觸摸傳感器集成式顯示裝置及其制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及觸摸傳感器集成式顯示裝置及其制造方法。所述觸摸傳感器集成式顯示裝置包括：多個選通線；與多個選通線交叉的多個數(shù)據(jù)線；多個像素電極，它們形成在由多個選通線和多個數(shù)據(jù)線的交叉所限定的區(qū)域中；多個第一電極，它們形成在其間具有選通線的彼此相鄰的多個像素電極之間；多個第二電極，多個第二電極中的每一個與像素電極的至少一部分交疊地形成，并且設(shè)置為與選通線平行，其中，多個第一電極和多個第二電極中的一方用作用于驅(qū)動觸摸傳感器集成式顯示裝置的公共電極。
【專利說明】觸摸傳感器集成式顯示裝置及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本公開涉及一種觸摸傳感器集成式顯示裝置及其制造方法，該觸摸傳感器集成式顯示裝置能夠感知對該顯示裝置的觸摸。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，使用諸如鍵盤、鼠標、操縱桿、數(shù)字轉(zhuǎn)換器(digitizer)的各種輸入設(shè)備被用于在用戶和家用電器或者信息通信裝置之間構(gòu)建接口。然而，當用戶使用這些輸入設(shè)備時，因為用戶需要知道如何使用輸入設(shè)備并且輸入設(shè)備占據(jù)空間，所以用戶的不滿意增加。因此，需要可以減小誤操作的方便且簡單的輸入設(shè)備。根據(jù)需求，提出了一種可以通過利用用戶的手指或者筆直接接觸屏幕而輸入信息的觸摸傳感器。
[0003]觸摸傳感器具有能夠減小誤操作的簡單構(gòu)造。用戶還可以不使用單獨的輸入設(shè)備就能執(zhí)行輸入動作，并且可以通過屏幕上顯示的內(nèi)容快速且容易地操縱裝置。因此，觸摸傳感器已經(jīng)被應用于各種顯示裝置。
[0004]可以將顯示裝置中使用的觸摸傳感器分成add-on型傳感器和on-cell型傳感器。add-on型傳感器是這樣配置的，即顯示裝置和add-on型傳感器單獨制造，然后將add-on型傳感器附接到顯示裝置的上基板。on-cell型傳感器是這樣構(gòu)造的，即構(gòu)成on-cell型傳感器的部件直接形成在顯示裝置的上玻璃基板的表面上。
[0005]因為add-on型傳感器具有add-on型傳感器安裝在顯示裝置上的結(jié)構(gòu)，所以存在使顯示裝置的厚度增加的問題。此外，因為顯示裝置的亮度由于增加的厚度而降低，所以顯示裝置的能見度降低。
[0006]另一方面，因為on-cell型傳感器具有on-cell型傳感器形成在顯示裝置的玻璃基板的表面上的結(jié)構(gòu)，所以on-cell型傳感器與顯示裝置共享玻璃基板。因此，使用on-cell型傳感器的顯示裝置的厚度小于使用add-on型傳感器的顯示裝置的厚度。然而，因為構(gòu)成on-cell型傳感器的觸摸驅(qū)動電極層、觸摸感測電極層、以及用于使觸摸驅(qū)動電極層和觸摸感測電極層絕緣的絕緣層，所以使用on-cell型傳感器的顯示裝置的整體厚度增加。此外，on-cell型傳感器的工藝次數(shù)和制造成本增加。
[0007]因此，需要一種能夠解決上述各種觸摸傳感器問題的觸摸傳感器集成式顯示裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本公開的實施方式提供一種能夠通過與顯示裝置的部件共享用于識別觸摸操作的觸摸感測元件來減小厚度和簡化制造工藝的觸摸傳感器集成式顯示裝置及其制造方法。
[0009]本公開的實施方式還提供一種通過增加觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極之間的互電容來提高觸摸靈敏度的觸摸傳感器集成式顯示裝置及其制造方法。
[0010]在一個方面中，一種觸摸傳感器集成式顯示裝置，該觸摸傳感器集成式顯示裝置包括:多個選通線；與所述多個選通線交叉的多個數(shù)據(jù)線；多個像素電極，所述多個像素電極形成在由所述多個選通線和所述多個數(shù)據(jù)線的交叉所限定的區(qū)域中；多個第一電極，所述多個第一電極形成在其間具有選通線的彼此相鄰的像素電極之間；多個第二電極，所述多個第二電極中的每一個被形成為與所述像素電極的至少一部分交疊，并且被設(shè)置為與所述選通線平行，其中，所述多個第一電極和所述多個第二電極中的一方用作用于驅(qū)動所述觸摸傳感器集成式顯示裝置的公共電極。
[0011]在所述觸摸傳感器集成式顯示裝置中，所述多個第一電極是觸摸感測電極，并且所述多個第二電極是用作公共電極的觸摸驅(qū)動電極。
[0012]在所述觸摸傳感器集成式顯示裝置，所述多個第一電極是觸摸驅(qū)動電極，并且所述多個第二電極是用作公共電極的觸摸感測電極。
[0013]所述觸摸傳感器集成式顯示裝置還包括至少一個第一電極降阻線，所述至少一個第一電極降阻線形成在所述多個第一電極中的每一個電極上，從而降低所述第一電極的電阻。
[0014]所述觸摸傳感器集成式顯示裝置還包括:柵絕緣層，所述柵絕緣層位于所述多個選通線與所述多個數(shù)據(jù)線之間以覆蓋所述選通線；多個薄膜晶體管，所述多個薄膜晶體管形成在由所述多個選通線和所述多個數(shù)據(jù)線的交叉所限定的像素區(qū)域中；第一鈍化層，所述第一鈍化層覆蓋形成有所述多個薄膜晶體管的所述柵絕緣層；第二鈍化層，所述第二鈍化層覆蓋所述多個第一電極，所述多個第一電極在所述第一鈍化層上形成為與所述多個數(shù)據(jù)線平行，并且形成在其間具有選通線的彼此相鄰的至少兩個像素區(qū)域中；以及多個像素電極，所述多個像素電極分別形成在所述第二鈍化層上并在所述像素區(qū)域中，所述多個像素電極中的每一個與所述第一電極的所述至少一部分交疊；并且其中，所述多個第二電極形成在所述第二鈍化層上并在其間具有所述選通線的彼此相鄰的所述像素電極之間，并且形成為與所述選通線平行，并且其中，所述多個第一電極和所述多個第二電極中的一方用作用于驅(qū)動所述觸摸傳感器集成式顯示裝置的公共電極。
[0015]在所述觸摸傳感器集成式顯示裝置中，所述多個第一電極是用作公共電極的觸摸驅(qū)動電極，并且所述多個第二電極是觸摸感測電極。
[0016]在所述觸摸傳感器集成式顯示裝置中，所述多個第一電極是用作公共電極的觸摸感測電極，并且所述多個第二電極是觸摸驅(qū)動電極。
[0017]所述觸摸傳感器集成式顯示裝置還包括至少一個第二電極降阻線，所述至少一個第二電極降阻線形成在所述多個第二電極中的每一個電極上，從而降低所述第二電極的電阻。
[0018]所述觸摸傳感器集成式顯示裝置還包括:柵絕緣層，所述柵絕緣層位于所述多個數(shù)據(jù)線之間以覆蓋所述多個選通線；多個薄膜晶體管，所述多個薄膜晶體管分別形成在由所述多個選通線和所述多個數(shù)據(jù)線的交叉所限定的像素區(qū)域中；第一鈍化層，所述第一鈍化層覆蓋形成有所述多個薄膜晶體管的所述柵絕緣層；多個像素電極，所述多個像素電極分別形成在所述第一鈍化層上并在所述像素區(qū)域中；第二鈍化層，所述第二鈍化層覆蓋所述多個第一電極，所述多個第一電極在所述第一鈍化層上形成為與所述多個數(shù)據(jù)線平行，并且形成在其間具有選通線的彼此相鄰的所述像素電極之間，其中，所述多個第二電極形成在所述第二鈍化層上并在其間具有選通線的至少兩個像素區(qū)域中，各個第二電極的一部分與所述像素電極交疊以與所述數(shù)據(jù)線平行，并且其中，所述多個第一電極和所述多個第二電極中的一方用作用于驅(qū)動所述觸摸傳感器集成式顯示裝置的公共電極。
[0019]在所述觸摸傳感器集成式顯示裝置中，所述多個第一電極是觸摸感測電極，并且所述多個第二電極是用作公共電極的觸摸驅(qū)動電極。
[0020]在所述觸摸傳感器集成式顯示裝置中，所述多個第一電極是觸摸驅(qū)動電極，并且所述多個第二電極是用作公共電極的觸摸感測電極。
[0021]所述觸摸傳感器集成式顯示裝置還包括至少一個第一電極降阻線，所述至少一個第一電極降阻線形成在所述多個第一電極中的每一個電極上，從而降低所述第一電極的電阻。
[0022]在另一個方面，一種制造觸摸傳感器集成式顯示裝置的方法，該方法包括以下步驟:在基板上沉積第一導電層，并接著利用第一掩模工藝形成多個選通線和柵極；在形成有所述選通線和所述柵極的所述基板上順序地形成柵絕緣層和半導體層，并接著利用第二掩模工藝通過對所述半導體層構(gòu)圖來與所述柵極相對地形成半導體圖案；在形成有所述半導體圖案的所述柵絕緣層上形成第二導電層，并接著利用第三掩模工藝通過對所述第二導電層構(gòu)圖來形成第一導電圖案組，所述第一導電圖案組包括彼此平行的多個數(shù)據(jù)線、從所述數(shù)據(jù)線延伸的源極和與所述源極相對的漏極；在形成有所述第一導電圖案組的所述柵絕緣層上順序地形成第一鈍化層和第三導電層，并接著利用第四掩模工藝對所述第三導電層構(gòu)圖來形成多個第一電極；在形成有所述多個第一電極的所述第一鈍化層上沉積第四導電層，并接著利用第五掩模工藝通過對所述第四導電層構(gòu)圖來形成連接到所述多個第一電極中的每一個的至少一個第一電極降阻線；在形成有所述多個第一電極和所述第一電極降阻線的所述第一鈍化層上形成第二鈍化層，并接著利用第六掩模工藝通過對所述第一鈍化層和所述第二鈍化層構(gòu)圖來形成露出各個漏極的一部分的接觸孔；在具有所述接觸孔的所述第二鈍化層上沉積第五導電層，并接著利用第七掩模工藝通過對所述第五導電層構(gòu)圖來形成與所述選通線平行的第二電極降阻線；以及在形成有所述第二電極降阻線的所述第二鈍化層上沉積第六導電層，并接著利用第八掩模工藝通過對所述第六導電層構(gòu)圖來形成多個像素電極和多個第二電極，其中，所述多個第一電極和所述多個第二電極中的一方用作用于驅(qū)動所述觸摸傳感器集成式顯示裝置的公共電極。
[0023]在所述方法中，所述第一電極與所述數(shù)據(jù)線平行地形成，并且形成在其間具有所述選通線的至少兩個像素區(qū)域中，所述像素區(qū)域由所述選通線和所述數(shù)據(jù)線的交叉限定并且其間具有所述選通線，所述多個第一電極降阻線分別與所述多個第一電極交疊，從而降低所述第一電極的電阻；所述多個像素電極形成在所述像素區(qū)域中；所述多個電極彼此平行地形成在所述第二鈍化層上并在其間具有所述選通線的彼此相鄰的所述像素電極之間，并且所述至少一個第二電極降阻線形成在所述多個第二電極的每一個電極上，從而降低所述第二電極的電阻。
[0024]在另一個方面，一種制造觸摸傳感器集成式顯示裝置的方法，該方法包括以下步驟:在基板上沉積第一導電層，并接著利用第一掩模工藝形成多個選通線和柵極；在形成有所述選通線和所述柵極的所述基板上順序地形成柵絕緣層和半導體層，并接著利用第二掩模工藝通過對所述半導體層構(gòu)圖來與所述柵極相對地形成半導體圖案；在形成有所述半導體圖案的所述柵絕緣層上形成第二導電層，并接著利用第三掩模工藝通過對所述第二導電層構(gòu)圖來形成第一導電圖案組，所述第一導電圖案組包括彼此平行的多個數(shù)據(jù)線、從所述數(shù)據(jù)線延伸的源極和與所述源極相對的漏極；在形成有所述第一導電圖案組的所述柵絕緣層上形成第一鈍化層，并接著利用第四掩模工藝通過對所述第一鈍化層蝕刻來形成露出各個漏極的一部分的多個接觸孔；在具有所述接觸孔的所述第一鈍化層上沉積第三導電層，并接著利用第五掩模工藝通過對所述第三導電層構(gòu)圖來形成多個第一電極和連接到通過所述接觸孔露出的所述漏極的多個像素電極；在形成有所述多個第一電極和所述多個像素電極的所述第一鈍化層上形成第四導電層，并接著利用第六掩模工藝通過對所述第四導電層構(gòu)圖來形成至少一個第一電極降阻線，所述至少一個第一電極降阻線形成在所述多個第一電極中的每一個電極上以降低所述第一電極的電阻；在形成有所述多個第一電極和所述第一電極降阻線的所述第一鈍化層上順序地形成第二鈍化層和第五導電層，并接著利用第七掩模工藝通過對所述第五導電層構(gòu)圖來形成與所述數(shù)據(jù)線平行的至少一個第二電極降阻線；以及在形成有所述第二電極降阻線的所述第二鈍化層上沉積第六導電層，并接著利用第八掩模工藝通過對所述第六導電層構(gòu)圖來形成多個第二電極，所述多個第二電極中的每一個連接到所述至少一個第二電極降阻線，其中，所述多個第一電極和所述多個第二電極中的一方用作用于驅(qū)動所述觸摸傳感器集成式顯示裝置的公共電極。
[0025]在所述方法中，所述多個像素電極形成在由所述多個選通線和所述多個數(shù)據(jù)線的交叉所限定的區(qū)域中，所述第一電極與所述選通線平行地形成在其間具有所述選通線的彼此相鄰的多個像素電極之間，所述至少一個電極降阻線形成為與所述多個第一電極中的每一個電極交疊，從而降低所述第一電極的電阻，所述第二電極形成在其間具有所述選通線的至少兩個像素區(qū)域中，使得所述第二電極的至少一部分與所述像素電極交疊，并且所述第二電極與所述數(shù)據(jù)線平行，并且所述至少一個第二電極降阻線形成為與所述多個第二電極中的每一個電極交疊，從而降低所述第二電極的電子。
[0026]根據(jù)觸摸傳感器集成式顯示裝置及其制造方法，因為用于驅(qū)動顯示裝置的公共電極可以用作觸摸感測電極(或觸摸驅(qū)動電極)，所以可以去除形成單獨的觸摸感測電極(或觸摸驅(qū)動電極)的工藝，從而使顯示裝置的厚度減少觸摸感測電極的厚度。
[0027]此外，一個觸摸感測電極(或觸摸驅(qū)動電極)和一個像素電極可以形成為一對一，或者一對η (其中，η是2或更大的自然數(shù))。另外，可以使用感測和驅(qū)動電極降阻線來容易對將觸摸感測和驅(qū)動電極分組。因此，可以根據(jù)需要容易地調(diào)整觸摸識別塊的大小，并且因為觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極的數(shù)量增加,所以通過增加觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極之間的互電容來提高觸摸靈敏度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]實施方式的教導可以通過結(jié)合附圖考慮下面的詳細描述而被容易地理解。
[0029]圖1是示意性示出根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的框圖；
[0030]圖2是示意性示出圖1中示出的顯示裝置的局部分解透視圖；
[0031]圖3是示意性示出根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極之間的關(guān)系的框圖；
[0032]圖4Α是示出根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的一部分的頂部平面圖；[0033]圖4B是沿圖4A中示出的線1_1’和獲取的截面圖；
[0034]圖5A是示出用于制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第一掩模工藝的頂部平面圖；
[0035]圖5B是沿圖5A中示出的線1_1’和11-11’獲取的截面圖。
[0036]圖6A是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第二掩模工藝的頂部平面圖；
[0037]圖6B是沿圖6A中示出的線1_1’和獲取的截面圖；
[0038]圖7A是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第三掩模工藝的頂部平面圖；
[0039]圖7B是沿圖7A中示出的線1_1’和11_11’獲取的截面圖；
[0040]圖8A是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第四掩模工藝的頂部平面圖；
[0041]圖8B是沿圖8A中示出的線1-1’和獲取的截面圖；
[0042]圖9A是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第五掩模工藝的頂部平面圖；
[0043]圖9B是沿圖9A中示出的線1_1’和獲取的截面圖；
[0044]圖1OA是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第六掩模工藝的頂部平面圖；
[0045]圖1OB是沿圖1OA中示出的線1_1’和11-11’獲取的截面圖；
[0046]圖1lA是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第七掩模工藝的頂部平面圖；
[0047]圖1lB是沿圖1lA中示出的線1_1’和11_11’獲取的截面圖；
[0048]圖12A是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第八掩模工藝的頂部平面圖；
[0049]圖12B是沿圖12A中示出的線1_1’和I1-1I’獲取的截面圖；
[0050]圖13A是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第九掩模工藝的頂部平面圖；
[0051]圖13B是沿圖13A中示出的線1_1’和11_11’獲取的截面圖；
[0052]圖14是示意性示出根據(jù)本公開的另一實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的框圖；
[0053]圖15是示意性示出根據(jù)本公開的另一實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極之間的關(guān)系的框圖；
[0054]圖16A是示出用于制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第一掩模工藝的頂部平面圖；
[0055]圖16B是沿圖16A中示出的線1_1’和I1-1I’獲取的截面圖；
[0056]圖17A是示出用于制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第一掩模工藝的頂部平面圖；
[0057]圖17B是沿圖17A中示出的線1_1’和I1-1I’獲取的截面圖；
[0058]圖18A是示出制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第二掩模工藝的頂部平面圖；
[0059]圖18B是沿圖18A中示出的線1_1’和I1-1I’獲取的截面圖；
[0060]圖19A是示出制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第三掩模工藝的頂部平面圖；
[0061]圖19B是沿圖19A中示出的線1_1’和11_11’獲取的截面圖；
[0062]圖20A是示出制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第四掩模工藝的頂部平面圖；
[0063]圖20B是沿圖20A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖；
[0064]圖21A是示出制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第五掩模工藝的頂部平面圖；
[0065]圖21B是沿圖21A中示出的線1_1’和11-11’獲取的截面圖；
[0066]圖22A是示出制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第六掩模工藝的頂部平面圖；
[0067]圖22B是沿圖22A中示出的線1_1’和I1-1I’獲取的截面圖；
[0068]圖23A是示出制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第七掩模工藝的頂部平面圖；
[0069]圖23B是沿圖23A中示出的線1_1’和11-11’獲取的截面圖；
[0070]圖24A是示出制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第八掩模工藝的頂部平面圖；
[0071]圖24B是沿圖24A中示出的線1_1’和11-11’獲取的截面圖。
【具體實施方式】
[0072]下面，將參照附圖詳細描述本公開的示例性實施方式，其中，在說明書和附圖中，相同的標號可以始終用于表示相同或者基本相同的元件。
[0073]參照圖1至圖3詳細描述根據(jù)本公開的一個實施方式的傳感器集成式顯示裝置。圖1是示意性示出根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的框圖，圖2是示意性示出圖1中示出的顯示裝置的局部分解透視圖，并且圖3是示意性示出根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極之間的關(guān)系的框圖。
[0074]在下面的描述中，使用觸摸傳感器集成式液晶顯示裝置作為觸摸傳感器集成式顯示裝置的示例。
[0075]參照圖1和圖2，根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式液晶顯示器包括液晶顯示面板LCP、主控制器10、定時控制器11、數(shù)據(jù)驅(qū)動器12、選通驅(qū)動器13、電源單元15和觸摸識別處理器17。
[0076]液晶顯示面板LCP包括濾色器陣列CFA和薄膜晶體管(TFT)陣列TFTA，在CFA和TFTA之間設(shè)置有液晶層。
[0077]TFT陣列TFTA包括:多個選通線G1、G2、G3…Gm-1和Gm，它們在第一基板SUBl上沿第一方向(例如，X軸方向)彼此平行地形成；多個數(shù)據(jù)線D1、D2、D3…Dn-1和Dn，它們沿第二方向(例如，I軸方向)彼此平行地形成以與多個選通線Gl、G2、G3…Gm-1和Gm交叉；分別形成在多個選通線Gl、G2、G3…Gm-1和Gm與數(shù)據(jù)線Dl、D2、D3…Dn-1和Dn的交叉處的TFT ;用于在液晶單元中充入數(shù)據(jù)電壓的多個像素電極Px ;以及與多個像素電極Px相對地設(shè)置的多個公共電極COM。
[0078]濾色器陣列CFA包括形成在第二基板SUB2上的黑底和濾色器。偏振板POLl和P0L2分別附接到液晶顯示面板LCP的第一基板SUBl和第二基板SUB2的外表面。用于設(shè)置液晶的預傾角的配向?qū)?未示出)分別形成在與液晶相接觸的第一基板SUBl和第二基板SUB2的內(nèi)表面上。列間隔體可以形成在第一基板SUBl與第二基板SUB2之間，以保持液晶單元的單元間隙。
[0079]背光單元(未示出)設(shè)置在TFT陣列TFTA的下面。背光單元包括多個光源以將光均勻地照射到TFT陣列TFTA和濾色器陣列CFA上。背光單元可以被實現(xiàn)為側(cè)光式背光單元和直下式背光單元。背光單元的光源可以包括熱陰極熒光燈(HCFL)、冷陰極熒光燈(CCFL)、外部電極熒光燈(EEFL)和發(fā)光二極管(LED)中的一個或至少兩個。
[0080]公共電極COM按照諸如扭曲向列(TN)模式和垂直對準(VA)模式的垂直電場驅(qū)動方式形成在第二基板SUB2上。此外，公共電極COM按照諸如共平面開關(guān)(IPS)模式和邊緣場開關(guān)(FFS)模式的水平電場驅(qū)動方式與像素電極Px形成在第一基板SUBl上。在本公開中，以水平電場驅(qū)動方式的公共電極COM為例進行描述。
[0081]圖3是示意性示出根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極(用作公共電極)之間的關(guān)系的頂部平面圖。
[0082]參照圖3，根據(jù)本公開的一個實施方式的公共電極COM是在第一方向(例如，X軸方向)上被分開但在與第一方向交叉的第二方向(例如，y軸方向)上彼此連接的多個電極。構(gòu)成公共電極COM的多個電極用作多個觸摸驅(qū)動電極Txll、Tx21、Tx31、…Τχ81以及Τχ12、Τχ22λΤχ32λ …Τχ82。
·[0083]在多個觸摸驅(qū)動電極Txll、Τχ21、Τχ31、…Τχ81 以及 Τχ12、Τχ22、Τχ32、...Τχ82中，在第二方向上布置的第一觸摸驅(qū)動電極Tx11、Tx21、Τχ31、…Τχ81通過至少一個連接部分彼此連接。然后，第一降阻線TxWl、Txff2和TxW3形成在第一觸摸驅(qū)動電極Txll、Tx21、Τχ31、…Τχ81上以降低其電阻。在第二方向布置的第二觸摸驅(qū)動電極Txl2、Tx22、Tx32、...和 Τχ82通過至少一個連接部分彼此連接。然后，第二降阻線TxW4、Txff5和TxW6形成在第二觸摸驅(qū)動電極Txl2、Tx22、Tx32、…和Τχ82上以降低其電阻。第一降阻線TxWl至TxW3和第二降阻線TxW4至TxW6分別經(jīng)由第一布線TLl和第二布線TL2連接到電源單元15。
[0084]圖3中示出的實施方式示出了用兩個觸摸驅(qū)動線構(gòu)成觸摸驅(qū)動電極的示例。即，圖3的實施方式示出這樣的示例，其中，一個觸摸驅(qū)動線由第一觸摸驅(qū)動電極Txll、Tx21、Τχ31、…和Τχ81以及第一降阻線TxWl、Txff2和TxW3構(gòu)成，并且另一觸摸驅(qū)動線由第二觸摸驅(qū)動電極Txl2、Τχ22、Τχ32、…和Τχ82以及第二降阻線TxW4至TxW6構(gòu)成。
[0085]在觸摸操作中，從電源單元15向第一觸摸驅(qū)動電極Txll、Tx21、Tx31、…和Τχ81以及第二觸摸驅(qū)動電極Τχ12、Τχ22、Τχ32、…和Τχ82提供觸摸驅(qū)動電壓Ttsp。然后，在顯示操作中，從電源單元15向第一觸摸驅(qū)動電極Txll、Tx21、Tx31、…和Τχ81以及第二觸摸驅(qū)動電極Τχ12、Τχ22、Τχ32、…和Τχ82提供公共電壓Vcom。
[0086]在圖3示出的實施方式中，使用三個第一降阻線TxWl、TxW2和TxW3構(gòu)成第一觸摸驅(qū)動線，并且使用三個第二降阻線TxW4、Txff5和TxW6構(gòu)成第二觸摸驅(qū)動線。然而，本公開不限于此。例如，可以使用一個或兩個降阻線來構(gòu)成第一觸摸驅(qū)動線和第二觸摸驅(qū)動線中的每一個。或者，可以使用四個或者更多個降阻線以構(gòu)成第一觸摸驅(qū)動線和第二觸摸驅(qū)動線中的每一個。
[0087]另一方面，構(gòu)成根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器的觸摸感測電極Rxl至Rx8沿第一方向(例如，X軸方向)布置以在第一觸摸驅(qū)動電極和第二觸摸驅(qū)動電極Tx11、Txl2 和 Τχ21、Τχ22 ;Τχ21、Τχ22 和 Τχ31、Τχ32 ;Τχ31、Τχ32 和 Τχ41、Τχ42 ;Τχ41、Τχ42 和Τχ51、Τχ52 ;Τχ51、Τχ52 和 Τχ61、Τχ62 ;Τχ61、Τχ62 和 Τχ71、Τχ72 ;以及 Τχ71、Τχ72 和 Τχ81、Τχ82之間與第一降阻線TxWl至TxW3和第二降阻線TxW4至TxW6交叉。其它降阻線RxWl、RxW2...和Rxff8分別形成在觸摸感測電極Rxl至Rx8上。另外，觸摸感測電極Rxl至Rx8彼此分開，但可以通過降阻線RxWl至RxWS而分組。例如，第一觸摸感測電極Rxl至第四觸摸感測電極Rx4通過第三降阻線RxWl至第六降阻線RxW4分組，并且第五觸摸感測電極Rx5至第八觸摸感測電極RxS通過第七降阻線RxW5至第十降阻線RxWS被分組。因此，第一觸摸感測電極Rxl至第八觸摸感測電極RxS通過第三降阻線RxWl至第十降阻線RxWS分組，以形成包括第一觸摸感測線Rxl至Rx4和RxWl至RxW4以及第二觸摸感測線Rx5至Rx8和RxW5至RxW8的兩個觸摸感測線。第一觸摸感測線Rxl至Rx4和RxWl至RxW4經(jīng)由第一布線RLl連接到觸摸識別處理器17，并且第二觸摸感測線Rx5至Rx8和RxW5至RxW8經(jīng)由第二布線RL2連接到觸摸識別處理器17。
[0088]每當進行了觸摸時，觸摸識別處理器17測量觸摸之前和之后的互電容的差，從而因為觸摸感測電極Rxl至RxS連接到觸摸識別處理器17，所以能夠檢測觸摸位置。
[0089]根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器包括觸摸驅(qū)動電極Txll、Tx21、…和Τχ81以及Τχ12、Τχ22、…和Τχ82、以及觸摸感測電極Rxl至Rx8?？梢酝ㄟ^使用第一降阻線RxWl至第八降阻線RxW8將觸摸驅(qū)動電極Txll、Tx21...和Τχ81以及Τχ12、Τχ22...和Τχ82以及觸摸感測電極Rxl至Rx8恰當?shù)胤纸M來確定觸摸識別塊的單元。在圖3示出的示例中，由八個觸摸感測電極1^1至1^8、十六個觸摸驅(qū)動電極1^11、1^12、1^21、1^22、…Tx81和Τχ82以及十四個降阻線TxWl至TxW6和RxWl至RxW8來形成四個觸摸識別塊TU11、TU12、TU21 和 TU22。
[0090]更具體地，第一觸摸識別塊TUll由通過降阻線TxWl至TxW3彼此連接的第一觸摸驅(qū)動電極Txl 1、Tx21、Tx31和Τχ41、以及通過降阻線RxWl至RxW4彼此連接的第一觸摸感測電極Rxl至第四觸摸感測電極Rx4確定。第二觸摸識別塊TU12由通過降阻線TxW4至TxW6彼此連接的第二觸摸驅(qū)動電極Txl2、Tx22、Tx32和Τχ42、以及通過降阻線RxWl至RxW4彼此連接的第一觸摸感測電極Rxl至第四觸摸感測電極Rx4確定。第三觸摸識別塊TU21由通過降阻線TxWl至TxW3彼此連接的第一觸摸驅(qū)動電極Tx51、Tx6U Tx71和Τχ81、以及通過降阻線RxW5至RxW8彼此連接的第五觸摸感測電極Rx5至第八觸摸感測電極Rx8確定。第四觸摸識別塊TU22由通過降阻線TxW4至TxW6彼此連接的第二觸摸驅(qū)動電極Tx52、Tx62、Τχ72和Τχ82、以及通過降阻線RxW5至RxW8彼此連接的第五觸摸感測電極Rx5至第八觸摸感測電極Rx8確定。
[0091]上面提到的觸摸驅(qū)動電極Txll、Txl2、Tx21、Tx22、…Τχ81和Τχ82用作公共電極C0M，并且在水平電場驅(qū)動型顯示裝置中與像素電極Px形成在第一基板SUBl上。并且像素電極Px形成在通過如圖2所示的選通線Gl至Gm與數(shù)據(jù)線Dl至Dn的交叉所限定的區(qū)域中。
[0092]觸摸驅(qū)動電極Txll、Txl2、Tx21、Tx22、…Τχ81和Τχ82中的每一個形成為與幾個或幾十個像素電極Px相對，但可以形成為與一個像素電極Px相對。
[0093]在上面提到的觸摸傳感器集成式顯示裝置中，一個觸摸驅(qū)動電極和一個像素電極可以按照一對一或一對η (其中，η是2或更大的自然數(shù))關(guān)系形成。另外，第一降阻線TxWl至TxW3和第二降阻線TxW4至TxW6可以形成為對應于一個數(shù)據(jù)線或者幾個至幾十個數(shù)據(jù)線。另外，觸摸感測電極Rxl至RxS中的每一個可以形成為對應于一個選通線或幾個至幾十個選通線。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，因為觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極的數(shù)量增加，所以可以通過增加觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極之間的互電容來提高觸摸靈敏度。此外，因為觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極可以形成為對應于選通線和數(shù)據(jù)線，所以可以容易地調(diào)整觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極的數(shù)量。
[0094]將參照圖4A和4B詳細地描述根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯
示裝置。
[0095]參照圖4A和4B，根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置包括:在薄膜晶體管陣列TFTA的基板SUBl上彼此交叉地形成的選通線GL和數(shù)據(jù)線DL ;分別形成在選通線GL和數(shù)據(jù)線DL的交叉處的薄膜晶體管TFT ;形成在由選通線GL和數(shù)據(jù)線DL的交叉所限定的區(qū)域中的像素電極Px ;以及與像素電極Px相對地設(shè)置的公共電極COM。公共電極COM用作觸摸驅(qū)動電極Tx。因此，表示為公共電極COM、觸摸驅(qū)動電極Tx、或者根據(jù)需要表示為用作觸摸驅(qū)動電極Tx的觸摸公共電極COM。
[0096]在所述結(jié)構(gòu)中，薄膜晶體管TFT可以包括:從選通線GL延伸的柵極G ;有源層A，其形成在覆蓋選通線GL和柵極 G的柵絕緣層GI上，以與柵極G交疊；從數(shù)據(jù)線Dl延伸的源極S，數(shù)據(jù)線Dl形成在覆蓋有源層A的第一鈍化層PASl上；以及與源極S相對的漏極D。
[0097]用作觸摸驅(qū)動電極Tx的公共電極COM形成在覆蓋薄膜晶體管TFT和數(shù)據(jù)線DL的第一鈍化層PASl上。在圖4A和圖4B示出的示例中，一個觸摸驅(qū)動電極Tx形成為對應于三個像素電極Px，但本公開不限于此。例如，觸摸驅(qū)動電極Tx和像素電極Px按照一對一或一對η (其中，“η”是自然數(shù))的對應關(guān)系形成。
[0098]第一降阻線和第二降阻線(下面稱為“驅(qū)動電極降阻線”)TxW(圖3的TxWl至TxW3和TxW4至TxW6)分別形成在第一和第二觸摸驅(qū)動電極Tx (圖3的Txll、TX21、…Tx81 ；和Τχ12、Τχ22、".Τχ82)上，以降低第一和第二觸摸驅(qū)動電極Tx (圖3的Txll、ΤΧ21、…Tx81 JPTx12、Tx22、...Tx82)的電阻。
[0099]在形成有驅(qū)動電極降阻線TxW和觸摸驅(qū)動電極Tx的第一鈍化層PASl上形成第二鈍化層PAS2。形成穿過第一鈍化層PASl和第二鈍化層PAS2的第一接觸孔CHl和第二接觸孔CH2以露出漏極D的一部分。
[0100]在形成有第一接觸孔CHl和第二接觸孔CH2的第二鈍化層PAS2上與選通線GL平行地(即，在X軸方向)形成第三和第四降阻線(下面稱為“驅(qū)動電極降阻線”)RxW (圖3的Rxffl至RxW4和RxW5至RxW8)。像素電極Px形成在第二鈍化層PAS2上的由選通線GL和數(shù)據(jù)線DL的交叉所限定的像素區(qū)域中。在第二鈍化層PAS2上與選通線GL平行地形成觸摸感測電極Rx (圖3的Rxl至Rx8)，以覆蓋在附圖中上下彼此相鄰的像素電極Px之間的感測電極降阻線RxW。圖4A的示例示出觸摸感測電極Rx與柵極G和源極S的一部分交疊，但觸摸感測電極Rx可以與源極S的全部和漏極D的一部分交疊。
[0101]在根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置中，形成在第一鈍化層PASl上的觸摸驅(qū)動電極Tx不具有狹縫或開口，而像素電極Px具有狹縫或開口 SL，如圖4A和圖4B所示。然而，本公開不限于此。例如，如果觸摸驅(qū)動電極Tx和觸摸感測電極Rx中的一個具有狹縫或開口，則觸摸驅(qū)動電極Tx和觸摸感測電極Rx中的另一個不具有狹縫或開口。
[0102]在根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置中，描述了公共電極COM用作觸摸驅(qū)動電極Tx。然而，如果在顯示驅(qū)動操作中從電源單元15向觸摸驅(qū)動電極Tx提供公共電壓Vcom，在觸摸驅(qū)動操作中電源單元15向觸摸感測電極Rx提供觸摸驅(qū)動電壓Vtsp，并且在觸摸驅(qū)動操作期間公共電極COM連接到觸摸識別處理器17，則公共電極COM可以用作觸摸感測電極Rx。
[0103]再者，參照圖1和圖2，選通驅(qū)動器13在顯示驅(qū)動操作期間在定時控制器11的控制下順序地輸出選通脈沖(或掃描脈沖)。選通驅(qū)動器13將選通脈沖的擺動電壓變換為選通高電壓VGH和選通低電壓VGL。從選通驅(qū)動器13輸出的選通脈沖與從數(shù)據(jù)驅(qū)動器12輸出的數(shù)據(jù)電壓同步，并且被順序地提供給選通線Gl至Gm。選通高電壓VGH等于或大于薄膜晶體管TFT的閾值電壓，并且選通低電壓VGL小于薄膜晶體管TFT的閾值電壓。選通驅(qū)動器13的多個選通驅(qū)動集成電路(IC)可以通過帶式自動焊接(TAB)工藝連接到在TFT陣列TFTA的第一基板SUBl上形成的選通線Gl至Gm。另選地，選通驅(qū)動器13的選通驅(qū)動IC可以通過板內(nèi)選通(GIP)工藝與像素一起直接形成在TFT陣列TFTA的第一基板SUBl上。
[0104]數(shù)據(jù)驅(qū)動器12在定時控制器11的控制下對數(shù)字視頻數(shù)據(jù)RGB進行采樣和鎖存。數(shù)據(jù)驅(qū)動器12將數(shù)字視頻RGB轉(zhuǎn)換成正伽馬補償電壓和負伽馬補償電壓GMAl至GMAn，并反轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)電壓的極性。從數(shù)據(jù)驅(qū)動器12輸出的正數(shù)據(jù)電壓和負數(shù)據(jù)電壓與從選通驅(qū)動器13輸出的選通脈沖同步。數(shù)據(jù)驅(qū)動器12的多個源驅(qū)動IC可以通過玻上芯片(COG)工藝或TAB工藝連接到在TFT陣列TFTA的第一基板SUBl上形成的數(shù)據(jù)線Dl至Dn。源驅(qū)動IC可以集成在定時控制器11的內(nèi)部，因此可以與定時控制器11 一起實現(xiàn)為單個芯片1C。
[0105]定時控制器11使用定時信號Vsync、Hsync、DE和MCLK來產(chǎn)生用于控制選通驅(qū)動器13和數(shù)據(jù)驅(qū)動器12的操作定時的定時控制信號，定時信號Vsync、Hsync, DE和MCLK從外部主控制器10接收到，并且被用于驅(qū)動觸摸傳感器集成式液晶顯示器。定時控制信號包括用于控制選通驅(qū)動器13的操作定時的選通控制信號和用于控制數(shù)據(jù)驅(qū)動器12的操作定時和數(shù)據(jù)電壓的極性的數(shù)據(jù)定時控制信號。
[0106]選通定時控制信號包括選通起始脈沖GSP、選通移位時鐘GSC、選通輸出使能GOE等。選通起始脈沖GSP被施加到選通驅(qū)動器13的第一選通驅(qū)動1C，以在各個幀周期中輸出第一選通脈沖并且控制第一選通驅(qū)動IC的移位起始定時。選通移位時鐘GSC被公共地輸入到選通驅(qū)動器13的選通驅(qū)動1C，并且還將選通起始脈沖GSP移位。選通輸出使能GOE控制選通驅(qū)動器13的選通驅(qū)動IC的輸出定時。
[0107]數(shù)據(jù)定時控制信號包括源起始脈沖SSP、源采樣時鐘SSC、極性控制信號P0L、源輸出使能SOE等。源起始脈沖SSP被施加到數(shù)據(jù)驅(qū)動器12的第一源驅(qū)動1C，以首先對數(shù)據(jù)進行采樣并控制數(shù)據(jù)采樣起始定時。源采樣時鐘SSC基于其上升沿或下降沿來控制源驅(qū)動IC內(nèi)部的數(shù)據(jù)的采樣定時。極性控制信號POL控制從源驅(qū)動IC輸出的數(shù)據(jù)電壓的極性。源輸出使能SOE控制源驅(qū)動IC的輸出定時。如果通過迷你低壓差分信號(LVDS)接口向數(shù)據(jù)驅(qū)動器12輸入數(shù)字視頻數(shù)據(jù)RGB，則可以省略源起始脈沖SSP和源采樣時鐘SSC。
[0108]電源單元15被實現(xiàn)為DC-DC換流器，該DC-DC換流器包括脈寬調(diào)制(PWM)電路、升壓變換器、調(diào)壓器、充電泵、分壓器、運算放大器等。電源單元15對從主控制器10輸入的電壓進行調(diào)壓，并產(chǎn)生驅(qū)動液晶顯示面板LCP、數(shù)據(jù)驅(qū)動器12、選通驅(qū)動器13、定時控制器11和背光單元(未示出)所需的電壓。
[0109]由電源單元15產(chǎn)生的電壓包括高電勢電源電壓VDD、選通高電壓VGH、選通低電壓VGL、公共電壓Vcom、正伽馬參考電壓和負伽馬參考電壓GMAl至GMAn、觸摸驅(qū)動電壓Vtsp等。在顯示驅(qū)動操作期間，公共電壓Vcom在主控制器10的控制下被提供給公共電極COM。另選地，在顯示驅(qū)動操作期間，公共電壓Vcom可以在定時控制器11的控制下提供給公共電極COM。在觸摸驅(qū)動操作期間，觸摸驅(qū)動電壓Vtsp在主控制器10的控制下被提供給觸摸驅(qū)動電極Txll、Tx21、…Τχ81以及Τχ12、Τχ22…Τχ82。另選地，在觸摸驅(qū)動操作期間，觸摸驅(qū)動電壓Vtsp可以在定時控制器11的控制下被提供給觸摸驅(qū)動電極Txll、Tx21、…Τχ81以及 Τχ12、Τχ22、—Τχ820
[0110]在圖1示出的實施方式中，觸摸驅(qū)動電壓VtSP通過電源單元15提供給觸摸驅(qū)動電極Txll、Tx21、…Τχ81以及Τχ12、Τχ22、…Τχ82，但本公開不限于此。例如，觸摸驅(qū)動電壓Vtsp在主控制器10或定時控制器11的控制下通過觸摸識別處理器17被提供給觸摸驅(qū)動電極 Txll、Tx21、…Τχ81 以及 Τχ12、Τχ22、...Τχ82。
[0111]主控制器10通過接口(例如，LVDS接口和最小化傳輸差分信號(TMDS)接口)向定時控制器11傳送輸入圖像的數(shù)字視頻數(shù)據(jù)RGB和驅(qū)動觸摸傳感器集成式液晶顯示器的定時信號VSynC、HSync、DE和MCLK。當觸摸傳感器集成式液晶顯示器被驅(qū)動以在其屏幕上顯示圖像時，主控制器10提供用于控制電源單元15的控制信號Vin，使得可以公共電壓Vcom被提供給公共電極COM。當觸摸傳感器集成式液晶顯示器被驅(qū)動用于觸摸識別時，主控制器10提供用于控制電源單元15的控制信號Vin，使得觸摸驅(qū)動電壓Vtsp可以被提供給觸摸驅(qū)動電極 Txll、Tx21、…Τχ81 以及 Τχ12、Τχ22、".Τχ82。
[0112]觸摸識別處理器17對在觸摸操作之前通過連接到觸摸感測電極Rxl至RxS的第一布線RLl和第二布線RL2測量到的各個觸摸感測電極Rxl至Rx8的初始電容的電壓與在觸摸操作之后通過第一布線RLl和第二布線RL2測量到的各個觸摸感測電極Rxl至Rx8的觸摸電容的電壓之間的差電壓進行不同地采樣。然后，觸摸識別處理器17將差分放大的結(jié)果轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)。觸摸識別處理器17利用觸摸識別算法基于初始電容和觸摸電容之間的差來判定觸摸位置，并且向主控制器10輸出指示觸摸位置的觸摸坐標數(shù)據(jù)。
[0113]如上所述，根據(jù)本公開實施方式的第一觸摸驅(qū)動電極Txll、Tx21、…TxSl以及第二觸摸驅(qū)動電極Τχ12、Τχ22、…Τχ82在y軸方向上構(gòu)成觸摸驅(qū)動線，并且觸摸感測電極Rxl至RxS在X軸方向上構(gòu)成觸摸感測線，使得它們彼此交叉。因此，如果在顯示裝置的特定位置上執(zhí)行了觸摸，則觸摸驅(qū)動線和觸摸感測線之間的互電容存在變化。可以通過測量互電容的變化來檢測觸摸位置。
[0114] 特別地，因為通過將觸摸驅(qū)動電極形成為與像素電極相對應并且將觸摸感測電極形成為與選通線相對應，觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極的數(shù)量增加，所以可以通過增加觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極之間的互電容來提高觸摸靈敏度。此外，優(yōu)點在于，因為可以通過使用觸摸驅(qū)動電極降阻線和觸摸感測電極降阻線容易地調(diào)整觸摸識別塊的大小，所以可以容易地制造具有各種觸摸識別塊的觸摸傳感器集成式顯示裝置。
[0115]下面，將參照圖5A至圖13B來描述制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的方法。
[0116]圖5A是示出用于制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第一掩模工藝的頂部平面圖，并且圖5B是沿圖5A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0117]參照圖5A和圖5B,第一金屬層(選通金屬層)通過沉積工藝整個沉積在第一基板SUB上作為第一導電層。通過使用第一掩模工藝在基板SUBl上形成選通線GL和從選通線GL延伸的柵極G。
[0118]更具體地，通過諸如濺射工藝的沉積工藝，在基板SUBl的整個表面上形成選通金屬層作為第一導電層。在把光刻膠整個施敷到沉積了第一導電層的基板SUBl之后,使用第一掩模通過光刻工藝形成露出選通金屬層的一部分的第一光刻膠圖案(未示出)。通過濕法蝕刻去除經(jīng)由第一光刻膠圖案露出的第一選通金屬層。然后，通過灰化工藝去除第一光刻膠圖案，由此在基板SUBl上形成選通線GL和柵極G?？梢詮闹T如Al、AlNd, Cu、Cr、Mo或MoTi的金屬材料中選擇選通金屬層。
[0119]圖6A是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第二掩模工藝的頂部平面圖，并且圖6B是沿圖6A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0120]參照圖6A和圖6B，在形成有選通線GL和柵極G的基板SUBl的整個表面上形成柵絕緣層GI。然后，半導體層整個形成在柵絕緣層GI上。光刻膠層整個形成在半導體層上，并且使用第二掩模通過光刻工藝形成第二光刻膠圖案(未示出)，以露出半導體層的不包括溝道區(qū)域的區(qū)域。通過蝕刻工藝去除經(jīng)由第二光刻膠圖案而露出的半導體層。然后，通過灰化工藝去除第二光刻膠圖案，從而形成半導體圖案A。
[0121]圖7A是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第三掩模工藝的頂部平面圖，并且圖7B是沿圖7A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0122]參照圖7A和圖7B，在形成有半導體圖案A的柵絕緣層GI上形成第二金屬層(數(shù)據(jù)金屬層)作為第二導電層。然后，通過光刻工藝對數(shù)據(jù)金屬層構(gòu)圖來形成第一導電圖案組，該第一導電圖案組包括數(shù)據(jù)線DL、從數(shù)據(jù)線DL延伸的源極S和與源極S相對的漏極D。
[0123]更具體地，在形成有半導體圖案A的柵絕緣層GI上形成數(shù)據(jù)金屬層作為第二導電層。光刻膠整個沉積在數(shù)據(jù)金屬層上，并且使用第三掩模通過光刻工藝形成第三光刻膠圖案(未示出)。第三光刻膠圖案露出數(shù)據(jù)金屬層的除了將形成數(shù)據(jù)線、源極和漏極的區(qū)域之外的區(qū)域。通過蝕刻經(jīng)由第三光刻膠圖案露出的數(shù)據(jù)金屬層并且去除數(shù)據(jù)金屬層上剩余的第三光刻膠圖案來形成數(shù)據(jù)線DL和薄膜晶體管TFT，所述薄膜晶體管TFT包括從數(shù)據(jù)線DL延伸的源極S以及漏極D。數(shù)據(jù)線DL與選通線GL交叉，柵絕緣層GI介于數(shù)據(jù)線DL和選通線GL之間。源極S從數(shù)據(jù)線DL延伸，并且漏極D與源極S相對。
[0124]圖8A是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第四掩模工藝的頂部平面圖，并且圖8B是沿圖8A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0125]參照圖8A和圖SB，第一鈍化層PASl整個形成在形成有第一導電圖案組的柵絕緣層GI上。然后，使用第四掩模通過工藝，通過蝕刻第一鈍化層PASl來形成第一接觸孔CHl以露出漏極D的一部分。
[0126]更具體地，第一鈍化層PASl整個形成在形成有數(shù)據(jù)線DL和薄膜晶體管TFT的柵絕緣層GI上。光刻膠層整個形成在第一鈍化層PASl上，并且使用第四掩模通過光刻工藝形成第四光刻膠圖案(未示出)以露出漏極D的一部分。然后，通過蝕刻經(jīng)由第四光刻膠圖案露出的第一鈍化層PASl并且去除第四光刻膠圖案，在第一鈍化層PASl中形成露出漏極D的一部分的第一接觸孔CH1。可以用諸如聚陰離子纖維素(PAC)的低電介質(zhì)有機材料制造第一鈍化層PASl。
[0127]圖9A是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第五掩模工藝的頂部平面圖，并且圖9B是沿圖9A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0128]參照圖9A和圖9B，第一透明導電層整個形成在形成有第一接觸孔CHl的第一鈍化層PASl上作為第三導電層。然后，通過使用第五掩模工藝對第一透明導電層進行構(gòu)圖，形成用作觸摸驅(qū)動電極Tx的公共電極COM。
[0129]更具體地，通過諸如等離子增強化學汽相沉積(PECVD)的沉積工藝，第一透明導電層整個形成在形成有第一接觸孔CHl的第一鈍化層PASl上作為第三導電層。光刻膠層整個形成在第一透明導電層上，并且使用第五掩模通過光刻工藝形成第五光刻膠圖案(未示出)。第五光刻膠圖案露出第一透明導電層的除了將形成公共電極的區(qū)域之外的區(qū)域。通過蝕刻經(jīng)由第五光刻膠圖案而露出的第一透明導電層并且去除第一透明導電層上剩余的第五光刻膠圖案，形成用作觸摸驅(qū)動電極Tx的公共電極COM。用作觸摸驅(qū)動電極Tx的公共電極COM可以被形成為具有參照圖1至圖3描述的大小。公共電極COM可以用諸如銦錫氧化物(ΙΤ0)、銦鋅氧化物(IZO)和摻鎵氧化鋅(GZO)的透明導電材料來制造。
[0130]圖1OA是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第六掩模工藝的頂部平面圖，并且圖1OB是沿圖1OA中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0131]參照圖1OA和圖10B，通過諸如濺射的沉積工藝，在形成有用作觸摸驅(qū)動電極Tx的公共電極COM的第一鈍化層PASl上全部形成第三金屬層作為第四導電層。然后，使用第六掩模工藝在第一鈍化層PASl上與數(shù)據(jù)線平行地形成觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW。
[0132]更具體地，通過諸如濺射的沉積工藝，第三金屬層整個形成在形成有用作觸摸驅(qū)動電極Tx的公共電極COM的第一鈍化層PASl上作為第四導電層。光刻膠整個形成在第四導電層上，然后使用第六掩模通過光刻工藝對第四導電層進行構(gòu)圖來形成觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW，使得觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW與數(shù)據(jù)線DL平行并且與用作觸摸驅(qū)動電極Tx的公共電極COM接觸。如果觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW被形成為與數(shù)據(jù)線DL交疊，則可以提高顯示裝置的孔徑比。第四導電層從諸如Al、AlNcU Cu、Cr、Mo或MoTi的金屬材料中選擇。
[0133]在以上描述中，觸摸驅(qū)動電極Tx和觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW分別通過兩個掩模工藝形成。然而，觸摸驅(qū)動電極Tx和觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW可以利用半色調(diào)掩模通過光刻工藝形成。假如使用利用半色調(diào)掩模的工藝，則可以利用一個掩模工藝形成觸摸驅(qū)動電極Tx和觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW。因為關(guān)于使用半色調(diào)掩模的工藝的描述是已知的相關(guān)技術(shù)，因此省略其描述。
[0134]圖1lA是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第七掩模工藝的頂部平面圖，并且圖1lB是沿圖1lA中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0135]參照圖1IA和圖1IB，在形成有用作觸摸驅(qū)動電極Tx的公共電極COM和觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW的第一鈍化層PASl上形成第二鈍化層PAS2。然后，通過使用第七掩模工藝蝕刻第二鈍化層PAS2，形成穿過第二鈍化層PAS2的第二接觸孔CH2以露出漏極D的一部分。
[0136]更具體地，第二鈍化層PAS2整個形成在形成有用作觸摸驅(qū)動電極Tx的公共電極COM和觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW的第一鈍化層PASl上。光刻膠整個形成在第二鈍化層PAS2上，然后使用第七掩模通過光刻工藝形成第七光刻膠圖案(未示出)以露出漏極D的一部分。蝕刻經(jīng)由第七光刻膠圖案露出的第二鈍化層PAS2，并且通過去除第七光刻膠圖案來形成第二接觸孔CH2。第二鈍化層PAS2可以用諸如聚陰離子纖維素(PAC)的低電介質(zhì)有機材料制造。
[0137]在該實施方式中，通過蝕刻填充到第一鈍化層PASl的第一接觸孔CHl中的第二鈍化層PAS2，形成了第二接觸孔CH2。然而，本公開不限于此。例如，因為可以用一個掩模工藝一次形成第一接觸孔CHl和第二接觸孔CH2，所以可以省略第四掩模工藝。即，可以通過蝕刻第一鈍化層PASl和第二鈍化層PAS2來一次形成第一接觸孔CHl和第二接觸孔CH2。
[0138]圖12A是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第八掩模工藝的頂部平面圖，并且圖12B是沿圖12A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0139]參照圖12A和圖12B，在具有第二接觸孔CH2的第二鈍化層PAS2上沉積第四金屬層作為第五導電層。然后，通過第八掩模工藝蝕刻第五導電層，與選通線GL平行地形成感測電極降阻線RxW。
[0140]更具體地，通過諸如濺射工藝的沉積工藝，在具有第二接觸孔CH2的第二鈍化層PAS2上沉積第四金屬層作為第五導電層。光刻膠整個形成在第五導電層上，并且使用第八掩模通過光刻工藝形成第八光刻膠圖案(未示出)以露出除了將形成感測電極降阻線RxW的區(qū)域之外的部分。蝕刻經(jīng)由第八光刻膠圖案而露出的第五導電層，并且通過去除第八光刻膠圖案形成感測電極降阻線RxW。第五導電層可以從諸如Al、AlNd、Cu、Cr、Mo或MoTi的金屬材料中選擇。
[0141]圖13A是示出制造根據(jù)本公開的一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第九掩模工藝的頂部平面圖，并且圖13B是沿圖13A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0142]參照圖13A和圖13B，在形成有感測電極降阻線RxW的第二鈍化層PAS2上沉積第二透明導電層作為第六導電層。然后，通過第九掩模工藝蝕刻第六導電層，形成感測電極Rx和感測電極降阻線RxW。
[0143]更具體地，通過諸如濺射工藝的沉積工藝，在形成有感測電極降阻線RxW的第二鈍化層PAS2上沉積第二透明導電層作為第六導電層。光刻膠整個形成在第六導電層上，并且使用第九掩模通過光刻工藝形成第九光刻膠圖案(未示出)以露出除了數(shù)據(jù)線DL和選通線GL的交叉所限定的像素區(qū)域和將形成觸摸感測電極的區(qū)域之外的部分。通過蝕刻經(jīng)由第九光刻膠圖案所露出的第二透明導電層并去除第九光刻膠圖案，在由數(shù)據(jù)線DL和選通線GL的交叉所限定的像素區(qū)域中形成像素電極Px。同時，觸摸感測電極Rx形成在其間具有選通線GL的被設(shè)置為彼此相鄰的像素區(qū)域之間。像素電極Px被形成為具有多個狹縫或開口 SL。第二透明導電層可以用諸如銦錫氧化物(ITO)、銦鋅氧化物(IZO)和摻鎵氧化鋅(GZO)的透明導電材料來制造。
[0144]在對第八掩模工藝和第九掩模工藝的描述中，通過兩個掩模工藝形成感測電極降阻線RxW、觸摸感測電極Rx和像素電極Px。然而，可以使用半色調(diào)掩模通過光刻工藝形成感測電極降阻線RxW、觸摸感測電極Rx和像素電極Px。假如利用半色調(diào)掩模的工藝被使用，則利用一個掩模工藝就可以形成感測電極降阻線RxW、觸摸感測電極Rx和像素電極Px。因為關(guān)于使用半色調(diào)掩模的工藝的描述是已知的相關(guān)技術(shù)，因此省略其描述。
[0145]現(xiàn)在參照圖14和圖15詳細描述根據(jù)本公開的另一實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置。圖14是示意性示出根據(jù)本公開的另一實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的框圖，并且圖15是示意性示出根據(jù)本公開的另一實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極之間的關(guān)系的框圖。
[0146]參照圖14和圖15，根據(jù)本公開的另一實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置包括液晶顯示面板LCP、主控制器10、定時控制器11、數(shù)據(jù)驅(qū)動器12、選通驅(qū)動器13、電源單元15和觸摸識別處理器17。[0147]在根據(jù)本公開的另一實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置中，因為液晶顯示面板LCP與根據(jù)本公開的一個實施方式的液晶顯示面板LCP基本相同，所以將省略對液晶顯示面板LCP的描述。
[0148]參照圖14和圖15,根據(jù)本公開的另一實施方式的公共電極COM是在第一方向(例如，X軸方向)和與第一方向交叉的第二方向(例如，y軸方向)上被分開但在第二方向上彼此連接的多個電極。構(gòu)成公共電極COM的多個電極用作多個觸摸感測電極Rxll、Rx21、Rx31、…Rx81 以及 Rxl2、Rx22、Rx32、…Rx82。
[0149]觸摸感測電極Rxll、Rx21、Rx31、...Rx81 以及 Rxl2、Rx22、Rx32、…Rx82 中的每一個被形成為包括用于降低其電阻的降阻線。更具體地，在多個觸摸感測電極Rxll、Rx21、Rx31、…Rx81以及Rxl2、Rx22、Rx32、…Rx82中，沿第二方向布置的第一觸摸感測電極Rxll、Rx21、Rx31、…Rx81通過至少一個連接部分彼此連接。然后，第一降阻線RxWl、RxW2和1^￥3形成在第一觸摸感測電極1^11、1^21、1^31、…Rx81上以降低其電阻。另外，沿第二方向布置的第二觸摸感測電極Rxl2、Rx22、Rx32、…Rx82通過至少一個連接部分彼此連接。然后，第二降阻線1^14、1^15和1^16形成在第二觸摸感測電極1^12、1^22、1^32、…Rx82上以降低其電阻。
[0150]圖15中示出的實施方式示出了觸摸感測電極構(gòu)成兩個觸摸感測線的示例。即，圖15的示例示出了這樣的示例，其中，一個觸摸感測線由第一觸摸感測電極Rxll、Rx21、Rx31、…Rx81以及第一降阻線RxWl、Rxff2和RxW3構(gòu)成，并且另一觸摸感測線由第二觸摸感測電極Rxl2、Rx22、Rx32、…Rx82以及第二降阻線RxW4、Rxff5和RxW6構(gòu)成。第一降阻線RxWl至RxW3和第二降阻線RxW4至RxW6分別經(jīng)由第一布線RLl和RL2連接到電源單元15和觸摸識別處理器17。
[0151]在圖15示出的另一實施方式中，使用三個第一降阻線RxWl、RxW2和RxW3構(gòu)成第一觸摸感測線，并且使用三個第二降阻線RxW4、Rxff5和RxW6構(gòu)成第二觸摸感測線。然而，本公開不限于此。例如，可以使用一個或兩個降阻線來構(gòu)成第一觸摸感測線和第二觸摸感測線中的每一個?；蛘撸梢允褂盟膫€或更多個降阻線以構(gòu)成第一觸摸感測線和第二觸摸感測線中的每一個。
[0152]另一方面，構(gòu)成根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器的觸摸驅(qū)動電極Txl至Tx8沿第一方向(例如，X軸方向)布置以在第一觸摸感測電極Rxll、Rxl2與第二觸摸感測電極 Rx21、Rx22 ;Rx21、Rx22 與 Rx31、Rx32 ;Rx31、Rx32 與 Rx41、Rx42 ;Rx41、Rx42 與 Rx51、Rx52 ;Rx51、Rx52 與 Rx61、Rx62 ;Rx61、Rx62 與 Rx71、Rx72 ;以及 Rx71、Rx72 與 Rx81、Rx82 之間與第一降阻線RxWl至RxW3和第二降阻線RxW4至RxW6交叉。其它降阻線TxWl至TxW8分別形成在觸摸驅(qū)動電極Txl至TxS上。另外，觸摸驅(qū)動電極Txl至TxS彼此分開，但可以通過降阻線TxWl至TxWS而分組。例如，第一觸摸驅(qū)動電極Txl至第四觸摸感測電極Tx4通過第三降阻線TxWl至第六降阻線TxW4而分組，并且第五觸摸驅(qū)動電極Tx5至第八觸摸感測電極TxS通過第七降阻線TxW5至第十降阻線TxWS而分組。因此，第一觸摸驅(qū)動電極Txl至第八觸摸驅(qū)動電極TxS通過第三降阻線TxWl至第十降阻線TxWS而分組，以形成包括第一觸摸驅(qū)動線Txl至Tx4和TxWl至TxW4以及第二觸摸驅(qū)動線Tx5至Τχ8和TxW5至TxW8的兩個觸摸驅(qū)動線。第一觸摸驅(qū)動線Txl至Tx4和TxWl至TxW4經(jīng)由第一布線TLl連接到電源單元15，并且第二觸摸驅(qū)動線Tx5至Τχ8和TxW5至TxW8經(jīng)由第二布線TL2連接到電源單元15。
[0153]根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器包括觸摸感測電極Rxll、Rx21、…和Rx81以及Rxl2、Rx22、…和Rx82、以及觸摸驅(qū)動電極Txl至Tx8?？梢酝ㄟ^使用第一降阻線至第十降阻線RxWl至RxW8和TxWl至TxW8將觸摸感測電極Rxll、Rx21、…和Rx81以及Rxl2、Rx22、…和Rx82、以及觸摸驅(qū)動電極Txl至Tx8恰當?shù)胤纸M來確定觸摸識別塊的單元。在圖15示出的 示例中，由十六個觸摸感測電極Rxll、Rx21、…Rx81和Rx82以及Rxl2、Rx22、…和Rx82、八個觸摸驅(qū)動電極Txl至Tx8、十四個降阻線RxWl至RxW6和TxWl至TxW8來形成四個觸摸識別塊TU11、TU12、TU21和TU22。
[0154]更具體地，第一觸摸識別塊TUll由通過降阻線RxWl至RxW3彼此連接的第一觸摸感測電極Rxll、Rx21、Rx31和Rx41、以及通過降阻線TxWl至TxW4彼此連接的第一觸摸感測電極Txl至第四觸摸感測電極Tx4來確定。第二觸摸識別塊TU12由通過降阻線RxW4至RxW6彼此連接的第二觸摸感測電極Rxl2、Rx22、Rx32和Rx42、以及通過降阻線TxWl至TxW4彼此連接的第一觸摸驅(qū)動電極Txl至第四觸摸驅(qū)動電極Tx4來確定。第三觸摸識別塊TU21由通過降阻線RxWl至RxW3彼此連接的第一觸摸感測電極Rx51、Rx61、Rx71和Rx81、以及通過降阻線TxW5至TxWS彼此連接的第五觸摸驅(qū)動電極Tx5至第八觸摸驅(qū)動電極TxS來確定。第四觸摸識別塊TU22由通過降阻線RxW4至RxW6彼此連接的第二觸摸感測電極Rx52.Rx62.Rx72和Rx82、以及通過降阻線TxW5至TxW8彼此連接的第五觸摸驅(qū)動電極Tx5至第八觸摸驅(qū)動電極Τχ8來確定。
[0155]上面提到的觸摸感測電極Rxll、Rx21、…Rx81以及Rxl2、Rx22、…Rx82用作公共電極C0M，并且在水平電場驅(qū)動型顯示裝置中與像素電極Px —起形成在第一基板SUBl上。并且像素電極Px形成在通過如圖2所示的選通線Gl至Gm與數(shù)據(jù)線Dl至Dn的交叉所限定的區(qū)域中。
[0156]觸摸感測電極Rxll、Rx21、...Rx81以及Rxl2、Rx22、…Rx82中的每一個形成為與幾個或幾十個像素電極Px相對，但可以形成為與一個像素電極Px相對。[0157]在上面提到的根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置中，在觸摸操作期間，經(jīng)由電源單元15向第一觸摸驅(qū)動電極Txl至第八觸摸驅(qū)動電極TxS提供觸摸驅(qū)動電壓Ttsp。另一方面，在顯示操作期間，經(jīng)由電源單元15向第一觸摸感測電極Txll、Tx21、…Τχ81以及第二觸摸感測電極Τχ12、Τχ22、…Τχ82提供公共電壓Vcom，并且在觸摸操作期間，向觸摸識別處理器17提供從觸摸感測電極Rxll、Rx21、…Rx81以及Rxl2、Rx22、...Rx82接收到的觸摸感測電壓。因此，第一觸摸感測電極Rxll、Rx21、…Rx81以及第二觸摸感測電極Rxl2、Rx22、...Rx82在顯示操作期間用作顯示裝置的公共電極，而在觸摸操作期間用作觸摸傳感器的觸摸感測電極。
[0158]在上面提到的觸摸傳感器集成式顯示裝置中，一個觸摸感測電極和一個像素電極可以形成為一對一或一對n(其中，η是2或更大的自然數(shù))。另外，第一降阻線RxWl至RxW3和第二降阻線RxW4至RxW6可以形成為對應于一個數(shù)據(jù)線或幾個至幾十個數(shù)據(jù)線。另外，觸摸驅(qū)動電極Txl至TxS中的每一個可以形成為對應于一個選通線或幾個至幾十個選通線。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，因為觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極的數(shù)量增加，所以可以通過增加觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極之間的互電容來提高觸摸靈敏度。此外，因為觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極可以被形成為對應于選通線和數(shù)據(jù)線，所以可以容易地調(diào)整觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極的數(shù)量。
[0159]將參照圖16A和圖16B詳細地描述根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置。
[0160]參照圖16A和圖16B，根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置包括:在薄膜晶體管陣列TFTA的基板SUBl上形成為彼此交叉的選通線GL和數(shù)據(jù)線DL ；分別形成在選通線GL和數(shù)據(jù)線DL的交叉處的薄膜晶體管TFT ;形成在由選通線GL和數(shù)據(jù)線DL的交叉所限定的區(qū)域中的像素電極Px ;以及與像素電極Px相對地設(shè)置的公共電極COM。公共電極COM用作觸摸驅(qū)動電極Tx。因此，根據(jù)需要，可以表示為公共電極COM、觸摸驅(qū)動電極Tx或者用作觸摸驅(qū)動電極Tx的公共電極COM。
·[0161]在所述結(jié)構(gòu)中，薄膜晶體管TFT可以包括:從選通線GL延伸的柵極G ;有源層A，其形成在覆蓋選通線GL和柵極G的柵絕緣層GI上以與柵極G交疊；從數(shù)據(jù)線Dl延伸的源極S，數(shù)據(jù)線Dl形成在覆蓋有源層A的第一鈍化層PASl上；以及與所述源極S相對的漏極。
[0162]像素電極Px形成在第一鈍化層PASl上的由選通線GL和數(shù)據(jù)線DL的交叉所限定的像素區(qū)域中。另外，觸摸驅(qū)動電極Tx形成在其間具有選通線GL的彼此相鄰的像素電極之間，并且觸摸驅(qū)動電極Tx形成為與選通線GL平行。觸摸驅(qū)動電極Tx可以形成為與選通線GL交疊。像素電極Px中的每一個連接到經(jīng)由第一鈍化層PASl的接觸孔CH所露出的漏極D。
[0163]第一降阻線和第二降阻線(下面稱為“驅(qū)動電極降阻線”)TxW (圖15的TxWl至Txff4和TxW5至TxW8)分別形成在觸摸驅(qū)動電極Tx (圖15的Txl至Tx8)上，并且被設(shè)置為與選通線GL平行，以降低觸摸驅(qū)動電極Tx (圖15的Txl至Τχ8)的電阻。
[0164]在形成有驅(qū)動電極降阻線TxW和觸摸驅(qū)動電極Tx的第一鈍化層PASl上，形成第二鈍化層PAS2。在第二鈍化層PAS2上，與選通線GL平行地(B卩，在X軸方向)形成第三和第四降阻線(下面稱為“感測電極降阻線”)RxW (圖15的RxWl至RxW3和RxW4至RxW6)。感測電極降阻線RxW和數(shù)據(jù)線DL可以形成為一對一或者一個對幾個或一對幾十個。[0165]在形成有感測電極降阻線RxW的第二鈍化層PAS2上形成用作公共電極COM的觸摸感測電極 Rx (圖 15 中的 Rxll、Rx21、Rx31、…Rx81 以及 Rxl2、Rx22、Rx32、…Rx82)。觸摸感測電極Rx與選通線GL平行布置，以與像素電極Px交疊并連接到感測電極降阻線RxW。觸摸感測電極Rx和像素電極Px中的每一個可以形成為一對一或者一個對幾個或一對幾十個。觸摸感測電極Rx中的每一個可以具有多個狹縫或開口 SL。
[0166]在根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置中，形成在第一鈍化層PASl上的像素電極Px不具有狹縫或開口，而觸摸感測電極Rx具有狹縫或開口 SL，如圖16A和圖16B所示。然而，本公開不限于此。例如，如果觸摸感測電極Rx和像素電極Px中的一個具有狹縫或開口，則觸摸感測電極Rx和像素電極Px中的另一個不具有狹縫或開□。
[0167]在根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置中，描述了公共電極COM用作觸摸感測電極Rx。然而，公共電極COM可以用作觸摸驅(qū)動電極Tx，條件是如果在顯示驅(qū)動操作中從電源單元15向觸摸驅(qū)動電極Tx提供公共電壓Vcom，在觸摸驅(qū)動操作中從電源單元15向公共電極COM提供觸摸驅(qū)動電壓Vtsp。
[0168]再者，參照圖14和圖15，選通驅(qū)動器13在顯示驅(qū)動操作期間在定時控制器11的控制下順序地輸出選通脈沖(或掃描脈沖)。選通驅(qū)動器13將選通脈沖的擺動電壓變換為選通高電壓VGH和選通低電壓VGL。從選通驅(qū)動器13輸出的選通脈沖與從數(shù)據(jù)驅(qū)動器12輸出的數(shù)據(jù)電壓同步，并且被順序地提供給選通線Gl至Gm。選通高電壓VGH等于或大于薄膜晶體管TFT的閾值電壓，并且選通低電壓VGL小于薄膜晶體管TFT的閾值電壓。選通驅(qū)動器13的多個選通驅(qū)動集成電路(IC)可以通過帶式自動焊接(TAB)工藝連接到在TFT陣列TFTA的第一基板SUBl上形成的選通線Gl至Gm。另選地，選通驅(qū)動器13的選通驅(qū)動IC可以通過板內(nèi)選通(GIP)工藝與像素一起直接形成在TFT陣列TFTA的第一基板SUBl上。
[0169]數(shù)據(jù)驅(qū)動器12在定時控制器11的控制下對數(shù)字視頻數(shù)據(jù)RGB進行采樣和鎖存。數(shù)據(jù)驅(qū)動器12將數(shù)字視頻RGB轉(zhuǎn)換成正伽馬補償電壓和負伽馬補償電壓GMAl至GMAn，并反轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)電壓的極性。從數(shù)據(jù)驅(qū)動器12輸出的正數(shù)據(jù)電壓和負數(shù)據(jù)電壓與從選通驅(qū)動器13輸出的選通脈沖同步?？梢酝ㄟ^玻上芯片(COG)工藝或者TAB工藝將數(shù)據(jù)驅(qū)動器12的多個源驅(qū)動IC連接到在TFT陣列TFTA的第一基板SUBl上形成的數(shù)據(jù)線Dl至Dn。源驅(qū)動IC可以集成在定時控制器11的內(nèi)部，因此可以與定時控制器11 一起實現(xiàn)為單個芯片1C。
[0170]定時控制器11使用從外部主控制器10接收到并被用于驅(qū)動觸摸傳感器集成式液晶顯示器的定時信號Vsync、Hsync、DE和MCLK產(chǎn)生用于控制選通驅(qū)動器13和數(shù)據(jù)驅(qū)動器12的操作定時的定時控制信號。定時控制信號包括用于控制選通驅(qū)動器13的操作定時的選通控制信號以及用于控制數(shù)據(jù)驅(qū)動器12的操作定時和數(shù)據(jù)電壓的極性的數(shù)據(jù)定時控制信號。
[0171]選通定時控制信號包括選通起始脈沖GSP、選通移位時鐘GSC、選通輸出使能GOE等。選通起始脈沖GSP被施加到選通驅(qū)動器13的第一選通驅(qū)動1C，以在各個幀周期中輸出第一選通脈沖并且控制第一選通驅(qū)動IC的移位起始定時。選通移位時鐘GSC被公共地輸入到選通驅(qū)動器13的選通 驅(qū)動1C，并且還移位選通起始脈沖GSP。選通輸出使能GOE控制選通驅(qū)動器13的選通驅(qū)動IC的輸出定時。
[0172]數(shù)據(jù)定時控制信號包括源起始脈沖SSP、源采樣時鐘SSC、極性控制信號P0L、源輸出使能SOE等。源起始脈沖SSP被施加到數(shù)據(jù)驅(qū)動器12的第一源驅(qū)動1C，以首先對數(shù)據(jù)進行采樣并且控制數(shù)據(jù)采樣起始定時。源采樣時鐘SSC基于其上升沿或下降沿來控制源驅(qū)動IC內(nèi)部的數(shù)據(jù)的采樣定時。極性控制信號POL控制從源驅(qū)動IC輸出的數(shù)據(jù)電壓的極性。源輸出使能SOE控制源驅(qū)動IC的輸出定時。如果通過迷你低壓差分信號(LVDS)接口向數(shù)據(jù)驅(qū)動器12輸入數(shù)字視頻數(shù)據(jù)RGB，則可以省略源起始脈沖SSP和源采樣時鐘SSC。
[0173]電源單元15被實現(xiàn)為DC-DC換流器，該DC-DC換流器包括脈寬調(diào)制(PWM)電路、升壓變換器、調(diào)壓器、充電泵、分壓器、運算放大器等。電源單元15對從主控制器10輸入的電壓進行調(diào)壓，并產(chǎn)生驅(qū)動液晶顯示面板LCP、數(shù)據(jù)驅(qū)動器12、選通驅(qū)動器13、定時控制器11和背光單元(未示出)所需的電壓。
[0174]由電源單元15產(chǎn)生的電壓包括高電勢電源電壓VDD、選通高電壓VGH、選通低電壓VGL、公共電壓Vcom、正伽馬參考電壓和負伽馬參考電壓GMAl至GMAn、觸摸驅(qū)動電壓Vtsp等。在顯示驅(qū)動操作期間，在主控制器10的控制下向公共電極COM提供公共電壓Vcom。另選地，在顯示驅(qū)動操作期間，可以在定時控制器11的控制下向公共電極COM提供公共電壓Vcom0在觸摸驅(qū)動操作期間，在主控制器10的控制下向觸摸驅(qū)動電極Txl至TxS提供觸摸驅(qū)動電壓Vtsp。另選地，在觸摸驅(qū)動操作期間，可以在定時控制器11的控制下向觸摸驅(qū)動電極Txl至Tx8提供觸摸驅(qū)動電壓Vtsp。
[0175]在圖14示出的實施方式中，通過電源單元15向觸摸驅(qū)動電極Txl至Tx8提供觸摸驅(qū)動電壓Vtsp，但本公開不限于此。例如，在主控制器10或定時控制器11的控制下，通過觸摸識別處理器17向觸摸驅(qū)動電極Txl至TxS提供觸摸驅(qū)動電壓Vtsp。
[0176]主控制器10通過諸如LVDS接口和最小化傳輸差分信號(TMDS)接口的接口向定時控制器11傳送輸入圖像的數(shù)字視頻數(shù)據(jù)RGB以及驅(qū)動觸摸傳感器集成式液晶顯示器的定時信號VSynC、HSync、DE和MCLK。當觸摸傳感器集成式液晶顯示器被驅(qū)動以在其屏幕上顯示圖像時，主控制器10提·供用于控制電源單元15的控制信號Vin，使得可以向公共電極COM提供公共電壓Vcom。當觸摸傳感器集成式液晶顯示器被驅(qū)動用于觸摸識別時，主控制器10提供用于控制電源單元15的控制信號Vin，使得可以向觸摸驅(qū)動電極Txl至TxS提供觸摸驅(qū)動電壓Vtsp。
[0177]觸摸識別處理器17對在觸摸操作之前通過連接到其的第一布線RLl和第二布線RL2測量到的觸摸感測電極Rxll、Rx21、…Rx81以及Rxl2、Rx22、…Rx82中的每一個的初始電容的電壓與在觸摸操作之后通過第一布線RLl和第二布線RL2測量到的Rxll、Rx21、...Rx81以及Rxl2、Rx22、…Rx82中的每一個的觸摸電容的電壓之間的差電壓進行不同地采樣。然后，觸摸識別處理器17將差分放大的結(jié)果轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)。觸摸識別處理器17利用觸摸識別算法基于初始電容和觸摸電容之間的差來判定觸摸位置，并且向主控制器10輸出指示觸摸位置的觸摸坐標數(shù)據(jù)。
[0178]如上所述，根據(jù)本公開的另一個實施方式的第一觸摸感測電極1^11、1^21、《"1^81以及第二觸摸感測電極Rxl2、Rx22、…Rx82在y軸方向上構(gòu)成觸摸感測線，并且觸摸驅(qū)動電極Txl至TxS在X軸方向上構(gòu)成觸摸驅(qū)動線，使得它們彼此交叉。因此，如果對顯示裝置的特定位置執(zhí)行了觸摸，則觸摸驅(qū)動線和觸摸感測線之間的互電容存在變化。可以通過測量所產(chǎn)生的互電容的變化來檢測觸摸位置。
[0179]具體地，因為通過將觸摸驅(qū)動電極形成為與像素電極相對應并且將觸摸感測電極形成為與選通線相對應而使得觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極的數(shù)量增加，所以可以通過增加觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極之間的互電容來提高觸摸靈敏度。此外，優(yōu)點在于，因為可以通過使用觸摸驅(qū)動電極降阻線和觸摸感測電極降阻線來容易地調(diào)整觸摸識別塊的大小，所以可以容易地制造具有觸摸識別塊的觸摸傳感器集成式顯示裝置。
[0180]下面，將參照圖17A至圖24B來描述制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的方法。
[0181]圖17A是示出用于制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第一掩模工藝的頂部平面圖，并且圖17B是沿圖17A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0182]參照圖17A和圖17B，通過沉積工藝，在第一基板SUBl上整個地沉積第一金屬層(選通金屬層)作為第一導電層。通過使用第一掩模工藝在基板SUBl上形成選通線GL和從選通線GL延伸的柵極G。
[0183]更具體地，通過諸如濺射工藝的沉積工藝，在基板SUBl的整個表面上形成選通金屬層作為第一導電層。在向沉積了第一導電層的基板SUBl整個應用了光刻膠之后，使用第一掩模通過光刻工藝形成露出選通金屬層的一部分的第一光刻膠圖案(未示出)。通過濕法蝕刻去除經(jīng)由第一光刻膠圖案露出的第一選通金屬層。然后，通過灰化工藝去除第一光刻膠圖案，從而在基板SUBl上形成選通線GL和柵極G。可以從諸如Al、AlNd, Cu、Cr、Mo或MoTi的金屬材料中選擇金屬層。
[0184]圖18A是示出制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第二掩模工藝的頂部平面圖，并且圖18B是沿圖18A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0185]參照圖18A和圖18B，在形成有選通線GL和柵極G的基板SUBl的整個表面上形成柵絕緣層GI。然后，在柵絕緣層GI上整個地形成半導體層。在半導體層上整個地形成光刻膠層，并且使用第二掩模通過光刻工藝形成第二光刻膠圖案(未示出)，以露出半導體層的不包括溝道區(qū)域的區(qū)域。通過蝕刻工藝去除經(jīng)由第二光刻膠圖案露出的半導體層。然后，通過灰化工藝去除第二光刻膠圖案，從而形成半導體圖案A。
[0186]圖19A是示出制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第三掩模工藝的頂部平面圖，并且圖19B是沿圖19A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0187]參照圖19A和圖19B，在形成有半導體圖案A的柵絕緣層GI上形成第二金屬層(數(shù)據(jù)金屬層)作為第二導電層。然后，通過光刻工藝對數(shù)據(jù)金屬層構(gòu)圖來形成第一導電圖案組，該第一導電圖案組包括數(shù)據(jù)線DL、從數(shù)據(jù)線DL延伸的源極S和與源極S相對的漏極D。
[0188]更具體地，在形成有半導體圖案A的柵絕緣層GI上形成數(shù)據(jù)金屬層作為第二導電層。在數(shù)據(jù)金屬層上整個地沉積光刻膠，并且使用第三掩模通過光刻工藝形成第三光刻膠圖案(未示出)。第三光刻膠圖案露出數(shù)據(jù)金屬層的除了將形成數(shù)據(jù)線、源極和漏極的區(qū)域之外的區(qū)域。通過蝕刻經(jīng)由第三光刻膠圖案露出的數(shù)據(jù)金屬層并且去除數(shù)據(jù)金屬層上剩余的第三光刻膠圖案，形成數(shù)據(jù)線DL和薄膜晶體管TFT，薄膜晶體管TFT包括從數(shù)據(jù)線DL延伸的源極S和漏極D。數(shù)據(jù)線DL與選通線GL交叉，柵絕緣層GI介于其間。源極S從數(shù)據(jù)線DL延伸，并且漏極D與源極S相對。[0189]圖20A是示出制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第四掩模工藝的頂部平面圖，并且圖20B是沿圖20A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0190]參照圖20A和圖20B，在形成有第一導電圖案組的柵絕緣層GI上整個地形成第一鈍化層PAS1。然后，使用第四掩模通過工藝蝕刻第一鈍化層PASl來形成第一接觸孔CHl以露出漏極D的一部分。
[0191]更具體地，在形成有數(shù)據(jù)線DL和薄膜晶體管TFT的柵絕緣層GI上整個地形成第一鈍化層PAS1。在第一鈍化層PASl上整個地形成光刻膠層，并且使用第四掩模通過光刻工藝形成第四光刻膠圖案(未示出)以露出漏極D的一部分。然后，通過蝕刻經(jīng)由第四光刻膠圖案露出的第一鈍化層PASl并且去除第四光刻膠圖案，在第一鈍化層PASl中形成露出漏極D的一部分的第一接觸孔CH1?？梢杂弥T如聚陰離子纖維素(PAC)的低電介質(zhì)有機材料制造第一鈍化層PASl。
[0192]圖21A是示出制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第五掩模工藝的頂部平面圖，并且圖21B是沿圖21A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0193]參照圖21A和圖21B，在形成有第一接觸孔CHl的第一鈍化層PASl上整個地形成第一透明導電層作為第三導電層。然后，通過使用第五掩模工藝對第一透明導電層進行構(gòu)圖來形成像素電極Px和觸摸驅(qū)動電極Tx。
[0194]更具體地，通過諸如等離子增強化學汽相沉積(PECVD)的沉積工藝，在形成有接觸孔CH的第一鈍化層PASl上整個地形成第一透明導電層作為第三導電層。在第一透明導電層上整個地形成光刻膠層，并且使用第五掩模通過光刻工藝形成第五光刻膠圖案(未示出)。第五光刻膠圖案露出第一透明導電層的除了形成像素電極和觸摸驅(qū)動電極的區(qū)域之外的區(qū)域。通過蝕刻經(jīng)由第五光刻膠圖案露出的第一透明導電層并且去除第一透明導電層上剩余的第五光刻膠圖案，形成像素電極Px和觸摸驅(qū)動電極Tx。像素電極Px分別形成在由選通線GL和數(shù)據(jù)線DL所限定的像素區(qū)域中。觸摸驅(qū)動電極Tx中的每一個在附圖中上下彼此相鄰的像素電極Px之間與選通線GL平行地形成。并且觸摸驅(qū)動電極Tx與選通線GL形成為一對一，或一個對幾個或一個對幾十個，如關(guān)于圖14和圖15所描述的?？梢杂弥T如銦錫氧化物(ΙΤ0)、銦鋅氧化物(ΙΖ0)和摻鎵氧化鋅(GZO)的透明導電材料來制造第一導電層。
[0195]圖22A是示出制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第六掩模工藝的頂部平面圖，并且圖22B是沿圖22A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0196]參照圖22A和圖22B，通過諸如濺射的沉積工藝，在形成有觸摸驅(qū)動電極Tx和像素電極Px的第一鈍化層PASl上整個地形成第三金屬層作為第四導電層。然后，使用第六掩模工藝，在第一鈍化層PASl上與數(shù)據(jù)線平行地形成觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW。
[0197]更具體地，通過諸如濺射的沉積工藝，在形成有觸摸驅(qū)動電極Tx和像素電極Px的第一鈍化層PASl上整個地形成第三金屬層作為第四導電層。在第四導電層上整個地沉積光刻膠，然后使用第六掩模通過光刻工藝形成第六光刻膠圖案(未示出)，以露出除了形成有觸摸驅(qū)動電極Tx的區(qū)域之外的部分。之后，通過蝕刻經(jīng)由第六光刻膠圖案所露出的第四導電層并去除第四導電層上剩余的第六光刻膠圖案，形成觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW。觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW與選通線GL平行并且與觸摸驅(qū)動電極Tx接觸。從諸如Al、AlNd、Cu、Cr、Mo或MoTi的金屬材料中選擇第四導電層。
[0198]在以上描述中，通過兩個掩模工藝分別形成觸摸驅(qū)動電極Tx、像素電極Px和觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW。然而，可以使用半色調(diào)掩模通過光刻工藝形成觸摸驅(qū)動電極Tx、像素電極Px和觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW。即，假如使用利用半色調(diào)掩模的工藝，則利用一個掩模工藝形成觸摸驅(qū)動電極Tx、像素電極Px和觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW。因為關(guān)于使用半色調(diào)掩模的工藝的描述是已知的相關(guān)技術(shù)，因此被省略。
[0199]圖23A是示出制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第七掩模工藝的頂部平面圖，并且圖23B是沿圖23A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0200]參照圖23A和圖23B，在形成有觸摸驅(qū)動電極Tx、像素電極Px和觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW的第一鈍化層PASl上順序地形成第二鈍化層PAS2和第四金屬層。然后，使用第七掩模工藝通過對作為第四金屬層的第五導電層進行構(gòu)圖，在第二鈍化層上形成觸摸感測電極降阻線RxW以與數(shù)據(jù)線DL平行。
[0201]更具體地，在形成有觸摸驅(qū)動電極Tx、像素電極Px和觸摸驅(qū)動電極降阻線TxW的第一鈍化層PASl上整個地形成第二鈍化層PAS2。然后，通過諸如等離子增強化學汽相沉積(PECVD)的沉積工藝，在第二鈍化層PAS2上沉積第四金屬層作為第五導電層。在第五導電層上整個地形成光刻膠，然后形成第七光刻膠圖案(未示出)，以露出除了將形成感測電極降阻線的區(qū)域之外的區(qū)域。通過蝕刻經(jīng)由第七光刻膠圖案而露出的第五導電層并且去除第五導電層上剩余的光刻膠圖案，形成感測電極降阻線RxW?？梢杂弥T如聚陰離子纖維素(PAC)的低電介質(zhì)有機材料制造第二鈍化層PAS2，并且可以從諸如Al、AINd、Cu、Cr、Mo或MoTi的金屬材料中選擇第五導電層。
[0202]圖24A是示出制造根據(jù)本公開的另一個實施方式的觸摸傳感器集成式顯示裝置的第八掩模工藝的頂部平面圖，并且圖24B是沿圖24A中示出的線1-1’和11-11’獲取的截面圖。
[0203]參照圖24A和圖24B，在形成有感測電極降阻線RxW的第二鈍化層PAS2上沉積第二透明導電層作為第六導電層。然后，通過第八掩模工藝蝕刻第六導電層來形成用作公共電極COM的觸摸感測電極Rx。
[0204]更具體地，在形成有感測電極降阻線RxW的第二鈍化層PAS2上沉積第二透明導電層作為第六導電層。在第六導電層上整個地形成光刻膠，并且使用第八掩模通過光刻工藝形成第八光刻膠圖案(未示出)以露出除了將形成感測電極降阻線RxW的區(qū)域之外的部分。蝕刻經(jīng)由第八光刻膠圖案所露出的第六導電層，然后通過去除第八光刻膠圖案形成感測電極降阻線RxW。可以從諸如ΙΤ0、IZO或GZO的透明導電材料中選擇第六導電層。
[0205]在針對第七掩模工藝和第八掩模工藝的描述中，通過相應的掩模工藝形成感測電極降阻線RxW和觸摸感測電極Rx。然而，可以使用半色調(diào)掩模通過光刻工藝形成感測電極降阻線RxW和觸摸感測電極Rx。假如使用利用半色調(diào)掩模的工藝，則利用一個掩模工藝形成感測電極降阻線RxW和觸摸感測電極Rx。因為關(guān)于使用半色調(diào)掩模的工藝的描述是已知的相關(guān)技術(shù)，因此被省略。[0206]根據(jù)上面提到的觸摸傳感器集成式顯示裝置契機制造方法，因為用于驅(qū)動顯示裝置的公共電極可以用作觸摸感測電極(或觸摸驅(qū)動電極)，所以可以不必單獨地形成用于觸摸驅(qū)動操作的觸摸感測電極(或觸摸驅(qū)動電極)。因此，可以去除用于形成單獨的觸摸感測電極(或觸摸驅(qū)動電極)的工藝，從而使顯示裝置的厚度減少觸摸感測電極的厚度。
[0207]此外，一個觸摸感測電極(或觸摸驅(qū)動電極)和一個像素電極可以形成為一對一，或者一對n(其中，N是2或更大的自然數(shù))。另外，利用感測電極降阻線和驅(qū)動電極降阻線，可以容易地將觸摸感測電極和驅(qū)動電極分組。因此，可以根據(jù)需要容易地調(diào)整觸摸識別塊的大小，并且因為觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極的數(shù)量增加，所以可以通過增加觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極之間的互電容來提高觸摸靈敏度。
[0208]盡管已經(jīng)針對有限數(shù)量個實施方式描述了本公開，但受益于以上描述的本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解，可以設(shè)計不超出如這里描述的本公開的范圍的其它實施方式。例如，在根據(jù)本公開的實施方式中，描述了觸摸驅(qū)動電極包括驅(qū)動電極降阻線以及觸摸感測電極包括感測電極降阻線。然而，在觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極是用諸如Ι--、IZO或GZO的透明導電材料制造的情況下，觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極需要降阻線。另一方面，在觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極連接到布線的情況下，觸摸驅(qū)動電極和觸摸感測電極不需要降阻線。因此，本公開的范圍應該僅由所附權(quán)利要求來限定。
【權(quán)利要求】
1.一種觸摸傳感器集成式顯示裝置，該觸摸傳感器集成式顯示裝置包括: 多個選通線； 與所述多個選通線交叉的多個數(shù)據(jù)線； 多個像素電極，所述多個像素電極形成在由所述多個選通線和所述多個數(shù)據(jù)線的交叉所限定的區(qū)域中； 多個第一電極，所述多個第一電極形成在其間具有選通線的彼此相鄰的像素電極之間； 多個第二電極，所述多個第二電極中的每一個電極被形成為與所述像素電極的至少一部分交疊，并且被設(shè)置為與所述選通線平行， 其中，所述多個第一電極和所述多個第二電極中的一方用作用于驅(qū)動所述觸摸傳感器集成式顯示裝置的公共電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器集成式顯示裝置，其中，所述多個第一電極是觸摸感測電極，并且所述多個第二電極是用作公共電極的觸摸驅(qū)動電極。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器集成式顯示裝置，其中，所述多個第一電極是觸摸驅(qū)動電極，并且所述多個第二電極是用作公共電極的觸摸感測電極。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器集成式顯示裝置，其中，該觸摸傳感器集成式顯示裝置還包括至少一個第一電極降阻線，所述至少一個第一電極降阻線形成在所述多個第一電極中的每一個電極上，從而降低所述第一電極的電阻。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器集成式顯示裝置，該觸摸傳感器集成式顯示裝置還包括:` 柵絕緣層，所述柵絕緣層位于所述選通線和所述數(shù)據(jù)線之間以覆蓋所述選通線； 多個薄膜晶體管，所述多個薄膜晶體管形成在由所述多個選通線和所述多個數(shù)據(jù)線的交叉所限定像素區(qū)域中； 第一鈍化層，所述第一鈍化層覆蓋形成有所述薄膜晶體管的所述柵絕緣層； 第二鈍化層，所述第二鈍化層覆蓋所述多個第一電極，所述多個第一電極在所述第一鈍化層上形成為與所述多個數(shù)據(jù)線平行并且形成在其間具有選通線的彼此相鄰的至少兩個像素區(qū)域中；以及 多個像素電極，所述多個像素電極分別形成在所述第二鈍化層上并在所述像素區(qū)域中，所述多個像素電極中的每一個電極與所述第一電極的所述至少一部分交疊；并且 其中，所述多個第二電極形成在所述第二鈍化層上并在其間具有所述選通線的彼此相鄰的所述像素電極之間，并且所述第二電極與所述選通線平行地形成，并且 其中，所述多個第一電極和所述多個第二電極中的一方用作用于驅(qū)動所述觸摸傳感器集成式顯示裝置的公共電極。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的觸摸傳感器集成式顯示裝置，其中，所述多個第一電極是用作公共電極的觸摸驅(qū)動電極，并且所述多個第二電極是觸摸感測電極。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的觸摸傳感器集成式顯示裝置，其中，所述多個第一電極是用作公共電極的觸摸感測電極，并且所述多個第二電極是觸摸驅(qū)動電極。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的觸摸傳感器集成式顯示裝置，該觸摸傳感器集成式顯示裝置還包括至少一個第二電極降阻線，所述至少一個第二電極降阻線形成在所述多個第二電極中的每一個電極上，從而降低所述第二電極的電阻。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器集成式顯示裝置，該觸摸傳感器集成式顯示裝置還包括: 柵絕緣層，所述柵絕緣層位于所述多個數(shù)據(jù)線之間以覆蓋所述多個選通線； 多個薄膜晶體管，所述多個薄膜晶體管分別形成在由所述多個選通線和所述多個數(shù)據(jù)線的交叉所限定的像素區(qū)域中； 第一鈍化層，所述第一鈍化層覆蓋形成有所述多個薄膜晶體管的所述柵絕緣層；多個像素電極，所述多個像素電極分別形成在所述第一鈍化層上并在所述像素區(qū)域中；以及 第二鈍化層，所述第二鈍化層覆蓋所述多個第一電極，所述多個第一電極在所述第一鈍化層上形成為與所述選通線平行并形成在其間具有選通線的彼此相鄰的所述像素電極之間， 其中，所述多個第二電極形成在所述第二鈍化層上并在其間具有選通線的至少兩個像素區(qū)域中，各個第二電極的一部分與所述像素電極交疊以與所述數(shù)據(jù)線平行，并且 其中，所述多個第一電極和所述多個第二電極中的一方用作用于驅(qū)動所述觸摸傳感器集成式顯示裝置的公共電極。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的觸摸傳感器集成式顯示裝置，其中，所述多個第一電極是觸摸感測電極，并且所述多個第二電極是用作公共電極的觸摸驅(qū)動電極。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的觸摸傳感器集成式顯示裝置，其中，所述多個第一電極是觸摸驅(qū)動電極，并且所述多個第 二電極是用作公共電極的觸摸感測電極。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的觸摸傳感器集成式顯示裝置，該觸摸傳感器集成式顯示裝置還包括至少一個第一電極降阻線，所述至少一個第一電極降阻線形成在所述多個第一電極中的每一個電極上，從而降低所述第一電極的電阻。
13.—種制造觸摸傳感器集成式顯示裝置的方法，該方法包括以下步驟: 在基板上沉積第一導電層，并接著利用第一掩模工藝形成多個選通線和柵極； 在形成有所述選通線和所述柵極的所述基板上順序地形成柵絕緣層和半導體層，并接著利用第二掩模工藝通過對所述半導體層構(gòu)圖而與所述柵極相對地形成半導體圖案； 在形成有所述半導體圖案的所述柵絕緣層上形成第二導電層，并接著利用第三掩模工藝通過對所述第二導電層構(gòu)圖來形成第一導電圖案組，所述第一導電圖案組包括彼此平行的多個數(shù)據(jù)線、從所述數(shù)據(jù)線延伸的源極和與所述源極相對的漏極； 在形成有所述第一導電圖案組的所述柵絕緣層上順序地形成第一鈍化層和第三導電層，并接著利用第四掩模工藝通過對所述第三導電層構(gòu)圖來形成多個第一電極； 在形成有所述多個第一電極的所述第一鈍化層上沉積第四導電層，并接著利用第五掩模工藝通過對所述第四導電層構(gòu)圖來形成至少一個第一電極降阻線，所述至少一個第一電極降阻線連接到所述多個第一電極中的每一個電極； 在形成有所述多個第一電極和所述第一電極降阻線的所述第一鈍化層上形成第二鈍化層，并接著利用第六掩模工藝通過對所述第一鈍化層和所述第二鈍化層構(gòu)圖來形成露出各個漏極的一部分的接觸孔； 在具有所述接觸孔的所述第二鈍化層上沉積第五導電層，并接著利用第七掩模工藝通過對所述第五導電層構(gòu)圖來形成與所述選通線平行的第二電極降阻線；以及 在形成有所述第二電極降阻線的所述第二鈍化層上沉積第六導電層，并接著利用第八掩模工藝對所述第六導電層構(gòu)圖來形成多個像素電極和多個第二電極， 其中，所述多個第一電極和所述多個第二電極中的一方用作用于驅(qū)動所述觸摸傳感器集成式顯示裝置的公共電極。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中，所述第一電極與所述數(shù)據(jù)線平行地形成，并且形成在其間具有所述選通線的至少兩個像素區(qū)域中，并且所述至少兩個像素區(qū)域由所述選通線和所述數(shù)據(jù)線的交叉限定并且其間具有所述選通線， 所述多個第一電極降阻線分別與所述多個第一電極交疊，從而降低所述第一電極的電阻， 所述多個像素電極形成在所述像素區(qū)域中； 所述多個電極彼此平行地形成在所述第二鈍化層上并在其間具有所述選通線的彼此相鄰的所述像素電極之間；并且 所述至少一個第二電極降阻線形成在所述多個第二電極中的每一個電極上，從而降低所述第二電極的電阻。
15.一種制造觸摸傳感器集成式顯示裝置的方法，該方法包括以下步驟: 在基板上沉積第一導電層，并接著利用第一掩模工藝形成多個選通線和柵極； 在形成有所述選通線和所述柵極的所述基板上順序地形成柵絕緣層和半導體層，并接著利用第二掩模工藝通過對所述`半導體層構(gòu)圖來與所述柵極相對地形成半導體圖案； 在形成有所述半導體圖案的所述柵絕緣層上形成第二導電層，并接著利用第三掩模工藝通過對所述第二導電層構(gòu)圖來形成第一導電圖案組，所述第一導電圖案組包括彼此平行的多個數(shù)據(jù)線、從所述數(shù)據(jù)線延伸的源極和與所述源極相對的漏極； 在形成有所述第一導電圖案組的所述柵絕緣層上形成第一鈍化層，并接著利用第四掩模工藝通過對所述第一鈍化層進行蝕刻來形成露出各個漏極的一部分的多個接觸孔；在具有所述接觸孔的所述第一鈍化層上沉積第三導電層，并接著利用第五掩模工藝對所述第三導電層構(gòu)圖來形成多個第一電極和連接到通過所述接觸孔露出的所述漏極的多個像素電極； 在形成有所述多個第一電極和所述多個像素電極的所述第一鈍化層上形成第四導電層，并接著利用第六掩模工藝通過對所述第四導電層構(gòu)圖來形成至少一個第一電極降阻線，所述至少一個第一電極降阻線形成在所述多個第一電極中的每一個電極上以降低所述第一電極的電阻； 在形成有所述多個第一電極和所述第一電極降阻線的所述第一鈍化層上順序地形成第二鈍化層和第五導電層，并接著利用第七掩模工藝通過對所述第五導電層構(gòu)圖來形成與所述數(shù)據(jù)線平行的至少一個第二電極降阻線；以及 在形成有所述第二電極降阻線的所述第二鈍化層上沉積第六導電層，并接著利用第八掩模工藝通過對所述第六導電層構(gòu)圖來形成多個第二電極，所述多個第二電極中的每一個電極連接到所述至少一個第二電極降阻線， 其中，所述多個第一電極和所述多個第二電極中的一方用作用于驅(qū)動所述觸摸傳感器集成式顯示裝置的公共電極。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中，所述多個像素電極形成在由所述多個選通線和所述多個數(shù)據(jù)線的交叉所限定的區(qū)域中， 所述第一電極與所述選通線平行地形成在其間具有所述選通線的彼此相鄰的所述像素電極之間， 所述至少一個電極降阻線與所述多個第一電極中的每一個電極交疊地形成，從而降低所述第一電極的電阻， 所述第二電極形成在其間具有所述選通線的至少兩個像素區(qū)域中，使得所述第二電極的至少一部分與所述像素電極交疊并且所述第二電極與所述數(shù)據(jù)線平行，并且 所述至少一個第二電極降阻線與所述多個第二電極中的每一個電極交疊地形成，從而降低所述第二電極的電阻。`
【文檔編號】G06F3/041GK103870056SQ201310477712
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2013年9月25日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月11日
【發(fā)明者】金哲世, 金周漢, 金塤培, 韓圣洙, 金真星, 韓萬協(xié) 申請人:樂金顯示有限公司