專利名稱：觸摸屏的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及帶觸摸屏的顯示裝置，尤其涉及適用于具有靜電電容耦合方式的觸摸屏的帶觸摸屏的顯示裝置的有效技術(shù)。
背景技術(shù)：
近年來，隨著移動設(shè)備的普及，支持“方便宜人”的圖形用戶界面的觸摸屏技術(shù)日益重要起來。作為該觸摸屏技術(shù)，已知有靜電電容耦合方式的觸摸屏，作為該靜電電容耦合方式的觸摸屏，日本特表2003-511799號公報(bào)公開了檢測觀察者的手指觸摸的觸摸位置的觸摸屏。該特表2003-511799號公報(bào)記載的觸摸屏檢測X方向的電極與Y方向的電極的耦合電容，從而檢測觀察者觸摸的位置坐標(biāo)。

發(fā)明內(nèi)容
靜電電容耦合方式的觸摸屏具有沿第一方向(例如Y方向)延伸且在與上述第一方向交叉的第二方向(例如X方向)上并排設(shè)置的多個X電極、以及與該X電極交叉且沿上述第二方向延伸并在上述第一方向上并排設(shè)置的多個Y電極。把這樣的觸摸屏稱為X-Y 方式觸摸屏。在X-Y方式觸摸屏中，多個X電極和多個Y電極在襯底上隔著層間絕緣膜層疊。這些X電極和Y電極由例如ITO(氧化銦錫)等的透明性導(dǎo)電材料形成。在現(xiàn)有技術(shù)的X-Y方式觸摸屏中，未用手指等接觸的通常狀態(tài)下的一行電極的電容由與相鄰電極之間的電極間電容、在與垂直的電極的交叉部上形成的交叉部電容、以及與在觸摸屏下配置的顯示裝置之間的對地電容構(gòu)成。作為觸摸屏的檢測靈敏度的指標(biāo)，使用手指等接觸時的電容變化和背景噪聲的比 (以下用S/N比表示)。為了提高檢測靈敏度即S/N比，必須增加信號或減小噪聲。信號水平與在接觸觸摸屏的手指等和電極之間形成的電容成正比。而關(guān)于背景噪聲，位于正上方的觸摸屏的電極把顯示裝置為了進(jìn)行顯示而產(chǎn)生的信號電壓的變化作為噪聲檢測出來。于是，一行電極上的電極面積之和越大，則對地電容越大，所以容易檢測噪聲。與顯示裝置重疊地使用的觸摸屏的外形與顯示裝置的形狀大致相同。顯示裝置一般是長方形，一般情況下X方向或Y方向中的某一個更長。在現(xiàn)有技術(shù)中，X方向和Y方向各自的一行上的個別電極是相等的尺寸，但X方向電極和Y方向電極的一行的長度不同或個別電極數(shù)不同。由此，在X方向和Y方向上一行的電容不同。例如，在縱長的觸摸屏的情況下，與Y方向平行地配置的χ電極的一行大小的電容比與X方向平行地配置的Y電極的一行大小的電容大。因此，在X方向和Y方向上一行電極上的電容不同的現(xiàn)有技術(shù)的觸摸屏中，在X方向和Y方向上噪聲強(qiáng)度不同。即，在現(xiàn)有技術(shù)的觸摸屏中，在X方向和Y方向上S/N比不同。因此，在現(xiàn)有技術(shù)的觸摸屏中，存在由于S/N比不同，作為整個觸摸屏的檢測靈敏度由較低的那個S/N比決定的問題。本發(fā)明正是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題而提出的，本發(fā)明的目的在于提供具有 S/N比大、檢測靈敏度高的觸摸屏的帶觸摸屏的顯示裝置。本發(fā)明的上述和其它的目的和新穎特征，通過本發(fā)明的詳述和附圖能夠更清楚地理解。本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術(shù)觸摸屏的X電極、Y電極的噪聲強(qiáng)度比與電極電容比即電極數(shù)比大致相等。本發(fā)明正是基于上述認(rèn)識而完成的，通過把與觸摸屏的輸入用區(qū)域的長邊并列的電極上的一個一個的個別電極的面積縮小，并使與垂直的另一個電極的個別電極的面積的比值成為從沿長邊方向并列的電極數(shù)與沿短邊方向并列的電極數(shù)的比減少不大于10% 得到的值，使一行上的電容大致相等，在因面積縮小而空出的部分上配置浮置電極(dummy electrode，偽電極)，實(shí)現(xiàn)了上述的目的。S卩，如果簡單地說明本申請中公開的發(fā)明中的代表性方案的概要，則如下所述。(1)、一種觸摸屏，其特征在于，具有多個X電極、以及與上述X電極交叉的多個Y 電極，上述X電極和上述Y電極具有相互重合的交叉部、以及在兩個交叉部之間形成的個別電極，該個別電極在X電極和Y電極中都具有在上述交叉部處寬度窄、而通過交叉部夾著的部分的寬度比交叉部變寬的形狀，相對于上述X電極的一行在延伸方向的長度，上述Y電極的一行在延伸方向的長度短，面積比上述X電極的個別電極小的偽電極接近X電極的個別電極而形成。O)、一種觸摸屏，其特征在于，具有多個X電極；與上述X電極交叉的多個Y電極；以及具有長邊和短邊的基板，上述X電極和上述Y電極具有相互重合的交叉部、以及在兩個交叉部之間形成且寬度比上述交叉部寬的個別電極，上述X電極沿上述長邊形成， 上述Y電極沿上述短邊形成，面積比上述X電極的個別電極小的偽電極接近X電極的個別電極而形成。(3)、一種觸摸屏，其特征在于，具有多個X電極、以及與上述X電極交叉的多個Y 電極，上述X電極和上述Y電極具有相互重合的交叉部、以及在兩個交叉部之間形成且寬度比上述交叉部寬的個別電極，上述X電極具有η個上述個別電極，上述Y電極具有m個上述個別電極，且具有η > m的關(guān)系，面積比上述X電極的個別電極小的偽電極接近X電極的個別電極而形成。0)、一種觸摸屏，其特征在于，具有多個X電極；與上述X電極交叉的多個Y電極；以及具有長邊和短邊的基板，上述X電極沿上述長邊延伸，上述Y電極沿上述短邊延伸， 上述X電極和上述Y電極具有上述X電極和上述Y電極相互重合的交叉部、以及在兩個交叉部之間形成的電極部，上述X電極具有如下形狀第一交叉部和第二交叉部之間的X電極的寬度在上述第一交叉部和上述第二交叉部的中間成為最大的寬度，在上述X電極和上述 Y電極之間，分割而形成有多個偽電極。
(5)、一種帶觸摸屏的顯示裝置，具有顯示屏和與上述顯示屏重疊地形成的靜電電容耦合方式的觸摸屏，其特征在于上述觸摸屏具有多個X電極、以及與上述X電極交叉的多個Y電極，上述X電極和上述Y電極具有相互重合的交叉部、以及在兩個交叉部之間形成的電極部，上述X電極和上述Y電極中的一方的電極的電極部的面積比另一方的電極的電極部的面積小，以使得上述X電極和上述Y電極的一行大小的電容相等。(6)、一種帶觸摸屏的顯示裝置，具有顯示屏和接合到上述顯示屏上的靜電電容耦合方式的觸摸屏，其特征在于上述觸摸屏具有多個X電極、以及與上述X電極交叉的多個Y電極，上述顯示屏具有長邊和短邊，上述X電極和上述Y電極具有相互重合的交叉部、 以及與形成在2個交叉部之間且比上述交叉部的寬度更寬的個別電極，上述X電極沿上述長邊形成，上述Y電極沿上述短邊形成，上述X電極的個別電極比上述Y電極的個別電極面積小。(7)、一種帶觸摸屏的顯示裝置，具有顯示屏和在上述顯示屏上設(shè)置的靜電電容耦合方式的觸摸屏，其特征在于上述觸摸屏具有多個X電極、以及與上述X電極交叉的多個Y電極，上述X電極和上述Y電極具有相互重疊的交叉部、以及在兩個交叉部之間形成且寬度比上述交叉部寬的個別電極，上述X電極具有η個上述個別電極，上述Y電極具有m 個上述個別電極，上述X電極的個別電極的面積與上述Y電極的個別電極的面積的關(guān)系是 m ； n0如果簡單地說明由本申請中公開的發(fā)明中的代表性方案得到的效果，則如下所述。根據(jù)本發(fā)明，可以提供具有S/N比大、檢測靈敏度高的觸摸屏的帶觸摸屏的顯示
直ο


圖1是示出本發(fā)明的實(shí)施例的帶觸摸屏的顯示裝置的概略構(gòu)成的平面圖。圖2是示出沿圖1的A-A'線的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖3是示出本發(fā)明的實(shí)施例的靜電電容耦合方式的觸摸屏的電極圖案的平面圖。圖4是示出在靜電電容耦合方式的觸摸屏中改變與縱方向平行地配置的X電極行上的個別電極的面積時的S/N比變化的曲線圖。圖5是示出本發(fā)明的實(shí)施例的觸摸屏的工序1的B-B'部的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖6是示出本發(fā)明的實(shí)施例的觸摸屏的工序2的B-B'部的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖7是示出本發(fā)明的實(shí)施例的觸摸屏的工序3的B-B'部的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖8是示出本發(fā)明的實(shí)施例的觸摸屏的工序4的B-B'部的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖9是示出本發(fā)明的實(shí)施例的觸摸屏的工序1的C-C'部的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖10是示出本發(fā)明的實(shí)施例的觸摸屏的工序2的C-C'部的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖11是示出本發(fā)明的實(shí)施例的觸摸屏的工序3的C-C'部的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖12是示出本發(fā)明的實(shí)施例的觸摸屏的工序4的C-C'部的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖13是用來說明觀察者的手指接觸本發(fā)明的實(shí)施例的觸摸屏?xí)r的狀態(tài)的圖。圖14是用來說明本發(fā)明的實(shí)施例的觸摸屏的輸入位置的檢測動作的圖。圖15是示出使用本發(fā)明的另一觸摸屏的電極圖案的平面圖、
圖16是示出沿圖15的A-A'線的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施例。另外，在用來說明實(shí)施例的全部附圖中，對具有相同功能的部件賦予相同的附圖標(biāo)記，省略其重復(fù)說明。在本實(shí)施例中，作為顯示屏的一例使用液晶顯示屏進(jìn)行說明。但作為顯示屏，只要能夠使用觸摸屏就可以，并不僅限于液晶顯示屏，也可以使用采用有機(jī)發(fā)光二極管元件、表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子放射元件的顯示屏。圖1是示出本發(fā)明的實(shí)施例的帶觸摸屏的顯示裝置的概略構(gòu)成的平面圖。圖2是沿圖IWA-A'線的剖面圖。本實(shí)施例的帶觸摸屏的顯示裝置300如圖1和圖2所示，包括液晶顯示屏600 ；在液晶顯示屏600的觀察者側(cè)的面上配置的靜電電容耦合方式的觸摸屏400 ；以及在液晶顯示屏600的與觀察者側(cè)相反一側(cè)配置的背光源700。作為液晶顯示屏600，使用例如IPS (面內(nèi)切換)方式、TN(扭曲向列)方式、VA(垂直取向)方式等的液晶顯示屏。把兩個相對置地配置的基片貼合起來而形成液晶顯示屏600，在兩個基片的外側(cè)設(shè)置偏振片601、602。另外，利用由樹脂、粘接膜等構(gòu)成的第一粘接材料501把液晶顯示屏600和觸摸屏 400接合起來。而且，在觸摸屏400的外側(cè)利用由樹脂、粘接膜等構(gòu)成的第二粘接材料502 貼合由丙烯酸類樹脂構(gòu)成的前面保護(hù)板(也稱為前窗)12。在液晶顯示屏600和偏振片601之間設(shè)置透明導(dǎo)電層603。該透明導(dǎo)電層603是為了屏蔽由液晶顯示屏600產(chǎn)生的信號而形成的。在液晶顯示屏600上設(shè)置許多電極，以各種各樣的定時在電極上施加電壓作為信號。對于在靜電電容耦合方式的觸摸屏400上設(shè)置的電極，液晶顯示屏600上的電壓變化成為噪聲。因此，需要對液晶顯示屏600電氣屏蔽而設(shè)置透明導(dǎo)電層603。從柔性印刷基片71等向透明導(dǎo)電層603供給恒定電壓，例如使其為接地電位，從而使透明導(dǎo)電層603 發(fā)揮屏蔽作用。另外，為了抑制噪聲的影響，希望透明導(dǎo)電層603具有與在觸摸屏400上設(shè)置的電極的薄膜電阻(sheet resistance，又稱方塊電阻)值大致相等，即為150 200 Ω / 口。已知透明導(dǎo)電層603的電阻值與晶粒的大小有關(guān)系，但通過使形成透明導(dǎo)電層603時的熱處理溫度為200°C以上，可以促進(jìn)結(jié)晶化，使薄膜電阻值為150 200 Ω / 口。另外，也可以是電阻更低的透明導(dǎo)電層603。例如，通過使熱處理溫度為450°C，充分地進(jìn)行透明導(dǎo)電層603的結(jié)晶化，也可以使薄膜電阻值為10 40 Ω/口。屏蔽用的透明導(dǎo)電層603只要與在觸摸屏400上設(shè)置的電極相比電阻大致相等或更低，就能提高抑制噪聲的效果。另外，在IPS方式的液晶顯示屏中，由于在液晶顯示屏600和偏振片601之間形成背面?zhèn)韧该鲗?dǎo)電膜，所以也可以由該背面?zhèn)韧该鲗?dǎo)電膜兼作透明導(dǎo)電層603。在液晶顯示屏600的一邊上設(shè)置驅(qū)動電路50，從該驅(qū)動電路50向液晶顯示屏內(nèi)的各像素供給各種信號。為了從外部供給信號而使柔性印刷基片72與液晶顯示屏600的一邊連接，通過該柔性印刷基片72從外部向驅(qū)動電路50供給信號。
另外，柔性印刷基片71也與觸摸屏400連接。在柔性印刷基片71上搭載觸摸屏控制電路60，由觸摸屏控制電路60對輸入位置的檢測等進(jìn)行控制。另外，在觸摸屏400與驅(qū)動電路50之間配置間隔物30。圖3是示出本實(shí)施例的觸摸屏400的電極構(gòu)成的平面圖。圖3中示出沿縱長方向使用觸摸屏400的情形。另外，如上所述，與觸摸屏400重疊地使用的液晶顯示屏600也同樣地成為縱長形狀。作為透明基片使用玻璃基片5，在玻璃基片5的一個面上配置觸摸屏用電極(1， 2)、連接用端子7、以及從觸摸屏用電極(1，2)到連接用端子7的布線6。另外，配置成垂直的兩個觸摸屏用電極(1，2)的至少各交叉部用絕緣膜分離。由透明導(dǎo)電膜形成觸摸屏用電極(1，2)，把在縱方向(圖中Y方向)上延伸、在橫方向(X方向)上并列的電極稱為X電極1。把與X電極1交叉地在橫方向(X方向)上延伸、在縱方向(Y方向)上并列地形成的電極稱為Y電極2。本實(shí)施例的觸摸屏400中，檢測這些X電極1和Y電極2的靜電電容的變化，算出被觸摸的位置。另外，把用符號3表示的虛線內(nèi)部的能檢測的區(qū)域稱為輸入?yún)^(qū)域。各X電極1、Y電極2都在交叉部Ia和交叉部加處寬度變窄，而在被兩個交叉部 Ia或交叉部加夾著的電極部Ib和電極部2b處寬度變寬。該被交叉部Ia或交叉部加夾著的電極部Ib和電極部2b也稱為個別電極。如圖3所示，在本實(shí)施例中，與觸摸屏400的Y電極2的個別電極2b相比，X電極 1的個別電極Ib的寬度減小。S卩，與X電極1的個別電極Ib的數(shù)目和Y電極2的個別電極 2b的數(shù)目的比對應(yīng)地，縮小X電極1的面積，使個別電極Ia與浮置電位的電極(偽電極)4 分離。由此，使電極的面積沿著縱長形狀而變大的X電極1的面積縮小，其一行上的電容與Y電極2大致相等，由液晶顯示屏600產(chǎn)生的信號電壓的變化導(dǎo)致的噪聲在X電極1和 Y電極2上成為相等。如上所述，在液晶顯示屏600上設(shè)置透明導(dǎo)電層603，抑制來自液晶顯示屏600的噪聲的影響。但是，在液晶顯示屏600中難以在高溫下形成透明導(dǎo)電層603，有時在液晶顯示屏600中不能設(shè)置電阻足夠低的透明導(dǎo)電層603。另外，即使設(shè)置了透明導(dǎo)電層603，來自液晶顯示屏600的噪聲的影響也往往會成為問題。圖4是示出X電極1為6個、Y電極2為10個時，針對X對Y的電極數(shù)比為60% 的縱長形狀的觸摸屏400，改變與縱方向平行地配置的X電極行上的個別電極Ib的面積而試制時，評價(jià)S/N比得到的結(jié)果的曲線圖。圖4中以個別電極Ib與個別電極2b的面積比為橫軸，以S/N比為縱軸。如果如圖4所示，把個別電極Ib分割而減小面積，形成浮置電極4，則由于能夠減小對地電容，所以能夠降低噪聲水平。另外，由于在用手指等接觸縮小了的X電極1時，同時接觸相鄰的浮置電極4而通過電容耦合而起作用，所以信號水平降低的程度比面積縮小的程度還小。因此，得到的結(jié)果如圖4所示，在面積比和電極數(shù)比相等時，S/N比具有峰值。在未配置浮置電極4時，相鄰的X電極1和Y電極2之間的間隔8增大。如上所述由透明導(dǎo)電膜形成X電極1和Y電極2，但在該間隔8上形成絕緣膜和玻璃基片，成為無透明導(dǎo)電膜的區(qū)域。由于有透明導(dǎo)電膜的部分和無透明導(dǎo)電膜的部分在透射率、反射率和反射光的色度方面產(chǎn)生差別，所以用肉眼能看到間隔8，顯示的圖像的質(zhì)量下降。我們的研究結(jié)果是，間隔8為30 μ m時看到薄薄的間隔，而為20 μ m時幾乎看不到，為10 μ m就看不到了。如果間隔8變窄則隔著浮置電極4相鄰的X電極1和Y電極2 之間的電容增大。另外，通過使間隔8變窄，工序中的異物附著等造成的圖案形成異常導(dǎo)致 X電極1或Y電極2與浮置電極4之間發(fā)生短路的不良增加。如果X電極1的個別電極Ib與相鄰的浮置電極4短路，則會產(chǎn)生該X電極1的一行大小的對地電容增加，噪聲增加，檢測靈敏度下降的問題。為了降低發(fā)生短路時增加的電容，如圖1所示把浮置電極4 一分為四。更細(xì)地分割時雖然發(fā)生短路不良的擔(dān)心減少，但由于在該區(qū)域上無透明導(dǎo)電膜的區(qū)域增加，所以有在相鄰的電極之間產(chǎn)生透射率、反射率和色度的差別的擔(dān)心。因此，如上所述，把浮置電極 4 一分為四，相互間的電極間隔比30 μ m窄，成為20 μ m左右。在本實(shí)施例中示出了與縱長的液晶顯示裝置重疊使用的情形，但即使在與橫長的液晶顯示裝置、或其它方式的圖像顯示裝置重疊時，本發(fā)明的效果也不變。而且，浮置電極 4的分割數(shù)目也不限于是分成4個。下面，參照圖5 圖13說明本發(fā)明的實(shí)施例的觸摸屏400的制造方法。圖5到圖8示出沿圖3的B-B'線的各工序階段的剖面結(jié)構(gòu)。同樣地，圖9到圖12示出沿圖3的 C-C'線的各工序階段的剖面結(jié)構(gòu)。用圖5和圖9說明工序1。在工序1中，在玻璃基片5上形成約15nm厚的第一 ITO(氧化銦錫)膜14后，形成約200nm的銀合金膜15。然后，用光刻工序形成抗蝕劑圖案，對銀合金膜15進(jìn)行構(gòu)圖。然后，剝離除去抗蝕劑，用光刻工序形成抗蝕劑圖案，對第一 ITO膜14進(jìn)行構(gòu)圖。然后，剝離除去抗蝕劑，如圖5和圖9所示，形成構(gòu)圖了的ITO膜14(所謂Y電極 2)和銀合金膜15 (所謂布線16)。由于銀合金膜15不透明，為了避免被看到，從遮擋后來重疊的液晶顯示屏600的顯示區(qū)域的部分除去，僅在周邊布線6上形成。然后，用圖6和圖10說明工序2。在工序2中，在形成了第一 ITO膜14和銀合金膜15的圖案的基片上涂敷感光性的層間絕緣膜16，用光刻技術(shù)進(jìn)行構(gòu)圖加工。希望層間絕緣膜16是涂敷1 μ m以上的以SW2 為主要成分的膜而得到的。如圖10所示，在周邊部上設(shè)置接觸孔17。另外，在為了與外部驅(qū)動電路連接而使用的端子連接部處除去層間絕緣膜16的圖案。然后，用圖7和圖11說明工序3。在工序3中，形成約30nm厚的第二 ITO膜18，用光刻工序形成抗蝕劑圖案，對第二 ITO膜18進(jìn)行構(gòu)圖。然后，剝離除去抗蝕劑，如圖7和圖11所示，形成第二 ITO膜18(所謂X電極1)。然后，用圖8和圖12說明工序4。在工序4中，作為最上層保護(hù)膜19，在基片上再次涂敷與在工序2中使用的絕緣膜相同的膜，用光刻工序形成圖案。通過以上工序形成觸摸屏400。下面，簡單地說明本實(shí)施例的觸摸屏400的輸入位置的檢測動作。在本實(shí)施例中，從觸摸屏控制電路60向X電極1和Y電極2依次供給恒定電流， 對X電極1或Y電極2充電，然后測定X電極1或Y電極2的電壓上升到預(yù)定的基準(zhǔn)電壓 (Vref)為止的時間(T)。例如，如圖13所示，在觀察者的手指等沒有接觸觸摸屏400的狀態(tài)下，上述時間 (T)是Ta。另一方面，如圖14所示，在觀察者的手指35等接觸了觸摸屏400的狀態(tài)下，由于在X電極1或Y電極2的個別電極(lb，2b)上附加了電容(C)，所以上述時間(T)是比 Ta的時間長的Tb (Ta < Tb)。由于一般地，觀察者的手指35比X電極1或Y電極2的個別電極(lb，2b)面積大， 所以由X電極1或Y電極2的多個電極檢測出比時間Ta長的時間(例如時間Tb)。因此， 基于檢測出比時間Ta長的時間的多個電極位置和該電極位置的時間(例如Tb)，利用質(zhì)心處理運(yùn)算求出重心位置，作為輸入位置。另外，例如，對基本時鐘(例如在液晶顯示屏600中使用的點(diǎn)時鐘(CLK))進(jìn)行計(jì)測，用該計(jì)測數(shù)檢測上述時間(T)。因此，本發(fā)明的第一方面所述的“X電極和Y電極的一行大小的電容”還意味著從觸摸屏控制電路60看到的阻抗的電容分量。另外，“X電極和Y電極的一行大小的電容相等”還意味著上述的時間(T)或者上述的時間(T)內(nèi)的點(diǎn)時鐘(CLK)的計(jì)測數(shù)相等。而且，“X電極和Y電極的一行大小的電容相等”意味著一行大小的電容是設(shè)計(jì)值的士 10%以內(nèi)的值。當(dāng)然，“上述的時間⑴內(nèi)的點(diǎn)時鐘(CLK)的計(jì)測數(shù)相等”意味著計(jì)測數(shù)是設(shè)計(jì)值的士 10%以內(nèi)的計(jì)測數(shù)。另外，本發(fā)明可以不受輸入檢測區(qū)域的形狀、個別電極的形狀限制地使用。例如， 如圖15、圖16所示，也可以是適用于在同一層形成X電極1和Y電極2的觸摸屏。在該圖15、圖16所示的觸摸屏中，X電極1的個別電極Ib與Y電極2的個別電極 2b在同層的導(dǎo)電層中分離地形成，X電極1的交叉部Ia與Y電極2的交叉部加在不同的導(dǎo)電層中形成。在圖16中，Y電極2的交叉部加在X電極1的交叉部Ia的上層形成，與X電極1 的交叉部Ia交叉。Y電極2的交叉部加通過形成在層間絕緣膜16中的接觸孔36與Y電極2的個別電極2b連接。另外，圖16是示出沿圖15的A-A'線的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。另外，在上述的實(shí)施例中描述了垂直的X方向和Y方向的電極，但由于本發(fā)明以輸入位置的檢測用的電極行間的電容差的平均化為目的，所以在傾斜交叉的或并排延伸的長度不同的電極間的電容調(diào)整中也有效。這樣地，根據(jù)本實(shí)施例，作為圖像信息、文字信息的顯示裝置用的靜電電容耦合方式的輸入裝置，可以生產(chǎn)檢測靈敏度優(yōu)良的觸摸屏。以上，基于上述實(shí)施例具體地說明了本發(fā)明人獲得的發(fā)明，但當(dāng)然地，本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，在不脫離其主要構(gòu)思的范圍內(nèi)可以進(jìn)行種種變更。
權(quán)利要求
1.一種觸摸屏，其特征在于，具有多個χ電極、以及與上述X電極交叉的多個Y電極，上述X電極和上述Y電極具有相互重合的交叉部、以及在兩個交叉部之間形成的個別電極，該個別電極在X電極和Y電極中都具有在上述交叉部處寬度窄、而通過交叉部夾著的部分的寬度比交叉部變寬的形狀，相對于上述X電極的一行在延伸方向的長度，上述Y電極的一行在延伸方向的長度短， 面積比上述X電極的個別電極小的偽電極接近X電極的個別電極而形成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸屏，其特征在于， 上述偽電極是浮置電極。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸屏，其特征在于，上述X電極和上述Y電極的某一方由透明導(dǎo)電膜構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸屏，其特征在于，上述X電極和上述Y電極由在同層中形成的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸屏，其特征在于，上述偽電極由與上述X電極的個別電極在同層中形成的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成。
6.一種觸摸屏，其特征在于，具有多個X電極；與上述X電極交叉的多個Y電極；以及具有長邊和短邊的基板， 上述X電極和上述Y電極具有相互重合的交叉部、以及在兩個交叉部之間形成且寬度比上述交叉部寬的個別電極， 上述X電極沿上述長邊形成， 上述Y電極沿上述短邊形成，面積比上述X電極的個別電極小的偽電極接近X電極的個別電極而形成。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的觸摸屏，其特征在于， 上述偽電極是浮置電極。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的觸摸屏，其特征在于，上述X電極和上述Y電極的某一方由透明導(dǎo)電膜構(gòu)成。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的觸摸屏，其特征在于，上述X電極和上述Y電極由在同層中形成的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的觸摸屏，其特征在于，上述偽電極由與上述X電極的個別電極同層的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成。
11.一種觸摸屏，其特征在于，具有多個X電極、以及與上述X電極交叉的多個Y電極，上述X電極和上述Y電極具有相互重合的交叉部、以及在兩個交叉部之間形成且寬度比上述交叉部寬的個別電極，上述X電極具有η個上述個別電極， 上述Y電極具有m個上述個別電極， 且具有η >m的關(guān)系，面積比上述X電極的個別電極小的偽電極接近X電極的個別電極而形成。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的觸摸屏，其特征在于， 上述偽電極是浮置電極。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的觸摸屏，其特征在于， 上述X電極和上述Y電極的某一方由透明導(dǎo)電膜構(gòu)成。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的觸摸屏，其特征在于，上述X電極和上述Y電極由在同層中形成的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的觸摸屏，其特征在于， 上述偽電極由與上述X電極同層的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成。
16.一種觸摸屏，其特征在于，具有多個X電極；與上述X電極交叉的多個Y電極；以及具有長邊和短邊的基板， 上述X電極沿上述長邊延伸，上述Y電極沿上述短邊延伸，上述X電極和上述Y電極具有上述X電極和上述Y電極相互重合的交叉部、以及在兩個交叉部之間形成的電極部，上述χ電極具有如下形狀第一交叉部和第二交叉部之間的χ電極的寬度在上述第一交叉部和上述第二交叉部的中間成為最大的寬度，在上述X電極和上述Y電極之間，分割而形成有多個偽電極。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的觸摸屏，其特征在于， 上述X電極和上述Y電極形成在同一基板上。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的觸摸屏，其特征在于， 上述偽電極是浮置電極。
19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的觸摸屏，其特征在于， 上述X電極和上述Y電極的某一方由透明導(dǎo)電膜構(gòu)成。
全文摘要
提供一種具有S/N比大、檢測靈敏度高的觸摸屏。上述觸摸屏具具有多個X電極、以及與上述X電極交叉的多個Y電極，上述X電極和上述Y電極具有相互重合的交叉部、以及在兩個交叉部之間形成的個別電極，該個別電極在X電極和Y電極中都具有在上述交叉部處寬度窄、而通過交叉部夾著的部分的寬度比交叉部變寬的形狀，相對于上述X電極的一行在延伸方向的長度，上述Y電極的一行在延伸方向的長度短，面積比上述X電極的個別電極小的偽電極接近X電極的個別電極而形成。
文檔編號G06F3/044GK102339189SQ20111034980
公開日2012年2月1日 申請日期2009年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月30日
發(fā)明者阿武恒一 申請人:株式會社日立顯示器