雙重圖案化布局設(shè)計方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種雙重圖案化布局設(shè)計方法，該方法包括步驟：在原理電路上定義關(guān)鍵路徑，所述關(guān)鍵路徑包括第一路徑和第二路徑；以及定義雙重圖案化布局，所述雙重圖案化布局被劃分成具有第一顏色的第一掩模布局和具有第二顏色的第二掩模布局，所述雙重圖案化布局與所述原理電路相對應(yīng)。定義所述雙重圖案化布局的步驟包括在所述原理電路上錨定所述關(guān)鍵路徑。
【專利說明】雙重圖案化布局設(shè)計方法
[0001]相關(guān)申請的交叉引用
[0002]本申請要求于2013年6月24日提交的韓國專利申請N0.10-2013-0072507的優(yōu)先權(quán)，該申請的主題以引用的方式合并于此。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明構(gòu)思一般性地涉及半導(dǎo)體制造工藝，具體地涉及可在半導(dǎo)體制造中使用的雙重圖案化布局設(shè)計方法。

【背景技術(shù)】
[0004]雙重圖案化方法可用在半導(dǎo)體制造中以執(zhí)行高分辨率蝕刻。在雙重圖案化方法中，使用兩個或更多掩模對材料層進(jìn)行圖案化。由于使用了兩個或更多的掩模，因而雙重圖案化方法可以提供使用單個掩模所不能實現(xiàn)的期望的分辨率水平。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]在本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例中，一種雙重圖案化布局設(shè)計方法包括步驟:在原理電路上定義關(guān)鍵路徑，所述關(guān)鍵路徑包括第一路徑和第二路徑；以及定義雙重圖案化布局，所述雙重圖案化布局被劃分成具有第一顏色的第一掩模布局和具有第二顏色的第二掩模布局，所述雙重圖案化布局與所述原理電路相對應(yīng)。定義所述雙重圖案化布局的步驟包括在所述原理電路上錨定所述關(guān)鍵路徑。
[0006]在本發(fā)明構(gòu)思的另一個實施例中，一種雙重圖案化布局設(shè)計方法包括步驟:接收關(guān)于已定義的原理電路和在所述原理電路上定義的關(guān)鍵路徑的信息；定義雙重圖案化布局，所述雙重圖案化布局被劃分成具有第一顏色的第一掩模布局和具有第二顏色的第二掩模布局，所述雙重圖案化布局與所述原理電路相對應(yīng)；以及輸出已定義的雙重圖案化布局。定義所述雙重圖案化布局的步驟包括在所述原理電路上錨定所述關(guān)鍵路徑。
[0007]在本發(fā)明構(gòu)思的另一個實施例中，一種配置為用于設(shè)計雙重圖案化布局的系統(tǒng)包括:處理器，其配置為在原理電路上對包括第一路徑和第二路徑的關(guān)鍵路徑進(jìn)行定義，并且對雙重圖案化布局進(jìn)行定義，所述雙重圖案化布局被劃分成具有第一顏色的第一掩模布局和具有第二顏色的第二掩模布局，所述雙重圖案化布局與所述原理電路相對應(yīng)。對所述雙重圖案化布局進(jìn)行定義包括在所述原理電路上對所述關(guān)鍵路徑進(jìn)行錨定。
[0008]通常，當(dāng)為雙重圖案化布局上的相鄰圖案應(yīng)用不同的顏色時，會獨立地全局/局部表明電容方面的改變。如果為雙重圖案化布局上的關(guān)鍵路徑應(yīng)用不同的顏色，則會產(chǎn)生相當(dāng)大的AC失配。因而在特定實施例中，為與關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的多邊形應(yīng)用相同的顏色，從而減低由于雙重圖案化所引起的失配。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]附圖示出了本發(fā)明構(gòu)思的所選實施例。在附圖中，相同的附圖標(biāo)記表示相同的特征。
[0010]圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法的流程圖。
[0011]圖2是示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的圖1所示的布局設(shè)計步驟的流程圖。
[0012]圖3是示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的圖2所示的關(guān)鍵路徑錨定步驟的流程圖。
[0013]圖4是示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的圖2所示的關(guān)鍵路徑錨定步驟的應(yīng)用示例的流程圖。
[0014]圖5是示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的另一個實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法的流程圖。
[0015]圖6A示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的在雙重圖案化期間相鄰圖案的對準(zhǔn)。
[0016]圖6B示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的由于在雙重圖案化期間相鄰圖案的移位(或未對準(zhǔn))所引起的電容方面的改變。
[0017]圖6C示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的由于在雙重圖案化期間相鄰圖案的移位(或未對準(zhǔn))所引起的電容方面的另一改變。
[0018]圖7A示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的在對于具有相同顏色的相鄰圖案產(chǎn)生工藝偏差的情況下的時滯模型。
[0019]圖7B是示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的相鄰圖案的電阻-電容(RC)偏差的表格。
[0020]圖8A是出了在對于具有不同顏色的相鄰圖案產(chǎn)生工藝偏差的情況下的時滯模型。
[0021]圖8B是示出了圖8A的相鄰圖案的RC偏差的表格。
[0022]圖9示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的原理電路上的關(guān)鍵路徑。
[0023]圖1OA示出了采用根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法的布局。
[0024]圖1OB示出了采用根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的另一個實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法的布局。
[0025]圖11是可以利用根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一些實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法進(jìn)行設(shè)計的片上系統(tǒng)的框圖。
[0026]圖12是配置為實現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一些實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法計算機系統(tǒng)的框圖。

【具體實施方式】
[0027]以下參考附圖對本發(fā)明構(gòu)思的各實施例進(jìn)行描述。這些實施例呈現(xiàn)為指教性示例，而不應(yīng)當(dāng)被看作限定本發(fā)明構(gòu)思的范圍。
[0028]在以下說明書當(dāng)中，當(dāng)一層被稱作“在”另一層或襯底“上”時，所述一層可以直接在另一層或襯底上，或者也可以存在中間層。與之相反，當(dāng)一個元件被稱作“直接在”另一個元件“上”時，則不存在中間元件。
[0029]會在本文中使用諸如“在……之下”、“在……以下”、“下部”、“在……以上”、“上部”
等空間相對術(shù)語以便于描述在圖中示出的一個元件或特征與另一個(或一些)元件或特征的關(guān)系。應(yīng)當(dāng)理解的是，這些空間相對術(shù)語旨在涵蓋使用或操作中的器件在圖中所描述的取向之外的不同取向。例如，如果將圖中的器件反轉(zhuǎn)，則描述為在其他元件或特征“以下”或“之下”的元件將取向為在其他元件或特征“以上”。因此，示例術(shù)語“在……以下”可以涵蓋“以下”和“以上”兩種取向?？梢允沟闷骷硗獾厝∠?旋轉(zhuǎn)90度或其他取向)，并且將相應(yīng)地解釋在本文中使用的空間相對描述詞。
[0030]除非在本文中另外指明或者明顯與上下文相矛盾，否則術(shù)語“一”、“一個”和“該”以及類似指代詞的使用要被解釋為涵蓋單數(shù)和復(fù)數(shù)兩種情況。除非另外有所注明，否則諸如“包含”、“具有”、“包括”和“含有”之類的術(shù)語要被解釋為開放式術(shù)語(即，表示“包括但不限于”)。
[0031]除非另外地進(jìn)行了定義，否則本文所使用的所有技術(shù)和科技術(shù)語都具有與本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的通常理解相同的含義。除非另外具體說明，否則任何及全部示例的使用或者本文所提供的術(shù)語，僅僅是為了更好地說明本發(fā)明，而不是限定本發(fā)明的范圍。此外，在常用字典中定義的那些術(shù)語應(yīng)當(dāng)在相關(guān)上下文中進(jìn)行解釋而不應(yīng)過于形式化地進(jìn)行解釋。
[0032]將參考透視圖、截面圖和/或平面圖來描述本發(fā)明構(gòu)思，在這些圖中示出了本發(fā)明的優(yōu)選實施例。示例圖示的輪廓會根據(jù)制造技術(shù)和/或容差而有所變化。因此，圖中所示區(qū)域示出為示意形式，并且以說明而非限定的方式簡單地表現(xiàn)出各區(qū)域的形狀。
[0033]圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法的流程圖。
[0034]參考圖1，雙重圖案化布局設(shè)計方法包括電路設(shè)計(SllO)步驟、雙重圖案化布局設(shè)計(S120)步驟以及設(shè)計規(guī)則檢查(DRC)/布局對原理(LVS)確認(rèn)(S130)步驟。
[0035]在電路設(shè)計(SllO)中，設(shè)計原理電路。在電路設(shè)計(SllO)中，可以使用能夠表現(xiàn)電路器件的連接狀態(tài)的計算機輔助設(shè)計(CAD)工具。電路設(shè)計人員可以使用CAD工具以塊為單位設(shè)計原理電路，所述塊包括有執(zhí)行特定功能的標(biāo)準(zhǔn)單元或非標(biāo)準(zhǔn)單元。雖然沒有在圖1中明確地示出，但是電路設(shè)計(SllO)還可以包括已設(shè)計的原理電路的仿真操作。
[0036]電路設(shè)計(SllO)還可以包括在已設(shè)計的原理電路上定義關(guān)鍵路徑。關(guān)鍵路徑通常包括包含有第一路徑和第二路徑的多個路徑?？梢詫τ谠黼娐返亩〞r是關(guān)鍵的信號線或其他部件定義為關(guān)鍵路徑。通常，在一組相關(guān)路徑當(dāng)中，關(guān)鍵路徑包括需要相對較長時間完成操作的路徑?？梢詫τ诙〞r是關(guān)鍵的第一信號線和第二信號線定義為第一路徑和第二路徑。
[0037]接下來，在雙重圖案化布局設(shè)計(S120)中，對與已設(shè)計的原理電路相對應(yīng)的雙重圖案化布局進(jìn)行設(shè)計。將雙重圖案化布局劃分成第一掩模布局和第二掩模布局，其中第一掩模布局具有第一顏色而第二掩模布局具有第二顏色。為第一掩模布局和第二掩模布局應(yīng)用不同的顏色，以便在形成掩模的過程中定義分散在多個掩模中的多邊形。雙重圖案化布局分散在三個或更多的具有不同顏色的掩模布局中。為此，也可以將雙重圖案化布局稱作多重圖案化布局。在說明書中，可以將雙重圖案化布局定義為包括多重圖案化布局。在雙重圖案化布局設(shè)計(S120)中，可以以包括標(biāo)準(zhǔn)單元的塊為單位設(shè)計布局，并且可以使用能夠在已設(shè)計的布局上執(zhí)行著色的電子設(shè)計自動化(EDA)工具。
[0038]另外，雙重圖案化布局設(shè)計(S120)可以包括錨定關(guān)鍵路徑。在雙重圖案化方法中使用的術(shù)語“錨定”表示預(yù)應(yīng)用特定多邊形的顏色。隨后，可以基于錨定結(jié)果來應(yīng)用剩余的多邊形的顏色。因此，在本說明書中，“錨定關(guān)鍵路徑”這一表述表示了，在設(shè)計雙重圖案化布局的同時預(yù)應(yīng)用與關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的多邊形的顏色。
[0039]接下來，對于已設(shè)計的雙重圖案化布局執(zhí)行設(shè)計規(guī)則檢查(DRC)/布局對原理(LVS)確認(rèn)(S130)。也就是說，在DRC/LVS(130)中，檢驗已設(shè)計的雙重圖案化布局是否滿足工藝設(shè)計規(guī)則，或者檢驗已設(shè)計的雙重圖案化布局是否與原理電路相對應(yīng)。雖然沒有在圖1中明確地示出，但是在DRC/LVS(130)中，可以執(zhí)行后仿真(post-simulat1n)。
[0040]圖2是示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的圖1所示的布局設(shè)計步驟的流程圖。
[0041]參考圖2，可以使用有色繪圖法來執(zhí)行圖1的布局設(shè)計(S120)。在有色繪圖法中，在設(shè)計多個掩模布局的同時，同時地執(zhí)行布置和定線以及著色。在此情況下，由于設(shè)計規(guī)則相對較小，所以布局設(shè)計人員可以設(shè)計優(yōu)化的布局。然而，設(shè)計周轉(zhuǎn)時間(TAT)會增加以便將顏色考慮進(jìn)來。上述有色繪圖法也可以稱作手動分解方法。
[0042]首先，可以在已設(shè)計的原理電路上錨定關(guān)鍵路徑(S210)。為了使用有色繪圖法來錨定關(guān)鍵路徑，可以預(yù)定義與關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的有色多邊形布局。當(dāng)使用有色繪制法時，同時地執(zhí)行布置和定線以及著色，所以可以通過對與關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的有色多邊形布局進(jìn)行預(yù)定義來在剩余的多邊形之前應(yīng)用與關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的多邊形的顏色。
[0043]接下來，可以對與已設(shè)計的原理電路上的剩余部件相對應(yīng)的有色多邊形布局進(jìn)行設(shè)計(S220)。例如，布局設(shè)計人員可以隨機地或者按照預(yù)定規(guī)則分配與已設(shè)計的原理電路上的剩余部件相對應(yīng)的多邊形的顏色。
[0044]圖3是示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的圖2所示的關(guān)鍵路徑錨定步驟的流程圖。
[0045]參考圖3，首先，分析關(guān)鍵路徑的顏色維度(S211)。在此，可以使用關(guān)于關(guān)鍵路徑的信息從已設(shè)計的原理電路檢測(或搜索)關(guān)鍵路徑。接下來，可以為關(guān)鍵路徑應(yīng)用相同的顏色(S212)。具體而言，可以為與第一路徑相對應(yīng)的第一多邊形和與第二路徑相對應(yīng)的第二多邊形應(yīng)用單一顏色。與此同時，可以執(zhí)行第一多邊形和第二多邊形的布置和定線。
[0046]圖4是示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的圖2所示的關(guān)鍵路徑錨定步驟的應(yīng)用示例的流程圖。為了避免冗余，下面的描述將著重于圖3和圖4所示的步驟之間的差異。
[0047]參考圖4，分析關(guān)鍵路徑的顏色維度(S221)。接下來，進(jìn)行偶數(shù)處理變化(evenprocess variat1n) (S222)。進(jìn)行偶數(shù)處理變化包括通過將第一路徑和第二路徑分離或分塊為偶數(shù)個部件來以偶數(shù)個掩模布局對關(guān)鍵路徑的第一路徑和第二路徑進(jìn)行圖案化。接下來，可以使與第一路徑相對應(yīng)的第一多邊形和與第二路徑相對應(yīng)的第二多邊形的色比匹配(S223)。例如，第一多邊形和第二多邊形的色比可以是平均的。與此同時，還執(zhí)行第一多邊形和第二多邊形的布置和定線。
[0048]圖5是示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的另一個實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法的流程圖。為了避免冗余，下面的描述將著重于根據(jù)本實施例和前述實施例的布局設(shè)計步驟之間的差異。
[0049]參考圖5，可以使用無色繪圖法來執(zhí)行雙重圖案化布局設(shè)計方法中的布局設(shè)計步驟。在無色繪圖法中，執(zhí)行布置和定線來設(shè)計單一掩模布局，隨后在該單一掩模布局上執(zhí)行著色，從而將該單一掩模布局分成多個掩模布局。在此情況下，設(shè)計規(guī)則通常相對較大，所以在布局結(jié)果方面會有開銷。然而，由于設(shè)計方面的便利會縮短設(shè)計TAT。上述無色繪圖法也可以稱作自動分解方法。
[0050]首先，可以對與已設(shè)計的原理電路相對應(yīng)的無色布局進(jìn)行設(shè)計(S310)。例如，布局設(shè)計人員可以隨機地或者按照預(yù)定規(guī)則來設(shè)計與已設(shè)計的原理電路上的各個部件相對應(yīng)的多邊形。在此，不為已設(shè)計的無色布局應(yīng)用顏色。也就是說，使用沒有分散的單一掩模布局來設(shè)計無色布局。
[0051]接下來，錨定已設(shè)計的原理電路上的關(guān)鍵路徑(S320)。為了使用無色繪圖法來錨定關(guān)鍵路徑，可以對與已設(shè)計的原理電路上的關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的多邊形進(jìn)行預(yù)著色。在使用無色繪圖法的情況下，由于隨后執(zhí)行布置和定線，所以對與關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的多邊形進(jìn)行預(yù)著色，從而在剩余的多邊形之前預(yù)應(yīng)用與關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的多邊形的顏色。
[0052]接下來，可以對已設(shè)計的無色布局上的剩余的多邊形進(jìn)行著色(S330)?？梢允褂蒙鲜鯡DA工具自動地(或以軟件的方式)執(zhí)行剩余的多邊形的著色。可以隨機地或者按照預(yù)定算法來執(zhí)行剩余的多邊形的著色。在根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的另一個實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法中的布局設(shè)計步驟中，可以按照與圖3和圖4所示的關(guān)鍵路徑的錨定實質(zhì)上相同的方式來執(zhí)行關(guān)鍵路徑的錨定。
[0053]圖6A至圖6C示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的由于在雙重圖案化期間相鄰圖案的移位(或未對準(zhǔn))所引起的電容方面的改變。
[0054]參考圖6A至圖6C，第一圖案11和第二圖案12可以是使用不同掩模布局形成的相鄰圖案。例如，可以通過第一掩模布局形成第一圖案11，并且可以通過第二掩模布局形成第二圖案12。在雙重圖案化布局上，可以為與第一圖案11相對應(yīng)的多邊形和與第二圖案12相對應(yīng)的多邊形應(yīng)用不同的顏色。根據(jù)雙重圖案化方法，可以通過在單一層上相繼執(zhí)行平面印刷工藝來形成第一圖案11和第二圖案12?？梢酝ㄟ^對材料層或硅層進(jìn)行圖案化來形成第一圖案11和第二圖案12，但本發(fā)明構(gòu)思的各方面不限于此。
[0055]理想地，第二圖案12應(yīng)當(dāng)形成在由第二掩模布局所定義的位置處。然而，由于工藝偏差，第二圖案12會從由第二掩模布局所定義的位置移位。第二圖案12會在第一方向上(例如，圖6A至圖6C所示的左-右方向上)和/或在第二方向上(例如，圖6A至圖6C所示的上-下方向上)移位。第二圖案12的移位會改變第一圖案11與第二圖案12之間的寄生電容。
[0056]如圖6A所示，當(dāng)?shù)谝粓D案11與第二圖案12之間的距離如設(shè)計的那樣保持在距離d時，影響第一圖案11的寄生電容可以是Cl。另外，如圖6B所示，如果第二圖案12向左移位，使得第一圖案11與第二圖案12之間的距離減小至d- Λ X，則影響第一圖案11的寄生電容可以是C2。然而，如圖6C所示，當(dāng)?shù)诙D案12向右移位，使得第一圖案11與第二圖案12之間的距離增加至d+Λχ時，影響第一圖案11的寄生電容可以是C3。如上所述，在圖6Β的寄生電容C2的情況下，會在最差條件下改變影響第一圖案11的寄生電容，而在圖6C的寄生電容C3的情況下，會在最佳條件下改變影響第一圖案11的寄生電容。
[0057]與此同時，電容方面的變化會改變相應(yīng)電路的性能(例如，AC失配)。如上所述，當(dāng)為雙重圖案化布局上的相鄰圖案應(yīng)用不同的顏色時，會獨立地全局/局部表明電容方面的改變。具體而言，如果為雙重圖案化布局上的關(guān)鍵路徑應(yīng)用不同的顏色，則會產(chǎn)生相當(dāng)大的AC失配。
[0058]圖7A示出了在對于具有相同顏色的相鄰圖案產(chǎn)生工藝偏差的情況下的時滯模型，并且圖7B是示出了相鄰圖案的RC偏差的表格。在對于圖7A和圖7B的描述中，具有相同顏色的相鄰圖案21和22表示通過相同掩模布局圖案化的相鄰圖案21和22。
[0059]參考圖7A，具有相同顏色的相鄰圖案21和22通過工藝偏差在相同方向上移位。例如，如果圖案A21的電阻減小并且圖案A21的電容增大，則圖案B22的電阻也減小并且圖案B22的電容也增大。另外，如果圖案A21的電阻增大并且圖案A21的電容減小，則圖案B22的電阻也增大并且圖案B22的電容也減小。
[0060]圖7A示出的第一情況至第三情況(情況I至情況3)那樣，圖案A21和圖案B22兩者可以向左移位、可以如設(shè)計的那樣被定位、或者向右移位。然而，如圖7B所示的表格中列出的那樣，當(dāng)圖案A21的RC偏差在最佳條件下時，圖案B22的RC偏差也在最佳條件下；當(dāng)圖案A21的RC偏差在正常條件下時，圖案B22的RC偏差也在正常條件下；而當(dāng)圖案A21的RC偏差在最差條件下時，圖案B22的RC偏差也在最差條件下。也就是說，由于圖案A21和圖案B22的RC偏差根據(jù)相同的方向性而變化，所以即使產(chǎn)生有工藝偏差，相鄰圖案21和22的時滯也不會改變。
[0061]圖8A是出了在對于具有不同顏色的相鄰圖案產(chǎn)生工藝偏差的情況下的時滯模型，并且圖8B是示出了圖8A的相鄰圖案的RC偏差的表格。在對于圖8A和圖8B的描述中，具有不同顏色的相鄰圖案31和32表示通過不同掩模布局圖案化的相鄰圖案31和32。
[0062]參考圖8A，具有不同顏色的相鄰圖案31和32通過工藝偏差在獨立的方向上移位。例如，圖案A31和圖案B32可以在相同的方向上或者在不同的方向上移位?？商鎿Q地，圖案A31和圖案B32中可以僅有一個移位。在圖8A示出的第一情況(情況I)中，圖案A31向左移位，而圖案B32向右移位。在第二情況(情況2)中，圖案A31和圖案B32如設(shè)計的那樣被定位?？商鎿Q地，在第三情況(情況3)中，僅有圖案B32向右移位；或者在第四情況(情況4)中，僅有圖案B32向左移位。另外，如圖8B所示的表格中列出的那樣，由于圖案A31和圖案B32的RC偏差獨立地變化，當(dāng)圖案A31的RC偏差在最佳條件下并且圖案B32的RC偏差在最差條件下時，相鄰圖案31和32的時滯會大幅增加。
[0063]在根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一些實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法中的布局設(shè)計步驟中，為與關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的多邊形應(yīng)用相同的顏色，使得關(guān)鍵路徑的RC偏差根據(jù)相同的方向性而變化，從而減小了由于雙重圖案化所引起的失配。另外，在布局設(shè)計步驟中，使與關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的各多邊形的色比匹配，從而使關(guān)鍵路徑的RC偏差的方向性匹配，從而減小了由于雙重圖案化所引起的失配。
[0064]圖9示出了原理電路上的關(guān)鍵路徑，圖1OA示出了采用根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法的布局，并且圖1OB示出了采用根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的另一個實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法的布局。
[0065]參考圖9，原理電路40可以包括多個宏(或核心)塊41和42。第一路徑可以連接至第一宏塊41 (宏I)，第二路徑可以連接至第二宏塊42 (宏2)。例如，時鐘信號CK可以通過第一路徑輸入至第一宏塊41，并且數(shù)據(jù)信號Data可以通過第二路徑輸入至第二宏塊42。在下面的說明中，假定時鐘信號CK和數(shù)據(jù)信號Data的信號線為對于定時是關(guān)鍵的關(guān)鍵路徑CPl和CP2。
[0066]參考圖10A，當(dāng)采用根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法時，可以為第一路徑CPl的多邊形和第二路徑CP2的多邊形預(yù)應(yīng)用相同的顏色。
[0067]參考圖10B，當(dāng)采用根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的另一個實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法時，可以為第一路徑CPl的多邊形和第二路徑CP2的多邊形預(yù)應(yīng)用四種不同的顏色。為了使得第一路徑CPl與第二路徑CP2具有彼此類似的RC偏差，使第一路徑CPl的多邊形和第二路徑CP2的多邊形的色比匹配。
[0068]可以按照設(shè)計以下各種器件中的各種方式來應(yīng)用上述雙重圖案化布局設(shè)計方法:存儲器單元區(qū)域(例如，諸如SRAM、DRAM或閃存之類的存儲器件的存儲器單元區(qū)域)、包括耦接至存儲器單元區(qū)域的邏輯塊的IC器件、或者晶體管(例如，鰭型FET)。
[0069]圖11是可以利用根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一些實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法進(jìn)行設(shè)計的片上系統(tǒng)的框圖。
[0070]參考圖11，片上系統(tǒng)400包括核心器件(CORE) 410、存儲器件(MEM) 420、顯示控制器430、多媒體設(shè)備(MULTIMEDIA) 440、外圍設(shè)備(PERIPHERAL) 450、接口設(shè)備(INTERFACE) 460 和數(shù)據(jù)總線 470。
[0071 ] 核心器件(CORE) 410、存儲器件(MEM) 420、顯示控制器430、多媒體設(shè)備(MULTIMEDIA) 440、外圍設(shè)備(PERIPHERAL) 450 和接口設(shè)備(INTERFACE) 460 通過數(shù)據(jù)總線470彼此連接。數(shù)據(jù)總線470對應(yīng)于通過其傳送數(shù)據(jù)的路徑。
[0072]核心器件410包括單核心處理器或多核心(多核)處理器。例如，核心器件410可以包括諸如雙核處理器、四核處理器或六核處理器之類的多核處理器。
[0073]存儲器件420配置為存儲數(shù)據(jù)。存儲器件420通常包括一個或多個諸如雙數(shù)據(jù)速率靜態(tài)DRAM (DDR SDRAM)或單數(shù)據(jù)速率靜態(tài)DRAM (SDR SDRAM)之類的易失性存儲器，以及/或者一個或多個諸如電可擦除可編程ROM(EEPROM)或閃存之類的非易失性存儲器。
[0074]顯示控制器430控制顯示設(shè)備顯示圖片或圖像。多媒體設(shè)備440(包括2D/3D圖形引擎、圖像信號處理器(ISP)、編解碼器等)可以處理多媒體操作。外圍設(shè)備450可以包括串行通信設(shè)備、存儲器管理設(shè)備、音頻處理設(shè)備等。接口設(shè)備460將數(shù)據(jù)傳輸至通信網(wǎng)絡(luò)或者可以從通信網(wǎng)絡(luò)接收數(shù)據(jù)。
[0075]可以按照設(shè)計核心器件410、存儲器件420、顯示控制器430、多媒體設(shè)備440等中的各種方式來應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一些實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法?？商鎿Q地，也可以在設(shè)計整個片上系統(tǒng)400中應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一些實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法。
[0076]圖12是配置為實現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一些實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法計算機系統(tǒng)的框圖。
[0077]參考圖12，計算機系統(tǒng)1000包括中央處理單元(CPU) 1100、輸入/輸出設(shè)備(I/O) 1200、接口 1300、隨機存取存儲器(RAM) 1400、只讀存儲器(ROM) 1500、存儲裝置1600和數(shù)據(jù)總線1700。
[0078]CPUl 100、1/01200、接口 1300、RAM1400、ROMl500 和存儲裝置 1600 通過數(shù)據(jù)總線1700彼此連接。數(shù)據(jù)總線1700對應(yīng)于通過其傳送數(shù)據(jù)的路徑。
[0079]CPU1100 (包括控制器、操作裝置等)可以運行程序并處理數(shù)據(jù)。CPU1100通常包括安置在CPU1100內(nèi)部或外部的高速緩存存儲器。CPU1100可以運行這樣的程序，該程序至少執(zhí)行根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一些實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法的一些步驟。
[0080]1/01200可以包括一個或多個輸入設(shè)備(諸如鼠標(biāo)、鍵盤等)以輸入數(shù)據(jù)，以及一個或多個輸出設(shè)備(諸如監(jiān)視器、揚聲器、打印機等)以輸出數(shù)據(jù)。接口 1300可以將數(shù)據(jù)傳輸至通信網(wǎng)絡(luò)或者可以從通信網(wǎng)絡(luò)接收數(shù)據(jù)?？梢园凑沼芯€/無線的方式配置接口1300。例如，接口 1300可以是天線或者有線/無線收發(fā)器。RAM1400和R0M1500可以向/從CPU1100收發(fā)數(shù)據(jù)并且可以存儲數(shù)據(jù)和/或運行程序所需的指令。
[0081]存儲裝置1600(包括諸如軟盤、硬盤、⑶-ROM或DVD之類的非易失性存儲器)可以存儲數(shù)據(jù)和/或指令。可以在存儲裝置1600中存儲至少運行根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一些實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法的一些步驟的程序。
[0082]結(jié)合本文公開的各實施例所描述的雙重圖案化布局設(shè)計方法的步驟可以以硬件直接實現(xiàn)、以由處理器運行的軟件模塊實現(xiàn)、或者以這兩者的結(jié)合來實現(xiàn)。軟件模塊可以駐留在RAM存儲器、閃存、ROM存儲器、EPROM存儲器、EEPROM存儲器、寄存器、硬盤、可移動磁盤、CD-ROM或相關(guān)領(lǐng)域已知的計算機可讀存儲介質(zhì)的任何其他形式中。
[0083]在根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一些實施例的雙重圖案化布局設(shè)計方法中，可以通過集成的軟件模塊或者通過不同的軟件模塊來實現(xiàn)電路設(shè)計步驟和布局設(shè)計步驟。電路設(shè)計模塊可以通過電路設(shè)計人員接收關(guān)于關(guān)鍵路徑的信息，或者可以按照預(yù)定算法在原理電路上定義關(guān)鍵路徑。布局設(shè)計模塊可以按照數(shù)據(jù)的形式接收關(guān)于已定義的原理電路和關(guān)鍵路徑的信息，并且可以按照數(shù)據(jù)的形式輸出已設(shè)計的雙重圖案化布局。布局設(shè)計模塊可以錨定關(guān)鍵路徑，或者可以對無色布局執(zhí)行著色。另外，在布局設(shè)計步驟中，可以使用分離的軟件模塊來實現(xiàn)關(guān)鍵路徑的錨定，從而輸出有色布局的部分完成的數(shù)據(jù)或者無色布局的部分著色的數(shù)據(jù)。
[0084]上述內(nèi)容是實施例的示例說明而不應(yīng)當(dāng)解釋為限定于此。雖然已經(jīng)描述了一些實施例，但本領(lǐng)域技術(shù)人員將容易地認(rèn)識到，在不背離由所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明構(gòu)思的范圍的情況下，對于實施例的多種改變是可能的。
【權(quán)利要求】
1.一種雙重圖案化布局設(shè)計方法，包括步驟: 在原理電路上定義關(guān)鍵路徑，所述關(guān)鍵路徑包括第一路徑和第二路徑；以及 定義雙重圖案化布局，所述雙重圖案化布局被劃分成具有第一顏色的第一掩模布局和具有第二顏色的第二掩模布局，所述雙重圖案化布局與所述原理電路相對應(yīng)， 其中，定義所述雙重圖案化布局的步驟包括在所述原理電路上錨定所述關(guān)鍵路徑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙重圖案化布局設(shè)計方法，其中，定義所述關(guān)鍵路徑的步驟包括在所述原理電路上將對于定時是關(guān)鍵的第一信號線和第二信號線分別定義為所述第一路徑和所述第二路徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙重圖案化布局設(shè)計方法，其中，在所述原理電路上錨定所述關(guān)鍵路徑的步驟包括通過預(yù)定義與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的有色多邊形布局來錨定所述關(guān)鍵路徑。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙重圖案化布局設(shè)計方法，其中，預(yù)定義與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的有色多邊形布局的步驟包括為與所述第一路徑相對應(yīng)的第一多邊形和與所述第二路徑相對應(yīng)的第二多邊形應(yīng)用單一顏色。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙重圖案化布局設(shè)計方法，其中，預(yù)定義與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的有色多邊形布局的步驟包括為與所述第一路徑相對應(yīng)的第一多邊形和與所述第二路徑相對應(yīng)的第二多邊形應(yīng)用多個顏色，并且使所述第一多邊形和所述第二多邊形的色比匹配。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙重圖案化布局設(shè)計方法，其中，定義所述雙重圖案化布局的步驟還包括定義與所述原理電路相對應(yīng)的無色布局，其中，在所述原理電路上錨定所述關(guān)鍵路徑的步驟包括通過在所述無色布局上對與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的多邊形進(jìn)行預(yù)著色來錨定所述關(guān)鍵路徑。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的雙重圖案化布局設(shè)計方法，其中，對與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的多邊形進(jìn)行預(yù)著色的步驟包括為與所述第一路徑相對應(yīng)的第一多邊形和與所述第二路徑相對應(yīng)的第二多邊形應(yīng)用單一顏色。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的雙重圖案化布局設(shè)計方法，其中，對與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的多邊形進(jìn)行預(yù)著色的步驟包括為與所述第一路徑相對應(yīng)的第一多邊形和與所述第二路徑相對應(yīng)的第二多邊形應(yīng)用多個顏色，并且使所述第一多邊形和所述第二多邊形的色比匹配。
9.一種雙重圖案化布局設(shè)計方法，包括步驟: 接收關(guān)于已定義的原理電路和在所述原理電路上定義的關(guān)鍵路徑的信息； 定義雙重圖案化布局，所述雙重圖案化布局被劃分成具有第一顏色的第一掩模布局和具有第二顏色的第二掩模布局，所述雙重圖案化布局與所述原理電路相對應(yīng)；以及 輸出已定義的雙重圖案化布局， 其中，定義所述雙重圖案化布局的步驟包括在所述原理電路上錨定所述關(guān)鍵路徑。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的雙重圖案化布局設(shè)計方法，其中，在所述原理電路上錨定所述關(guān)鍵路徑的步驟包括通過預(yù)定義與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的有色多邊形布局來錨定所述關(guān)鍵路徑。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的雙重圖案化布局設(shè)計方法，其中，預(yù)定義與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的有色多邊形布局的步驟包括為與所述第一路徑相對應(yīng)的第一多邊形和與所述第二路徑相對應(yīng)的第二多邊形應(yīng)用單一顏色。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的雙重圖案化布局設(shè)計方法，其中，預(yù)定義與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的有色多邊形布局的步驟包括為與所述第一路徑相對應(yīng)的第一多邊形和與所述第二路徑相對應(yīng)的第二多邊形應(yīng)用多個顏色，并且使所述第一多邊形和所述第二多邊形的色比匹配。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的雙重圖案化布局設(shè)計方法，其中，定義所述雙重圖案化布局的步驟還包括定義與所述原理電路相對應(yīng)的無色布局，其中，在所述原理電路上錨定所述關(guān)鍵路徑的步驟包括通過在所述無色布局上對與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的多邊形進(jìn)行預(yù)著色來錨定所述關(guān)鍵路徑。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的雙重圖案化布局設(shè)計方法，其中，對與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的多邊形進(jìn)行預(yù)著色的步驟包括為與所述第一路徑相對應(yīng)的第一多邊形和與所述第二路徑相對應(yīng)的第二多邊形應(yīng)用單一顏色。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的雙重圖案化布局設(shè)計方法，其中，對與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的多邊形進(jìn)行預(yù)著色的步驟包括為與所述第一路徑相對應(yīng)的第一多邊形和與所述第二路徑相對應(yīng)的第二多邊形應(yīng)用多個顏色，并且使所述第一多邊形和所述第二多邊形的色比匹配。
16.一種配置為用于設(shè)計雙重圖案化布局的系統(tǒng)，其包括: 處理器，其配置為在原理電路上對包括第一路徑和第二路徑的關(guān)鍵路徑進(jìn)行定義，并且對雙重圖案化布局進(jìn)行定義，所述雙重圖案化布局被劃分成具有第一顏色的第一掩模布局和具有第二顏色的第二掩模布局，所述雙重圖案化布局與所述原理電路相對應(yīng)， 其中，對所述雙重圖案化布局進(jìn)行定義包括在所述原理電路上對所述關(guān)鍵路徑進(jìn)行錨定。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中，對所述關(guān)鍵路徑進(jìn)行定義包括在所述原理電路上將對于定時是關(guān)鍵的第一信號線和第二信號線分別定義為所述第一路徑和所述第二路徑。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中，在所述原理電路上對所述關(guān)鍵路徑進(jìn)行錨定包括通過對與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的有色多邊形布局進(jìn)行預(yù)定義來錨定所述關(guān)鍵路徑。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中，對與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的有色多邊形布局進(jìn)行預(yù)定義包括為與所述第一路徑相對應(yīng)的第一多邊形和與所述第二路徑相對應(yīng)的第二多邊形應(yīng)用單一顏色。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中，對與所述關(guān)鍵路徑相對應(yīng)的有色多邊形布局進(jìn)行預(yù)定義包括為與所述第一路徑相對應(yīng)的第一多邊形和與所述第二路徑相對應(yīng)的第二多邊形應(yīng)用多個顏色，并且使所述第一多邊形和所述第二多邊形的色比匹配。
【文檔編號】G06F17/50GK104239596SQ201410286292
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年6月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月24日
【發(fā)明者】宋泰中, 樸在浩, 鄭光鈺 申請人:三星電子株式會社