晶圓測試數(shù)據(jù)處理方法及其系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種晶圓測試數(shù)據(jù)處理方法及其系統(tǒng)，該方法包括：S1、機臺對晶圓依次進行測試，獲取類文本格式測試數(shù)據(jù)；S2、提取類文本格式測試數(shù)據(jù)，并轉(zhuǎn)換成XML格式測試數(shù)據(jù)；S3、將轉(zhuǎn)換后的XML格式測試數(shù)據(jù)進行多地址存儲。本發(fā)明通過將系統(tǒng)得到的類文本測試數(shù)據(jù)進行數(shù)據(jù)整理和分類，轉(zhuǎn)換成疊加嵌套的XML格式測試數(shù)據(jù)，可以實現(xiàn)多個信息進行分離提取，適用于國際化的工廠需求，無需在存儲其它格式的數(shù)據(jù)，同時，XML格式數(shù)據(jù)的架構(gòu)設(shè)計，格式保持一致，處理效率高，可使用于其它的系統(tǒng)和工具，數(shù)據(jù)分析更加的便利，更符合廠內(nèi)生產(chǎn)需求及未來測試的可擴展性。
【專利說明】晶圓測試數(shù)據(jù)處理方法及其系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測試【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種晶圓測試數(shù)據(jù)處理方法及其系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓測試數(shù)據(jù)是一行一行逐行進行排列的，只需要采用文本讀取方式對下面格式來進行順序的讀取并存儲數(shù)據(jù)。目前對數(shù)據(jù)的讀取僅限在Lucent測試系統(tǒng)上，WINDOWS系統(tǒng)尚無高效的讀取方式，數(shù)據(jù)量大時，讀取很慢。就當前情形，對數(shù)據(jù)分析非常不利。現(xiàn)有的技術(shù)可以對上述的格式進行數(shù)據(jù)的讀取，但是特殊格式還不能實現(xiàn)，所以改變現(xiàn)狀刻不容緩。類文本格式的數(shù)據(jù)是由UNIX環(huán)境Lucent測試系統(tǒng)在測試時自動生成的，也是測試系統(tǒng)自帶的功能，并不能滿足日益增長的多系統(tǒng)多數(shù)據(jù)源共享的需要。
[0003]可擴展標記語言(Extensible Markup Language,XML),用于標記電子文件使其具有結(jié)構(gòu)性的標記語言，可以用來標記數(shù)據(jù)、定義數(shù)據(jù)類型，是一種允許用戶對自己的標記語言進行定義的源語言，XML是標準通用標記語言(SGML)的子集，非常適合Web傳輸，且XML可以提供統(tǒng)一的方法來描述和交換獨立于應(yīng)用程序或供應(yīng)商的結(jié)構(gòu)化數(shù)據(jù)。
[0004]因此，針對上述技術(shù)問題，有必要提供一種晶圓測試數(shù)據(jù)處理方法及其系統(tǒng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓測試數(shù)據(jù)處理方法及其系統(tǒng)，其可以實現(xiàn)測試數(shù)據(jù)的格式轉(zhuǎn)換。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實施例提供的技術(shù)方案如下:
[0007]—種晶圓測試數(shù)據(jù)處理方法，所述方法包括以下步驟:
[0008]S1、機臺對晶圓依次進行測試，獲取類文本格式測試數(shù)據(jù)；
[0009]S2、提取類文本格式測試數(shù)據(jù)，并轉(zhuǎn)換成XML格式測試數(shù)據(jù)；
[0010]S3、將轉(zhuǎn)換后的XML格式測試數(shù)據(jù)進行多地址存儲。
[0011 ] 作為本發(fā)明的進一步改進，所述步驟S2中的XML格式測試數(shù)據(jù)包括測試得到類文本格式測試數(shù)據(jù)中的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
[0012]作為本發(fā)明的進一步改進，所述步驟S2具體為:
[0013]S21、提取類文本格式測試數(shù)據(jù)中的文檔信息；
[0014]S22、提取類文本格式測試數(shù)據(jù)中的LOT信息，并嵌套在文檔信息節(jié)點下；
[0015]S23、提取類文本格式測試數(shù)據(jù)中的WAFER信息，并嵌套在LOT信息節(jié)點下；
[0016]S24、提取類文本格式測試數(shù)據(jù)中的SITE信息，并嵌套在WAFER信息節(jié)點下；
[0017]S25、提取類文本格式測試數(shù)據(jù)中的測試數(shù)值，并嵌套在SITE信息節(jié)點下。
[0018]作為本發(fā)明的進一步改進，所述LOT信息包括批號信息，產(chǎn)品名信息，量測時間信息，廠名信息，規(guī)范文件信息，工藝名信息，設(shè)備名信息，操作人員信息；所述WAFER信息包括片數(shù)信息，點數(shù)信息，參數(shù)數(shù)目信息，開始時間信息，結(jié)束時間信息，測試時間信息，合格片信息，失效項號信息；所述SITE信息包括點號信息,點狀態(tài)，X坐標信息，Y坐標信息。
[0019]作為本發(fā)明的進一步改進，所述步驟S2還包括:
[0020]忽略類文本格式測試數(shù)據(jù)中的無關(guān)信息，所述無關(guān)信息包括存儲路徑、數(shù)據(jù)上下限。
[0021]作為本發(fā)明的進一步改進，所述步驟S3中存儲的XML格式測試數(shù)據(jù)包括用于備份的數(shù)據(jù)、用于系統(tǒng)內(nèi)使用的數(shù)據(jù)和用于系統(tǒng)外使用的數(shù)據(jù)。
[0022]相應(yīng)地，一種晶圓測試數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括:
[0023]測試模塊，用于對晶圓依次進行測試，獲取類文本格式測試數(shù)據(jù)；
[0024]轉(zhuǎn)換模塊，用于將提取類文本格式測試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成XML格式測試數(shù)據(jù)；
[0025]存儲模塊，用于將轉(zhuǎn)換后的XML格式測試數(shù)據(jù)進行多地址存儲。
[0026]作為本發(fā)明的進一步改進，所述轉(zhuǎn)換模塊中獲得的XML格式測試數(shù)據(jù)包括測試模塊中類文本測試數(shù)據(jù)的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
[0027]作為本發(fā)明的進一步改進，所述轉(zhuǎn)換模塊中獲得的XML格式測試數(shù)據(jù)包括:
[0028]文檔信息；
[0029]嵌套在文檔信息節(jié)點下的LOT信息；
[0030]嵌套在LOT信息節(jié)點下的WAFER信息；
[0031 ] 嵌套在WAFER信息節(jié)點下的SITE信息；
[0032]嵌套在SITE信息節(jié)點下的測試數(shù)值。
[0033]作為本發(fā)明的進一步改進，所述LOT信息包括批號信息，產(chǎn)品名信息，量測時間信息，廠名信息，規(guī)范文件信息，工藝名信息，設(shè)備名信息，操作人員信息；所述WAFER信息包括片數(shù)信息，點數(shù)信息，參數(shù)數(shù)目信息，開始時間信息，結(jié)束時間信息，測試時間信息，合格片信息，失效項號信息；所述SITE信息包括點號信息,點狀態(tài)，X坐標信息，Y坐標信息。
[0034]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明通過將系統(tǒng)得到的類文本測試數(shù)據(jù)進行數(shù)據(jù)整理和分類，轉(zhuǎn)換成疊加嵌套的XML格式測試數(shù)據(jù)，可以實現(xiàn)多個信息進行分離提取，適用于國際化的工廠需求，無需在存儲其它格式的數(shù)據(jù)，同時，XML格式數(shù)據(jù)的架構(gòu)設(shè)計，格式保持一致，處理效率高，可使用于其它的系統(tǒng)和工具，數(shù)據(jù)分析更加的便利，更符合廠內(nèi)生產(chǎn)需求及未來測試的可擴展性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0035]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明中記載的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0036]圖1為本發(fā)明一實施方式中晶圓測試數(shù)據(jù)處理方法的具體流程圖；
[0037]圖2為本發(fā)明一實施方式中轉(zhuǎn)換后的XML格式測試數(shù)據(jù)示意圖；
[0038]圖3為本發(fā)明一實施方式中晶圓測試數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)的模塊示意圖。
【具體實施方式】
[0039]為了使本【技術(shù)領(lǐng)域】的人員更好地理解本發(fā)明中的技術(shù)方案，下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都應(yīng)當屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0040]參圖1所示，本發(fā)明的一種晶圓測試數(shù)據(jù)處理方法，包括以下步驟:
[0041]S1、機臺對晶圓依次進行測試，獲取類文本格式測試數(shù)據(jù):
[0042]參下述表1所示為本發(fā)明一實施方式中獲取的類文本格式測試數(shù)據(jù)，類文本格式數(shù)據(jù)信量非常大，包括CODE、LOT、片數(shù)、機臺、存儲路徑、溫度、工藝大類、操作員名、SPEC上下限、每點值等信息，但是這些信息混合在一起，當需要處理測試數(shù)據(jù)中某一數(shù)據(jù)時，需要從整個類文本格式測試數(shù)據(jù)中進行搜索，提取出對應(yīng)的數(shù)據(jù)，由于測試數(shù)據(jù)信息非常大，所以數(shù)據(jù)處理效率非常低。
[0043]表1:類文本格式測試數(shù)據(jù)
[0044]
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓測試數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟: 51、機臺對晶圓依次進行測試，獲取類文本格式測試數(shù)據(jù)； 52、提取類文本格式測試數(shù)據(jù)，并轉(zhuǎn)換成XML格式測試數(shù)據(jù)； 53、將轉(zhuǎn)換后的XML格式測試數(shù)據(jù)進行多地址存儲。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S2中的XML格式測試數(shù)據(jù)包括測試得到類文本格式測試數(shù)據(jù)中的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述步驟S2具體為: 521、提取類文本格式測試數(shù)據(jù)中的文檔信息； 522、提取類文本格式測試數(shù)據(jù)中的LOT信息，并嵌套在文檔信息節(jié)點下； 523、提取類文本格式測試數(shù)據(jù)中的WAFER信息，并嵌套在LOT信息節(jié)點下； 524、提取類文本格式測試數(shù)據(jù)中的SITE信息，并嵌套在WAFER信息節(jié)點下； 525、提取類文本格式測試數(shù)據(jù)中的測試數(shù)值，并嵌套在SITE信息節(jié)點下。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述LOT信息包括批號信息，產(chǎn)品名信息，量測時間信息，廠名信息，規(guī)范文件信息，工藝名信息，設(shè)備名信息，操作人員信息；所述WAFER信息包括片數(shù)信息,點數(shù)信息，參數(shù)數(shù)目信息，開始時間信息，結(jié)束時間信息，測試時間信息，合格片信息，失效項號信息；所述SITE信息包括點號信息,點狀態(tài)，X坐標信息，Y坐標信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述步驟S2還包括: 忽略類文本格式測試數(shù)據(jù)中的無關(guān)信息，所述無關(guān)信息包括存儲路徑、數(shù)據(jù)上下限。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S3中存儲的XML格式測試數(shù)據(jù)包括用于備份的數(shù)據(jù)、用于系統(tǒng)內(nèi)使用的數(shù)據(jù)和用于系統(tǒng)外使用的數(shù)據(jù)。
7.—種如權(quán)利要求1所述的晶圓測試數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括: 測試模塊，用于對晶圓依次進行測試，獲取類文本格式測試數(shù)據(jù)； 轉(zhuǎn)換模塊，用于將提取類文本格式測試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成XML格式測試數(shù)據(jù)； 存儲模塊，用于將轉(zhuǎn)換后的XML格式測試數(shù)據(jù)進行多地址存儲。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)換模塊中獲得的XML格式測試數(shù)據(jù)包括測試模塊中類文本測試數(shù)據(jù)的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)換模塊中獲得的XML格式測試數(shù)據(jù)包括: 文檔信息； 嵌套在文檔信息節(jié)點下的LOT信息； 嵌套在LOT信息節(jié)點下的WAFER信息； 嵌套在WAFER信息節(jié)點下的SITE信息； 嵌套在SITE信息節(jié)點下的測試數(shù)值。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述LOT信息包括批號信息，產(chǎn)品名信息，量測時間信息，廠名信息，規(guī)范文件信息，工藝名信息，設(shè)備名信息，操作人員信息；所述WAFER信息包括片數(shù)信息，點數(shù)信息，參數(shù)數(shù)目信息，開始時間信息，結(jié)束時間信息，測試時間信息，合格片信息，失效項號信息；所述SITE信息包括點號信息,點狀態(tài)，X坐標信息，Y坐標信息。
【文檔編號】G06F17/30GK103793437SQ201210433640
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2012年11月1日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月1日
【發(fā)明者】許文慧, 連曉謙 申請人:無錫華潤上華科技有限公司