息記 錄到所述信息存儲(chǔ)裝置。
29. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中，所述信息存儲(chǔ)裝置包括 電子信息存儲(chǔ)裝置。
30. 根據(jù)權(quán)利要求29所述的方法，其中，所述電子信息存儲(chǔ)裝置 包括以下各項(xiàng)中的4壬一項(xiàng)至少一個(gè)射頻識(shí)別標(biāo)簽，至少一個(gè) EEPROM，以及至少一個(gè)閃存元4牛。
31. 根據(jù)權(quán)利要求29所述的方法，其中，所述電子信息存儲(chǔ)裝置 包括動(dòng)態(tài)可更新的存儲(chǔ)器，所述方法進(jìn)一步包括在將所述材 料存儲(chǔ)容器運(yùn)送到最終用戶處理i殳施之后將信息記錄到所述 存儲(chǔ)器，其中，所述最終用戶處理設(shè)施中包含有適于接收來(lái)自 所述材料存儲(chǔ)容器的材料的處理工具。
32. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，進(jìn)一步包括對(duì)代表所述材料 存儲(chǔ)容器內(nèi)包含的材料的材料采樣執(zhí)行分析，其中，在運(yùn)送期 間或之后執(zhí)行材料分析執(zhí)行步驟。
33. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，進(jìn)一步包括針對(duì)包括以下各 項(xiàng)中的4壬一項(xiàng)的預(yù)定的或用戶限定的配置來(lái)i正明所述材沖+存 儲(chǔ)容器內(nèi)的所述材料合格最終使用處理設(shè)施驗(yàn)收、移動(dòng)到預(yù) 定位置、以及預(yù)定消耗使用。
34. 才艮據(jù)一又利要求22所述的方法，進(jìn)一步包括將材料從所述材 料存儲(chǔ)容器提供到處理工具。
35. 根據(jù)權(quán)利要求34所述的方法，其中，可操作地鏈接到所述處 理工具的控制器利用表示批次特有材料性質(zhì)和容器特有材料 性質(zhì)中的任一項(xiàng)的信息來(lái)對(duì)所述處理工具的操作參數(shù)進(jìn)4亍設(shè) 置或調(diào)整。
36. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，進(jìn)一步包括利用表示批次特 有材料性質(zhì)和容器特有材料性質(zhì)中的任一項(xiàng)的信息來(lái)確定是 否能夠使所述材料被提供到所述處理工具。
37. —種適于執(zhí)行權(quán)利要求22至26或權(quán)利要求28至36中任一項(xiàng) 所述的方法的自動(dòng)系統(tǒng)。
38. —種采用多個(gè)無(wú)線信息讀取裝置的方法，所述多個(gè)無(wú)線信息讀 取裝置用于管理多個(gè)材料存儲(chǔ)容器，所述多個(gè)材料存儲(chǔ)容器各 具有相關(guān)4關(guān)的電子信息，所述方法包括以下步驟在材沖+最終使用處理i殳施的材料進(jìn)入功能區(qū)中4企測(cè)第一 材料存儲(chǔ)容器的進(jìn)入；將與所述第 一材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)的且表示以下各項(xiàng)中 任一項(xiàng)的信息自動(dòng)傳送到數(shù)據(jù)儲(chǔ)存庫(kù)批次特有材料性質(zhì)，容 器特有材料性質(zhì)，處理工具操作指令，以及材料特有使用參數(shù)；監(jiān)測(cè)所述第一材料存儲(chǔ)容器在所述材料最終使用處理設(shè) 施中的多個(gè)功能區(qū)之間的位置和移動(dòng)中的任一項(xiàng)；以及將表示容器位置和容器移動(dòng)中的任一項(xiàng)的信息自動(dòng)傳送 到所述數(shù)據(jù)儲(chǔ)存庫(kù)。
39. 根據(jù)權(quán)利要求38所述的方法，其中，所述數(shù)據(jù)儲(chǔ)存庫(kù)包括與 所述第 一材料存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)的至少 一個(gè)信息存儲(chǔ)裝置。
40. 根據(jù)權(quán)利要求39所述的方法，其中，所述至少一個(gè)信息存儲(chǔ) 裝置包括至少 一個(gè)電子信息存儲(chǔ)裝置。
41. 根據(jù)權(quán)利要求40所述的方法，其中，所述至少一個(gè)電子信息 存儲(chǔ)裝置包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng)射頻識(shí)別標(biāo)簽， EEPROM,以及閃存元件。
42. 根據(jù)權(quán)利要求40所述的方法，其中，所述至少一個(gè)電子信息 存儲(chǔ)裝置固定到所述第 一材料存儲(chǔ)容器。
43. 根據(jù)權(quán)利要求40所述的方法，其中，所述至少一個(gè)信息存儲(chǔ) 裝置包括多個(gè)電子信息存儲(chǔ)裝置。
44. 根據(jù)權(quán)利要求43所述的方法，其中，所述多個(gè)電子信息存儲(chǔ) 裝置包括適于短范圍通信的第一電子信息存儲(chǔ)裝置和適于長(zhǎng) 范圍通信的第二電子信息存儲(chǔ)裝置。
45. 才艮據(jù)4又利要求38所述的方法，其中，所述數(shù)據(jù)儲(chǔ)存庫(kù)包括存 放在所述第一材料存儲(chǔ)容器遠(yuǎn)處的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件。
46. 根據(jù)權(quán)利要求38所述的方法，其中，自動(dòng)傳送步驟包括接 收來(lái)自所述第一材料存儲(chǔ)容器的標(biāo)識(shí)符并利用所述標(biāo)識(shí)符詢 問(wèn)通信網(wǎng)絡(luò)以獲得表示批次特有材料性質(zhì)和容器特有材料性 質(zhì)中的任一項(xiàng)的電子信息。
47. 根據(jù)權(quán)利要求38所述的方法，進(jìn)一步包括將壽、示以下各項(xiàng)中的任一項(xiàng)的信息自動(dòng)傳送到與處理工 具相關(guān)聯(lián)的控制器所述批次特有材料性質(zhì)，所述容器特有材 料性質(zhì)，以及所述材料特有使用參數(shù)；以及采用所傳達(dá)的信息對(duì)所述處理工具的參數(shù)進(jìn)行調(diào)整。
48. 根據(jù)權(quán)利要求38所述的方法，進(jìn)一步包括無(wú)線地檢測(cè)所述 第一材料存儲(chǔ)容器從所述材料最終使用處理設(shè)施的材料進(jìn)入 功能區(qū)退出。
49. 根據(jù)權(quán)利要求38所述的方法，其中，所述多個(gè)功能區(qū)包括材 料進(jìn)入?yún)^(qū)、材料存儲(chǔ)區(qū)、材料使用區(qū)、以及材料離開(kāi)區(qū)。
50. 根據(jù)權(quán)利要求38所述的方法，其中，所述材料最終使用處理 i殳施包4舌半導(dǎo)體加工處理設(shè)施。
51. —種適于批^亍4又利要求38至50中4壬一項(xiàng)所述的方法的自動(dòng)系統(tǒng)。
52. —種方法，包4舌將表示以下各項(xiàng)中的任一項(xiàng)的信息從與容納材料的材料 存儲(chǔ)容器相關(guān)聯(lián)的信息存儲(chǔ)裝置接收到與處理工具相關(guān)聯(lián)的控制裝置(a)所述材料的身份，(b)所述材料的成分，(c) 所述材料的來(lái)源，(d)所述材料的量，(e)所述材料的批次， (f)所述材料的批次特有性質(zhì)，(g)所述材料的容器特有性 質(zhì)，以及(h)容器身份；采用從所述材料存儲(chǔ)容器接收到的材料利用處理工具加 工或處J里產(chǎn)品；以及與表示以下各項(xiàng)中任一項(xiàng)的產(chǎn)品信息相關(guān)聯(lián)地存儲(chǔ)所接收到的信息(i)產(chǎn)品標(biāo)識(shí)，(ii)產(chǎn)品批次標(biāo)識(shí)，以及(iii) 所述產(chǎn)品的加工或處理的日期或時(shí)間。
53. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，所述信息存儲(chǔ)裝置包括 電子信息存儲(chǔ)裝置。
54. 根據(jù)權(quán)利要求53所述的方法，其中，所述電子信息存儲(chǔ)裝置 包括以下各項(xiàng)中的任一項(xiàng)至少一個(gè)射頻識(shí)別標(biāo)簽，至少一個(gè) EEPROM,以及至少一個(gè)閃存元件。
55. 根據(jù)權(quán)利要求54所述的方法，其中，所述電子信息存儲(chǔ)裝置 固定到所述材料存儲(chǔ)容器。
56. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，所接收到的信息表示所 述材料的身^f分。
57. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，所接收到的信息表示所 述材并牛的成分。
58. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法。其中，所接收到的信息表示所 述材沖+的來(lái)源。
59. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，所接收到的信息表示所 述材料的量。
60. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，所接收到的信息表示所 述材料的批次。
61. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，所接收到的信息表示所 述材^h的批次特有性質(zhì)。
62. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，所接收到的信息表示所 述材料的容器特有性質(zhì)。
63. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，所接收到的信息表示容 ^身份
64. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，所述產(chǎn)品信息表示產(chǎn)品 標(biāo)識(shí)。
65. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，所述產(chǎn)品信息表示產(chǎn)品 批次標(biāo)識(shí)。
66. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，所述產(chǎn)品信息表示所述 產(chǎn)品的力口工或處-里的日期或時(shí)間。
67. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，在加工或處理之后，所 述產(chǎn)品包括從所述材料存儲(chǔ)容器接收到的所述材料的原子。
68. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，經(jīng)加工或經(jīng)處理的產(chǎn)品 包括以下各項(xiàng)中的任一項(xiàng)半導(dǎo)體襯底，半導(dǎo)體晶片，半導(dǎo)體 晶棒，以及半導(dǎo)體前體結(jié)構(gòu)。
69. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，所述處理工具包括半導(dǎo) 體力口工處理工具。
70. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，進(jìn)一步包括將材料提供到所述材料存儲(chǔ)容器；以及將表示以下各項(xiàng)中的任一項(xiàng)的信息存儲(chǔ)在所述信息存儲(chǔ) 裝置中(a)所述材料的身份，(b)所述材料的成分，(c)所 述材料的來(lái)源，(d)所述材料的量，(e)所述材料的批次，(f)所述材料的批次特有性質(zhì)，(g)所述材料的容器特有性質(zhì)，以及(h)容器身份。
71. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，所接收到的信息與所述 產(chǎn)品信息相關(guān)聯(lián)地存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中。
72. 根據(jù)權(quán)利要求71所述的方法，進(jìn)一步包括搜索所述數(shù)據(jù)庫(kù) 以檢索所存儲(chǔ)的接收到的信息和所存儲(chǔ)的產(chǎn)品信息中的任一項(xiàng)。
73. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，所接收到的信息存儲(chǔ)在 第一數(shù)據(jù)庫(kù)中，而所述產(chǎn)品信息存儲(chǔ)在第二數(shù)據(jù)庫(kù)中，所述第 二凄t據(jù)庫(kù)可鏈^妄到所述第 一凄t據(jù)庫(kù)。
74. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，自動(dòng)執(zhí)行接收步驟。
75. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的方法，其中，無(wú)線地執(zhí)行接收步驟。
76. 根據(jù)權(quán)利要求53所述的方法，其中，所述電子信息存儲(chǔ)裝置 包括射頻識(shí)別標(biāo)簽，并且接收步驟包括采用射頻識(shí)別標(biāo)簽讀取 器獲得來(lái)自所述射頻識(shí)別標(biāo)簽的信息。
77. 才艮據(jù)4又利要求53所述的方法，進(jìn)一步包括進(jìn)一步接收來(lái)自所述電子信息存儲(chǔ)裝置的表示以下各項(xiàng) 中的任一項(xiàng)的信號(hào)(a)容器特有當(dāng)前環(huán)境狀況，(b)容器特有歷史環(huán)境狀況，以及(c)材料特有處理工具使用參數(shù)；以 及采用進(jìn)一步接收到的信息對(duì)所述處理工具的操作參數(shù)進(jìn) 行設(shè)置或調(diào)整。
78. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的方法，其中，所述容器特有當(dāng)前環(huán)境 狀況或所述容器特有歷史環(huán)境狀況包括以下各項(xiàng)中的任一項(xiàng) 溫度、壓力、張力、加速、濕度、潮濕出現(xiàn)、化學(xué)品出現(xiàn)、化 學(xué)品泄漏、及PH。
79. 才艮據(jù)4又利要求53所述的方法，進(jìn)一步包括監(jiān)測(cè)所述材料存儲(chǔ)容器和放置在所述容器內(nèi)的材料中的 〃f壬一項(xiàng)所經(jīng)歷的至少一種環(huán)境一犬況；以及將表示監(jiān)測(cè)到的所述至少 一種環(huán)境狀況的信息存儲(chǔ)在所 述電子信息存儲(chǔ)裝置中。
80. 根據(jù)權(quán)利要求53所述的方法，其中，利用與所述電子信息存 儲(chǔ)裝置相關(guān)聯(lián)的至少 一個(gè)傳感器來(lái)執(zhí)行監(jiān)測(cè)步驟。
81. —種適于執(zhí)行權(quán)利要求52至80中任一項(xiàng)所述的方法的自動(dòng)系統(tǒng)。
全文摘要
材料管理系統(tǒng)和方法包括具有信息(例如，電子信息)存儲(chǔ)器的材料存儲(chǔ)容器?？梢詫⑿畔拇鎯?chǔ)裝置傳達(dá)到處理工具控制器并采用該信息來(lái)設(shè)置或調(diào)整處理工具操作參數(shù)。可以通過(guò)遠(yuǎn)程分析來(lái)確定材料信息并隨后將該材料信息傳達(dá)給容納該材料的容器的電子信息存儲(chǔ)裝置?？梢岳眠M(jìn)一步傳送的材料特有信息來(lái)自動(dòng)跟蹤材料存儲(chǔ)容器在客戶設(shè)施內(nèi)的位置和移動(dòng)?？梢韵嚓P(guān)聯(lián)地存儲(chǔ)產(chǎn)品信息和產(chǎn)品加工過(guò)程中使用的材料特有信息。
文檔編號(hào)G07C1/00GK101512604SQ200780033541
公開(kāi)日2009年8月19日 申請(qǐng)日期2007年7月10日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月10日
發(fā)明者克拉里·諾萊, 凱瑟琳·L·漢森, 史蒂文·E·豪默森, 威廉·斯米頓, 托馬斯·D·約翰遜, 斯科特·埃爾夫斯特龍 申請(qǐng)人:高級(jí)技術(shù)材料公司