專利名稱：觸摸面板傳感器膜及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及觸摸面板傳感器膜及其制造方法。
背景技術(shù)：
當(dāng)今，觸摸面板裝置廣泛用作輸入部件。觸摸面板裝置包括觸摸面板傳感器、用于檢測物體在觸摸面板傳感器上的接觸位置的控制電路、電互連以及柔性印刷電路(FPC)板。在任何情況下，這些觸摸面板裝置與諸如液晶顯示器或等離子體顯示器之類的顯示裝置配合使用，作為例如各結(jié)合了這樣的顯示裝置的售票機、自動柜員機(ATM)、蜂窩電話或游戲控制臺等的各種類型的硬件的輸入部件。在這種硬件中，觸摸面板傳感器設(shè)置在顯示裝置的顯示屏上；因此，觸摸面板裝置能夠執(zhí)行對顯示裝置中的非常直接的數(shù)據(jù)輸入。面向顯示裝置的顯示區(qū)的觸摸面板傳感器是透明的，并且觸摸面板傳感器的這個區(qū)域構(gòu)成其中傳感器能夠檢測接觸位置(接近位置)的工作區(qū)。觸摸面板裝置能夠按照檢測物體在觸摸面板傳感器上的接觸位置或接近位置的原理來分為各種類型。當(dāng)今，電容耦合方案的觸摸面板裝置由于光學(xué)亮度、設(shè)計質(zhì)量、結(jié)構(gòu)簡單、功能優(yōu)良等原因而引起關(guān)注。在電容耦合方案的觸摸面板裝置中，其位置將被檢測的外部導(dǎo)體(通常為手指)通過電介質(zhì)與觸摸傳感器開始接觸或接近接觸來生成新寄生電容。觸摸面板傳感器利用那種電容的變化來檢測物體在傳感器上的位置。電容耦合方案細(xì)分為表面類型和投影類型。兩種類型中，具體來說，投影類型因其對多點觸控識別(多點識另Ij)應(yīng)用或要求的適合性而受到關(guān)注，如JP 2007-533044T所述。投影電容耦合方案的觸摸面板傳感器包括電介質(zhì)、第一傳感器電極和第二傳感器電極，后兩個傳感器電極通過電介質(zhì)兩側(cè)的不同圖案來形成。通常，均包括導(dǎo)電體的網(wǎng)格狀陣列的第一傳感器電極和第二傳感器電極基于當(dāng)外部導(dǎo)體(通常為手指)與觸摸面板傳感器開始接觸或接近接觸時發(fā)生的電磁變化或電容變化來檢測導(dǎo)電體的位置。如JP 1992-264613A所述，一般通過經(jīng)由粘合層將其上形成了第一傳感器電極的第一基膜與其上形成了第二傳感器電極的第二基膜接合在一起，來制作投影電容耦合方案的這種觸摸面板傳感器。在這樣制作的觸摸面板傳感器中，第一傳感器電極和第二傳感器電極經(jīng)由在相應(yīng)基膜的工作區(qū)外部的區(qū)域中形成的電引出線(用于引出的導(dǎo)電體)來連接到外部控制電路。當(dāng)觸摸面板裝置與顯示裝置配合使用時，第一傳感器電極和第二傳感器電極由低導(dǎo)電率的透明導(dǎo)電材料來形成。另一方面，設(shè)置在工作區(qū)外部的引出線不必是透明，并且各通過絲網(wǎng)印刷高導(dǎo)電率的金屬材料在基膜上形成。
現(xiàn)有技術(shù)文獻
專利文獻
專利文獻1:日本特表2007 - 533044號公報；
專利文獻2:日本特開平4 - 264613號公報。

發(fā)明內(nèi)容
要通過本發(fā)明解決的問題
為了提高設(shè)計質(zhì)量并且擴大顯示裝置的顯示區(qū)，當(dāng)今要求圍繞顯示區(qū)的稱作框架區(qū)或框區(qū)(bezel region)的區(qū)域的表面積減小。連同這種趨勢，還要求除了觸摸面板傳感器的工作區(qū)之外的非工作區(qū)的表面積減小。如果引出線在非工作區(qū)中以充分高的細(xì)度來形成，則能夠滿足這種要求。非工作區(qū)的表面積的減小以及極細(xì)引出線的形成又要求連接板或片材上制作的觸摸面板傳感器的精確切割、觸摸面板裝置上的觸摸面板傳感器的精確定位以及與FPC基板的精確層疊。但是，這些精度采用當(dāng)前使用的諸如上述絲網(wǎng)印刷之類的各種制造方法的任一種難以滿足?？紤]了這類情況而作出本發(fā)明，并且本發(fā)明的一個目的是提供一種包括連接板或片材上制作的小非工作區(qū)的極可靠觸摸面板傳感器膜。傳感器膜形成為實現(xiàn)用于創(chuàng)建預(yù)切割將構(gòu)成觸摸面板傳感器的單片的處理精度的提高、高準(zhǔn)確性電線路與FPC基板之間的互連精度的提高以及相對觸摸面板裝置的對位精度的提高。本發(fā)明的另一個目的是提供一種先減小了表面積的非工作區(qū)中記錄了產(chǎn)品信息的觸摸面板傳感器膜以及一種用于制造傳感器膜的方法。解決問題的方式
按照本發(fā)明的第一方面的觸摸面板傳感器膜包括透明基膜以及設(shè)置在基膜的至少一個表面上的透明導(dǎo)電體圖案。對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息設(shè)置在傳感器膜的非工作區(qū)中。按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜中的對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息可以二層膜或三層膜形成；二層膜以按順序設(shè)置在基膜上的透明導(dǎo)電層和覆蓋導(dǎo)電層形成，以及三層膜以按順序設(shè)置在基膜上的透明導(dǎo)電層、中間層和覆蓋導(dǎo)電層形成。按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜中的對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息可以二層膜或三層膜形成；二層膜以按順序設(shè)置在基膜上的透明導(dǎo)電層和覆蓋導(dǎo)電層形成，以及三層膜以按順序設(shè)置在基膜上的透明導(dǎo)電層、中間層和覆蓋導(dǎo)電層形成，并且可在基膜的兩個表面上形成。按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜中的對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息可以二層膜或三層膜形成；二層膜以按順序設(shè)置在基膜上的透明導(dǎo)電層和覆蓋導(dǎo)電層形成，以及三層膜以按順序設(shè)置在基膜上的透明導(dǎo)電層、中間層和覆蓋導(dǎo)電層形成。另外，對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息可包括在透明導(dǎo)電體的一個部分上與基膜間隔開設(shè)置的中間層以及設(shè)置在中間層上的高導(dǎo)電層。在這種情況下，高導(dǎo)電層將由具有比透明導(dǎo)電體和形成中間層的材料要高的導(dǎo)電率的材料來形成，以及中間層將由對透明導(dǎo)電體的粘附力比高導(dǎo)電層要高的材料來形成。高導(dǎo)電層可由銀合金來形成，以及中間層可由MoNb合金來形成。在按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜中，將每個產(chǎn)品作為單位的單位圖案可進行拼版來形成。
按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜中的對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息可對單位圖案的每個來形成。按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜中的對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息可對于進行拼版所形成的單位圖案的預(yù)定數(shù)量的集合的每個來形成。使用按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜中的對準(zhǔn)標(biāo)記的目的可以是片材切割、單片切割、單片沖切、FPC貼附或者與顯示面板的對位。按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜中的對準(zhǔn)標(biāo)記可對每個目的來形成。備選地，對準(zhǔn)標(biāo)記的至少一個可形成為使得實現(xiàn)至少兩個目的。進一步備選地，對準(zhǔn)標(biāo)記可包括形成為使得僅實現(xiàn)目的之一的對準(zhǔn)標(biāo)記以及形成為使得實現(xiàn)至少兩個目的的對準(zhǔn)標(biāo)記。按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜中的產(chǎn)品信息可包括產(chǎn)品名稱信息、批號信息、制造日期信息和產(chǎn)品等級信息之中的至少一種信息。產(chǎn)品信息可按照條形碼格式來形成。本發(fā)明的第二方面是一種用于包括下列項的觸摸面板傳感器膜的制造方法:
透明基膜，
設(shè)置在基膜的至少一個表面上的透明導(dǎo)電體圖案，其中導(dǎo)電體圖案的一部分在基膜的表面上以線狀形成，以及
在非工作區(qū)中形成的對準(zhǔn)標(biāo)記和/或產(chǎn)品信息。按照本發(fā)明的第二方面的制造方法包括下列步驟:
在包括基膜、設(shè)置在基膜的至少一個表面上的透明導(dǎo)電層以及設(shè)置在透明導(dǎo)電層上的覆蓋導(dǎo)電層的層疊體的覆蓋導(dǎo)電層側(cè)的表面上形成具有感光性質(zhì)的感光層；
使感光層曝光；
對感光層顯影，由此將感光層轉(zhuǎn)印成與對準(zhǔn)標(biāo)記和/或產(chǎn)品信息對應(yīng)的圖案以及轉(zhuǎn)印成傳感器部分、端子部分和電引出線部分，三個部分的每個稍后形成；
通過使用形成圖案的感光層作為掩模以蝕刻覆蓋導(dǎo)電層，對覆蓋導(dǎo)電層形成圖案；通過使用形成圖案的感光層和形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層作為掩模以蝕刻透明導(dǎo)電層，對透明導(dǎo)電層形成圖案；
去除形成圖案的感光層；
在形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層上形成另一感光層；
使另一感光層曝光；
通過顯影來對另一感光層形成圖案；
通過使用形成圖案的另一感光層作為掩模以蝕刻形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層，去除形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層的一部分，由此形成傳感器部分；以及
去除形成圖案的另一感光層，由此得到包括對準(zhǔn)標(biāo)記和/或產(chǎn)品信息的觸摸面板傳感器膜。本發(fā)明的第三方面是一種用于包括下列項的觸摸面板傳感器膜的制造方法:
透明基膜，
設(shè)置在基膜的至少一個表面上的透明導(dǎo)電體圖案，其中導(dǎo)電體圖案的一部分在基膜的表面上以線狀形成，以及
在非工作區(qū)中形成的對準(zhǔn)標(biāo)記和/或產(chǎn)品信息。按照本發(fā)明的第三方面的制造方法包括下列步驟: 在包括基膜、設(shè)置在基膜的至少一個表面上的透明導(dǎo)電層、設(shè)置在透明導(dǎo)電層上的中間層以及設(shè)置在中間層上的覆蓋導(dǎo)電層的層疊體的表面上形成具有感光性質(zhì)的感光層，覆蓋導(dǎo)電層面向其上形成了感光層的層疊體表面；
使感光層曝光；
對感光層顯影，由此將感光層轉(zhuǎn)印成與對準(zhǔn)標(biāo)記和/或產(chǎn)品信息對應(yīng)的圖案以及轉(zhuǎn)印成傳感器部分、端子部分和電引出線部分，三個部分的每個稍后形成；
通過使用形成圖案的感光層作為掩模以蝕刻覆蓋導(dǎo)電層和中間層，對覆蓋導(dǎo)電層和中間層形成圖案；
通過使用形成圖案的感光層、形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層和中間層作為掩模以蝕刻透明導(dǎo)電層，對透明導(dǎo)電層形成圖案；
去除形成圖案的感光層；
在形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層上形成另一感光層；
使另一感光層曝光；
通過顯影來對另一感光層形成圖案；
各通過使用形成圖案的另一感光層作為掩模以蝕刻形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層和中間層，去除形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層和中間層的一部分，由此形成傳感器部分；以及
去除形成圖案的另一感光層，由此得到包括對準(zhǔn)標(biāo)記和/或產(chǎn)品信息的觸摸面板傳感器膜。本發(fā)明的第四方面是一種用于觸摸面板傳感器膜的制造方法。按照本發(fā)明的第四方面的制造方法包括下列步驟:在包括透明基膜、設(shè)置在基膜的一個表面上的透明導(dǎo)電層以及設(shè)置在透明導(dǎo)電層上的覆蓋導(dǎo)電層的層疊體的覆蓋導(dǎo)電層側(cè)的表面上形成具有感光性質(zhì)的感光層；使感光層曝光；通過對感光層顯影，來對感光層形成圖案；通過使用形成圖案的感光層作為掩模以蝕刻覆蓋導(dǎo)電層，對覆蓋導(dǎo)電層形成圖案；通過使用形成圖案的感光層和形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層作為掩模以蝕刻透明導(dǎo)電層，對透明導(dǎo)電層形成圖案；去除形成圖案的感光層；在形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層上形成另一感光層；使另一感光層曝光；通過顯影來對另一導(dǎo)電層形成圖案；通過使用形成圖案的另一感光層作為掩模以蝕刻形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層，去除形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層的一部分；以及去除形成圖案的另一感光層。在步驟中與觸摸面板傳感器圖案同時創(chuàng)建對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息。在按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜的制造方法中，覆蓋導(dǎo)電層可由具有比形成透明導(dǎo)電層的材料要高的導(dǎo)電率的材料來形成。按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜的制造方法還可包括通過進行退火過程來加速非晶態(tài)的透明導(dǎo)電層的晶化的步驟。加速透明導(dǎo)電層的晶化的步驟可遲于對透明導(dǎo)電層形成圖案的步驟，而同時又早于去除形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層的一部分的步驟。按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜制造方法中的覆蓋導(dǎo)電層可包含銀作為主要成分。在按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜的制造方法中，覆蓋導(dǎo)電層可包括設(shè)置在透明導(dǎo)電層上的中間層以及設(shè)置在中間層上的高導(dǎo)電層。在這種情況下，高導(dǎo)電層由具有比形成透明導(dǎo)電層和中間層的材料要高的導(dǎo)電率的材料來形成，以及中間層由相對透明導(dǎo)電層的粘合強度比高導(dǎo)電層要大的材料來形成。在按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜的制造方法中，高導(dǎo)電層可由銀合金來形成，以及中間層可由MoNb合金來形成。按照本發(fā)明的第五方面，層疊體用于制作觸摸面板傳感器膜。按照本發(fā)明的層疊體包括透明基膜、設(shè)置在基膜的一個表面上的透明導(dǎo)電層以及設(shè)置在透明導(dǎo)電層上的覆蓋導(dǎo)電層。按照本發(fā)明的層疊體中的覆蓋導(dǎo)電層可由具有比形成透明導(dǎo)電層的材料要高的導(dǎo)電率的材料來形成。按照本發(fā)明的層疊體中的覆蓋導(dǎo)電層可包括設(shè)置在透明導(dǎo)電層上的中間層以及設(shè)置在中間層上的高導(dǎo)電層。在這種情況下，高導(dǎo)電層由具有比形成透明導(dǎo)電層和中間層的材料要高的導(dǎo)電率的材料來形成，以及中間層由相對透明導(dǎo)電層的粘合強度比高導(dǎo)電層要大的材料來形成。按照本發(fā)明的層疊體中的覆蓋導(dǎo)電層可由銀合金來形成，以及中間層可由MoNb合金來形成。在本發(fā)明的第六方面，具有透明基膜以及設(shè)置在基膜的兩個表面上的透明導(dǎo)電體圖案的觸摸面板傳感器膜還可包括在傳感器膜的兩個表面上的非工作區(qū)中形成的一對指標(biāo)部分，一對指標(biāo)部分構(gòu)造成使得一對指標(biāo)部分之一相對一對指標(biāo)部分的另一個具有預(yù)定的接近關(guān)系。在按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜中，一對指標(biāo)部分可以二層膜或三層膜形成；二層膜以按順序設(shè)置在基膜上的透明導(dǎo)電層和覆蓋導(dǎo)電層形成，以及三層膜以按順序設(shè)置在基膜上的透明導(dǎo)電層、中間層和覆蓋導(dǎo)電層形成。在按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜中，一對指標(biāo)部分之一包括形成為限定其中的透光部分的內(nèi)輪廓，以及一對指標(biāo)部分的另一個可至少部分設(shè)置在內(nèi)輪廓所限定的透光部分內(nèi)。在按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜中，一對指標(biāo)部分各包括沿一個方向設(shè)置在預(yù)定間距的多個單位指標(biāo)部分，并且一對指標(biāo)部分之一的單位指標(biāo)部分的間距可與一對指標(biāo)部分的另一個的單位指標(biāo)部分的間距不同。按照本發(fā)明的第七方面的觸摸面板傳感器膜包括:
透明基膜，
設(shè)置在基膜的一個表面上的透明導(dǎo)電體，以及
與基膜間隔開地設(shè)置在透明導(dǎo)電體的一部分上的電引出導(dǎo)體，
其中透明導(dǎo)電體的一部分以線狀形成，以及電引出導(dǎo)體在透明導(dǎo)電體的一部分上以線狀延伸，以及
以線狀延伸的電引出導(dǎo)體的寬度比重疊有電引出導(dǎo)體的透明導(dǎo)電體的所述一部分處的寬度要小。按照本發(fā)明的第八方面的觸摸面板傳感器膜包括:
透明基膜，具有與形成為實現(xiàn)觸摸位置的檢測的區(qū)域?qū)?yīng)的工作區(qū)以及與工作區(qū)相鄰的非工作區(qū)，
設(shè)置在基膜的一個表面上的透明導(dǎo)電體，透明導(dǎo)電體包括設(shè)置在基膜的工作區(qū)上的傳感器部分以及連接到傳感器部分并且設(shè)置在基膜的非工作區(qū)上的端子部分，以及與基膜間隔開地設(shè)置在透明導(dǎo)電體的端子部分的一部分上的電引出導(dǎo)體， 其中透明導(dǎo)電體的一部分以線狀形成，以及電引出導(dǎo)體在透明導(dǎo)電體的一部分上以線狀延伸，
電引出導(dǎo)體設(shè)置在透明導(dǎo)電體的設(shè)置在非工作區(qū)的端子部分的部分上，以免所述電引出導(dǎo)體的一端與設(shè)置在工作區(qū)上的透明導(dǎo)電體的傳感器部分的一端相鄰，以及
透明導(dǎo)電體的端子部分與透明導(dǎo)電體的傳感器部分整體形成并且由與其相同的材料來形成。在本發(fā)明的第九方面，一種觸摸面板傳感器膜的制造方法包括下列步驟:
在包括透明基膜、設(shè)置在基膜的一個表面上的透明導(dǎo)電層、以及設(shè)置在透明導(dǎo)電層上的覆蓋導(dǎo)電層的層疊體的表面上，形成具有感光性質(zhì)的感光層，感光層在層疊體的覆蓋導(dǎo)電層側(cè)的面上形成，
使感光層曝光，
通過對感光層顯影，來對感光層形成圖案，
通過使用形成圖案的感光層作為掩模以蝕刻覆蓋導(dǎo)電層，對覆蓋導(dǎo)電層形成圖案，通過使用形成圖案的感光層和形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層作為掩模以蝕刻透明導(dǎo)電層，對透明導(dǎo)電層形成圖案，
去除形成圖案的感光層，
在形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層上形成另一感光層，
使另一感光層曝光，
通過顯影來對另一感光層形成圖案，
通過使用形成圖案的另一感光層作為掩模以蝕刻形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層，去除形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層的一部分，以及去除形成圖案的另一感光層。在本發(fā)明的第十方面，一種觸摸面板傳感器膜的制造方法包括下列步驟:
在包括透明基膜、設(shè)置在基膜的一個表面上的第一透明導(dǎo)電層、設(shè)置在基膜的另一表面上的第二透明導(dǎo)電層以及具有擋光性質(zhì)和導(dǎo)電性質(zhì)的擋光導(dǎo)電層的層疊體的一個表面上形成具有感光性質(zhì)的第一感光層，在層疊體的另一表面上形成具有感光性質(zhì)的第二感光層，其中擋光導(dǎo)電層設(shè)置在第一透明導(dǎo)電層和第二透明導(dǎo)電層的至少一個透明導(dǎo)電層上，在第一掩模放置在第一感光層上且第二掩模放置在第二感光層上的情況下，使用相互不同的圖案對第一感光層和第二感光層進行曝光，
通過對第一感光層和第二感光層顯影，來對第一感光層和第二感光層形成圖案，
通過使用形成圖案的感光層作為掩模以蝕刻擋光導(dǎo)電層，對擋光導(dǎo)電層形成圖案，通過使用形成圖案的感光層和形成圖案的擋光導(dǎo)電層作為掩模以蝕刻第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層，將第一透明導(dǎo)電層和第二透明導(dǎo)電層形成圖案為相互不同的圖案形狀，
去除形成圖案的第一感光層和第二感光層，
在形成圖案的擋光導(dǎo)電層上形成另一感光層，
使另一感光層曝光，
通過顯影來對另一感光層形成圖案，
通過使用形成圖案的另一感光層作為掩模以蝕刻形成圖案的擋光導(dǎo)電層，去除形成圖案的擋光導(dǎo)電層的一部分，以及 去除形成圖案的另一感光層。發(fā)明效果
其特征在于形成對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息的本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜提高對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息的位置精度，提高諸如片材切割、單片切割、單片沖切和RPC貼附之類的后處理步驟的處理精度，并且因此提高產(chǎn)品信息、特別是條形碼信息的機器讀取精度。對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息由二層膜或三層膜組成；二層膜以按順序設(shè)置在基膜上的透明導(dǎo)電層和覆蓋導(dǎo)電層形成，以及三層膜以按順序設(shè)置在基膜上的透明導(dǎo)電層、中間層和覆蓋導(dǎo)電層形成。對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息在與形成覆蓋導(dǎo)電層相同的步驟中生成。因此，對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息的位置沒有移位，這提高后處理步驟中的處理精度。另外，甚至在基膜的兩個表面上形成時，對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息也在與形成覆蓋導(dǎo)電層相同的步驟中生成，使得能夠在沒有位置相對透明導(dǎo)電層或透明導(dǎo)電體的移位的情況下形成對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息。此外，由于對準(zhǔn)標(biāo)記各形成為使得一個對準(zhǔn)標(biāo)記適合標(biāo)記的多個使用目的，對于甚至更窄框架或框區(qū)也使用于設(shè)置對準(zhǔn)標(biāo)記的表面積為最小。此外，產(chǎn)品信息包括產(chǎn)品名稱信息、批號信息、制造日期信息和產(chǎn)品等級信息之中的至少一種信息，因此能夠在觸摸面板裝置中的單片切割和安裝之后確認(rèn)產(chǎn)品信息。還形成諸如條形碼之類的機器可讀信息，因此產(chǎn)品管理在諸如觸摸面板裝置中的安裝之類的后處理步驟中是可能的。在本發(fā)明的另一方面，提供一種觸摸面板傳感器膜的制造方法，所述觸摸面板傳感器膜包括透明基膜、設(shè)置在基膜的至少一個表面上的透明導(dǎo)電體圖案以及在非工作區(qū)中形成的對準(zhǔn)標(biāo)記和/或產(chǎn)品信息，其中導(dǎo)電體圖案的一部分在基膜的表面上以線狀形成。該方法包括下列步驟:
在包括基膜、設(shè)置在基膜的至少一個表面上的透明導(dǎo)電層、以及設(shè)置在透明導(dǎo)電層上的覆蓋導(dǎo)電層的層疊體的覆蓋導(dǎo)電層側(cè)的表面上，形成具有感光性質(zhì)的感光層，
使感光層曝光，
通過對感光層顯影，來對傳感器部分、端子部分、電引出線和對準(zhǔn)標(biāo)記和/或產(chǎn)品信息形成圖案，
通過使用形成圖案的感光層作為掩模以蝕刻覆蓋導(dǎo)電層，對覆蓋導(dǎo)電層形成圖案，
通過使用形成圖案的感光層和形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層作為掩模以蝕刻透明導(dǎo)電層，對透明導(dǎo)電層形成圖案，
去除形成圖案的感光層，
在形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層上形成另一感光層，
使另一感光層曝光，
通過顯影來對另一感光層形成圖案，
通過使用形成圖案的另一感光層作為掩模以蝕刻形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層，去除形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層的一部分，由此形成傳感器部分，以及去除形成圖案的另一感光層。由于上述方法，有可能制作其對準(zhǔn)標(biāo)記和/或產(chǎn)品信息無需涉及新步驟而在與觸摸面板傳感器相同的步驟中以高程度的位置精度來形成的觸摸面板傳感器膜。在本發(fā)明的另一方面，提供一種觸摸面板傳感器膜的制造方法，觸摸面板傳感器膜包括透明基膜、設(shè)置在基膜的至少一個表面上的透明導(dǎo)電體圖案以及在非工作區(qū)中形成的對準(zhǔn)標(biāo)記和/或產(chǎn)品信息，其中導(dǎo)電體圖案的一部分在基膜的表面上以線狀形成。該方法包括下列步驟:
在包括基膜、設(shè)置在基膜的至少一個表面上的透明導(dǎo)電層、設(shè)置在透明導(dǎo)電層上的中間層以及設(shè)置在中間層上的覆蓋導(dǎo)電層的層疊體的覆蓋導(dǎo)電層側(cè)的表面上形成具有感光性質(zhì)的感光層，
使感光層曝光，
通過對感光層顯影，來對傳感器部分、端子部分、電引出線和對準(zhǔn)標(biāo)記和/或產(chǎn)品信息形成圖案，
通過使用形成圖案的感光層作為掩模以蝕刻覆蓋導(dǎo)電層和中間層，對覆蓋導(dǎo)電層和中間層形成圖案，
通過使用形成圖案的感光層、形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層和中間層作為掩模以蝕刻透明導(dǎo)電層，對透明導(dǎo)電層形成圖案，
去除形成圖案的感光層，
在形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層上形成另一感光層，
使另一感光層曝光，
通過顯影來對另一感光層形成圖案，
通過使用形成圖案的另一感光層作為掩模以蝕刻形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層和中間層，去除形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層和中間層的部分，由此形成傳感器部分，以及去除形成圖案的另一感光層。由于上述方法，有可能制作其對準(zhǔn)標(biāo)記和/或產(chǎn)品信息無需涉及新步驟而在與觸摸面板傳感器相同的步驟中以高程度的位置精度來形成的觸摸面板傳感器膜。


圖1是示意示出連同顯示裝置一起的觸摸面板裝置的本發(fā)明的第一實施例的說明圖。圖2是示出圖1的連同顯示裝置一起的觸摸面板裝置的觸摸面板傳感器的截面圖，圖2的截面圖幾乎對應(yīng)于沿圖1的線條I1-1I延伸的截面。圖3A是示出觸摸面板裝置的觸摸面板傳感器的頂視圖。圖3B是沿圖3A的線條II1-1II截取的截面圖。圖4(a)和圖4(b)是示出觸摸面板傳感器中包含的基膜的更具體示例的截面圖。圖5A是用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的說明圖。圖5B是用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的說明圖。圖5C是用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的說明圖。圖是用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的說明圖。圖5E是用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的說明圖。圖5F是用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的說明圖。圖5G是用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的說明圖。圖5H是用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的說明圖。
圖51是用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的說明圖。圖5J是用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的說明圖。圖5K是用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的說明圖。圖5L是用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的說明圖。圖6是示出用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的流程圖。圖7是示出圖5F所示的步驟中的蝕刻的進展的簡圖。與圖51 (a)對應(yīng)的圖8A示出觸摸面板傳感器的制造方法的修改。與圖5J(a)對應(yīng)的圖SB示出觸摸面板傳感器的制造方法的修改。分別與圖5C(a)和圖5C(b)對應(yīng)的圖9(a)和圖9(b)示出觸摸面板傳感器的制造方法的另一種修改。與圖3A對應(yīng)的圖10示出透明導(dǎo)電體的修改。與圖3B對應(yīng)的圖11是示出常規(guī)觸摸面板傳感器的截面圖。也與第一實施例中的圖3B對應(yīng)的圖12(a)是示出本發(fā)明的第二實施例中的第一電引出導(dǎo)體的截面圖，以及圖12(b)是示出本發(fā)明的第二實施例中的第二電引出導(dǎo)體的截面圖。圖13是示出本發(fā)明的第二實施例中的層疊體的截面圖。圖14是本發(fā)明的觸摸面板傳感器的傳感器膜的整體視圖。圖15是在本發(fā)明的傳感器膜的片材切割之后得到的觸摸面板傳感器膜的視圖。圖16是在本發(fā)明的觸摸面板傳感器的傳感器膜上制作的觸摸面板傳感器的單位圖案的視圖。圖17示出使用電引出導(dǎo)體的圖案的對位的示例，圖17是觸摸面板傳感器的頂視圖。圖18A是示出第三實施例中的觸摸面板傳感器的單位圖案的頂視圖。圖18B是圖18A所示的觸摸面板傳感器的截面圖。圖19(a)、圖19(b)和圖19(c)是示出使用圖18A和圖18B所示的一對指標(biāo)位置來評估觸摸面板傳感器圖案的位置精度的方法的簡圖。圖20是示出一對指標(biāo)部分的層配置的修改的截面圖。圖21是示出使用圖20所示的一對指標(biāo)部分來評估觸摸面板傳感器圖案的圖案精度的方法的簡圖。圖22(a)和圖22(b)是示出使用圖20所示的一對指標(biāo)部分來評估觸摸面板傳感器的位置精度的其它方法的簡圖。圖23(a)至圖23(d)是各示出一對指標(biāo)部分的特定幾何修改的簡圖。圖24是示出一對指標(biāo)部分的圖案的修改的簡圖。圖25是示出使用圖24所示的一對指標(biāo)部分來評估觸摸面板傳感器的圖案精度的方法的簡圖。圖26是示出圖24所示的一對指標(biāo)部分的修改的簡圖。圖27是示出其中一對指標(biāo)部分在具有進行拼版所創(chuàng)建的多個單位圖案的觸摸面板傳感器上形成的示例的頂視圖。
具體實施例方式第一實施例
下面將參照附圖來描述本發(fā)明的第一實施例。在本說明書的附圖中，為了便于說明和更好地了解本發(fā)明，比例和尺寸縱橫比相對實際情況經(jīng)過改變和放大。本文中將出現(xiàn)的術(shù)語“片材”、“膜”和“板”僅基于名稱的差別，而不是相互區(qū)分。因此，例如術(shù)語“片材”表示包括可稱作膜、板等的這種構(gòu)件和部分的概念。圖1至圖6示出本發(fā)明的第一實施例。這些附圖中，圖1是示意示出連同顯示裝置一起的觸摸面板裝置的簡圖，圖2是示出圖1的連同顯示裝置一起的觸摸面板裝置的觸摸面板傳感器的截面圖，圖3A和圖3B分別是示出觸摸面板裝置的觸摸面板傳感器的頂視圖和截面圖，以及圖4(a)和圖4(b)是示出觸摸面板傳感器中包含的基膜的更具體示例的簡圖。另外，圖5A至圖5L是用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的說明圖。此外，圖6是示出用于制造圖3A和圖3B所示的觸摸面板傳感器的方法的流程圖。圖1至圖3B所示的觸摸面板裝置20構(gòu)造為投影類型的電容耦合方案，以便檢測外部導(dǎo)體(例如人的手指)相對觸摸面板裝置的接觸位置。當(dāng)電容耦合方案的觸摸面板裝置20具有優(yōu)良檢測靈敏度時，僅僅外部導(dǎo)體對觸摸面板裝置的接近便能使裝置檢測外部導(dǎo)體正接近裝置的哪個區(qū)域。本文中連同這個事件一起所使用的措辭“接觸位置”表示包括實際上不表示接觸位置但是卻是可檢測的接近位置的概念。如圖1和圖2所示，觸摸面板裝置20與顯示裝置(例如液晶顯示裝置)15結(jié)合使用，由此構(gòu)成輸入/輸出裝置10。所示顯示裝置15構(gòu)造為平板顯示器。顯示裝置15包括具有顯示表面16a的顯示面板16以及連接到顯示面板16的顯示控制器17。顯示面板16包括用于顯示圖像的顯示區(qū)Al以及在顯示區(qū)Al外部和周圍設(shè)置的非顯示區(qū)(又稱作框架區(qū)或框區(qū))。顯示控制器17處理與待顯示圖像相關(guān)的圖像信息，并且按照圖像信息來驅(qū)動顯示面板16。顯示面板16從顯示控制器17接收控制信號，并且在顯示表面16a上顯示預(yù)定圖像。也就是說，顯示裝置15用作將字符、圖/圖形和其它信息作為圖像來輸出的輸出裝置。觸摸面板裝置20包括設(shè)置在顯示裝置15的顯示表面16a上的觸摸面板傳感器30以及連接到觸摸面板傳感器30的檢測控制器25。如圖2所示，觸摸面板傳感器30經(jīng)由粘合層19貼附到顯示裝置15的顯示表面16a。如上所述，觸摸面板裝置20構(gòu)造為投影類型的電容耦合方案，并且用作用于輸入信息的輸入裝置。如圖2所示，觸摸面板裝置20還在觸摸面板傳感器30的觀察者側(cè)、即在與顯示裝置15相對的一側(cè)包括具有透光性質(zhì)的保護蓋12。保護蓋12用作電介質(zhì)。保護蓋12經(jīng)由粘合層14貼附到觸摸面板傳感器30的表面。保護蓋12用作相對觸摸面板裝置20的輸入表面(觸摸表面、接觸表面)。這意味著，使導(dǎo)體、例如人的手指5接觸到保護蓋12使信息能夠從外部輸入到觸摸面板裝置20。保護蓋12形成通常是其所有元件中相對觀察者最近的元件的輸入/輸出裝置10的表面。在輸入/輸出裝置10中，蓋12還用作用于從外部保護觸摸面板裝置20和顯示裝置15的蓋。上述粘合層14、19能夠是由各具有粘合性質(zhì)的各種材料所形成的層。另外，本說明書中的措辭“貼附”和“粘合(層)”用于表示包括“粘著/粘住”和“粘附/壓敏(層)”的概念。連接到觸摸面板傳感器30的觸摸面板裝置20的檢測控制器25處理經(jīng)由保護蓋12已經(jīng)輸入的信息。更具體來說，檢測控制器25包括檢測電路，該檢測電路組成為使得當(dāng)導(dǎo)體(通常為人的手指)5與保護蓋12相接觸時，電路能夠識別保護蓋12上導(dǎo)體5與保護蓋相接觸的位置。檢測控制器25還連接到顯示裝置15的顯示控制器17，以使得向顯示控制器17傳送經(jīng)處理的輸入信息。在這種情況下，顯示控制器17能夠基于輸入信息來創(chuàng)建圖像信息，并且在顯示面板16上顯示這個圖像。本發(fā)明中的術(shù)語“電容耦合方案”和“投影(類型的)電容耦合方案”用于表示與觸摸面板領(lǐng)域中使用的基本相同方面。在觸摸面板領(lǐng)域中，“電容耦合方案”又稱作“靜電電容方案”、“靜電電容耦合方案”等。在本發(fā)明中，“電容耦合方案”作為術(shù)語“靜電電容方案”、“靜電電容耦合方案”等的同義詞來對待。靜電電容耦合方案的典型觸摸面板裝置包括導(dǎo)電體層，并且當(dāng)外部導(dǎo)體接觸到觸摸面板時形成外部導(dǎo)體(通常為人的手指)與觸摸面板裝置的導(dǎo)電體層之間的靜電容量。因靜電容量的形成引起的電狀態(tài)的變化則用作識別觸摸面板上外部導(dǎo)體與其相接觸的位置的位置坐標(biāo)的基礎(chǔ)。另外，在觸摸面板領(lǐng)域中，“投影類型”的電容耦合方案又稱作“投影形式”的電容耦合方案等。在本發(fā)明中，“投影類型”的電容耦合方案作為術(shù)語“投影形式”的電容耦合方案等的同義詞來對待?！巴队邦愋汀钡碾娙蓠詈戏桨改軌蚺c通常具有膜形狀電極以及傳感器電極的網(wǎng)格形狀陣列的“表面類型”的電容耦合方案相對照。如圖2和圖3A適當(dāng)所示，觸摸面板傳感器30包括基膜32、按照預(yù)定模式設(shè)置在更靠近觀察者的基膜32的一個表面32a上的第一透明導(dǎo)電體40以及按照預(yù)定圖案設(shè)置在更靠近顯示裝置15的基膜32的另一表面32b上的第二透明導(dǎo)電體45。另外，如圖3A所示，觸摸面板傳感器30還包括設(shè)置在第一透明導(dǎo)電體40的一個部分上的第一電引出導(dǎo)體43以及設(shè)置在第二透明導(dǎo)電體45的一個部分上的第二電引出導(dǎo)體48。用作觸摸面板傳感器30中的電介質(zhì)的基膜32能夠例如由聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜組成。如圖3A所示，基膜32包括與其觸摸位置是可檢測的區(qū)域?qū)?yīng)的工作區(qū)Aal以及與工作區(qū)Aal相鄰的非工作區(qū)Aa2。如圖1所示，觸摸面板傳感器30的工作區(qū)Aal占據(jù)面向顯示裝置15的顯示區(qū)Al的區(qū)域。非工作區(qū)Aa2形成為使得它從所有方面或側(cè)面圍繞矩形形狀的工作區(qū)Aal。換言之，非工作區(qū)Aa2具有框架形式或框形式。非工作區(qū)Aa2在面向顯示裝置15的非顯示區(qū)A2的區(qū)域中形成。能夠與外部導(dǎo)體5配合工作以形成兩者之間的電容耦合的傳感器電極37a設(shè)置在基膜32的工作區(qū)Aal上。連接到傳感器電極37a的電引出線37b設(shè)置在基膜32的非工作區(qū)Aa2上。引出線37b在其一端電連接到傳感器電極37a，并且在其另一端連接到配置成檢測外部導(dǎo)體相對顯示表面12的接觸位置的檢測控制器25的檢測電路。在本實施例中，如圖3A所示，第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45各僅具有放置在基膜32的工作區(qū)Aal上的一部分。第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45的這些部分形成傳感器電極37a?；?2、第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45具有透光性質(zhì)，經(jīng)由這些元件，觀察者能夠觀察顯示裝置15上顯示的圖像。在本實施例中，充當(dāng)單個實體的膜形成基膜32?！皢蝹€實體”在這里表示膜不可分離為至少兩個部分。因此，作為單個實體的膜沒有包括通過經(jīng)由粘合層將膜接合在一起來形成的多個膜的接合結(jié)構(gòu)。同時，基膜包括膜主體以及通過例如濺射所沉積在膜主體的一個表面或兩個表面上以使得是不可分離(但可移動)的功能膜?；?yīng)于本文所指的單個實體的膜。圖4(a)和圖4(b)中示出包括功能膜和膜主體的基膜的示例。在圖4(a)的示例中，基膜32包括由樹脂(例如PET)所形成的膜主體33以及在膜主體33的一個表面或兩個表面上形成的指標(biāo)匹配膜34。指標(biāo)匹配膜34包括設(shè)置在交替位置的多個高折射率膜34a和低折射率膜34b。即使基膜32的膜主體33和透明導(dǎo)電體40,45在折射率方面顯著不同，指標(biāo)匹配膜34也防止反射率在基膜32上具有透明導(dǎo)電體40,45的區(qū)域與沒有這些導(dǎo)體的區(qū)域之間顯著變化。在圖4(b)的示例中，基膜32包括由樹脂(例如PET)所形成的膜主體33以及在膜主體33的一個表面或兩個表面上形成的低折射率膜35。即使基膜32的膜主體33和透明導(dǎo)電體40、45在折射率方面顯著不同，低折射率膜35也防止透射率的譜特性在基膜32上具有透明導(dǎo)電體40、45的區(qū)域與沒有這些導(dǎo)體的區(qū)域之間顯著變化。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)各種波長區(qū)域中的均勻透射率。接下來，將更詳細(xì)地描述第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45。第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45均由例如氧化銦錫(ITO)等導(dǎo)電材料來形成，并且電連接到用于檢測外部導(dǎo)體5相對顯示表面12的接觸位置的檢測控制器25的檢測電路。第一透明導(dǎo)電體40具有設(shè)置在基膜32的工作區(qū)Aal上的大量第一傳感器部分(第一傳感器導(dǎo)體、傳感器電極)41以及設(shè)置在基膜32的非工作區(qū)Aa2上的大量第一端子部分(第一端子導(dǎo)體)42，使得第一端子部分42各連接到第一傳感器部分41的特定第一傳感器部分。同樣，第二透明導(dǎo)電體45具有設(shè)置在基膜32的工作區(qū)Aal上的大量第二傳感器部分(第二傳感器導(dǎo)體、傳感器電極)46以及設(shè)置在基膜32的非工作區(qū)Aa2上的大量第二端子部分(第二端子導(dǎo)體)47，使得第二端子部分47各連接到第二傳感器部分46的特定第二傳感器部分。第一透明導(dǎo)電體40的每個第一傳感器部分41按照預(yù)定圖案設(shè)置在更靠近觀察者的基膜32的一個表面32a上。第二透明導(dǎo)電體45的每個第二傳感器部分46按照與第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41的圖案不同的預(yù)定圖案設(shè)置在更靠近顯示裝置15的基膜32的另一表面32b上。更具體來說，如圖3A所示，第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41構(gòu)造為在一個方向沿基膜32的膜表面相互緊鄰設(shè)置的線狀導(dǎo)體。另外，第一透明導(dǎo)電體40的第二傳感器部分46構(gòu)造為在與上述設(shè)置方向相交的另一方向沿基膜32的膜表面相互緊鄰設(shè)置的線狀導(dǎo)體。在本實施例中，作為第一傳感器部分41的設(shè)置方向的一個方向與作為第二傳感器部分46的設(shè)置方向的另一方向在基膜32的膜表面上相互垂直。如圖3A所示，形成第一傳感器部分41的線狀導(dǎo)體的每個沿與這些導(dǎo)體的設(shè)置方向相交的方向(即，一個方向)以線狀延伸。類似地，形成第二傳感器部分46的線狀導(dǎo)體的每個沿與這些導(dǎo)體的設(shè)置方向相交的方向(即，另一方向)以線狀延伸。在所示示例中，具體來說，第一傳感器部分41沿相對于構(gòu)成導(dǎo)體的設(shè)置方向(一個方向)的垂直方向(另一方面)以線狀延伸。第二傳感器部分46沿相對于構(gòu)成導(dǎo)體的設(shè)置方向(另一方向)的垂直方向(一個方向)以線狀延伸。在本實施例中，第一傳感器部分41包括以直線狀延伸的線狀部分41a以及從線狀部分41a膨脹出的膨脹部分41b。在所示示例中，線狀部分41a沿與第一傳感器部分41的設(shè)置方向相交的方向以線狀延伸。膨脹部分41b沿基膜32的膜表面從線狀部分41a膨脹出。因此，第一傳感器部分41的寬度在具有膨脹部分41b的部分較大。如圖3A所示，本實施例中的第一傳感器部分41在平面圖中在膨脹部分41b處具有接近正方形形狀的外輪廓。第二透明導(dǎo)電體45中包含的第二傳感器部分46與第一透明導(dǎo)電體40中包含的第一傳感器部分41相似地來構(gòu)造。也就是說，第二透明導(dǎo)電體45中包含的第二傳感器部分46包括以直線狀延伸的線狀部分46a以及從線狀部分46a膨脹出的膨脹部分46b。在所示示例中，線狀部分46a沿與第二傳感器部分46的設(shè)置方向相交的方向以線狀延伸。膨脹部分46b沿基膜32的膜表面從線狀部分46a膨脹出。因此，第二傳感器部分46的寬度在具有膨脹部分46b的部分較大。如圖3A所示，本實施例中的第二傳感器部分46在平面圖中在膨脹部分46b處具有接近正方形形狀的外輪廓。如圖3A所示，在從基膜32的膜表面的法線方向(即，在平面圖中)觀察第一透明導(dǎo)電體40中包含的第一傳感器部分41時，第一傳感器部分41與第二透明導(dǎo)電體45中包含的大量第二傳感器部分46相交。如圖3A所示，第一透明導(dǎo)電體40的膨脹部分41b設(shè)置在第一傳感器部分41上相對于任何兩個相鄰第二傳感器部分46的相交點之間。類似地，在從基膜32的膜表面的法線方向觀察時，第二透明導(dǎo)電體45中包含的第二傳感器部分46與第一透明導(dǎo)電體40中包含的大量第一傳感器部分41相交。第二透明導(dǎo)電體45的膨脹部分46b設(shè)置在第二傳感器部分46上相對于任何兩個相鄰第一傳感器部分41的相交點之間。另外，在本實施例中，第一透明導(dǎo)電體40中包含的第一傳感器部分41的膨脹部分41b以及第二透明導(dǎo)電體45中包含的第二傳感器部分46的膨脹部分46b設(shè)置成使得在從基膜32的膜表面的法線方向觀察時沒有相互重疊。換言之，在從基膜32的膜表面的法線方向觀察時，第一透明導(dǎo)電體40中包含的第一傳感器部分41以及第二透明導(dǎo)電體45中包含的第二傳感器部分46僅在各傳感器部分41、46的線狀部分41a、46a處彼此相交。如上所述，第一透明導(dǎo)電體40具有連接到這類第一傳感器部分41的第一端子部分42。取決于檢測接觸位置的方法，為第一傳感器部分41的每個設(shè)置一個或兩個第一端子部分42。每個第一端 子部分42從對應(yīng)第一傳感器部分41的一端以線狀延伸。同樣，第二透明導(dǎo)電體45具有連接到第二傳感器部分46的第二端子部分47。取決于檢測接觸位置的方法，為第二傳感器部分46的每個提供一個或兩個第二端子部分47。每個第二端子部分47從對應(yīng)第二傳感器部分46的一端以線狀延伸。如圖3A所7^，在本實施例中，第一端子部分42由與第一傳感器部分41相同的材料整體地形成，并且第二端子部分47由與第二傳感器部分46相同的材料整體地形成。接下來，下面詳述第一引出導(dǎo)電43和第二引出導(dǎo)體48。如上所述，第一引出導(dǎo)體43設(shè)置在第一透明導(dǎo)電體40的一個部分上，以及第二引出導(dǎo)體48設(shè)置在第二透明導(dǎo)電體45的一個部分上。更具體來說，第一引出導(dǎo)體43設(shè)置在第一透明導(dǎo)電體40的第一端子部分42的一部分上，以及第二引出導(dǎo)體48設(shè)置在第二透明導(dǎo)電體45的第二端子部分47的一部分上。換言之，第一引出導(dǎo)體43設(shè)置在基膜32的一個表面32a上的非工作區(qū)Aa2中，以及第二引出導(dǎo)體48設(shè)置在基膜32的另一表面32b上的非工作區(qū)Aa2中。如圖3A所示，以線狀形成第一透明導(dǎo)電體40的第一端子部分42和第二透明導(dǎo)電體45的第二端子部分47。第一引出導(dǎo)體43按照與除了到第一傳感器部分41的連接的相鄰部分之外的以線狀形成的第一端子部分42的一部分相同的圖案以線狀延伸。同樣，如圖所示，第二引出導(dǎo)體48按照與除了到第二傳感器部分46的連接的相鄰部分之外的以線狀形成的第二端子部分47的一部分相同的圖案以線狀延伸。另外，如圖3B所示，第一引出導(dǎo)體與基膜32間隔開地設(shè)置在第一透明導(dǎo)電體40上。也就是說，第一引出導(dǎo)體43沒有與基膜32相接觸。因此，覆蓋有第一引出導(dǎo)體43的第一透明導(dǎo)電體40的部分在基膜32與第一引出導(dǎo)體43之間沿橫向外露。在本實施例中，具體來說，第一引出導(dǎo)體43的寬度與覆蓋有第一引出導(dǎo)體43的第一透明導(dǎo)電體40的第一端子部分42的一部分相同或者比其略小。雖然未示出，但是第二引出導(dǎo)體48與第一引出導(dǎo)體43相似地來構(gòu)造。也就是說，第二引出導(dǎo)體48與基膜32間隔開地設(shè)置在第二透明導(dǎo)電體45上，并且沒有與基膜32相接觸。因此，覆蓋有第二引出導(dǎo)體48的第二透明導(dǎo)電體45的部分在基膜32與第二引出導(dǎo)體48之間沿橫向外露。在本實施例中，具體來說，第二引出導(dǎo)體48的寬度與覆蓋有第二引出導(dǎo)體48的第二透明導(dǎo)電體45的第二端子部分47的一部分相同或者比其略小。第一引出導(dǎo)體43與第一透明導(dǎo)電體40的第一端子部分42配合工作，以便構(gòu)成用于將傳感器電極37a連接到檢測控制器25的引出線37b。傳感器電極37a包括第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41。第二引出導(dǎo)體48與第二透明導(dǎo)電體45的第二端子部分47配合工作，以便構(gòu)成用于將傳感器電極37a連接到檢測控制器25的引出線37b。傳感器電極37a包括第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46。由于第一引出導(dǎo)體43和第二引出導(dǎo)體48設(shè)置在非工作區(qū)Aa2上，所以這些導(dǎo)體不必由具有透光性質(zhì)的材料來形成，而是能夠由具有優(yōu)良導(dǎo)電性質(zhì)的材料來形成。在本實施例中，第一引出導(dǎo)體43和第二引出導(dǎo)體48由具有比形成第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45的材料更高的導(dǎo)電率的材料來形成。更具體來說，第一引出導(dǎo)體43和第二引出導(dǎo)體48能夠使用具有擋光性質(zhì)并且具有比由ITO或其它材料所形成的透明導(dǎo)電體要高許多的導(dǎo)電率的諸如鋁、鑰、銀、鉻或銅之類的金屬材料來形成。在具有上述配置的觸摸面板傳感器30中，通過透明導(dǎo)電體40、45的引出導(dǎo)體43、48和端子部分42、47所形成的引出線37b經(jīng)由未示出的外部連接線連接到檢測控制器25。另外，按照具有上述配置的觸摸面板傳感器30，例如，即使觸摸面板傳感器30經(jīng)受彎曲壓力并且變形，透明導(dǎo)電體40、45的引出導(dǎo)體43、48和端子部分42、47也保持在互連狀態(tài)，如下面進行描述。因此，確保傳感器電極37a與檢測控制器25之間的穩(wěn)定電連續(xù)性。雖然由金屬或者具有高導(dǎo)電率的任何其它材料所制成的引出導(dǎo)體43、48相對透明導(dǎo)電體40、45具有某種粘合度，但是引出導(dǎo)體43、48的粘合強度相對由樹脂、玻璃等所形成的基膜32較低。相應(yīng)地，如圖11中一樣，例如，當(dāng)高導(dǎo)電率導(dǎo)體與由樹脂、玻璃等所形成的基材相接觸時，這個接觸位置形成剝離的起始點，以及如果基材如雙虛線所示變形，則高導(dǎo)電率導(dǎo)體易于從基材剝離。具體來說，在透明導(dǎo)電體采用高導(dǎo)電率導(dǎo)體來完全覆蓋的情況下，增加作為一個整體的透明導(dǎo)電體和高導(dǎo)電率導(dǎo)體的剛性。這使兩個導(dǎo)體不太易于變形，因為兩者均跟隨基材的變形。部分因為這種情況，高導(dǎo)電率導(dǎo)體變得易于從基材剝離。另一方面，按照本實施例，由于引出導(dǎo)體43、48與基膜32間隔開，所以沒有形成引出導(dǎo)體43、48從基膜32的剝離的起始點。另外，引出導(dǎo)體43、48僅擱置在透明導(dǎo)電體40、45上，而沒有從橫向覆蓋透明導(dǎo)電體40、45。這使透明導(dǎo)電體40、45易于跟隨基膜32的變形并且變形，這又使透明導(dǎo)電體40、45不太易于從基膜32剝離。由于這些原因，按照本實施例的觸摸面板傳感器30，例如，即使觸摸面板傳感器30經(jīng)受彎曲壓力并且變形，透明導(dǎo)電體40、45的引出導(dǎo)體43、48和端子部分42、47也保持在互連狀態(tài)。因此，確保傳感器電極37a與檢測控制器25之間的穩(wěn)定電連續(xù)性。此外，如圖3B所示，具有上述配置的觸摸面板傳感器30中的引出導(dǎo)體43、48僅設(shè)置在透明導(dǎo)電體40、45的端子部分42、47上，而沒有延伸到透明導(dǎo)電體40、45的端子部分42、47的橫向區(qū)域。因此，通過透明導(dǎo)電體40、45的引出導(dǎo)體43、48和端子部分42、47所引起的整個弓丨出線37b的線寬能夠減小。這又使相同導(dǎo)電率的引出線37b能夠以較短間距來設(shè)置，并且因而使引出線37b的設(shè)置空間、即非工作區(qū)Aa2的表面積能夠減小。接下來，下面參照圖5A至圖5L來描述符合圖6所示的流程圖的用于制造上述配置的觸摸面板傳感器30的方法。在圖5A至圖5L的每個中，截面圖(a)示出與沿圖3A的線條V-V所示的截面對應(yīng)的截面中的制作中的觸摸面板傳感器(層疊體)。另外，在圖5A至圖5L的每個中，頂視圖(b)示出從一側(cè)(紙張上的各截面圖(a)的上側(cè))觀看的制作中觸摸面板傳感器(層疊體)。如圖6和圖5A所示，提供作為用于制造觸摸面板傳感器30的基材的層疊體(又稱作“坯料”)(步驟SI)。通過對層疊體50進行膜沉積、形成圖案和/或其它處理，來得到觸摸面板傳感器30。如圖5A的截面圖(a)所示，本實施例中提供的層疊體50包括透明基膜32、層壓在基膜32的一個表面32a上的第一透明導(dǎo)電層52a、層壓在基膜32的另一表面32b上并且具有透光性質(zhì)的第二透明導(dǎo)電層52b、層壓在第一透明導(dǎo)電層52a上的第一覆蓋導(dǎo)電層54a以及層壓在第二透明導(dǎo)電層52b上的第二覆蓋導(dǎo)電層54b。也就是說，如同引出導(dǎo)體43、48一樣，本實施例中的對準(zhǔn)標(biāo)記和產(chǎn)品信息在通過在基膜32的相應(yīng)表面32a、32b上層壓透明導(dǎo)電層52a、52b和覆蓋導(dǎo)電層54a、54b所得到的二層膜上形成。另外，如同引出導(dǎo)體43、48一樣，本實施例中的對準(zhǔn)標(biāo)記和產(chǎn)品信息能夠在基膜32的兩個表面32a、32b上形成。產(chǎn)品信息包括產(chǎn)品名稱、批號、制造日期和產(chǎn)品等級中的至少一個，因而實現(xiàn)觸摸面板裝置中的單片切割和安裝之后的產(chǎn)品信息的確認(rèn)。此外，形成諸如條形碼之類的機器可讀信息，這又實現(xiàn)諸如觸摸面板裝置中的安裝之類的后處理期間的產(chǎn)品管理/控制。如上所述，基膜32能夠是樹脂膜，例如PET膜。備選地，如圖4(a)和圖4(b)所示，基膜32可包括由諸如PET之類的樹脂所形成的膜主體33以及在膜主體33的一個表面或兩個表面上形成的功能膜34、35。如本文稍后將進行描述，對第一透明導(dǎo)電層52a和第二透明導(dǎo)電層52b形成圖案，以便分別形成具有透光性質(zhì)的第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45。因此，第一透明導(dǎo)電層52a和第二透明導(dǎo)電層52b由具有透光性質(zhì)和導(dǎo)電性質(zhì)的材料來形成。作為一個示例，第一透明導(dǎo)電層52a和第二透明導(dǎo)電層52b能夠作為通過濺射在基膜32的表面32a、32b上沉積的ITO膜來形成。 如稍后將進行描述，對第一覆蓋導(dǎo)電層54a和第二覆蓋導(dǎo)電層54b形成圖案，以便分別形成具有高導(dǎo)電率的第一引出導(dǎo)體43、48。因此，第一覆蓋導(dǎo)電層54a和第二覆蓋導(dǎo)電層54b由具有比形成透明導(dǎo)電層52a、52b的材料更高的導(dǎo)電率的材料適當(dāng)?shù)匦纬?。另外，第一覆蓋導(dǎo)電層54a和第二覆蓋導(dǎo)電層54b是針對用于本文稍后所述的感光層56a和56b的曝光的光線具有擋光性質(zhì)的層。也就是說，第一覆蓋導(dǎo)電層和第二覆蓋導(dǎo)電層不準(zhǔn)許曝光光經(jīng)過其中。但是，在本實施例中，第一覆蓋導(dǎo)電層和第二覆蓋導(dǎo)電層作為不僅針對感光層56a、56b的曝光光線而且還針對其它波長區(qū)域的光線具有擋光性質(zhì)的層來形成。更具體來說，第一覆蓋導(dǎo)電層和第二覆蓋導(dǎo)電層作為具有阻擋可見光、紫外輻射、紅外輻射和自然光中包含的其它輻射的性質(zhì)的層來形成。使用這些層作為覆蓋導(dǎo)電層54a、54b被預(yù)計更可靠地阻擋曝光光線。各種材料已知為可用于形成第一覆蓋導(dǎo)電層54a和第二覆蓋導(dǎo)電層54b?？紤]到成本、可加工性/可處理性和其它因素，能夠使用鋁、鑰、銀、鉻、銅或其它金屬。由金屬制成的擋光層54能夠通過濺射在第一導(dǎo)電層52a的一個表面上、即與基膜32相對的表面上形成。要注意，例如，可提供例如卷繞到卷筒上的片材形狀類型的層疊體50或者延長連接板形狀類型的層疊體50。但是，考慮到產(chǎn)品效率，層疊體50優(yōu)選地在不同位置中制作，然后在提供之前卷繞到卷筒上。另外，卷筒形式的層疊體50優(yōu)選地松開以便以連接板形式來提供，然后優(yōu)選地對將要提供的連接板形式層疊體50進行以下所述的步驟。一種備選優(yōu)選制造方法是在從卷筒松開基膜32之后從卷筒釋放基膜32，或者在從卷筒松開包括基膜32以及第一透明導(dǎo)電層52a和第二透明導(dǎo)電層52b的中間層疊體之后從卷筒釋放中間層疊體，然后由基膜32或中間層疊體來制作層疊體50，并且為所制作層疊體50提供以下所述的步驟。隨后,如圖6和圖5B所不，除了在層疊體50的一個表面50a上形成作為第一感光層的感光層56a之外,還在層疊體50的另一表面上形成作為第二感光層的感光層56b (步驟S2)。第一感光層56a和第二感光層56b相對特定波長區(qū)域的光線、例如紫外輻射具有感光性質(zhì)。更具體來說，能夠各通過使用涂布機采用感光材料涂敷層疊體50的表面來形成感光層 56a、56b。此后,如圖6和圖5C所不,同時曝光第一感光層56a和第二感光層56b (步驟S3)。更具體來說，首先，如圖5C的截面圖(a)所示，第一掩模58a放置在第一感光層56a之上，以及第二掩模58b放置在第二感光層56b之下。第一掩模58a具有與待形成的第一透明導(dǎo)電體40的圖案對應(yīng)的預(yù)定圖案，以及第二掩模58b具有與待形成的第二透明導(dǎo)電體45的圖案對應(yīng)的預(yù)定圖案。第一掩模58a的圖案和第二掩模58b的圖案相互不同。第一掩模58a和第二掩模58b的定位基于各設(shè)置在第一掩模58a和第二掩模58b上的對準(zhǔn)標(biāo)記59a來執(zhí)行。在這種方法中，以例如大約數(shù)微米非常精確地并且相互之間非常容易地(因此迅速地)定位第一掩模58a和第二掩模58b。隨后，如圖5C的截面圖(a)所不,米用匹配感光層56a、56b的感光特性的曝光光線(例如紫外輻射)分別經(jīng)由掩模58a、58b來照射第一感光層56a和第二感光層56b。因此，第一感光層56a和第二感光層56b按照相互不同的圖案同時曝光。在所不不例中，第一感光層56a和第二感光層56b屬于光正型。因此,按照與通過蝕刻被去除以形成第一透明導(dǎo)電體40的一部分的圖案對應(yīng)的圖案采用曝光光線來照射第一感光層56a，以及按照與通過蝕刻被去除以形成第二透明導(dǎo)電體45的一部分的圖案對應(yīng)的圖案米用曝光光線來照射第二感光層56b。如圖5C的截面圖(a)所不,朝第一感光層56a發(fā)射的曝光光線穿透第一感光層56a并且到達層疊體(還料)50,以及朝第二感光層56b發(fā)射的曝光光線穿透第二感光層56b并且到達層疊體50。
在這里，層疊體50具有阻擋曝光光線的第一覆蓋導(dǎo)電層54a和第二覆蓋導(dǎo)電層54bο為此,從曝光光源發(fā)射并且穿透第一感光層56a的光線被第一覆蓋導(dǎo)電層54a阻擋，并且因而沒有到達第二感光層56b。同樣，從曝光光源發(fā)射并且穿透第二感光層56b的光線被第二覆蓋導(dǎo)電層54b阻擋，并且因而沒有到達第一感光層56a。換言之，由于按照預(yù)定圖案所發(fā)射以使第一感光層56a曝光的曝光光線被第一覆蓋導(dǎo)電層54a阻擋，所以沒有朝第二感光層56b發(fā)射預(yù)定圖案的曝光光線。同樣，由于按照預(yù)定圖案所發(fā)射以使第二感光層56b曝光的曝光光線被第二覆蓋導(dǎo)電層54b阻擋,所以沒有朝第一感光層56a發(fā)射預(yù)定圖案的曝光光線。這使第一感光層56a和第二感光層56b能夠在曝光步驟S3中準(zhǔn)確地按照預(yù)期相應(yīng)圖案同時曝光。隨后，如圖6和圖所示，外露的第一感光層56a和第二感光層56b在步驟S4經(jīng)過顯影。更具體來說，提供與第一感光層56a和第二感光層56b匹配的顯影液，然后這個顯影劑用于對第一感光層56a和第二感光層56b顯影。因此,如圖所不，米用來自曝光光源的未被第一掩模58a和第二掩模58b所阻擋的光線來照射的部分從第一感光層56a和第二感光層56b被去除。因此，第一感光層56a和第二感光層56b具有預(yù)定的相應(yīng)圖案。此后，如圖6和圖5E所不，使用形成圖案后的第一感光層56a作為掩模來蝕刻第一覆蓋導(dǎo)電層54a，以及使用形成圖案的第二感光層56b作為掩模來蝕刻第二導(dǎo)電層54b (步驟S5)。這樣蝕刻的第一覆蓋導(dǎo)電層54a和第二覆蓋導(dǎo)電層54b具有與第一感光層56a和第二感光層56b基本上相同的相應(yīng)圖案。例如，如果覆蓋導(dǎo)電層54a、54b由鋁或鑰制成，則通過以5:5:5:1的比率來混合磷酸、硝酸、乙酸和水所形成的磷-硝-乙酸水溶液能夠用作蝕刻溶液。如果覆蓋導(dǎo)電層54a、54b由銀制成，則通過以4:1:4:4的比率來混合磷酸、硝酸、乙酸和水所形成的磷-硝-乙酸水溶液能夠用作蝕刻溶液。如果覆蓋導(dǎo)電層54a、54b由鉻制成，則能夠使用通過以17:4:70的比率混合硝酸鈰銨、高氯酸和水來形成的蝕刻溶液。此后,如圖6和圖5F所不,使用形成圖案的第一感光層56a和第一覆蓋導(dǎo)電層54a作為掩模來蝕刻第一透明導(dǎo)電層52a，以及使用形成圖案的第二感光層56b和第二覆蓋導(dǎo)電層54b作為掩模來蝕刻第二透明導(dǎo)電層52b (步驟S6)。例如，如果氯化鐵用作蝕刻溶液，則由ITO所形成的第一透明導(dǎo)電層52a具有與第一感光層56a和第一覆蓋導(dǎo)電層54a上形成的基本上相同的圖案，并且由ITO所形成的第二透明導(dǎo)電層52b具有與第二感光層56b和第二覆蓋導(dǎo)電層54b上形成的基本上相同的圖案。換言之，第一透明導(dǎo)電層52a和第二透明導(dǎo)電層52b在每個的兩個表面上同時蝕刻。此后，如圖6和圖5G所示，在步驟S7去除形成圖案的第一覆蓋導(dǎo)電層54a上留下的第一感光層56a以及形成圖案的第二覆蓋導(dǎo)電層54b上留下的第二感光層56b。使用諸如2%氫氧化鉀之類的堿性溶液去除剩余的第一感光層56a，因而暴露形成圖案的第一覆蓋導(dǎo)電層54a。以上還去除剩余的第二感光層56b,因而暴露形成圖案的第二覆蓋導(dǎo)電層54b。隨后，如圖6和圖5H所不,第三感光層56c作為又一個感光層在形成圖案的第一覆蓋導(dǎo)電層54a之上形成，以及第四感光層56d作為另一感光層在形成圖案的第二覆蓋導(dǎo)電層54b之上形成(步驟S8)。在所示示例中，第三感光層56c按照使得從一個方向覆蓋制作中觸摸面板傳感器30 (層疊體50)的形式來形成，以及第四感光層56d按照使得從另一個方向覆蓋制作中觸摸面板傳感器30 (層疊體50)的形式來形成。如同第一感光層56a和第二感光層56b —樣,第三感光層56c和第四感光層56d相對特定波長區(qū)域的光線、例如紫外福射具有感光性質(zhì)。另外，如同第一感光層56a和第二感光層56b —樣,第三感光層56c和第四感光層56d能夠各通過使用涂布機采用感光材料涂敷層疊體50的表面來形成。此后，如圖6和圖51所示，第三感光層56c和第四感光層56d同時曝光(步驟S9)。在步驟S9，首先如圖51的截面圖(a)所示，第三掩模58c放置在第三感光層56c之上，以及第四掩模58d放置在第四感光層56d之下。第三掩模58c具有與將被去除以形成第一引出導(dǎo)體43的第一覆蓋導(dǎo)電層54a的一部分對應(yīng)的預(yù)定圖案，并且第三掩模58c具有與將被去除以形成第二引出導(dǎo)體48的第二覆蓋導(dǎo)電層54b的一部分對應(yīng)的預(yù)定圖案。在所示示例中，第三掩模58c具有形成為使得匹配工作區(qū)Aal的圖案，更具體來說，透光區(qū)域略大于工作區(qū)Aal。另外,在所不不例中，第四掩模58d具有與第三掩模58c相同的圖案。用于定位的對準(zhǔn)標(biāo)記可在對第一覆蓋導(dǎo)電層54a形成圖案之前形成。在那種情況下，第三掩模58c的定位能夠基于由第一覆蓋導(dǎo)電層54a所形成的這個對準(zhǔn)標(biāo)記來執(zhí)行。使用這種方法使第三掩模58c能夠相對第一覆蓋導(dǎo)電層54a和第一透明導(dǎo)電層52a的圖案非常精確地定位?；旧?，相同方法能夠適合于定位第四掩模58d。因此，第四掩模58d能夠相對第二覆蓋導(dǎo)電層54b和第二透明導(dǎo)電層52b的圖案非常精確地定位。隨后，如圖51的截面圖(a)所不,在第三掩模58c和第四掩模58d已經(jīng)設(shè)置之后，采用與第三感光層56c和第四感光層56d的感光特性匹配的曝光光線(例如紫外光)經(jīng)由掩模58c、58d來照射感光層56c、56d。這使第三感光層58c和第四感光層58d按照相同圖案同時曝光。在所不不例中，第一感光層56a和第二感光層56b屬于光正型。第三掩模58c和第四掩模58d具有包括面向工作區(qū)Aal的區(qū)域的透光區(qū)域。因此，在面向工作區(qū)Aal的區(qū)域中以及在圍繞那個區(qū)域的區(qū)域中采用曝光光線來照射第三感光層56c和第四感光層56d。從曝光光線朝第三感光層56c所發(fā)射的光線的圖案與朝第四感光層56d所發(fā)射的光線相同。第三感光層56c和第四感光層56d因此能夠精確地按照預(yù)先計劃的圖案同時曝光。隨后，如圖6和圖5J所示，外露的第三感光層56c和第四感光層56d在步驟SlO經(jīng)過顯影。更具體來說，制備與第三感光層56c和第四感光層56d匹配的顯影液，然后這個顯影劑用于對第三感光層56c和第四感光層56d顯影。因此，如圖5J所示，從第三感光層56c和第四感光層56d去除采用曝光光線來照射而沒有被第三掩模58c和第四掩模58d阻擋的部分。也就是說，在第三感光層56c和第四感光層56d中，去除面向工作區(qū)Aal以及圍繞該區(qū)域的區(qū)域，以及第三感光層56c和第四感光層56d僅保留在面向非工作區(qū)Aa2的區(qū)域中。此后，如圖6和圖5K所不,使用形成圖案的第三感光層56c作為掩模來對已經(jīng)形成圖案的第一覆蓋導(dǎo)電層54a執(zhí)行蝕刻，以及使用形成圖案的第四感光層56d作為掩模來對已經(jīng)形成圖案的第二覆蓋導(dǎo)電層54b執(zhí)行蝕刻(步驟Sll)。這個步驟中使用的蝕刻溶液相對覆蓋導(dǎo)電層54a、54b具有腐蝕性質(zhì)，但是相對透明導(dǎo)電層52a、52b卻不呈現(xiàn)腐蝕性質(zhì)，或者蝕刻溶液相對透明導(dǎo)電層52a、52b可具有弱腐蝕性質(zhì)。這種蝕刻溶液保護因去除覆蓋導(dǎo)電層54a、54b而外露的透明導(dǎo)電層52a、52b的圖案。簡言之，步驟Sll中使用的蝕刻溶液選擇成使得有選擇地蝕刻預(yù)期層(覆蓋導(dǎo)電層54a、54b)。在一個更具體示例中，在步驟Sll中適當(dāng)?shù)厥褂弥T如上述磷-硝-乙酸水溶液或包含硝酸鈰之類的蝕刻溶液，因為雖然蝕刻溶液針對由預(yù)定金屬所形成的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b具有蝕刻性質(zhì)，但是蝕刻溶液針對由ITO等所形成的透明導(dǎo)電層52a、52b沒有蝕刻性質(zhì)。形成圖案的第一覆蓋導(dǎo)電層54a中至少設(shè)置在面向工作區(qū)Aal的位置的部分通過在步驟Sll的蝕刻被去除，并且形成圖案的第二覆蓋導(dǎo)電層54b中至少設(shè)置在面向工作區(qū)Aal的位置的部分同樣地通過在步驟Sll的蝕刻被去除。因此，如圖5K的頂視圖(b)所示，只有基膜32和透明導(dǎo)電層52a、52b保留在工作區(qū)Aal上。相應(yīng)地，工作區(qū)Aal變得在整個區(qū)域之上具有透光性質(zhì)。這樣，去除第一覆蓋導(dǎo)電層54a中沒有被第三感光層56c覆蓋的部分，并且因此第一透明導(dǎo)電層52a變?yōu)橥饴丁Ｍ饴兜牡谝煌该鲗?dǎo)電層52a定位在面向工作區(qū)Aal以及圍繞該區(qū)域的區(qū)域中。定位在面向工作區(qū)Aal的區(qū)域中的第一透明導(dǎo)電層52a具有預(yù)定圖案，并且形成第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41。在非工作區(qū)Aa2外露的第一透明導(dǎo)電層52a具有預(yù)定圖案，并且形成第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分42的一部分。同樣，去除第二覆蓋導(dǎo)電層54b中沒有被第四感光層56d覆蓋的部分，并且因此第二透明導(dǎo)電層52b變?yōu)橥饴?。外露的第二透明?dǎo)電層52b定位在面向工作區(qū)Aal以及圍繞該區(qū)域的區(qū)域中。定位在面向工作區(qū)Aal的區(qū)域中的第二透明導(dǎo)電層52b具有預(yù)定圖案，并且形成第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46。在非工作區(qū)Aa2外露的第二透明導(dǎo)電層52b具有預(yù)定圖案，并且形成第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分47的一部分。隨后，如圖6和圖5L所示，在步驟S12去除形成圖案的第一覆蓋導(dǎo)電層54a上留下的第三感光層56c以及形成圖案的第二覆蓋導(dǎo)電層54b上留下的第四感光層56d。通過使用上述堿性溶液去除剩余的第三感光層56c，因而暴露形成圖案的第一覆蓋導(dǎo)電層54a。以上還去除剩余的第四感光層56d，因而暴露形成圖案的第二覆蓋導(dǎo)電層54b。外露的第一覆蓋導(dǎo)電層54a具有預(yù)定圖案，并且形成第一引出導(dǎo)體43。包括第一透明導(dǎo)電層52a的第一透明導(dǎo)電體40的第一端子部分42在所形成的第一引出導(dǎo)電43與基膜32之間形成。如上所述并且如圖3B所示，這樣形成的第一引出導(dǎo)體43與基膜32間隔開地定位在第一端子部分42上。因此，第一端子部分42在第一引出導(dǎo)體43與基膜32之間橫向外露。同樣，外露的第二覆蓋導(dǎo)電層54b具有預(yù)定圖案，并且形成第二引出導(dǎo)體48。包括第二透明導(dǎo)電層52b的第二透明導(dǎo)電體45的第二端子部分47在所形成的第二引出導(dǎo)電48與基膜32之間形成。這樣形成的第二引出導(dǎo)體48與基膜32間隔開地定位在第二端子部分47上。因此，第二端子部分47在第二引出導(dǎo)體48與基膜32之間橫向外露。也就是說，如同引出導(dǎo)體43、48 —樣，本實施例中的對準(zhǔn)標(biāo)記和產(chǎn)品信息在通過在基膜32的相應(yīng)表面32a、32b上層壓透明導(dǎo)電層52a、52b和覆蓋導(dǎo)電層54a、54b所得到的二層膜上形成。另外，如同引出導(dǎo)體43、48 —樣，本實施例中的對準(zhǔn)標(biāo)記和產(chǎn)品信息能夠在基膜32的兩個表面32a、32b上形成。產(chǎn)品信息包括產(chǎn)品名稱、批號、制造日期和產(chǎn)品等級中的至少一個，因而實現(xiàn)觸摸面板裝置中的單片切割和安裝之后的產(chǎn)品信息的確認(rèn)。此外，形成諸如條形碼之類的機器可讀信息，這又實現(xiàn)諸如觸摸面板裝置中的安裝之類的后處理期間的產(chǎn)品管理/控制。在圖14、圖15和圖16中示出按照本發(fā)明的具有對準(zhǔn)標(biāo)記和產(chǎn)品信息的觸摸面板傳感器膜的一個實施例。如圖14、圖15和圖16所示，對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77以及包括產(chǎn)品信息78和條形碼79的產(chǎn)品信息在除了其上能夠檢測觸摸面板傳感器膜的接觸位置(或接近位置)的工作區(qū)Aal之外的非工作區(qū)Aa2中形成(參見圖1和圖3A)。圖14是在連接板上形成的觸摸面板傳感器膜70的示意圖。用于對進行拼版所形成的單位圖案的預(yù)定數(shù)量集合進行片材切割的對準(zhǔn)標(biāo)記71在傳感器膜上形成。這里的單位圖案各用于形成圖16所示的單獨觸摸面板傳感器片75。進行拼版所形成的單位圖案的預(yù)定數(shù)量集合各用于從其上形成圖15所示觸摸面板傳感器的連接板來切割單位圖案集合的任一個。圖15示出進行拼版所形成的單位圖案的預(yù)定數(shù)量集合，各集合按照五行、五列的格式來形成。圖15是按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器的傳感器膜的片材切割之后所得到的觸摸面板傳感器膜片材72的示意圖。用于單片切割或創(chuàng)建預(yù)切割單片的對準(zhǔn)標(biāo)記73、74在片材上形成。圖16示出在按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器的傳感器膜上制作的觸摸面板傳感器單位圖案(觸摸面板傳感器片)75。用于與觸摸面板裝置的對位的對準(zhǔn)標(biāo)記76、用于FPC貼附的對準(zhǔn)標(biāo)記77以及包括產(chǎn)品信息78和條形碼79的產(chǎn)品信息在單位圖案中形成。對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77的形狀和位置并不局限于圖中所示的形狀和位置，并且這些對準(zhǔn)標(biāo)記的實際形狀和位置各能夠是任何形狀和位置，只要它們實現(xiàn)對位。包括條形碼的產(chǎn)品信息能夠具有任何形式的信息，例如二維條形碼或其它機器可讀信息。對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77和產(chǎn)品信息78、79在與用于引出導(dǎo)體43、48相同的步驟中形成。能夠在使這些種類的對準(zhǔn)標(biāo)記相對于傳感器部分和電線路的位置保持不受干擾的同時來制作用于片材切割的對準(zhǔn)標(biāo)記71、用于創(chuàng)建預(yù)切割傳感器片75的對準(zhǔn)標(biāo)記、用于沖切的對準(zhǔn)標(biāo)記73、74、用于FPC貼附的對準(zhǔn)標(biāo)記77或者用于與傳感器裝置的對位的對準(zhǔn)標(biāo)記76。參照產(chǎn)品信息，其位置關(guān)系在由機器讀取信息時是特別重要的，并且能夠在非常精確地設(shè)置傳感器片中的產(chǎn)品信息的位置的同時來創(chuàng)建產(chǎn)品信息。具有對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77工產(chǎn)品信息78、79的上述構(gòu)造的觸摸面板傳感器30能夠按照上述方式來得到。為了預(yù)期的相應(yīng)目的來形成對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77，其中包括片材切割、單片切割、單片沖切、FPC貼附以及與顯示面板的對位。這里的片材切割對準(zhǔn)標(biāo)記表示當(dāng)作為進行拼版所形成的單位圖案的預(yù)定數(shù)量集合其中之一的單位圖案集合72(參見圖15)將被切割以供從連接板上形成的觸摸面板傳感器膜70(參見圖14)進行抽取時用于匹配位置的對準(zhǔn)標(biāo)記。用于創(chuàng)建預(yù)切割傳感器片75以及用于單片沖切的對準(zhǔn)標(biāo)記表示當(dāng)觸摸面板傳感器片75將被切割或沖切以供從進行拼版所形成的單位圖案的預(yù)定數(shù)量集合的單位圖案集合72 (參見圖15)進行抽取時用于匹配位置的對準(zhǔn)標(biāo)記。用于FPC貼附的對準(zhǔn)標(biāo)記表示當(dāng)與FPC基板更靠近的引出線的一端將被連接到基板時用于匹配位置的對準(zhǔn)標(biāo)記。用于與顯示面板的對位的對準(zhǔn)標(biāo)記表示當(dāng)觸摸面板傳感器片75將被設(shè)置于或者貼附到顯示裝置的顯示表面時用于匹配位置的對準(zhǔn)標(biāo)記。每種對準(zhǔn)標(biāo)記能夠形成為使得實現(xiàn)一種使用目的。例如，每種對準(zhǔn)標(biāo)記能夠形成為使得實現(xiàn)一種目的，例如用于片材切割的特殊種類、用于單片切割的特殊種類或者用于FPC貼附的特殊種類。為了傳感器膜的非工作區(qū)的表面積的進一步減小，一種對準(zhǔn)標(biāo)記可形成為使得實現(xiàn)多個目的(即，用于至少兩個目的)。例如，可共同使用用于單片切割的對準(zhǔn)標(biāo)記74以及用于與顯示面板的對位的對準(zhǔn)標(biāo)記76。備選地，用于FPC貼附的對準(zhǔn)標(biāo)記77之一以及用于與顯示面板的對位的對準(zhǔn)標(biāo)記76之一可共用于一個目的。還能夠形成用于上述若干目的其中之一的對準(zhǔn)標(biāo)記以及用于多個目的(至少兩個目的)的對準(zhǔn)標(biāo)記。本發(fā)明中的對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77或產(chǎn)品信息78、79能夠在與形成覆蓋導(dǎo)電層相同的步驟中創(chuàng)建，而無需提供新步驟。相應(yīng)地，本發(fā)明中的對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77或產(chǎn)品信息78、79的創(chuàng)建使對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77或產(chǎn)品信息78、79完全跟隨用于使感光層曝光的圖案，因而對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息相對于觸摸面板傳感器區(qū)域的位置保持為一致，并且能夠版所需位置精度。對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77和產(chǎn)品信息78、79的位置精度的這種提高引起諸如片材切割、單片切割、單片沖切和FPC貼附之類的后處理步驟中的處理精度的提高以及因此引起產(chǎn)品信息78、79、特別是條形碼信息79的機器讀取精度的提高。由于本發(fā)明中的對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77或產(chǎn)品信息78、79在與形成覆蓋導(dǎo)電層相同的步驟中創(chuàng)建，所以對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息的位置精度基本上具有與用于使感光層曝光的掩模圖案的精度等級相同的等級。如果對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77使用本文先前所述的絲網(wǎng)印刷過程來創(chuàng)建，這使得難以得到對準(zhǔn)標(biāo)記的充分定位精度。其原因在于，用于絲網(wǎng)印刷的印刷板的膨脹和收縮可能降低對準(zhǔn)標(biāo)記的精度(至少數(shù)微米)和線寬的精度(數(shù)微米至數(shù)十微米)，并且將最大可取得線厚限定到接近30微米。另外，通過沒有使用對準(zhǔn)標(biāo)記的膜邊緣對位可得到的最大精度為數(shù)微米。如果卷繞到卷筒上的連接板狀材料作為基膜32或?qū)盈B體50或者包括基膜32以及第一透明導(dǎo)電層52a和第二透明導(dǎo)電層52b的中間層疊體(等等)的源材料，則連接板狀源材料可從卷筒松開和釋放，并且可對所釋放源材料進行以上所述的各步驟。在這種情況下，大量觸摸面板傳感器30將經(jīng)由基膜32在互連的狀態(tài)中形成。然后，這樣制作的連接板狀觸摸面板傳感器30各可卷繞到卷筒上，其中保護襯片或夾層放置在面板傳感器的每兩個重疊之間，以便提供處理(運輸、裝運等)的便捷/使用。觸摸面板傳感器30根據(jù)需要將從卷筒釋放，同時是可切割為片材形式。當(dāng)連接板狀觸摸面板傳感器30將要卷繞到卷筒時，滑片或夾層可放置于連接板狀觸摸面板傳感器30的兩側(cè)。備選地，滑片或夾層可以僅放置于連接板狀觸摸面板傳感器30的一側(cè)。在上述制造方法中，第一感光層56a和第二感光層56b均同時曝光。在這個雙面同時曝光過程中，如圖5C的截面圖(a)所示，通過將對準(zhǔn)標(biāo)記59a設(shè)置在第一掩模58a和第二掩模58b的每個上，第一掩模58a和第二掩模58b能夠以例如大約數(shù)微米非常精確并且相互之間非常容易地(因此迅速地)定位。這使觸摸面板傳感器30中的第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45均非常精確并且有效地定位在基膜32上。同時，單獨在第一感光層56a和第二感光層56b依次曝光的情況下，不允許精確輕松地制作第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45。為了精確地制作第一透明導(dǎo)電體40以及第二透明導(dǎo)電體45，需要在基膜32上形成第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45其中之一連同對準(zhǔn)標(biāo)記，然后相對基膜32上形成的對準(zhǔn)標(biāo)記來定位用于形成第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45中的另一個的掩模。這意味著，至少需要曝光步驟和顯影步驟對于第一感光層56a和第二感光層56b單獨執(zhí)行。因此，無法有效、情事或輕松地形成第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45。在例如使用基膜32的一端而不是使用對準(zhǔn)標(biāo)記作為參考來定位第一掩模58a和第二掩模58b的同時,能夠使第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45曝光。在這種方法中，能夠?qū)τ诘谝桓泄鈱?6a和第二感光層56b同時執(zhí)行曝光步驟和顯影步驟。但是，第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45的定位精度將取決于基膜32的輪廓精度。一般來說，通過使用這種方法可得到的第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45的定位精度最多大約為數(shù)十微米。由于這些原因，以上描述的本實施例的制造方法使第一透明導(dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45相互之間能夠輕松精確地定位。更具體來說，按照本實施例，在觸摸面板傳感器30的頂視圖中，即，從其法線方向來觀察觸摸面板傳感器30時，第一傳感器部分41的接近正方形形狀的膨脹部分41b與第二傳感器部分46的接近正方形形狀的膨脹部分46b之間相互平行的外輪廓的間隔G(又稱作圖案間隔，參照圖3A)穩(wěn)定地控制在低于100 μπι。另一方面，在用于將兩片膜貼附在一起的常規(guī)方法中，圖案間隔G多達200 μπι或以上。因此，在本實施例中，在從法線方向觀察觸摸面板傳感器30時其中設(shè)置了第一傳感器部分41和第二傳感器部分46之一的區(qū)域的相對比率增加到其上能夠檢測觸摸面板傳感器膜的接觸位置(或接近位置)的工作區(qū)Aal的所有區(qū)域的至少95%。另外，除了較低導(dǎo)電率的透明導(dǎo)電體40、45的端子部分42、47之外，引出線37b還包括高導(dǎo)電引出導(dǎo)體43、48。這使引出線37b的線寬并且因而使引出線37b的設(shè)置空間能夠減小，也就是說，使非工作區(qū)Aa2的表面積能夠減小。具體來說，在上述方法中，引出導(dǎo)體43、48僅設(shè)置在透明導(dǎo)電體40、45的端子部分42、47上，而沒有橫向延伸到透明導(dǎo)電體40、45的端子部分42、47之外，如圖3B所示，并且這能夠無需特殊定位來實現(xiàn)。另一方面，如果高導(dǎo)電材料的引出導(dǎo)體43、48通過例如傳統(tǒng)上很頻繁使用的絲網(wǎng)印刷在透明導(dǎo)電體40、45的端子部分42、47上形成，則透明導(dǎo)電體40、45從端子部分42、47的橫向側(cè)面延伸到基膜32的上表面，如圖11所示。與常規(guī)技術(shù)的這些引出線相比，如果本實施例中的引出線37b使用相同數(shù)量的高導(dǎo)電材料來形成，則引出線37b的線寬顯著變窄，同時將其導(dǎo)電率保持在相同等級。另外，本實施例中的引出導(dǎo)體43、48以及透明導(dǎo)電體40、45的端子部分42、47通過光刻來形成，并且因而與使用諸如絲網(wǎng)印刷之類的常規(guī)方法所形成的相比，能夠非常精確地在預(yù)期位置上形成為預(yù)期形狀。此外，按照本實施例，與圖11所示的常規(guī)引出線不同，高導(dǎo)電率的引出導(dǎo)體43、48不是橫向設(shè)置在透明導(dǎo)電體40、45的端子部分42、47之上，并且沒有延伸到基膜32的上表面，因此電遷移不太可能發(fā)生。這些特性實現(xiàn)引出線37b的布置間距的顯著減小。因此，引出線37b的設(shè)置空間、即非工作區(qū)Aa2的表面積能夠減小。以上描述的本實施例的制造方法使得有可能防止透明導(dǎo)電體40、45的端子部分42、47從相應(yīng)橫向側(cè)面被弓丨出導(dǎo)體43、48覆蓋。另外，如圖3B所示，與引出導(dǎo)體43、48所覆蓋的透明導(dǎo)電體40、45的端子部分42、47相比，本實施例的制造方法使得有可能縮小引出導(dǎo)體43、48的寬度。也就是說，在從基膜32的膜表面的法線方向觀察引出導(dǎo)體43、48時，引出導(dǎo)體43、48能夠僅設(shè)置在透明導(dǎo)電體40、45上。換言之，引出導(dǎo)體43、48能夠僅設(shè)置在設(shè)置了透明導(dǎo)電體40、45的端子部分42、47的區(qū)域中。在這種構(gòu)造中，更穩(wěn)定地確保傳感器電極37a與檢測控制器25之間的電連續(xù)性。另外，由于電遷移不太可能發(fā)生，所以引出線37b的設(shè)置間距對于非工作區(qū)Aa2的甚至更小表面積能夠進一步降低。接下來將主要參照圖7來描述在使用發(fā)明制造方法來形成引出線37b時為什么以及如何估計引出線37b的引出導(dǎo)體43、48的寬度以便相對于引出導(dǎo)體43、48所覆蓋的透明導(dǎo)電體40、45的端子部分42、47的寬度變窄。但是，這種機制并不是限制本發(fā)明。
在通過將兩片膜貼附在一起來制作觸摸面板傳感器的常規(guī)方法中，當(dāng)透明導(dǎo)電體的端子部分通過光刻在膜上形成時，感光層將直接設(shè)置在形成透明導(dǎo)電體的透明導(dǎo)電層上。按照本實施例，另一方面，覆蓋導(dǎo)電層54a、54b設(shè)置在形成透明導(dǎo)電體40、45的透明導(dǎo)電層52a、52b上。一般來說，感光層(抗蝕劑層)相對用于蝕刻透明導(dǎo)電層的蝕刻溶液(例如氯化鐵)具有強腐蝕性質(zhì)。由金屬等所形成的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b能夠采用由ITO等所形成的透明導(dǎo)電層52a、52b用的特殊蝕刻溶液來蝕刻。如圖7所示，因此，在蝕刻透明導(dǎo)電層52a、52b的步驟S6中，當(dāng)透明導(dǎo)電層52a、52b沿縱向(基膜32的法線方向)來蝕刻時，覆蓋導(dǎo)電層54a、54b可沿橫向(沿基膜32的片材表面)從沒有被感光層56a、56b覆蓋的側(cè)面來蝕刻。同時，由于感光層相對步驟S6中使用的蝕刻溶液具有強腐蝕性質(zhì)，所以感光層在橫向沒有廣泛地蝕刻。由于這些原因，在使用本實施例的制造方法所制作的觸摸面板傳感器30中，引出導(dǎo)體43、48的寬度能夠相對于引出導(dǎo)體43、48所覆蓋的透明導(dǎo)電體40、45的端子部分42、46的寬度變窄。此外，引出導(dǎo)體43、48由用于在第一感光層52a和第二感光層52b按照不同圖案同時曝光時防止第一感光層56a和第二感光層56b的曝光光線圖案相互影響的擋光層(覆蓋導(dǎo)電層)54a、54b來制作。對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息也在與擋光層(覆蓋導(dǎo)電層)54a、54b相同的步驟中同時創(chuàng)建。制作觸摸面板傳感器30所需的材料成本能夠通過使用這種方法來降低。此外，觸摸面板傳感器30的制作效率能夠有效地提高，這又進一步降低觸摸面板傳感器30的制作成本。因此，優(yōu)良觸摸面板傳感器30 (觸摸面板裝置20)能夠以高生產(chǎn)效率并且以低制造成本來制作。按照上述方式已經(jīng)得到的觸摸面板傳感器30經(jīng)由粘合層19接合到顯示裝置15上，并且保護蓋12經(jīng)由粘合層14接合到觸摸面板傳感器30上。這樣得到圖1和圖2所示的輸入/輸出裝置10。接下來將描述輸入/輸出裝置10在被使用時存在的操作。首先，通過在顯示裝置15的顯示面板16上顯示圖像，輸入/輸出裝置10允許觀察者經(jīng)由保護蓋12和觸摸面板傳感器30來觀察圖像。另外，在輸入/輸出裝置10中，觸摸面板傳感器30和保護蓋12構(gòu)成觸摸面板裝置20的一部分。因此，能夠檢測外部導(dǎo)體5 (通常為人的手指5)在保護蓋12上的接觸(接近)以及外部導(dǎo)體5在保護蓋12上的接觸(接近)位置。更具體來說，首先在外部導(dǎo)體(例如人的手指)5觸摸保護蓋12時，外部導(dǎo)體5以及定位在外部導(dǎo)體5相對保護蓋12的接觸位置附近的電極區(qū)域40、45的導(dǎo)體41、46用作形成電場的電極。這時，除了定位在構(gòu)成傳感器電極37a的透明導(dǎo)電體40、45的傳感器部分41、46之間的保護蓋12之外，基膜32等也用作電介質(zhì)。這意味著，外部導(dǎo)體5與保護蓋12的接觸形成使用傳感器部分41、46和外部導(dǎo)體5作為電極的電容器。觸摸面板裝置20中的檢測控制器25的檢測電路連接到傳感器部分41、46，并且組成為檢測傳感器部分41、46與外部導(dǎo)體5之間存在的電容。通過檢測傳感器部分41、46與外部導(dǎo)體5之間的電容的變化，檢測控制器25識別外部導(dǎo)體5面向第一傳感器部分41的哪一個以及外部導(dǎo)體5面向第二傳感器部分46的哪一個。也就是說，通過識別沿上述方向以線狀排列在工作區(qū)Aal上的第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41的面向外部導(dǎo)體5的第一傳感器部分(線狀導(dǎo)體)，檢測控制器25的檢測電路識別外部導(dǎo)體5在沿上述方向延伸的坐標(biāo)軸上的位置。類似地，通過識別沿另一方向以線狀排列在工作區(qū)Aal上的第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46的面向外部導(dǎo)體5的第二傳感器部分(線狀導(dǎo)體)，檢測控制器25的檢測電路識別外部導(dǎo)體5在沿另一方向延伸的坐標(biāo)軸上的位置。由于這樣在兩個不同方向檢測外部導(dǎo)體5相對于觸摸面板裝置20 (保護蓋12)的接觸位置，所以與觸摸面板裝置20的表面相接觸的外部導(dǎo)體5的位置坐標(biāo)在觸摸面板裝置20的表面上精確地識別。各種文檔公開檢測投影類型電容耦合方案的觸摸面板中的接觸位置的各種方法(原理)，并且本文中省略對這些方法(原理)的更詳細(xì)描述。在使用按照本實施例的制造方法所制作的觸摸面板傳感器30中，各傳感器電極37a和引出線37b在作為單個實體存在的基膜32的兩側(cè)形成。也就是說，包括經(jīng)由粘合劑等所接合的多個膜的接合結(jié)構(gòu)等沒有用作基膜。結(jié)果在于，觸摸面板傳感器30總體上的透光系數(shù)得到改進。能夠反射照明或其它環(huán)境光(外部光)、圖像光和其它光的界面的數(shù)量也減少，這又抑制環(huán)境光的反射，并且改進顯示裝置15上顯示的圖像的對比度。另外，這些特性防止顯示裝置15的顯示圖像在觸摸面板傳感器30設(shè)置在顯示裝置15的顯示表面16上時顯著退化。此外，以上所述減小觸摸面板傳感器30和輸入/輸出裝置10的總厚度。按照本實施例的對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77或產(chǎn)品信息78、79的極精確定位提高諸如片材切割、單片切割、單片沖切和FPC貼附之類的后處理步驟中的處理精度，并且因此提高產(chǎn)品信息78、79、特別是條形碼信息79的機器讀取精度。另外，如圖2所示，第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41以及第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46構(gòu)成傳感器電極37a,并且第一部分41和第二部分46沿觸摸面板傳感器30(保護蓋12)的法線方向設(shè)置在不同位置。更具體來說，第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46相對于第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41設(shè)置在與保護蓋12間隔基膜32的厚度的位置。但是，如上所述，本實施例中的基膜32作為單個實體的膜來構(gòu)成。另外，與專利文獻2 (JP 1992-264613A)中公開的基膜相反，不要求基膜32具有諸如阻擋遠(yuǎn)紫外光之類的特殊功能。簡言之，基膜32是從單個實體的薄膜可構(gòu)造的。因此，當(dāng)外部導(dǎo)體5接觸到保護蓋12時，電容器能夠在外部導(dǎo)體5與第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46之間穩(wěn)定地形成。因此，外部導(dǎo)體5相對保護蓋12的接觸位置(觸摸位置)能夠不僅經(jīng)由第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41而且還經(jīng)由第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46以極高靈敏度精確地檢測。另外，按照本實施例，如圖3A和圖3B所示，第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41各具有線狀部分41a和膨脹部分41b，以及第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46各具有線狀部分46a和膨脹部分46b。在傳感器部分41、46中，與線狀部分41a、46a的每個相t匕，膨脹部分41b、46b的每個的寬度極大。如上所述，第一透明導(dǎo)電體40中包含的第一傳感器部分41的膨脹部分41b以及第二透明導(dǎo)電體45中包含的第二傳感器部分46的膨脹部分46b設(shè)置成使得在從基膜32的膜表面的法線方向觀察時沒有重疊。這防止第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41在過寬而可能影響接觸位置的精度的表面積中介于外部導(dǎo)體5與第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46中間。這種設(shè)置又防止電容器未能在外部導(dǎo)體5與第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46有效地形成。此外，如上所述，顯示裝置15的顯示控制器17和觸摸面板裝置20的檢測控制器25相互連接。檢測控制器25向顯示控制器17傳送在外部導(dǎo)體5觸摸保護蓋12上的預(yù)定位置時將被輸入的信息?；跈z測控制器25所讀取的輸入信息，顯示控制器17能夠按照輸入信息在顯示裝置15的顯示面板16上顯示適當(dāng)圖像。換言之，作為輸出部件的顯示功能以及作為輸入部件的觸摸位置檢測功能允許輸入/輸出裝置10與其用戶(操作員)之間的交互格式的信息的直接交換。例如，以上所述允許用戶向顯示裝置10指配指令，以及顯示裝置10運行指令。如上所述，當(dāng)?shù)谝煌该鲗?dǎo)電體40和第二透明導(dǎo)電體45通過對感光層56a、56b的雙面同時曝光過程步驟S3在基膜32上形成圖案時，構(gòu)成傳感器電極37a的第一傳感器部分41和第二傳感器部分46相互之間精確地定位。因此，第一透明導(dǎo)電體40的每個第一傳感器部分41以及第二透明導(dǎo)電體45的每個第二傳感器部分46均相對顯示裝置15精確地定位。在這種情況下，采用顯示裝置15作為參考來精確地檢測外部導(dǎo)體5相對保護蓋12的接觸位置。結(jié)果在于，以高分辨率并且非常精確地檢測適合于顯示裝置15上顯示的圖像信息的輸入，由此輸入/輸出裝置10與其用戶(操作員)之間的交互信息交換很順利地進行。按照如上所述的本實施例，設(shè)置在透明導(dǎo)電層52a、52b上并且采用其來形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b被用作引出線37b的一部分。更具體來說，引出導(dǎo)體43、48由各形成圖案為具有與透明導(dǎo)電層52a、52b相同的圖案并且然后各使覆蓋導(dǎo)電層的一部分被去除的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b來形成。引出導(dǎo)體43、48通過連同由形成圖案的透明導(dǎo)電層52a、52b所形成的透明導(dǎo)電體40、45 —起工作來形成引出線37b。使用這種方法制作的引出線37b確保經(jīng)由引出導(dǎo)體43、48的高導(dǎo)電率。另外，與通過紙包等所制作的常規(guī)引出線(參見圖11)不同，引出導(dǎo)體43、48設(shè)置在透明導(dǎo)電層52a、52b上，而沒有延伸到其橫向部分。這顯著減小引出線37b的線寬。此外，在上述實施例中，與諸如絲網(wǎng)印刷之類的常規(guī)制作方法相反，引出導(dǎo)體43、48使用光刻來形成，使得預(yù)期圖案的引出線37b穩(wěn)定地并且以高精度來制作。因此，電遷移不太可能發(fā)生。由于這些原因，在本實施例中，引出線37b能夠以短間距并排形成，并且這些特性實現(xiàn)引出線37b的設(shè)置所需的表面積、即非工作區(qū)Aa2的表面積的顯著減小。引出導(dǎo)體43、48不與能夠僅呈現(xiàn)低粘合強度的基膜32相接觸，并且僅接合到能夠呈現(xiàn)高粘合強度的透明導(dǎo)電體40、45。相應(yīng)地，即使觸摸面板傳感器30在使用期間變形，也使引出導(dǎo)體43、48可能從觸摸面板傳感器30開始剝離的點不太易于形成。另外，透明導(dǎo)電體40、45的端子部分42、47因引出導(dǎo)體43、48而沒有在相應(yīng)側(cè)面被覆蓋，并且在基膜32與引出導(dǎo)體43、48之間沿橫向外露。引出導(dǎo)體43、48對端子部分42、47的變形的限制而是較弱，并且在觸摸面板傳感器30變形的情況下，端子部分42、47的變形能夠接著基膜32發(fā)生。這些因素有效地抑制引出導(dǎo)體43、48從透明導(dǎo)電體40、45或基膜的剝離以及端子部分42,47連同引出導(dǎo)體43、48 —起從基膜32的剝離。這顯著改進觸摸面板傳感器30的檢測功能。另外，用于形成引出導(dǎo)體43、48的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b用作雙面同時曝光步驟S3中的擋光層。這種制作方法的使用實現(xiàn)如上所述具有優(yōu)良性能的觸摸面板傳感器30的非常有效并且廉價的制作。在與引出導(dǎo)體43、48相同的步驟中創(chuàng)建對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息使對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77或產(chǎn)品信息78、79完全跟隨用于使感光層曝光的圖案。因此，對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息相對于觸摸面板傳感器區(qū)域的位置保持為一致，并且能夠得到所需的位置精度。在保持相對于傳感器區(qū)域的相應(yīng)位置不受干擾的同時來創(chuàng)建用于將連接板70切割為片材72的對準(zhǔn)標(biāo)記71、用于切割或沖切單獨傳感器片75的對準(zhǔn)標(biāo)記73、74、用于與傳感器裝置的對位的對準(zhǔn)標(biāo)記76以及用于貼附到RPC基板的對準(zhǔn)標(biāo)記77。具體來說，關(guān)于產(chǎn)品信息最重要的是它在機器讀取期間的位置中的關(guān)系，并且一個傳感器片中的這個信息的位置在創(chuàng)建期間極精確地保持。在上述實施例中可引入各種變化。下面描述其修改的一個示例。在上述實施例中，描述了一個示例，其中在去除形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的一部分的步驟中去除包括覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的工作區(qū)Aal以及與工作區(qū)Aal相鄰的周圍區(qū)域。但是，這個示例并不是限制去除的部分。在去除擋光覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的一部分以確保工作區(qū)Aal的透明度的角度，可以僅去除工作區(qū)Aal內(nèi)的一個區(qū)域。在像這樣的一個示例中，能夠通過在確保工作區(qū)Aal處的觸摸面板傳感器30的透明度的同時擴大引出導(dǎo)體43、48的設(shè)置區(qū)域，來增強引出線37b的導(dǎo)電率。但是，上述實施例在使第三和第四感光層56c、56d的曝光精度和顯影精度可允許提高觸摸面板傳感器30的可靠性方面優(yōu)于這個示例。當(dāng)然，如果改變覆蓋導(dǎo)電層54a、54b中將被去除的部分，則需要改變第三掩模58c和第四掩模38d的透射區(qū)域的圖案。另外，在對其它感光層56c、56d進行顯影和形成圖案的步驟中，作為一個示例描述了將第三和第四感光層56c、56d形成圖案為從全部四個方向或側(cè)面圍繞工作區(qū)Aal的框架或框區(qū)的形式，但是這個示例并不是限制本發(fā)明。例如，第三和第四感光層56c、56d的曝光(參見圖8A)和顯影(參見圖SB)均可按照與將在透明導(dǎo)電層52a、52b (透明導(dǎo)電體40、45)上留下的圖案對應(yīng)的圖案進行。如圖8A所示，甚至在這個修改示例中，具有擋光性質(zhì)的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b也阻擋按照預(yù)定圖案從曝光光源的不同側(cè)所發(fā)射的光線，由此實現(xiàn)按照不同圖案的第三感光層56c和第四感光層56d的極精確雙面同時曝光。但是，上述實施例在使第三和第四感光層56c、56d的曝光精度和顯影精度的變化可允許提高觸摸面板傳感器30的可靠性方面優(yōu)于這種修改。在圖8A和圖SB示出的修改中，其它組成元件可與該實施例相似地構(gòu)成。參照圖8A和圖8B，向可與該實施例基本上相同地構(gòu)成的元件各指配相同的參考標(biāo)號，并且省略重復(fù)描述。此外，在上述實施例中描述了觸摸面板傳感器30的制造方法的示例，但是制造方法并不局限于這個示例。例如，可在中間提供對透明導(dǎo)電層52a、52b進行退火以加速其晶化(微晶化)的步驟。在通過濺射等的膜沉積期間，由ITO等所形成的透明導(dǎo)電層通常使其沉積溫度被適當(dāng)控制，供加速晶化。一般來說，用于制作觸摸面板傳感器30的層疊體(坯料)中包含的透明導(dǎo)電層52a、52b的晶化已經(jīng)得到加速，并且具有對化學(xué)品的適當(dāng)抗性。但是，同時，通過在非晶條件下沉積這些透明導(dǎo)電層，并且在沉積之后以接近140°C的溫度對其退火，透明導(dǎo)電層的晶化(又稱作微晶化)同樣是可能的。對透明導(dǎo)電層52a、52b進行退火的步驟優(yōu)選地接著其形成圖案步驟S6，同時在去除形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的一部分的步驟Sll之前。例如，退火步驟優(yōu)選地在對第三和第四感光層58c、58d進行顯影的步驟SlO與去除形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的一部分的步驟Sll之間執(zhí)行。例如，如果覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的耐化學(xué)性較弱并且可能將要蝕刻在對導(dǎo)電層54a、54b形成圖案的步驟S6中形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b，則增加退火步驟是有效的。更具體來說，在對透明導(dǎo)電層52a、52b形成圖案的步驟S6中，采用具有弱腐蝕性質(zhì)的蝕刻溶液、例如草酸來蝕刻低耐化學(xué)性的非晶透明導(dǎo)電層52a、52b。如果使用具有弱腐蝕性質(zhì)的蝕刻溶液，則防止由具有弱腐蝕性質(zhì)的材料(例如銀)所形成的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b在透明導(dǎo)電層52a、52b與感光層56a、56b之間在橫向(即，沿基膜32的片材表面)進行腐蝕。相應(yīng)地，實現(xiàn)透明導(dǎo)電層52a、52b的極精確形成圖案。另外，在去除覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的一部分的步驟Sll之前，對透明導(dǎo)電層52a、52b進行退火以增強耐化學(xué)性有效地防止在部分去除覆蓋導(dǎo)電層54a、54b期間對形成圖案為預(yù)期形狀的透明導(dǎo)電層52a、52b的圖案的損壞。此外，在上述實施例中，示出和描述了一個示例，其中在作為用于制造觸摸面板傳感器30的源材料的層疊體(坯料)50中，第一覆蓋導(dǎo)電層54a在第一透明導(dǎo)電層52a上形成并且第二覆蓋導(dǎo)電層54b在第二透明導(dǎo)電層52b上形成。但是，沉積形式并不局限于這個示例。例如，一個覆蓋導(dǎo)電層可以僅在第一透明導(dǎo)電層52a和第二透明導(dǎo)電層52b其中之一上形成。在圖9的截面圖(a)和頂視圖(b)示出的示例中省略了第一覆蓋導(dǎo)電層54a。也就是說，作為源材料的層疊體(坯料)50包括基膜32、設(shè)置在基膜32上的第一透明電導(dǎo)電層52a和第二透明電導(dǎo)電層52b以及設(shè)置在第二透明導(dǎo)電體層52b上的第二覆蓋導(dǎo)電層54b。將圖9的截面圖(a)和頂視圖(b)分別對應(yīng)于圖5C的截面圖(a)和頂視圖(b)，并且示出對設(shè)置在第一透明導(dǎo)電體層52a上的第一感光層56a以及設(shè)置在第二覆蓋導(dǎo)電層54b上的第二感光層56b進行雙面同時曝光的步驟S3。如圖9的截面圖(a)所示，用于使第一感光層56a按照預(yù)定圖案暴露于其中的曝光光線被第二覆蓋導(dǎo)電層54b阻抗，而沒有朝第二感光層56b發(fā)射。此外，用于使第二感光層56b按照預(yù)定圖案暴露于其中的曝光光線被第二覆蓋導(dǎo)電層54b阻擋，而沒有朝第一感光層56a發(fā)射。如同該實施例中一樣，因此，覆蓋導(dǎo)電層54a、54b按照不同圖案經(jīng)過極精確的雙面同時曝光。也能夠得到如該實施例中形成的基本上相同的透明導(dǎo)電體40、45和第二引出導(dǎo)體。由于覆蓋導(dǎo)電層54b沒有在第一透明導(dǎo)電層52a上形成，所以第一引出導(dǎo)體43沒有在第一透明導(dǎo)電體40上形成。此外，在上述實施例中，示出和描述了在層疊體(坯料)50的基膜32的每側(cè)設(shè)置透明導(dǎo)電層52a、52b和覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的一個示例。但是，分層形式并不局限于這個示例。透明導(dǎo)電層和覆蓋導(dǎo)電層可以僅設(shè)置在基膜32的一個表面上。在這種情況下，該實施例中的引出線37b能夠在基膜32的一個表面上得到。在這種修改中，在使感光層曝光的步驟S3中，曝光光線能夠僅從層疊體50的一側(cè)發(fā)射。另外，在這種修改中，覆蓋導(dǎo)電層能夠是從沒有擋光性質(zhì)的材料可形成的。此外,在上述實施例中，不出和描述了一個不例，其中第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41各包括線狀部分41a和膨脹部分41b，以及第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46各包括線狀部分46a和膨脹部分46b。另外，在該實施例中示出和描述了在平面圖中將膨脹部分41b、46b形成到接近正方形形狀的一個示例。但是，這些示例不是限制性的，并且作為舉例，平面圖中的膨脹部分41b、46b具有除了正方形之外的矩形形狀、例如菱形，或者甚至具有多邊形、圓形等的形狀。另外，傳感器部分41、46可包括線狀輪廓而不是包括膨脹部分41b、46b。此外,在上述實施例中，不出和描述了一個不例，其中第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41以及第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46構(gòu)造成具有相同幾何形狀。但是，這個示例不是限制性的。例如，如圖10所示，第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46可具有比更靠近保護蓋12 (觀察者側(cè))的第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41的線寬W1要寬的線寬W2。在這個修改示例中，當(dāng)外部導(dǎo)體5接觸到保護蓋12時，電容器能夠在外部導(dǎo)體5與相對遠(yuǎn)離保護蓋12 (觀察者側(cè))的第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46之間穩(wěn)定地形成。另外，與第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41與接觸到保護蓋12的外部導(dǎo)體5之間的電容器的電容相比，能夠防止在第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46與接觸到保護蓋12的外部導(dǎo)體5之間形成的電容器的電容降低。這通過第二透明導(dǎo)電體45的第二傳感器部分46以及第一透明導(dǎo)電體40的第一傳感器部分41來實現(xiàn)外部導(dǎo)體5相對保護蓋12的接觸位置(觸摸位置)的極靈敏和精確檢測。在圖10的修改中，其它組成元件能夠與該實施例相似地構(gòu)造。向圖10中可構(gòu)造成具有基本上相同的幾何形狀的元件指配相同參考標(biāo)號，并且本文中省略對這些元件的重復(fù)描述。雖然以上描述了該實施例的若干修改，但是多種這些修改顯然能夠適當(dāng)?shù)亟M合應(yīng)用。第二實施例
下面參照圖12(a)、圖12(b)和圖13來描述本發(fā)明的第二實施例。與第一實施例中的圖3B對應(yīng)的圖12(a)是示出本發(fā)明的第二實施例中提供的第一電引出導(dǎo)體的截面圖，以及圖12(b)是示出本發(fā)明的第二實施例中提供的第二電引出導(dǎo)體的截面圖。圖13是示出本發(fā)明的第二實施例中提供的層疊體的截面圖。圖12 (a)、圖12(b)和圖13所示的第二實施例與第一實施例的不同之處僅在于:各引出導(dǎo)體包括與基膜間隔開地設(shè)置在透明導(dǎo)電體的一部分上的中間層和設(shè)置在中間層上的高導(dǎo)電層；高導(dǎo)電層由其導(dǎo)電率比形成透明導(dǎo)電體和中間層的材料要大的材料來形成，并且中間層由相對透明導(dǎo)電體具有大粘合強度的材料來形成；以及中間層的厚度比高導(dǎo)電層要小。其它結(jié)構(gòu)因素與圖1至圖10所示的第一實施例基本上相同。更具體來說，基膜32的表面32a和32b各具有層壓在透明導(dǎo)電層52a或52b上的中間層61或66以及進一步層壓在中間層61或66上的覆蓋導(dǎo)電層63或68。這樣形成三層膜。在圖12(a)、圖12(b)和圖13示出的第二實施例中，向與圖1至圖10所示的第一實施例中相同的元件各指配相同參考標(biāo)號，并且本文中省略對這些元件的詳細(xì)描述。引出導(dǎo)體
如圖12(a)所示，本實施例中的第一引出導(dǎo)體43各包括與基膜32間隔開地設(shè)置在第一透明導(dǎo)電體40的一部分上的第一中間層61以及設(shè)置在第一中間層61上的第一高導(dǎo)電層63。類似地，如圖12(b)所示，第二引出導(dǎo)體48各包括與基膜32間隔開地設(shè)置在第二透明導(dǎo)電體45的一部分上的第二中間層66以及設(shè)置在第二中間層66上的第二高導(dǎo)電層68。第一保護層62也可設(shè)置在第一高導(dǎo)電層63上，如圖12(a)所示。類似地，第二保護層67可設(shè)置在第二高導(dǎo)電層68上，如圖12(b)所示。在本實施例的各引出導(dǎo)體43、48中，每個高導(dǎo)電層63、68由具有比形成各透明導(dǎo)電體40、45和各中間層61、66的材料要高的導(dǎo)電率的材料來形成。更具體來說，高導(dǎo)電層63、68使用例如其導(dǎo)電率比由ITO等所形成的透明導(dǎo)電體40、45要高許多的材料來形成。高導(dǎo)電層63、68的材料是諸如鋁、鑰、鈀、銀、鉻和銅或者通過混合這些金屬的至少兩種所得到的合金、例如銀合金。在這些候選者中，銀合金具有比一般用作布線材料的鉻要低的比電阻，并且因此作為高導(dǎo)電層63、68的材料是優(yōu)選的。這種銀合金的示例包括包含銀、鈀和銅的APC合金。由銀合金所制成的高導(dǎo)電層63、68與由諸如ITO之類的透明導(dǎo)電材料所形成的透明導(dǎo)電體40、45之間的粘合強度大致小于作為一般布線材料的鉻與透明導(dǎo)電體40、45之間的粘合強度。因此，如果由銀合金所制成的高導(dǎo)電層63、68直接設(shè)置在透明導(dǎo)電體40、45上，則這可引起高導(dǎo)電層63、68與透明導(dǎo)電體40、45之間的粘附力的缺乏。在這種情況下，大家考慮,如果將某種沖擊加到引出導(dǎo)體43、48，則高導(dǎo)電層63、68可從透明導(dǎo)電體40、45剝離。相應(yīng)地，如果引出導(dǎo)體43、48包括由銀合金所制成的高導(dǎo)電層63、68，則具有對透明導(dǎo)電體40、45和高導(dǎo)電層63、68的某種粘合度的導(dǎo)電層優(yōu)選地夾入透明導(dǎo)電體40、45與高導(dǎo)電層63、68之間。在本實施例中，中間層61、66夾入透明導(dǎo)電體40、45與高導(dǎo)電層63、68之間，并且形成中間層61、66的材料選擇成使得中間層61、66與透明導(dǎo)電體40、45之間的粘合強度將大于高導(dǎo)電層63、68與透明導(dǎo)電體40、45之間的粘合強度。另外，中間層61、66的厚度比高導(dǎo)電層63、68要小。中間層
接下來，下面描述第一中間層61和第二中間層66。首先描述中間層61、66的粘合強度。第一中間層61與第一透明導(dǎo)電體40之間的粘合強度以及第一中間層61與第一高導(dǎo)電層63之間的粘合強度大于第一透明導(dǎo)電體40與第一高導(dǎo)電層63之間的粘合強度。類似地，第二中間層66與第二透明導(dǎo)電體45之間的粘合強度以及第二中間層66與第二高導(dǎo)電層68之間的粘合強度大于第二透明導(dǎo)電體45與第二高導(dǎo)電層68之間的粘合強度。要注意，“粘合強度”使用例如日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JIS K5600-5-7中規(guī)定的拉拔法來評估。首先提供例如匹配JIS K5600-5-7中規(guī)定的方法的拉力測試器。隨后，制備具有透明導(dǎo)電體40、45上的中間層61、66的測試板，并且使用拉力測試器來測量透明導(dǎo)電體40、45與中間層61、66之間存在的粘附力(粘合強度)。這樣測量的粘附力表示為A。隨后，制備具有中間層61、66上的高導(dǎo)電層63、68的測試板，并且使用拉力測試器來測量中間層61、66與高導(dǎo)電層63、68之間存在的粘附力(粘合強度)。這樣測量的粘附力表示為B。隨后，制備具有透明導(dǎo)電體40、45上的高導(dǎo)電層63、68的測試板，并且使用拉力測試器來測量透明導(dǎo)電體40、45與高導(dǎo)電層63、68之間存在的粘附力(粘合強度)。這樣測量的粘附力表示為C。在本實施例中，透明導(dǎo)電體40、45與中間層61、66之間的粘附力A以及中間層61、66與高導(dǎo)電層63、68之間的粘附力B大于透明導(dǎo)電體40、45與高導(dǎo)電層63、68之間的粘附力C。這表明，在本實施例中，中間層61、66夾入透明導(dǎo)電體40、45與高導(dǎo)電層63、68之間提高透明導(dǎo)電體40、45與高導(dǎo)電層63、68之間的粘合強度。接下來描述中間層61、66的導(dǎo)電性質(zhì)。在引出導(dǎo)體43、48中，高導(dǎo)電層63、68在傳導(dǎo)電信號中起主要作用。因此，中間層61、66無需具有比高導(dǎo)電層63、68更優(yōu)的導(dǎo)電性質(zhì)，而僅需要具有中間層以低電阻來電連接透明導(dǎo)電體40、45和高導(dǎo)電層63、68的導(dǎo)電率等級。相應(yīng)地，中間層61、66的比電阻比高導(dǎo)電層63、68要高。另外，優(yōu)選地，中間層61、66的厚度比高導(dǎo)電層63、68要小，以及例如當(dāng)高導(dǎo)電層63、68的厚度范圍在50與250 nm之間時，中間層61、66的厚度范圍在3與8 nm之間。中間層61、66的這個小厚度實現(xiàn)透明導(dǎo)電體40、45與高導(dǎo)電層63、68之間以低電阻的電連接以及整個引出導(dǎo)體43、48的厚度的減小。形成中間層61、66的材料的種類不受限制，只要材料相對透明導(dǎo)電體40、45和高導(dǎo)電層63、68呈現(xiàn)充分粘合強度并且諸如鑰(Mo)合金之類的金屬用作材料。這種Mo合金例如是作為Mo和鈮(Nb)的合金的MoNb。保護層
接下來，下面詳細(xì)描述設(shè)置在第一高導(dǎo)電層63上的第一保護層62以及設(shè)置在第二高導(dǎo)電層68上的第二保護層67。設(shè)置成防止高導(dǎo)電層63、68的氧化的保護層62、67具有耐酸性、耐水性等。形成保護層62、67的材料的種類不受限制，只要材料具有對酸的充分抗性并且諸如Mo合金之類的金屬用作材料。這種Mo合金例如是MoNb，即Mo和鈮(Nb)的合金。例如，保護層62、67的厚度范圍在10與30 nm之間。層疊體
下面參照圖13來描述作為用于制造本發(fā)明的第二實施例中的觸摸面板傳感器30的源材料來提供的層疊體50。層疊體50包括透明基膜32、層壓在基膜32的一個表面32a上的第一透明導(dǎo)電層52a、層壓在基膜32的另一表面32b上的具有透光性質(zhì)的第二透明導(dǎo)電層52b、層壓在第一透明導(dǎo)電層52a上的第一覆蓋導(dǎo)電層54a以及層壓在第二透明導(dǎo)電層52b上的第二覆蓋導(dǎo)電層54b。如圖13所不,覆蓋導(dǎo)電層54a、54b包括設(shè)置在透明導(dǎo)電層52a、52b上的中間層
61、66、設(shè)置在中間層61、66上的高導(dǎo)電層63、68以及設(shè)置在高導(dǎo)電層63、68上的保護層
62、67。對覆蓋導(dǎo)電層54a、54b形成圖案形成引出導(dǎo)體43、48。圖14、圖15和圖16示出在本發(fā)明中如何設(shè)置對準(zhǔn)標(biāo)記和產(chǎn)品信息。如圖14、圖15和圖16所示，對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77以及包含產(chǎn)品信息78和條形碼79的產(chǎn)品信息在其中能夠檢測觸摸面板傳感器膜的接觸位置(接近位置)的工作區(qū)Aal外部的非工作區(qū)Aa2中創(chuàng)建(參見圖1和圖3A)。圖14是在連接板上形成的觸摸面板傳感器膜70的示意圖。用于對進行拼版所形成的單位圖案的預(yù)定數(shù)量集合進行片材切割的對準(zhǔn)標(biāo)記71在傳感器膜上形成。這里的單位圖案各用于形成圖16所示的單獨觸摸面板傳感器片75。進行拼版所形成的單位圖案的預(yù)定數(shù)量集合各用于從其上形成圖15所示觸摸面板傳感器的連接板來將單位圖案集合的任一個切割為片材形式。圖15示出進行拼版所形成的單位圖案的預(yù)定數(shù)量集合，各集合按照五行、五列的格式來形成。圖15是按照本實施例的觸摸面板傳感器的傳感器膜的片材切割之后所得到的觸摸面板傳感器膜片材72的示意圖。用于單片切割或創(chuàng)建預(yù)切割單片的對準(zhǔn)標(biāo)記73、74在片材上形成。圖16示出在按照本發(fā)明的觸摸面板傳感器的傳感器膜上制作的觸摸面板傳感器的單位圖案(觸摸面板傳感器片)75。用于與觸摸面板裝置的對位的對準(zhǔn)標(biāo)記76、用于FPC貼附的對準(zhǔn)標(biāo)記77以及包括產(chǎn)品信息78和條形碼79的產(chǎn)品信息在單位圖案中形成。對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77的形狀和位置并不局限于圖中所示的形狀和位置，并且這些對準(zhǔn)標(biāo)記的實際形狀和位置各能夠是任何形狀和位置，只要形狀和位置使得能夠?qū)崿F(xiàn)對位。包括條形碼的產(chǎn)品信息能夠是二維條形碼或其它機器可讀信息。對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77和產(chǎn)品信息78、79在與用于引出導(dǎo)體43、48相同的步驟中形成。也就是說，如同引出導(dǎo)體43、48—樣，本發(fā)明的第二實施例中的對準(zhǔn)標(biāo)記和產(chǎn)品信息由通過下列步驟所得到的三層膜來形成:對于基膜32的表面32a和32b的每個，在透明導(dǎo)電層52a或52b上層壓中間層61或66,并且在中間層61或66上進一步層壓覆蓋導(dǎo)電層63或68。保護層62、67還可設(shè)置在三層膜上。此外，如同引出導(dǎo)體43、48一樣，本發(fā)明的第二實施例中的對準(zhǔn)標(biāo)記和產(chǎn)品信息能夠在基膜32的兩個表面32a和32b上形成。觸摸面板傳感器30、對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77以及產(chǎn)品信息78、79通過對層疊體50進行膜沉積、形成圖案和/或其它處理來形成。在本實施例中，如果高導(dǎo)電層63、68由APC合金來制成以及中間層61、66和保護層62、67由MoNb來制成，則高導(dǎo)電層63、68、中間層61、66以及保護層62、67能夠采用例如磷-硝-乙酸水溶液等的相同蝕刻溶液來蝕刻。因此，包括中間層61、66的覆蓋導(dǎo)電層54a和54b、高導(dǎo)電層63、68以及保護層62、67能夠使用單個蝕刻溶液來形成圖案。諸如膜沉積和形成圖案之類的其它類型的處理與圖1至圖10所示的第一實施例中基本上相同，并且因此本文中省略對這些類型的處理的更詳細(xì)描述。這樣，按照本實施例，本發(fā)明中的對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77或產(chǎn)品信息78、79能夠在與形成覆蓋導(dǎo)電層54a、54b相同的步驟中創(chuàng)建，而無需提供新步驟。相應(yīng)地，對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77或產(chǎn)品·信息78、79完全沿用于使感光層曝光的圖案來創(chuàng)建，因而對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息相對于觸摸面板傳感器區(qū)域的位置保持為一致，并且能夠得到所需位置精度。對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77和產(chǎn)品信息78、79的位置精度的這種提高引起諸如片材切割、單片切割、單片沖切和FPC貼附以及與顯示面板的對位之類的后處理步驟中的處理精度的提聞并且因此引起廣品 目息、特別是條形碼 目息的機器讀取精度的提聞。在本實施例中，引出導(dǎo)體43、48包括與基膜32間隔開地設(shè)置在透明導(dǎo)電體40、45的部分上的中間層61、66以及設(shè)置在中間層61、66上的高導(dǎo)電層63、68。這些元件中，高導(dǎo)電層63、68由其導(dǎo)電率比形成透明導(dǎo)電體40、45和中間層61、66的材料要高的材料、例如銀合金來形成，以及中間層61、66由相對透明導(dǎo)電體40、45具有大粘合強度的材料、例如MoNb合金來形成。相應(yīng)地，與使用諸如作為一般布線材料的鉻之類的材料來形成引出導(dǎo)體的方法相比，形成引出導(dǎo)體43、48的上述方式增強引出導(dǎo)體43、48的導(dǎo)電率，從而提供引出導(dǎo)體43、48與透明導(dǎo)電體40、45之間的適當(dāng)粘附力。在本實施例中，使用與基膜32間隔開地設(shè)置在透明導(dǎo)電體40、45的部分上的中間層61、66以及設(shè)置在中間層61、66上的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b來創(chuàng)建對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77或產(chǎn)品信息78、79。在這種情況下，中間層61、66的存在提高粘附力，從而提供針對剝離的顯著防止效果。處理步驟中的剝離的防止是關(guān)鍵的，因為使用柔性透明膜基材。剝離防止效果防止形成對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77或產(chǎn)品信息78、79的層的剝離，由此提高產(chǎn)品的可靠性以及傳感器膜的處理精度。另外，在本實施例中，在對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77上或者在產(chǎn)品信息78、79上形成保護層62、67引起例如避免在處理期間對于對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77或產(chǎn)品信息78、79的損壞，并且防止已經(jīng)制造產(chǎn)品之后的高導(dǎo)電層63、68的氧化。例如，如果銀或者其合金用于高導(dǎo)電層63、68，則這幫助防止高導(dǎo)電層改變?yōu)榱蚧镆约把趸?，以便穩(wěn)定反射率，保持光澤，以及防止高導(dǎo)電層變黑。因此，防止對準(zhǔn)標(biāo)記71、73、74、76、77或產(chǎn)品信息78、79的機器讀取精度的降低，并且產(chǎn)品的可靠性得到提高。
在上述第一實施例和第二實施例中，示出和描述了其中用于對位的對準(zhǔn)標(biāo)記與引出導(dǎo)體43、48無關(guān)地形成的示例。但是，對位的方式并不局限于這些示例，而是可基于引出導(dǎo)體43、48的局部圖案布局進行。也就是說，引出導(dǎo)體43、48還可起到與對準(zhǔn)標(biāo)記相同的作用。下面參照圖17來描述這種情況下的對位方法。在切割觸摸面板傳感器膜70的步驟中，以及在將FPC或其它組件貼附到通過片材切割所得到的觸摸面板傳感器膜片材72的步驟中，一般要求檢測觸摸面板傳感器膜70或觸摸面板傳感器膜片材72上的至少兩個點的坐標(biāo)。用于對位的這些坐標(biāo)可基于在非工作區(qū)中形成的引出導(dǎo)體43、48的部分來計算。例如，如圖17中的虛線81a、81b所示，引出導(dǎo)體43、48的圖案的角可用作對位的坐標(biāo)。引出導(dǎo)體43、48的圖案的角比較容易檢測，因為角是圖案改變圖案延伸的方向的位置。此外，雖然示出和描述了引出導(dǎo)體43、48的圖案的角用作對位的坐標(biāo)的示例，但是得到對位的坐標(biāo)的方式并不局限于這個示例，而是可基于引起導(dǎo)體43、48的圖案的具有預(yù)定方向性的部分。在圖17的引出導(dǎo)體43、48中，加虛線框82a、82b的部分是沿第一方向(圖17中的水平方向)延伸的部分。相比之下,在引出導(dǎo)體43、48中，加虛線框83a、83b的部分是沿與第一方向垂直的第二方向、即圖17中的垂直方向延伸的部分。在這種情況下，在引出導(dǎo)體43、48中，沿第一方向延伸的部分與沿第二方向延伸的部分之間的交叉點能夠通過檢測加虛線框82a、82b的部分以及加虛線框83a、83b的部分來計算。因此，能夠計算觸摸面板傳感器膜70或觸摸面板傳感器膜片材72上的預(yù)定點的坐標(biāo)，并且與FPC和其它組件的對位能夠使用所計算坐標(biāo)進行。此外，在第一實施例和第二實施例中，示出和描述了一個示例，其中對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息以二層膜形成，二層膜以按順序設(shè)置在基膜32上的透明導(dǎo)電層52a、52b和覆蓋導(dǎo)電層54a、54b形成。另外，示出和描述了一個示例，其中對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息以三層膜形成，三層膜以按順序設(shè)置在基膜32上的透明導(dǎo)電層52a、52b、中間層61、66和覆蓋導(dǎo)電層54a、54b形成。但是，這些示例并不是限制本發(fā)明，而是對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息可由設(shè)置在基膜32上的透明導(dǎo)電層52a、52b組成。如第一實施例和第二實施例的描述中提出，透明導(dǎo)電層52a、52b(透明導(dǎo)電體40、45)構(gòu)造成相對可見光具有透光性質(zhì)。因此，如果對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息由透明導(dǎo)電層52a、52b組成，則對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息將使用除了可見光之外的光線來檢測，這種檢測光是由透明導(dǎo)電層52a、52b可反射或者可吸收的。例如，檢測光將是紫外輻射。第三實施例
接下來，下面參照圖18A至圖20來描述本發(fā)明的第三實施例。圖18A至圖20所示的第三實施例與第一實施例和第二實施例的不同之處在于，提供一對指標(biāo)以用于評估觸摸面板傳感器的一側(cè)上及其另一側(cè)上的圖案的位置精度，而所有其它配置因素與第一實施例和第二實施例基本上相同。在圖18A至圖20的第三實施例中，向與第一實施例和第二實施例中使用的相同元件各指配相同的參考標(biāo)號，并且本文中省略對這些元件的更詳細(xì)描述。下面首先參照圖18A和圖18B來描述一對指標(biāo)部分的形狀和層結(jié)構(gòu)。圖18A是示出本實施例中使用的觸摸面板傳感器片75的頂視圖，以及圖18B是觸摸面板傳感器片75的截面圖。如圖18A所不,一對指標(biāo)85設(shè)置在按照本實施例的觸摸面板傳感器片75上。一對指標(biāo)部分85包括在觸摸面板傳感器片75的一個表面上的非工作區(qū)Aa2中形成的第一指標(biāo)部分90以及在觸摸面板傳感器片75的另一表面上的非工作區(qū)Aa2中形成的第二指標(biāo)部分95。一對指標(biāo)部分85構(gòu)造成使得指標(biāo)部分之一相對另一指標(biāo)部分具有預(yù)定的接近關(guān)系。例如，一對指標(biāo)部分85對于第一指標(biāo)部分90構(gòu)造成相對第二指標(biāo)部分95具有預(yù)定的接近關(guān)系。“預(yù)定的接近關(guān)系”在這里意味著，如果第二指標(biāo)部分95相對于第一指標(biāo)部分90的位置從設(shè)計值偏移，則第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95使相應(yīng)形狀和位置確定成使得能夠可視地評估沿至少一個方向的偏移度。接下來，下面參照圖18B來描述第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95的形狀、位置和層結(jié)構(gòu)。圖18B所示的第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95假定在觸摸面板傳感器片75的一個表面上的圖案的位置與其另一表面上的圖案的位置之間不存在因制造引起的誤差。首先，下面描述第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95的層結(jié)構(gòu)。如圖18B所示，如同第一實施例中的對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息一樣，第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95分別以二層膜形成，二層膜以按順序設(shè)置在基膜32上的透明導(dǎo)電層52a、52b和覆蓋導(dǎo)電層54a、54b形成。但是，如同第二實施例中的對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息一樣，第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95可分別以三層膜形成，三層膜以按順序設(shè)置在基膜32上的透明導(dǎo)電層52a、52b、中間層61、66和覆蓋導(dǎo)電層54a、54b形成。如圖18A和圖18B所不,通過部分去除第一透明導(dǎo)電層52a和第一覆蓋導(dǎo)電層54a所留下的區(qū)域在第一指標(biāo)部分90形成。如本文所述，基膜32由具有透光性質(zhì)的材料來形成。因此，進入了第一指標(biāo)部分90的上述區(qū)域的光線經(jīng)過基膜32，并且到達觸摸面板傳感器片75的另一表面。構(gòu)造成使光線到達觸摸面板傳感器片75的另一表面的第一指標(biāo)部分90的部分在下文中稱作透射部分92。圖18B所示的實施例假定與覆蓋導(dǎo)電層54a、54b所反射的光線關(guān)聯(lián)的信息(即，關(guān)于從覆蓋導(dǎo)電層54a、54b所反射的光線的信息或者指示光線被覆蓋導(dǎo)電層54a、54b阻擋的信息)用作用于檢測或者可視地識別指標(biāo)部分90、95的圖案的基礎(chǔ)。因此，在圖18B的實施例中，所述的指標(biāo)部分90、95的輪廓通過覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的輪廓來規(guī)定。在指標(biāo)部分90、95中，限定所檢測或者可視地識別的圖案的部分在下文中稱作工作部分91、96。圖18B中，第一指標(biāo)部分90的工作部分91具有參考標(biāo)號91a所表不的外輪廓，以及第一指標(biāo)部分90的工作部分91具有參考標(biāo)號91b所表示的內(nèi)輪廓。另外，第二指標(biāo)部分95的工作部分96具有參考標(biāo)號96a所表不的外輪廓，以及第二指標(biāo)部分95的工作部分96具有參考標(biāo)號96b所表示的內(nèi)輪廓。第一指標(biāo)部分90的透射部分92定義為內(nèi)輪廓91b的內(nèi)側(cè)部分。第二指標(biāo)部分95構(gòu)造成使得在從與基膜32垂直的方向(下文中，這個方向按常規(guī)稱作法線方向)來查看時，第二指標(biāo)部分95至少部分設(shè)置在第一指標(biāo)部分90的工作部分91的內(nèi)輪廓91b內(nèi)側(cè)的位置，即透射部分92內(nèi)。例如，如圖18B所示，給定沒有因制造引起的誤差，第二指標(biāo)部分95構(gòu)造成使得第一指標(biāo)部分90的工作部分91的內(nèi)輪廓91b以及第二指標(biāo)部分95的工作部分96的外輪廓96b基本上相互匹配。換言之，包括第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95的一對指標(biāo)部分85具有所謂的盒中盒配置，其中構(gòu)成該對的元件之一放置在另一元件限定的封閉區(qū)域內(nèi)側(cè)。接下來，下面參照圖19 (a)、圖19(b)和圖19(c)來描述其上設(shè)置了一對指標(biāo)部分85的觸摸面板傳感器片75的操作特性。下面首先描述評估在觸摸面板傳感器片75的一個表面上形成的圖案相對于傳感器片75的另一表面上形成的圖案的位置精度的方法。圖19(a)是示出在沒有因制造引起的誤差時得到的第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95的頂視圖。在這種情況下，如圖19(a)所示，第一指標(biāo)部分90的透射部分92和第二指標(biāo)部分95的工作部分96基本上相互匹配。也就是說，在從基膜32的法線方向來查看時，在第一指標(biāo)部分90的工作部分91內(nèi)側(cè)的整個區(qū)域之上可視地識別第二指標(biāo)部分95的工作部分96。因此，能夠可視地確認(rèn)，觸摸面板傳感器片75的一個表面上的圖案相對觸摸面板傳感器片75的另一表面上的圖案完全按預(yù)先設(shè)計來形成。參照圖19(a),符號W1和(I1表不沿第一方向的第一指標(biāo)部分90的透射部分92和第二指標(biāo)部分95的工作部分96的寬度，以及符號W2和d2表不沿與第一方向垂直的第二方向的第一指標(biāo)部分90的透射部分92和第二指標(biāo)部分95的工作部分96的寬度。第一指標(biāo)部分90的透射部分92和第二指標(biāo)部分95的工作部分96的寬度各按照準(zhǔn)許制造誤差來設(shè)置成適當(dāng)值。例如，如果準(zhǔn)許制造誤差在第一和第二兩個方向為0.5 mm,則寬度W1和(I1以及寬度W2和d2均設(shè)置為0.5 mm。圖19(b)是示出在因制造引起的誤差處于準(zhǔn)許范圍之內(nèi)時得到的第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95的頂視圖。參照圖19(b)，第二指標(biāo)部分95相對于第一指標(biāo)部分90的位置的制造關(guān)聯(lián)誤差(即，與設(shè)計數(shù)據(jù)的偏移)由箭頭“s”表示。箭頭“s”在這里是表示沿第一方向的偏移的箭頭S1以及表示沿第二方向的偏移的箭頭S2的結(jié)果向量。在圖19(b)示出的示例中，在從基膜32的法線方向來查看時，第二指標(biāo)部分95的工作部分96的一部分在第一指標(biāo)部分90內(nèi)側(cè)可視地識別。因此，能夠可視地確認(rèn)，第二指標(biāo)部分95相對于第一指標(biāo)部分90的位置的偏移或者與設(shè)計數(shù)據(jù)的偏移在第一和第二兩個方向小于0.5 mm。圖19(c)是示出在因制造引起的誤差超出準(zhǔn)許范圍時得到的第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95的頂視圖。在圖19(c)示出的示例中，在從基膜32的法線方向來查看時，在第一指標(biāo)部分90內(nèi)側(cè)沒有可視地識別第二指標(biāo)部分95的工作部分96的一部分。因此，能夠可視地確認(rèn)，第二指標(biāo)部分95相對于第一指標(biāo)部分90的位置的偏移或者與設(shè)計數(shù)據(jù)的偏移在第一方向和第二方向的至少一個方向等于或大于0.5 mm。從圖5C至圖5F所不的第一實施例的描述顯而易見，寬度在透明導(dǎo)電層52a、52b與覆蓋導(dǎo)電層54a、54b之間基本上匹配的觸摸面板傳感器片75的圖案部分是因曝光、顯影和蝕刻步驟S3至S7的第一執(zhí)行循環(huán)而得到的那些部分。因此，從圖18B和圖19(a)至圖19(c)所示的示例所得到的評估結(jié)果表示被執(zhí)行以生成一個表面上的圖案的第一曝光、顯影和蝕刻步驟與被執(zhí)行以生成另一表面上的圖案的第一曝光、顯影和蝕刻步驟之間的相對位置精度。這樣，按照本實施例，構(gòu)造成使得一個指標(biāo)部分相對另一指標(biāo)部分具有預(yù)定的接近關(guān)系的一對指標(biāo)部分85設(shè)置在觸摸面板傳感器片75的兩個表面上的非工作區(qū)Aa2中。因此，能夠可視地評估一個表面上的圖案相對另一表面上的圖案的位置精度。這實現(xiàn)用于確定裝運觸摸面板傳感器片75的適當(dāng)性的輕松檢驗。另外，在觸摸面板傳感器片75的裝運目的地，接收產(chǎn)品的用戶能夠易于/輕松地評估或確認(rèn)其圖案的位置精度。在上述實施例中，示出和描述了 一個示例，其中構(gòu)成第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95的透明導(dǎo)電層52a、52b和覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的寬度基本上一致。但是，這個示例并不是限制本發(fā)明，并且構(gòu)成第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95的透明導(dǎo)電層52a、52b和覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的寬度不必一致。下面參照圖20和圖21來描述其中構(gòu)成第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95的透明導(dǎo)電層52a、52b和覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的寬度不是一致的一個示例。圖20是不出按照一個修改不例的觸摸面板傳感器片75的一對指標(biāo)部分85的截面圖。如圖20所示，形成第一指標(biāo)部分90的第一覆蓋導(dǎo)電層54a構(gòu)造成具有比第一透明導(dǎo)電層52a更小的寬度。同樣，形成第二指標(biāo)部分95的第二覆蓋導(dǎo)電層54b構(gòu)造成具有比第二透明導(dǎo)電層52b更小的寬度。在這種情況下，其中存在覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的指標(biāo)部分90、95上的區(qū)域是工作部分91、96。“更小寬度”在這里表示指標(biāo)部分90、95的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b在第二曝光、顯影和蝕刻步驟中形成。換言之，在圖20示出的指標(biāo)部分90、95的示例中，透明導(dǎo)電層52a、52b具有在第一曝光、顯影和蝕刻步驟中限定的形狀，而覆蓋導(dǎo)電層54a、54b具有在第二曝光、顯影和蝕刻步驟中限定的形狀。圖20中的雙虛線所表示的區(qū)域表示因第二曝光、顯影和蝕刻步驟被去除的覆蓋導(dǎo)電層54a’或54b’。接下來，下面參照圖21來描述其上設(shè)置了如圖20所示的一對指標(biāo)部分85的觸摸面板傳感器片75的操作特性。圖21是示出在因制造引起的誤差處于準(zhǔn)許范圍之內(nèi)時得到的第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95的頂視圖。在圖21示出的示例中，如同圖19(a)至圖19(c)的示例一樣，第一指標(biāo)部分90的透射部分92的寬度以及第二指標(biāo)部分95的工作部分96的寬度例如在第一和第二兩個方向均設(shè)置為0.5 _。在圖21示出的示例中，在從基膜32的法線方向來查看時，第二指標(biāo)部分95的工作部分96的一部分在第一指標(biāo)部分90的透射部分92內(nèi)可視地識別。因此，能夠可視地確認(rèn)，第二指標(biāo)部分95相對于第一指標(biāo)部分90的位置的偏移或者與設(shè)計數(shù)據(jù)的偏移在第一和第二兩個方向小于0.5 mm。如上所述，在圖20和圖21示出的示例中，構(gòu)成工作部分91、96的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的形狀在第二曝光、顯影和蝕刻步驟中限定。因此，從圖20和圖21所示的示例所得到的評估結(jié)果表示被執(zhí)行以用于生成一個表面上的圖案的第二曝光、顯影和蝕刻步驟與被執(zhí)行以用于生成另一表面上的圖案的第二曝光、顯影和蝕刻步驟之間所得到的相對位置精度。在圖18B至圖21所不的實施例中，不出和描述了基于覆蓋導(dǎo)電層54a、54b的圖案的指標(biāo)部分90、95的圖案檢測的示例。但是，圖案檢測并不局限于這些示例，并且指標(biāo)部分90、95的圖案檢測可基于透明導(dǎo)電層52a、52b的圖案進行。也就是說，指標(biāo)部分90、95的工作部分91、96可由透明導(dǎo)電層52a、52b來構(gòu)成。在這種情況下，如同對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息由透明導(dǎo)電層52a、52b所組成的情況一樣，對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息將使用除了可見光之外的光線來檢測，這種檢測光是由透明導(dǎo)電層52a、52b可反射或者可吸收的。例如，檢測光將是紫外輻射。在圖20和圖21所示的實施例中，示出和描述了評估在第一曝光、顯影和蝕刻步驟中在觸摸面板傳感器片75的一個表面上與其另一表面上形成的圖案之間的相對位置精度的一個示例。另外，示出和描述了評估在第二曝光、顯影和蝕刻步驟中在觸摸面板傳感器片75的一個表面上與其另一表面上形成的圖案之間的相對位置精度的一個示例。但是，這些示例并不是限制本發(fā)明，并且圖20和圖21所示的第一指標(biāo)部分90或第二指標(biāo)部分95可用于評估第一曝光、顯影和蝕刻步驟中形成的圖案與第二曝光、顯影和蝕刻步驟中形成的圖案之間的相對位置精度。下面參照圖22(a)和圖22(b)來描述這種評估的示例。圖22(a)是示出在第一與第二曝光、顯影和蝕刻步驟之間不存在相對制造關(guān)聯(lián)誤差時所得到的第一指標(biāo)部分90的頂視圖。圖22(b)是示出在第一與第二曝光、顯影和蝕刻步驟之間存在相對制造關(guān)聯(lián)誤差時所得到的第一指標(biāo)部分90的頂視圖。在圖22(a)、圖22(b)的第一指標(biāo)部分90中，如同圖20和圖21的第一指標(biāo)部分90中一樣,第一覆蓋導(dǎo)電層54a的寬度比第一透明導(dǎo)電層52a要小。在這種情況下，參考標(biāo)號91a所表不的外輪廓能夠從第一覆蓋導(dǎo)電層54a的形狀來檢測。如果使用紫外輻射等，則參考標(biāo)號91a’所表示的外輪廓也能夠從第一透明導(dǎo)電層52a的形狀來檢測。另外，在第一方向和第二方向所檢測的外輪廓91a和91a’之間的距離U1和U2能夠從外輪廓91a、91a’來計算。此外，第一曝光、顯影和蝕刻步驟中的圖案與第二曝光、顯影和蝕刻步驟中的圖案之間的相對位置精度能夠通過計算與相應(yīng)設(shè)計數(shù)據(jù)的距離Ul、u2的偏移來評估。在圖18A至圖22所示的實施例中，示出和描述了一些示例,其中構(gòu)造指標(biāo)部分90、95以使得在給定沒有因制造引起的誤差的情況下，第一指標(biāo)部分90的工作部分的內(nèi)輪廓91b和第二指標(biāo)部分95的工作部分96的外輪廓96a基本上匹配。但是，指標(biāo)部分90、95的更詳細(xì)形狀不受限制，而是能夠適當(dāng)?shù)厥褂米兓螤畹闹笜?biāo)部分90、95。例如，如圖23(a)所示，指標(biāo)部分90、95可構(gòu)造成使得預(yù)定間隙存在于第一指標(biāo)部分90的工作部分91與第二指標(biāo)部分95的工作部分96之間。另外，指標(biāo)部分90、95的工作部分91、96的形狀并不局限于矩形，而是例如，如圖23(b)所示，指標(biāo)部分90、95的工作部分91、96的至少一個能夠具有圓形形狀。備選地，如圖23(c)所示，指標(biāo)部分90、95的工作部分均能夠具有圓形形狀。在這種情況下，不僅能夠可視地確認(rèn)沿第一方向的偏移(即與箭頭S1對應(yīng)的偏移)以及沿第二方向的偏離(即，與箭頭S2對應(yīng)的偏移)小于預(yù)定值，而且還能夠可視地確認(rèn)偏移總量(即，與箭頭“s”對應(yīng)的量)小于預(yù)定值。在圖23(c)示出的示例中，第一指標(biāo)部分90的工作部分91的內(nèi)輪廓和第二指標(biāo)部分95的工作部分96的外輪廓能夠匹配或不匹配。此外，在圖18A至圖22所示的實施例中，示出和描述了一個示例，其中第一指標(biāo)部分90的工作部分91的內(nèi)輪廓91b所限定的透射部分92是完全封閉區(qū)域。但是，這個示例并不是限制本發(fā)明，并且只要能夠可視地確認(rèn)第二指標(biāo)部分95的工作部分96相對于第一指標(biāo)部分90的工作部分91的位置的變化，則第一指標(biāo)部分90的透射部分92不必是完全封閉區(qū)域。例如，如圖23(d)所示，透射部分92可部分由工作部分91來限定或者在第一指標(biāo)部分90中部分分段。類似地，第二指標(biāo)部分95可具有局部或部分分段的工作部分96。第三實施例的修改
接下來將參照圖24和圖25來描述本發(fā)明的第三實施例的修改。在圖18A至圖23的第三實施例中，示出和描述了按照使得能夠評估沿第一方向和第二方向的圖案的位置精度的形式來構(gòu)造一對指標(biāo)85的示例。更具體來說，示出和描述了具有所謂的盒中盒配置的一對指標(biāo)部分85的一個示例。但是，這個示例并不是限制本發(fā)明，而是一對指標(biāo)部分85僅需要構(gòu)造成使得使沿至少一個方向的圖案的位置精度能夠被評估。下面參照圖24和圖25來描述構(gòu)造成使得能夠沿一個方向來評估一個表面上的圖案相對于另一表面上的圖案的位置精度的一對指標(biāo)部分85的示例。
圖24是修改中的一對指標(biāo)部分85的頂視圖，示出在沒有因制造引起的誤差的情況下得到的一對指標(biāo)部分85。如圖24所示，在一對指標(biāo)部分85中，設(shè)置在觸摸面板傳感器片75的一個表面上的第一指標(biāo)部分90包括沿第一方向(圖24中的水平方向)以間距P1所設(shè)置的多個第一單位指標(biāo)部分90a。同樣,在一對指標(biāo)部分85中，設(shè)置在觸摸面板傳感器片75的另一表面上的第二指標(biāo)部分95包括沿第一方向以間距P2所設(shè)置的多個第二單位指標(biāo)部分95a。第一單位指標(biāo)部分90a和第二單位指標(biāo)部分95a各構(gòu)造成沿第一方向具有基本上相同的寬度。第一單位指標(biāo)部分90a還各構(gòu)造成沿與第一方向垂直的第二方向面向第二單位指標(biāo)部分95a之一。另外，第一單位指標(biāo)部分90a的設(shè)置間距P1和第二單位指標(biāo)部分95a的設(shè)置間距P2設(shè)置成相互不同。在具有這種配置的第一指標(biāo)部分90和第二指標(biāo)部分95中，通過可視地確認(rèn)多個第一單位指標(biāo)部分90a中的什么號碼的指標(biāo)部分90a與多個第二單位指標(biāo)部分95a中的什么號碼第二單位指標(biāo)部分95a對準(zhǔn)，能夠易于評估因制造誤差引起的位置的偏移。因此，指標(biāo)部分90、95構(gòu)造為所謂的游標(biāo)類型的標(biāo)度標(biāo)記?？紤]一個示例，其中第一單位指標(biāo)部分90a的設(shè)置間距？1為0.9 mm，以及第二單位指標(biāo)部分95a的設(shè)置間距p2為0.8 _。在這個示例中，如果不存在制造誤差，則定位在第一單位指標(biāo)部分90a和第二單位指標(biāo)部分95a的中間的第一單位指標(biāo)部分90a和定位在第二單位指標(biāo)部分95a如圖24所示對準(zhǔn)。措辭“對準(zhǔn)”在這里表示定位在中間的單位指標(biāo)部分90a、95a的相向端的坐標(biāo)沿設(shè)置單位指標(biāo)部分90a、95a的方向、即第一方向是相同的。在另一個示例中，如果制造誤差使一個表面上的圖案相對于另一表面上的圖案的位置沿一個方向向左偏移0.3 mm，則如圖25所示，占據(jù)自多個第一單位指標(biāo)部分90a的左邊的第二位置的第一單位指標(biāo)部分90a與占據(jù)自多個第二單位指標(biāo)部分95a的左邊的第二位置的第二單位指標(biāo)部分95a對準(zhǔn)。換言之，自多個第一或第二單位指標(biāo)部分的左邊的第二位置表示自中間單位指標(biāo)部分90a、95a的左邊第三位置。按照圖24和圖25所示的示例，通過可視地確認(rèn)什么號碼的第一單位指標(biāo)部分90a與什么號碼的第二單位指標(biāo)部分95a對準(zhǔn)，能夠易于沿一個方向來評估一個表面上的圖案相對另一表面上的圖案的位置的偏移量。除了包括其中多個單位指標(biāo)部分90a、95a沿第一方向設(shè)置的指標(biāo)部分90、95的一對指標(biāo)部分85之外，在本修改中還可提供包括其中多個單位指標(biāo)部分90a、95a沿與第一方向垂直的第二方向設(shè)置的指標(biāo)部分90、95的另一對指標(biāo)部分85。這使得易于沿一個方向以及沿另一方向來評估一個表面上的圖案相對另一表面上的圖案的位置的偏移量。另外，本修改中定位在多個單位指標(biāo)部分90a、95a的中間的單位指標(biāo)部分90a、95a的形狀可與其它位置存在的單位指標(biāo)位置90a、95a稍有不同。例如，如圖26所示，定位在多個單位指標(biāo)部分90a、95a的中間的單位指標(biāo)部分90a、95a沿與設(shè)置其它單位指標(biāo)部分90a、95a的方向垂直的方向可比其它位置存在的單位指標(biāo)部分90a、95a要長。形狀的這種差異實現(xiàn)定位在中間的單位指標(biāo)部分90a、95a的輕松識別，并且因此實現(xiàn)一個表面上的圖案相對另一表面上的圖案的位置的偏移量的輕松估計。此外，如圖26所示，可添加標(biāo)度標(biāo)記90b作為用于評估一個表面上的圖案相對另一表面上的圖案的位移的偏移量的指標(biāo)。圖26的示例中的標(biāo)度標(biāo)記“0”、“+0.4”、“-0.4”表示，當(dāng)向其指配了標(biāo)度標(biāo)記的單位指標(biāo)部分90a、95a對準(zhǔn)時，一個表面上的圖案相對另一表面上的圖案的偏移量為0、+0.4或-0.4。此外，本修改并不是限制第一單位指標(biāo)部分90a和第二指標(biāo)部分95a的詳細(xì)層配置，而是可適當(dāng)?shù)夭捎酶鞣N其它層配置。例如，如同圖18B所示的實施例一樣，第一單位指標(biāo)部分90a和第二指標(biāo)部分95a能夠包括具有與透明導(dǎo)電層52a、52b基本上相同的寬度的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b。這種情況下得到的評估結(jié)果表示被執(zhí)行以用于生成一個表面上的圖案的第一曝光、顯影和蝕刻步驟與被執(zhí)行以用于生成另一表面上的圖案的第一曝光、顯影和蝕刻步驟之間的相對位置精度。此外，如同圖20所示的實施例一樣，第一單位指標(biāo)部分90a和第二指標(biāo)部分95a能夠包括寬度比透明導(dǎo)電層52a、52b要小的覆蓋導(dǎo)電層54a、54b。這種情況下得到的評估結(jié)果將反映被執(zhí)行以用于生成一個表面上的圖案的第二曝光、顯影和蝕刻步驟與被執(zhí)行以用于生成另一表面上的圖案的第二曝光、顯影和蝕刻步驟之間所得到的相對位置精度。在本修改中，示出和描述了包括多個單位指標(biāo)部分90a、95a的各指標(biāo)部分90、95分別沿一個方向以預(yù)定間距來設(shè)置的示例。但是，這個示例并不是限制本發(fā)明，而是只要通過觀察第一指標(biāo)部分90相對于第二指標(biāo)部分95的位置來評估沿至少一個方向的圖案的位置精度，則各指標(biāo)部分90、95能夠構(gòu)造為各種形式。例如，第一指標(biāo)部分90可沿與第一方向垂直的第二方向以線狀延伸，并且第二指標(biāo)部分95可按照點狀形式設(shè)置在第一指標(biāo)部分90附近。在這種情況下，如果可視地確認(rèn)從第一指標(biāo)部分90到第二指標(biāo)部分95的距離，則能夠易于估計一個表面上的圖案相對另一表面上的圖案的位置的偏移量。在第三實施例及其修改中，示出和描述了在各觸摸面板傳感器片75的非工作區(qū)Aa2中形成一對指標(biāo)部分85的示例。但是，這些示例不是限制性的，并且如圖27所示，一對指標(biāo)部分85可設(shè)置在包括進行拼版在其上形成的多個單位圖案的觸摸面板傳感器膜片材72的非工作區(qū)Aa2 (外緣鄰域)中。雖然描述了以上實施例的若干修改，但是顯然，多種修改或者多種其它修改可組合地應(yīng)用。附圖標(biāo)記說明
10:輸入/輸出裝置 15:顯示裝置 20:觸摸面板裝置 30:觸摸面板傳感器
32:基膜
32a:基膜的一個表面 32b:基膜的另一表面
33:膜主體
34:功能膜(指標(biāo)匹配膜)
34a:高折射率膜 34b:低折射率膜 35:功能膜(低折射率膜)
37a:傳感器電極
37b:引出線
40:第一透明導(dǎo)電體41:第一傳感器部分41a:線狀部分
41b:膨脹部分
42:第一端子部分
43:第一電引出導(dǎo)體
45:第二透明導(dǎo)電體
46:第二傳感器部分46a:線狀部分
46b:膨脹部分
47:第二端子部分
48:第二電引出導(dǎo)體50:層疊體(還料)
52a:第一透明導(dǎo)電層52b:第二透明導(dǎo)電層
54a:第一覆蓋導(dǎo)電層(第一光屏蔽層)
54b:第二覆蓋導(dǎo)電層(第二光屏蔽層)
56a 第一感光層56b:第二感光層56c:第三感光層(另一感光層)
56d:第四感光層(另一感光層)
58a:第一掩模(第一光掩模)
58b:第二掩模(第二光掩模)
58c:第三掩模(第三光掩模)
58d:第四掩模(第四光掩模)
61:第一中間層
62:第一保護層
63:第一覆蓋導(dǎo)電層
66:第二中間層
67:第二保護層
68:第二覆蓋導(dǎo)電層
70:連接板上形成的觸摸面板傳感器
71:用于對進行拼版所形成的單位圖案的預(yù)定數(shù)量集合進行片材切割的對準(zhǔn)標(biāo)記
72:由進行拼版所形成的單位圖案的預(yù)定數(shù)量集合組成的觸摸面板膜
73:用于單片切割或創(chuàng)建預(yù)切割單片的對準(zhǔn)標(biāo)記
74:用于單片切割或創(chuàng)建預(yù)切割 單片的對準(zhǔn)標(biāo)記
75:觸摸面板傳感器片
76:用于與觸摸面板裝置的對位的對準(zhǔn)標(biāo)記
77:用于FPC貼附的對準(zhǔn)標(biāo)記
78:產(chǎn)品信息79:條形碼廣品彳目息85:—對指標(biāo)
90:第一指標(biāo)部分
90a:第一單位指標(biāo)部分
91:工作部分91a:外輪廓91b:內(nèi)輪廓
92:透射部分
95:第二指標(biāo)部分
95a:第二單位指標(biāo)部分
96:工作部分96a:外輪廓Aal:工作區(qū)Aa2:非工作區(qū)。
權(quán)利要求
1.一種觸摸面板傳感器膜，包括: 透明基膜；以及 設(shè)置在所述基膜的至少一個表面上的透明導(dǎo)電體圖案， 其中在所述傳感器膜的非工作區(qū)上形成有對準(zhǔn)標(biāo)記或產(chǎn)品信息。
2.如權(quán)利要求1所述的觸摸面板傳感器膜，其中，所述對準(zhǔn)標(biāo)記或者所述產(chǎn)品信息以二層膜或三層膜形成； 所述二層膜以按順序設(shè)置在所述基膜上的透明導(dǎo)電層和覆蓋導(dǎo)電層形成，以及 所述三層膜以按順序設(shè)置在所述基膜上的透明導(dǎo)電層、中間層和覆蓋導(dǎo)電層形成。
3.如權(quán)利要求1 所述的觸摸面板傳感器膜，其中，所述對準(zhǔn)標(biāo)記或者所述產(chǎn)品信息以二層膜或三層膜形成； 所述二層膜以按順序設(shè)置在所述基膜上的透明導(dǎo)電層和覆蓋導(dǎo)電層形成，以及 所述三層膜以按順序設(shè)置在所述基膜上的透明導(dǎo)電層、中間層和覆蓋導(dǎo)電層形成； 在所述基膜的兩個表面上形成有所述對準(zhǔn)標(biāo)記或者所述產(chǎn)品信息。
4.如權(quán)利要求1至3中的任一項所述的觸摸面板傳感器膜，其中，將每個產(chǎn)品作為一個單位的單位圖案進行拼版來形成。
5.如權(quán)利要求4所述的觸摸面板傳感器膜，其中，對所述單位圖案的每個來形成所述對準(zhǔn)標(biāo)記或者所述產(chǎn)品信息。
6.如權(quán)利要求4所述的觸摸面板傳感器膜，其中，對于進行拼版所形成的單位圖案的預(yù)定數(shù)量集合的每個來形成所述對準(zhǔn)標(biāo)記或者所述產(chǎn)品信息。
7.如權(quán)利要求1至6中的任一項所述的觸摸面板傳感器膜，其中，所述對準(zhǔn)標(biāo)記用于片材切割、單片切割、單片沖切、FPC貼附或者與顯示面板的對位的目的。
8.如權(quán)利要求7所述的觸摸面板傳感器膜，其中，對每個所述目的來形成所述對準(zhǔn)標(biāo)記。
9.如權(quán)利要求7所述的觸摸面板傳感器膜，其中，所述對準(zhǔn)標(biāo)記的至少一個形成為使得實現(xiàn)所述目的的至少兩個。
10.如權(quán)利要求7所述的觸摸面板傳感器膜，其中，所述對準(zhǔn)標(biāo)記包括形成為使得僅實現(xiàn)所述目的之一的對準(zhǔn)標(biāo)記以及形成為使得實現(xiàn)所述目的的至少兩個的對準(zhǔn)標(biāo)記。
11.如權(quán)利要求1至6中的任一項所述的觸摸面板傳感器膜，其中，所述產(chǎn)品信息包括產(chǎn)品名稱信息、批號信息、制造日期信息和產(chǎn)品等級信息之中的至少一種信息。
12.如權(quán)利要求11所述的觸摸面板傳感器膜，其中，所述產(chǎn)品信息按照條形碼格式來形成。
13.一種觸摸面板傳感器膜的制造方法，所述觸摸面板傳感器膜包括: 透明基膜， 設(shè)置在所述基膜的至少一個表面上的透明導(dǎo)電體圖案，其中所述導(dǎo)電體圖案的一部分在所述基膜的表面上以線狀形成，以及 在非工作區(qū)中形成的對準(zhǔn)標(biāo)記和/或產(chǎn)品信息， 所述制造方法包括下列步驟: 在包括所述基膜、設(shè)置在所述基膜的至少一個表面上的透明導(dǎo)電層以及設(shè)置在所述透明導(dǎo)電層上的覆蓋導(dǎo)電層的層疊體的所述覆蓋導(dǎo)電層側(cè)的表面上形成具有感光性質(zhì)的感光層; 使所述感光層曝光； 通過對所述感光層顯影，來對傳感器部分、端子部分、電引出線和所述對準(zhǔn)標(biāo)記和/或所述產(chǎn)品信息形成圖案； 通過使用所述形成圖案的感光層作為掩模以蝕刻所述覆蓋導(dǎo)電層，對所述覆蓋導(dǎo)電層形成圖案； 通過使用所述形成圖案的感光層和所述形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層作為掩模以蝕刻所述透明導(dǎo)電層，對所述透明導(dǎo)電層形成圖案； 去除所述形成圖案的感光層； 在所述形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層上形成另一感光層； 使所述另一感光層曝光； 通過顯影來對所述另一感光層形成圖案； 通過使用所述形成圖案的另一感光層作為掩模以蝕刻所述形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層，去除所述形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層的一部分，由此形成所述傳感器部分；以及去除所述形成圖案的另一感光層。
14.一種觸摸面板傳感器膜的制造方法，所述觸摸面板傳感器膜包括: 透明基膜， 設(shè)置在所述基膜的至少 一個表面上的透明導(dǎo)電體圖案，其中所述導(dǎo)電體圖案的一部分在所述基膜的表面上以線狀形成，以及 在非工作區(qū)中形成的對準(zhǔn)標(biāo)記和/或產(chǎn)品信息， 所述制造方法包括下列步驟: 在包括所述基膜、設(shè)置在所述基膜的至少一個表面上的透明導(dǎo)電層以及設(shè)置在所述透明導(dǎo)電層上的覆蓋導(dǎo)電層的層疊體的所述覆蓋導(dǎo)電層側(cè)的表面上形成具有感光性質(zhì)的感光層; 使所述感光層曝光； 通過對所述感光層顯影，來對傳感器部分、端子部分、電引出線和所述對準(zhǔn)標(biāo)記和/或所述產(chǎn)品信息形成圖案； 通過使用所述形成圖案的感光層作為掩模以蝕刻至所述透明導(dǎo)電層，來對所述覆蓋導(dǎo)電層和所述透明導(dǎo)電層形成圖案； 去除所述形成圖案的感光層； 在所述形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層上形成另一感光層； 使所述另一感光層曝光； 通過顯影來對所述另一感光層形成圖案； 通過使用所述形成圖案的另一感光層作為掩模以蝕刻所述形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層，去除所述形成圖案的覆蓋導(dǎo)電層的一部分，由此形成所述傳感器部分；以及去除所述形成圖案的另一感光層。
15.—種觸摸面板傳感器膜,包括: 透明基膜； 設(shè)置在所述基膜的兩個表面上的透明導(dǎo)電體圖案，在所述傳感器膜的兩個表面上的非工作區(qū)中形成的一對指標(biāo)部分，所述一對指標(biāo)部分構(gòu)造成使得所述一對指標(biāo)部分之一相對所述一對指標(biāo)部分中的另一個具有預(yù)定的接近關(guān)系O
16.如權(quán)利要求15所述的觸摸面板傳感器膜，其中，所述一對指標(biāo)部分以二層膜或三層膜形成； 所述二層膜以按順序設(shè)置在所述基膜上的透明導(dǎo)電層和覆蓋導(dǎo)電層形成，以及 所述三層膜以按順序設(shè)置在所述基膜上的透明導(dǎo)電層、中間層和覆蓋導(dǎo)電層形成。
17.如權(quán)利要求15或16所述的觸摸面板傳感器膜，其中: 所述一對指標(biāo)部分之一包括內(nèi)輪廓；以及 所述一對指標(biāo)部分中的另一個至少部分在所述內(nèi)輪廓的內(nèi)側(cè)設(shè)置。
18.如權(quán)利要求15或16所述的觸摸面板傳感器膜，其中: 所述一對指標(biāo)部分各包括沿一個方向以預(yù)定間距所設(shè)置的多個單位指標(biāo)部分， 所述一對指標(biāo)部分之一的所述單位指標(biāo)部分的間距與所述一對指標(biāo)部分的另一個的所述單位指標(biāo)部分的間距 不同。
全文摘要
本發(fā)明涉及提供有能夠增強后處理的準(zhǔn)確性的產(chǎn)品信息或?qū)?zhǔn)標(biāo)記的觸摸面板傳感器膜及其制造方法。依據(jù)本發(fā)明的觸摸面板傳感器膜(70)是包括透明基膜(32)以及設(shè)置在基膜的至少一個表面上的透明導(dǎo)電體圖案的觸摸面板傳感器的傳感器膜，并且通過在傳感器膜的非工作區(qū)中形成產(chǎn)品信息(78，79)或?qū)?zhǔn)標(biāo)記(71，73，74，76，77)來解決上述課題。
文檔編號G06F3/041GK103119542SQ201180047290
公開日2013年5月22日 申請日期2011年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月29日
發(fā)明者高橋正泰 申請人:大日本印刷株式會社