專利名稱：制程控制方法及制程控制系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明是有關于一種制造流程控制相關的技術，特別是有關于一種于制造流程中進行檢測的流程控制方法。
背景技術：
一般WIP物料針對半導體物料、元件、晶片(粒)等產制品(在此泛稱半成加工物料，WIP(Work In Process))所進行加工的制造流程，通常包括若干循環(huán)的步驟，如派工(dispatching)、運輸(transporting)、檢測(testing)、載入(loading)及處理(processing)等。由于循環(huán)步驟的復雜度高，生產力即取決于制造流程控制的自動化程度。對于高科技產業(yè)，如半導體產品制造廠，制造成本往往相當昂貴。因此，在WIP物料被載入制程設備(manufacturingtool)前，通常必須進行一些檢測(check)，以確保所送入的物料WIP物料可以正確地進行制程。舉例而言，制造執(zhí)行系統(tǒng)追蹤檢測(MES track in check)是用以確認欲進行的WIP物料數據是否與制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturing execution system，MES)數據庫中的設定吻合。又如限制檢測(constraint check)用來驗證目前WIP物料欲針對WIP物料所進行的操作參數(operatingparameter)是否正確。
前述對于WIP物料所進行的各項檢測均非常耗時，因此當WIP物料到達制程設備時，必須先進行各項檢測才能載入制程設備中進行處理。在進行檢測時，WIP物料便無法進行其他制程。而在WIP物料進行檢測的同時，制程設備也必須空置以等待WIP物料完成檢測。因此，對于制程控制而言，如何在充分完成檢測的情下，又能確保制程的連續(xù)性，實為一重要課題。
目前已有若干方案可用以解決前述制程控制的問題。但目前所發(fā)展的各項方案主要均著重于制程設備自身的檢測。如美國第6,351,723號專利，其揭露一種以偵測設備操作狀態(tài)錯誤為主的偵錯方法。在美國第6,351,723號專利所揭露的方法中，是以時序為基準取得操作參數(operating parameter)，并加以選擇及計算，以求得制程偏差量值。而制程設備的錯誤便可根據計算所得的量值加以決定。
前述如美國第6,351,723號專利等所揭露的方案，對于改善制程設備的偵測有效，但對于整體制程控制卻無明顯的改善效果。

發(fā)明內容
有鑒于此，本發(fā)明的目的就在于提出將WIP物料運輸與針對WIP物料的制程參數檢測相互結合的方法，以減少制程設備空置及WIP物料等待處理的時間。
必須說明的是，于下揭露內容中所提出的不同實施例或范例，是用以說明本發(fā)明所揭示的不同技術特征，其所描述的特定范例或排列是用以簡化本發(fā)明，然非用以限定本發(fā)明。此外，在不同實施例或范例中可能重復使用相同的參考數字與符號，此等重復使用的參考數字與符號是用以說明本發(fā)明所揭示的內容，而非用以表示不同實施例或范例間的關系。
為達成上述目的，本發(fā)明提出一種制造流程方法。首先，于WIP物料(半成加工物料)的運輸過程中，對WIP物料進行檢測。前述WIP物料是承載于運輸工具(transport vehicle)中以進行運輸。
對于WIP物料的檢測，舉例包括限制檢測(constraint check)、制程及設備參數條件檢測((Process and Equipment parametercheck)以及加工程序(Recipe)比較檢測。當提供載入端口(loadport)以及標示讀取器(tag reader)于運輸工具中時，檢測還可包括制造執(zhí)行系統(tǒng)進站檢測(MES track in check)。
然后，將通過檢測的WIP物料載入制程設備中。因此，檢測開始的時間可有不同的選擇，檢測可當WIP物料進行派工時即開始執(zhí)行?；蛘撸瑱z測可當WIP物料開始運輸時開始執(zhí)行。又或者，檢測的開始時間可使得檢測將于WIP物料載入制程設備前恰好完成。對于檢測的執(zhí)行可以包含有線(Wire)或無線(Wireless)的通訊方式進行控制。當本發(fā)明所提出的方法應用于半導體產品制造廠中時，前述WIP物料即為半導體產品的制造材料。
再者，本發(fā)明提出一種儲存介質，用以儲存一計算機程序，此計算機程序用以載入至一計算機系統(tǒng)中并且使得計算機系統(tǒng)執(zhí)行如前所述的制程控制方法步驟。
又再者，本發(fā)明提出一種制程控制系統(tǒng)，包括檢測執(zhí)行模塊以及載入模塊。檢測執(zhí)行模塊，用以于WIP物料的運輸過程中，對WIP物料進行檢測。前述WIP物料是承載于一運輸工具中進行運輸。
同樣地，對于WIP物料的檢測包括限制檢測、制程及設備檢測以及條件比較檢測等等。當提供載入端口以及標示讀取器于運輸工具中時，檢測還可包括制造執(zhí)行系統(tǒng)進站檢測。
載入模塊用以將通過檢測的WIP物料，載入制程設備中。檢測開始的時間可有不同的選擇，檢測執(zhí)行模塊可當WIP物料進行派工時即開始執(zhí)行?；蛘撸瑱z測執(zhí)行模塊可當WIP物料開始運輸時開始執(zhí)行。又或者，檢測執(zhí)行模塊的開始時間可使檢測于WIP物料載入制程設備時完成。對于檢測的執(zhí)行可以有線或無線的通訊方式進行控制。當本發(fā)明所提出的方法應用于半導體產品制造廠中時，前述WIP物料即為半導體產品的制造材料。
本發(fā)明可以有效的減少制程設備空置及WIP物料等待處理的時間，進而提高制程效率。


圖1是顯示本發(fā)明所揭示的制程控制方法的一實施例的執(zhí)行流程圖；圖2是顯示本發(fā)明所揭示的儲存介質的一實施例的示意圖；圖3是顯示本發(fā)明所揭示的制程控制系統(tǒng)的一實施例的功能方框圖；圖4是顯示本發(fā)明所揭示的制程控制方法的一應用范例的功能方框圖。
具體實施例方式
為使本發(fā)明的技術特征易于了解，于下揭露內容中提出了不同實施例及范例，輔以圖式及特定文字敘述，以說明本發(fā)明，然非用以限定本發(fā)明。若所敘述的實施例或范例中，有任何關于本發(fā)明的修正或變更，其為本領域技術人員所能自然推得，則本發(fā)明可隨之修正或變更，以因應不同的需求。
請參照圖1，圖1是顯示本發(fā)明所揭示的制程控制方法的一實施例的執(zhí)行流程圖。如圖所示，首先于WIP物料的運輸過程中，對WIP物料進行檢測，如步驟S10所示。例如，本發(fā)明所提出的方法應用于半導體產品制造廠中，則其WIP物料即為半導體產品制造材料，如晶圓等。
對于WIP物料的檢測包括限制檢測、制程設備檢測以及條件比較檢測。限制檢測用以驗證WIP物料的操作參數，制程設備檢測用以驗證設備檢測器(equipment sensor)以提供客制制程條件設定。條件比較檢測用以決定一制程設備目前的制程條件，是否符合所欲進行處理的WIP物料。
然后，將通過檢測的WIP物料載入制程設備中，如步驟S12所示，前述WIP物料是承載于運輸工具中進行運輸。如果當載入端口以及標示讀取器設置于運輸工具中時，檢測還可包括制造執(zhí)行系統(tǒng)進站檢測。制造執(zhí)行系統(tǒng)進站檢測是用以驗證所欲進行處理的WIP物料其數據是否與制造執(zhí)行系統(tǒng)數據庫中的設定相吻合。然若載入端口以及標示讀取器是置于制程設備入口平臺上時，制造執(zhí)行系統(tǒng)進站檢測則不會于運輸期間執(zhí)行。
在運輸期間，檢測開始的時間可有不同的選擇，檢測可當WIP物料進行派工時開始執(zhí)行。或者，檢測可當WIP物料開始運輸時開始執(zhí)行。又或者，檢測的開始時間可使檢測于WIP物料載入制程設備時完成。對于檢測的執(zhí)行可以有線或無線的通訊方式進行控制。
如前所述的制程控制方法可以計算機程序加以實現，請參照圖2，圖2是顯示本發(fā)明所揭示的儲存介質的一實施例的示意圖。在此實施例中，如圖所示，本發(fā)明提出一種儲存介質20，用以儲存一計算機程序22，計算機程序22用以載入至一計算機系統(tǒng)中并且使得上述計算機系統(tǒng)執(zhí)行如前所述的方法步驟。計算機程序22主要包括于運輸期間執(zhí)行檢測的程序邏輯220以及將通過檢測的WIP物料載入制程設備的程序邏輯222。
請參照圖3，圖3是顯示本發(fā)明所揭示的制程控制系統(tǒng)的一實施例的功能方框圖。如圖所示，本發(fā)明所提出的制程控制系統(tǒng)，包括檢測執(zhí)行模塊30以及載入模塊32。檢測執(zhí)行模塊30用以于WIP物料的運輸過程中，對WIP物料進行檢測。前述WIP物料是承載于運輸工具中以進行運輸。
在此，同樣地，對于WIP物料的檢測包括限制檢測、制程及設備檢測以及加工程序(Recipe)比較檢測。當提供載入端口以及標示讀取器于運輸工具中時，檢測還可包括制造執(zhí)行系統(tǒng)進站檢測。
載入模塊32用以將通過檢測的WIP物料，載入制程設備中。在此，檢測開始的時間包含可有不同的選擇，檢測執(zhí)行模塊30可當WIP物料進行派工時開始執(zhí)行?；蛘?，檢測執(zhí)行模塊30可當WIP物料開始運輸時開始執(zhí)行。又或者，檢測執(zhí)行模塊30開始檢測的時間可使檢測于WIP物料載入制程設備時恰好完成。對于檢測的執(zhí)行可以有線或無線的通訊方式進行控制。當本發(fā)明所提出的方法應用于半導體制造廠中時，前述WIP物料即為半導體產品的制造材料。
圖4是顯示本發(fā)明所揭示的制程控制方法的一應用范例的功能方框圖。在一實施例中，半導體制造材料WIP物料40，如晶圓WIP物料等，是由制程設備A 42運輸至制程設備B 44。在WIP物料的運輸工具46上建置有載入端口及標示讀取器。WIP物料40在制程設備A 42處理完成后便載入運輸工具46中以進行運輸。對于WIP物料40的檢測會于運輸工具46由制程設備A 42運輸至制程設備B 44的運輸期間完成。檢測可由控制服務器48透過無線通訊方式進行控制。當控制方式為無線通訊(Wireless communication)方式時，必須加裝若干發(fā)射器(transmitter)54及信號接收器(receiver)54以進行無線通訊。
控制服務器48在進行控制的過程中，可利用網絡52連結至制造執(zhí)行系統(tǒng)數據庫50以獲得各項檢測有關數據。制造執(zhí)行系統(tǒng)數據庫50用以儲存檢測相關信息。在WIP物料40到達制程設備B 44前，所有必要的檢測均已完成。因此，當WIP物料40到達制程設備B 44時，無需等待時間即可載入制程設備B 44進行處理。由于所有檢測必須于WIP物料40到達制程設備B 44前完成，因此可于若干適當的時間點開始執(zhí)行檢測。舉例而言，檢測可當WIP物料40進行派工時開始執(zhí)行?；蛘?，檢測可當WIP物料40開始運輸時開始執(zhí)行。又或者，檢測開始的時間可使檢測于WIP物料40載入制程設備B 44時恰好完成。如圖所示，控制服務器48可以無線的通訊方式進行檢測控制。
綜上所述，本發(fā)明提出制造流程控制的方法及系統(tǒng)。以本發(fā)明所提出的方法應用于實際制程時，可使WIP物料以連續(xù)性的流程進行處理，而無需于制程設備前等待檢測而造成機臺空置等待。由于連續(xù)性處理流程可增進整體的生產效能。
當本發(fā)明應用于實際制程時，WIP物料及制程設備均可能不同，本發(fā)明所提出的方法及系統(tǒng)當可隨之改變以因應制程的實際需求。
本發(fā)明所提出的方法及系統(tǒng)，或者其中某些部分，可能以計算機程序(計算機指令)的方式加以實現，此計算機程序(計算機指令)可能建置于實體儲存介質中，如軟盤(floppy diskettes)、光盤(CD-ROMS)、硬盤(hard drives)或其他任何機器可辨讀的儲存介質中。當前述的計算機程序(計算機指令)經由載入如計算機等機器執(zhí)行時，此載入計算機程序(計算機指令)的機器即轉換為一用以實現本發(fā)明的裝置。再者，本發(fā)明所揭示的方法及系統(tǒng)可以計算機程序(計算機指令)的方式經由傳輸介質進行傳輸，如電線(electrical wire)、電纜(cable)、光纖(fiber optics)或其他任何可進行傳輸的傳輸介質。當前述經由傳輸介質傳輸的計算機程序(計算機指令)經由如計算機等機器載入并執(zhí)行時，此載入計算機程序(計算機指令)的機器即轉換為一用以實現本發(fā)明的裝置。又再者，本發(fā)明所揭示的方法及系統(tǒng)可以計算機程序(計算機指令)的型態(tài)應用于一通用目的(general-purpose)處理器中，當前述應用于通用目的處理器的計算機程序(計算機指令)與該處理器相結合時，即提供一用以實現本發(fā)明的裝置，其功能相當于具有特定功能的邏輯電路(logic circuits)。
以上所述僅為本發(fā)明較佳實施例，然其并非用以限定本發(fā)明的范圍，任何熟悉本項技術的人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內，可在此基礎上做進一步的改進和變化，因此本發(fā)明的保護范圍當以本申請的權利要求書所界定的范圍為準。
附圖中符號的簡單說明如下20儲存介質22計算機程序220于運輸期間執(zhí)行檢測的程序邏輯222將通過檢測的WIP物料載入制程設備的程序邏輯30檢測執(zhí)行模塊32載入模塊40半導體制造材料WIP物料42制程設備A44制程設備B46運輸工具48控制服務器50制造執(zhí)行系統(tǒng)數據庫52網絡54發(fā)射器/接收器
權利要求
1.一種制程控制方法，其特征在于，所述制程控制方法包括下列步驟于至少一半成加工物料的運輸過程中，對上述半成加工物料進行至少一檢測，其中上述半成加工物料是承載于一運輸工具中進行運輸；以及將通過上述檢測的上述半成加工物料，載入一制程設備中。
2.根據權利要求1所述的制程控制方法，其特征在于，上述檢測包括一限制檢測、一制程設備檢測以及一加工程序比較檢測。
3.根據權利要求1所述的制程控制方法，其特征在于，尚包括提供一載入端口以及一標示讀取器于上述運輸工具中。
4.根據權利要求3所述的制程控制方法，其特征在于，上述檢測尚包括一制造執(zhí)行系統(tǒng)進站檢測。
5.根據權利要求1所述的制程控制方法，其特征在于，上述檢測是當上述半成加工物料進行派工時開始執(zhí)行。
6.根據權利要求1所述的制程控制方法，其特征在于，上述檢測是當上述半成加工物料開始運輸時開始執(zhí)行。
7.根據權利要求1所述的制程控制方法，其特征在于，上述檢測的開始時間是使上述檢測于上述半成加工物料載入上述制程設備時完成。
8.根據權利要求1所述的制程控制方法，其特征在于，上述檢測的執(zhí)行是以有線通訊方式進行控制。
9.根據權利要求1所述的制程控制方法，其特征在于，上述檢測的執(zhí)行是以無線通訊方式進行控制。
10.根據權利要求1所述的制程控制方法，其特征在于，上述半成加工物料是為半導體產品的制造材料。
11.一種制程控制系統(tǒng)，其特征在于，所述制程控制系統(tǒng)包括一檢測執(zhí)行模塊，用以于至少一半成加工物料的運輸過程中，對上述半成加工物料進行至少一檢測，其中上述半成加工物料是承載于一運輸工具中進行運輸；以及一載入模塊，其耦接于上述檢測執(zhí)行模塊，用以將通過上述檢測的上述半成加工物料，載入一制程設備中。
12.根據權利要求11所述的制程控制系統(tǒng)，其特征在于，上述檢測包括一限制檢測、一制程設備檢測以及一加工程序比較檢測。
13.根據權利要求11所述的制程控制系統(tǒng)，其特征在于，尚包括一載入端口以及一標示讀取器，上述載入端口以及上述標示讀取器是提供于上述運輸工具中。
14.根據權利要求13所述的制程控制系統(tǒng)，其特征在于，上述檢測尚包括一制造執(zhí)行系統(tǒng)進站檢測。
15.根據權利要求11所述的制程控制系統(tǒng)，其特征在于，上述檢測執(zhí)行模塊是當上述半成加工物料進行派工時開始執(zhí)行上述檢測。
16.根據權利要求11所述的制程控制系統(tǒng)，其特征在于，上述檢測執(zhí)行模塊是當上述半成加工物料開始運輸時開始執(zhí)行上述檢測。
17.根據權利要求11所述的制程控制系統(tǒng)，其特征在于，上述檢測開始上述檢測的時間是使上述檢測于上述半成加工物料載入上述制程設備時完成。
18.根據權利要求11所述的制程控制系統(tǒng)，其特征在于，上述檢測的執(zhí)行是以有線通訊方式進行控制。
19.根據權利要求11所述的制程控制系統(tǒng)，其特征在于，上述檢測的執(zhí)行是以無線通訊方式進行控制。
20.根據權利要求11所述的制程控制系統(tǒng)，其特征在于，上述半成加工物料是為半導體產品的制造材料。
全文摘要
本發(fā)明提供一種制程控制方法及制程控制系統(tǒng)，所述制造流程控制方法，用于半成加工物料的運輸過程中進行檢測，半成加工物料于運輸過程中是以運輸工具承載。通過檢測的半成加工物料，則載入制程設備中。檢測可包括限制檢測、制程及設備檢測以及加工程序比較檢測。另外當載入端口以及標示讀取器是設置于運輸工具上時，檢測還可包括制造執(zhí)行系統(tǒng)進站檢測。本發(fā)明可以有效的減少制程設備空置及半成加工物料等待處理的時間，進而提高制程效率。
文檔編號G06F15/00GK1763674SQ20051010519
公開日2006年4月26日 申請日期2005年9月30日 優(yōu)先權日2004年9月30日
發(fā)明者廖元利 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司