一種雙重圖形拆分沖突的消除方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種雙重圖形拆分沖突的消除方法，通過根據(jù)不同結(jié)構(gòu)制定不同類型的規(guī)范，根據(jù)規(guī)范查找相應(yīng)的結(jié)構(gòu)，找出和標記版圖中違反規(guī)范的結(jié)構(gòu)，然后根據(jù)奇數(shù)個標記和相應(yīng)的結(jié)構(gòu)所組成的密閉區(qū)域來確定存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)，最后根據(jù)存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)確定修改方式并修改從而消除拆分沖突，并且重復(fù)上述查找、標記和修改過程，最終消除版圖中所有存在的拆分沖突，為順利進行雙重圖形拆分和后續(xù)的雙重圖形曝光做好準備；并且，本發(fā)明的方法可以通過程序代碼來控制，避免了人工查找和修改版圖的繁瑣過程，節(jié)約了時間和成本。
【專利說明】一種雙重圖形拆分沖突的消除方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種雙重圖形拆分沖突的消除方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 隨著半導(dǎo)體技術(shù)代的不斷延伸，當(dāng)半導(dǎo)體設(shè)計規(guī)則超過了光學(xué)光刻技術(shù)能力時， 雙重圖形技術(shù)最為一種具備挑戰(zhàn)性的技術(shù)繼續(xù)推動光學(xué)光刻技術(shù)前進。與之相應(yīng)的，要求 雙重圖形化（DPT)圖形拆分技術(shù)能順利地將設(shè)計圖形拆分成兩次光刻的圖形。
[0003] 常規(guī)的DPT圖形拆分會按照制定的規(guī)則對GDS進行拆分，但是當(dāng)圖形設(shè)計本身存 在DPT沖突時，即無論通過何種方式將版圖拆分成兩層光刻版圖形，總有一層光刻版上的 圖形會違反設(shè)計規(guī)則，因此會導(dǎo)致無法順利地進行光刻工藝。
[0004] 常規(guī)的DPT拆分需要保證拆分的圖形不存在拆分沖突，在此基礎(chǔ)上按照設(shè)定的一 系列規(guī)則對圖形進行DPT拆分；然而當(dāng)圖形中存在拆分沖突時，則需要首先解決拆分沖突， 否則無法進行正常的拆分。因此當(dāng)拆分沖突很多時，人工查找和修改沖突非常繁瑣，大大降 低了拆分的正確性和效率。
[0005] 由于DPT圖形拆分將影響到后續(xù)光刻工藝的精度和質(zhì)量，進而影響到整個半導(dǎo)體 工藝流程的順利進行，減少不必要的浪費。因此，研究如何消除雙重圖形拆分沖突是急需和 有價值的。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 為了克服以上問題，本發(fā)明旨在提供一種雙重圖形拆分沖突的消除方法，從而快 速且準確地解決雙重圖形版圖存在的拆分沖突。
[0007] 本發(fā)明提供了一種雙重圖形拆分沖突的消除方法，其特征在于，包括：
[0008] 步驟01 :制定版圖中不同結(jié)構(gòu)之間的規(guī)范；
[0009] 步驟02 :按照所述規(guī)范檢查所述版圖中的結(jié)構(gòu)并標記所述版圖中違反規(guī)范的結(jié) 構(gòu)；
[0010] 步驟03 :找出奇數(shù)個所述標記和相應(yīng)的所述版圖中的結(jié)構(gòu)所組成的密閉區(qū)域，位 于所述密閉區(qū)域中的結(jié)構(gòu)為存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)；
[0011] 步驟04 :根據(jù)所述存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)確定修改方法，并依此對所述存在拆分沖 突的結(jié)構(gòu)進行修改從而消除拆分沖突；
[0012] 步驟05 :重復(fù)步驟02-04,直至消除掉所述版圖中所有存在的拆分沖突。
[0013] 優(yōu)選地，所述版圖中的結(jié)構(gòu)的邊緣的類型為線或線端；所述規(guī)范的類型包括線與 線的間距、線端與線的間距、線端與線端的間距。
[0014] 優(yōu)選地，所述每一種類型的規(guī)范為由線寬范圍和對應(yīng)的最小間距值組成的陣列。
[0015] 優(yōu)選地，所述步驟04具體包括：當(dāng)所述存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)的邊緣類型為線端 時，修改所述線端，使該線端與其它線端、或者該線端與線之間的間距至少增加到所屬類型 規(guī)范的最小間距值。
[0016] 優(yōu)選地，所述步驟02具體包括：
[0017] 步驟021 :對各個所述版圖中的結(jié)構(gòu)的每條邊緣進行檢查并判斷每條所述邊緣所 屬類型的規(guī)范；
[0018] 步驟022 :根據(jù)所述所屬類型規(guī)范檢查所述每條邊緣，并對違反所屬類型規(guī)范的 結(jié)構(gòu)進行標記。
[0019] 優(yōu)選地，每個所述違反所屬類型規(guī)范的結(jié)構(gòu)的標記值為由代碼組成的一維數(shù)組； 所述一維數(shù)組中依次包含：所述標記的編號、所違反的規(guī)范的類型代碼、所述違反所屬類型 規(guī)范的一個結(jié)構(gòu)的代碼、所述違反所屬類型規(guī)范的一個結(jié)構(gòu)的邊緣類型代碼、所述違反所 屬類型規(guī)范的一個結(jié)構(gòu)的線寬代碼、所述違反所屬類型規(guī)范的另一個結(jié)構(gòu)的代碼、所述違 反所屬類型規(guī)范的另一個結(jié)構(gòu)的邊緣的類型代碼、所述違反所述類型規(guī)范的另一個結(jié)構(gòu)的 線寬代碼以及是否消除違反所屬類型規(guī)范的代碼。
[0020] 優(yōu)選地，所述標記的編號按照順序記錄；所述違反的規(guī)范的類型代碼包括：線與 線的間距規(guī)范類型代碼、線端與線的間距規(guī)范類型代碼、線端與線端的間距規(guī)范類型代碼； 所述違反所屬類型規(guī)范的一個或另一個結(jié)構(gòu)的代碼為字母、數(shù)字或其組合；所述違反所屬 類型規(guī)范的一個或另一個結(jié)構(gòu)的邊緣的類型代碼包括：線類型代碼，線端類型代碼；所述 違反所屬類型規(guī)范的一個結(jié)構(gòu)或另一結(jié)構(gòu)的線寬代碼為線寬值；未消除違反所屬類型規(guī)范 的代碼不同于消除違反所屬類型規(guī)范的代碼。
[0021] 優(yōu)選地，根據(jù)所述標記值，當(dāng)違反所屬類型規(guī)范的兩個結(jié)構(gòu)的代碼相同時，說明所 述違反所屬類型規(guī)范的兩個結(jié)構(gòu)屬于同一個結(jié)構(gòu)，則在進行所述步驟04之前，先將所述同 一個結(jié)構(gòu)拆分成兩個獨立的結(jié)構(gòu)，再進行所述步驟04。
[0022] 優(yōu)選地，在拆分成的所述兩個獨立結(jié)構(gòu)的拼接處分別增加一重疊區(qū)域。
[0023] 優(yōu)選地，所述存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)為多邊形。
[0024] 本發(fā)明的雙重圖形拆分沖突的消除方法，通過根據(jù)不同結(jié)構(gòu)制定不同類型的規(guī) 范，并根據(jù)規(guī)范查找相應(yīng)的結(jié)構(gòu)，找出和標記版圖中違反所屬類型規(guī)范的結(jié)構(gòu)，然后根據(jù)奇 數(shù)個標記和相應(yīng)的結(jié)構(gòu)所組成的密閉區(qū)域來確定存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)，最后根據(jù)存在拆分 沖突的結(jié)構(gòu)確定修改方式并對版圖進行修改，重復(fù)上述查找、標記和修改過程，最終消除版 圖中所有存在的拆分沖突，為順利進行雙重圖形拆分和后續(xù)的雙重圖形曝光做好準備；并 且，本發(fā)明的方法可以通過程序代碼來控制，避免了人工查找和修改版圖的繁瑣過程，節(jié)約 了時間和成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0025] 圖1為本發(fā)明的雙重圖形拆分沖突的消除方法的流程示意圖
[0026] 圖2為存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)示意圖
[0027] 圖3a_3c示出了對違反規(guī)范的兩個結(jié)構(gòu)屬于同一個存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)的消除 過程的示意圖

【具體實施方式】
[0028] 為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本發(fā)明的內(nèi)容作進一 步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也 涵蓋在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。
[0029] 本發(fā)明的雙重圖形拆分沖突的消除方法，包括：
[0030] 步驟01 :制定版圖中不同結(jié)構(gòu)之間的規(guī)范；
[0031] 步驟02 :按照所述規(guī)范檢查所述版圖中的結(jié)構(gòu)并標記所述版圖中違反規(guī)范的結(jié) 構(gòu)；
[0032] 步驟03 :找出奇數(shù)個所述標記和相應(yīng)的所述版圖中的結(jié)構(gòu)所組成的密閉區(qū)域，位 于所述密閉區(qū)域中的所述版圖中的結(jié)構(gòu)為存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)；
[0033] 步驟04 :根據(jù)所述存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)確定修改方法，并依此對所述存在拆分沖 突的結(jié)構(gòu)進行修改，從而消除拆分沖突；
[0034] 步驟05 :重復(fù)步驟02-04,直至消除掉所述版圖中所有存在的拆分沖突。
[0035] 以下將結(jié)合附圖1-2和具體實施例對本發(fā)明的雙重圖形拆分沖突的消除方法作 進一步詳細說明。其中，圖1為本發(fā)明的雙重圖形拆分沖突的消除方法的流程示意圖，圖2 為存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3a_3c示出了對違反規(guī)范的兩個結(jié)構(gòu)屬于同一個存在拆 分沖突的結(jié)構(gòu)的消除過程的示意圖。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式、使用非精準 的比例，且僅用以方便、清晰地達到輔助說明本實施例的目的。
[0036] 請參閱圖1，雙重圖形拆分沖突的消除方法，包括：
[0037] 步驟01 :制定版圖中不同結(jié)構(gòu)之間的規(guī)范；
[0038] 具體的，版圖中的結(jié)構(gòu)的邊緣的類型可以為線或線端；規(guī)范的類型包括線與線的 間距、線端與線間距、線端與線端間距；每一種類型的規(guī)范均由線寬范圍和相對應(yīng)的最小間 距值組成的陣列，設(shè)定不同線寬范圍內(nèi)的最小間距值可以平衡圖形拆分后光刻版之間的圖 形密度。
[0039] 舉例來說，以線與線的間距類型的規(guī)范為例，如表一中所示的陣列，線寬小于36nm 時，線與線間距不小于54nm ;線寬大于或等于36nm，且小于IOOnm時，線與線間距不小于 75nm ;線寬大于或等于lOOnm，且小于150nm時，線與線間距不小于IOOnm ;線寬大于或等于 150nm時，線與線間距不小于150nm。
[0040] 表一
[0041]

【權(quán)利要求】
1. 一種雙重圖形拆分沖突的消除方法，其特征在于，包括： 步驟01 :制定版圖中不同結(jié)構(gòu)之間的規(guī)范； 步驟02 :按照所述規(guī)范檢查所述版圖中的結(jié)構(gòu)并標記所述版圖中違反規(guī)范的結(jié)構(gòu)； 步驟03 :找出奇數(shù)個所述標記和相應(yīng)的所述版圖中的結(jié)構(gòu)所組成的密閉區(qū)域，位于所 述密閉區(qū)域中的結(jié)構(gòu)為存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)； 步驟04 :根據(jù)所述存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)確定修改方法，并依此對所述存在拆分沖突的 結(jié)構(gòu)進行修改從而消除拆分沖突； 步驟05:重復(fù)步驟02-04,直至消除掉所述版圖中所有存在的拆分沖突。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙重圖形拆分沖突的消除方法，其特征在于，所述版圖中的 結(jié)構(gòu)的邊緣的類型為線或線端；所述規(guī)范的類型包括線與線的間距、線端與線的間距、線端 與線端的間距。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙重圖形拆分沖突的消除方法，其特征在于，所述每一種類 型的規(guī)范為由線寬范圍和對應(yīng)的最小間距值組成的陣列。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙重圖形拆分沖突的消除方法，其特征在于，所述步驟04具 體包括：當(dāng)所述存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)的邊緣類型為線端時，修改所述線端，使該線端與其它 線端、或者該線端與線之間的間距至少增加到所屬類型規(guī)范的最小間距值。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙重圖形拆分沖突的消除方法，其特征在于，所述步驟02具 體包括： 步驟021 :對各個所述版圖中的結(jié)構(gòu)的每條邊緣進行檢查并判斷每條所述邊緣所屬類 型的規(guī)范； 步驟022 :根據(jù)所述所屬類型規(guī)范檢查所述每條邊緣，并對違反所屬類型規(guī)范的結(jié)構(gòu) 進行標記。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙重圖形拆分沖突的消除方法，其特征在于，每個所述違反 所屬類型規(guī)范的結(jié)構(gòu)的標記值為由代碼組成的一維數(shù)組；所述一維數(shù)組中依次包含：所述 標記的編號、所違反的規(guī)范的類型代碼、所述違反所屬類型規(guī)范的一個結(jié)構(gòu)的代碼、所述違 反所屬類型規(guī)范的一個結(jié)構(gòu)的邊緣類型代碼、所述違反所屬類型規(guī)范的一個結(jié)構(gòu)的線寬代 碼、所述違反所屬類型規(guī)范的另一個結(jié)構(gòu)的代碼、所述違反所屬類型規(guī)范的另一個結(jié)構(gòu)的 邊緣的類型代碼、所述違反所述類型規(guī)范的另一個結(jié)構(gòu)的線寬代碼以及是否消除違反所屬 類型規(guī)范的代碼。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙重圖形拆分沖突的消除方法，其特征在于，所述標記的編 號按照順序記錄；所述違反的規(guī)范的類型代碼包括：線與線的間距規(guī)范類型代碼、線端與 線的間距規(guī)范類型代碼、線端與線端的間距規(guī)范類型代碼；所述違反所屬類型規(guī)范的一個 或另一個結(jié)構(gòu)的代碼為字母、數(shù)字或其組合；所述違反所屬類型規(guī)范的一個或另一個結(jié)構(gòu) 的邊緣的類型代碼包括：線類型代碼，線端類型代碼；所述違反所屬類型規(guī)范的一個結(jié)構(gòu) 或另一結(jié)構(gòu)的線寬代碼為線寬值；未消除違反所屬類型規(guī)范的代碼不同于消除違反所屬類 型規(guī)范的代碼。
8. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙重圖形拆分沖突的消除方法，其特征在于，根據(jù)所述標記 值，當(dāng)違反所屬類型規(guī)范的兩個結(jié)構(gòu)的代碼相同時，說明所述違反所屬類型規(guī)范的兩個結(jié) 構(gòu)屬于同一個結(jié)構(gòu)，則在進行所述步驟04之前，先將所述同一個結(jié)構(gòu)拆分成兩個獨立的結(jié) 構(gòu)，再進行所述步驟04。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的雙重圖形拆分沖突的消除方法，其特征在于，在拆分成的所 述兩個獨立結(jié)構(gòu)的拼接處分別增加一重疊區(qū)域。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1-9任意一項所述的雙重圖形拆分沖突的消除方法，其特征在于，所 述存在拆分沖突的結(jié)構(gòu)為多邊形。
【文檔編號】G06F17/50GK104392074SQ201410775384
【公開日】2015年3月4日 申請日期:2014年12月15日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月15日
【發(fā)明者】胡紅梅 申請人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司