專利名稱：一種電容式觸摸傳感器及制作方法、觸摸屏和顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及觸控技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種電容式觸摸傳感器及其制造エ藝，以及包括該電容式觸摸傳感器的觸摸屏和顯示裝置。
背景技術(shù)：
電容式Touch Panel (觸摸屏)以其良好的性能及用戶體驗，已經(jīng)逐漸發(fā)展成為主流的觸摸屏。電容式Touch Sensor (觸摸傳感器)是電容式觸摸屏的關(guān)鍵器件?，F(xiàn)有的電容式觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)通常包括透明絕緣襯底，制作在透明絕緣襯底之上的第一層為金屬層，第二層為絕緣層，第三層為ITO (納米銦錫金屬氧化物)圖案層，第四層為絕緣保護層。圖I所示為ー種三角形ITO圖案層示意圖，多個白色三角形構(gòu)成的圖案為ITO圖案層的感應(yīng)電極圖案(或驅(qū)動電極圖案)，多個斜線填充的三角形構(gòu)成的圖案為ITO圖案層的驅(qū)動電 極圖案(或感應(yīng)電極圖案)。其中，ITO圖案通過與金屬層接觸實現(xiàn)導(dǎo)通。為了保證ITO圖案的導(dǎo)通，需要保證在ITO圖案與金屬層的導(dǎo)通連接處沒有被絕緣層覆蓋。在制作電容式觸摸傳感器的過程中，需要4個Mask (掩膜)。其中，金屬層使用一個Mask，絕緣層使用ー個Mask, ITO圖案層使用ー個Mask,絕緣保護層使用ー個Mask。由于Mask的設(shè)計成本較高，因此，現(xiàn)有的電容式觸摸屏的制作エ藝存在制作成本較高的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種電容式觸摸傳感器及其制作方法，以及包括該電容式觸摸傳感器的觸摸屏及顯示裝置，以解決現(xiàn)有的電容式觸摸傳感器制作成本較高的問題。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的一種電容式觸摸傳感器的制作方法，包括使用透明導(dǎo)電層圖案掩膜和光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成驅(qū)動電極圖案層；使用絕緣層掩膜和光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成絕緣層；使用所述透明導(dǎo)電層圖案掩膜和與所述驅(qū)動電極圖案層膠性相反的光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成感應(yīng)電極圖案層；所述驅(qū)動電極圖案層和所述感應(yīng)電極圖案層位于所述絕緣層所在平面的異側(cè)；使用所述絕緣層掩膜和與所述絕緣層膠性相同的光刻膠制作絕緣保護層；該方法還包括在透明絕緣襯底上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層，所述金屬層包括顯示區(qū)域的橋接線；所述驅(qū)動電極圖案層形成于所述金屬層上；或者，在所述驅(qū)動電極圖案層上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層；所述絕緣層制作于所述金屬層上；或者，在所述絕緣層上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層；所述感應(yīng)電極圖案層形成于所述金屬層上。一種電容式觸摸傳感器的制作方法，包括使用透明導(dǎo)電層圖案掩膜和光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成感應(yīng)電極圖案層；使用絕緣層掩膜和光刻膠制作絕緣層；使用所述透明導(dǎo)電層圖案掩膜和與所述感應(yīng)電極圖案層膠性相反的光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成驅(qū)動電極圖案層；所述感應(yīng)電極圖案層和所述驅(qū)動電極圖案層位于所述絕緣層所在平面的異側(cè)；使用所述絕緣層掩膜和與所述絕緣層膠性相同的光刻膠制作絕緣保護層；該方法還包括
在透明絕緣襯底上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層，所述金屬層包括顯示區(qū)域的橋接線；所述感應(yīng)電極圖案層形成于所述金屬層上；或者，在所述感應(yīng)電極圖案層上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層；所述絕緣層制作于所述金屬層之上；或者，在所述絕緣層上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層；所述驅(qū)動電極圖案層形成在所述金屬層之上?！N電容式觸摸傳感器,包括透明絕緣襯底，使用金屬層掩膜和光刻膠制作的金屬層，所述金屬層包括顯示區(qū)域的橋接線，使用透明導(dǎo)電層圖案掩膜和光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成的驅(qū)動電極圖案層，使用絕緣層掩膜和光刻膠制作的絕緣層，使用所述透明導(dǎo)電層圖案掩膜和與所述驅(qū)動電極圖案層膠性相反的光刻膠制作的感應(yīng)電極圖案層，使用所述絕緣層掩膜和與所述絕緣層膠性相同的光刻膠制作的絕緣保護層；所述透明絕緣襯底制作于最底層；所述驅(qū)動電極圖案層和所述感應(yīng)電極圖案層形成于所述絕緣層所在平面的異側(cè)；所述金屬層制作于所述透明絕緣襯底之上，或制作于所述驅(qū)動電極圖案層之上，或制作于所述絕緣層之上；所述絕緣保護層制作于最上層。所述電容式觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)具體為制作于最底層的透明絕緣襯底；所述透明絕緣襯底之上的第一層為所述金屬層，第二層為所述驅(qū)動電極圖案層，第三層為所述絕緣層，第四層為所述感應(yīng)電極圖案層，第五層為所述絕緣保護層。所述電容式觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)具體為制作于最底層的透明絕緣襯底；所述透明絕緣襯底之上的第一層為所述驅(qū)動電極圖案層，第二層為所述金屬層，第三層為所述絕緣層，第四層為所述感應(yīng)電極圖案層，第五層為所述絕緣保護層。所述電容式觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)具體為制作于最底層的透明絕緣襯底；
所述透明絕緣襯底之上的第一層為所述驅(qū)動電極圖案層，第二層為所述絕緣層，第三層為所述金屬層，第四層為所述感應(yīng)電極圖案層，第五層為所述絕緣保護層。所述電容式觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)具體為制作于最底層的透明絕緣襯底；所述透明絕緣襯底之上的第一層為所述金屬層，第二層為所述感應(yīng)電極圖案層，第三層為所述絕緣層，第四層為所述驅(qū)動電極圖案層，第五層為所述絕緣保護層。所述電容式觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)具體為制作于最底層的透明絕緣襯底；所述透明絕緣襯底之上的第一層為所述感應(yīng)電極圖案層，第二層為所述金 屬層，第三層為所述絕緣層，第四層為所述驅(qū)動電極圖案層，第五層為所述絕緣保護層。所述電容式觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)具體為制作于最底層的透明絕緣襯底；所述透明絕緣襯底之上的第一層為所述感應(yīng)電極圖案層，第二層為所述絕緣層，第三層為所述金屬層，第四層為所述驅(qū)動電極圖案層，第五層為所述絕緣保護層。 ー種觸摸屏，包括上述任一所述的電容式觸摸傳感器。一種顯示裝置，包括上述任一所述的電容式觸摸傳感器。本發(fā)明提供的電容式觸摸傳感器及其制作方法、包括該電容式觸摸感應(yīng)器的觸摸屏和顯示裝置，由于使用同一個掩膜制作絕緣層和絕緣保護層，從而減少了掩膜的使用數(shù)量，進而降低了電容式觸摸屏的制作成本。


圖I為現(xiàn)有的一種ITO圖案層不意圖；圖2為本發(fā)明一個實施例提供的方法流程圖；圖3為本發(fā)明另ー個實施例提供的方法流程圖；圖4為本發(fā)明又一個實施例提供的方法流程圖；圖5為本發(fā)明實施例提供的第一個電容式觸摸傳感器結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明實施例提供的第二個電容式觸摸傳感器結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明實施例提供的第三個電容式觸摸傳感器結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本發(fā)明實施例提供的第四個電容式觸摸傳感器結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本發(fā)明實施例提供的第五個電容式觸摸傳感器結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為本發(fā)明實施例提供的第六個電容式觸摸傳感器結(jié)構(gòu)示意圖；圖11為本發(fā)明實施例提供的第七個電容式觸摸傳感器結(jié)構(gòu)示意圖；圖12為本發(fā)明實施例提供的電容式觸摸傳感器局部俯視示意圖。
具體實施例方式為了降低電容式觸摸傳感器的制作成本，本發(fā)明實施例提供了一種電容式觸摸傳感器的制作方法，該方法如圖2所示，具體包括如下操作S201、使用透明導(dǎo)電層圖案掩膜和光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成驅(qū)動電極圖案層。S202、使用絕緣層掩膜和光刻膠制作絕緣層。
S203、使用上述的透明導(dǎo)電層圖案掩膜和與上述驅(qū)動電極圖案層膠性相反的光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成感應(yīng)電極圖案層，其中，驅(qū)動電極圖案和感應(yīng)電極圖案組成完整的透明導(dǎo)電層圖案。上述的驅(qū)動電極圖案層和上述的感應(yīng)電極圖案層位于上述的絕緣層所在平面的異側(cè)。所謂異側(cè)是指，當(dāng)電容式觸摸傳感器水平放置吋，驅(qū)動電極圖案層位于絕緣層之上，而感應(yīng)電極圖案層位于絕緣層之下；或者，驅(qū)動電極圖案層位于絕緣層之下，而感應(yīng)電極圖案層位于絕緣層之上。如果驅(qū)動電極圖案層使用正性膠形成，則感應(yīng)電極圖案層使用負性膠形成，如果驅(qū)動電極圖案層使用負性膠形成，則感應(yīng)電極圖案層使用負性膠形成。S204、使用上述絕緣層掩膜和與上述絕緣層膠性相同的光刻膠制作絕緣保護層。該方法還包括以下任ー步驟 S205a、在透明絕緣襯底上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層，該金屬層包括顯示區(qū)域的橋接線；上述的驅(qū)動電極圖案層形成于該金屬層上。S205b、在上述的驅(qū)動電極圖案層上,使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層，該金屬層包括顯示區(qū)域的橋接線；上述的絕緣層制作于該金屬層上。S205c、在上述的絕緣層上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層，該金屬層包括顯示區(qū)域的橋接線；上述的感應(yīng)電極圖案層形成于該金屬層上。為了降低電容式觸摸傳感器的制作成本，本發(fā)明實施例還提供了一種電容式觸摸傳感器的制作方法，該方法如圖3所示，具體包括如下操作S301、使用透明導(dǎo)電層圖案掩膜和光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成感應(yīng)電極圖案層。S302、使用絕緣層掩膜和光刻膠制作絕緣層。S303、使用上述的透明導(dǎo)電層圖案掩膜和與上述感應(yīng)電極圖案層膠性相反的光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成驅(qū)動電極圖案層。其中，驅(qū)動電極圖案和感應(yīng)電極圖案組成完整的透明導(dǎo)電層圖案。上述的感應(yīng)電極圖案層和上述的驅(qū)動電極圖案層位于上述的絕緣層所在平面的異側(cè)。如果感應(yīng)電極圖案層使用正性膠形成，則驅(qū)動電極圖案層使用負性膠形成，如果感應(yīng)電極圖案層使用負性膠形成，則驅(qū)動電極圖案層使用負性膠形成。S304、使用上述絕緣層掩膜和與上述絕緣層膠性相同的光刻膠制作絕緣保護層。該方法還包括以下任ー步驟S305a、在透明絕緣襯底上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層，該金屬層包括顯示區(qū)域的橋接線；上述的感應(yīng)電極圖案層形成于該金屬層上。S305b、在上述的感應(yīng)電極圖案層上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層，該金屬層包括顯示區(qū)域的橋接線；上述的絕緣層制作于該金屬層之上。S305c、在上述的絕緣層上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層，該金屬層包括顯示區(qū)域的橋接線；上述的圖案驅(qū)動電極圖案層形成于該金屬層之上。需要說明的是本發(fā)明實施例中，所述構(gòu)圖エ藝一般為曝光、刻蝕、剝離等エ藝步驟，一般為沉積形成圖案所需要的材料(當(dāng)然材料在基板上的形成方式并不限于沉積ー種，還可以為其他方式)，之后進行構(gòu)圖エ藝。所述驅(qū)動電極圖案層和感應(yīng)電極圖案層的材料為透明導(dǎo)電材料，例如ITO，但是不限于此，還可以是AZO (摻Al氧化鋅鋁)，F(xiàn)T0 (摻F氧化錫)等等。所述絕緣層和絕緣保護層的材料可以為有機絕緣層材料也可以為無機絕緣層材料，例如氮化硅、丙烯基樹脂和環(huán)氧樹脂。所述金屬層還包括焊盤區(qū)域的電路線，在絕緣層圖案形成步驟中，將焊盤區(qū)域的透明導(dǎo)電層圖案(驅(qū)動電極圖案或感應(yīng)電極圖案)裸露，方便IC (驅(qū)動芯片)的Bonding (綁定)?，F(xiàn)有的電容式觸摸傳感器制作エ藝中，通常采用ー個Mask在ー層上形成完整的透明導(dǎo)電層圖案。而本發(fā)明上述各實施例提供的電容式觸摸傳感器的制作方法，分兩層形成透明導(dǎo)電層圖案的驅(qū)動電極圖案層和感應(yīng)電極圖案層，并將驅(qū)動電極圖案層和感應(yīng)電極圖案層形成在絕緣層所在平面的異側(cè)，從而降低了驅(qū)動電極和感應(yīng)電極之間的互電容。用同一個Mask，分別用正性膠和負性膠來形成驅(qū)動電極圖案層和感應(yīng)電極圖案層，由于負性膠的精確度較低，使用負性膠形成ー個方向的透明導(dǎo)電層圖案(感應(yīng)電極圖案或驅(qū)動電極圖案)會有所縮小，從而使得兩個方向的透明導(dǎo)電層圖案在邊緣處不能垂直對齊，，使得驅(qū) 動電極到感應(yīng)電極的電場線更加發(fā)散，這樣手指觸控就能吸走更多的電場線，從而增加靈敏觸控度。另外，用同一個Mask，分別用正性膠和負性膠來形成透明導(dǎo)電層圖案的驅(qū)動電極圖案層和感應(yīng)電極圖案層，得到的透明導(dǎo)電層圖案不同于現(xiàn)有的透明導(dǎo)電層圖案，從而可以使用同一個Mask來制作絕緣層和絕緣保護層，降低了 Mask的使用數(shù)量，進而降低了生產(chǎn)成本。本發(fā)明上述各實施例提供的方法中，在制作絕緣層時，要保證金屬層與驅(qū)動電極圖案層或與感應(yīng)電極圖案層的連接處沒有被絕緣層完全覆蓋。從而保證透明導(dǎo)電層圖案導(dǎo)通。本發(fā)明上述各實施例提供的方法中，作為一種優(yōu)選的實現(xiàn)方式，上述的金屬層、絕緣層、絕緣保護層均采用正性膠制作。本發(fā)明提供的方法適用于任何通過透明導(dǎo)電層實現(xiàn)感應(yīng)的觸摸式傳感器的制作エ藝。例如，通過透明導(dǎo)電層實現(xiàn)感應(yīng)的Add On (外掛式)觸摸傳感器、On Cell (外置)觸摸傳感器、In Cell (內(nèi)置)觸摸傳感器等等，以及通過透明導(dǎo)電層實現(xiàn)感應(yīng)的GTG (GlassTo Glass,雙層玻璃)觸摸傳感器、One Glass Solusion (單層玻璃)觸摸傳感器等等。下面將以Add On GTG觸摸傳感器的制作過程作為具體的應(yīng)用實施例對本發(fā)明實施例提供的電容式觸摸傳感器的制作方法進行詳細說明。如圖4所示的一個電容式觸摸傳感器的制作方法，其實現(xiàn)方式具體包括如下操作S401、在透明絕緣襯底(如，玻璃、塑料)上制作第一層(金屬層)，該金屬層包括顯示區(qū)域的橋接線；具體是采用Maskl (金屬層Mask),正性膠制作金屬橋、金屬走線等；S402、制作第二層(驅(qū)動電極圖案層)；具體是采用Mask2 (透明導(dǎo)電層圖案Mask)，正性膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成驅(qū)動電極圖案；S403、制作第三層(絕緣層)；具體是采用Mask3 (絕緣層Mask),正性膠制作絕緣層，該絕緣層的圖形是壓合圖形；在制作絕緣層時，要保證金屬層與透明導(dǎo)電層圖案的連接處沒有被絕緣層完全覆蓋，以保證透明導(dǎo)電層圖案的導(dǎo)通；S404、制作第四層(感應(yīng)電極圖案層)；
具體是采用Mask2，負性膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成感應(yīng)電極圖案；S405、制作第五層(絕緣保護層)；具體是采用Mask3，正性膠制作絕緣保護層；S406、進行傳感器切割；S407、進行FPC (柔性電路連接板)壓合；S408> Cover Lens (蓋板)貼合,完成觸摸式傳感器的制作。在上述處理過程中，還可以使用負性膠形成驅(qū)動電極圖案層，使用正性膠形成感應(yīng)電極圖案層。另外，還可以在第二層形成感應(yīng)電極圖案層，在第四層形成驅(qū)動電極圖案層。上述處理過程中，在透明絕緣襯底之上首先制作金屬層。先制作金屬層的優(yōu)點是，在FPC的Bonding區(qū)域金屬不會被氧化?，F(xiàn)有的電容式觸摸傳感器制作方法需要4個Mask，上述處理過程制作得到的電容式觸摸傳感器，僅需要3個Mask即可完成制作，減少了 Mask的開發(fā)成本，進而降低了電容式觸摸傳感器的制作成本。另外，由于將透明導(dǎo)電層圖案的驅(qū)動電極圖案層和感應(yīng)電極圖案層分別形成在絕緣層所在平面的異側(cè)，使得驅(qū)動電極到感應(yīng)電極的電場線更加發(fā)散，這樣手指觸控就能吸走更多的電場線，從而增加靈敏觸控度。本發(fā)明還提供一種電容式觸摸傳感器，其結(jié)構(gòu)如圖5 10所示，具體實現(xiàn)結(jié)構(gòu)如下包括透明絕緣襯底1，使用金屬層掩膜和光刻膠制作的金屬層2，該金屬層2包括顯示區(qū)域的橋接線，使用透明導(dǎo)電層圖案掩膜和光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成的驅(qū)動電極圖案層3，使用絕緣層掩膜和光刻膠制作的絕緣層4，使用上述的透明導(dǎo)電層圖案掩膜和與上述的驅(qū)動電極圖案層3膠性相反的光刻膠制作的感應(yīng)電極圖案層5，使用上述的絕緣層掩膜和與上述絕緣層4膠性相同的光刻膠制作的絕緣保護層6。其中，上述的透明絕緣襯底I制作于最底層；上述的驅(qū)動電極圖案層3和上述的感應(yīng)電極圖案層5制作于上述絕緣層4所在平面的異側(cè)；上述的金屬層2制作于上述的透明絕緣襯底I之上，或制作于上述的驅(qū)動電極圖案層3之上，或制作于上述的絕緣層4之上；上述的絕緣保護層6制作于最上層。上述的金屬層2與驅(qū)動電極圖案層3或與感應(yīng)電極圖案層5的連接處沒有被絕緣層4完全覆蓋。從而保證透明導(dǎo)電層圖案導(dǎo)通。本發(fā)明實施例提供的電容式觸摸傳感器，透明導(dǎo)電層的驅(qū)動電極圖案層3和感應(yīng)電極圖案層5分別形成在絕緣層的異側(cè)，。由于負性膠的精確度較低，使用負性膠形成的ー個方向的透明導(dǎo)電層圖案(驅(qū)動電極圖案3或感應(yīng)電極圖案5)會有所縮小,從而使得兩個方向的透明導(dǎo)電層圖案在邊緣處不能垂直對齊，，使得驅(qū)動電極到感應(yīng)電極的電場線更加發(fā)散，這樣手指觸控就能吸走更多的電場線，從而增加靈敏觸控度。另外，本發(fā)明提供的電容式觸摸傳感器的透明導(dǎo)電層圖案不同于現(xiàn)有的透明導(dǎo)電層圖案，從而可以使用同一個Mask來制作絕緣層4和絕緣保護層6，降低了 Mask的使用數(shù)量，進而降低了電容式觸摸傳感器的生產(chǎn)成本。本發(fā)明實施例提供的電容式觸摸傳感器，上述的金屬層2、絕緣層4、絕緣保護層6優(yōu)選的采用正性膠制作。如圖5所示，為本發(fā)明提供的第一個優(yōu)選的電容式觸摸傳感器實現(xiàn)結(jié)構(gòu)。其中透明絕緣襯底I制作于最底層；該透明絕緣襯底I之上的第一層為上述的金屬層2，所述金屬層2包括顯示區(qū)域的橋接線，第二層為上述的驅(qū)動電極圖案層3，第三層為上述的絕緣層4，第四層為上述的感應(yīng)電極圖案層5，第五層為上述的絕緣保護層6。如圖6所示，為本發(fā)明提供的第二個優(yōu)選的電容式觸摸傳感器實現(xiàn)結(jié)構(gòu)。其中 透明絕緣襯底I制作于最底層；該透明絕緣襯底I之上的第一層為上述的驅(qū)動電極圖案層3，第二層為上述的金屬層2，該金屬層2包括顯示區(qū)域的橋接線，第三層為上述的絕緣層4，第四層為上述的感應(yīng)電極圖案層5，第五層為上述的絕緣保護層6。如圖7所示，為本發(fā)明提供的第三個優(yōu)選的電容式觸摸傳感器實現(xiàn)結(jié)構(gòu)。其中透明絕緣襯底I制作于最底層；該透明絕緣襯底I之上的第一層為上述的驅(qū)動電極圖案層3，第二層為上述的絕緣層4，第三層為上述的金屬層2，該金屬層2包括顯示區(qū)域的橋接線，第四層為上述的感應(yīng)電極圖案層5，第五層為上述的絕緣保護層6。如圖8所示，為本發(fā)明提供的第四個優(yōu)選的電容式觸摸傳感器實現(xiàn)結(jié)構(gòu)。其中制作于最底層的透明絕緣襯底I ;所述透明絕緣襯底I之上的第一層為所述金屬層2，所述金屬層2包括顯示區(qū)域的橋接線，第二層為所述感應(yīng)電極圖案層5，第三層為所述絕緣層4，第四層為所述驅(qū)動電極圖案層3，第五層為所述絕緣保護層6。如圖9所示，為本發(fā)明提供的第五個優(yōu)選的電容式觸摸傳感器實現(xiàn)結(jié)構(gòu)。其中透明絕緣襯底I制作于最底層；該透明絕緣襯底I之上的第一層為上述的感應(yīng)電極圖案層5，第二層為上述的金屬層2，該金屬層2包括顯示區(qū)域的橋接線，第三層為上述的絕緣層4，第四層為上述的驅(qū)動電極圖案層3，第五層為上述的絕緣保護層6。如圖10所示，為本發(fā)明提供的第六個優(yōu)選的電容式觸摸傳感器實現(xiàn)結(jié)構(gòu)。其中透明絕緣襯底I制作于最底層；該透明絕緣襯底I之上的第一層為上述的感應(yīng)電極圖案層5，第二層為上述的絕緣層4，第三層為上述的金屬層2，該金屬層2包括顯示區(qū)域的橋接線，第四層為上述的驅(qū)動電極圖案層3，第五層為上述的絕緣保護層6。本發(fā)明提供的電容式觸摸傳感器可以是任何通過透明導(dǎo)電層實現(xiàn)感應(yīng)的觸摸傳感器。作為舉例而非限定，可以是通過透明導(dǎo)電層實現(xiàn)感應(yīng)的Add On觸摸傳感器、On Cell觸摸傳感器、In Cell觸摸傳感器等等，也可以是通過透明導(dǎo)電層實現(xiàn)感應(yīng)的GTG觸摸傳感器、One Glass Solusion觸摸傳感器等等。下面將以ー個圖11所示的Add On GTG觸摸傳感器結(jié)構(gòu)為例對本發(fā)明提供的電容式觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)進行詳細說明。圖11中，在透明絕緣襯底I上，第一層是金屬層2，包括顯示區(qū)域的橋接線，具體可以是金屬橋和金屬走線；第二層為驅(qū)動電極圖案層3。
第三層為絕緣層4，其中，驅(qū)動電極圖案層3和金屬層2的連接處，及感應(yīng)電極圖案層5和金屬層2的連接處(圖中未示出)沒有被絕緣層4完全覆蓋，以保證透明導(dǎo)電層圖案的導(dǎo)通。第四層為感應(yīng)電極圖案層5。驅(qū)動電極圖案3和感應(yīng)電極圖案5采用同一個Mask，分別采用正性膠和負性膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成，且驅(qū)動電極圖案層3和感應(yīng)電極圖案層5制作于絕緣層4的異側(cè)，從而增加觸控靈敏度。第五層為絕緣保護層6，該層由制作絕緣層4的Mask制作，進而減少了 Mask的使
用數(shù)量。
還包括完成傳感器切割后壓合上去的柔性電路連接板7。圖12所示為本發(fā)明實施例提供的電容式觸摸傳感器的局部俯視示意圖。對于圖
5、6、10所示結(jié)構(gòu)的電容式觸摸傳感器，圖12中斜線所示為感應(yīng)電極圖案層，感應(yīng)電極圖案層上，各個感應(yīng)電極之間通過金屬走線連接，網(wǎng)格線所示為驅(qū)動電極圖案層。對于圖7、8、9所示結(jié)構(gòu)的電容式觸摸傳感器，圖12中斜線所示為驅(qū)動電極圖案層，驅(qū)動電極圖案層上，各個驅(qū)動電極之間通過金屬走線連接，網(wǎng)格線所示為感應(yīng)電極圖案層。需要說明的是，上述中提及的金屬層包括顯示區(qū)域的橋接線，即金屬橋和金屬走線，為了避免重復(fù)說明，上述金屬層中沒有提及。本發(fā)明實還提供ー種電容式觸摸屏，包括如上任意ー種電容式觸摸傳感器。本發(fā)明還提供一種顯示裝置，包括如上任意一種電容式觸摸傳感器。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種電容式觸摸傳感器的制作方法，其特征在于，包括 使用透明導(dǎo)電層圖案掩膜和光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成驅(qū)動電極圖案層； 使用絕緣層掩膜和光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成絕緣層； 使用所述透明導(dǎo)電層圖案掩膜和與所述驅(qū)動電極圖案層膠性相反的光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成感應(yīng)電極圖案層；所述驅(qū)動電極圖案層和所述感應(yīng)電極圖案層位于所述絕緣層所在平面的異側(cè)； 使用所述絕緣層掩膜和與所述絕緣層膠性相同的光刻膠制作絕緣保護層； 該方法還包括 在透明絕緣襯底上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層，所述金屬層包括顯示區(qū)域的橋接線；所述驅(qū)動電極圖案層形成于所述金屬層上； 或者， 在所述驅(qū)動電極圖案層上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層；所述絕緣層制作于所述金屬層上； 或者， 在所述絕緣層上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層；所述感應(yīng)電極圖案層形成于所述金屬層上。
2.一種電容式觸摸傳感器的制作方法，其特征在于，包括 使用透明導(dǎo)電層圖案掩膜和光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成感應(yīng)電極圖案層； 使用絕緣層掩膜和光刻膠制作絕緣層； 使用所述透明導(dǎo)電層圖案掩膜和與所述感應(yīng)電極圖案層膠性相反的光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成驅(qū)動電極圖案層；所述感應(yīng)電極圖案層和所述驅(qū)動電極圖案層位于所述絕緣層所在平面的異側(cè)； 使用所述絕緣層掩膜和與所述絕緣層膠性相同的光刻膠制作絕緣保護層； 該方法還包括 在透明絕緣襯底上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層，所述金屬層包括顯示區(qū)域的橋接線；所述感應(yīng)電極圖案層形成于所述金屬層上； 或者， 在所述感應(yīng)電極圖案層上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層；所述絕緣層制作于所述金屬層之上； 或者， 在所述絕緣層上，使用金屬層掩膜和光刻膠制作金屬層；所述驅(qū)動電極圖案層形成在所述金屬層之上。
3.—種電容式觸摸傳感器,其特征在于,包括 透明絕緣襯底，使用金屬層掩膜和光刻膠制作的金屬層，所述金屬層包括顯示區(qū)域的橋接線，使用透明導(dǎo)電層圖案掩膜和光刻膠經(jīng)過構(gòu)圖エ藝形成的驅(qū)動電極圖案層，使用絕緣層掩膜和光刻膠制作的絕緣層，使用所述透明導(dǎo)電層圖案掩膜和與所述驅(qū)動電極圖案層膠性相反的光刻膠制作的感應(yīng)電極圖案層，使用所述絕緣層掩膜和與所述絕緣層膠性相同的光刻膠制作的絕緣保護層； 所述透明絕緣襯底制作于最底層；所述驅(qū)動電極圖案層和所述感應(yīng)電極圖案層形成于所述絕緣層所在平面的異側(cè)； 所述金屬層制作于所述透明絕緣襯底之上，或制作于所述驅(qū)動電極圖案層之上，或制作于所述絕緣層之上； 所述絕緣保護層制作于最上層。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電容式觸摸傳感器，其特征在于，所述電容式觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)具體為 制作于最底層的透明絕緣襯底； 所述透明絕緣襯底之上的第一層為所述金屬層，第二層為所述驅(qū)動電極圖案層，第三層為所述絕緣層，第四層為所述感應(yīng)電極圖案層，第五層為所述絕緣保護層。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電容式觸摸傳感器，其特征在于，所述電容式觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)具體為 制作于最底層的透明絕緣襯底； 所述透明絕緣襯底之上的第一層為所述驅(qū)動電極圖案層，第二層為所述金屬層，第三層為所述絕緣層，第四層為所述感應(yīng)電極圖案層，第五層為所述絕緣保護層。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電容式觸摸傳感器，其特征在于，所述電容式觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)具體為 制作于最底層的透明絕緣襯底； 所述透明絕緣襯底之上的第一層為所述驅(qū)動電極圖案層，第二層為所述絕緣層，第三層為所述金屬層，第四層為所述感應(yīng)電極圖案層，第五層為所述絕緣保護層。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電容式觸摸傳感器，其特征在于，所述電容式觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)具體為 制作于最底層的透明絕緣襯底； 所述透明絕緣襯底之上的第一層為所述金屬層，第二層為所述感應(yīng)電極圖案層，第三層為所述絕緣層，第四層為所述驅(qū)動電極圖案層，第五層為所述絕緣保護層。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電容式觸摸傳感器，其特征在于，所述電容式觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)具體為 制作于最底層的透明絕緣襯底； 所述透明絕緣襯底之上的第一層為所述感應(yīng)電極圖案層，第二層為所述金屬層，第三層為所述絕緣層，第四層為所述驅(qū)動電極圖案層，第五層為所述絕緣保護層。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電容式觸摸傳感器，其特征在于，所述電容式觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)具體為 制作于最底層的透明絕緣襯底； 所述透明絕緣襯底之上的第一層為所述感應(yīng)電極圖案層，第二層為所述絕緣層，第三層為所述金屬層，第四層為所述驅(qū)動電極圖案層，第五層為所述絕緣保護層。
10.ー種觸摸屏，其特征在干，包括如權(quán)利要求3、任意一項所述的電容式觸摸傳感器。
11.一種顯示裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求3、任意一項所述的電容式觸摸傳感器。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種電容式觸摸傳感器的制作方法，包括使用透明導(dǎo)電層圖案掩膜和光刻膠制作驅(qū)動電極圖案層；使用絕緣層掩膜和光刻膠制作絕緣層；使用透明導(dǎo)電層圖案掩膜和驅(qū)動電極圖案層膠性相反的光刻膠制作感應(yīng)電極圖案層，驅(qū)動電極圖案層和感應(yīng)電極圖案層位于絕緣層所在平面的異側(cè)；使用絕緣層掩膜和光刻膠制作絕緣保護層。本發(fā)明還公開了一種電容式觸摸傳感器、觸摸屏和顯示裝置。由于絕緣層和絕緣保護層使用同一個掩膜制作，從而減少了掩膜的使用數(shù)量，進而降低了觸摸屏的制作成本。另外，由于將透明導(dǎo)電層圖案的感應(yīng)電極圖案層和驅(qū)動電極圖案層分別制作在絕緣層的異側(cè)，從而使得驅(qū)動電極到感應(yīng)電極的電場線更加發(fā)散，增加了靈敏觸控度。
文檔編號G06F3/044GK102866816SQ201210321950
公開日2013年1月9日 申請日期2012年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月3日
發(fā)明者劉英明, 王海生, 楊盛際 申請人:北京京東方光電科技有限公司