專利名稱：加速設(shè)計規(guī)則檢查的方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路設(shè)計自動化領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種加速集成電路版圖設(shè)計規(guī)則檢查的方法及裝置。
背景技術(shù)：
集成電路版圖的設(shè)計規(guī)則檢查(DRC，Design Rule Check)是集成電路設(shè)計中一個重要的環(huán)節(jié)，其是在版圖設(shè)計完成之后，檢查設(shè)計好的版圖是否符合設(shè)計規(guī)則的步驟，通常地，設(shè)計規(guī)則例如最小間距規(guī)則、最小包含覆蓋重疊尺寸規(guī)則等等。隨著集成電路制造工藝進(jìn)入65-45nm工藝節(jié)點之后，由于曝光所用的光波長遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于物理版圖設(shè)計的理想圖形的尺寸和圖形之間的間距，光波的干涉和衍射效應(yīng)使得實際光刻產(chǎn)生的為物理圖形和物理版圖設(shè)計的理想圖形之間存在很大的差異，實際圖形的形狀和間距發(fā)生很大的變化，甚至影響電路的性能。為了確保電路的設(shè)計性能和集成電路制造的成品率，需要對設(shè)計的物理版形作更復(fù)雜的設(shè)計規(guī)則檢查，除了最小間距規(guī)則、最小包含覆蓋重疊尺寸規(guī)則等設(shè)計規(guī)則外， 還包括了復(fù)雜的基于圖形的設(shè)計規(guī)則檢查計算和基于復(fù)雜方程的設(shè)計規(guī)則檢查計算等，這樣的計算比較耗時間，隨著集成電路特征尺寸的縮小，設(shè)計規(guī)則變得更為復(fù)雜，集成電路版圖的設(shè)計規(guī)則檢查的需要的時間也會變長，影響了整個集成電路設(shè)計周期。此外，目前的集成電路設(shè)計在規(guī)模上呈現(xiàn)系統(tǒng)級芯片(SOC)和網(wǎng)絡(luò)級芯片(NOC) 趨勢，芯片上器件數(shù)達(dá)到億級、十億級、甚至百億量級，金屬互聯(lián)線的數(shù)量更在器件數(shù)量的幾倍以上，其對應(yīng)的物理版圖數(shù)據(jù)達(dá)到幾十個( (IO9比特)，甚至幾百( ，在如此規(guī)模的物理版圖上進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查是一個很費(fèi)時間的任務(wù)，在物理版圖設(shè)計-設(shè)計規(guī)則檢查-修正-再檢查-再修正這樣一個迭代過程中，設(shè)計規(guī)則檢查的速度是影響集成電路設(shè)計周期的重要因素之一。在設(shè)計規(guī)則日益復(fù)雜以及集成電路規(guī)模日益龐大的情形下，進(jìn)行全版圖的設(shè)計規(guī)則檢查是非常耗時的，因此，有必要提出一種集成電路設(shè)計版圖的設(shè)計規(guī)則檢查的方法和系統(tǒng)，以有效提高集成電路設(shè)計版圖的設(shè)計規(guī)則檢查的效率，縮短集成電路設(shè)計的周期。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實施例提供一種加速設(shè)計規(guī)則檢查的方法及裝置，通過合并設(shè)計規(guī)則檢查任務(wù)，減少集成電路版圖中設(shè)計規(guī)則檢查的數(shù)量，提高設(shè)計規(guī)則檢查的效率。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實施例提供了如下技術(shù)方案一種加速設(shè)計規(guī)則檢查的方法，包括將集成電路設(shè)計的版圖劃分為多個子區(qū)域；將幾何同構(gòu)的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中；對每個同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查；根據(jù)同構(gòu)列表中子區(qū)域間的幾何關(guān)系和已得到的子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，計算得到同構(gòu)列表中其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果?？蛇x地，所述將集成電路設(shè)計的版圖劃分為多個子區(qū)域的步驟包括將所述集成電路版圖劃分為M行XN列個矩形的內(nèi)區(qū)域；將所述內(nèi)區(qū)域的邊框向與其相鄰的內(nèi)區(qū)域延伸一部分形成外邊框區(qū)域，所述內(nèi)區(qū)域與外邊框區(qū)域構(gòu)成一個子區(qū)域。可選地，根據(jù)同構(gòu)列表中子區(qū)域間的幾何關(guān)系和已得到的子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，計算得到同構(gòu)列表中其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果的步驟為根據(jù)同構(gòu)列表中子區(qū)域間的幾何關(guān)系和已得到的子區(qū)域中的內(nèi)區(qū)域部分的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，計算得到同構(gòu)列表中其他子區(qū)域中的內(nèi)區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果?？蛇x地，所述將幾何同構(gòu)的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中的步驟包括根據(jù)子區(qū)域內(nèi)的圖形的幾何數(shù)據(jù)之間是否存在幾何同構(gòu)關(guān)系，判斷各個子區(qū)域內(nèi)的圖形是否幾何同構(gòu)，將幾何同構(gòu)關(guān)系的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中，所述幾何同構(gòu)關(guān)系包括相同、角度旋轉(zhuǎn)或鏡像?？蛇x地，根據(jù)子區(qū)域內(nèi)的圖形的幾何數(shù)據(jù)之間是否存在幾何同構(gòu)關(guān)系，判斷各個子區(qū)域內(nèi)的圖形是否幾何同構(gòu)，將幾何同構(gòu)關(guān)系的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中的步驟包括確定各子區(qū)域的原點；確定各子區(qū)域內(nèi)的圖形相對于原點的相對坐標(biāo)；將各子區(qū)域內(nèi)的相對坐標(biāo)順序排列，以形成子區(qū)域內(nèi)圖形的幾何數(shù)據(jù)；判斷各子區(qū)域間的幾何數(shù)據(jù)是否存在相同、角度旋轉(zhuǎn)、鏡像或平移的幾何同構(gòu)關(guān)系，若是幾何同構(gòu)關(guān)系，將幾何同構(gòu)的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中?？蛇x地，將各子區(qū)域內(nèi)的相對坐標(biāo)順序排列，以形成子區(qū)域內(nèi)圖形的幾何數(shù)據(jù)的步驟包括按照掩膜層號將子區(qū)域劃分為具有不同掩膜層號的圖形子集合；逐一將各圖形子集合內(nèi)的相對坐標(biāo)順序排列，以形成子區(qū)域內(nèi)圖形的幾何數(shù)據(jù)?？蛇x地，在對每個同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查之后，計算得到同構(gòu)列表中其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果之前，還包括步驟所述子區(qū)域內(nèi)沒有違反設(shè)計規(guī)則的幾何圖形，標(biāo)記所述子區(qū)域所在的同構(gòu)列表設(shè)計規(guī)則檢查為通過?？蛇x地，以并行方式同時對每個同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查。可選地，對每個同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查，其中進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查的步驟包括檢查子區(qū)域內(nèi)各圖形本身是否符合設(shè)計規(guī)則；檢查子區(qū)域內(nèi)各圖形之間是否符合設(shè)計規(guī)則。此外，本發(fā)明還提供了一種加速設(shè)計規(guī)則檢查的裝置，包括版圖區(qū)域劃分單元，用于將集成電路設(shè)計的版圖劃分為多個子區(qū)域；區(qū)域同構(gòu)單元，用于將幾何同構(gòu)的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中；子區(qū)域設(shè)計規(guī)則檢查單元，用于對同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查；
設(shè)計規(guī)則結(jié)果復(fù)用單元，根據(jù)同構(gòu)列表中子區(qū)域間的幾何關(guān)系和已得到的子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，計算得到同構(gòu)列表中其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果。與現(xiàn)有技術(shù)相比，上述技術(shù)方案具有以下優(yōu)點本發(fā)明實施例的設(shè)計規(guī)則檢查的方法，將設(shè)計版圖劃分為多個子區(qū)域后，對幾何同構(gòu)的子區(qū)域僅進(jìn)行一次設(shè)計規(guī)則檢查，其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查通過復(fù)用該子區(qū)域的檢查結(jié)果得到，而不用對整個版圖區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查，通過復(fù)用設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果， 減少了集成電路版圖中設(shè)計規(guī)則檢查的數(shù)量，進(jìn)而提高設(shè)計規(guī)則檢查的效率，縮短集成電路設(shè)計的周期。


通過附圖所示，本發(fā)明的上述及其它目的、特征和優(yōu)勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按實際尺寸等比例縮放繪制附圖，重點在于示出本發(fā)明的主旨。圖1為本發(fā)明的加速設(shè)計規(guī)則檢查的方法的流程圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明實施例的子區(qū)域劃分方法的流程圖；圖3a_4為根據(jù)本發(fā)明實施例的子區(qū)域劃分的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5根據(jù)本發(fā)明實施例的判斷幾何同構(gòu)的流程圖。
具體實施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式
做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實施例的限制。正如背景技術(shù)中的描述，隨著工藝節(jié)點的進(jìn)入納米時代，設(shè)計規(guī)則越來越復(fù)雜，而且集成電路設(shè)計的規(guī)模越來越大，進(jìn)行全版圖的設(shè)計規(guī)則檢查變得非常耗時的，而設(shè)計規(guī)則檢查的速度是影響集成電路設(shè)計周期的重要因素之一，制約了設(shè)計效率的提高。而在集成電路物理設(shè)計版圖中，局部區(qū)域之間設(shè)計圖形有很大的相同性，這種相同性決定了局部區(qū)域之間的設(shè)計規(guī)則檢查的過程和結(jié)果的相同性，設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果的復(fù)用可以有效地減少復(fù)雜的仿真計算任務(wù)，在不犧牲仿真精度的條件下提高芯片整體設(shè)計規(guī)則檢查速度。基于上述思想，為了提高設(shè)計規(guī)則檢查的速度，進(jìn)而縮短集成電路設(shè)計的周期，本發(fā)明提出了一種加速設(shè)計規(guī)則檢查的方法，所述方法包括將集成電路設(shè)計的版圖劃分為多個子區(qū)域；將幾何同構(gòu)的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中；對每個同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查；根據(jù)同構(gòu)列表中子區(qū)域間的幾何關(guān)系和已得到的子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果， 計算得到同構(gòu)列表中其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果。更優(yōu)地，可以以并行的方式同時對各同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查，以提高同構(gòu)列表間各子區(qū)域設(shè)計規(guī)則檢查的速度，更進(jìn)一步地提高設(shè)計規(guī)則檢查的速度。在本發(fā)明中，將集成電路設(shè)計的版圖劃分為多個子區(qū)域，對幾何同構(gòu)的子區(qū)域僅進(jìn)行一次設(shè)計規(guī)則檢查，其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查通過復(fù)用該子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果得到，從而減少了集成電路版圖中設(shè)計規(guī)則檢查的數(shù)量，進(jìn)而提高設(shè)計規(guī)則檢查的效率，縮短集成電路設(shè)計的周期。以上對本發(fā)明的技術(shù)方案和效果進(jìn)行了描述，為了更好地理解本發(fā)明，以下將結(jié)合本發(fā)明的方法的流程圖對具體的實施例進(jìn)行詳細(xì)的描述。如圖1所示，為本發(fā)明的加速設(shè)計規(guī)則檢查的方法流程圖。在步驟S101，將集成電路設(shè)計的版圖劃分為多個子區(qū)域。所述集成電路設(shè)計的版圖可以為多層金屬層的設(shè)計版圖的集合或其他多層設(shè)計版圖，也可以為單層金屬層的設(shè)計版圖。對于多層金屬層的設(shè)計版圖，每層的金屬層通常都具有相應(yīng)的掩膜層號，每個子區(qū)域內(nèi)包括多個金屬層的設(shè)計版圖。對于單層金屬層的設(shè)計版圖，每個子區(qū)域內(nèi)僅包括一個金屬層的設(shè)計版圖，即一個掩膜層號的設(shè)計版圖。在本實施例中，如圖2所示，將該所述子區(qū)域的劃分包括以下步驟首先，在步驟S10101，將所述集成電路版圖劃分為M行XN列個矩形的內(nèi)區(qū)域。通常地，集成電路版圖設(shè)計為一個矩形或方形的區(qū)域，在本實施例中，將該集成電路版圖的區(qū)域用矩形方框框起來之后，參考圖3a所示，將該方框進(jìn)行行、列劃分，這些行和列將該版圖區(qū)域劃分為M行XN列個矩形的內(nèi)區(qū)域A(m，n)，l彡m彡M，l彡n彡N，參考圖 3b所示。而后，在步驟S10102，將所述內(nèi)區(qū)域的邊框向與其相鄰的內(nèi)區(qū)域延伸一部分形成外邊框區(qū)域，所述內(nèi)區(qū)域與外邊框區(qū)域構(gòu)成一個子區(qū)域。參考圖4所示，以其中一個內(nèi)區(qū)域A(m，n)為例，在上述內(nèi)區(qū)域劃分的基礎(chǔ)上，將內(nèi)區(qū)域A(m，n)的邊框向與該內(nèi)邊框相鄰的內(nèi)區(qū)域六(111-1，11)、六(111+1，11)、六(111，11-1)、六(111，11+1) 延伸一部分，形成該內(nèi)區(qū)域A(m，η)的外邊框區(qū)域B(m，n)，從而形成了由內(nèi)區(qū)域A(m，η)和外邊框區(qū)域B(m，n)構(gòu)成的子區(qū)域C(m，n)。此處僅以中心的內(nèi)區(qū)域為例進(jìn)行說明本實施例子區(qū)域的劃分方法，應(yīng)當(dāng)知道的是，對于其他周邊的內(nèi)區(qū)域部分，僅向相鄰的內(nèi)區(qū)域延伸， 而不會超出版圖的區(qū)域。由于子區(qū)域具有該外邊框區(qū)域，在進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查時，可以針對整個子區(qū)域。在步驟S102，將幾何同構(gòu)的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中?？梢愿鶕?jù)子區(qū)域內(nèi)的圖形的幾何數(shù)據(jù)之間是否存在幾何同構(gòu)關(guān)系，來判斷各個子區(qū)域內(nèi)的圖形是否幾何同構(gòu)，幾何同構(gòu)關(guān)系例如幾何數(shù)據(jù)為相同或存在角度旋轉(zhuǎn)或鏡像寸。在本發(fā)明中，幾何同構(gòu)是指同一個子區(qū)域內(nèi)的幾何圖形相比，另一個子區(qū)域內(nèi)的幾何圖形與其完全吻合，或者是另一個子區(qū)域內(nèi)的幾何圖形通過角度旋轉(zhuǎn)或鏡像變換后， 與其完全吻合。在本實施例中，如圖5所示，通過以下步驟來判斷各個子區(qū)域內(nèi)的圖形是否幾何同構(gòu)首先，在步驟S10201，確定各子區(qū)域的原點。
在設(shè)計版圖中，每個圖形都有在版圖中的坐標(biāo)，后續(xù)稱作版圖坐標(biāo)，在本實施例中，通過遍歷子區(qū)域內(nèi)的圖形，找到圖形版圖坐標(biāo)最小的X坐標(biāo)值Xmin和最小Y坐標(biāo)值 Ymin，以(Xmin，Ymin)作為該子區(qū)域的原點。而后，在步驟S10202，確定各子區(qū)域內(nèi)的圖形相對于原點的相對坐標(biāo)。也就是將子區(qū)域的圖形的版圖坐標(biāo)轉(zhuǎn)換為相對于所述原點的子區(qū)域坐標(biāo)，若圖形的版圖坐標(biāo)為(Xold，Yold)，則相對于所述原點的子區(qū)域的相對為(Xnew = Xold-Xmin, Ynew = Yold-Ymin)。確定每一個子區(qū)域的原點，以及每一個子區(qū)域內(nèi)的圖形相對于該子區(qū)域原點的坐標(biāo)，這樣，就得到了每一個子區(qū)域內(nèi)圖形的相對坐標(biāo)。而后，在步驟S10203，按照一定規(guī)則將各子區(qū)域內(nèi)的相對坐標(biāo)順序排列，以形成子區(qū)域內(nèi)圖形的幾何數(shù)據(jù)。在本實施例中，對于多層金屬層的設(shè)計版圖，首先，分別處理各個子區(qū)域，對子區(qū)域內(nèi)的幾何圖形，按照幾何圖形所在的掩模層號對幾何圖形進(jìn)行分類，即，將具有相同掩膜層號的圖形的相對坐標(biāo)置于同一個圖形子集合中，從而將子區(qū)域分成若干具有不同掩膜層號的圖形子集合，并對這些圖形子集合按照掩模層號進(jìn)行排序。而后，分別處理各個子區(qū)域內(nèi)的圖形子集合，對子區(qū)域內(nèi)的幾何圖形，按照幾何圖形所在的掩模層號，逐一對圖形子集合內(nèi)的幾何圖形進(jìn)行排序，具體做法是，以圖形子集合內(nèi)的圖形的相對坐標(biāo)對這些圖形進(jìn)行排序，得到圖形子集合的排序后的圖形序列，從而形成子區(qū)域內(nèi)圖形的幾何數(shù)據(jù)。更具體地，對于同一掩膜層號的圖形子集合的排序的方法可以為根據(jù)子區(qū)域內(nèi)各圖形子集合內(nèi)圖形的相對坐標(biāo)值，對每一圖形子集合內(nèi)圖形的最小X坐標(biāo)值從小到大順序排序，對最小X值相同的圖形按照最小Y坐標(biāo)值從小到大的順序排序，對最小χ坐標(biāo)值和最小Y坐標(biāo)值均相同的圖形按照次最小X坐標(biāo)值從小到大順序排序，對最小X坐標(biāo)值、最小 Y坐標(biāo)值和次最小X坐標(biāo)值均相同的圖形按照次最小Y坐標(biāo)值從小到大順序排序，以此類推，直至子區(qū)域內(nèi)的全部圖形子集合的圖形的順序完全確定，從而在每個子區(qū)域內(nèi)圖形的坐標(biāo)按照相同規(guī)則排序后，子區(qū)域內(nèi)圖形的坐標(biāo)成為可以比較的幾何數(shù)據(jù)。對于單層金屬層的設(shè)計版圖，可以僅通過該圖形子集合的排序的方法進(jìn)行子區(qū)域的排序，以形成子區(qū)域內(nèi)圖形的幾何數(shù)據(jù)。而后，在步驟S10204，判斷各子區(qū)域間的幾何數(shù)據(jù)是否存在相同、角度旋轉(zhuǎn)或鏡像的幾何同構(gòu)關(guān)系，若是幾何同構(gòu)關(guān)系，將幾何同構(gòu)的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中。將上述子區(qū)域的圖形的幾何數(shù)據(jù)進(jìn)行對應(yīng)匹配，可以首先判斷每兩個子區(qū)域間對應(yīng)點的坐標(biāo)值相同，則這兩個子區(qū)域為相同的圖形，在幾何上是相同幾何關(guān)系的直接同構(gòu)， 若不相同，繼續(xù)判斷是否存在其他的幾何同構(gòu)關(guān)系。在一個實施例中，具體地，兩個子區(qū)域進(jìn)行是否存在相同的幾何關(guān)系判斷時，可以將一個子區(qū)域的圖形的幾何數(shù)據(jù)進(jìn)行幾何變換，如不同角度的旋轉(zhuǎn)、相對于某個軸的鏡像等，在一個具體的實施例中，對該子區(qū)域進(jìn)行幾何變換為(MNR90，麗R180，MNR270, MXRO, MXR90, MXR180, MXR270, MYRO，MYR90, MYR180, MYR270)，其中 MN 表示無鏡像，MX 表示 X 軸鏡像，MY表示Y軸鏡像，RO表示逆時針旋轉(zhuǎn)0度，R90表示逆時針旋轉(zhuǎn)90度，R180表示逆時針旋轉(zhuǎn)180度，R270表示逆時針旋轉(zhuǎn)270度，對幾何變換后的數(shù)據(jù)執(zhí)行上述步驟S10201-S10203后，與另一個子區(qū)域的圖形的幾何數(shù)據(jù)進(jìn)行對應(yīng)匹配，判斷變換后的子區(qū)域與另一個子區(qū)域是否直接同構(gòu)，若是，則這兩個子區(qū)域是間接幾何同構(gòu)的，同時記錄下相對應(yīng)的幾何關(guān)系，對所有子區(qū)域之間進(jìn)行上述是否幾何同構(gòu)的判斷，并將具有幾何同構(gòu)關(guān)系的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中。這樣，就構(gòu)造出了多個同構(gòu)列表，每個同構(gòu)列表中包含了多個具有幾何同構(gòu)關(guān)系的子區(qū)域，并記錄有子區(qū)域間的幾何同構(gòu)關(guān)系。在步驟S103，對每個同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查。在本發(fā)明中，僅從同構(gòu)列表中選取個別的子區(qū)域作為設(shè)計規(guī)則檢查操作的對象進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查，若該區(qū)域設(shè)計規(guī)則檢查后，沒有發(fā)現(xiàn)違反設(shè)計規(guī)則的幾何圖形及其位置， 則結(jié)束對該同構(gòu)列表中其他區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查，直接標(biāo)識同構(gòu)列表中其他區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查通過，否則，對其他未進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查的子區(qū)域，可以根據(jù)該同構(gòu)列表中子區(qū)域間的幾何關(guān)系，對已得到的子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查結(jié)果，即該子區(qū)域內(nèi)違反設(shè)計規(guī)則的幾何圖形及其位置，進(jìn)行幾何運(yùn)算后得到本區(qū)域內(nèi)違反設(shè)計規(guī)則的幾何圖形及其位置，這樣，相對于現(xiàn)有技術(shù)中，對整個版圖都進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查操作相比，大大減小了計算量，提高了設(shè)計規(guī)則檢查的效率。更優(yōu)選地，在從每個同構(gòu)列表中選出一個子區(qū)域作為該同構(gòu)列表的設(shè)計規(guī)則檢查的對象，并且可以通過并行的方式，利用更多的計算資源，同時對各個檢查對象的子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查，更進(jìn)一步地提高設(shè)計規(guī)則檢查的效率。在本發(fā)明中，可以利用現(xiàn)有的設(shè)計規(guī)則的檢查方法對每個同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查。在本實施例中，對每個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查時，可以通過檢查子區(qū)域內(nèi)各圖形本身是否符合設(shè)計規(guī)則和檢查子區(qū)域內(nèi)各圖形之間是否符合設(shè)計規(guī)則來實現(xiàn)。具體地，首先，可以檢查子區(qū)域內(nèi)的各圖形自身是否符合設(shè)計規(guī)則。設(shè)計規(guī)則例如，最小尺寸設(shè)計規(guī)則、固定圖形尺寸規(guī)則等等，也就是要檢查圖形的尺寸是否大于指定的最小尺寸設(shè)計規(guī)則、是否等于指定的固定圖形尺寸等等。而后，可以檢查子區(qū)域內(nèi)各圖形之間是否符合設(shè)計規(guī)則。首先根據(jù)子區(qū)域內(nèi)圖形之間的位置鄰近關(guān)系確定需要檢查的圖形組，然后根據(jù)圖形組中圖形所在的層次確定需要檢查的設(shè)計規(guī)則，再根據(jù)需要檢查的設(shè)計規(guī)則對圖形組內(nèi)的圖形之間進(jìn)行對應(yīng)設(shè)計規(guī)則的檢查，設(shè)計規(guī)則例如，最小間距設(shè)計規(guī)則、最小包含覆蓋重疊尺寸規(guī)則等等。對于以上檢查，將記錄子區(qū)域內(nèi)違反設(shè)計規(guī)則的圖形，也即該子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，該設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果作為后續(xù)步驟中其他子區(qū)域設(shè)計規(guī)則檢查結(jié)果的計算基礎(chǔ)，也是后續(xù)設(shè)計人員進(jìn)行版圖修正的依據(jù)。對于區(qū)域內(nèi)具體的設(shè)計規(guī)則檢查算法，可以采用現(xiàn)有技術(shù)中的任何方法進(jìn)行，本發(fā)明不做任何限制，通常地，其基本思想是點到幾何線段的最小距離計算、幾何線段之間的最小距離計算、圖形對點的包含關(guān)系計算等；為了加速設(shè)計規(guī)則檢查的計算，可以在點的選擇、線段的選擇、線段退化成幾個典型點等問題上進(jìn)行技巧性的變化。以上設(shè)計規(guī)則的內(nèi)容及設(shè)計規(guī)則的檢查步驟僅為示例，本發(fā)明對此不做限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以采用任何設(shè)計規(guī)則和設(shè)計規(guī)則的檢查方法來實現(xiàn)子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查。此外，本實施例中，在進(jìn)行子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查時，是對整個子區(qū)域進(jìn)行的，也就是說對內(nèi)區(qū)域和外區(qū)域進(jìn)行的設(shè)計規(guī)則檢查，充分考慮了外邊框區(qū)域的圖形(相鄰內(nèi)區(qū)域部分)對內(nèi)區(qū)域邊緣區(qū)的影響。在步驟S104，根據(jù)同構(gòu)列表中子區(qū)域間的幾何關(guān)系和已得到的子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，計算得到同構(gòu)列表中其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果。對于同構(gòu)序列中其他還沒有進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查的子區(qū)域，可以通過復(fù)用已得到的子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果進(jìn)行計算得到，在本實施例中，僅復(fù)用已得到的子區(qū)域中的內(nèi)區(qū)域部分的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，具體地，根據(jù)已經(jīng)得到的該同構(gòu)序列中子區(qū)域中內(nèi)區(qū)域部分的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，以及記錄的與已進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查的子區(qū)域的幾何關(guān)系， 計算得到同構(gòu)序列中其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果。通過復(fù)用同構(gòu)列表中個別子區(qū)域的檢查結(jié)果得到整個版圖的設(shè)計規(guī)則檢查結(jié)果， 而不用對整個版圖區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查，通過復(fù)用設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，減少了集成電路版圖中設(shè)計規(guī)則檢查的數(shù)量，進(jìn)而提高設(shè)計規(guī)則檢查的效率。至此，得到了所有子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，而后，若無違反設(shè)計規(guī)則的圖形，則可以根據(jù)需要進(jìn)行后續(xù)的仿真步驟，否則需要，根據(jù)設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果進(jìn)行版圖修正等操作。此外，本發(fā)明還提供了實現(xiàn)上述設(shè)計規(guī)則檢查的裝置，包括版圖區(qū)域劃分單元，用于將集成電路設(shè)計的版圖劃分為多個子區(qū)域；區(qū)域同構(gòu)單元，用于將幾何同構(gòu)的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中；子區(qū)域設(shè)計規(guī)則檢查單元，用于對同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查；設(shè)計規(guī)則結(jié)果復(fù)用單元，根據(jù)同構(gòu)列表中子區(qū)域間的幾何關(guān)系和已得到的子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，計算得到同構(gòu)列表中其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制。雖然本發(fā)明已以較佳實施例披露如上，然而并非用以限定本發(fā)明。任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例。因此， 凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種加速設(shè)計規(guī)則檢查的方法，其特征在于，包括將集成電路設(shè)計的版圖劃分為多個子區(qū)域；將幾何同構(gòu)的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中；對每個同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查；根據(jù)同構(gòu)列表中子區(qū)域間的幾何關(guān)系和已得到的子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，計算得到同構(gòu)列表中其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述將集成電路設(shè)計的版圖劃分為多個子區(qū)域的步驟包括將所述集成電路版圖劃分為M行XN列個矩形的內(nèi)區(qū)域；將所述內(nèi)區(qū)域的邊框向與其相鄰的內(nèi)區(qū)域延伸一部分形成外邊框區(qū)域，所述內(nèi)區(qū)域與外邊框區(qū)域構(gòu)成一個子區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，根據(jù)同構(gòu)列表中子區(qū)域間的幾何關(guān)系和已得到的子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，計算得到同構(gòu)列表中其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果的步驟為根據(jù)同構(gòu)列表中子區(qū)域間的幾何關(guān)系和已得到的子區(qū)域中的內(nèi)區(qū)域部分的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，計算得到同構(gòu)列表中其他子區(qū)域中的內(nèi)區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述將幾何同構(gòu)的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中的步驟包括根據(jù)子區(qū)域內(nèi)的圖形的幾何數(shù)據(jù)之間是否存在幾何同構(gòu)關(guān)系，判斷各個子區(qū)域內(nèi)的圖形是否幾何同構(gòu)，將幾何同構(gòu)關(guān)系的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中，所述幾何同構(gòu)關(guān)系包括相同、角度旋轉(zhuǎn)或鏡像。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，根據(jù)子區(qū)域內(nèi)的圖形的幾何數(shù)據(jù)之間是否存在幾何同構(gòu)關(guān)系，判斷各個子區(qū)域內(nèi)的圖形是否幾何同構(gòu)，將幾何同構(gòu)關(guān)系的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中的步驟包括確定各子區(qū)域的原點；確定各子區(qū)域內(nèi)的圖形相對于原點的相對坐標(biāo)；將各子區(qū)域內(nèi)的相對坐標(biāo)順序排列，以形成子區(qū)域內(nèi)圖形的幾何數(shù)據(jù)；判斷各子區(qū)域間的幾何數(shù)據(jù)是否存在相同、角度旋轉(zhuǎn)、鏡像或平移的幾何同構(gòu)關(guān)系，若是幾何同構(gòu)關(guān)系，將幾何同構(gòu)的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，將各子區(qū)域內(nèi)的相對坐標(biāo)順序排列，以形成子區(qū)域內(nèi)圖形的幾何數(shù)據(jù)的步驟包括按照掩膜層號將子區(qū)域劃分為具有不同掩膜層號的圖形子集合；逐一將各圖形子集合內(nèi)的相對坐標(biāo)順序排列，以形成子區(qū)域內(nèi)圖形的幾何數(shù)據(jù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在對每個同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查之后，計算得到同構(gòu)列表中其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果之前，還包括步驟所述子區(qū)域內(nèi)沒有違反設(shè)計規(guī)則的幾何圖形，標(biāo)記所述子區(qū)域所在的同構(gòu)列表設(shè)計規(guī)則檢查為通過。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項所述的方法，其特征在于，以并行方式同時對每個同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項所述的方法，其特征在于，對每個同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查，其中進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查的步驟包括 檢查子區(qū)域內(nèi)各圖形本身是否符合設(shè)計規(guī)則； 檢查子區(qū)域內(nèi)各圖形之間是否符合設(shè)計規(guī)則。
10. 一種加速設(shè)計規(guī)則檢查的裝置，其特征在于，包括 版圖區(qū)域劃分單元，用于將集成電路設(shè)計的版圖劃分為多個子區(qū)域； 區(qū)域同構(gòu)單元，用于將幾何同構(gòu)的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中； 子區(qū)域設(shè)計規(guī)則檢查單元，用于對同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查； 設(shè)計規(guī)則結(jié)果復(fù)用單元，根據(jù)同構(gòu)列表中子區(qū)域間的幾何關(guān)系和已得到的子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，計算得到同構(gòu)列表中其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種加速設(shè)計規(guī)則檢查的方法，包括將集成電路設(shè)計的版圖劃分為多個子區(qū)域；將幾何同構(gòu)的子區(qū)域置于同一個同構(gòu)列表中；對每個同構(gòu)列表中的至少一個子區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查；根據(jù)同構(gòu)列表中子區(qū)域間的幾何關(guān)系和已得到的子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，計算得到同構(gòu)列表中其他子區(qū)域的設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果。通過復(fù)用設(shè)計規(guī)則檢查的結(jié)果，不用對整個版圖區(qū)域進(jìn)行設(shè)計規(guī)則檢查，減少了集成電路版圖中設(shè)計規(guī)則檢查的數(shù)量，進(jìn)而提高設(shè)計規(guī)則檢查的速度，縮短集成電路設(shè)計的周期。
文檔編號G06F17/50GK102346800SQ201110351640
公開日2012年2月8日 申請日期2011年11月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月8日
發(fā)明者葉甜春, 吳玉平, 陳嵐 申請人:中國科學(xué)院微電子研究所