專利名稱：位置檢測(cè)傳感器、位置檢測(cè)裝置以及位置檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種通過(guò)檢測(cè)由指示體指示的位置的靜電電容的變化從而進(jìn)行指示體所指示的位置的檢測(cè)的位置檢測(cè)傳感器、具有該位置檢測(cè)傳感器的位置檢測(cè)裝置以及上述傳感器及裝置所使用的位置檢測(cè)方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，作為觸控面板等所使用的指示體的位置檢測(cè)的方式盛行靜電電容方式的指示體檢測(cè)裝置的開發(fā)。在靜電電容方式中具有表面型(Surface Capacitive Type)和投影型(Projected Capacitive Type)兩種方式,兩方式均檢測(cè)傳感器電極與指示體(例如，手指、靜電筆等)之間的靜電耦合狀態(tài)的變化，從而檢測(cè)指示體的位置。
在例如專利文獻(xiàn)I (日本特開2009-265759號(hào)公報(bào))中，介紹了表面型的靜電電容方式的指示體檢測(cè)裝置。另外，投影型的靜電電容方式的指示體檢測(cè)裝置構(gòu)成為在例如玻璃等的透明基板或透明膜上以預(yù)定圖案形成多個(gè)電極，檢測(cè)指示體接近時(shí)的指示體與電極的靜電耦合狀態(tài)的變化。該投影型的靜電電容方式的指示體檢測(cè)裝置公開于例如專利文獻(xiàn)2(日本特開2003-22158號(hào)公報(bào))、專利文獻(xiàn)3 (日本特開平9-222947號(hào)公報(bào))、專利文獻(xiàn)4(日本特開平10-161795號(hào)公報(bào))等。而且，提案有從投影型靜電電容方式發(fā)展的被稱為交叉點(diǎn)靜電電容方式的指示體檢測(cè)裝置。圖13表示交叉點(diǎn)靜電電容方式的指示體檢測(cè)裝置中的傳感器部的概略結(jié)構(gòu)。該交叉點(diǎn)靜電電容方式的指示體檢測(cè)裝置能夠應(yīng)對(duì)同時(shí)進(jìn)行多根手指等多個(gè)指示體的檢測(cè)的多點(diǎn)接觸。在該交叉點(diǎn)靜電電容方式的指示體檢測(cè)裝置的位置檢測(cè)傳感器中，多個(gè)上部電極Ex和多個(gè)下部電極Ey沿著指示輸入面的例如X軸方向(橫向)以及Y軸方向(縱向)相互正交而配置。在該情況下，在上部電極Ex與下部電極Ey之間的重疊部分(交叉點(diǎn))形成有預(yù)定的靜電電容Co (固定電容)。而且，使用者的手指等指示體fg接近或者接觸了指示輸入面的位置，該位置的電極Ex、Ey與指示體fg之間形成有靜電電容Cf。而且，手指等指示體fg通過(guò)人體經(jīng)由預(yù)定的靜電電容Cg與地面連接。其結(jié)果是，由于該靜電電容Cf以及Cg，在該指示體fg的位置中，上部電極Ex與下部電極Ey之間的電荷變化。在現(xiàn)有的交叉點(diǎn)靜電電容方式的指示體檢測(cè)裝置中，通過(guò)檢測(cè)該電荷的變化，特定出在指示輸入面內(nèi)由指示體指示的位置。另外，在專利文獻(xiàn)5(日本特開2010-79791號(hào)公報(bào))中，公開了能夠檢測(cè)除了手指、靜電筆等以外的指示體的靜電電容型輸入裝置。該專利文獻(xiàn)5的輸入裝置的指示體檢測(cè)傳感器如圖14A所示具有第I基板2 ;經(jīng)由空氣層4相對(duì)于第I基板2相對(duì)的可撓性的第2基板3 ;在第I基板2的第2基板3側(cè)的面的大致整面形成的第I電極5 ;以及在第2基板3的第I基板2側(cè)的面形成的多個(gè)第2電極6。在該專利文獻(xiàn)5的輸入裝置的指示體檢測(cè)傳感器中，在第2基板3沒(méi)有被指示體按壓時(shí)，如圖14A所不，多個(gè)第2電極6的各自與第I電極5之間形成有靜電電容Cl。而且，如果第2基板3被指示體按壓到第I基板2偵彳，則由于第2基板3具有可撓性，因此如圖14B的箭頭所示，在按壓位置第2基板3向第I基板2側(cè)彎曲，第I基板2與第2基板3之間的距離變短，由該部分的第I電極5和第2電極6構(gòu)成的靜電電容成為大于上述Cl的C2。而且，如果如圖14C的箭頭所示被按壓，則通過(guò)第2電極6與第I電極5接觸而成為導(dǎo)通狀態(tài)。在專利文獻(xiàn)5的輸入裝置中，公開了 通過(guò)檢測(cè)由上述的第I電極5和第2電極6構(gòu)成的靜電電容大于Cl的情況，從而能夠檢測(cè)指示體向第2基板3的按壓輸入(按壓位置)，并且進(jìn)一步通過(guò)檢測(cè)第2電極6與第I電極5接觸而導(dǎo)通狀態(tài)，從而能夠確定在該按壓位置的按壓輸入?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn)I :日本特開2009-265759號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本特開2003-22158號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 :日本特開平9-222947號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 :日本特開平10-161795號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5 :日本特開2010-79791號(hào)公報(bào)在采用圖13的上述的交叉點(diǎn)靜電電容方式的指示體檢測(cè)傳感器中，電極Ex以及Ey之間的距離從物理上被固定，交叉點(diǎn)的電極之間的靜電電容Co也為固定值，例如0. 5pF。而且，在手指接近或接觸了電極時(shí)，通過(guò)人體帶有的靜電電容的影響，電極Ex以及電極Ey之間的靜電電容Co的值產(chǎn)生變化，因此通過(guò)檢測(cè)該變化，從而檢測(cè)作為指示體的手指。即，交叉點(diǎn)靜電電容方式的指示體檢測(cè)傳感器檢測(cè)人體等具有預(yù)定的靜電電容的指示體接近時(shí)的影響的程度。但是，在手指接近時(shí)的交叉點(diǎn)的靜電電容的變化非常小，對(duì)于電極Ex以及Ey之間的靜電電容Co的值為例如0. 5pF的情況，僅為0. 05pF左右。因此，指示體的檢測(cè)輸出的噪聲比所對(duì)應(yīng)的容限變得嚴(yán)格，進(jìn)行高靈敏度地檢測(cè)手指等的指示體是困難的，更何況檢測(cè)手指等的指示體的按壓力是非常困難的。另外，交叉點(diǎn)靜電電容方式的檢測(cè)方法為通過(guò)手指等導(dǎo)電體接近交叉點(diǎn)從而對(duì)電極之間的靜電電容施加影響的方式(相互電容)，因此只能檢測(cè)包含人體的導(dǎo)電體，存在如下問(wèn)題例如因手指的干燥程度而靈敏度改變，此外對(duì)橡膠手套等沒(méi)有反應(yīng)。在專利文獻(xiàn)5的發(fā)明的情況下，對(duì)指示體沒(méi)有上述制約，即使戴上橡膠手套等，也能進(jìn)行按壓指示位置的檢測(cè)。但是，專利文獻(xiàn)5的檢測(cè)方法也是靜電電容型，終究是通過(guò)檢測(cè)第2電極6接觸第I電極5而導(dǎo)通的狀態(tài)，從而確定按壓輸入。因此，即使能夠檢測(cè)被指示體按壓的位置，也難以高精度地檢測(cè)指示體對(duì)第2基板3的按壓力。S卩，第2基板3根據(jù)與指示體對(duì)第2基板3的按壓力對(duì)應(yīng)的大小而彎曲，因此直至第2電極6與第I電極5接觸為止，第I電極5與第2電極6之間的靜電電容與變短的距離成反比例而變大。但是，如果第2電極6與第I電極5接觸，則兩者導(dǎo)通，因此第I電極5與第2電極6之間的靜電電容變?yōu)榱?。因此，在專利文獻(xiàn)5的情況的指示體傳感器中，在第2電極6與第I電極5接觸之前，能夠基于靜電電容的變化檢測(cè)出指示體對(duì)第2基板3的按壓力。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于以上的點(diǎn)，其目的在于提供一種靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器、位置檢測(cè)裝置以及位置檢測(cè)方法，僅通過(guò)監(jiān)視靜電電容的變化，就能夠檢測(cè)指示體的指示位置，并且能夠高靈敏度且高精度地檢測(cè)施加于該指示位置的按壓力。為了解決上述課題，技術(shù)方案I涉及的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器，具有沿著第I方向配置的多個(gè)第I導(dǎo)體和沿著與上述第I方向交差的方向配置的多個(gè)第2導(dǎo)體，通過(guò)檢測(cè)與指示體所進(jìn)行的位置的指示對(duì)應(yīng)而在上述第I導(dǎo)體與上述第2導(dǎo)體之間形成的靜電電容的變化，從而檢測(cè)由上述指示體指示的位置，上述靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器的特征在于，上述多個(gè)第I導(dǎo)體具有可撓性，在上述多個(gè)第I導(dǎo)體與上述多個(gè)第2導(dǎo)體之間介入具有可撓性的電介質(zhì)部件，并且上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的一方的面與上述多個(gè)第I導(dǎo)體或上述多個(gè)第2導(dǎo)體抵接，與上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的一方的面抵接的上述多個(gè)第I導(dǎo)體或上述多個(gè)第2導(dǎo)體經(jīng)由上述具有可撓性的電介質(zhì)部件而相對(duì)的上述多 個(gè)第2導(dǎo)體或上述多個(gè)第I導(dǎo)體，與上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的另一方的面之間，通過(guò)間隔物相互分離預(yù)定的距離，通過(guò)上述多個(gè)第I導(dǎo)體對(duì)應(yīng)于上述指示體所進(jìn)行的位置的指示而被按壓，使上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的上述另一方的面與相對(duì)于上述另一方的面的上述多個(gè)第2導(dǎo)體或上述多個(gè)第I導(dǎo)體之間的抵接面積變化，由此引起上述多個(gè)第I導(dǎo)體與上述多個(gè)第2導(dǎo)體之間的上述靜電電容的變化，上述多個(gè)第I導(dǎo)體與上述多個(gè)第2導(dǎo)體中間介入了上述具有可撓性的電介質(zhì)部件。根據(jù)該技術(shù)方案I所述的發(fā)明的位置檢測(cè)傳感器，該位置檢測(cè)傳感器將具有可撓性的電介質(zhì)部件介入多個(gè)第I導(dǎo)體與多個(gè)第2導(dǎo)體之間。具有如下結(jié)構(gòu)該電介質(zhì)部件的一方的面與多個(gè)第I導(dǎo)體或多個(gè)第2導(dǎo)體抵接，并且該電介質(zhì)部件的另一方的面通過(guò)間隔物與多個(gè)第2導(dǎo)體或多個(gè)第I導(dǎo)體分離預(yù)定距離而相對(duì)。而且，如果通過(guò)指示體從多個(gè)第I導(dǎo)體側(cè)向多個(gè)第2導(dǎo)體側(cè)的方向按壓位置檢測(cè)傳感器，則具有可撓性的電介質(zhì)部件與相對(duì)于該具有可撓性的電介質(zhì)部件以預(yù)定距離分離而相對(duì)配置的多個(gè)第2導(dǎo)體或多個(gè)第I導(dǎo)體的抵接面積變化。即，與指示體的按壓對(duì)應(yīng)而具有可撓性的電介質(zhì)部件的與導(dǎo)體(電極)的抵接面積變化，其結(jié)果是，能夠與指示體的按壓對(duì)應(yīng)而使第I導(dǎo)體與第2導(dǎo)體之間形成的靜電電容較大地變化。由此，通過(guò)與指示體的按壓對(duì)應(yīng)而使具有可撓性的電介質(zhì)部件的與電極的抵接面積變化，能夠使第I導(dǎo)體與第2導(dǎo)體之間的靜電電容較大地變化，通過(guò)檢測(cè)該變化，能夠高靈敏度地檢測(cè)指示體的指示位置。另外，根據(jù)該靜電電容的變化量，能夠檢測(cè)施加了哪種程度的力(按壓力)。由此，通過(guò)使具有可撓性的電介質(zhì)部件的與電極的抵接面積與指示體的按壓對(duì)應(yīng)而變化，能夠使第I導(dǎo)體與第2導(dǎo)體之間的靜電電容較大地變化，能夠高靈敏度地檢測(cè)指示位置，并且能夠高靈敏度以及高精度地檢測(cè)施加于該指示位置的力(按壓力)。根據(jù)該發(fā)明，與指示體的按壓對(duì)應(yīng)，從而經(jīng)由電介質(zhì)部件所具有的厚度使第I導(dǎo)體與第2導(dǎo)體相互接近，并且通過(guò)使具有可撓性的電介質(zhì)部件的與導(dǎo)體的抵接面積變化，從而能夠引起靜電電容的較大地變化，能夠高靈敏度地檢測(cè)指示體的指示位置，并且能夠高靈敏度以及高精度地檢測(cè)施加于該指示位置的力(按壓力)。


圖I是用于說(shuō)明第I實(shí)施方式的帶顯示功能的設(shè)備I的概略結(jié)構(gòu)的分解立體圖。圖2是用于說(shuō)明第I實(shí)施方式的位置檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)例的框圖。圖3是用于說(shuō)明第I實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB的結(jié)構(gòu)例的圖。圖4是用于說(shuō)明對(duì)位置檢測(cè)傳感器IB進(jìn)行了指示操作的情況的位置檢測(cè)傳感器IB的狀態(tài)的圖。圖5是用于說(shuō)明本發(fā)明的動(dòng)作原理的圖。圖6是用于說(shuō)明間隔物23的結(jié)構(gòu)例的圖。
圖7是用于說(shuō)明位置檢測(cè)傳感器IB被按壓時(shí)的間隔物23的狀態(tài)的圖。圖8是表示位置檢測(cè)傳感器IB的Y-Y剖視圖的一部分(右端部)的圖。圖9是用于說(shuō)明位置檢測(cè)傳感器IB的變形例的圖。圖10是用于說(shuō)明位置檢測(cè)傳感器IB的其他的變形例的圖。圖11是用于說(shuō)明第2實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IBX的剖視圖。圖12是用于說(shuō)明位置檢測(cè)傳感器1B、1BX的變形例的圖。圖13是表示交叉點(diǎn)靜電電容方式的指示體檢測(cè)裝置中的傳感器部的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖14是用于說(shuō)明現(xiàn)有的位置檢測(cè)傳感器的一例的圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照

本發(fā)明的位置檢測(cè)傳感器、位置檢測(cè)裝置以及位置檢測(cè)方法的實(shí)施方式。在以下說(shuō)明的實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明本發(fā)明適用于稱為帶顯示功能的數(shù)位板裝置、數(shù)位板型信息終端或平板型信息終端等的帶顯示功能的設(shè)備的情況。[第I實(shí)施方式][帶顯示功能的設(shè)備I的概略結(jié)構(gòu)]圖I是用于說(shuō)明該實(shí)施方式的帶顯示功能的設(shè)備I的概略結(jié)構(gòu)的分解立體圖。如圖I所示，該實(shí)施方式的帶顯示功能的設(shè)備I在框體IE內(nèi)的最下層容納母板1D，在其上以顯示畫面為上側(cè)(前面板IA側(cè))的方式設(shè)置有LCD (Liquid Crystal Display,液晶顯示器)1C。在該IXDlC的顯示畫面?zhèn)仍O(shè)置有位置檢測(cè)傳感器IB。而且，在位置檢測(cè)傳感器IB的上側(cè)設(shè)置有前面板1A，上述的各容納物1D、1C、1B保持在框體IE內(nèi)。在此，在母板ID形成有通信電路；IXD1C用的控制電路；向位置檢測(cè)傳感器IB供給信號(hào)的信號(hào)供給電路；從位置檢測(cè)傳感器IB接收信號(hào)并檢測(cè)指示位置等的信號(hào)接收電路等各種電路。LCDlC為用于實(shí)現(xiàn)該實(shí)施方式的帶顯示功能的設(shè)備I的顯示功能的顯示單元。位置檢測(cè)傳感器IB構(gòu)成為適用該發(fā)明，實(shí)現(xiàn)作為受理用戶的各種指示輸入(操作輸入)的受理單元的功能。如上所述，經(jīng)由位置檢測(cè)傳感器IB觀察IXDlC的顯示畫面。因此，位置檢測(cè)傳感器IB構(gòu)成為具有透光性(透明性)。由此，用戶從帶顯示功能的設(shè)備I的前面板IA側(cè)觀察顯示于IXDlC的信息，并且通過(guò)位置檢測(cè)傳感器1B，能夠進(jìn)行各種指示輸入。此外，雖然圖I中沒(méi)有圖示，但I(xiàn)XDlC和位置檢測(cè)傳感器IB分別與母板所對(duì)應(yīng)的電路部連接。而且，雖然詳情后述，但位置檢測(cè)裝置由位置檢測(cè)傳感器IB與設(shè)置于母板ID的信號(hào)供給電路和信號(hào)接收電路構(gòu)成。另外，帶顯示功能的設(shè)備I的外觀的大小以例如以紙張尺寸而言A5版尺寸、B5版尺寸、A4版尺寸等各種大小來(lái)實(shí)現(xiàn)。[位置檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)例]接著，說(shuō)明包括位置檢測(cè)傳感器IB的位置檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)例。圖2是用于說(shuō)明該實(shí)施方式的位置檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)例的框圖。如圖2所示，該實(shí)施方式的位置檢測(cè)裝置由圖I所示的位置檢測(cè)傳感器1B、信號(hào)供給電路200、信號(hào)接收電路300、控制電路40構(gòu)成。控制電路40為用于控制該實(shí)施方式的位置檢測(cè)裝置的各部分的電路，并且裝配例如微型計(jì)算機(jī)而構(gòu)成。位置檢測(cè)傳感器IB具有與信號(hào)供給電路200連接的多個(gè)第I導(dǎo)體(發(fā)送導(dǎo)體)和與信號(hào)接收電路300連接的多個(gè)第2導(dǎo)體(接收導(dǎo)體)。而且，第I導(dǎo)體IlX1 IlXm構(gòu)成發(fā)送導(dǎo)體組11。另外，第2導(dǎo)體211 21￥ 構(gòu)成接收導(dǎo)體組21。
此外，在以下的說(shuō)明中，除了特殊區(qū)別而表示的情況，將第I導(dǎo)體IlX1-IlXm統(tǒng)稱為第I導(dǎo)體11X，將第2導(dǎo)體21Yi 21Yn統(tǒng)稱為第2導(dǎo)體21Υ。另外，構(gòu)成發(fā)送導(dǎo)體組11的第I導(dǎo)體IlX的數(shù)量和構(gòu)成接收導(dǎo)體組21的第2導(dǎo)體21Υ的數(shù)量與由用戶操作的位置檢測(cè)傳感器IB的指示輸入面IBS的尺寸等實(shí)施方式對(duì)應(yīng)而適當(dāng)設(shè)定。另外，在該實(shí)施方式中，發(fā)送導(dǎo)體組11側(cè)成為由用戶的手指等指示體進(jìn)行指示輸入的指示輸入面IBS。在圖2中，右下端部所示的X軸箭頭表示X軸方向，同樣地Y軸箭頭表示Y軸方向。而且，雖然詳情后述，但發(fā)送導(dǎo)體組11構(gòu)成為將沿著位置檢測(cè)傳感器IB的Y軸方向延伸的細(xì)長(zhǎng)(平板狀)的m根第I導(dǎo)體IlX沿著X軸方向隔開預(yù)定間隔而排列。另外，接收導(dǎo)體組21構(gòu)成為將沿著位置檢測(cè)傳感器IB的X軸方向延伸的細(xì)長(zhǎng)(平板狀)的η根第2導(dǎo)體21Υ沿著Y軸方向隔開預(yù)定間隔而排列。另外，雖然詳情后述，但發(fā)送導(dǎo)體組11和接收導(dǎo)體組21經(jīng)由電介質(zhì)部件和多個(gè)間隔物而相對(duì)配置。由此，在第I導(dǎo)體IlX與第2導(dǎo)體21Υ相對(duì)的部分構(gòu)成電容器。此外，在該實(shí)施方式中，第I導(dǎo)體IlX以及第2導(dǎo)體21Υ使用例如由銀圖案或IT0(Indium Tin Oxide 氧化銦錫)膜構(gòu)成的透明電極膜或者銅箔等形成。信號(hào)供給電路200將信號(hào)供給到構(gòu)成發(fā)送導(dǎo)體組11的各第I導(dǎo)體IIX，該信號(hào)用于能夠檢測(cè)指示體對(duì)位置檢測(cè)傳感器IB的指示輸入面IBS的指示位置和施加于指示位置的按壓力。如圖2所示，信號(hào)供給電路200具有選擇電路24和信號(hào)產(chǎn)生電路25。選擇電路24與控制電路40的控制對(duì)應(yīng)，將來(lái)自信號(hào)產(chǎn)生電路25的信號(hào)選擇性地供給到第I導(dǎo)體IlXo信號(hào)產(chǎn)生電路25與控制電路40的控制對(duì)應(yīng)，產(chǎn)生具有預(yù)定的頻率的正弦波、矩形波等交流信號(hào)，并將其供給到選擇電路24。而且，該實(shí)施方式的選擇電路24通過(guò)控制電路40進(jìn)行切換控制，以使在預(yù)定時(shí)間內(nèi)對(duì)所有的第I導(dǎo)體IlX1 IIXm供給來(lái)自信號(hào)產(chǎn)生電路25的信號(hào)。由此，通過(guò)選擇電路24將來(lái)自信號(hào)產(chǎn)生電路25的交流信號(hào)選擇性地供給到第I導(dǎo)體IlX是用于能夠在指示輸入面IBS上檢測(cè)多個(gè)指示位置和施加于這些指示位置的按壓力。信號(hào)接收電路300通過(guò)對(duì)從構(gòu)成接收導(dǎo)體組21的多個(gè)第2導(dǎo)體21Y得到的接收信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理，從而進(jìn)行指示體對(duì)指示輸入面IBS上的指示位置的檢測(cè)和施加于該指示位置的按壓力的檢測(cè)。如圖2所示，信號(hào)接收電路300具有放大電路31、A/D (Analog/Digital)轉(zhuǎn)換電路32、指示位置以及按壓力檢測(cè)電路33。放大電路31放大從構(gòu)成接收導(dǎo)體組21的第2導(dǎo)體21Y得到的接收信號(hào)，并供給至IJ A/D轉(zhuǎn)換電路32。A/D轉(zhuǎn)換電路32將在放大電路31中放大的來(lái)自第2導(dǎo)體21Y的接收信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，并將其供給到指示位置以及按壓力檢測(cè)電路33。在指示體對(duì)位置檢測(cè)傳感器IB進(jìn)行了指示輸入的情況下，指示位置以及按壓力檢測(cè)電路33基于來(lái)自A/D轉(zhuǎn)換電路32的信號(hào)，進(jìn)行所指示的指示輸入面IBS上的指示位置的檢測(cè)(辨別)和施加的力(按壓力)的檢測(cè)。如上所述，在第I導(dǎo)體IlX與第2導(dǎo)體21Y相對(duì)的部分構(gòu)成電容器。而且，雖然詳情后述，但如果對(duì)位置檢測(cè)傳感器IB施加按壓力，則在施加了該按壓力的發(fā)送導(dǎo)體組11側(cè)與接收導(dǎo)體組21側(cè)之間，層疊的各部件的接觸狀態(tài)變化。S卩，如果按壓位置檢測(cè)傳感器1B，則介入發(fā)送導(dǎo)體組11與接收導(dǎo)體組21之間的電介質(zhì)部件與發(fā)送導(dǎo)體組11或接收導(dǎo)體組21的接觸狀態(tài)變化。在此，所謂接觸狀態(tài)不只是層疊的部件直接接觸的情況，還包括相互有距離地接近的狀態(tài)。即，如果例如從發(fā)送導(dǎo)體組 11側(cè)向接收導(dǎo)體組21側(cè)施加按壓力，則電介質(zhì)部件的與第2導(dǎo)體21Y或第I導(dǎo)體IlX的接觸面積增加。而且，電介質(zhì)部件與該電介質(zhì)部件所相對(duì)的接收導(dǎo)體組21或發(fā)送導(dǎo)體組11之間的接觸面積的增加成為主要的因素，從而與按壓力對(duì)應(yīng)，由第I導(dǎo)體IlX與第2導(dǎo)體21Y構(gòu)成的電容器的靜電電容變化。因此，在靜電電容變化的部分中，第2導(dǎo)體21Y中所流動(dòng)的信號(hào)(電流)增加。因此，通過(guò)監(jiān)視多個(gè)第2導(dǎo)體21Y的各導(dǎo)體中所流動(dòng)的信號(hào)量(電流量)，能夠檢測(cè)出指示體對(duì)位置檢測(cè)傳感器IB上的哪個(gè)位置進(jìn)行了指示操作。此外，通過(guò)來(lái)自控制電路40的信息能夠識(shí)別出交流信號(hào)供給到哪個(gè)第I導(dǎo)體11X。通過(guò)上述信息，能夠檢測(cè)出在供給有來(lái)自信號(hào)產(chǎn)生電路25的交流信號(hào)的第I導(dǎo)體IlX與對(duì)應(yīng)于指示體的指示位置而信號(hào)量發(fā)生變化的第2導(dǎo)體21Y交差的部分是指示體指示的位置區(qū)域。而且，對(duì)應(yīng)于指示體的按壓而電容器的靜電電容發(fā)生變化，因此通過(guò)檢測(cè)第2導(dǎo)體21Y中所流動(dòng)的信號(hào)量，也能夠檢測(cè)由指示體對(duì)位置檢測(cè)傳感器IB施加了多大量的按壓力。由此，指示位置以及按壓力檢測(cè)電路33能夠檢測(cè)指示體所指示的位置和指示體的按壓力所對(duì)應(yīng)的信號(hào)。使用該指示位置以及按壓力檢測(cè)電路33檢測(cè)的指示位置和按壓力被供給到母板ID中的預(yù)定的控制電路，用作來(lái)自用戶的輸入信息。[位置檢測(cè)傳感器IB的結(jié)構(gòu)例]接著，參照?qǐng)D3 圖5具體說(shuō)明位置檢測(cè)傳感器IB的結(jié)構(gòu)例。圖3是用于說(shuō)明該實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB的結(jié)構(gòu)例的圖，圖4是用于說(shuō)明對(duì)該實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB進(jìn)行了指示輸入的情況的位置檢測(cè)傳感器IB的狀態(tài)的圖。圖5是用于說(shuō)明本發(fā)明的動(dòng)作原理的圖。如上所述，該實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB并非現(xiàn)有的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器那樣的，檢測(cè)因電荷通過(guò)指示體逃逸到地面而產(chǎn)生的靜電電容的變化。該實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB使具有可撓性的電介質(zhì)部件13介入而檢測(cè)指示體的按壓力所對(duì)應(yīng)的第I導(dǎo)體IlX與第2導(dǎo)體21Y之間的靜電電容的變化。因此，該實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB的用于指示輸入的指示體不需要為手指等導(dǎo)體，也可以是絕緣體。因此，該實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB即使使用戴上橡膠手套的用戶的手指進(jìn)行操作，也能夠良好地檢測(cè)其指示位置以及按壓力。而且，圖3A是從位置檢測(cè)傳感器IB的指示輸入面1BS(由手指、筆等指示體指示輸入的面)側(cè)觀看的正視圖。另外，圖3B為圖3A中的X-X剖視圖，圖3C為圖3A中的Y-Y剖視圖。此外，在圖3所示的位置檢測(cè)傳感器IB中，從指示輸入面IBS側(cè)觀看，第I導(dǎo)體IlX排列的方向?yàn)閄軸方向，第2導(dǎo)體21Y排列的方向?yàn)閅軸方向。圖3B、3C所示，該實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB將上側(cè)基板(第I基板)10與下側(cè)基板(第2基板)20上下配置而構(gòu)成。上側(cè)基板10的與下側(cè)基板20的相對(duì)面相反側(cè)的面IOa成為指示輸入面IBS。上側(cè)基板10由可撓性的材料構(gòu)成，該可撓性的材料能夠在由指示體對(duì)指示輸入面IBS (上側(cè)基板10的上表面IOa)按壓時(shí)向下側(cè)基板20側(cè)彎曲，在該例子中，由厚度較薄 的玻璃基板或膜基板構(gòu)成，該膜基板由例如PET (polyethylene terephthalate,聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)、PP (polypropylene,聚丙烯)>LCP (liquid crystal polymer,液晶聚合物)等透明的合成樹脂構(gòu)成。在該例子中，下側(cè)基板20由玻璃基板或剛體的透明的合成樹脂構(gòu)成。而且，在上側(cè)基板10的與下側(cè)基板20相對(duì)面?zhèn)?，分別具有預(yù)定的寬度Wx且沿著Y軸方向延伸的m(m為2以上的整數(shù))根細(xì)長(zhǎng)(平板狀)的第I導(dǎo)體IlX1UlXy…、IlXmW預(yù)定的排列間距PxOWx)沿著X軸方向排列。在該例子中，上述第I導(dǎo)體IlX1UlXy…、IlXm分別通過(guò)由IT0(Indium Tin Oxide)構(gòu)成的透明電極而構(gòu)成。從上述第I導(dǎo)體11X:、IlX2、…、IlXni分別導(dǎo)出第I連接導(dǎo)體12Χ^12Χ2、…、12ΧΠ。上述第I連接導(dǎo)體12Χ^12Χ2、…、12Xm與構(gòu)成設(shè)置于母板ID的圖2所示的信號(hào)供給電路200的選擇電路24連接。另外，在下側(cè)基板20的與上側(cè)基板10相對(duì)面?zhèn)?，分別具有預(yù)定的寬度Wy且沿著X軸方向延伸的η (η為2以上的整數(shù))根細(xì)長(zhǎng)(平板狀)的第2導(dǎo)體21Υρ21Υ2、…、21Yn以預(yù)定的排列間距PyOWy)沿著Y軸方向排列。在該例子中，上述第2導(dǎo)體21Υρ21Υ2、…、21Yn分別通過(guò)由ITO(Indium Tin Oxide)構(gòu)成的透明電極而構(gòu)成。從上述第2導(dǎo)體21Y”21Y2、…、21Yn分別導(dǎo)出第2連接導(dǎo)體上述第2連接導(dǎo)體22Υρ22Υ2、…、22Υη與構(gòu)成設(shè)置于母板ID的圖2所示的信號(hào)接收電路300的放大電路31連接。此外，在該實(shí)施方式中，上述寬度Wx、Wy選定為例如Wx=Wy=2 2. 5mm，另外上述排列間距Px、Py選定為例如Px=Py=3. 2mm。另外,在由玻璃基板或合成樹脂原料構(gòu)成的膜基板等所適用的具有可撓性的上側(cè)基板10，第I導(dǎo)體IlX通過(guò)蒸鍍、印刷等已知的導(dǎo)體形成工藝與上側(cè)基板10 —體地形成。同樣地，在玻璃基板或合成樹脂基板等所適用的下側(cè)基板20，第2導(dǎo)體21Y通過(guò)蒸鍍、印刷等已知的導(dǎo)體形成工藝與下側(cè)基板20 —體地形成。而且，電介質(zhì)部件13以覆蓋上述多個(gè)第I導(dǎo)體IlX1 IlXni的整體的方式設(shè)置于上側(cè)基板10。該電介質(zhì)部件13通過(guò)由例如PET (polyethylene terephthalate)、PP (polypropylene)、LCP (liquid crystal polymer)等相對(duì)介電常數(shù)為 2 10左右的電介質(zhì)構(gòu)成的透明的電介質(zhì)膜而構(gòu)成。該電介質(zhì)部件13的厚度設(shè)為例如5 15μπι。另外，玻璃原料也能夠適用于電介質(zhì)部件13。而且，該電介質(zhì)部件13也可以通過(guò)高密度地充填了高電容率填充物的電介質(zhì)膜(相對(duì)介電常數(shù)為40以上)而構(gòu)成。此外，作為電介質(zhì)部件13，可適用透明環(huán)氧樹脂、光致抗蝕劑用丙烯酸類樹脂、高透光性氟樹脂、一液型聚氨酯樹脂等具有透明性的各種電介質(zhì)。而且，上側(cè)基板10的周邊部與下側(cè)基板20的周邊部以隔開預(yù)定的空隙d的方式經(jīng)由框形狀的粘合部件30粘合。因此，在該實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB中，空氣層14介入下側(cè)基板20的形成有第2導(dǎo)體21Yi 21Yn的面與上側(cè)基板10的形成有電介質(zhì)部件13的面之間。而且，在該實(shí)施方式中，在下側(cè)基板20的與上側(cè)基板10相對(duì)面?zhèn)仍O(shè)置有間隔物23，以使在不存在對(duì)指示輸入面IBS(IOa)的按壓力時(shí)上側(cè)基板10與下側(cè)基板20分離預(yù)定的距離，即維持空氣層14的層厚。具體而言，在下側(cè)基板20上且第2導(dǎo)體21Yp21Y2、…、21Yn與第I導(dǎo)體IlX1UlXy…、IlXmS間上交差而重疊的區(qū)域以外的區(qū)域(導(dǎo)體之間的間隙區(qū)域)，每隔預(yù)定的間隔配置有具有突起形狀的間隔物23。
在該例子中，間隔物23沿著X軸方向在第I導(dǎo)體IlX1UlXy…、IlXni的相互相鄰的導(dǎo)體之間以排列間距Px排列，并且沿著Y軸方向在第2導(dǎo)體21Yp21Y2、…、21Yn的相互相鄰的導(dǎo)體之間以排列間距Py排列。上述間隔物23通過(guò)例如印刷透明的電介質(zhì)材料或者點(diǎn)式打印機(jī)中的墨水吐出那樣的原理來(lái)形成。另外，間隔物23的高度與空隙d相同或者在其以下，例如20iim IOOiim左右。其結(jié)果是，如果指示輸入面IBS被指示體按壓，則在第I導(dǎo)體IlX1UlXy -UlXm與第2導(dǎo)體21Yp21Y2、…、21Yn空間上交差的部分，上側(cè)基板10向下側(cè)基板20側(cè)彎曲。另外，構(gòu)成發(fā)送導(dǎo)體組11的多個(gè)第I導(dǎo)體IlX分別相對(duì)于上側(cè)基板10而言是非常薄的導(dǎo)體，因此位于與上側(cè)基板10的彎曲對(duì)應(yīng)的位置的第I導(dǎo)體IlX也\彎曲。而且，電介質(zhì)部件13也例如較薄地形成為膜狀且具有可撓性，與上側(cè)基板10的彎曲對(duì)應(yīng)，電介質(zhì)部件13的對(duì)應(yīng)的位置也彎曲。因此，如果手指、筆等指示體按壓指示輸入面1BS，則第I導(dǎo)體IlX以與第2導(dǎo)體21Y側(cè)接近的方式相互接近。在該情況下，如果假定將手指用作指示體對(duì)位置檢測(cè)傳感器IB進(jìn)行指示輸入，則盡管存在個(gè)人差異，但指示輸入面IBS上的手指接觸的部分成為大致直徑為9mm左右的大致圓形狀或橢圓形狀。如上所述，該實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB的分別具有2. 0 2. 5mm的寬度的第I導(dǎo)體IlX與第2導(dǎo)體21Y以排列間距3. 2mm交差而排列。因此，如果手指接觸到位置檢測(cè)傳感器IB的指示輸入面1BS，則其按壓部分成為例如在圖4A中圓形所示的區(qū)域。即，在該按壓部分的區(qū)域中，在各自的排列方向上，包括相互相鄰的3根第I導(dǎo)體IlX以及第2導(dǎo)體21Y。在以斜線表示的區(qū)域中，上側(cè)基板10、第I導(dǎo)體IIX和電介質(zhì)部件13彎曲，從而接近于第2導(dǎo)體21Y。圖4B為與圖4A對(duì)應(yīng)且手指按壓位置檢測(cè)傳感器IB的指示輸入面IBS的情況的第I導(dǎo)體IlX2部分的Y-Y剖視圖。S卩，圖4B為與第I導(dǎo)體IlX2部分的圖3C所示的Y-Y剖視圖相同的情況。該例子示意地表示以在指示輸入面IBS上且第I導(dǎo)體IlX2與第2導(dǎo)體2IY3交差的部分為中心，通過(guò)手指施加按壓力的初期的狀態(tài)。如圖4B所示，如果通過(guò)手指逐漸按壓指示輸入面1BS，則第I導(dǎo)體IlX2在與第2導(dǎo)體21Y2、21Y3、21Y4相對(duì)的部分彎曲，由此電介質(zhì)部件13接近各第2導(dǎo)體21Y2、21Y3、21Y4。而且，通過(guò)電介質(zhì)部件13與第2導(dǎo)體21Y2、21Y3、21Y4抵接，最終在電介質(zhì)部件13與第2導(dǎo)體21Y2、21Y3、21Y4之間形成的各抵接面積增加。在此，參照?qǐng)D5說(shuō)明本發(fā)明的動(dòng)作原理。一般而言，電容器的靜電電容C通過(guò)下面的⑴式計(jì)算。電容器的靜電電容C= ε 0S/D …(I)在該(I)式中，Stl為介入電極間的電介質(zhì)的相對(duì)介電常數(shù)，S為相對(duì)的電極的面積，D為相對(duì)的電極間的距離。在此，相對(duì)介電常數(shù)Stl由介入電極間的電介質(zhì)部件來(lái)唯一確定。多個(gè)第2導(dǎo)體21Y在各導(dǎo)體間設(shè)有預(yù)定的間隙(Py-Wy)的狀態(tài)下，配置于下側(cè)基板20。另外，間隔物23以預(yù)定的間隔且具有預(yù)定的形狀以及高度的方式設(shè)置于導(dǎo)體間間隙(Py-Wy)的區(qū)域。具有可撓性的多個(gè)第I導(dǎo)體IlX在各導(dǎo)體間設(shè)有預(yù)定的間隙(Px-Wx)的狀態(tài)下，配置于具有可撓性的上側(cè)基板10。電介質(zhì)部件13也具有可撓性，并且以覆蓋多個(gè)第I導(dǎo)體IlX的方式與上側(cè)基板10抵接。另外，電介質(zhì)部件13與多個(gè)第2導(dǎo)體21Y以相互相對(duì)的方式配置。 在本發(fā)明中，應(yīng)用⑴式所示的電容器的原理，且具有引起第I導(dǎo)體IlX與第2導(dǎo)體2IY之間形成的靜電電容的較大的變化的結(jié)構(gòu)。S卩，在上側(cè)基板10沒(méi)有被指示體按壓的狀態(tài)下，電介質(zhì)部件13通過(guò)間隔物23以預(yù)定的距離與第2導(dǎo)體2IY3分離。接著，如果上側(cè)基板10沿著從上側(cè)基板10向下側(cè)基板20的方向被指示體按壓，則如圖5A所示，由于上側(cè)基板10、第I導(dǎo)體11X2、電介質(zhì)部件13分別具有可撓性，因此成為第I導(dǎo)體IlX2經(jīng)由電介質(zhì)部件13與第2導(dǎo)體21Y3抵接的狀態(tài)。如圖5B所示，如果通過(guò)指示體施加更大的按壓力，則第I導(dǎo)體IlX2與第2導(dǎo)體21Y3之間的距離為由電介質(zhì)部件13的厚度規(guī)定的預(yù)定的值，與指示體的按壓對(duì)應(yīng)而電介質(zhì)部件13與第2導(dǎo)體21Y3的抵接面積變化。即，在本發(fā)明中，如果通過(guò)指示體施加按壓力，則第I導(dǎo)體IIX2與第2導(dǎo)體2IY3之間經(jīng)由電介質(zhì)部件13的厚度形成相互極其接近的距離關(guān)系，從而提高作為電容器的靜電電容，在進(jìn)一步如上接近狀態(tài)下，電介質(zhì)部件13與抵接于該電介質(zhì)部件13的第2導(dǎo)體21Y3之間形成的抵接面積與按壓力對(duì)應(yīng)而變化，從而作為電容器的靜電電容與按壓力對(duì)應(yīng)而變化。即，如果施加按壓力，則通過(guò)上述的(I)式中的距離D成為最小值來(lái)確保較大的靜電電容，而且在該狀態(tài)下通過(guò)引起與按壓力對(duì)應(yīng)的S的變化，能夠高靈敏度以及高精度地檢測(cè)有無(wú)按壓力以及按壓力的大小。但是，在該實(shí)施方式中，在未通過(guò)指示體對(duì)位置檢測(cè)傳感器IB的指示輸入面IBS施加按壓力的狀態(tài)下，電極之間的距離(空隙)D設(shè)為例如ΙΟΟμπι左右。但是，如果通過(guò)指示體對(duì)位置檢測(cè)傳感器IB的指示輸入面IBS施加按壓力，則接收導(dǎo)體組21與發(fā)送導(dǎo)體組11經(jīng)由電介質(zhì)部件13而相互抵接。在該情況下，接收導(dǎo)體組21或發(fā)送導(dǎo)體組11與電介質(zhì)部件13抵接的面積S與按壓力對(duì)應(yīng)而變化。如圖5所示，在上述施加按壓力的狀態(tài)下，接收導(dǎo)體組21與發(fā)送導(dǎo)體組11經(jīng)由電介質(zhì)部件13而相互抵接，并且電介質(zhì)部件13的厚度與(I)式所示的電極間的距離(空隙)D相當(dāng)。在該實(shí)施方式中，作為一例，電介質(zhì)部件13的厚度設(shè)為10 μ m左右。S卩，如果參照?qǐng)D4A、4B所示的本發(fā)明的實(shí)施方式而更詳細(xì)地說(shuō)明，則在未通過(guò)指示體對(duì)位置檢測(cè)傳感器IB的指示輸入面IBS施加按壓力的狀態(tài)下，與發(fā)送導(dǎo)體組11抵接的具有10 μ m左右的厚度的電介質(zhì)部件13處于通過(guò)間隔物23以預(yù)定的距離(10 μ m 60 u m)與接收導(dǎo)體組21分離的狀態(tài)。如果通過(guò)指示體對(duì)位置檢測(cè)傳感器IB的指示輸入面IBS施加按壓力，則電介質(zhì)部件13與構(gòu)成接收導(dǎo)體組21的預(yù)定的第2導(dǎo)體21Y抵接，并且與按壓力對(duì)應(yīng)而電介質(zhì)部件13與預(yù)定的第2導(dǎo)體21Y的抵接面積變化。在該情況下，處于電介質(zhì)部件13與預(yù)定的第2導(dǎo)體21Y抵接的狀態(tài)，因此第I導(dǎo)體IlX與第2導(dǎo)體21Y之間經(jīng)由具有IOym左右的厚度的電介質(zhì)部件13而保持相互極其近的距離關(guān)系。由上述的記載可知，在本發(fā)明中，應(yīng)用電容器的原理，且具有對(duì)第I導(dǎo)體IlX與第2導(dǎo)體21Y之間形成的靜電電容引起較大的變化的結(jié)構(gòu)。即，如果通過(guò)指示體對(duì)位置檢測(cè)傳感器IB的指示輸入面IBS施加按壓力，則第I導(dǎo)體IIX與第2導(dǎo)體21Y之間經(jīng)由電介質(zhì)部件13形成相互極其接近的距離關(guān)系，從而提高作為電容器的靜電電容。在進(jìn)一步如上接近狀態(tài)下，電介質(zhì)部件13與抵接于該電介質(zhì)部件13的第2導(dǎo)體21Y之間形成的抵接面積與按壓力對(duì)應(yīng)而變化，從而作為電容器的靜電電容與按壓力對(duì)應(yīng)而變化。即，如果施加按壓力，則通過(guò)上述的(I)式中的距離D成為與電介質(zhì)部件13的厚度對(duì)應(yīng)的最小值從而確保較大的靜電電容，而且在該狀態(tài)下通過(guò)引起與按壓力對(duì)應(yīng)的S的變化，能夠高靈敏度以及高精度地檢測(cè)按壓力的有無(wú)以及按壓力的大小。 [間隔物23的結(jié)構(gòu)例]圖6、圖7是用于說(shuō)明間隔物23的結(jié)構(gòu)例的圖。如上所述，間隔物23通過(guò)印刷透明的電介質(zhì)材料或者如點(diǎn)式打印機(jī)的墨水吐出原理那樣噴涂電介質(zhì)材料而形成。因此,如圖6所示，間隔物23為半球狀或圓柱狀且其頭部可設(shè)為半球狀。此外，間隔物23的形狀不限于圖6所示的形狀。例如，形成為圓柱狀或多角柱狀，或者形成為圓錐狀或多角錐狀，也可以為其他各種形狀。另外，間隔物23可以通過(guò)例如透明硅橡膠等具有彈性的材料而形成。而且，在未通過(guò)指示體對(duì)位置檢測(cè)傳感器IB的指示輸入面IBS施加按壓力的狀態(tài)下，通過(guò)間隔物23，與發(fā)送導(dǎo)體組11抵接的電介質(zhì)部件13相對(duì)于接收導(dǎo)體組21分離預(yù)定距離。接著，如果通過(guò)指示體對(duì)位置檢測(cè)傳感器IB的指示輸入面IBS施加按壓力，則如上所述，通過(guò)上側(cè)基板10、發(fā)送導(dǎo)體組11和電介質(zhì)部件13彎曲，電介質(zhì)部件13與構(gòu)成接收導(dǎo)體組21的第2導(dǎo)體2IY抵接。S卩，如圖7所示，如果作為指示體的手指按壓位置檢測(cè)傳感器IB的指示輸入面1BS，則上側(cè)基板10、構(gòu)成發(fā)送導(dǎo)體組11的第I導(dǎo)體IlX2和電介質(zhì)部件13彎曲，最終成為電介質(zhì)部件13與構(gòu)成接收導(dǎo)體組21的第2導(dǎo)體21Y抵接的狀態(tài)。在該抵接狀態(tài)下，電介質(zhì)部件13與構(gòu)成接收導(dǎo)體組21的第2導(dǎo)體21Y抵接的面積與按壓力對(duì)應(yīng)而變化。通過(guò)具有這樣的結(jié)構(gòu)，能夠高靈敏度以及高精度地檢測(cè)指示輸入面IBS上的指示位置和施加于指示位置的按壓力。此外，在圖7中，間隔物23具有彈性，并且產(chǎn)生與手指的按壓力對(duì)應(yīng)的彈性變形。[第I實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB的結(jié)構(gòu)的總結(jié)]接著，總結(jié)第I實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB的基本的結(jié)構(gòu)。圖8是表示與圖3C所示的Y-Y剖視圖同樣的位置檢測(cè)傳感器IB的Y-Y剖視圖的一部分(右端部)的圖。如使用圖3說(shuō)明的那樣，在該第I實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB中，在上側(cè)基板10的與下側(cè)基板20相對(duì)的面，沿著Y軸方向延伸的具有預(yù)定寬度Wx的多個(gè)第I導(dǎo)體(發(fā)送導(dǎo)體)11X以預(yù)定的間距Px沿著X軸方向排列。而且，電介質(zhì)部件13以覆蓋多個(gè)第I導(dǎo)體11X(發(fā)送導(dǎo)體組11)的方式抵接。另一方面，在下側(cè)基板20的與上側(cè)基板10相對(duì)的面，沿著X軸方向延伸的具有預(yù)定寬度Wy的多個(gè)第2導(dǎo)體(接收導(dǎo)體)21Y以預(yù)定的間距Py沿著Y軸方向排列。另外，如圖3A所示的那樣，在上側(cè)基板10的與下側(cè)基板20相對(duì)的面，在構(gòu)成多個(gè)第I導(dǎo)體IlX的各導(dǎo)體之間設(shè)有預(yù)定的間隙(Px-Wx)。同樣地，在下側(cè)基板20的與上側(cè)基板10相對(duì)的面，在構(gòu)成多個(gè)第2導(dǎo)體21Y的各導(dǎo)體之間設(shè)有預(yù)定的間隙(Py-Wy)。在該例子中，間隔物23以預(yù)定的間隔配置于設(shè)置在下側(cè)基板20上的多個(gè)第2導(dǎo)體21Y的各導(dǎo)體之間所設(shè)有的間隙的區(qū)域且與第I導(dǎo)體IlX空間上不重合的位置。而且，具有經(jīng)由多個(gè)第I導(dǎo)體IlX而抵接的電介質(zhì)部件13的上側(cè)基板10與配置有多個(gè)第2導(dǎo)體21Y和間隔物23的下側(cè)基板20，在上側(cè)基板10和下側(cè)基板20的各周邊部通過(guò)粘合部件30粘合。由此，構(gòu)成為圖8所示的層疊構(gòu)造的位置檢測(cè)傳感器1B。如以下那樣示出圖8所示的各部件的厚度的一例。上側(cè)基板10的厚度為例如175μπι 300μπι左右，第I導(dǎo)體IlX的厚度為例如O. I μ m左右，電介質(zhì)部件13的厚度為例如IOym左右。另外，下側(cè)基板20的厚度為例如700 μ m左右，第2導(dǎo)體21Y的厚度為例 如O. I μ m左右。另外，間隔物23的高度為例如ΙΟμπι 60μπι左右，間隔物的與下側(cè)基板20抵接的面的直徑為例如50 μ m左右。而且，雖然從下側(cè)基板20到電介質(zhì)部件13的距離(空隙)d依賴于間隔物23的高度，但例如20μπι IOOym左右。此外，第I導(dǎo)體IlX以及第2導(dǎo)體21Υ的厚度極其薄，在該圖中，為了明確地表示上述配置位置，標(biāo)注了厚度而表示。另外，雖然間隔物23原本是與電介質(zhì)部件13抵接的，但在各圖中以強(qiáng)迫分離的狀態(tài)表示。另外，在第I實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB中，第I導(dǎo)體IlX和第2導(dǎo)體21Υ的寬度均為例如2. Omm 2. 5mm左右，間隔物23的配置間距為例如3. 2mm左右。此外，在此說(shuō)明的各部件的厚度、高度、寬度、排列間距、空隙的距離等均是一例，可以適當(dāng)調(diào)整。[第I實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB的變形例]而且，具有圖8所示的基本的結(jié)構(gòu)的第I實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB可以有各種變形。圖9、圖10是用于說(shuō)明第I實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB的變形例的圖。此外，在圖9、圖10中，與圖8所示的各部分同樣構(gòu)成的部分標(biāo)注相同的參考標(biāo)號(hào)，并省略該部分的說(shuō)明。在圖9A所示的位置檢測(cè)傳感器中，與間隔物23a—體地形成的電介質(zhì)部件13a經(jīng)由多個(gè)第I導(dǎo)體IlX而與上側(cè)基板10抵接，并且與下側(cè)基板20相對(duì)。另外，在圖9B所示的位置檢測(cè)傳感器中的間隔物23b是將圖8中的設(shè)置在下側(cè)基板20上的間隔物23以與下側(cè)基板20相對(duì)的方式設(shè)置在電介質(zhì)部件13上。在比較圖9A與圖9B的情況下，圖9A的間隔物23a與電介質(zhì)部件13a—體地形成，而圖9B的間隔物23b與電介質(zhì)部件13設(shè)置成分體。因此，在圖9B所示的位置檢測(cè)傳感器的情況下，電介質(zhì)部件13與間隔物23b能夠通過(guò)不同的材料來(lái)形成。此外，在圖9所示的位置檢測(cè)傳感器中，配置有間隔物23a、23b的位置與圖8等所示的第I實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB的情況相同。另外，在圖IOA所示的位置檢測(cè)傳感器中，在配置有作為接收導(dǎo)體的多個(gè)第2導(dǎo)體21Y的下側(cè)基板20的與上側(cè)基板10相對(duì)的面的一側(cè)，以覆蓋多個(gè)第2導(dǎo)體21Y的方式設(shè)置有電介質(zhì)部件13b。在配置有作為發(fā)送導(dǎo)體的多個(gè)第I導(dǎo)體IlX的上側(cè)基板10側(cè)，以與電介質(zhì)部件13b相對(duì)的方式設(shè)置有間隔物23c。
另外，在圖IOB所示的位置檢測(cè)傳感器中，與間隔物23d —體形成的電介質(zhì)部件13c以覆蓋多個(gè)第2導(dǎo)體21Y的方式設(shè)置于配置有作為接收導(dǎo)體的多個(gè)第2導(dǎo)體21Y的下側(cè)基板20上的與上側(cè)基板10相對(duì)的面的一側(cè)。在上側(cè)基板10，以與下側(cè)基板20相對(duì)的方式配置有作為發(fā)送導(dǎo)體的多個(gè)第I導(dǎo)體11X。另外，間隔物23d也可以與圖9B所示的位置檢測(cè)傳感器的情況同樣地，與電介質(zhì)部件13c設(shè)置成分體。由此在作為分體的情況下，電介質(zhì)部件13c和間隔物23d能夠通過(guò)不同的材料形成。在圖IOC所示的位置檢測(cè)傳感器中，在上側(cè)基板10配置有多個(gè)第I導(dǎo)體11X，在下側(cè)基板20配置有多個(gè)第2導(dǎo)體21Y。在上側(cè)基板10與下側(cè)基板20之間配置有電介質(zhì)部件13d。在電介質(zhì)部件13d以與上側(cè)基板10相對(duì)的方式一體地設(shè)置有間隔物23eu。另外，同樣地，以與下側(cè)基板20相對(duì)的方式一體地設(shè)置有間隔物23ed。因此，通過(guò)間隔物23eu、23ed,在多個(gè)第I導(dǎo)體IlX與多個(gè)第2導(dǎo)體21Y之間形成有預(yù)定的距離。因此，與手指等的按壓力對(duì)應(yīng)，配置于上側(cè)基板10的多個(gè)第I導(dǎo)體IlX與配置于下側(cè)基板20的多個(gè)第2導(dǎo)體21Y經(jīng)由電介質(zhì)部件13d抵接，而且與按壓力對(duì)應(yīng)，多個(gè)第I導(dǎo)體IlX與電介質(zhì)部件13d 之間的抵接面積以及多個(gè)第2導(dǎo)體21Y與電介質(zhì)部件13d之間的抵接面積變化。此外，在圖IOC中，電介質(zhì)部件13d與各間隔物23eU、23ed —體地形成，但也可以相互設(shè)成分體。另外，在圖IOD所示的位置檢測(cè)傳感器中，在配置有多個(gè)第I導(dǎo)體IlX的上側(cè)基板10，以覆蓋多個(gè)第I導(dǎo)體IlX的方式設(shè)置有第I電介質(zhì)部件13e。同樣地，在配置有多個(gè)第2導(dǎo)體21Y的下側(cè)基板20，以覆蓋多個(gè)第2導(dǎo)體21Y的方式設(shè)置有第2電介質(zhì)部件13f。而且，在第I電介質(zhì)部件13e與第2電介質(zhì)部件13f之間設(shè)置有間隔物23f。因此，與手指等的按壓力對(duì)應(yīng)，電介質(zhì)部件13e與電介質(zhì)部件13f抵接，而且與按壓力對(duì)應(yīng)，電介質(zhì)部件13e與電介質(zhì)部件13f之間的抵接面積變化。此外，在圖IOD所示的位置檢測(cè)傳感器中，第I電介質(zhì)部件13e、第2電介質(zhì)部件13f和間隔物23f可以一體地形成。此外，在圖10所示的四個(gè)方式的位置檢測(cè)傳感器中，間隔物23c、23d、23eu、23ed、23f配置于與圖8等所示的第I實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IB的情況相同的位置。另外，在圖10中，使用了用于使上側(cè)基板10與下側(cè)基板20相互粘合的粘合部件30a、30b。[第2實(shí)施方式][位置檢測(cè)傳感器IBX的結(jié)構(gòu)例]接著，說(shuō)明第2實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器1BX。圖11是用于說(shuō)明該第2實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IBX的剖視圖。在該第2實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IBX中，其特征在于，具有可撓性的電介質(zhì)部件13兼用作配置有多個(gè)第I導(dǎo)體IlX的上側(cè)基板10的功能。如圖11所示，在該第2實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IBX中，在具有可撓性的電介質(zhì)部件13的一方的面配置有多個(gè)第I導(dǎo)體11X。另外，在多個(gè)第I導(dǎo)體IlX配置有具有可撓性的保護(hù)層15，在用戶通過(guò)指示體在指示輸入面IBS上進(jìn)行位置指示時(shí)，受到指示體的操作時(shí)保護(hù)多個(gè)第I導(dǎo)體11X。因此，在電介質(zhì)部件13的一方的面具有經(jīng)由多個(gè)第I導(dǎo)體IlX設(shè)置有保護(hù)層15的結(jié)構(gòu)。在下側(cè)基板20設(shè)置有如上所述的多個(gè)第2導(dǎo)體21Y和間隔物23。電介質(zhì)部件13的另一方的面與下側(cè)基板20相對(duì)。在該第2實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器IBX中，電介質(zhì)部件13實(shí)現(xiàn)作為上側(cè)基板10的功能，作為其原料使用作為上側(cè)基板10的原料示出的例如具有透光性的玻璃基板。這是因?yàn)椴Ａг系碾娙萋时容^高，故適合用作電介質(zhì)。在采用玻璃原料作為電介質(zhì)部件13的情況下，能夠適用在玻璃基板上使用蒸鍍或印刷等方式一體地形成有傳感器導(dǎo)體(在該例子中是一體地形成多個(gè)第I導(dǎo)體IlX的)、其厚度較薄并具有可撓性的傳感器基板。如上所述，由玻璃原料構(gòu)成的電介質(zhì)部件13與上側(cè)基板10相同，厚度為例如175 μ m 300 μ m左右，第I導(dǎo)體IIX本身的厚度為例如O. I μ m左右，其厚度均極其薄。保護(hù)層15的厚度也極其薄。此外，可知作為電介質(zhì)部件13并不限定于玻璃原料。例如，如上所述，能夠采用具有膜狀的透光性的合成樹脂。在采用膜狀的合成樹脂作為電介質(zhì)部件13的情況下，能夠適用在例如 PET (polyethylene terephthalate)、PP (polypropylene)、LCP (liquid crystalpolymer)等的膜基板一體地形成有傳感器導(dǎo)體(在該例子中為多個(gè)第I導(dǎo)體11X)的膜狀傳感器基板。在采用在合成樹脂基板一體地形成有傳感器導(dǎo)體的原料(基板)作為電介質(zhì)部件13的情況下，如果其厚度極其薄，則具有需要以上的可撓性。因此，在該情況下，通過(guò)采用玻璃基板等具有適度的可撓性的原料作為保護(hù)層15，能夠適當(dāng)設(shè)定作為由電介質(zhì)部件
13、多個(gè)第I導(dǎo)體IlX以及保護(hù)層15構(gòu)成的整體的可撓性。另外，代替玻璃原料，能夠通過(guò) 具有透光性的合成樹脂形成保護(hù)層15。因此，在未通過(guò)指示體對(duì)位置檢測(cè)傳感器IBX的指示輸入面IBS施加按壓力的狀態(tài)下，通過(guò)間隔物23與發(fā)送導(dǎo)體組11抵接的電介質(zhì)部件13與接收導(dǎo)體組21分離預(yù)定距離。接著，如果通過(guò)指示體對(duì)位置檢測(cè)傳感器IBX的指示輸入面IBS施加按壓力，則如上所述，通過(guò)保護(hù)層15、發(fā)送導(dǎo)體組11和電介質(zhì)部件13彎曲，電介質(zhì)部件13與構(gòu)成接收導(dǎo)體組21的第2導(dǎo)體21Y抵接。即，如果作為指示體的手指按壓位置檢測(cè)傳感器IBX的指示輸入面1BS，則通過(guò)保護(hù)層15、發(fā)送導(dǎo)體組11和電介質(zhì)部件13彎曲，最終成為電介質(zhì)部件13與構(gòu)成接收導(dǎo)體組21的第2導(dǎo)體21Y抵接的狀態(tài)。由此，在第I導(dǎo)體IlX與第2導(dǎo)體21Y經(jīng)由電介質(zhì)部件13的厚度接近的狀態(tài)下，電介質(zhì)部件13與構(gòu)成接收導(dǎo)體組21的第2導(dǎo)體21Y的抵接面積與按壓力對(duì)應(yīng)而變化。此外，在圖11中，間隔物23設(shè)置于下側(cè)基板20的一側(cè)，但如上所述，也可以與電介質(zhì)部件13 —體地形成，或者在電介質(zhì)部件13上作為另一部件或一體地設(shè)置。[第I、第2實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器1B、1BX的變形例]圖12是用于說(shuō)明第I、第2實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器1B、1BX的變形例的圖。在上述的第I、第2實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器1B、1BX中，間隔物23和間隔物23a 23f設(shè)置于第I導(dǎo)體IlX與第2導(dǎo)體21Y不重合的區(qū)域。但是，并不限于此。例如，如圖12A所示，也可以將間隔物23x設(shè)置在導(dǎo)體上，例如第2導(dǎo)體21Y上。即，也可以在第I導(dǎo)體IlX與第2導(dǎo)體2IY相對(duì)的部分設(shè)置間隔物23x。在該情況下，根據(jù)需要對(duì)間隔物23x的大小和高度進(jìn)行各種調(diào)整。另外，也可以設(shè)置圖12B所示的電介質(zhì)部件13g。電介質(zhì)部件13g的一方的面經(jīng)由發(fā)送導(dǎo)體組11與上側(cè)基板10抵接。與下側(cè)基板20相對(duì)的電介質(zhì)部件13g的另一方的面具有設(shè)置了多個(gè)凹凸的表面形狀。在該情況下，電介質(zhì)部件13g的與下側(cè)基板20相對(duì)的面所設(shè)置的多個(gè)凹凸實(shí)現(xiàn)作為上述的間隔物的作用。在未通過(guò)手指等指示體按壓的情況下，形成于電介質(zhì)部件13g的凸部與下側(cè)基板20以及第2導(dǎo)體21Y以微小的面積抵接。如果通過(guò)手指等指示體按壓，則電介質(zhì)部件13g彈性變形，從而形成于電介質(zhì)部件13g的凸部與下側(cè)基板20以及第2導(dǎo)體21Y接近，并且在形成于電介質(zhì)部件13g的凸部與下側(cè)基板20以及第2導(dǎo)體21Y之間形成的抵接面積增加。[其他變形例]也可以在第I導(dǎo)體IlX與第2導(dǎo)體21Y之間更換相互的配置關(guān)系。另外，設(shè)置于發(fā)送導(dǎo)體組11與接收導(dǎo)體組21之間的電介質(zhì)部件可以表現(xiàn)為膜狀、片狀等極薄的形狀而構(gòu)成。另外，在電介質(zhì)部件與發(fā)送導(dǎo)體組11或接收導(dǎo)體組21抵接時(shí)，通過(guò)涂布、印刷、噴涂、融合等各種方法相互緊貼，或者經(jīng)由粘結(jié)材料相互固定。也可以在電介質(zhì)部件設(shè)置預(yù)定形狀的多個(gè)貫通孔。而且，也可以根據(jù)需要貫通該貫通孔而配置間隔物。另外，在上述的實(shí)施方式中，電介質(zhì)部件以覆蓋發(fā)送導(dǎo)體組11或接收導(dǎo)體組21的整面的方式設(shè)置，但不一定覆蓋整面。而且，下側(cè)基板20也可以基本上不具有可撓性，下側(cè)基板20也可以為例如膜狀基板等具有可撓性的結(jié)構(gòu)。 間隔物可以采用具有可撓性的原料，也可以采用不具有可撓性的原料。另外，間隔物可以沿著第I導(dǎo)體線狀地設(shè)置于第I導(dǎo)體IlX之間所形成的間隙的區(qū)域，也可以沿著第2導(dǎo)體線狀地設(shè)置于第2導(dǎo)體21Y之間所形成的間隙的區(qū)域。另外，在上述的實(shí)施方式中，位置檢測(cè)傳感器IB、IBX設(shè)置于IXDlC的顯示畫面?zhèn)龋虼藰?gòu)成位置檢測(cè)傳感器1B、1BX的各部分形成為具有透光性(透明的)部分。但是，不限于此。例如，在作為不具有LCD、有機(jī)EL顯示器等顯示裝置的數(shù)位板型的位置輸入裝置并且與個(gè)人計(jì)算機(jī)等連接而使用的情況下，位置檢測(cè)傳感器IB、IBX不需要由具有透光性的材料(透明的材料)形成。[實(shí)施方式的效果]現(xiàn)有的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器檢測(cè)因通過(guò)手指等指示體逃逸到地面的電荷而產(chǎn)生的靜電電容的變化,但上述的實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器1B、1BX檢測(cè)第I導(dǎo)體IlX和第2導(dǎo)體21Y所構(gòu)成的電容器的自身電容的變化。因此，在上述的實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器1B、1BX的情況下，指示體也可以不具有導(dǎo)電性。例如，即使將橡膠等絕緣體用作指示體進(jìn)行指示輸入，也能夠適當(dāng)?shù)貦z測(cè)。因此，即使在戴上橡膠手套進(jìn)行作業(yè)的作業(yè)處、手術(shù)室等也能夠利用上述的實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器1B、1BX等，大幅度擴(kuò)大了位置檢測(cè)傳感器的應(yīng)用范圍。另外，上述的實(shí)施方式的位置檢測(cè)傳感器1B、1BX能夠增大第I導(dǎo)體IlX和第2導(dǎo)體21Y所構(gòu)成的電容器的靜電電容的變化幅度(動(dòng)態(tài)范圍)，由此實(shí)現(xiàn)高靈敏度的位置檢測(cè)傳感器。在實(shí)驗(yàn)的一例中，在沒(méi)有通過(guò)指示體按壓上述的位置檢測(cè)傳感器1B、IBX的狀態(tài)下，作為由第I導(dǎo)體IIX和第2導(dǎo)體21Y構(gòu)成的電容器的初期電容約為I. 4pF左右。與之相反，在通過(guò)指示體按壓的狀態(tài)下，由第I導(dǎo)體IIX和第2導(dǎo)體2IY構(gòu)成的電容器的電容約為8. 4pF。因此，變化范圍為8. 4-1. 4=7. OpF，與現(xiàn)有的靜電電容型的位置檢測(cè)傳感器相比，能夠使靜電電容大幅度變化。另外，在該發(fā)明的位置檢測(cè)傳感器IB、IBX中，與指示體的按壓對(duì)應(yīng)，作為由第I導(dǎo)體IlX和第2導(dǎo)體21Y構(gòu)成的電容器的靜電電容變化，因此根據(jù)該靜電電容的變化，能夠高精度地進(jìn)行按壓力的檢測(cè)。而且，通過(guò)適當(dāng)選擇介入第I導(dǎo)體IlX與第2導(dǎo)體21Y之間的電介質(zhì)部件的厚度和相對(duì)介電常數(shù)，能夠根據(jù)目的設(shè)定由第I導(dǎo)體IlX和第2導(dǎo)體21Y構(gòu)成的電容器的靜電電容的變化特性?！?br> 權(quán)利要求
1.一種靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器，具有沿著第I方向配置的多個(gè)第I導(dǎo)體和沿著與上述第I方向交差的方向配置的多個(gè)第2導(dǎo)體，通過(guò)檢測(cè)與指示體所進(jìn)行的位置的指示對(duì)應(yīng)而在上述第I導(dǎo)體與上述第2導(dǎo)體之間形成的靜電電容的變化，從而檢測(cè)由上述指示體指示的位置，上述靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器的特征在于， 上述多個(gè)第I導(dǎo)體具有可撓性， 在上述多個(gè)第I導(dǎo)體與上述多個(gè)第2導(dǎo)體之間介入具有可撓性的電介質(zhì)部件，并且上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的一方的面與上述多個(gè)第I導(dǎo)體或上述多個(gè)第2導(dǎo)體抵接， 與上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的一方的面抵接的上述多個(gè)第I導(dǎo)體或上述多個(gè)第2導(dǎo)體經(jīng)由上述具有可撓性的電介質(zhì)部件而相對(duì)的上述多個(gè)第2導(dǎo)體或上述多個(gè)第I導(dǎo)體，與上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的另一方的面之間，通過(guò)間隔物相互分離預(yù)定的距離， 通過(guò)上述多個(gè)第I導(dǎo)體對(duì)應(yīng)于上述指示體所進(jìn)行的位置的指示而被按壓，使上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的上述另一方的面與相對(duì)于上述另一方的面的上述多個(gè)第2導(dǎo)體或上述多個(gè)第I導(dǎo)體之間的抵接面積變化，由此引起上述多個(gè)第I導(dǎo)體與上述多個(gè)第2導(dǎo)體之間的上述靜電電容的變化，上述多個(gè)第I導(dǎo)體與上述多個(gè)第2導(dǎo)體中間介入了上述具有可撓性的電介質(zhì)部件。
2.如權(quán)利要求I所述的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器，其特征在于， 上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的一方的面與上述多個(gè)第I導(dǎo)體抵接，并且上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的另一方的面與上述多個(gè)第2導(dǎo)體通過(guò)上述間隔物而相互分離預(yù)定的距離。
3.如權(quán)利要求I所述的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器，其特征在于， 上述具有可撓性的電介質(zhì)部件與上述多個(gè)第I導(dǎo)體抵接而配置，并且另一個(gè)電介質(zhì)部件與上述多個(gè)第2導(dǎo)體抵接而配置，通過(guò)上述多個(gè)第I導(dǎo)體對(duì)應(yīng)于上述指示體所進(jìn)行的位置的指示而被按壓，使上述具有可撓性的電介質(zhì)部件與上述另一個(gè)電介質(zhì)部件之間的抵接面積變化，由此引起上述多個(gè)第I導(dǎo)體與上述多個(gè)第2導(dǎo)體之間的上述靜電電容的變化，上述多個(gè)第I導(dǎo)體與上述多個(gè)第2導(dǎo)體中間介入了上述具有可撓性的電介質(zhì)部件和上述另一個(gè)電介質(zhì)部件。
4.如權(quán)利要求I所述的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器，其特征在于，具有配置有上述多個(gè)第I導(dǎo)體的第I基板和配置有上述多個(gè)第2導(dǎo)體的第2基板，上述第I基板具有可撓性。
5.如權(quán)利要求4所述的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器，其特征在于，上述間隔物配置于上述多個(gè)第I導(dǎo)體以及上述多個(gè)第2導(dǎo)體中的至少一方的多個(gè)導(dǎo)體的導(dǎo)體間區(qū)域，上述多個(gè)第I導(dǎo)體配置于上述第I基板，上述多個(gè)第2導(dǎo)體配置于上述第2基板。
6.如權(quán)利要求5所述的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器，其特征在于，上述間隔物具有預(yù)定的突起形狀而分散配置在上述第2基板上。
7.如權(quán)利要求I所述的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器，其特征在于，上述間隔物具有片狀的形態(tài)，并且具有形成有微細(xì)的凹凸的表面狀態(tài)。
8.如權(quán)利要求I所述的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器，其特征在于，上述電介質(zhì)部件具有膜狀的形態(tài)。
9.如權(quán)利要求I所述的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器，其特征在于，上述電介質(zhì)部件固定于沿著上述第I方向配置的上述多個(gè)第I導(dǎo)體以及沿著與上述第I方向交差的方向配置的上述多個(gè)第2導(dǎo)體中的至少一方的多個(gè)導(dǎo)體。
10.如權(quán)利要求9所述的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器，其特征在于，上述電介質(zhì)部件的固定通過(guò)涂布或印刷來(lái)進(jìn)行。
11.如權(quán)利要求I所述的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器，其特征在于，上述多個(gè)第I導(dǎo)體、上述多個(gè)第2導(dǎo)體以及上述電介質(zhì)部件分別具有透光性。
12.如權(quán)利要求I所述的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器，其特征在于，上述電介質(zhì)部件由玻璃原料或樹脂原料構(gòu)成，并且與上述多個(gè)第I導(dǎo)體抵接，具有預(yù)定的厚度，以根據(jù)與上述指示體所進(jìn)行的位置的指示對(duì)應(yīng)的按壓而具有可撓性。
13.—種位置檢測(cè)裝置，其特征在于，具有權(quán)利要求I所述的靜電電容方式的位置檢測(cè)傳感器，上述位置檢測(cè)裝置還具有交流信號(hào)供給電路，用于向上述多個(gè)第I導(dǎo)體以及上述多個(gè)第2導(dǎo)體中的一方的多個(gè)導(dǎo)體供給預(yù)定的交流信號(hào)；以及信號(hào)接收電路，用于從另一方的多個(gè)導(dǎo)體檢測(cè)與上述指示體所進(jìn)行的位置的指示對(duì)應(yīng)的按壓而引起的上述靜電電容的變化，從而檢測(cè)上述指示體在上述位置檢測(cè)傳感器上指示的位置。
14.一種靜電電容方式的位置檢測(cè)方法，具有沿著第I方向配置的多個(gè)第I導(dǎo)體和沿著與上述第I方向交差的方向配置的多個(gè)第2導(dǎo)體，通過(guò)檢測(cè)與指示體所進(jìn)行的位置的指示對(duì)應(yīng)而在上述第I導(dǎo)體與上述第2導(dǎo)體之間形成的靜電電容的變化，從而檢測(cè)由上述指示體指示的位置，上述靜電電容方式的位置檢測(cè)方法的特征在于， 在上述多個(gè)第I導(dǎo)體與上述多個(gè)第2導(dǎo)體之間介入具有可撓性的電介質(zhì)部件，并且上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的一方的面與上述多個(gè)第I導(dǎo)體或上述多個(gè)第2導(dǎo)體抵接， 與上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的一方的面抵接的上述多個(gè)第I導(dǎo)體或上述多個(gè)第2導(dǎo)體經(jīng)由上述具有可撓性的電介質(zhì)部件而相對(duì)的上述多個(gè)第2導(dǎo)體或上述多個(gè)第I導(dǎo)體，與上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的另一方的面之間，通過(guò)間隔物相互分離預(yù)定的距離， 通過(guò)上述多個(gè)第I導(dǎo)體對(duì)應(yīng)于上述指示體所進(jìn)行的位置的指示而被按壓，使上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的上述另一方的面與相對(duì)于上述另一方的面的上述多個(gè)第2導(dǎo)體或上述多個(gè)第I導(dǎo)體之間的抵接面積變化，由此引起上述多個(gè)第I導(dǎo)體與上述多個(gè)第2導(dǎo)體之間的上述靜電電容的變化，上述多個(gè)第I導(dǎo)體與上述多個(gè)第2導(dǎo)體中間介入了上述具有可撓性的電介質(zhì)部件。
15.如權(quán)利要求14所述的靜電電容方式的位置檢測(cè)方法，其特征在于，上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的一方的面與上述多個(gè)第I導(dǎo)體抵接，并且上述具有可撓性的電介質(zhì)部件的另一方的面與上述多個(gè)第2導(dǎo)體通過(guò)上述間隔物相互分離預(yù)定的距離。
全文摘要
一種位置檢測(cè)傳感器、位置檢測(cè)裝置以及位置檢測(cè)方法，能夠基于靜電電容的變化而高靈敏度地檢測(cè)指示體的指示位置和施加的按壓力。在第1導(dǎo)體(11X)與第2導(dǎo)體(21Y)之間設(shè)置具有可撓性的電介質(zhì)部件(13)，并且設(shè)置用于使第1導(dǎo)體或第2導(dǎo)體與電介質(zhì)部件之間相互分離預(yù)定距離的間隔物(23)，從而構(gòu)成位置檢測(cè)傳感器。通過(guò)指示體的按壓使第1導(dǎo)體與第2導(dǎo)體之間經(jīng)由電介質(zhì)部件的厚度而抵接，并且電介質(zhì)部件與導(dǎo)體抵接而形成的抵接面積與指示體的按壓力對(duì)應(yīng)而變化，因此能夠使作為電容器的靜電電容較大地變化，由此高靈敏度以及高精度地檢測(cè)指示體所指示的位置和施加于該指示位置的力。
文檔編號(hào)G06F3/044GK102866813SQ201210236778
公開日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年7月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月8日
發(fā)明者福島康幸 申請(qǐng)人:株式會(huì)社和冠