具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)。此透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)包含透明基板、第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)及第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)。其中透明基板具有上表面及相對(duì)于上表面的下表面。第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)設(shè)置在透明基板的上表面。其中第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)包含第一介電層、第一金屬層及第一抗反射層。第一金屬層設(shè)置在第一介電層上，且第一抗反射層設(shè)置在第一金屬層上。第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)設(shè)置在透明基板的下表面。其中第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)包含第二介電層、第二金屬層及第二抗反射層。第二金屬層設(shè)置在第二介電層上，且第二抗反射層設(shè)置在第二金屬層上。
【專利說(shuō)明】具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，尤其涉及用于觸控裝置的感應(yīng)元件的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，觸控面板已廣泛應(yīng)用在移動(dòng)通訊裝置、電腦以及數(shù)碼相機(jī)等電子裝置上。并且生產(chǎn)小尺寸觸控面板的技術(shù)已相當(dāng)成熟，可應(yīng)用于各種具有小尺寸顯示裝置的電子產(chǎn)品中。
[0003]在傳統(tǒng)的觸控面板中，主要使用氧化銦錫(ITO)作為透明導(dǎo)電材料。然而，相較于金屬的導(dǎo)電性，ITO的面電阻值(100?400 Ω/ □)及線電阻值(10，000?50，000 Ω)均高很多。觸控面板面積越大，觸控面板的總表面電阻也增加。如此一來(lái)，便導(dǎo)致觸控面板的反應(yīng)速度降低，或產(chǎn)生感應(yīng)靈敏度不理想的情況。
[0004]在現(xiàn)有的觸控面板中，逐漸使用具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)取代傳統(tǒng)的ITO材料，例如石墨烯、碳納米管或納米銀線，然而這些材料因成本較高而不易量產(chǎn)。一般具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)主要具有金屬層，其中金屬層一般以銀作為導(dǎo)電材料。
[0005]然而，除了成本昂貴之外，金屬銀本身容易產(chǎn)生氧化反應(yīng)或硫化反應(yīng)，而增加透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的表面電阻值，甚至形成斷路，造成電性失效。因此，目前需要一種新的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，以解決傳統(tǒng)透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的缺陷。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，用以解決傳統(tǒng)透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)及其制造方法的缺陷。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
[0008]一種具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，包含:透明基板，其具有上表面及相對(duì)于該上表面的下表面；第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，其設(shè)置在該透明基板的該上表面，其中該第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)由該透明基板的該上表面依次包含:第一介電層；第一金屬層，其設(shè)置在該第一介電層上；以及第一抗反射層，其設(shè)置在該第一金屬層上；以及第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，其設(shè)置在該透明基板的該下表面，其中該第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)由該下表面依次包含:第二介電層；第二金屬層，其設(shè)置在該第二介電層上；以及第二抗反射層，其設(shè)置在該第二金屬層上。
[0009]所述第一、第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的線寬為2?15微米。
[0010]所述透明基板為剛性基板或可撓性基板。
[0011]所述第一介電層及所述第二介電層的厚度為I?200納米。
[0012]所述第一抗反射層及所述第二抗反射層的厚度為5?1，000納米。
[0013]所述第一金屬層及所述第二金屬層的材料為銅或銀。
[0014]所述第一金屬層及所述第二金屬層的厚度為0.2?3.0微米。
[0015]所述第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)還包含第一附著層，該第一附著層夾置在所述透明基板的所述上表面及所述第一介電層之間；以及所述第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)還包含第二附著層，該第二附著層夾置在所述透明基板的所述下表面及所述第二介電層之間。
[0016]所述第一附著層及所述第二附著層的厚度為I?200納米。
[0017]所述第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)還包含第一保護(hù)層，該第一保護(hù)層覆蓋所述第一抗反射層；以及所述第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)還包含第二保護(hù)層，該第二保護(hù)層覆蓋所述第二抗反射層。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1為根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)100的俯視圖。
[0019]圖2為根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)200的剖面圖。
[0020]圖3為根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)300的剖面圖

【具體實(shí)施方式】
[0021]接著以實(shí)施例并配合附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型，在附圖或描述中，相似或相同的部分使用相同的符號(hào)或編號(hào)。在附圖中，實(shí)施例的形狀或厚度可能擴(kuò)大，以簡(jiǎn)化或方便標(biāo)示，而附圖中元件的部分將以文字描述?？闪私獾氖?，未示出或未描述的元件可為本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的各種樣式。
[0022]本文所使用的術(shù)語(yǔ)僅是用于描述特定實(shí)施例的目的且不意欲限制本實(shí)用新型。如本文所使用，單數(shù)形式“一”(a、an)及“該”(the)意欲也包括復(fù)數(shù)形式，除非本文另有清楚地指示。應(yīng)進(jìn)一步了解，當(dāng)在本說(shuō)明書中使用時(shí)，術(shù)語(yǔ)“包含”(comprises及/或comprising)指定存在所述的特征、整數(shù)、步驟、操作、元件及/或組分，但并不排除存在或添加一個(gè)或多個(gè)其他特征、整數(shù)、步驟、操作、元件、組分及/或其群組。本文參照為本實(shí)用新型的理想化實(shí)施例(及中間結(jié)構(gòu))的示意性說(shuō)明的橫截面說(shuō)明來(lái)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例。如此，由于(例如)制造技術(shù)及/或容差的改變，會(huì)偏離這些說(shuō)明的形狀。因此，不應(yīng)將本實(shí)用新型的實(shí)施例理解為限于本文所說(shuō)明的特定區(qū)域形狀，而是包括起因于(例如)制造的形狀改變，且這些圖中所說(shuō)明的區(qū)域本質(zhì)上為示意性的，且其形狀不意欲說(shuō)明設(shè)備的區(qū)域的實(shí)際形狀且不意欲限制本實(shí)用新型的范疇。
[0023]圖1為根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)100的俯視圖。在圖1中，透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)100包含透明基板110、第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)130及第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)120。
[0024]其中第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)130具有多個(gè)導(dǎo)電絲，且呈橫向延伸。而第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)120具有多個(gè)導(dǎo)電絲，且呈縱向延伸。在俯視圖中，第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)130的這些導(dǎo)電絲及第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)120的這些導(dǎo)電絲皆為彼此交錯(cuò)形成方格狀結(jié)構(gòu)。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，第一、第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的這些導(dǎo)電絲的線寬為約2?15微米，優(yōu)選為約2?8微米。由于第一、第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)具有極細(xì)的導(dǎo)電絲，可以防止光線產(chǎn)生波紋(moire)或干涉條紋(interferencefringe)的光學(xué)現(xiàn)象。
[0025]本實(shí)用新型的實(shí)施例所提供的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)可應(yīng)用于觸控裝置或顯示裝置中。由于此透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)具有金屬層，因此在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，對(duì)于第一、第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)進(jìn)行黑化處里，以避免金屬層產(chǎn)生光反射而產(chǎn)生色差或可目視到金屬線路。另一方面，由于第一、第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)呈深藍(lán)色或黑色，可用以吸收反射光或散射光，并且避免導(dǎo)電絲所產(chǎn)生的光繞射或波紋現(xiàn)象。
[0026]圖2為根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)200的剖面圖。在圖2中，透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)200包含透明基板210、第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)230及第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)220。
[0027]其中，透明基板210具有上表面及下表面。第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)230位于透明基板210的上表面；而第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)220位于透明基板210的下表面。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，透明基板為剛性基板或可撓性基板。本實(shí)用新型的另一實(shí)施例中，剛性基板包含玻璃、玻璃纖維或硬質(zhì)泡沫塑料。本實(shí)用新型的又一實(shí)施例中，可撓性基板包含聚乙烯(PE)、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)或三醋酸纖維(TAC)。
[0028]在圖2中，第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)230包含第一金屬層231、第一介電層232及第一抗反射層233。其中，由透明基板210的上表面起依次為第一介電層232、第一金屬層231及第一抗反射層233。
[0029]第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)220包含第二金屬層221、第二介電層222及第二抗反射層223。其中，由透明基板210的下表面起依次為第二介電層222、第二金屬層221及第二抗反射層223。
[0030]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，第一、第二金屬層的材料為銅或銀。在本實(shí)用新型的另一實(shí)施例中，第一、第二金屬層的厚度為約0.2?3.0微米。由于銅的電阻率為約
1.678X 1-6 Ω.cm，遠(yuǎn)低于其他非金屬的透明導(dǎo)電材料，倘若能將銅制成光穿透率達(dá)85%以上的導(dǎo)電膜，便可作為透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)。因此，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，將銅制成具有極細(xì)金屬絲的網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，光線便可由網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中的開口透光，使網(wǎng)格結(jié)構(gòu)具有較佳的透光度，同時(shí)具有較佳的導(dǎo)電性。
[0031]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，第一、第二介電層的材料為金屬、含氧或含硫的金屬化合物。值得注意的是，所述的含氧或含硫的金屬化合物指氧分子、氧原子或硫原子摻雜在金屬結(jié)晶中。
[0032]當(dāng)金屬結(jié)晶中摻雜氧分子、氧原子或硫原子時(shí)，會(huì)使得金屬化合物失去金屬光澤，得到藍(lán)色、深藍(lán)色或黑色的含氧或含硫的金屬化合物。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，金屬或金屬化合物選自由鎳(Ni)、鈦(Ti)、鑰(Mo)、鉻(Cr)、銅(Cu)、鋅(Zn)、錫(Sn)及其合金所組成的群組。在本實(shí)用新型的另一實(shí)施例中，第一、第二介電層呈藍(lán)色、深藍(lán)色或黑色。在本實(shí)用新型的又一實(shí)施例中，第一、第二介電層的厚度為約I?200納米。
[0033]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，第一、第二抗反射層的材料為金屬、金屬氧化物或金屬硫化物。在本實(shí)用新型的另一實(shí)施例中，金屬選自由鎳、鈦、鑰、鉻、銅、鋅、錫、鈷(Co)、鎢(W)、鐵(Fe)及其合金所組成的群組。
[0034]由于本實(shí)用新型的實(shí)施例所提供的金屬氧化物皆為藍(lán)色、深藍(lán)色或黑色，因此第一、第二抗反射層呈藍(lán)色、深藍(lán)色或黑色。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，第一、第二保護(hù)層的厚度為約5?1，000納米。
[0035]圖3為根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)300的剖面圖。在圖3中，透明導(dǎo)電材料300包含透明基板310、第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)330及第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)320。
[0036]其中，透明基板310具有上表面及下表面。第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)330位于透明基板310的上表面；而第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)320位于透明基板310的下表面。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，透明基板為剛性基板或可撓性基板。本實(shí)用新型的另一實(shí)施例中，剛性基板包含玻璃或硬質(zhì)泡沫塑料。本實(shí)用新型的又一實(shí)施例中，可撓性基板包含聚乙烯(PE)、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)或三醋酸纖維(TAC)。
[0037]在圖3中，第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)330包含第一金屬層331、第一介電層332、第一抗反射層333、第一附著層334及第一保護(hù)層335。其中，由透明基板310的上表面起依次為第一附著層334、第一介電層332、第一金屬層331、第一抗反射層333及第一保護(hù)層335。
[0038]第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)320包含第二金屬層321、第二介電層322、第二抗反射層323、第二附著層324及第二保護(hù)層325。其中，由透明基板的下表面起依次為第二附著層324、第二介電層322、第二金屬層321、第二抗反射層323及第二保護(hù)層325。
[0039]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，第一、第二金屬層的材料為銅或銀。在本實(shí)用新型的另一實(shí)施例中，第一、第二金屬層的厚度為約0.2?3.0微米。
[0040]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，第一、第二介電層的材料為金屬、含氧或含硫的金屬化合物。值得注意的是，所述的含氧或含硫的金屬化合物指氧分子、氧原子或硫原子摻雜在金屬結(jié)晶中。
[0041]當(dāng)金屬結(jié)晶中摻雜氧分子、氧原子或硫原子時(shí)，會(huì)使得金屬化合物失去金屬光澤，得到深藍(lán)色或黑色的含氧或含硫的金屬化合物。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，金屬或金屬化合物選自由鎳、鈦、鑰、鉻、銅、鋅、錫及其合金所組成的群組。在本實(shí)用新型的另一實(shí)施例中，第一、第二介電層呈藍(lán)色、深藍(lán)色或黑色。在本實(shí)用新型的又一實(shí)施例中，第一、第二介電層的厚度為約I?200納米。
[0042]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，第一、第二抗反射層的材料為金屬、金屬氧化物或金屬硫化物。在本實(shí)用新型的另一實(shí)施例中，金屬選自由鎳、鈦、鑰、鉻、銅、鋅、錫、鈷、鎢、鐵及其合金所組成的群組。
[0043]由于本實(shí)用新型的實(shí)施例所提供的金屬氧化物皆為藍(lán)色、深藍(lán)色或黑色，因此第一、第二抗反射層呈藍(lán)色、深藍(lán)色或黑色。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，第一、第二保護(hù)層的厚度為約5?1，000納米。
[0044]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例，上述第一附著層及第二附著層的材料為金屬或含氧或含硫的金屬化合物。根據(jù)本實(shí)用新型的另一實(shí)施例，上述金屬或金屬化合物選自由鎳、鈦、鑰、鉻、銅、鋅、鈷、錫、釩(V)及其合金所組成的群組。在本實(shí)用新型的另一實(shí)施例中，第一附著層及第二附著層的厚度為約I?200納米。
[0045]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，第一保護(hù)層及第二保護(hù)層的材料為光學(xué)膠(opticalclear adhesive, OCA),例如可為透明亞克力膠(clear acrylic adhesive)。在本實(shí)用新型的另一實(shí)施例中，第一保護(hù)層及第二保護(hù)層的厚度為約10?100微米。
[0046]實(shí)施例一
[0047]提供PET透明基板，接著在PET透明基板的上表面及下表面同時(shí)進(jìn)行以下工藝過(guò)程。在PET透明基板上濺鍍厚度約20納米的鎳鉻合金作為附著層。接著在附著層上濺鍍鋅銅合金作為介電層，以加強(qiáng)鎳鉻合金和銅之間的結(jié)合能力。
[0048]再利用電鍍工藝過(guò)程將銅金屬鍍?cè)诮殡妼由?，形成金屬?dǎo)電層。在此實(shí)施例中，金屬導(dǎo)電層的厚度約為0.7微米。上述形成金屬導(dǎo)電層的電鍍?nèi)芤旱呐浞饺缦卤硪凰尽?br> [0049]表一:金屬導(dǎo)電層的電鍍?nèi)芤旱呐浞?br> [0050]組成成分__濃度_
CuS04-5H20__100 公克 /公升_
H2SO4__180公克/公升_
HCl__50 ppm_
添加劑AaI O毫升/公升添加劑Bb___添加劑Ce__0.75毫升/公升_注:電鍍溫度為4 5 ° C
a添加劑A購(gòu)自日木EBARA公司，型號(hào)CU-BRITE RF MUb添加劑B購(gòu)自日本EBARA公司，型號(hào)CU-BRITE RF-Ac添加劑C購(gòu)自日本EBARA公司，型號(hào)CU-BRITE RF-B
[0051 ] 接著利用電鍍工藝過(guò)程，將抗反射層電鍍?cè)诮饘賹?dǎo)電層上。在此實(shí)施例中，抗反射層的厚度為約0.1微米，且其材料為黑色的鎳鋅硫化合物。上述鎳鋅混合物的電鍍?nèi)芤旱呐浞饺缦卤矶尽?br> [0052]表二:鎳鋅混合物的電鍍?nèi)芤旱呐浞?br> [0053]
組成成分濃度(公克/公升)
NiS04-7H2080ZnS04-7H20__45_
NH4SCN__30_
[0054]H1BOi__30_
NiS04(NH4)S04-6H20__50_
注:當(dāng)電鍍?nèi)芤旱膒H值為5.0時(shí)，其顏色接近黑色。
[0055]表三:實(shí)施例一的附著(tie coat)層及抗氧化層的色彩坐標(biāo)(L*，a*，b*)
[0056]
_色彩坐標(biāo)
L*a*b *
附著層__13 0.13 0.73
抗反射層12 -0.15 -0.01
[0057]由表三可知，此實(shí)施例的附著層及抗反射層的色彩坐標(biāo)均趨近黑色，用以吸收反射光或散射光，并且降低光繞射現(xiàn)象。
[0058]接著，利用光刻工藝過(guò)程，蝕刻上述附著層、介電層、金屬導(dǎo)電層及抗反射層，形成網(wǎng)格結(jié)構(gòu)。在此實(shí)施例中，網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的線寬為約4微米。之后，再覆蓋光學(xué)膠(optical clearadhesive, OCA)于抗反射層的上，用以作為保護(hù)層，即得到銅金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)。此銅金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)可作為感應(yīng)元件(sensor)應(yīng)用于觸控面板。
[0059]利用電感耦合等離子體(ICP)及元素分析儀測(cè)定透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的這些層中的金屬原子比例及氧原子含量，以調(diào)控透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的面電阻值及線電阻值(請(qǐng)參考表三)，及這些層的色彩數(shù)據(jù)。
[0060]表四*:實(shí)施例一的面電阻值、線電阻值及光穿透率
[0061]
__面電阻(Ω/口) 線電阻(Ω) 光穿透率(％)
[0062]
實(shí)施例._0.07__<800__88_
*表四為測(cè)試13央寸的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(實(shí)施例一)的面電阻值、線電阻值及光穿透率。_
[0063]實(shí)施例二
[0064]在實(shí)施例二中，附著層為含氧的鑰化合物，且抗反射層的材料為鑰氧化物。實(shí)施例二的制作方法及其余各層的材料如同實(shí)施例一所述，在此不再多加贅述。
[0065]利用電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法(ICP-AES)及元素分析儀測(cè)定透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的這些層中的金屬原子比例及氧原子含量，以調(diào)控透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的面電阻值及線電阻值，及這些層的色彩數(shù)據(jù)(請(qǐng)參考表五及表六)。
[0066]表五:實(shí)施例二的附著(tie coat)層及抗氧化層的色彩坐標(biāo)(L*，a*，b*)
[0067]

色彩坐標(biāo)
L*a*b*
附著層__28 -4.8 -3.8
抗反射層 23 -6.5 -12.6
[0068]由表五的結(jié)果可知，附著層的顏色接近深藍(lán)色，且抗反射層的顏色也接近深藍(lán)色。
[0069]表六*:實(shí)施例二的面電阻值、線電阻值及光穿透率
[0070]
__面電阻(Ω/α) 線電阻(Ω) 光穿透率(％)
實(shí)施例二__O 06_ <700 _8b_
*表六為測(cè)試I 3英寸的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(實(shí)施例二)的面電阻值、
[0071]
線電阻值及光穿透率。_
[0072]本實(shí)用新型的實(shí)施例所提供的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的面電阻值為約0.01?1Ω/ □，且線電阻值小于700 Ω。此實(shí)施例的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的面電阻值及線電阻值均遠(yuǎn)小于氧化銦錫的面電阻值(100?400Ω/0)及線電阻值(>10，000Ω)。由此結(jié)果可知，本實(shí)用新型的實(shí)施例所提供的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)具有較低的面電阻值及較高導(dǎo)電度。當(dāng)應(yīng)用于觸控裝置時(shí)，本實(shí)用新型的實(shí)施例所提供的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)具有較佳的靈敏度。另一方面，由于本實(shí)用新型的實(shí)施例所提供的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)中金屬層上下皆為深藍(lán)色或黑色的介電層及保護(hù)層所覆蓋，因此可避免光反射、光散射或光繞射所產(chǎn)生的色偏現(xiàn)象。
[0073]除此之外，本實(shí)用新型的實(shí)施例所提供的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的金屬層使用銅作為導(dǎo)電材料。相較于金屬銀，金屬銅具有較高的化學(xué)穩(wěn)定性，不易因氧化作用或硫化作用而損害透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，造成電性失效。并且金屬銅的價(jià)格亦較金屬銀便宜，可大幅降低生產(chǎn)成本。
[0074]雖然本實(shí)用新型的實(shí)施例已經(jīng)公開如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可做些許的變動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)以后附的權(quán)利要求書所界定為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，包含: 透明基板，其具有上表面及相對(duì)于該上表面的下表面； 第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，其設(shè)置在該透明基板的該上表面，其中該第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)由該透明基板的該上表面依次包含: 第一介電層； 第一金屬層，其設(shè)置在該第一介電層上；以及 第一抗反射層，其設(shè)置在該第一金屬層上；以及 第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，其設(shè)置在該透明基板的該下表面，其中該第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)由該下表面依次包含: 第二介電層； 第二金屬層，其設(shè)置在該第二介電層上；以及 第二抗反射層，其設(shè)置在該第二金屬層上。
2.如權(quán)利要求1所述的具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一、第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的線寬為2?15微米。
3.如權(quán)利要求1所述的具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述透明基板為剛性基板或可撓性基板。
4.如權(quán)利要求1所述的具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一介電層及所述第二介電層的厚度為I?200納米。
5.如權(quán)利要求1所述的具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一抗反射層及所述第二抗反射層的厚度為5?1，000納米。
6.如權(quán)利要求1所述的具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一金屬層及所述第二金屬層的材料為銅或銀。
7.如權(quán)利要求1所述的具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一金屬層及所述第二金屬層的厚度為0.2?3.0微米。
8.如權(quán)利要求1所述的具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)還包含第一附著層，該第一附著層夾置在所述透明基板的所述上表面及所述第一介電層之間；以及所述第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)還包含第二附著層，該第二附著層夾置在所述透明基板的所述下表面及所述第二介電層之間。
9.如權(quán)利要求8所述的具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一附著層及所述第二附著層的厚度為I?200納米。
10.如權(quán)利要求1所述的具有金屬網(wǎng)格的透明導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)還包含第一保護(hù)層，該第一保護(hù)層覆蓋所述第一抗反射層；以及所述第二網(wǎng)格結(jié)構(gòu)還包含第二保護(hù)層，該第二保護(hù)層覆蓋所述第二抗反射層。
【文檔編號(hào)】G06F3/041GK203982343SQ201420432880
【公開日】2014年12月3日 申請(qǐng)日期:2014年8月1日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月18日
【發(fā)明者】蔡水河 申請(qǐng)人:鼎展電子股份有限公司